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JPH10150069A - 半導体パッケージ及びその製造方法 - Google Patents

半導体パッケージ及びその製造方法

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Publication number
JPH10150069A
JPH10150069A JP8309836A JP30983696A JPH10150069A JP H10150069 A JPH10150069 A JP H10150069A JP 8309836 A JP8309836 A JP 8309836A JP 30983696 A JP30983696 A JP 30983696A JP H10150069 A JPH10150069 A JP H10150069A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
lead
package
package substrate
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8309836A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Matsuura
雅夫 松浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP8309836A priority Critical patent/JPH10150069A/ja
Priority to US08/974,348 priority patent/US6225686B1/en
Publication of JPH10150069A publication Critical patent/JPH10150069A/ja
Priority to US09/817,734 priority patent/US20020121708A1/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パッケージ基板と半導体チップを結合した半
導体パッケージの小型・薄型化を図る。 【解決手段】 チップ周縁部に複数の電極パッドを有す
る半導体チップ3と、枠型の形状をなし、該枠内に半導
体チップ3を収容するとともに、電極パッドの各々に対
応した複数の電極部6aを有するパッケージ基板2と、
半導体チップ3の電極パッドとこれに対応するパッケー
ジ基板2の電極部6aとをそれぞれ接続するリード端子
4と、半導体チップ3を封止する封止樹脂5とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージ基板と
半導体チップとを結合した構造の半導体パッケージとそ
の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、ベアチップ技術を採用した半導
体パッケージの構造として、ベア(裸)の半導体チップ
をそのまま配線基板の上に実装したCOX(Chip On X)
構造が知られている。また、COX構造の中には、フリ
ップチップボンディング技術を基本にしたものと、ワイ
ヤボンディング技術を基本にしたものがある。
【0003】図16はフリップチップボンディング技術
を基本とした半導体パッケージの従来構造を示すもの
で、図中(a)はその断面図、(b)はその平面図であ
る。図示した半導体パッケージにおいては、ベースとな
るパッケージ基板50上にフェースダウンにて半導体チ
ップ51が搭載されている。半導体チップ51の表面
(図中下面)にはチップ電極としてのバンプ52が形成
されており、このバンプ52を介して半導体チップ51
とパッケージ基板50とが電気的且つ機械的に接続され
ている。また、パッケージ基板50のチップ実装面(図
中上面)には配線パターン53が形成され、さらにその
パターン終端部に埋め込みスルーホール電極54が形成
されている。このパッケージ構造においては、半導体チ
ップ51のサイズが異なる場合でも、それぞれのチップ
サイズに対応して配線パターン53を形成することによ
り、同一サイズのパッケージ基板50で対応できるよう
になっている。
【0004】図17はワイヤボンディング技術を基本と
した半導体パッケージの従来構造を示す断面図である。
図示した半導体パッケージにおいては、ベースとなるパ
ッケージ基板60上にフェースアップにて半導体チップ
61が搭載されている。半導体チップ61の表面(図中
上面)には図示せぬチップ電極が形成されており、この
チップ電極が金線等のワイヤ62を介してパッケージ基
板60の埋め込みスルーホール電極63に電気的に接続
されている。このパッケージ構造においては、半導体チ
ップ61のサイズが異なる場合でも、それぞれのチップ
サイズに対応してワイヤボンディングを行うことによ
り、同一サイズのパッケージ基板60で対応できるよう
になっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の半導体パッケージには以下のような問題があった。先
ず、図16に示す半導体パッケージの場合は、半導体チ
ップ51のサイズによって電極位置(バンプ位置)が異
なることから、同じ電極数の半導体チップ51を搭載す
る場合、例えば図18(a)に示すように先程よりもサ
イズが小さい半導体チップ51を搭載する場合には、そ
れに対応した配線パターン53を有するパッケージ基板
50を用意する必要があった。したがって、同じ電極数
の半導体チップ51であっても、チップサイズ毎に専用
のパッケージ基板50を取り揃える必要があり、このこ
とが部品の標準化を図るうえで大きな障害になってい
た。
【0006】また、図17に示す半導体パッケージの場
合は、適正なワイヤボンド品質を確保するうえで必要と
されるボンディング長さ、すなわちチップ側ボンディン
グ位置と基板側ボンディング位置との水平距離BLに一
定の許容範囲があるため、この許容範囲を超えた場合、
例えば図18(b)に示すようにチップサイズに対して
ボンディング長さBLが短すぎた場合は、チップエッジ
にワイヤ63が接触してショート不良を招いたり、逆に
長すぎた場合はワイヤ62が垂れてしまうなどの不具合
を招くことになる。こうしたことから、同一サイズのパ
ッケージ基板60に搭載できるチップサイズには制限が
あった。さらに、図18(c)に示すように収縮率の大
きいインナーコート剤64を塗布すると、インナーコー
ト剤64が硬化する際の収縮でワイヤ62が大きく変形
してしまうため、材料選択にも制約があった。
【0007】加えて、図16及び図17に示す半導体パ
ッケージでは、いずれもパッケージ基板50,60の上
に半導体チップ51,61を搭載した構造であるため、
それぞれの部品の厚さが加算されることでパッケージ全
体が厚くなってしまい、今後要求される小型・薄型化に
十分に対応できるものではなかった。
【0008】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、第1の目的は、半導体パッケージの小型・
薄型化を図ることにあり、第2の目的は、パッケージ基
板の標準化を図ることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体パッ
ケージは、チップ周縁部に複数の電極パッドを有する半
導体チップと、枠型の形状をなし、該枠内に半導体チッ
プを収容するとともに、電極パッドの各々に対応した複
数の電極部を有するパッケージ基板と、半導体チップの
電極パッドとこれに対応するパッケージ基板の電極部と
をそれぞれ接続するリード端子と、半導体チップを封止
する封止樹脂とを備える。
【0010】上記半導体パッケージにおいては、枠型の
パッケージ基板に対し、その枠内に半導体チップを収容
した構造となっているため、従来よりも半導体チップの
厚さ相当分だけパッケージ全体の厚さを薄くすることが
可能となる。
【0011】本発明に係る半導体パッケージの製造方法
は、チップ周縁部に複数の電極パッドを有する半導体チ
ップに対し、そのチップサイズに応じたリード接続角度
をもって各々の電極パッドにリード端子を接続する第1
のリード接続工程と、半導体チップを収容可能な枠型の
パッケージ基板の電極形成位置に応じてリード端子を所
定の長さに切断するリード切断工程と、パッケージ基板
に半導体チップを収容した状態でリード端子の切断部を
パッケージ基板の電極部に接続する第2のリード接続工
程と、パッケージ基板に収容された半導体チップを封止
樹脂にて封止する樹脂封止工程とを有する。
【0012】上記半導体パッケージの製造方法において
は、先ず、第1のリード接続工程で半導体チップのサイ
ズに応じたリード接続角度をもって各々の電極パッドに
リード端子を接続し、さらにその後のリード切断工程で
はパッケージ基板の電極形成位置に応じてリード端子を
所定の長さに切断するようにしたので、各種のチップサ
イズごとに第1のリード接続工程でのリード接続角度と
リード切断工程でのリード切断長さを変更するだけで、
サイズの異なる半導体チップを何ら不都合なく共通のパ
ッケージ基板に組み込むことが可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本発明に係
る半導体パッケージの一実施形態を示す断面図である。
図1に示す本実施形態の半導体パッケージ1は、主とし
て、ベースとなるパッケージ基板2と、能動素子となる
半導体チップ3と、これらを電気的に接続する複数本の
リード端子4と、半導体チップ3を封止する封止樹脂5
とから構成されている。
【0014】パッケージ基板2は、半導体チップ3の外
形に倣って四角い枠型の形状をなすもので、その枠内に
半導体チップ3を収容し得るように枠内寸法が半導体チ
ップ3の外形寸法よりも大きく設定されている。またパ
ッケージ基板2には、最終パッケージの端子となる位置
に、例えば埋め込みスルーホール6が設けられ、その一
端部をリード接続用の電極部6aとし、その他端部を外
部接続用の電極部6bとしている。ちなみに、基板材料
としては、ガラスエポキシ等の有機系基材やセラミック
等の無機系基材など、いずれを採用してもかまわない。
【0015】半導体チップ3は、そのチップ周縁部に複
数の電極パッド(不図示)を有するもので、これは上述
したパッケージ基板2の枠内に収容されている。また、
半導体チップ3の電極パッドは、パッケージ基板2の電
極部6aとほぼ同じ高さに配置され、この状態でチップ
裏面(非回路形成面)がパッケージ基板2の外部接続用
電極部6bよりも内側に凹んだ状態に配置されている。
【0016】リード端子4は、パッケージ基板2と半導
体チップ3との間に架け渡されており、その一端がバン
プ7を介して半導体チップ2の電極パッド(不図示)に
接続され、その他端が例えば半田ペースト、銀ペースト
等からなる接合材料8によりパッケージ基板2の電極部
6aに接続されている。
【0017】封止樹脂5は、例えばエポキシ系樹脂、シ
リコーン系樹脂からなるもので、パッケージ基板2及び
半導体チップ3に対するリード端子4の各接続箇所を含
むようにして半導体チップ3の周囲に充填されている。
また、半導体チップ3の上面側には、リード端子4を介
して厚さ数十μm程度の封止板9が積層されている。こ
の封止板9は、半導体チップ3を封止樹脂5にて封止す
るにあたり、パッケージ外部への樹脂漏れを防止するた
めのものである。
【0018】上記構成からなる半導体パッケージ1にお
いては、ベースとなるパッケージ基板2を枠型とし、そ
の枠内に半導体チップ3を収容した構造を採用している
ため、パッケージ全体の厚さに半導体チップ3の厚さが
加算されることがない。これにより、パッケージ全体の
厚さをパッケージ基板2の厚さと同等レベルに抑えるこ
とが可能となるため、従来構造よりもチップ厚相当分だ
けパッケージ厚を薄くすることができる。また、リード
端子4は金線等のワイヤよりも機械的強度(剛性等)が
高いため、封止材等の材料選択の自由度もきわめて高い
ものとなる。
【0019】続いて、本発明に係る半導体パッケージの
製造方法について説明する。このパッケージ製造に際し
ては、先ず、図2(a)に示すような端子アレイ10を
用意する。この端子アレイ10は、銅又は銅合金をベー
ス素材としたもので、所定の本数、例えばパッケージ一
個分に相当する本数のリード端子4を長尺状の連結片1
1にて一体に連結した構造となっている。各々のリード
端子4は、連結片11の長手方向に一定のピッチで並ん
でおり、連結片11との連結部分には図2(b)に示す
ような切り離し用のノッチ12が設けられている。ま
た、各リード端子4の先端部には、図2(c)に示すよ
うに、アルミニウムからなるバンプ7が設けられてい
る。
【0020】さらに各リード端子4の先端側には、バン
プ7の近傍に位置して細線化加工部13が設けられてい
る。この細線化加工部13は、最終パッケージの形態で
電極パッドに対するバンプ7の接続強度を劣化させない
ために、端子幅を部分的に狭くしたもので、この細線化
加工部13により熱ストレスを吸収し且つ封止樹脂5と
の引っ掛かり部分としてアンカー効果を発揮し得る構成
となっている。また、リード端子4の先端部分について
は、半導体チップ3へのリード接続に際してチップエッ
ジとの接触を回避するため、所定の段差を設けている。
【0021】なお、端子アレイ10の構成としては、図
3に示すように、各々のリード端子4の先端側に、微細
加工部13としての長孔を設けるようにしてもよい。
【0022】上述した構造の端子アレイ10を用意した
ら、これに連結してある各々のリード端子4を図4
(a)に示すベアの半導体チップ3に接続する。この半
導体チップ3の周縁部には所定のピッチで複数の電極パ
ッド(アルミニウムパッド)14が設けられているた
め、これらの電極パッド14に端子アレイ10のリード
端子4を1本ずつ接続し、これによって図4(b)のよ
うな状態とする。
【0023】ここで、半導体チップ3にリード端子4を
接続するにあたって、本実施形態では図5及び図6に示
すようなリード接続装置を新規に採用した。図示したリ
ード接続装置は、上述のごとく端子アレイ10に連結さ
れた各々のリード端子4を個片に分離するリード分離ユ
ニット15と、半導体チップ3を保持するボンディング
ステージ16と、分離ユニット15によって分離された
個々のリード端子4をボンディングステージ16に供給
するリード供給ユニット17と、リード接続用のボンデ
ィングツール18とから構成されている。
【0024】リード分離ユニット15は、複数段に積み
重ねてストックされた端子アレイ10を一個ずつピック
アップし、これを分離ステージ19上にプレイスするア
レイ移送コレット20と、分離ステージ19上にプレイ
スされた端子アレイ10からリード端子4を分離するた
めの折り曲げ治具21とを備えている。
【0025】ボンディングステージ16は、図示せぬス
テージ駆動系によって回転かつ水平移動可能に支持され
ている。またボンディングステージ16の中央には、半
導体チップ3を位置決め支持するための凹部22が設け
られ、この凹部22に連通するバキューム孔23を介し
て半導体チップ3を位置決め状態で真空吸着し得る構成
になっている。
【0026】リード供給ユニット17は、分離ステージ
19上で分離された各々のリード端子4を1本ずつピッ
クアップし、これをボンディングステージ16上にプレ
イスするリード移送コレット24を備えている。ボンデ
ィングツール18は、図示せぬツール駆動系によって昇
降可能に支持されており、リード接続に際しては、圧力
と熱さらには超音波振動を併用してリード端子4を1本
ずつ接続するものである。
【0027】次に、上記構成からなるリード接続装置の
動作手順について説明する。先ず、リード分離ユニット
15にストックされた複数の端子アレイ10の中から、
一番上に積載された端子アレイ10をアレイ移送コレッ
ト20でピックアップし、これを分離ステージ19上に
プレイスする。次いで、アレイ移送コレット20と分離
ステージ19とで端子アレイ10を押え込みながら、端
子アレイ10の連結片11の部分に折り曲げ治具21を
嵌め込む。そして、この状態から折り曲げ治具21を下
降させることにより、端子アレイ10のノッチ12部分
に剪断力を加え、これによって端子アレイ10から連結
片11を切り離し、各々のリード端子4を個片に分離す
る。
【0028】こうしてリード端子4を分離した後は、次
の端子アレイ10をピックアップするためにアレイ移送
コレット20が元の位置に戻る。一方、個々のリード端
子4を載せた分離ステージ19は一旦前進し、さらにそ
こから横方向に移動して、最端に載せられたリード端子
4をリード移送コレット24の真下に配置する。その
間、ボンディングステージ19側では、接続対象となる
半導体チップ3を凹部22内に位置決め固定し、待機状
態となっている。
【0029】続いて、リード移送コレット24が下降し
て最端のリード端子4をピックアップし、これをボンデ
ィングステージ19にプレイスする。このとき、リード
端子4の先端部は半導体チップ3の電極パッド14上に
重ねられる。次いで、ボンディングツール18が下降し
てリード端子4の上面に圧接し、その圧接部分に超音波
振動を加えつつ、リード端子4の先端部をバンプ7を介
して電極パッド14に接続する。
【0030】こうして最初のリード端子4の接続を終え
ると、リード移送コレット24は分離ステージ19まで
戻る。このとき、リード移送コレット24の真下には、
リード配列ピッチに応じた分離ステージ24の横移動に
よって次のリード端子4が配置される。そのためリード
移送コレット24は、その真下にあるリード端子4をピ
ックアップして再びボンディングステージ19に供給す
る。その間、ボンディングステージ19側では、ステー
ジ駆動系によってステージ回転動作とステージ水平移動
動作とがなされ、次に接続すべき電極パッド14がボン
ディングツール18の真下に配置される。以後、同様の
手順で各々のリード端子4が順次電極パッド14に接続
されることになる。
【0031】その際、各々のリード端子4は、半導体チ
ップ3のサイズに応じたリード接続角度をもって電極パ
ッド14に接続される。具体的には、図7に示すよう
に、半導体チップ3のサイズが大小異なる場合でも、そ
れぞれの電極パッド14とパッケージ基板2の電極部6
aとが同一線上に位置し且つその線上にリード端子4が
位置するように、ボンディングステージ19が回転動作
する。また、半導体チップ3の中心(ボンディングステ
ージ19の回転中心)から各々の電極パッド14までの
水平距離は、半導体チップ3の各辺に配列されている電
極パッド14のうち、中央部が最も短く、コーナー部に
近づくにつれて徐々に長くなるため、それらの距離の差
を打ち消すようにボンディングステージ19が水平移動
する。
【0032】ちなみに、ボンディングステージ19の回
転動作及び水平移動を制御するために必要となる制御用
データについては予めリード接続装置の制御系に記憶さ
せておく。この制御用データは、パッケージ基板2の電
極部6aの座標(位置データ)を基準(一定)として、
各種のチップごとにチップ電極座標情報を記憶してお
き、実際に取り扱う半導体チップ3に対応した情報を選
択して接続角度を指定する。
【0033】こうして半導体チップ3の四辺にわたって
各々の電極パッド14にリード端子4を接続した段階で
は、図4(b)に示すように、半導体チップ3の周縁部
に複数本のリード端子4が放射状に配列された状態とな
る。この状態では各々のリード端子4の長さが最終パッ
ケージでの長さよりも長くなっている。そこでパッケー
ジ基板2の電極部6aの位置に応じて各々のリード端子
4を所定の長さに切断する。具体的には、パッケージ基
板2の電極部6aを結ぶ仮想結線L(図4,図7参照)
と同寸法で、半導体チップ3の周縁部から延出したリー
ド端子4をレーザカッター等により切断する。これによ
り、図8(a),(b)に示すように、半導体チップ3
の周縁部から延出した各リード端子4の切断部4aが直
線状に揃えられた状態となる。
【0034】ちなみに、リード端子4の切断に際して
は、半導体チップ3のサイズに関係なく、パッケージ基
板2の電極位置を基準に全て同じラインで切断されるこ
とから、図9(a),(b)に示すようにサイズが異な
る半導体チップ3同士で比較すると、チップサイズの大
きい方が最終のリード長さは短くなる。
【0035】続いて、図10に示すように、埋め込みス
ルーホールからなる複数の電極部6aを有する枠型のパ
ッケージ基板2に対し、その枠内にリード切断済の半導
体チップ3を収容する。このとき、パッケージ基板2の
電極部6aに予め半田ペースト等の接合材料を塗布して
おき、この接合材料を介して各々のリード端子4の端部
(切断部)とこれに対応するパッケージ基板2の電極部
6aとを重ね合わせ、この状態で加熱処理を行ってリー
ド端子4の端部を電極部6aに接続する。これにより、
図11(a),(b)に示すように、パッケージ基板2
と半導体チップ3とが複数本のリード端子4を介して電
気的且つ機械的に接続された状態となる。
【0036】その後、樹脂封止の前処理として、図12
(a),(b)に示すように、半導体チップ3の表面側
にリード端子4を介して封止板9を貼り付ける。次い
で、図13に示すように、パッケージ基板2を上下反転
し、先程の封止板9を底蓋として半導体チップ3の裏面
側からディスペンサ25により低粘度の封止樹脂5を注
入する。これにより、パッケージ基板2の枠内に封止樹
脂5が充填されるため、そこに収容された半導体チップ
3が封止樹脂5により封止された状態となる。あとは、
封止樹脂5を硬化させることで、図1に示した半導体パ
ッケージ1が得られる。
【0037】なお、上記実施形態においては、樹脂封止
に際して半導体チップ3の表面側に封止板9を貼り付け
るようにしたが、これ以外にも、例えば図14(a)に
示すように樹脂封止前のパッケージ組立品(図11参
照)をプラスチックケース26に入れ、そのケース内に
ディスペンサ25により封止樹脂5を注入することで半
導体チップ3を樹脂封止し、最終的には図14(b)に
示すようにプラスチップケース26付きの半導体パッケ
ージとしてもよい。
【0038】また、半導体パッケージの端子構造として
も、以下のような種々の形態を採用することができる。
すなわち、図15(a)に示すように、パッケージ基板
2に長寸のピン27を打ち込み、このピン27を外部接
続用の電極部として挿入実装型の半導体パッケージとす
ることができる。また、図15(b)に示すように、パ
ッケージ基板2に短寸のピン28を打ち込み、このピン
28を外部接続用の電極部として面実装型の半導体パッ
ケージとすることができる。さらに、図15(c),
(d)に示すように、プラスチックケース26や封止板
9を利用した封止構造において、埋め込みスルーホール
6の端部に半田ボール29を形成し、面実装型の半導体
パッケージとすることも可能である。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る半導体
パッケージによれば、パッケージ基板を枠型とし、その
枠内に半導体チップを収容した構成を採用しているた
め、従来よりも半導体チップの厚さ相当分だけパッケー
ジ厚を薄くすることができ、これによって半導体パッケ
ージの小型・薄型化を図ることが可能となる。
【0040】また、本発明に係る半導体パッケージの製
造方法によれば、半導体チップのサイズに応じたリード
接続角度をもって各々の電極パッドにリード端子を接続
し、さらにパッケージ基板の電極形成位置に応じてリー
ド端子を所定の長さに切断するため、各種のチップサイ
ズごとにリード接続角度とリード切断長さを変更するだ
けで、サイズの異なる半導体チップを何ら不都合なく共
通のパッケージ基板に組み込むことが可能となる。これ
により、パッケージ基板の標準化が図られるため、半導
体パッケージの製造コストを大幅に低減することが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体パッケージの一実施形態を
示す断面図である。
【図2】端子アレイの構造説明図である。
【図3】端子アレイの他の例を示す図である。
【図4】第1のリード接続工程を説明する図(その1)
である。
【図5】第1のリード接続工程で採用したリード接続装
置の概略側面図である。
【図6】第1のリード接続工程で採用したリード接続装
置の概略平面図である。
【図7】第1のリード接続工程を説明する図(その2)
である。
【図8】リード切断工程を説明する図である。
【図9】チップサイズによるリード長の違いを説明する
図である。
【図10】第2のリード接続工程を説明する図(その
1)である。
【図11】第2のリード接続工程を説明する図(その
2)である。
【図12】樹脂封止工程を説明する図(その1)であ
る。
【図13】樹脂封止工程を説明する図(その2)であ
る。
【図14】樹脂封止工程の他の例を説明する図である。
【図15】端子構造の具体例を説明する図である。
【図16】従来のパッケージ構造を説明する図である。
【図17】従来の他のパッケージ構造を説明する図であ
る。
【図18】従来の課題を説明する図である。
【符号の説明】
1 半導体パッケージ 2 パッケージ基板 3
半導体チップ 4 リード端子 5 封止樹脂 6a 電極部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チップ周縁部に複数の電極パッドを有す
    る半導体チップと、 枠型の形状をなし、該枠内に前記半導体チップを収容す
    るとともに、前記電極パッドの各々に対応した複数の電
    極部を有するパッケージ基板と、 前記半導体チップの電極パッドとこれに対応する前記パ
    ッケージ基板の電極部とをそれぞれ接続するリード端子
    と、 前記半導体チップを封止する封止樹脂とを備えたことを
    特徴とする半導体パッケージ。
  2. 【請求項2】 チップ周縁部に複数の電極パッドを有す
    る半導体チップに対し、そのチップサイズに応じたリー
    ド接続角度をもって各々の電極パッドにリード端子を接
    続する第1のリード接続工程と、 前記半導体チップを収容可能な枠型のパッケージ基板の
    電極形成位置に応じて前記リード端子を所定の長さに切
    断するリード切断工程と、 前記パッケージ基板に前記半導体チップを収容した状態
    で前記リード端子の切断部を前記パッケージ基板の電極
    部に接続する第2のリード接続工程と、 前記パッケージ基板に収容された半導体チップを封止樹
    脂にて封止する樹脂封止工程とを有することを特徴とす
    る半導体パッケージの製造方法。
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