JPH1073181A - 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 - Google Patents
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁Info
- Publication number
- JPH1073181A JPH1073181A JP23022096A JP23022096A JPH1073181A JP H1073181 A JPH1073181 A JP H1073181A JP 23022096 A JP23022096 A JP 23022096A JP 23022096 A JP23022096 A JP 23022096A JP H1073181 A JPH1073181 A JP H1073181A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- magnetic
- pilot
- permanent magnet
- position detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】 流体の圧力及び流量に関係なく、パイロット
形切換弁の弁位置を3位置まで検出することができる弁
位置検出スイッチ付パイロット形切換弁を提供する。 【解決手段】 主弁体3に接合されたピストン4に永久
磁石5と、ピストン4が嵌入かつ摺動し、前記パイロッ
ト信号圧が供給されるピストン室6の外部に、永久磁石
5の移動により発生する磁気変化を検出する磁気センサ
ー7と、前記磁気変化を電気信号に変換するスイッチ回
路25とを有し、磁気センサー7が基板上に磁性金属薄
膜でつづら折れ状の感磁パターンを形成する磁気抵抗素
子であって、永久磁石5と略対向するように、前記基板
を立てた状態で設置され、かつ、永久磁石5の摺動範囲
を、永久磁石5が発生する磁界が、前記感磁パターンに
作用することにより、前記磁気抵抗素子の抵抗値が略最
小となる位置から略最大となる位置までと制限してい
る。
形切換弁の弁位置を3位置まで検出することができる弁
位置検出スイッチ付パイロット形切換弁を提供する。 【解決手段】 主弁体3に接合されたピストン4に永久
磁石5と、ピストン4が嵌入かつ摺動し、前記パイロッ
ト信号圧が供給されるピストン室6の外部に、永久磁石
5の移動により発生する磁気変化を検出する磁気センサ
ー7と、前記磁気変化を電気信号に変換するスイッチ回
路25とを有し、磁気センサー7が基板上に磁性金属薄
膜でつづら折れ状の感磁パターンを形成する磁気抵抗素
子であって、永久磁石5と略対向するように、前記基板
を立てた状態で設置され、かつ、永久磁石5の摺動範囲
を、永久磁石5が発生する磁界が、前記感磁パターンに
作用することにより、前記磁気抵抗素子の抵抗値が略最
小となる位置から略最大となる位置までと制限してい
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パイロット信号圧
により駆動される主弁体の位置を検出することができる
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁に関するもの
である。
により駆動される主弁体の位置を検出することができる
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来より、空圧機器に使用されるパイロ
ット形切換弁はローコストで、省力化、自動化が可能と
なるために、多方面の産業において使用されている。ま
た近年、パイロット形切換弁の小型化が進んでいる。そ
して、信頼性が要求されるシステムでは、流路切り換え
のために作動する主弁体の位置を検出する装置を備えた
ものがある。この検出装置として、圧力スイッチや流量
スイッチが使用されている。
ット形切換弁はローコストで、省力化、自動化が可能と
なるために、多方面の産業において使用されている。ま
た近年、パイロット形切換弁の小型化が進んでいる。そ
して、信頼性が要求されるシステムでは、流路切り換え
のために作動する主弁体の位置を検出する装置を備えた
ものがある。この検出装置として、圧力スイッチや流量
スイッチが使用されている。
【0003】この圧力スイッチや流量スイッチは、主弁
体の動作表示を行なうインジケータの表示によりパイロ
ット形切換弁の弁位置を検出している。例えば、実公平
1−35023号公報に示されているインジケータ・ラ
ンプがある。このインジケータ・ランプには、図10に
示すように、動作表示用のランプ103を備えたランプ
ボデイ102内の収容室107に、ボタン電池108が
ランプ103の一方の端子に対して、一方の極を接触さ
せた状態で収容されている。一方、ランプボデイ102
の基体105には、流体圧機器の流体圧を導入する圧力
導入孔111が設けられ、この圧力導入孔111からの
流体圧により駆動される非導電性のピストン112が、
収容室内107に摺動自在に嵌合されている。さらに、
ランプ103に電気的に接触させた導電性材料からなる
ランプ支持体104と、基体105との間に、接触子1
14が挟持されている。
体の動作表示を行なうインジケータの表示によりパイロ
ット形切換弁の弁位置を検出している。例えば、実公平
1−35023号公報に示されているインジケータ・ラ
ンプがある。このインジケータ・ランプには、図10に
示すように、動作表示用のランプ103を備えたランプ
ボデイ102内の収容室107に、ボタン電池108が
ランプ103の一方の端子に対して、一方の極を接触さ
せた状態で収容されている。一方、ランプボデイ102
の基体105には、流体圧機器の流体圧を導入する圧力
導入孔111が設けられ、この圧力導入孔111からの
流体圧により駆動される非導電性のピストン112が、
収容室内107に摺動自在に嵌合されている。さらに、
ランプ103に電気的に接触させた導電性材料からなる
ランプ支持体104と、基体105との間に、接触子1
14が挟持されている。
【0004】上記構成を有するインジケータ・ランプ1
01においては、パイロット形切換弁の端部に装着さ
れ、圧力導入孔111から流入した流体圧により、ピス
トン112が押圧され摺動したときに、バネ109の拡
径部が接触子114に接触してランプ103が点灯す
る。このようにして、主弁体の作動を検出している。ま
た、このインジケータ・ランプは従来の圧力スイッチや
流量スイッチと比較して、小型化されている。
01においては、パイロット形切換弁の端部に装着さ
れ、圧力導入孔111から流入した流体圧により、ピス
トン112が押圧され摺動したときに、バネ109の拡
径部が接触子114に接触してランプ103が点灯す
る。このようにして、主弁体の作動を検出している。ま
た、このインジケータ・ランプは従来の圧力スイッチや
流量スイッチと比較して、小型化されている。
【0005】なお、シリンダ内部を往復動するピストン
の位置を、ピストンの端部に取り付けた磁石が発生する
磁界を利用して検出する、いわゆるシリンダスイッチが
知られている。このシリンダスイッチは、リードスイッ
チをシリンダの先端部と後端部に各々取り付けて、ピス
トンが各リードスイッチの取付位置まで移動したとき
に、ピストンの端部に取り付けた磁石が発生する磁界を
検出し、リードスイッチを開閉させて、電気接点による
電気信号を位置検出信号として出力させることでピスト
ンの位置を検出している。
の位置を、ピストンの端部に取り付けた磁石が発生する
磁界を利用して検出する、いわゆるシリンダスイッチが
知られている。このシリンダスイッチは、リードスイッ
チをシリンダの先端部と後端部に各々取り付けて、ピス
トンが各リードスイッチの取付位置まで移動したとき
に、ピストンの端部に取り付けた磁石が発生する磁界を
検出し、リードスイッチを開閉させて、電気接点による
電気信号を位置検出信号として出力させることでピスト
ンの位置を検出している。
【0006】あるいは、磁気抵抗素子を使用した磁気セ
ンサーを用いて、ピストンの端部に取り付けた磁石が発
生する磁界を受けることにより、磁気抵抗素子の内部抵
抗値が変化することを利用して、その内部抵抗値の変化
を電気信号に変換し位置検出信号として出力させること
でピストンの位置を検出するピストン位置検出装置が知
られている。
ンサーを用いて、ピストンの端部に取り付けた磁石が発
生する磁界を受けることにより、磁気抵抗素子の内部抵
抗値が変化することを利用して、その内部抵抗値の変化
を電気信号に変換し位置検出信号として出力させること
でピストンの位置を検出するピストン位置検出装置が知
られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧力スイッチや流量スイッチには次のような問題があっ
た。すなわち、これら圧力スイッチや流量スイッチは、
パイロット形切換弁の外部の流路に取り付けるため、シ
ステム自体が大きくなってしまうという問題である。ま
た、圧力スイッチや流量スイッチには、使用圧力や使用
流量に範囲があるため、使用範囲に合わせて何種類も用
意する必要があるという問題もある。さらに、これら圧
力スイッチや流量スイッチは、パイロット形切換弁の流
路の切り替えが行なわれたかを検出するのみであるか
ら、主弁体の位置を2位置(ON・OFF検出)までし
か検出できないという問題もある。
圧力スイッチや流量スイッチには次のような問題があっ
た。すなわち、これら圧力スイッチや流量スイッチは、
パイロット形切換弁の外部の流路に取り付けるため、シ
ステム自体が大きくなってしまうという問題である。ま
た、圧力スイッチや流量スイッチには、使用圧力や使用
流量に範囲があるため、使用範囲に合わせて何種類も用
意する必要があるという問題もある。さらに、これら圧
力スイッチや流量スイッチは、パイロット形切換弁の流
路の切り替えが行なわれたかを検出するのみであるか
ら、主弁体の位置を2位置(ON・OFF検出)までし
か検出できないという問題もある。
【0008】また、主弁体の位置検出のためにシリンダ
スイッチをパイロット形切換弁に取り付けることも考え
られるが、パイロット形切換弁における主弁体のストロ
ークは数mmしかないため、リードスイッチを主弁体が
摺動する範囲内に3箇所(2箇所でも)取り付けること
は不可能である。
スイッチをパイロット形切換弁に取り付けることも考え
られるが、パイロット形切換弁における主弁体のストロ
ークは数mmしかないため、リードスイッチを主弁体が
摺動する範囲内に3箇所(2箇所でも)取り付けること
は不可能である。
【0009】あるいは、磁気センサーを用いた場合に
は、取付方法により2種類の出力電圧波形を得ることが
できる。前記取付方法には、従来より一般的に用いられ
ている磁気センサーを寝かした状態で取り付ける方法
(図4(a)参照)と、実公平7−4486公報記載の
磁気センサーを立てた状態で取り付ける方法(図3
(a)参照)とがある。そして、現状ではスイッチ出力
として使用している電圧範囲は、図3(b)あるいは図
4(b)に示す使用電圧範囲V1 あるいはV2 である。
この使用電圧範囲内において、基準となる電圧以上の電
圧値(以下、「基準電圧値」という。)が入力される
と、検出回路内に備えたトランジスタを駆動させて、パ
ルス状の波形を出力させることで、スイッチ出力の検出
しているが、図3(b)あるいは図4(b)に示す使用
電圧範囲V1 またはV2 では、パイロット形切換弁にお
いては磁石の摺動範囲が限られるため、1点または2点
しか出力することができず、スイッチ出力を3点取るこ
とはできない。なぜなら、現状の使用電圧範囲では、磁
気抵抗素子のヒステリシス及び出力電圧のヒステリシス
等により、スイッチ出力を3点、すなわち基準電圧値を
3点取ると、隣のスイッチ出力の範囲と重なる可能性が
高いためである。
は、取付方法により2種類の出力電圧波形を得ることが
できる。前記取付方法には、従来より一般的に用いられ
ている磁気センサーを寝かした状態で取り付ける方法
(図4(a)参照)と、実公平7−4486公報記載の
磁気センサーを立てた状態で取り付ける方法(図3
(a)参照)とがある。そして、現状ではスイッチ出力
として使用している電圧範囲は、図3(b)あるいは図
4(b)に示す使用電圧範囲V1 あるいはV2 である。
この使用電圧範囲内において、基準となる電圧以上の電
圧値(以下、「基準電圧値」という。)が入力される
と、検出回路内に備えたトランジスタを駆動させて、パ
ルス状の波形を出力させることで、スイッチ出力の検出
しているが、図3(b)あるいは図4(b)に示す使用
電圧範囲V1 またはV2 では、パイロット形切換弁にお
いては磁石の摺動範囲が限られるため、1点または2点
しか出力することができず、スイッチ出力を3点取るこ
とはできない。なぜなら、現状の使用電圧範囲では、磁
気抵抗素子のヒステリシス及び出力電圧のヒステリシス
等により、スイッチ出力を3点、すなわち基準電圧値を
3点取ると、隣のスイッチ出力の範囲と重なる可能性が
高いためである。
【0010】そこで本発明は、上記問題点を解決するた
めになされたものであり、小型化されたパイロット形切
換弁の弁位置検出スイッチであり、流体の圧力及び流量
に関係なく、パイロット形切換弁の弁位置を3位置まで
検出することができる弁位置検出スイッチ付パイロット
形切換弁を提供することを目的とする。
めになされたものであり、小型化されたパイロット形切
換弁の弁位置検出スイッチであり、流体の圧力及び流量
に関係なく、パイロット形切換弁の弁位置を3位置まで
検出することができる弁位置検出スイッチ付パイロット
形切換弁を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項1に記載する弁位置検出スイッチ付パイロ
ット形切換弁によれば、パイロット信号圧を制御するオ
ペレータ弁と、前記パイロット信号圧で駆動される主弁
体と、該主弁体の位置を検出する弁位置検出スイッチと
を備える弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁にお
いて前記主弁体に接合されたピストンに永久磁石と、前
記ピストンが嵌入かつ摺動し、前記パイロット信号圧が
供給されるピストン室の外部に、前記永久磁石の移動に
より発生する磁気変化を検出する磁気センサーと、前記
磁気センサーの検出信号に基づいて、弁位置検出信号を
出力するスイッチ回路と、を有することを特徴とする。
めに、請求項1に記載する弁位置検出スイッチ付パイロ
ット形切換弁によれば、パイロット信号圧を制御するオ
ペレータ弁と、前記パイロット信号圧で駆動される主弁
体と、該主弁体の位置を検出する弁位置検出スイッチと
を備える弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁にお
いて前記主弁体に接合されたピストンに永久磁石と、前
記ピストンが嵌入かつ摺動し、前記パイロット信号圧が
供給されるピストン室の外部に、前記永久磁石の移動に
より発生する磁気変化を検出する磁気センサーと、前記
磁気センサーの検出信号に基づいて、弁位置検出信号を
出力するスイッチ回路と、を有することを特徴とする。
【0012】請求項2に記載する弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁によれば、上記問題点を解決するた
めに、請求項1に記載する弁位置検出スイッチ付パイロ
ット形切換弁において、前記磁気センサーが、基板上に
磁性金属薄膜でつづら折れ状の感磁パターンを形成する
磁気抵抗素子であって、前記永久磁石と略対向するよう
に、前記基板を立てた状態で設置され、かつ、前記永久
磁石の摺動範囲を、前記永久磁石が発生する磁界が、前
記感磁パターンに作用することにより、前記磁気抵抗素
子の抵抗値が略最小となる位置から略最大となる位置ま
でと制限することを特徴とする。
パイロット形切換弁によれば、上記問題点を解決するた
めに、請求項1に記載する弁位置検出スイッチ付パイロ
ット形切換弁において、前記磁気センサーが、基板上に
磁性金属薄膜でつづら折れ状の感磁パターンを形成する
磁気抵抗素子であって、前記永久磁石と略対向するよう
に、前記基板を立てた状態で設置され、かつ、前記永久
磁石の摺動範囲を、前記永久磁石が発生する磁界が、前
記感磁パターンに作用することにより、前記磁気抵抗素
子の抵抗値が略最小となる位置から略最大となる位置ま
でと制限することを特徴とする。
【0013】請求項3に記載する弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁によれば、上記問題点を解決するた
めに、請求項1または請求項2に記載する弁位置検出ス
イッチ付パイロット形切換弁において、前記磁気センサ
ーを磁性体からなる遮磁板により覆設したことを特徴と
する。
パイロット形切換弁によれば、上記問題点を解決するた
めに、請求項1または請求項2に記載する弁位置検出ス
イッチ付パイロット形切換弁において、前記磁気センサ
ーを磁性体からなる遮磁板により覆設したことを特徴と
する。
【0014】ここにおいて、遮磁板として、例えば強磁
性体の鉄板やアモルファス金属板等を使用することがで
きる。
性体の鉄板やアモルファス金属板等を使用することがで
きる。
【0015】請求項4に記載する弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁によれば、上記問題点を解決するた
めに、請求項1または請求項2に記載する弁位置検出ス
イッチ付パイロット形切換弁において、前記出力回路か
ら出力される信号と連動してランプ表示を行なうことを
特徴とする。
パイロット形切換弁によれば、上記問題点を解決するた
めに、請求項1または請求項2に記載する弁位置検出ス
イッチ付パイロット形切換弁において、前記出力回路か
ら出力される信号と連動してランプ表示を行なうことを
特徴とする。
【0016】上記構成を有する弁位置検出スイッチ付パ
イロット形切換弁によれば、磁気センサーを用いている
ので、パイロット形切換弁の使用圧力や使用流量に関係
なく、主弁体の位置を検出することができ、流体流路に
余分な回路を必要としないので小型化を図ることができ
る。また、磁気センサーの取付方法と取付位置を限定す
ることにより、主弁体の位置検出点を3点まで取ること
ができる。
イロット形切換弁によれば、磁気センサーを用いている
ので、パイロット形切換弁の使用圧力や使用流量に関係
なく、主弁体の位置を検出することができ、流体流路に
余分な回路を必要としないので小型化を図ることができ
る。また、磁気センサーの取付方法と取付位置を限定す
ることにより、主弁体の位置検出点を3点まで取ること
ができる。
【0017】さらに、遮磁板を有しているので、パイロ
ット形切換弁をマニホールド化しても、隣接するパイロ
ット形切換弁に装着された永久磁石が発生する磁界を遮
へいしているので、各磁気センサーが誤作動することな
く、正確に主弁体の位置を検出することができる。
ット形切換弁をマニホールド化しても、隣接するパイロ
ット形切換弁に装着された永久磁石が発生する磁界を遮
へいしているので、各磁気センサーが誤作動することな
く、正確に主弁体の位置を検出することができる。
【0018】また、発光ダイオードを用いてランプ表示
することにより、電気信号に加えて、目視のみでも確実
に主弁体の位置検出を行なうことができる。
することにより、電気信号に加えて、目視のみでも確実
に主弁体の位置検出を行なうことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るパイロット形
切換弁の弁位置検出スイッチについて、具体化した実施
の形態を挙げ、図面に基づいて詳細に説明する。図1に
本発明の第1の実施の形態である弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁を示す。図1はパイロット形切換弁
の弁位置検出スイッチの断面図である。図1において、
弁位置検出スイッチ2は、主弁体3に接合されたピスト
ン4の端部中心に埋設された永久磁石5と、パイロット
信号圧が供給されるピストン室6の外部に設置された磁
気センサー7と、磁気センサー7の抵抗の変化を電気信
号に変換するスイッチ回路25とを備え、これら構成部
品がパイロット形切換弁1内に装着されている。
切換弁の弁位置検出スイッチについて、具体化した実施
の形態を挙げ、図面に基づいて詳細に説明する。図1に
本発明の第1の実施の形態である弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁を示す。図1はパイロット形切換弁
の弁位置検出スイッチの断面図である。図1において、
弁位置検出スイッチ2は、主弁体3に接合されたピスト
ン4の端部中心に埋設された永久磁石5と、パイロット
信号圧が供給されるピストン室6の外部に設置された磁
気センサー7と、磁気センサー7の抵抗の変化を電気信
号に変換するスイッチ回路25とを備え、これら構成部
品がパイロット形切換弁1内に装着されている。
【0020】ピストン4端部に埋設される永久磁石5
は、直径2〜3mmの円柱形状のものであり、ピストン
4の中心部に埋設されている。よって、永久磁石5は主
弁体3とともに、磁気センサー7と間隔を一定に保った
状態で平行移動する。
は、直径2〜3mmの円柱形状のものであり、ピストン
4の中心部に埋設されている。よって、永久磁石5は主
弁体3とともに、磁気センサー7と間隔を一定に保った
状態で平行移動する。
【0021】磁気センサー7は、基板上に強磁性体金属
であるパーマロイで形成される磁気感応薄膜をエッチン
グ加工により、つづら折れ状のパターン(図2参照)と
することにより形成される磁気抵抗素子である。磁気抵
抗素子はパターン線の長手方向(図2においてy軸方
向)に対して直角に磁界を受けた場合に、抵抗値が減少
する性質を有しており、パターン線の長手方向に磁界を
受けた場合には、抵抗値が変化しない。よって、図2に
示すように、感磁パターン10と温度補償パターン11
とが90度の位相差を持つように形成されていて、磁気
感応薄膜で形成されている感磁パターン10は、温度依
存性が高く、このままでは実用上問題がある。さらに、
強磁性体金属は一般的に温度により内部抵抗が変化する
性質がある。従って、感磁パターン10の内部抵抗が磁
界の強さだけではなく、周囲の温度によっても変化して
しまう。このため、温度補償パターン11を作成して、
周囲温度の変化を補償している。
であるパーマロイで形成される磁気感応薄膜をエッチン
グ加工により、つづら折れ状のパターン(図2参照)と
することにより形成される磁気抵抗素子である。磁気抵
抗素子はパターン線の長手方向(図2においてy軸方
向)に対して直角に磁界を受けた場合に、抵抗値が減少
する性質を有しており、パターン線の長手方向に磁界を
受けた場合には、抵抗値が変化しない。よって、図2に
示すように、感磁パターン10と温度補償パターン11
とが90度の位相差を持つように形成されていて、磁気
感応薄膜で形成されている感磁パターン10は、温度依
存性が高く、このままでは実用上問題がある。さらに、
強磁性体金属は一般的に温度により内部抵抗が変化する
性質がある。従って、感磁パターン10の内部抵抗が磁
界の強さだけではなく、周囲の温度によっても変化して
しまう。このため、温度補償パターン11を作成して、
周囲温度の変化を補償している。
【0022】上記した磁気センサーの取付方法について
説明する。一般的に、磁気センサーの取付方法として、
図3(a)と図4(a)に示す2種類の方法がある。図
3(a)に示すように、基板を立てて設置する垂直取付
と、図4(a)に示すように、基板を寝かして設置する
水平取付である。出力電圧の波形が異なるのは、垂直取
付の場合には、永久磁石5がx方向へ移動すると、温度
補償パターン11にもパターン線の長手方向に対して直
角に磁界を受けるため、感磁パターン10の抵抗変化と
温度補償パターン11の抵抗変化とが起こり、それらが
合成され、出力電圧の波形が図3(b)に示すようにプ
ラス側とマイナス側に振れる形になっている。一方、水
平取付の場合には、永久磁石5がx方向へ移動しても、
温度補償パターン11のパターン線の長手方向に磁界を
受けるから、温度補償パターン11の抵抗変化はないた
め、図4(b)に示すように、感磁パターン10のみの
抵抗変化の出力電圧の波形となっている。
説明する。一般的に、磁気センサーの取付方法として、
図3(a)と図4(a)に示す2種類の方法がある。図
3(a)に示すように、基板を立てて設置する垂直取付
と、図4(a)に示すように、基板を寝かして設置する
水平取付である。出力電圧の波形が異なるのは、垂直取
付の場合には、永久磁石5がx方向へ移動すると、温度
補償パターン11にもパターン線の長手方向に対して直
角に磁界を受けるため、感磁パターン10の抵抗変化と
温度補償パターン11の抵抗変化とが起こり、それらが
合成され、出力電圧の波形が図3(b)に示すようにプ
ラス側とマイナス側に振れる形になっている。一方、水
平取付の場合には、永久磁石5がx方向へ移動しても、
温度補償パターン11のパターン線の長手方向に磁界を
受けるから、温度補償パターン11の抵抗変化はないた
め、図4(b)に示すように、感磁パターン10のみの
抵抗変化の出力電圧の波形となっている。
【0023】上記2種類の取付方法において、パイロッ
ト形切換弁の弁位置検出スイッチとして、磁気センサー
を用いる場合には、永久磁石の移動範囲が非常に小さい
ので、スイッチ出力として使用できる電圧範囲は、磁石
の移動範囲と出力電圧がリニアに対応している範囲、す
なわち、図3(b)あるいは図4(b)に示す使用電圧
範囲V1 あるいはV2 となり、どちらもほぼ同じ範囲で
ある。この使用電圧範囲内において、基準電圧値が入力
されると、検出回路内に備えたトランジスタを駆動させ
て、パルス状の波形を出力させることで、スイッチ出力
の検出をすることができる。図3(b)あるいは図4
(b)に示す使用電圧範囲V1 またはV2では、1点ま
たは2点を出力することができる。
ト形切換弁の弁位置検出スイッチとして、磁気センサー
を用いる場合には、永久磁石の移動範囲が非常に小さい
ので、スイッチ出力として使用できる電圧範囲は、磁石
の移動範囲と出力電圧がリニアに対応している範囲、す
なわち、図3(b)あるいは図4(b)に示す使用電圧
範囲V1 あるいはV2 となり、どちらもほぼ同じ範囲で
ある。この使用電圧範囲内において、基準電圧値が入力
されると、検出回路内に備えたトランジスタを駆動させ
て、パルス状の波形を出力させることで、スイッチ出力
の検出をすることができる。図3(b)あるいは図4
(b)に示す使用電圧範囲V1 またはV2では、1点ま
たは2点を出力することができる。
【0024】しかし、磁気センサーをパイロット形切換
弁の弁位置検出スイッチとして使用する場合には、4ポ
ート3位置弁等には対応することができない。すなわ
ち、4ポート3位置弁の弁位置を検出するためには、ス
イッチ出力が3点必要になるが、現状の使用電圧範囲で
は、磁気抵抗素子のヒステリシス及び出力電圧のヒステ
リシス等により、スイッチ出力を3点、すなわち基準電
圧値を3点取ると、隣のスイッチ出力の範囲と重なる可
能性が高いためである。
弁の弁位置検出スイッチとして使用する場合には、4ポ
ート3位置弁等には対応することができない。すなわ
ち、4ポート3位置弁の弁位置を検出するためには、ス
イッチ出力が3点必要になるが、現状の使用電圧範囲で
は、磁気抵抗素子のヒステリシス及び出力電圧のヒステ
リシス等により、スイッチ出力を3点、すなわち基準電
圧値を3点取ると、隣のスイッチ出力の範囲と重なる可
能性が高いためである。
【0025】そこで、磁気センサー7の取付方法と、永
久磁石5の摺動範囲を限定することで、出力電圧がリニ
アに出力される使用電圧範囲Vを、図6に示すように、
従来の使用電圧範囲の2〜3倍とすることができる。従
って、基準電圧値すなわちスイッチ出力を3点まで確実
に取ることができる。なお、永久磁石5の摺動範囲は、
磁気抵抗素子のパターン幅及び永久磁石の全長と直径の
組合せを変えることにより、任意に変化させることがで
きるので、いろいろな大きさのパイロット形切換弁に対
応することができる。また、図7に示すスイッチ回路に
より、磁気センサー7の内部抵抗を検出して、抵抗値を
電圧値に変換し、さらにスイッチ出力として外部に信号
を出力している。この回路構成は、一般的にシリンダス
イッチに使用されているものと同じであり、出力を1点
増やした回路になっており、各3点の出力信号に対応し
て、発光ダイオードが発光するように回路内に組み込ま
れている。
久磁石5の摺動範囲を限定することで、出力電圧がリニ
アに出力される使用電圧範囲Vを、図6に示すように、
従来の使用電圧範囲の2〜3倍とすることができる。従
って、基準電圧値すなわちスイッチ出力を3点まで確実
に取ることができる。なお、永久磁石5の摺動範囲は、
磁気抵抗素子のパターン幅及び永久磁石の全長と直径の
組合せを変えることにより、任意に変化させることがで
きるので、いろいろな大きさのパイロット形切換弁に対
応することができる。また、図7に示すスイッチ回路に
より、磁気センサー7の内部抵抗を検出して、抵抗値を
電圧値に変換し、さらにスイッチ出力として外部に信号
を出力している。この回路構成は、一般的にシリンダス
イッチに使用されているものと同じであり、出力を1点
増やした回路になっており、各3点の出力信号に対応し
て、発光ダイオードが発光するように回路内に組み込ま
れている。
【0026】本実施例での磁気センサー7と永久磁石5
の取付位置の関係とそのときの出力電圧について、図6
を用いて説明する。まず、図6(a)に示すように、給
気ポートPと出力ポートB、出力ポートAと排気ポート
Rが連通している状態(以下、「第1位置」という。)
では、磁気センサー7と永久磁石4が一番離れた状態に
なり、出力電圧値はaとなる。次に、図6(c)に示す
ように、給気ポートPと出力ポートA、出力ポートBと
排気ポートRが連通している状態(以下、「第3位置」
という。)では、磁気センサー7と永久磁石4が一番近
づいた状態になり、出力電圧値はcとなる。最後に、図
6(b)に示すように、前記した2つの状態の中間に位
置する場合、すなわち、オールポートブロック状態(以
下、「第2位置」という。)では、出力電圧値はbとな
る。出力電圧値aは最小値付近(マイナスの値)、出力
電圧値bはゼロ付近、出力電圧値cは最大値付近(プラ
スの値)となるから、それぞれの点での電圧差は、従来
より使用されている位置検出スイッチにおける出力電圧
差と同等以上である。従って、各電圧値a,b,cでス
イッチ出力を取っても、各点のスイッチ出力の範囲が重
なることはないので、確実に3点のスイッチ出力を取る
ことが可能となる。これら電圧値a,b,cは、図7に
示すスイッチ主回路23内に備わる可変抵抗により調整
することができる。
の取付位置の関係とそのときの出力電圧について、図6
を用いて説明する。まず、図6(a)に示すように、給
気ポートPと出力ポートB、出力ポートAと排気ポート
Rが連通している状態(以下、「第1位置」という。)
では、磁気センサー7と永久磁石4が一番離れた状態に
なり、出力電圧値はaとなる。次に、図6(c)に示す
ように、給気ポートPと出力ポートA、出力ポートBと
排気ポートRが連通している状態(以下、「第3位置」
という。)では、磁気センサー7と永久磁石4が一番近
づいた状態になり、出力電圧値はcとなる。最後に、図
6(b)に示すように、前記した2つの状態の中間に位
置する場合、すなわち、オールポートブロック状態(以
下、「第2位置」という。)では、出力電圧値はbとな
る。出力電圧値aは最小値付近(マイナスの値)、出力
電圧値bはゼロ付近、出力電圧値cは最大値付近(プラ
スの値)となるから、それぞれの点での電圧差は、従来
より使用されている位置検出スイッチにおける出力電圧
差と同等以上である。従って、各電圧値a,b,cでス
イッチ出力を取っても、各点のスイッチ出力の範囲が重
なることはないので、確実に3点のスイッチ出力を取る
ことが可能となる。これら電圧値a,b,cは、図7に
示すスイッチ主回路23内に備わる可変抵抗により調整
することができる。
【0027】以上説明した第1の実施の形態であるパイ
ロット形切換弁の弁位置検出スイッチの作用について説
明する。まず、第1位置では、磁気センサー7に備わる
感磁パターン10の内部抵抗値の減少が少なく、温度補
償パターン11の内部抵抗値の減少が大きいので、出力
電圧値が最小で電圧値aとなる。この電圧値aによりト
ランジスタ22が駆動され、スイッチ出力Aが出力され
るので、主弁3が第1位置にあることを検出することが
できる。
ロット形切換弁の弁位置検出スイッチの作用について説
明する。まず、第1位置では、磁気センサー7に備わる
感磁パターン10の内部抵抗値の減少が少なく、温度補
償パターン11の内部抵抗値の減少が大きいので、出力
電圧値が最小で電圧値aとなる。この電圧値aによりト
ランジスタ22が駆動され、スイッチ出力Aが出力され
るので、主弁3が第1位置にあることを検出することが
できる。
【0028】次に、第2位置においては、永久磁石5が
図6中X方向に移動するから、磁気センサー7に近づい
ていく。すると、磁気センサー7に備わる感磁パターン
10の内部抵抗値が減少し、温度補償パターン11の内
部抵抗値が増加するから、出力電圧値は増加していく。
そして、第2位置で出力電圧値がbとなる。この電圧値
bによりトランジスタ21が駆動され、スイッチ出力B
が出力されるので、主弁体3が第2位置にあることを検
出することができる。
図6中X方向に移動するから、磁気センサー7に近づい
ていく。すると、磁気センサー7に備わる感磁パターン
10の内部抵抗値が減少し、温度補償パターン11の内
部抵抗値が増加するから、出力電圧値は増加していく。
そして、第2位置で出力電圧値がbとなる。この電圧値
bによりトランジスタ21が駆動され、スイッチ出力B
が出力されるので、主弁体3が第2位置にあることを検
出することができる。
【0029】最後に、第3位置においては、永久磁石5
がさらに図6中X方向へ移動、磁気センサー7に近づい
ていく。すると、磁気センサー7に備わる感磁パターン
10の内部抵抗値がさらに減少するから、出力電圧値は
さらに増加していく。そして、第3位置で出力電圧値が
cとなる。この電圧値cによりトランジスタ20が駆動
され、スイッチ出力Cが出力されるので、主弁体3が第
3位置にあることを検出することができる。
がさらに図6中X方向へ移動、磁気センサー7に近づい
ていく。すると、磁気センサー7に備わる感磁パターン
10の内部抵抗値がさらに減少するから、出力電圧値は
さらに増加していく。そして、第3位置で出力電圧値が
cとなる。この電圧値cによりトランジスタ20が駆動
され、スイッチ出力Cが出力されるので、主弁体3が第
3位置にあることを検出することができる。
【0030】さらに、図7に示すように、スイッチ回路
25に各スイッチ出力信号により、発光ダイオードを発
光させる回路を形成しているので、主弁体3が各位置に
ある時に発光ダイオードが発光して、主弁体3の位置を
検出することができる。例えば、各位置に対応して、発
光ダイオードの発光色を変えれば、主弁体の位置検出を
目視にて行なうことが可能となる。
25に各スイッチ出力信号により、発光ダイオードを発
光させる回路を形成しているので、主弁体3が各位置に
ある時に発光ダイオードが発光して、主弁体3の位置を
検出することができる。例えば、各位置に対応して、発
光ダイオードの発光色を変えれば、主弁体の位置検出を
目視にて行なうことが可能となる。
【0031】以上説明した通り第1の実施の形態に係る
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁によれば、磁
気センサーを用いているので、パイロット形切換弁の使
用圧力や使用流量に関係なく、主弁体の位置検出をする
ことができる。また、流体流路に余分な回路を必要とし
ないので小型化を図ることができる。
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁によれば、磁
気センサーを用いているので、パイロット形切換弁の使
用圧力や使用流量に関係なく、主弁体の位置検出をする
ことができる。また、流体流路に余分な回路を必要とし
ないので小型化を図ることができる。
【0032】また、磁気センサーの取付方法と取付位置
を限定することにより、主弁体の位置検出点を3点取る
ことができる。さらに、発光ダイオードを用いてランプ
表示することにより、電気信号に加えて、目視のみでも
確実に主弁体の位置検出を行なうことができる。
を限定することにより、主弁体の位置検出点を3点取る
ことができる。さらに、発光ダイオードを用いてランプ
表示することにより、電気信号に加えて、目視のみでも
確実に主弁体の位置検出を行なうことができる。
【0033】続いて、第2の実施の形態に係る弁位置検
出スイッチ付パイロット形切換弁について、図8,9を
用いて説明する。図8は本実施の形態に係る弁位置検出
スイッチの正面図、図9は同側面図である。ここで、第
1の実施の形態の弁位置検出スイッチは、例えば10m
m幅の小型電磁弁にも装着することが可能であるが、弁
位置検出スイッチを装着した小型の切換弁をマニホール
ド化して使用する場合に、隣接する切換弁に装着され永
久磁石が発生する磁界の影響を受けて、磁気センサーが
誤作動することがある。例えば、図8において、遮磁板
26がないとして磁気センサー7bに着目すると、磁気
センサー7bは、永久磁石5bの磁界のみならず、永久
磁石5a,5cの磁界を受けることになり、磁気センサ
ー7bが誤作動する。
出スイッチ付パイロット形切換弁について、図8,9を
用いて説明する。図8は本実施の形態に係る弁位置検出
スイッチの正面図、図9は同側面図である。ここで、第
1の実施の形態の弁位置検出スイッチは、例えば10m
m幅の小型電磁弁にも装着することが可能であるが、弁
位置検出スイッチを装着した小型の切換弁をマニホール
ド化して使用する場合に、隣接する切換弁に装着され永
久磁石が発生する磁界の影響を受けて、磁気センサーが
誤作動することがある。例えば、図8において、遮磁板
26がないとして磁気センサー7bに着目すると、磁気
センサー7bは、永久磁石5bの磁界のみならず、永久
磁石5a,5cの磁界を受けることになり、磁気センサ
ー7bが誤作動する。
【0034】そこで、第2の実施の形態に係るパイロッ
ト形切換弁の弁位置検出スイッチでは、磁気センサー7
を磁性体の遮磁板26で覆設している。磁気センサーや
永久磁石の取付方法、取付位置は第1の実施の形態と同
様である。
ト形切換弁の弁位置検出スイッチでは、磁気センサー7
を磁性体の遮磁板26で覆設している。磁気センサーや
永久磁石の取付方法、取付位置は第1の実施の形態と同
様である。
【0035】よって、遮磁板26について、図8,9を
用いて説明する。遮磁板26は、図8に示すように、パ
イロット形切換弁の片側のみに取り付けられている。両
側に取り付けても構わないが、コストアップを伴い、し
かも片側取付けの場合と遮へい効果は同じなので、本実
施の形態では、片側のみに遮磁板を取り付けている。ま
た、遮磁板26の大きさは、図9に示すように、遮磁板
26の幅L1 、長さL3 は、永久磁石5の長さをL2 、
永久磁石5と磁気センサー7との取付ピッチ距離をL4
とすると、L1 /L2 >2,L3 /L4 >2の関係を満
たすように決定すれば、隣接する永久磁石が発生する磁
界の影響を無視することができる。また、遮磁板26の
厚さは、0.1mm以上あればよいから、鉄板等でなく
箔状のものを張り付けてもよい。
用いて説明する。遮磁板26は、図8に示すように、パ
イロット形切換弁の片側のみに取り付けられている。両
側に取り付けても構わないが、コストアップを伴い、し
かも片側取付けの場合と遮へい効果は同じなので、本実
施の形態では、片側のみに遮磁板を取り付けている。ま
た、遮磁板26の大きさは、図9に示すように、遮磁板
26の幅L1 、長さL3 は、永久磁石5の長さをL2 、
永久磁石5と磁気センサー7との取付ピッチ距離をL4
とすると、L1 /L2 >2,L3 /L4 >2の関係を満
たすように決定すれば、隣接する永久磁石が発生する磁
界の影響を無視することができる。また、遮磁板26の
厚さは、0.1mm以上あればよいから、鉄板等でなく
箔状のものを張り付けてもよい。
【0036】本実施の形態では、遮磁板として強磁性体
の鉄板を使用しているが、アモルファス金属板を使用す
ることも可能である。この場合でも、遮磁板の大きさは
上記した条件を満たしていればよい。
の鉄板を使用しているが、アモルファス金属板を使用す
ることも可能である。この場合でも、遮磁板の大きさは
上記した条件を満たしていればよい。
【0037】以上説明した通り第2の実施の形態に係る
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁によれば、遮
磁板を有しているので、パイロット形切換弁をマニホー
ルド化しても、隣接するパイロット形切換弁に装着され
た永久磁石が発生する磁界を遮へいしているので、各磁
気センサーが誤作動することなく、正確に主弁体の位置
を検出することができる。
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁によれば、遮
磁板を有しているので、パイロット形切換弁をマニホー
ルド化しても、隣接するパイロット形切換弁に装着され
た永久磁石が発生する磁界を遮へいしているので、各磁
気センサーが誤作動することなく、正確に主弁体の位置
を検出することができる。
【0038】以上本発明の実施の形態について説明した
が、本発明は上記実施の形態に限ることなく、色々な応
用が可能である。例えば、本実施の形態では磁気センサ
ーとして磁気抵抗素子を使用しているが、ホール素子等
を使用することもできる。
が、本発明は上記実施の形態に限ることなく、色々な応
用が可能である。例えば、本実施の形態では磁気センサ
ーとして磁気抵抗素子を使用しているが、ホール素子等
を使用することもできる。
【0039】
【発明の効果】本発明の弁位置検出スイッチ付パイロッ
ト形切換弁によれば、パイロット信号圧を制御するオペ
レータ弁と、前記パイロット信号圧で駆動される主弁体
と、該主弁体の位置を検出する弁位置検出スイッチとを
備える弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁におい
て、前記主弁体に接合されたピストンに永久磁石と、前
記ピストンが嵌入かつ摺動し、前記パイロット信号圧が
供給されるピストン室の外部に、前記永久磁石の移動に
より発生する磁気変化を検出する磁気センサーと、前記
磁気センサーの検出信号に基づいて、弁位置検出信号を
出力するスイッチ回路とを有するので、パイロット形切
換弁の使用圧力や使用流量に関係なく、主弁体の位置検
出をすることができ、流体流路に余分な回路を必要とし
ないので小型化を図ることができる。また、磁気センサ
ーの取付方法と取付位置を限定することにより、主弁体
の位置検出点を3点まで取ることができる。
ト形切換弁によれば、パイロット信号圧を制御するオペ
レータ弁と、前記パイロット信号圧で駆動される主弁体
と、該主弁体の位置を検出する弁位置検出スイッチとを
備える弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁におい
て、前記主弁体に接合されたピストンに永久磁石と、前
記ピストンが嵌入かつ摺動し、前記パイロット信号圧が
供給されるピストン室の外部に、前記永久磁石の移動に
より発生する磁気変化を検出する磁気センサーと、前記
磁気センサーの検出信号に基づいて、弁位置検出信号を
出力するスイッチ回路とを有するので、パイロット形切
換弁の使用圧力や使用流量に関係なく、主弁体の位置検
出をすることができ、流体流路に余分な回路を必要とし
ないので小型化を図ることができる。また、磁気センサ
ーの取付方法と取付位置を限定することにより、主弁体
の位置検出点を3点まで取ることができる。
【0040】さらに、遮磁板を有しているので、パイロ
ット形切換弁をマニホールド化しても、隣接するパイロ
ット形切換弁に装着された永久磁石が発生する磁界を遮
へいしているので、各磁気センサーが誤作動することな
く、正確に主弁体の位置を検出することができる。
ット形切換弁をマニホールド化しても、隣接するパイロ
ット形切換弁に装着された永久磁石が発生する磁界を遮
へいしているので、各磁気センサーが誤作動することな
く、正確に主弁体の位置を検出することができる。
【0041】また、発光ダイオードを用いてランプ表示
することにより、電気信号に加えて、目視のみでも確実
に主弁体の位置検出を行なうことができる。
することにより、電気信号に加えて、目視のみでも確実
に主弁体の位置検出を行なうことができる。
【図1】第1の実施の形態に係る弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁の断面図である。
パイロット形切換弁の断面図である。
【図2】第1の実施の形態に係る磁気センサーの構成を
示す概念図である。
示す概念図である。
【図3】(a)は磁気センサーの取付方法(垂直取付)
についての説明図、(b)は同取付状態での出力電圧を
示す図である。
についての説明図、(b)は同取付状態での出力電圧を
示す図である。
【図4】(a)は磁気センサーの取付方法(水平取付)
についての説明図、(b)は同取付状態での出力電圧を
示す図である。
についての説明図、(b)は同取付状態での出力電圧を
示す図である。
【図5】磁気センサーの抵抗変化を電圧値に変換する電
気回路の回路図である。
気回路の回路図である。
【図6】磁気センサーと永久磁石の各位置関係に対し
て、出力される出力電圧を示す図である。
て、出力される出力電圧を示す図である。
【図7】第1の実施の形態に係るスイッチ回路の回路図
である。
である。
【図8】第2の実施の形態に係る弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁の正面図である。
パイロット形切換弁の正面図である。
【図9】第2の実施の形態に係る弁位置検出スイッチ付
パイロット形切換弁の側面図である。
パイロット形切換弁の側面図である。
【図10】従来の圧力スイッチの一種であるインジケー
タ・ランプの断面図である。
タ・ランプの断面図である。
1 パイロット形切換弁 2 弁位置検出スイッチ 3 主弁体 4 ピストン 5 永久磁石 6 ピストン室 7 磁気センサー 25 スイッチ回路
Claims (4)
- 【請求項1】 パイロット信号圧を制御するオペレータ
弁と、前記パイロット信号圧で駆動される主弁体と、該
主弁体の位置を検出する弁位置検出スイッチとを備える
弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁において、 前記主弁体に接合されたピストンに永久磁石と、 前記ピストンが嵌入かつ摺動し、前記パイロット信号圧
が供給されるピストン室の外部に、前記永久磁石の移動
により発生する磁気変化を検出する磁気センサーと、 前記磁気センサーの検出信号に基づいて、弁位置検出信
号を出力するスイッチ回路と、を有することを特徴とす
る弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁。 - 【請求項2】 請求項1に記載する弁位置検出スイッチ
付パイロット形切換弁において、 前記磁気センサーが、基板上に磁性金属薄膜でつづら折
れ状の感磁パターンを形成する磁気抵抗素子であって、
前記永久磁石と略対向するように、前記基板を立てた状
態で設置され、 かつ、前記永久磁石の摺動範囲を、前記永久磁石が発生
する磁界が、前記感磁パターンに作用することにより、
前記磁気抵抗素子の抵抗値が略最小となる位置から略最
大となる位置までと制限することを特徴とする弁位置検
出スイッチ付パイロット形切換弁。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載する弁位
置検出スイッチ付パイロット形切換弁において、 前記磁気センサーを磁性体からなる遮磁板により覆設し
たことを特徴とする弁位置検出スイッチ付パイロット形
切換弁。 - 【請求項4】 請求項1または請求項2に記載する弁位
置検出スイッチ付パイロット形切換弁において、 前記出力回路から出力される信号と連動してランプ表示
を行なうことを特徴とする弁位置検出スイッチ付パイロ
ット形切換弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23022096A JPH1073181A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23022096A JPH1073181A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002239103A Division JP3805291B2 (ja) | 2002-08-20 | 2002-08-20 | 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1073181A true JPH1073181A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16904446
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23022096A Pending JPH1073181A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1073181A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001027357A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Smc Corp | 位置検出機能付き切換弁 |
JP2001027358A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Smc Corp | 位置検出機能付きパイロット式切換弁 |
JP2001027361A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Smc Corp | 位置検出機能付き切換弁 |
JP2002081568A (ja) * | 2000-09-05 | 2002-03-22 | Smc Corp | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ |
JP2002115776A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Smc Corp | 磁気センサー付き切換弁 |
JP2002213639A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Smc Corp | 磁気センサ付き電磁弁 |
JP2002213632A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Smc Corp | センサ付き電磁弁 |
JP2004135779A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Tokai Rika Co Ltd | バックル装置 |
CN100373080C (zh) * | 2005-01-31 | 2008-03-05 | Smc株式会社 | 带位置检测机构的转换阀 |
WO2017051584A1 (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | Kyb株式会社 | スプール弁位置検出装置 |
WO2021192981A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 金子産業株式会社 | 電磁弁 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP23022096A patent/JPH1073181A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001027358A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Smc Corp | 位置検出機能付きパイロット式切換弁 |
JP2001027361A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Smc Corp | 位置検出機能付き切換弁 |
JP2001027357A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-30 | Smc Corp | 位置検出機能付き切換弁 |
JP2002081568A (ja) * | 2000-09-05 | 2002-03-22 | Smc Corp | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ |
KR100415781B1 (ko) * | 2000-10-06 | 2004-01-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 자기센서가 부착된 전환밸브 |
JP2002115776A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Smc Corp | 磁気センサー付き切換弁 |
KR100433920B1 (ko) * | 2001-01-15 | 2004-06-04 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 자기센서가 부착된 전자밸브 |
JP2002213639A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Smc Corp | 磁気センサ付き電磁弁 |
JP2002213632A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Smc Corp | センサ付き電磁弁 |
JP2004135779A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Tokai Rika Co Ltd | バックル装置 |
CN100373080C (zh) * | 2005-01-31 | 2008-03-05 | Smc株式会社 | 带位置检测机构的转换阀 |
WO2017051584A1 (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | Kyb株式会社 | スプール弁位置検出装置 |
WO2021192981A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 金子産業株式会社 | 電磁弁 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6175233B1 (en) | Two axis position sensor using sloped magnets to generate a variable magnetic field and hall effect sensors to detect the variable magnetic field | |
US7193412B2 (en) | Target activated sensor | |
JPH1073181A (ja) | 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 | |
JP3696075B2 (ja) | 磁気センサー付き切換弁 | |
EP1696213A2 (en) | Compact single magnet linear position sensor | |
JPH09231889A (ja) | 位置検出センサ | |
US4161685A (en) | Solid state proximity switch | |
JP3805291B2 (ja) | 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁 | |
WO1997016736A2 (en) | A two axes linear position sensor | |
JP2857335B2 (ja) | ピストン位置検出装置 | |
JPH01186726A (ja) | 磁気近接センサ | |
CN1162972C (zh) | 一种霍尔接近开关 | |
JP2781526B2 (ja) | エアーオペレートバルブ | |
JPH0612484Y2 (ja) | ピストン位置検知装置 | |
JPH09294060A (ja) | 無接点型磁気スイッチ | |
US7242181B2 (en) | Arrangement for determining position of a sensor in a magnetic field | |
JP3100331B2 (ja) | 圧力スイッチ | |
JP4007956B2 (ja) | 検出スイッチ | |
CN2562500Y (zh) | 一种霍尔接近开关 | |
KR20120044942A (ko) | 압력 스위치 | |
JPH02194301A (ja) | 流体圧シリンダのピストン位置検知方法 | |
JP2005291387A (ja) | 移動する磁気物体の検知方法および装置 | |
JP2566121B2 (ja) | ピストン位置検出装置 | |
JP2020122721A (ja) | ポジションセンサ | |
JPH06213369A (ja) | 多連方向切換弁の切換位置検出装置 |