JPH10154743A - ウェハー処理装置 - Google Patents
ウェハー処理装置Info
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- JPH10154743A JPH10154743A JP31178596A JP31178596A JPH10154743A JP H10154743 A JPH10154743 A JP H10154743A JP 31178596 A JP31178596 A JP 31178596A JP 31178596 A JP31178596 A JP 31178596A JP H10154743 A JPH10154743 A JP H10154743A
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- Japan
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- wafer
- station
- carrier
- processing
- processing stage
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理時間を短縮化してスループットの高いウ
ェハー処理装置を提供しようとする課題があった。 【解決手段】 キャリア３からの受け渡しを専用に行う
ステーションＡ９と、アライメントを専用に行うステー
ションＢ１０と、未処理ウェハーと処理済ウェハーを入
れ替えを専用に行うステーションＣ１１を配置し、各ス
テーション間のウェハー４の受け渡しを同一のタイミン
グで行うようにした。
ェハー処理装置を提供しようとする課題があった。 【解決手段】 キャリア３からの受け渡しを専用に行う
ステーションＡ９と、アライメントを専用に行うステー
ションＢ１０と、未処理ウェハーと処理済ウェハーを入
れ替えを専用に行うステーションＣ１１を配置し、各ス
テーション間のウェハー４の受け渡しを同一のタイミン
グで行うようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハー処理装置
に関し、さらに詳しくは、ウェハーの外形に形成したオ
リエンテーション・フラット（以下、「オリフラ」とい
う。）を基準面とし、このオリフラを基に位置合わせ
（以下、「アライメント」という。）するようにしたウ
ェハー処理装置に関する。
に関し、さらに詳しくは、ウェハーの外形に形成したオ
リエンテーション・フラット（以下、「オリフラ」とい
う。）を基準面とし、このオリフラを基に位置合わせ
（以下、「アライメント」という。）するようにしたウ
ェハー処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ウェハー処理装置におけるウェ
ハーの処理又は検査（以下、「処理」という。）の際の
搬送手順では、収納ケース（以下、「キャリア」とい
う。）からウェハーを取り出し、アライメント後にウェ
ハーを処理ステージに搬送し、処理終了後に再びキャリ
アに処理済のウェハーを収納する。この処理済のウェハ
ーの収納工程には、ウェハーを取り出したキャリアに再
び収納するか、又は収納専用のキャリアに収納するかの
二通りが知られている。最近では、装置のコンパクト化
のために、ウェハーを取り出したキャリアに再び収納す
る場合が多い。また、装置全体のスループット（単位時
間当たりの処理量）を向上させるために、処理と搬送系
を並列に動作させるようにしている。また、一般的に
は、二つのアームを有する搬送ロボットのいずれかのア
ーム上にある未アライメントのウェハーとアライメント
ステージ上のアライメント済のウェハーを入れ替える時
間と、アライメントをする時間との合計が、ウェハーの
搬送時間となる。ここで、キャリアからウェハーを取り
出す時間と、アライメント済のウェハーを処理ステージ
にセットする時間は、数枚目以降、アライメントと並列
搬送となるため、ウェハーの搬送時間としては考慮しな
くともよい。
ハーの処理又は検査（以下、「処理」という。）の際の
搬送手順では、収納ケース（以下、「キャリア」とい
う。）からウェハーを取り出し、アライメント後にウェ
ハーを処理ステージに搬送し、処理終了後に再びキャリ
アに処理済のウェハーを収納する。この処理済のウェハ
ーの収納工程には、ウェハーを取り出したキャリアに再
び収納するか、又は収納専用のキャリアに収納するかの
二通りが知られている。最近では、装置のコンパクト化
のために、ウェハーを取り出したキャリアに再び収納す
る場合が多い。また、装置全体のスループット（単位時
間当たりの処理量）を向上させるために、処理と搬送系
を並列に動作させるようにしている。また、一般的に
は、二つのアームを有する搬送ロボットのいずれかのア
ーム上にある未アライメントのウェハーとアライメント
ステージ上のアライメント済のウェハーを入れ替える時
間と、アライメントをする時間との合計が、ウェハーの
搬送時間となる。ここで、キャリアからウェハーを取り
出す時間と、アライメント済のウェハーを処理ステージ
にセットする時間は、数枚目以降、アライメントと並列
搬送となるため、ウェハーの搬送時間としては考慮しな
くともよい。
【０００３】また、ウェハー処理装置における従来のウ
ェハーアライメント方法としては、例えば、特開昭６３
−１５５６３４号公報、特開平１−２９６１７７号公報
に記載のものが知られている。前記特開昭６３−１５５
６３４号公報に記載のものは、ウェハーを回転させてア
ライメントをしつつ、ウェハーを移動して一定位置に搬
送する。即ち、収納ケースからウェハーを取り出し、搬
送ウェハーチャックにウェハーをセットし、ウェハーを
回転させてアライメントをする。そして、搬送ウェハー
チャックがウェハーを一定位置まで移動し、位置ズレを
修正する。その後、アームがウェハーを吸着して持ち上
げ、搬送ウェハーチャックは初期位置に戻る。なお、上
述の後段位置より受け渡しテーブルまでアームがウェハ
ーを搬送する場合には、数枚目以降は並列搬送となる。
前記特開平１−２９６１７７号公報に記載のものは、ウ
ェハー供給マガジンからウェハーを取り出し、第１ステ
ージすなわちアライメントステージ上にウェハーをセッ
トする。そして、ウェハーのアライメントを行い、第２
の搬送機構がアライメントステージよりウェハーを吸着
して持ち上げ、ウェハーをアライメントステージから処
理ステージまで搬送する。尚、アライメント後のステー
ジの移動は、数枚目以降並列搬送となる。
ェハーアライメント方法としては、例えば、特開昭６３
−１５５６３４号公報、特開平１−２９６１７７号公報
に記載のものが知られている。前記特開昭６３−１５５
６３４号公報に記載のものは、ウェハーを回転させてア
ライメントをしつつ、ウェハーを移動して一定位置に搬
送する。即ち、収納ケースからウェハーを取り出し、搬
送ウェハーチャックにウェハーをセットし、ウェハーを
回転させてアライメントをする。そして、搬送ウェハー
チャックがウェハーを一定位置まで移動し、位置ズレを
修正する。その後、アームがウェハーを吸着して持ち上
げ、搬送ウェハーチャックは初期位置に戻る。なお、上
述の後段位置より受け渡しテーブルまでアームがウェハ
ーを搬送する場合には、数枚目以降は並列搬送となる。
前記特開平１−２９６１７７号公報に記載のものは、ウ
ェハー供給マガジンからウェハーを取り出し、第１ステ
ージすなわちアライメントステージ上にウェハーをセッ
トする。そして、ウェハーのアライメントを行い、第２
の搬送機構がアライメントステージよりウェハーを吸着
して持ち上げ、ウェハーをアライメントステージから処
理ステージまで搬送する。尚、アライメント後のステー
ジの移動は、数枚目以降並列搬送となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭６３−１５５６３４号公報に記載のウェハーのアラ
イメント方法では、装置全体のスループット（単位時間
当たりの処理量）を向上させるために、アライメントと
搬送を並列処理を行っているにも係わらず、アームがウ
ェハーを吸着し持ち上げる時間だけ、一般的なものより
も処理時間が長くなってしまう問題がある。また、上記
特開平１−２９６１７７号公報に記載のウェハーのアラ
イメント方法では、一般的なものと略等しい処理時間が
掛かり、処理時間の短縮には向かない問題がある。従っ
て、処理時間を短縮化してスループットの高いのウェハ
ー処理装置を提供することを目的とする。
開昭６３−１５５６３４号公報に記載のウェハーのアラ
イメント方法では、装置全体のスループット（単位時間
当たりの処理量）を向上させるために、アライメントと
搬送を並列処理を行っているにも係わらず、アームがウ
ェハーを吸着し持ち上げる時間だけ、一般的なものより
も処理時間が長くなってしまう問題がある。また、上記
特開平１−２９６１７７号公報に記載のウェハーのアラ
イメント方法では、一般的なものと略等しい処理時間が
掛かり、処理時間の短縮には向かない問題がある。従っ
て、処理時間を短縮化してスループットの高いのウェハ
ー処理装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで本発明のウェハー
処理装置は、搬送部によって搬送されたウェハーを受け
取る第１のステーションと、前記ウェハーの位置決めを
行う第２のステーションと、前記ウェハーを処理ステー
ジに受け渡す第３のステーションと、前記ウェハーに対
し所定の処理を行う処理ステージとを設けた。また、実
質的に三角形状に配置された３つのステーションを有す
るウェハー処理装置であって、前記３つのステーション
はそれぞれ、搬送部によって搬送されたウェハーを受け
取る第１のステーションと、前記ウェハーの位置決めを
行う第２のステーションと、前記ウェハーを処理ステー
ジに受け渡す第３のステーションとを設けてもよい。な
お、第１のステーション、第２のステーション、第３の
ステーション及び処理ステージの間のウェハーの受け渡
しを同一タイミングで行うのが好ましい。
処理装置は、搬送部によって搬送されたウェハーを受け
取る第１のステーションと、前記ウェハーの位置決めを
行う第２のステーションと、前記ウェハーを処理ステー
ジに受け渡す第３のステーションと、前記ウェハーに対
し所定の処理を行う処理ステージとを設けた。また、実
質的に三角形状に配置された３つのステーションを有す
るウェハー処理装置であって、前記３つのステーション
はそれぞれ、搬送部によって搬送されたウェハーを受け
取る第１のステーションと、前記ウェハーの位置決めを
行う第２のステーションと、前記ウェハーを処理ステー
ジに受け渡す第３のステーションとを設けてもよい。な
お、第１のステーション、第２のステーション、第３の
ステーション及び処理ステージの間のウェハーの受け渡
しを同一タイミングで行うのが好ましい。
【０００６】また、キャリアに収納されたウェハーを順
次取り出して、ウェハーに検査等の処理を施す処理ステ
ージに搬送するとともに、ウェハーのオリエンテーショ
ン・フラットを基にアライメントを行って、前記処理ス
テージ上にオリエンテーション・フラットを基に位置決
めしてウェハーの処理を行い、処理済のウェハーを再び
キャリアに収納するようにしたウェハー処理装置におい
て、キャリアから搬送アームによって取り出されたウェ
ハーを受け取るキャリア用ステーションと、このキャリ
ア用ステーションから搬送されるウェハーのアライメン
トを行ってウェハーのオリエンテーション・フラットを
一定の位置に保ったままウェハーを搬送するアライメン
トステーションと、このアライメントステーションから
搬送されるウェハーを処理ステージに渡し、そこで処理
されたウェハーを受け取る処理ステージ用ステーション
とを三角形状に配置し、処理ステージで処理されたウェ
ハーを、前記処理ステージ用ステーションによって再び
キャリアに収納するものとし、各ステーション間のウェ
ハーの受け渡しを同一のタイミングで行うようにした。
なお、キャリアからウェハーを取り出してキャリア用ス
テーションに搬送する搬送アームと、処理ステージ用ス
テーション及び処理ステージの間のウェハーの受け渡し
をする搬送手段とを、各ステーション間のウェハーの受
け渡しと連動させて動作させるものとする。
次取り出して、ウェハーに検査等の処理を施す処理ステ
ージに搬送するとともに、ウェハーのオリエンテーショ
ン・フラットを基にアライメントを行って、前記処理ス
テージ上にオリエンテーション・フラットを基に位置決
めしてウェハーの処理を行い、処理済のウェハーを再び
キャリアに収納するようにしたウェハー処理装置におい
て、キャリアから搬送アームによって取り出されたウェ
ハーを受け取るキャリア用ステーションと、このキャリ
ア用ステーションから搬送されるウェハーのアライメン
トを行ってウェハーのオリエンテーション・フラットを
一定の位置に保ったままウェハーを搬送するアライメン
トステーションと、このアライメントステーションから
搬送されるウェハーを処理ステージに渡し、そこで処理
されたウェハーを受け取る処理ステージ用ステーション
とを三角形状に配置し、処理ステージで処理されたウェ
ハーを、前記処理ステージ用ステーションによって再び
キャリアに収納するものとし、各ステーション間のウェ
ハーの受け渡しを同一のタイミングで行うようにした。
なお、キャリアからウェハーを取り出してキャリア用ス
テーションに搬送する搬送アームと、処理ステージ用ス
テーション及び処理ステージの間のウェハーの受け渡し
をする搬送手段とを、各ステーション間のウェハーの受
け渡しと連動させて動作させるものとする。
【０００７】また、キャリア用ステーションと、アライ
メントステーションと、処理ステージ用ステーションと
を正三角形状に配置するのが好ましい。各ステーション
の配置と同様の三角形状にウェハーを保持するプッシャ
ーを板上に配置し、この板の回転により各ステーション
間のウェハーの受け渡しを行うようにするのが好まし
い。
メントステーションと、処理ステージ用ステーションと
を正三角形状に配置するのが好ましい。各ステーション
の配置と同様の三角形状にウェハーを保持するプッシャ
ーを板上に配置し、この板の回転により各ステーション
間のウェハーの受け渡しを行うようにするのが好まし
い。
【０００８】さらに、キャリア用ステーションにてウェ
ハーの中心位置合わせを行い、アライメントステーショ
ンにてアライメントを行うようにしてもよい。また、キ
ャリア用ステーションにウェハーの表面を読み取る画像
読取手段を設け、この画像読取手段により読み取った画
像からウェハーの中心位置及びオリエンテーション・フ
ラットの位置の位置情報を算出し、アライメントステー
ションにて前記位置情報を基にアライメントを行うよう
にしてもよい。
ハーの中心位置合わせを行い、アライメントステーショ
ンにてアライメントを行うようにしてもよい。また、キ
ャリア用ステーションにウェハーの表面を読み取る画像
読取手段を設け、この画像読取手段により読み取った画
像からウェハーの中心位置及びオリエンテーション・フ
ラットの位置の位置情報を算出し、アライメントステー
ションにて前記位置情報を基にアライメントを行うよう
にしてもよい。
【０００９】一方、処理前のウェハーを収納するキャリ
アと処理済のウェハーを収納するキャリアとを一つの収
納キャリアにより構成するのが好ましい。
アと処理済のウェハーを収納するキャリアとを一つの収
納キャリアにより構成するのが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
の実施の形態を説明する。 第１の実施の形態 図１はウェハー処理装置の構造説明図、図２は図１のＺ
−Ｚ矢視図である。なお、図１はウェハー処理装置の平
面を表し、図２では処理ステージ、ＸＹステージ等を省
略して表すものとする。
の実施の形態を説明する。 第１の実施の形態 図１はウェハー処理装置の構造説明図、図２は図１のＺ
−Ｚ矢視図である。なお、図１はウェハー処理装置の平
面を表し、図２では処理ステージ、ＸＹステージ等を省
略して表すものとする。
【００１１】図において、エレベータＡ１及びエレベー
タＢ２は、複数のウェハー４を収納したキャリア３を搭
載し、このキャリア３内の図示しないウェハー収納用ミ
ゾのピッチに合わせて正確に上下するユニットである。
搬送アームＡ５及び搬送アームＢ６は、前記キャリア３
よりウェハー４を吸着して取り出し、プッシャーＡ１２
上へウェハー４を搬送するためと、逆にキャリア３内へ
ウェハーを収納するためのものである。この二つのアー
ムは、ウェハー４を吸着して同時に動作できるように、
上下方向にずらして設置されている。
タＢ２は、複数のウェハー４を収納したキャリア３を搭
載し、このキャリア３内の図示しないウェハー収納用ミ
ゾのピッチに合わせて正確に上下するユニットである。
搬送アームＡ５及び搬送アームＢ６は、前記キャリア３
よりウェハー４を吸着して取り出し、プッシャーＡ１２
上へウェハー４を搬送するためと、逆にキャリア３内へ
ウェハーを収納するためのものである。この二つのアー
ムは、ウェハー４を吸着して同時に動作できるように、
上下方向にずらして設置されている。
【００１２】センタリングアーム７は、ウェハー４の中
心位置出しを行うものである。この中心の基準になるの
は、プッシャーＢ１３の中心である。センタリングアー
ム７で中心位置出しを行うことにより、プッシャーＢ１
３の中心とウェハー４の中心とが一致するように調整し
てある。回転テーブル８は、ウェハー４を吸着した状態
で、正確に１２０°間隔で右回転するユニットである。
この回転テーブル８上には１２０°ピッチで三つのステ
ーションＡ９，Ｂ１０，Ｃ１１が固定されていて、それ
ぞれがウェハー４を吸着することができるようにしてあ
る。これらステーションＡ９，Ｂ１０，Ｃ１１には、中
心にそれぞれ図示しない貫通口を設けてあり、プッシャ
ーＡ１２，Ｂ１３，Ｃ１４が自由に上下できるようにし
てある。なお、回転機構には、例えば、ローラーギアカ
ムを使用し、高速かつ正確に回転できるようにしてあ
る。
心位置出しを行うものである。この中心の基準になるの
は、プッシャーＢ１３の中心である。センタリングアー
ム７で中心位置出しを行うことにより、プッシャーＢ１
３の中心とウェハー４の中心とが一致するように調整し
てある。回転テーブル８は、ウェハー４を吸着した状態
で、正確に１２０°間隔で右回転するユニットである。
この回転テーブル８上には１２０°ピッチで三つのステ
ーションＡ９，Ｂ１０，Ｃ１１が固定されていて、それ
ぞれがウェハー４を吸着することができるようにしてあ
る。これらステーションＡ９，Ｂ１０，Ｃ１１には、中
心にそれぞれ図示しない貫通口を設けてあり、プッシャ
ーＡ１２，Ｂ１３，Ｃ１４が自由に上下できるようにし
てある。なお、回転機構には、例えば、ローラーギアカ
ムを使用し、高速かつ正確に回転できるようにしてあ
る。
【００１３】前記プッシャーＡ１２は、搬送アームＡ
５，Ｂ６との受け渡しを行うためのもので、図示しない
上下機構と吸着口を備えてある。前記プッシャーＢ１３
は、ウェハー４を吸着して回転し、オリフラ検出センサ
１８によってオリフラを検出し、任意の角度に停止させ
るものであり、また、図示しない上下機構も備えてあ
る。
５，Ｂ６との受け渡しを行うためのもので、図示しない
上下機構と吸着口を備えてある。前記プッシャーＢ１３
は、ウェハー４を吸着して回転し、オリフラ検出センサ
１８によってオリフラを検出し、任意の角度に停止させ
るものであり、また、図示しない上下機構も備えてあ
る。
【００１４】前記プッシャーＣ１４及びプッシャーＤ１
５は、搬送アームＣ１６，Ｄ１７との受け渡しを行うた
めのもので、図示しない上下機構と吸着口を備えてあ
る。また、前記搬送アームＣ１６及び前記搬送アームＤ
１７は、プッシャーＣ１４上のウェハー４とプッシャー
Ｄ１５上のウェハーの入れ替えを行うためのものであ
り、正確に９０°間隔で両方向に回転する機構と吸着口
を備えている。なお、回転機構は、回転テーブル８と同
様のものを使用し、高速かつ正確に回転できるようにし
てある。
５は、搬送アームＣ１６，Ｄ１７との受け渡しを行うた
めのもので、図示しない上下機構と吸着口を備えてあ
る。また、前記搬送アームＣ１６及び前記搬送アームＤ
１７は、プッシャーＣ１４上のウェハー４とプッシャー
Ｄ１５上のウェハーの入れ替えを行うためのものであ
り、正確に９０°間隔で両方向に回転する機構と吸着口
を備えている。なお、回転機構は、回転テーブル８と同
様のものを使用し、高速かつ正確に回転できるようにし
てある。
【００１５】位置決めピン２０は、処理ステージ２１上
の基準位置になるピンである。センタリングピン１９が
搬送されてきたウェハー４を軽く押すことによって、ウ
ェハー４は位置決めピン２０にならってセットされるよ
うにしてある。ＸＹステージ２２は、処理ステージ２１
を載せて移動するためのユニットである。このＸＹステ
ージ２２が任意の場所に移動することにより、その任意
の場所でウェハー４に様々な処理を施す。なお、かかる
任意の場所には、処理の目的に応じた装置を付加してお
く。
の基準位置になるピンである。センタリングピン１９が
搬送されてきたウェハー４を軽く押すことによって、ウ
ェハー４は位置決めピン２０にならってセットされるよ
うにしてある。ＸＹステージ２２は、処理ステージ２１
を載せて移動するためのユニットである。このＸＹステ
ージ２２が任意の場所に移動することにより、その任意
の場所でウェハー４に様々な処理を施す。なお、かかる
任意の場所には、処理の目的に応じた装置を付加してお
く。
【００１６】次に、上記構成のウェハー処理装置の動作
を説明する。まず、キャリア３からウェハー４を受け取
るステーションＡ９の動作を説明する。搬送アームＡ５
が、エレベータＡ１上のキャリア３よりウェハー４を取
り出した後、移動してステーションＡ９の約１０ｍｍ上
に停止する。そこで、プッシャーＡ１２が上昇し、搬送
アームＡ５よりウェハー４を持ち上げ、センタリングア
ーム７と同じ高さにする。この位置で、センタリングア
ーム７のアームが閉じてウェハー４の中心位置出しを行
う。センタリングアーム７が再び開き、搬送アームＡ５
がホームポジションに退避した後、プッシャーＡ１２は
下降し、ウェハー４はステーションＡ９上に吸着され
る。この後、回転テーブル８が右方向に１２０°回転停
止後、プッシャーＢ１３が上昇し、ウェハー４を吸着し
て持ち上げて、次段の位置合わせを行うステーションＢ
１０にウェハー４を渡す。
を説明する。まず、キャリア３からウェハー４を受け取
るステーションＡ９の動作を説明する。搬送アームＡ５
が、エレベータＡ１上のキャリア３よりウェハー４を取
り出した後、移動してステーションＡ９の約１０ｍｍ上
に停止する。そこで、プッシャーＡ１２が上昇し、搬送
アームＡ５よりウェハー４を持ち上げ、センタリングア
ーム７と同じ高さにする。この位置で、センタリングア
ーム７のアームが閉じてウェハー４の中心位置出しを行
う。センタリングアーム７が再び開き、搬送アームＡ５
がホームポジションに退避した後、プッシャーＡ１２は
下降し、ウェハー４はステーションＡ９上に吸着され
る。この後、回転テーブル８が右方向に１２０°回転停
止後、プッシャーＢ１３が上昇し、ウェハー４を吸着し
て持ち上げて、次段の位置合わせを行うステーションＢ
１０にウェハー４を渡す。
【００１７】次に、このステーションＢ１０の動作を説
明する。上述のように、プッシャーＢ１３に押し上げら
れたウェハー４は、プッシャーＢ１３の回転によりオリ
フラ検出センサ１８によってオリフラを検出される。そ
して、ウェハー４は、検出されたオリフラを所望の角度
にされた状態にして回転を停止される。この後、再び回
転テーブル８が、右方向に１２０°回転停止後、プッシ
ャーＣ１４が上昇し、ウェハー４を吸着して持ち上げ
て、次段のステーションＣ１１にウェハー４を渡す。
明する。上述のように、プッシャーＢ１３に押し上げら
れたウェハー４は、プッシャーＢ１３の回転によりオリ
フラ検出センサ１８によってオリフラを検出される。そ
して、ウェハー４は、検出されたオリフラを所望の角度
にされた状態にして回転を停止される。この後、再び回
転テーブル８が、右方向に１２０°回転停止後、プッシ
ャーＣ１４が上昇し、ウェハー４を吸着して持ち上げ
て、次段のステーションＣ１１にウェハー４を渡す。
【００１８】次に、処理用ステージ２１へとウェハー４
を渡すステーションＣ１１の動作を説明する。上述のよ
うに、プッシャーＣ１４に押し上げられたウェハー４
は、搬送アームＣ１６の右回りの９０°回転後、プッシ
ャーＣ１４が下降し、搬送アームＣ１６上に置かれ、搬
送アームＣ１６に吸着される。そして、搬送アームＣ１
６が右回りに１８０°回転し、ウェハー４を処理ステー
ジ２１に送る。この処理ステージ２１では、プッシャー
Ｄ１５が上昇してウェハー４を持ち上げた後、搬送アー
ムＣ１６と搬送アームＤ１７は、左方向に９０°回転し
て退避する。そして、プッシャーＤ１５が下降した後、
センタリングピン１９がウェハー４を押して、位置決め
ピン２０にならわせて、精密（最終）位置だしを行う。
以上で１枚目のウェハー４の、処理ステージ２１への搬
送は終了する。
を渡すステーションＣ１１の動作を説明する。上述のよ
うに、プッシャーＣ１４に押し上げられたウェハー４
は、搬送アームＣ１６の右回りの９０°回転後、プッシ
ャーＣ１４が下降し、搬送アームＣ１６上に置かれ、搬
送アームＣ１６に吸着される。そして、搬送アームＣ１
６が右回りに１８０°回転し、ウェハー４を処理ステー
ジ２１に送る。この処理ステージ２１では、プッシャー
Ｄ１５が上昇してウェハー４を持ち上げた後、搬送アー
ムＣ１６と搬送アームＤ１７は、左方向に９０°回転し
て退避する。そして、プッシャーＤ１５が下降した後、
センタリングピン１９がウェハー４を押して、位置決め
ピン２０にならわせて、精密（最終）位置だしを行う。
以上で１枚目のウェハー４の、処理ステージ２１への搬
送は終了する。
【００１９】一方、２枚目のウェハー４の搬送は、搬送
アームＡ５が１枚目のウェハー４をキャリア３より取り
出した直後から、搬送アームＢ６によって開始される。
そして、３枚目は再び搬送アームＡ５によってという具
合に、常にウェハー４が、ステーションＡ９，Ｂ１０，
Ｃ１１上と処理ステージ２１上に在荷するように、ウェ
ハー４を送りだしていく。
アームＡ５が１枚目のウェハー４をキャリア３より取り
出した直後から、搬送アームＢ６によって開始される。
そして、３枚目は再び搬送アームＡ５によってという具
合に、常にウェハー４が、ステーションＡ９，Ｂ１０，
Ｃ１１上と処理ステージ２１上に在荷するように、ウェ
ハー４を送りだしていく。
【００２０】また、処理ステージ２１で処理の終了した
ウェハー４は、未処理のウェハー４と、搬送アームＣ１
６，Ｄ１７によって入れ替えられる。即ち、上述のよう
にステーションＣ１１から搬送アームＣ１６により未処
理のウェハー４が搬送される際に、搬送アームＤ１７が
処理ステージ２１上の処理済のウェハー４を吸着し、ス
テーションＣ１１に送る。そして、その処理済のウェハ
ー４は、ステーションＣ１１に吸着された後、回転テー
ブル８が１２０°右回転して、プッシャーＡ１２上に戻
ってくる。その後、搬送アームＡ５と搬送アームＢ６の
どちらかで、ウェハー４を持っていない方の搬送アーム
が、処理済のウェハー４を取りに行き、キャリア３から
取り出した同一の場所へウェハー４を収納する（未処理
のウェハーを持っている搬送アームは、プッシャＡ１２
上の処理済のウェハーがなくなると同時に、プッシャー
Ａ１２上にウェハー搬送を行う。）。なお、処理済のウ
ェハー４は、取り出したのと同一の場所に収納しなくて
も他の場所に収納するようにしてもよい。また、収納す
るキャリアを取り替えるようにしてもよい。この場合に
は、収納するキャリアと取り出すキャリアとを予め用意
しておき、収納するキャリアと取り出すキャリアが前記
搬送アームＡ５，Ｂ６に対向する位置になるように、前
記搬送アームＡ５，Ｂ６の動きに連動して切り換える機
構を設けるようにする。
ウェハー４は、未処理のウェハー４と、搬送アームＣ１
６，Ｄ１７によって入れ替えられる。即ち、上述のよう
にステーションＣ１１から搬送アームＣ１６により未処
理のウェハー４が搬送される際に、搬送アームＤ１７が
処理ステージ２１上の処理済のウェハー４を吸着し、ス
テーションＣ１１に送る。そして、その処理済のウェハ
ー４は、ステーションＣ１１に吸着された後、回転テー
ブル８が１２０°右回転して、プッシャーＡ１２上に戻
ってくる。その後、搬送アームＡ５と搬送アームＢ６の
どちらかで、ウェハー４を持っていない方の搬送アーム
が、処理済のウェハー４を取りに行き、キャリア３から
取り出した同一の場所へウェハー４を収納する（未処理
のウェハーを持っている搬送アームは、プッシャＡ１２
上の処理済のウェハーがなくなると同時に、プッシャー
Ａ１２上にウェハー搬送を行う。）。なお、処理済のウ
ェハー４は、取り出したのと同一の場所に収納しなくて
も他の場所に収納するようにしてもよい。また、収納す
るキャリアを取り替えるようにしてもよい。この場合に
は、収納するキャリアと取り出すキャリアとを予め用意
しておき、収納するキャリアと取り出すキャリアが前記
搬送アームＡ５，Ｂ６に対向する位置になるように、前
記搬送アームＡ５，Ｂ６の動きに連動して切り換える機
構を設けるようにする。
【００２１】なお、ステーションＢ１０は、回転テーブ
ル８が１２０°回転する前はステーションＡ９である。
ステーションＣ１１は、回転テーブル８が１２０°回転
する前はステーションＢ１０である。以上のすべての動
作は、ウェハー４が干渉しない範囲（同一ステーショ
ン、プッシャー、搬送アーム上にウェハーが二枚以上重
ならない）で、常に、並行して行われる。この為、１サ
イクル時間は、回転テーブル８が停止しているときに、
各ステーションで行われる動作シーケンスの合計時間の
中で、最も長いものに左右される。従って、各ステーシ
ョンで行われる動作シーケンスの内容及びその合計時間
は以下の通りになる。
ル８が１２０°回転する前はステーションＡ９である。
ステーションＣ１１は、回転テーブル８が１２０°回転
する前はステーションＢ１０である。以上のすべての動
作は、ウェハー４が干渉しない範囲（同一ステーショ
ン、プッシャー、搬送アーム上にウェハーが二枚以上重
ならない）で、常に、並行して行われる。この為、１サ
イクル時間は、回転テーブル８が停止しているときに、
各ステーションで行われる動作シーケンスの合計時間の
中で、最も長いものに左右される。従って、各ステーシ
ョンで行われる動作シーケンスの内容及びその合計時間
は以下の通りになる。
【００２２】ステーションＡ９ 収納と送り出しは、並列で行われるので、片方の搬送ア
ームの動作のみの時間を考えればよい。すなわち、「未
処理ウェハー４をキャリア３より取り出し、プッシャー
Ａ１２上へセットする時間、及びウェハー中心位置出し
をセンタリングアーム７によって行う時間」であり、約
５．５秒となる。
ームの動作のみの時間を考えればよい。すなわち、「未
処理ウェハー４をキャリア３より取り出し、プッシャー
Ａ１２上へセットする時間、及びウェハー中心位置出し
をセンタリングアーム７によって行う時間」であり、約
５．５秒となる。
【００２３】ステーションＢ１０ 「プッシャーＢ１３の上下時間及びオリフラ検出時間」
であり、約５．５秒である。 ステーションＣ１１ 「未処理のウェハーと処理済のウェハーを入れ替える時
間」であり、約３．５秒である。
であり、約５．５秒である。 ステーションＣ１１ 「未処理のウェハーと処理済のウェハーを入れ替える時
間」であり、約３．５秒である。
【００２４】「処理時間」＝ｘ秒 回転テーブル１２０°の回転時間＝０．５秒 以上より、ウェハーの搬送の１サイクル時間は、（又
は）＋となり、その実際の時間は約６秒となる。装
置全体のスループットは、処理時間ｘに左右されるが、
ｘ≦（６−３．５）＝２．５秒であれば、１サイクル時
間と等しくなる。もし、ｘ＞２．５秒であれば、ウェハ
ー１枚あたりのスループットは、（３．５＋ｘ）秒とな
る。従って、ウェハーの搬送及びアライメントを並列に
行うようにしても、それぞれが連続した動作の中で行わ
れるため、搬送及びアライメントが互いに時間的に干渉
することがなく、装置全体のスループットに与える影響
は少なくなる効果が得られる。
は）＋となり、その実際の時間は約６秒となる。装
置全体のスループットは、処理時間ｘに左右されるが、
ｘ≦（６−３．５）＝２．５秒であれば、１サイクル時
間と等しくなる。もし、ｘ＞２．５秒であれば、ウェハ
ー１枚あたりのスループットは、（３．５＋ｘ）秒とな
る。従って、ウェハーの搬送及びアライメントを並列に
行うようにしても、それぞれが連続した動作の中で行わ
れるため、搬送及びアライメントが互いに時間的に干渉
することがなく、装置全体のスループットに与える影響
は少なくなる効果が得られる。
【００２５】このため、上記第１の実施の形態による
と、キャリア３からの受け渡しを専用に行うステーショ
ンＡ９と、アライメントを専用に行うステーションＢ１
０と、未処理ウェハーと処理済ウェハーを入れ替えを専
用に行うステーションＣ１１を設けたことにより、従来
のアライメントが必要なウェハー搬送系の１サイクル時
間を大幅に短縮できるという効果が得られる。具体的に
は以下の通りである。
と、キャリア３からの受け渡しを専用に行うステーショ
ンＡ９と、アライメントを専用に行うステーションＢ１
０と、未処理ウェハーと処理済ウェハーを入れ替えを専
用に行うステーションＣ１１を設けたことにより、従来
のアライメントが必要なウェハー搬送系の１サイクル時
間を大幅に短縮できるという効果が得られる。具体的に
は以下の通りである。
【００２６】従来の搬送系の各アクチュエータが、本発
明で使用しているアクチュエータと同等のものを使用し
ており、その動作速度が、ほぼ同一と改定した場合、従
来の搬送系の１サイクル時間は、約１０．５秒〔アライ
メントをする時間が約５．５秒、二つのアームを有する
搬送ロボットのいずれかのアーム上にある未アライメン
トのウェハーとアライメントステージ上のアライメント
済のウェハーを入れ替える時間が約５秒〕となる。本実
施の形態の１サイクル時間は、上述のように、約６秒な
ので、約４３％の搬送時間短縮が可能となる。
明で使用しているアクチュエータと同等のものを使用し
ており、その動作速度が、ほぼ同一と改定した場合、従
来の搬送系の１サイクル時間は、約１０．５秒〔アライ
メントをする時間が約５．５秒、二つのアームを有する
搬送ロボットのいずれかのアーム上にある未アライメン
トのウェハーとアライメントステージ上のアライメント
済のウェハーを入れ替える時間が約５秒〕となる。本実
施の形態の１サイクル時間は、上述のように、約６秒な
ので、約４３％の搬送時間短縮が可能となる。
【００２７】第２の実施の形態 図３はウェハー処理装置の構造説明図、図４は図３のＺ
−Ｚ矢視図である。なお、図３はウェハー処理装置の平
面を表し、図２では処理ステージ、ＸＹステージ等を省
略して表すものとする。また、以下の説明において、上
記第１の実施の形態と同様の構成及び動作の説明は省略
するものとし、相違する構成及び動作の説明をする。
−Ｚ矢視図である。なお、図３はウェハー処理装置の平
面を表し、図２では処理ステージ、ＸＹステージ等を省
略して表すものとする。また、以下の説明において、上
記第１の実施の形態と同様の構成及び動作の説明は省略
するものとし、相違する構成及び動作の説明をする。
【００２８】図において、ＣＣＤカメラ２３は、ウェハ
ーの全体像をとらえる位置に固定されている。そして、
このカメラの信号は、図示しない画像処理装置に接続さ
れている。照明２４は、前記ＣＣＤカメラ２３でウェハ
ーを一定の明るさに映し出す為のものである。プッシャ
ーＢ１３は、上記第１の実施の形態と異なり、上下・回
転機構以外に図示しないＸＹ移動機構も備えている。そ
の回転・ＸＹ移動機構部は、図示しないパルスモータに
より駆動し、そのパルス信号は、本装置内のコンピュー
タを通して、前記画像処理装置と接続されている。な
お、上記第１の実施の形態での構成要素であるセンタリ
ングアーム７は設けられておらず、後述するように、そ
の代わりにＣＣＤカメラ２３及び図示しない画像処理装
置を設けたものである。上記以外の部分に関しては、す
べて上記第１の実施の形態の構成と同様である。
ーの全体像をとらえる位置に固定されている。そして、
このカメラの信号は、図示しない画像処理装置に接続さ
れている。照明２４は、前記ＣＣＤカメラ２３でウェハ
ーを一定の明るさに映し出す為のものである。プッシャ
ーＢ１３は、上記第１の実施の形態と異なり、上下・回
転機構以外に図示しないＸＹ移動機構も備えている。そ
の回転・ＸＹ移動機構部は、図示しないパルスモータに
より駆動し、そのパルス信号は、本装置内のコンピュー
タを通して、前記画像処理装置と接続されている。な
お、上記第１の実施の形態での構成要素であるセンタリ
ングアーム７は設けられておらず、後述するように、そ
の代わりにＣＣＤカメラ２３及び図示しない画像処理装
置を設けたものである。上記以外の部分に関しては、す
べて上記第１の実施の形態の構成と同様である。
【００２９】次に、動作を説明する。上記第１の実施の
形態と異なるところは、以下の点である。プッシャーＡ
１２上において、上記第１の実施の形態ではセンタリン
グアーム７でのウェハー中心位置を読み取ったが、本実
施の形態ではＣＣＤカメラ２３及び図示しない画像処理
装置によって、ウェハーの中心位置とオリフラ角度を読
み取るようにしたものである。
形態と異なるところは、以下の点である。プッシャーＡ
１２上において、上記第１の実施の形態ではセンタリン
グアーム７でのウェハー中心位置を読み取ったが、本実
施の形態ではＣＣＤカメラ２３及び図示しない画像処理
装置によって、ウェハーの中心位置とオリフラ角度を読
み取るようにしたものである。
【００３０】そして、プッシャーＢ１３上へウェハーを
搬送している途中で、前記画像処理装置が計算を行い、
ウェハーの中心位置とオリフラ角度を算出し、ステーシ
ョンＢ１０にそれらのデータを送り、プッシャーＢ１３
がウェハーを吸着して持ち上げた後、それらのデータを
基に所望の位置へウェハーを移動させる。他の動作は、
上記第１の実施の形態と同様である。
搬送している途中で、前記画像処理装置が計算を行い、
ウェハーの中心位置とオリフラ角度を算出し、ステーシ
ョンＢ１０にそれらのデータを送り、プッシャーＢ１３
がウェハーを吸着して持ち上げた後、それらのデータを
基に所望の位置へウェハーを移動させる。他の動作は、
上記第１の実施の形態と同様である。
【００３１】上記第２の実施の形態のよると、上記第１
の実施の形態におけるセンタリングアームを用いていな
いことから、ウェハーの搬送の１サイクル時間をさらに
短縮できる効果が期待できる。具体的には、次のと
の時間の合計が１サイクル時間となる。ステーション
Ａ９での「未処理ウェハーをキャリア３より取り出し、
プッシャーＡ１２上へセットする時間、及びウェハー中
心位置出しをセンタリングアーム７によって行う時間」
であり、その合計は約４．５秒となる。ステーション
Ｂ１０での「プッシャーＢ１３の上下時間及びオリフラ
検出時間」であり、約３秒となる。従って、１サイクル
時間は、約５秒となる。このため、搬送時間を更に短縮
することができる。
の実施の形態におけるセンタリングアームを用いていな
いことから、ウェハーの搬送の１サイクル時間をさらに
短縮できる効果が期待できる。具体的には、次のと
の時間の合計が１サイクル時間となる。ステーション
Ａ９での「未処理ウェハーをキャリア３より取り出し、
プッシャーＡ１２上へセットする時間、及びウェハー中
心位置出しをセンタリングアーム７によって行う時間」
であり、その合計は約４．５秒となる。ステーション
Ｂ１０での「プッシャーＢ１３の上下時間及びオリフラ
検出時間」であり、約３秒となる。従って、１サイクル
時間は、約５秒となる。このため、搬送時間を更に短縮
することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、ウ
ェハーの位置決めを行うステーションを別に設けたの
で、ウェハーの位置決めを行いつつウェハーを処理ステ
ージに搬送することができ、従来のアライメントが必要
なウェハー搬送系の１サイクル時間を大幅に短縮できる
という効果が得られる。従って、処理時間を短縮化して
スループットの高いウェハー処理装置を提供することが
できる効果が得られる。
ェハーの位置決めを行うステーションを別に設けたの
で、ウェハーの位置決めを行いつつウェハーを処理ステ
ージに搬送することができ、従来のアライメントが必要
なウェハー搬送系の１サイクル時間を大幅に短縮できる
という効果が得られる。従って、処理時間を短縮化して
スループットの高いウェハー処理装置を提供することが
できる効果が得られる。
【図１】第１の実施の形態のウェハー処理装置の構造説
明図
明図
【図２】図１のＺ−Ｚ矢視図
【図３】第２の実施の形態のウェハー処理装置の構造説
明図
明図
【図４】図３のＺ−Ｚ矢視図
１ エレベータＡ ２ エレベータＢ ３ キャリア ４ ウェハー ５ 搬送アームＡ ６ 搬送アームＢ ７ センタリングアーム ８ 回転テーブル ９ ステーションＡ １０ ステーションＢ １１ ステーションＣ １２ プッシャーＡ １３ プッシャーＢ １４ プッシャーＣ １５ プッシャーＤ １６ 搬送アームＣ １７ 搬送アームＤ １８ オリフラ検出センサ １９ センタリングピン ２０ 位置決めピン ２１ 処理ステージ ２２ ＸＹステージ
Claims (10)
- 【請求項１】 搬送部によって搬送されたウェハーを受
け取る第１のステーションと、前記ウェハーの位置決め
を行う第２のステーションと、前記ウェハーを処理ステ
ージに受け渡す第３のステーションと、前記ウェハーに
対し所定の処理を行う処理ステージとを有することを特
徴とするウェハー処理装置。 - 【請求項２】 実質的に三角形状に配置された３つのス
テーションを有するウェハー処理装置であって、前記３
つのステーションはそれぞれ、搬送部によって搬送され
たウェハーを受け取る第１のステーションと、前記ウェ
ハーの位置決めを行う第２のステーションと、前記ウェ
ハーを処理ステージに受け渡す第３のステーションとよ
りなることを特徴とするウェハー処理装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、第１の
ステーション、第２のステーション、第３のステーショ
ン及び処理ステージの間のウェハーの受け渡しを同一タ
イミングで行うようにしたことを特徴とするウェハー処
理装置。 - 【請求項４】 キャリアに収納されたウェハーを順次取
り出して、ウェハーに検査等の処理を施す処理ステージ
に搬送するとともに、ウェハーのオリエンテーション・
フラットを基にアライメントを行って、前記処理ステー
ジ上にオリエンテーション・フラットを基に位置決めし
てウェハーの処理を行い、処理済のウェハーを再びキャ
リアに収納するようにしたウェハー処理装置において、 キャリアから搬送アームによって取り出されたウェハー
を受け取るキャリア用ステーションと、このキャリア用
ステーションから搬送されるウェハーのアライメントを
行ってウェハーのオリエンテーション・フラットを一定
の位置に保ったままウェハーを搬送するアライメントス
テーションと、このアライメントステーションから搬送
されるウェハーを処理ステージに渡し、そこで処理され
たウェハーを受け取る処理ステージ用ステーションとを
三角形状に配置し、 処理ステージで処理されたウェハーを、前記処理ステー
ジ用ステーションによって再びキャリアに収納するもの
とし、各ステーション間のウェハーの受け渡しを同一の
タイミングで行うようにしたことを特徴とするウェハー
処理装置。 - 【請求項５】 請求項４において、キャリアからウェハ
ーを取り出してキャリア用ステーションに搬送する搬送
アームと、処理ステージ用ステーション及び処理ステー
ジの間のウェハーの受け渡しをする搬送手段とを、各ス
テーション間のウェハーの受け渡しと連動させて動作さ
せるようにしたことを特徴とするウェハー処理装置。 - 【請求項６】 請求項４において、キャリア用ステーシ
ョンと、アライメントステーションと、処理ステージ用
ステーションとを正三角形状に配置したことを特徴とす
るウェハー処理装置。 - 【請求項７】 請求項６において、各ステーションの配
置と同様の三角形状にウェハーを保持するプッシャーを
板上に配置し、この板の回転により各ステーション間の
ウェハーの受け渡しを行うようにしたことを特徴とする
ウェハー処理装置。 - 【請求項８】 請求項５、請求項６又は請求項７におい
て、キャリア用ステーションにてウェハーの中心位置合
わせを行い、アライメントステーションにてアライメン
トを行うようにしたことを特徴とするウェハー処理装
置。 - 【請求項９】 請求項５、請求項６又は請求項７におい
て、キャリア用ステーションにウェハーの表面を読み取
る画像読取手段を設け、この画像読取手段により読み取
った画像からウェハーの中心位置及びオリエンテーショ
ン・フラットの位置の位置情報を算出し、アライメント
ステーションにて前記位置情報を基にアライメントを行
うようにしたことを特徴とするウェハー処理装置。 - 【請求項１０】 請求項４において、処理前のウェハー
を収納するキャリアと処理済のウェハーを収納するキャ
リアとを一つの収納キャリアにより構成することを特徴
とするウェハー処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31178596A JP3624590B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | ウェハー処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31178596A JP3624590B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | ウェハー処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10154743A true JPH10154743A (ja) | 1998-06-09 |
| JP3624590B2 JP3624590B2 (ja) | 2005-03-02 |
Family
ID=18021447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31178596A Expired - Fee Related JP3624590B2 (ja) | 1996-11-22 | 1996-11-22 | ウェハー処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3624590B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100729490B1 (ko) * | 2000-09-25 | 2007-06-15 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 방법 및 장치 |
| WO2009041421A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Nikon Corporation | 基板搬送装置及び観察装置 |
| JP2011253937A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 補正値取得方法 |
| JP2011253936A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
| CN109240043A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-18 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 自动光刻机 |
-
1996
- 1996-11-22 JP JP31178596A patent/JP3624590B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100729490B1 (ko) * | 2000-09-25 | 2007-06-15 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 방법 및 장치 |
| WO2009041421A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Nikon Corporation | 基板搬送装置及び観察装置 |
| JP2011253937A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 補正値取得方法 |
| JP2011253936A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
| CN109240043A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-18 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 自动光刻机 |
| CN109240043B (zh) * | 2018-09-20 | 2021-06-15 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 | 自动光刻机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3624590B2 (ja) | 2005-03-02 |
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