JPH1013092A - 部品装着ヘッド - Google Patents
部品装着ヘッドInfo
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- JPH1013092A JPH1013092A JP8165877A JP16587796A JPH1013092A JP H1013092 A JPH1013092 A JP H1013092A JP 8165877 A JP8165877 A JP 8165877A JP 16587796 A JP16587796 A JP 16587796A JP H1013092 A JPH1013092 A JP H1013092A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- nozzle member
- mounting head
- engaging
- component mounting
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
- H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
- H05K13/0409—Sucking devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53191—Means to apply vacuum directly to position or hold work part
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い装着精度にて部品を装着位置へ装着する
ことができる部品装着ヘッドを提供する。 【解決手段】 バキュームロッド２３に対して軸回り方
向に回動不能に緩衝部材５０１を取り付け、かつその一
端には係合部３２０を備え、ノズル部材２２の後端には
上記係合部と係合する係止部２２１を備え、上記係合部
と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が軸
回り方向に回動することを防止した。
ことができる部品装着ヘッドを提供する。 【解決手段】 バキュームロッド２３に対して軸回り方
向に回動不能に緩衝部材５０１を取り付け、かつその一
端には係合部３２０を備え、ノズル部材２２の後端には
上記係合部と係合する係止部２２１を備え、上記係合部
と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が軸
回り方向に回動することを防止した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば回路基板へ
装着する例えば電子部品を保持するノズル部材が着脱自
在である部品装着ヘッドに関する。
装着する例えば電子部品を保持するノズル部材が着脱自
在である部品装着ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の部品装着ヘッドについて図を参照
しながら以下に説明する。図８は実装機全体の斜視図で
あり、部品装着ヘッド１の先端部分には、当該部品装着
ヘッド１に対してワンタッチで着脱可能な構造を有し回
路基板へ装着する電子部品を吸着するノズル部材２が取
り付けられる。３は、装着部品に合わせてノズル部材２
を提供するノズルステーションである。上述したよう
に、ノズル部材２が着脱可能である部品装着ヘッド１の
構造として、従来、以下に説明する従来例（１）〜
（３）に示す構造が存在する。
しながら以下に説明する。図８は実装機全体の斜視図で
あり、部品装着ヘッド１の先端部分には、当該部品装着
ヘッド１に対してワンタッチで着脱可能な構造を有し回
路基板へ装着する電子部品を吸着するノズル部材２が取
り付けられる。３は、装着部品に合わせてノズル部材２
を提供するノズルステーションである。上述したよう
に、ノズル部材２が着脱可能である部品装着ヘッド１の
構造として、従来、以下に説明する従来例（１）〜
（３）に示す構造が存在する。
【０００３】まず、上記従来例（１）における装着ヘッ
ド及びノズル部材の構造を図４及び図５を参照して以下
に説明する。図４において、ノズル部材４の嵌合部４ａ
は、内部にエアー経路１１を有する円筒形状であり、バ
キュームロッド５の先端部にてバキュームロッド５の軸
芯に沿ってバキュームロッド５に着脱可能に嵌合され
る。バキュームロッド５に嵌合されたノズル部材４に
は、バキュームロッド５内に上記軸芯に沿って収納され
た圧縮バネ７の付勢力がプッシャー１０を介して作用
し、ノズル部材４は図示の下方向に付勢される。尚、図
示するように、プッシャー１０の当接面１０ａ及び嵌合
部４ａの当接面４ｂはともに平面であり、プッシャー１
０と嵌合部４ａとは面接触している。又、バキュームロ
ッド５及び嵌合部４ａには、負圧のエアーが導かれるエ
アー経路１１が形成されるが、嵌合部４ａにおけるエア
ー経路１１を加工した際の穴をふさぐため当接面４ｂ部
分には栓４０７が圧入されている。このように図示の下
方向に付勢されるノズル部材４は、以下の構造によりバ
キュームロッド５内に保持される。即ち、嵌合部４ａの
外周面には、周方向に約１８０度離れた２カ所に、ノズ
ル部材４の軸方向に沿って適宜な長さの凹部４０１ａ，
４０１ｂが形成されている。このような各凹部４０１
ａ，４０１ｂ内には、ノズル部材４の軸方向に対して直
交する方向への付勢力を有する圧縮バネ１３ａ，１３ｂ
によって、鋼球１２ａ，１２ｂが凹部４０１ａ，４０１
ｂ内へ突入される。尚、図５に示すように、圧縮バネ１
３ａにて凹部４０１ａ内に突入される鋼球１２ａと、凹
部４０１ａの側壁４０３とが当接することにより、ノズ
ル部材４には反時計回りの周方向へ回転力が作用する。
一方、凹部４０１ｂを形成する底面４０２を、圧縮バネ
１３ｂの付勢力により鋼球１２ｂが押圧することで、上
記回転力によるノズル部材４の周方向への回転は制限さ
れる。このように構成されることで、ノズル部材４が上
記周方向へ不用意に回動することを防止している。さら
に又、上記各凹部４０１ａ，４０１ｂにおける軸方向の
端部４０４，４０４と鋼球１２ａ，１２ｂとが当接する
ことで、ノズル部材４における図示の下方向への移動が
制限されノズル部材４はバキュームロッド５内に保持さ
れる。
ド及びノズル部材の構造を図４及び図５を参照して以下
に説明する。図４において、ノズル部材４の嵌合部４ａ
は、内部にエアー経路１１を有する円筒形状であり、バ
キュームロッド５の先端部にてバキュームロッド５の軸
芯に沿ってバキュームロッド５に着脱可能に嵌合され
る。バキュームロッド５に嵌合されたノズル部材４に
は、バキュームロッド５内に上記軸芯に沿って収納され
た圧縮バネ７の付勢力がプッシャー１０を介して作用
し、ノズル部材４は図示の下方向に付勢される。尚、図
示するように、プッシャー１０の当接面１０ａ及び嵌合
部４ａの当接面４ｂはともに平面であり、プッシャー１
０と嵌合部４ａとは面接触している。又、バキュームロ
ッド５及び嵌合部４ａには、負圧のエアーが導かれるエ
アー経路１１が形成されるが、嵌合部４ａにおけるエア
ー経路１１を加工した際の穴をふさぐため当接面４ｂ部
分には栓４０７が圧入されている。このように図示の下
方向に付勢されるノズル部材４は、以下の構造によりバ
キュームロッド５内に保持される。即ち、嵌合部４ａの
外周面には、周方向に約１８０度離れた２カ所に、ノズ
ル部材４の軸方向に沿って適宜な長さの凹部４０１ａ，
４０１ｂが形成されている。このような各凹部４０１
ａ，４０１ｂ内には、ノズル部材４の軸方向に対して直
交する方向への付勢力を有する圧縮バネ１３ａ，１３ｂ
によって、鋼球１２ａ，１２ｂが凹部４０１ａ，４０１
ｂ内へ突入される。尚、図５に示すように、圧縮バネ１
３ａにて凹部４０１ａ内に突入される鋼球１２ａと、凹
部４０１ａの側壁４０３とが当接することにより、ノズ
ル部材４には反時計回りの周方向へ回転力が作用する。
一方、凹部４０１ｂを形成する底面４０２を、圧縮バネ
１３ｂの付勢力により鋼球１２ｂが押圧することで、上
記回転力によるノズル部材４の周方向への回転は制限さ
れる。このように構成されることで、ノズル部材４が上
記周方向へ不用意に回動することを防止している。さら
に又、上記各凹部４０１ａ，４０１ｂにおける軸方向の
端部４０４，４０４と鋼球１２ａ，１２ｂとが当接する
ことで、ノズル部材４における図示の下方向への移動が
制限されノズル部材４はバキュームロッド５内に保持さ
れる。
【０００４】次に、上記従来例（２）における装着ヘッ
ド及びノズル部材の構造を図６を参照し以下に説明す
る。ノズル部材１４の嵌合部１４ａは、内部にエアー経
路１１を有する円筒形状であり、バキュームロッド１５
の先端部にて、バキュームロッド１５の軸芯に沿ってバ
キュームロッド１５に着脱可能に嵌合される。バキュー
ムロッド１５内には、ノズル部材１４をノズル部材１４
の周方向へ付勢するためのねじりコイルバネ１９がバキ
ュームロッド１５の軸芯に沿って収納されている。バキ
ュームロッド１５内にて、ねじりコイルバネ１９とノズ
ル部材１４との間には、バキュームロッド１５の軸芯に
沿って円筒形状のシャンク１８が設けられる。よって、
ねじりコイルバネ１９による上記周方向への回転力は、
シャンク１８を介してノズル部材１４へ伝達される。
尚、ノズル部材１４とシャンク１８との接触部分は、図
示するように、ノズル部材１４が円錐形の凸状でありシ
ャンク１８はすり鉢の凹状である。よって、ノズル部材
１４とシャンク１８とは面接触している。又、シャンク
１８の外周面には軸方向に沿って所定の長さにわたり凹
部４０が形成され、該凹部４０に対してバキュームロッ
ド１５の外面からピン２０を挿入し凹部４０とピン２０
とを係合することで、シャンク１８の上記周方向への回
転を制限している。又、嵌合部１４ａの外周面の一部に
は全周にわたり凹部４０５が形成される。一方、バキュ
ームロッド１５に形成された貫通穴４０６にはめ込ま
れ、かつ弾性体１７にてノズル部材１４の軸方向に対し
て直交方向に付勢される鋼球１６が凹部４０５に係合す
ることで、バキュームロッド１５に対して嵌合部１４ａ
が軸方向へ移動することが制限される。尚、このような
構造は、例えば特公平７−２４３５７号公報及び特開平
４−１３３４００号公報に開示されている。
ド及びノズル部材の構造を図６を参照し以下に説明す
る。ノズル部材１４の嵌合部１４ａは、内部にエアー経
路１１を有する円筒形状であり、バキュームロッド１５
の先端部にて、バキュームロッド１５の軸芯に沿ってバ
キュームロッド１５に着脱可能に嵌合される。バキュー
ムロッド１５内には、ノズル部材１４をノズル部材１４
の周方向へ付勢するためのねじりコイルバネ１９がバキ
ュームロッド１５の軸芯に沿って収納されている。バキ
ュームロッド１５内にて、ねじりコイルバネ１９とノズ
ル部材１４との間には、バキュームロッド１５の軸芯に
沿って円筒形状のシャンク１８が設けられる。よって、
ねじりコイルバネ１９による上記周方向への回転力は、
シャンク１８を介してノズル部材１４へ伝達される。
尚、ノズル部材１４とシャンク１８との接触部分は、図
示するように、ノズル部材１４が円錐形の凸状でありシ
ャンク１８はすり鉢の凹状である。よって、ノズル部材
１４とシャンク１８とは面接触している。又、シャンク
１８の外周面には軸方向に沿って所定の長さにわたり凹
部４０が形成され、該凹部４０に対してバキュームロッ
ド１５の外面からピン２０を挿入し凹部４０とピン２０
とを係合することで、シャンク１８の上記周方向への回
転を制限している。又、嵌合部１４ａの外周面の一部に
は全周にわたり凹部４０５が形成される。一方、バキュ
ームロッド１５に形成された貫通穴４０６にはめ込ま
れ、かつ弾性体１７にてノズル部材１４の軸方向に対し
て直交方向に付勢される鋼球１６が凹部４０５に係合す
ることで、バキュームロッド１５に対して嵌合部１４ａ
が軸方向へ移動することが制限される。尚、このような
構造は、例えば特公平７−２４３５７号公報及び特開平
４−１３３４００号公報に開示されている。
【０００５】次に、上記従来例（３）における装着ヘッ
ド及びノズル部材の構造を図７を参照し以下に説明す
る。尚、図７に示す構造は、図６に示す構造とほぼ同等
であり、相違点のみ説明する。又、図７において、図６
に示す構成部材と同じ構成部材には同じ符号を付してい
る。図７に示す構造においては、ねじりコイルバネ１９
に代えて圧縮バネ２１を設けた。よって、圧縮バネ２１
によりノズル部材１４は図の下側へ付勢される。
ド及びノズル部材の構造を図７を参照し以下に説明す
る。尚、図７に示す構造は、図６に示す構造とほぼ同等
であり、相違点のみ説明する。又、図７において、図６
に示す構成部材と同じ構成部材には同じ符号を付してい
る。図７に示す構造においては、ねじりコイルバネ１９
に代えて圧縮バネ２１を設けた。よって、圧縮バネ２１
によりノズル部材１４は図の下側へ付勢される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが上述した従来
例（１）〜（３）に示す構造では以下に説明するような
問題点がある。即ち、図４及び図５に示す構造にてな
る、従来例（１）の装着ヘッドでは、ノズル部材４にお
ける周方向への回動を制限するための力の強弱は、圧縮
バネ１３ａ，１３ｂの弾性力のバランスに起因すること
から、不安定なものとなりやすい。よって、装着時にお
ける電子部品の装着精度が悪くなるという問題点があっ
た。一方、圧縮バネ１３ａ及び１３ｂの付勢力を強くし
て、ノズル部材４の回動を制限するための力を大きくし
た場合には、凹部４０１ａ，４０１ｂからバキュームロ
ッド５側への鋼球１２ａ，１２ｂの後退が困難になるの
で、ノズル部材４をワンタッチで装着ヘッドへ着脱する
ことが困難になってしまったり、ノズル部材４の軸方向
への摺動が悪くなるという問題点があった。
例（１）〜（３）に示す構造では以下に説明するような
問題点がある。即ち、図４及び図５に示す構造にてな
る、従来例（１）の装着ヘッドでは、ノズル部材４にお
ける周方向への回動を制限するための力の強弱は、圧縮
バネ１３ａ，１３ｂの弾性力のバランスに起因すること
から、不安定なものとなりやすい。よって、装着時にお
ける電子部品の装着精度が悪くなるという問題点があっ
た。一方、圧縮バネ１３ａ及び１３ｂの付勢力を強くし
て、ノズル部材４の回動を制限するための力を大きくし
た場合には、凹部４０１ａ，４０１ｂからバキュームロ
ッド５側への鋼球１２ａ，１２ｂの後退が困難になるの
で、ノズル部材４をワンタッチで装着ヘッドへ着脱する
ことが困難になってしまったり、ノズル部材４の軸方向
への摺動が悪くなるという問題点があった。
【０００７】又、図６に示す従来例（２）における構造
では、ねじりコイルバネ１９及びシャンク１８によって
ノズル部材１４に対して周方向への付勢を行い、ノズル
部材１４が不用意に周方向へ回動することを制限してい
るが、ねじりコイルバネ１９のねじり力が弱い場合に
は、ノズル部材１４は周方向へ容易に回動し装着時にお
ける電子部品の装着精度が悪くなる。逆に、ねじりコイ
ルバネ１９のねじり力を強くし過ぎた場合には、シャン
ク１８の凹部４０とピン２０との摩擦力が大きくなりノ
ズル部材１４の軸方向への摺動動作が困難になるという
問題点があった。又、シャンク１８の組み立て時に、ね
じりコイルバネ１９をねじらずにバキュームロッド１５
内に組み込んでしまうという組み立てミスを発生しやす
いという問題点もあった。
では、ねじりコイルバネ１９及びシャンク１８によって
ノズル部材１４に対して周方向への付勢を行い、ノズル
部材１４が不用意に周方向へ回動することを制限してい
るが、ねじりコイルバネ１９のねじり力が弱い場合に
は、ノズル部材１４は周方向へ容易に回動し装着時にお
ける電子部品の装着精度が悪くなる。逆に、ねじりコイ
ルバネ１９のねじり力を強くし過ぎた場合には、シャン
ク１８の凹部４０とピン２０との摩擦力が大きくなりノ
ズル部材１４の軸方向への摺動動作が困難になるという
問題点があった。又、シャンク１８の組み立て時に、ね
じりコイルバネ１９をねじらずにバキュームロッド１５
内に組み込んでしまうという組み立てミスを発生しやす
いという問題点もあった。
【０００８】又、図７に示す従来例（３）における構造
では、ノズル部材１４に対して周方向への付勢は行なわ
れておらず、シャンク１８の凹部４０とピン２０とが密
着しない。よって、ノズル部材１４は不用意に周方向へ
回動するという問題点があった。本発明は、このような
問題点を解決するためになされたもので、高い装着精度
にて部品を装着位置へ装着することができる部品装着ヘ
ッドを提供することを目的とする。
では、ノズル部材１４に対して周方向への付勢は行なわ
れておらず、シャンク１８の凹部４０とピン２０とが密
着しない。よって、ノズル部材１４は不用意に周方向へ
回動するという問題点があった。本発明は、このような
問題点を解決するためになされたもので、高い装着精度
にて部品を装着位置へ装着することができる部品装着ヘ
ッドを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ノズル装着部
と、上記ノズル装着部に緩衝部材を介して着脱可能に挿
入されその先端にて部品を吸着するノズル部材と、を備
えた部品装着ヘッドであって、上記緩衝部材は、上記ノ
ズル装着部に対して軸回り方向に回動不能に取り付けら
れ、かつその一端には係合部を備え、上記ノズル部材の
後端には上記係合部と係合する係止部を備え、上記係合
部と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が
軸回り方向に回動することを防止することを特徴とす
る。
と、上記ノズル装着部に緩衝部材を介して着脱可能に挿
入されその先端にて部品を吸着するノズル部材と、を備
えた部品装着ヘッドであって、上記緩衝部材は、上記ノ
ズル装着部に対して軸回り方向に回動不能に取り付けら
れ、かつその一端には係合部を備え、上記ノズル部材の
後端には上記係合部と係合する係止部を備え、上記係合
部と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が
軸回り方向に回動することを防止することを特徴とす
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である部品装
着ヘッドについて図を参照しながら以下に説明する。
尚、ノズル装着部の機能を果たす一実施形態としてバキ
ュームロッド２３が相当し、緩衝部材の機能を果たす一
実施形態としてスプライン軸３２，外筒３３，圧縮バネ
２４，摺動部材２８を有する部材が相当し、離脱制限部
材の機能を果たす一実施形態として圧縮バネ２５，鋼球
２６，ボルト２７を有する部材が相当する。例えば図４
を参照して説明したバキュームロッド５に相当する部材
であり、装着ヘッドの先端部分に対応するバキュームロ
ッド２３には、バキュームロッド２３の内部に設けられ
る上記緩衝部材５０１と、バキュームロッド２３の一端
部５０２に設けられるノズル部材２２とが同軸芯上に配
置される。以下に、緩衝部材５０１及びノズル部材２２
について図１を参照して詳しく説明する。
着ヘッドについて図を参照しながら以下に説明する。
尚、ノズル装着部の機能を果たす一実施形態としてバキ
ュームロッド２３が相当し、緩衝部材の機能を果たす一
実施形態としてスプライン軸３２，外筒３３，圧縮バネ
２４，摺動部材２８を有する部材が相当し、離脱制限部
材の機能を果たす一実施形態として圧縮バネ２５，鋼球
２６，ボルト２７を有する部材が相当する。例えば図４
を参照して説明したバキュームロッド５に相当する部材
であり、装着ヘッドの先端部分に対応するバキュームロ
ッド２３には、バキュームロッド２３の内部に設けられ
る上記緩衝部材５０１と、バキュームロッド２３の一端
部５０２に設けられるノズル部材２２とが同軸芯上に配
置される。以下に、緩衝部材５０１及びノズル部材２２
について図１を参照して詳しく説明する。
【００１１】まず、緩衝部材５０１について説明する。
上述したように緩衝部材５０１は、スプライン軸３２，
外筒３３，圧縮バネ２４，摺動部材２８を有して構成さ
れる。バキュームロッド２３の内部には、図１に示すよ
うに、軸方向に沿って緩衝部材装着穴５０３が形成され
る。尚、緩衝部材装着穴５０３と同軸芯上で緩衝部材装
着穴５０３の下方であってバキュームロッド２３の一端
部５０２には、後述するノズル部材２２が摺動可能に嵌
合されるノズル挿入穴２２０が形成される。緩衝部材装
着穴５０３内には、バキュームロッド２３に対して緩衝
部材５０１がその軸回り方向（図示するθ方向）に回動
不能の状態にて緩衝部材５０１が嵌合される。尚、緩衝
部材５０１は、スプライン軸３２、外筒３３及びラジア
ル形式に配置された複数個の鋼球３４を有する摺動部材
２８から構成される、いわゆるボールスプラインを使用
しており、鋼球３４を介してスプライン軸３２が軸方向
に慴動する。又、スプライン軸３２と外筒３３との慴動
にはいわゆる遊びが生じないように、予圧がかけられて
いる。又、外筒３３とバキュームロッド２３とが軸回り
方向（上記θ方向）に対して緩みが生じないようにキー
３５が圧入されている。このように、外筒３３及びスプ
ライン軸３２は、バキュームロッド２３に対して軸回り
方向（上記θ方向）に回動不能とされる。一方、摺動部
材２８を設けていることから、スプライン軸３２は、外
筒３３に対して軸方向に滑らかに移動可能であり、かつ
圧縮バネ２４の付勢力によりノズル部材２２側へ付勢さ
れる。尚、スプライン軸３２と緩衝部材装着穴５０３の
端面５０３ａとが当接することで、スプライン軸３２が
必要以上にノズル部材２２側へ移動することが防止され
る。
上述したように緩衝部材５０１は、スプライン軸３２，
外筒３３，圧縮バネ２４，摺動部材２８を有して構成さ
れる。バキュームロッド２３の内部には、図１に示すよ
うに、軸方向に沿って緩衝部材装着穴５０３が形成され
る。尚、緩衝部材装着穴５０３と同軸芯上で緩衝部材装
着穴５０３の下方であってバキュームロッド２３の一端
部５０２には、後述するノズル部材２２が摺動可能に嵌
合されるノズル挿入穴２２０が形成される。緩衝部材装
着穴５０３内には、バキュームロッド２３に対して緩衝
部材５０１がその軸回り方向（図示するθ方向）に回動
不能の状態にて緩衝部材５０１が嵌合される。尚、緩衝
部材５０１は、スプライン軸３２、外筒３３及びラジア
ル形式に配置された複数個の鋼球３４を有する摺動部材
２８から構成される、いわゆるボールスプラインを使用
しており、鋼球３４を介してスプライン軸３２が軸方向
に慴動する。又、スプライン軸３２と外筒３３との慴動
にはいわゆる遊びが生じないように、予圧がかけられて
いる。又、外筒３３とバキュームロッド２３とが軸回り
方向（上記θ方向）に対して緩みが生じないようにキー
３５が圧入されている。このように、外筒３３及びスプ
ライン軸３２は、バキュームロッド２３に対して軸回り
方向（上記θ方向）に回動不能とされる。一方、摺動部
材２８を設けていることから、スプライン軸３２は、外
筒３３に対して軸方向に滑らかに移動可能であり、かつ
圧縮バネ２４の付勢力によりノズル部材２２側へ付勢さ
れる。尚、スプライン軸３２と緩衝部材装着穴５０３の
端面５０３ａとが当接することで、スプライン軸３２が
必要以上にノズル部材２２側へ移動することが防止され
る。
【００１２】又、スプライン軸３２の一端には、上記端
面５０３ａに形成された開口を貫通してノズル部材２２
側へ延在するシャフト部３２ａが形成され、該シャフト
部３２ａの先端部分は係合部３２０を形成する。尚、本
実施形態における係合部３２０は、図３に示すように矩
形状の断面を有する四角形状である。係合部３２０に
は、後述するようにノズル部材２２における係止部２２
１の係合面２２１ａに対して線接触する直線状の係合エ
ッジ３２１が形成されている。
面５０３ａに形成された開口を貫通してノズル部材２２
側へ延在するシャフト部３２ａが形成され、該シャフト
部３２ａの先端部分は係合部３２０を形成する。尚、本
実施形態における係合部３２０は、図３に示すように矩
形状の断面を有する四角形状である。係合部３２０に
は、後述するようにノズル部材２２における係止部２２
１の係合面２２１ａに対して線接触する直線状の係合エ
ッジ３２１が形成されている。
【００１３】次に、ノズル部材２２について説明する。
上述のようにバキュームロッド２３の一端部５０２に
は、当該バキュームロッド２３の軸方向に沿って、円形
の横断面を有するノズル挿入穴２２０が所定深さにて形
成され、該ノズル挿入穴２２０にはノズル部材２２が上
記軸方向に摺動可能に嵌合される。ノズル部材２２は、
大略円柱形状であり、その内部にはほぼ軸方向に沿って
負圧エアーの経路２９ｂが形成されている。尚、バキュ
ームロッド２３内にもエアー経路２９ａが形成されてお
り、後述のように鋼球２６が凹部３０に突入することで
ノズル部材２２がノズル挿入穴２２０に装着された状態
においては、エアー経路２９ａとエアー経路２９ｂとは
連通する。よってエアー経路２９ｂにおいてノズル部材
２２の先端に位置する開口２２ｂにより電子部品の吸
着、吸着解除がなされる。ノズル部材２２の後端には、
上述のスプライン軸３２の係合部３２０を係止する係止
部２２１として、Ｖ字状の溝が形成される。Ｖ字状の係
止部２２１は、図３に概略形状を示すように、円柱形状
のノズル部材２２の直径方向に延在する２つの係合面２
２１ａ，２２１ａによって形成したＶ字状の溝である。
又、上記係合面２２１ａは、上記係合部３２０の係合エ
ッジ３２１と線接触する面である。
上述のようにバキュームロッド２３の一端部５０２に
は、当該バキュームロッド２３の軸方向に沿って、円形
の横断面を有するノズル挿入穴２２０が所定深さにて形
成され、該ノズル挿入穴２２０にはノズル部材２２が上
記軸方向に摺動可能に嵌合される。ノズル部材２２は、
大略円柱形状であり、その内部にはほぼ軸方向に沿って
負圧エアーの経路２９ｂが形成されている。尚、バキュ
ームロッド２３内にもエアー経路２９ａが形成されてお
り、後述のように鋼球２６が凹部３０に突入することで
ノズル部材２２がノズル挿入穴２２０に装着された状態
においては、エアー経路２９ａとエアー経路２９ｂとは
連通する。よってエアー経路２９ｂにおいてノズル部材
２２の先端に位置する開口２２ｂにより電子部品の吸
着、吸着解除がなされる。ノズル部材２２の後端には、
上述のスプライン軸３２の係合部３２０を係止する係止
部２２１として、Ｖ字状の溝が形成される。Ｖ字状の係
止部２２１は、図３に概略形状を示すように、円柱形状
のノズル部材２２の直径方向に延在する２つの係合面２
２１ａ，２２１ａによって形成したＶ字状の溝である。
又、上記係合面２２１ａは、上記係合部３２０の係合エ
ッジ３２１と線接触する面である。
【００１４】又、ノズル部材２２の後端部分における外
周面の一部の範囲には軸方向に沿って凹部３０が所定長
さにて形成される。一方、ノズル挿入穴２２０の内周面
２２０ａには、バキュームロッド２３の軸方向に直交す
る方向へ圧縮バネ２５にて付勢された鋼球２６の球面の
一部が突出するようなテーパー穴３１が形成されてい
る。よって、ノズル部材２２がノズル挿入穴２２０に挿
入され装着された状態において、上記突出した鋼球２６
は凹部３０へ突入する。尚、圧縮バネ２５はバキューム
ロッド２３の外面からねじ込まれたボルトにより脱落が
防止される。このように凹部３０へ鋼球２６が突入する
ことで、電子部品の装着操作時において、ノズル部材２
２は凹部３０が延在する範囲内でノズル挿入穴２２０を
軸方向に摺動可能となる。即ち、矢印I方向へのノズル
部材２２の移動は鋼球２６の球面と凹部３０の後端壁面
３０ａとが当接することで制限され、矢印II方向へのノ
ズル部材２２の移動は鋼球２６の球面と凹部３０の先端
壁面３０ｂとが当接することで制限される。
周面の一部の範囲には軸方向に沿って凹部３０が所定長
さにて形成される。一方、ノズル挿入穴２２０の内周面
２２０ａには、バキュームロッド２３の軸方向に直交す
る方向へ圧縮バネ２５にて付勢された鋼球２６の球面の
一部が突出するようなテーパー穴３１が形成されてい
る。よって、ノズル部材２２がノズル挿入穴２２０に挿
入され装着された状態において、上記突出した鋼球２６
は凹部３０へ突入する。尚、圧縮バネ２５はバキューム
ロッド２３の外面からねじ込まれたボルトにより脱落が
防止される。このように凹部３０へ鋼球２６が突入する
ことで、電子部品の装着操作時において、ノズル部材２
２は凹部３０が延在する範囲内でノズル挿入穴２２０を
軸方向に摺動可能となる。即ち、矢印I方向へのノズル
部材２２の移動は鋼球２６の球面と凹部３０の後端壁面
３０ａとが当接することで制限され、矢印II方向へのノ
ズル部材２２の移動は鋼球２６の球面と凹部３０の先端
壁面３０ｂとが当接することで制限される。
【００１５】さらに又、スプライン軸３２は圧縮バネ２
４にてノズル部材２２側へ付勢されていることから、鋼
球２６が凹部３０に突入してノズル部材２２がノズル挿
入穴２２０に装着された状態においては、スプライン軸
３２の係合部３２０はノズル部材２２の係止部２２１に
押圧された状態で当接し、スプライン軸３２の係合部３
２０と、ノズル部材２２の係止部２２１とは係合する。
即ち、スプライン軸３２の係合部３２０に形成される係
合エッジ３２１と、ノズル部材２２の係止部２２１に形
成される係合面２２１ａとは線接触し、かつ上述したよ
うにスプライン軸３２は上記軸回り方向に回動しないこ
とから、スプライン軸３２の係合部３２０とノズル部材
２２の係止部２２１とが係合した状態においては、ノズ
ル部材２２が上記軸回り方向に回動することは防止され
る。従って、ノズル部材２２における軸回り方向の位置
決めは完全に行われることから、高い装着精度にて回路
基板へ電子部品を装着することができる。
４にてノズル部材２２側へ付勢されていることから、鋼
球２６が凹部３０に突入してノズル部材２２がノズル挿
入穴２２０に装着された状態においては、スプライン軸
３２の係合部３２０はノズル部材２２の係止部２２１に
押圧された状態で当接し、スプライン軸３２の係合部３
２０と、ノズル部材２２の係止部２２１とは係合する。
即ち、スプライン軸３２の係合部３２０に形成される係
合エッジ３２１と、ノズル部材２２の係止部２２１に形
成される係合面２２１ａとは線接触し、かつ上述したよ
うにスプライン軸３２は上記軸回り方向に回動しないこ
とから、スプライン軸３２の係合部３２０とノズル部材
２２の係止部２２１とが係合した状態においては、ノズ
ル部材２２が上記軸回り方向に回動することは防止され
る。従って、ノズル部材２２における軸回り方向の位置
決めは完全に行われることから、高い装着精度にて回路
基板へ電子部品を装着することができる。
【００１６】尚、本実施形態における係合部３２０は、
図３に示すように四角形状であるが、この形状に限るも
のではない。例えば、係合部３２０は、図２に示すよう
に、係止部２２１のＶ字状の断面形状に一致した断面形
状であってもよい。要するに、係合部３２０と係止部２
２１とは、両者が係合したときに上記軸回り方向に緩み
が生じないように係合すればよく、このような係合状態
を達成できる形状であればよい。
図３に示すように四角形状であるが、この形状に限るも
のではない。例えば、係合部３２０は、図２に示すよう
に、係止部２２１のＶ字状の断面形状に一致した断面形
状であってもよい。要するに、係合部３２０と係止部２
２１とは、両者が係合したときに上記軸回り方向に緩み
が生じないように係合すればよく、このような係合状態
を達成できる形状であればよい。
【００１７】上述したように構成された緩衝部材５０１
とノズル部材２２とを有する部品装着ヘッドの動作を以
下に説明する。このような部品装着ヘッドは、従来にお
ける部品装着ヘッドにおける動作と同様に、ノズル部材
２２の先端における開口２２ｂにて電子部品を吸着し、
吸着した電子部品を回路基板の装着位置まで保持しなが
ら移動して、回路基板へ電子部品を装着した時点で吸着
を解除する。尚、電子部品の吸着時及び吸着解除時にお
いて、ノズル部材２２が電子部品へ衝撃力を与えないよ
うに、ノズル部材２２はスプライン軸３２に備わる圧縮
バネ２４及び鋼球２６の圧縮バネ２５の作用により、ノ
ズル挿入穴２２０へ進退することで緩衝作用を行う。
とノズル部材２２とを有する部品装着ヘッドの動作を以
下に説明する。このような部品装着ヘッドは、従来にお
ける部品装着ヘッドにおける動作と同様に、ノズル部材
２２の先端における開口２２ｂにて電子部品を吸着し、
吸着した電子部品を回路基板の装着位置まで保持しなが
ら移動して、回路基板へ電子部品を装着した時点で吸着
を解除する。尚、電子部品の吸着時及び吸着解除時にお
いて、ノズル部材２２が電子部品へ衝撃力を与えないよ
うに、ノズル部材２２はスプライン軸３２に備わる圧縮
バネ２４及び鋼球２６の圧縮バネ２５の作用により、ノ
ズル挿入穴２２０へ進退することで緩衝作用を行う。
【００１８】鋼球２６が凹部３０に突入してノズル部材
２２がバキュームロッド２３のノズル挿入穴２２０に装
着された状態においては、図１に示されるように、圧縮
バネ２４の付勢力によりスプライン軸３２の係合部３２
０はノズル部材２２の係止部２２１に押圧され、係合部
３２０と係止部２２１とが係合する。係合部３２０と係
止部２２１とが係合することで、上述したように、ノズ
ル部材２２は、ノズル部材２２の軸回り方向への回動が
防止された状態となる。従って、ノズル部材２２におけ
る軸回り方向の位置決めは完全に行われることから、高
い装着精度にて回路基板へ電子部品を装着することがで
きる。尚、ノズル挿入穴２２０にノズル部材２２が挿入
された状態において、ノズル部材２２が配置される軸方
向の位置は、スプライン軸３２をノズル部材２２側へ付
勢する圧縮バネ２４の付勢力と、鋼球２６を凹部３０側
へ付勢する圧縮バネ２５の付勢力との関係によって定ま
る。尚、図１及び図２では、鋼球２６が凹部３０の後端
壁面３０ａに当接する位置にノズル部材２２が配置され
た状態を示している。
２２がバキュームロッド２３のノズル挿入穴２２０に装
着された状態においては、図１に示されるように、圧縮
バネ２４の付勢力によりスプライン軸３２の係合部３２
０はノズル部材２２の係止部２２１に押圧され、係合部
３２０と係止部２２１とが係合する。係合部３２０と係
止部２２１とが係合することで、上述したように、ノズ
ル部材２２は、ノズル部材２２の軸回り方向への回動が
防止された状態となる。従って、ノズル部材２２におけ
る軸回り方向の位置決めは完全に行われることから、高
い装着精度にて回路基板へ電子部品を装着することがで
きる。尚、ノズル挿入穴２２０にノズル部材２２が挿入
された状態において、ノズル部材２２が配置される軸方
向の位置は、スプライン軸３２をノズル部材２２側へ付
勢する圧縮バネ２４の付勢力と、鋼球２６を凹部３０側
へ付勢する圧縮バネ２５の付勢力との関係によって定ま
る。尚、図１及び図２では、鋼球２６が凹部３０の後端
壁面３０ａに当接する位置にノズル部材２２が配置され
た状態を示している。
【００１９】次に、ノズル部材２２を交換する場合を説
明する。ノズル部材２２をバキュームロッド２３から取
り外す場合、鋼球２６の球面と後端壁面３０ａとを当接
させ、さらにノズル部材２２を矢印I方向へ強く引くこ
とで、鋼球２６は圧縮バネ２５の付勢力に抗してバキュ
ームロッド２３内へ押し戻され、鋼球２６と凹部３０と
の係合状態が解除される。よってノズル部材２２はバキ
ュームロッド２３から容易に取り外すことができる。別
のノズル部材２２−１をバキュームロッド２３へ取り付
ける場合、鋼球２６の配置位置と、取り付けるノズル部
材２２−１の凹部３０の配置位置とが合うようにして、
かつ鋼球２６がバキュームロッド２３内に後退する力に
て、ノズル部材２２−１をノズル挿入穴２２０へ挿入す
る。鋼球２６が凹部３０に突入してノズル部材２２−１
がバキュームロッド２３に装着された状態において、上
述したノズル部材２２の場合と同様に、ノズル部材２２
−１は軸回り方向の回動が防止される。このように、鋼
球２６と凹部３０との係合によりノズル部材２２をノズ
ル挿入穴２２０に保持しているので、ノズル挿入穴２２
０に対してノズル部材２２を軸方向へ進退させるだけで
容易にノズル部材の交換を行うことができる。
明する。ノズル部材２２をバキュームロッド２３から取
り外す場合、鋼球２６の球面と後端壁面３０ａとを当接
させ、さらにノズル部材２２を矢印I方向へ強く引くこ
とで、鋼球２６は圧縮バネ２５の付勢力に抗してバキュ
ームロッド２３内へ押し戻され、鋼球２６と凹部３０と
の係合状態が解除される。よってノズル部材２２はバキ
ュームロッド２３から容易に取り外すことができる。別
のノズル部材２２−１をバキュームロッド２３へ取り付
ける場合、鋼球２６の配置位置と、取り付けるノズル部
材２２−１の凹部３０の配置位置とが合うようにして、
かつ鋼球２６がバキュームロッド２３内に後退する力に
て、ノズル部材２２−１をノズル挿入穴２２０へ挿入す
る。鋼球２６が凹部３０に突入してノズル部材２２−１
がバキュームロッド２３に装着された状態において、上
述したノズル部材２２の場合と同様に、ノズル部材２２
−１は軸回り方向の回動が防止される。このように、鋼
球２６と凹部３０との係合によりノズル部材２２をノズ
ル挿入穴２２０に保持しているので、ノズル挿入穴２２
０に対してノズル部材２２を軸方向へ進退させるだけで
容易にノズル部材の交換を行うことができる。
【００２０】尚、上述した実施形態において、緩衝部材
５０１の外筒３３とバキュームロッド２３とを固定する
ための固定具としてキー３５を使用したが、セットビス
等の他の手段でも良い。又、緩衝部材５０１の外筒３３
とバキュームロッド２３とを一体構造として、キー３５
を省略するようにしても良い。又、本実施形態では、ノ
ズル部材２２にて吸着される部品として電子部品を例に
採り該電子部品は回路基板に装着される場合を例に採っ
たが、部品は電子部品に限られない。よって当該部品が
装着される被着体も回路基板に限るものではない。
５０１の外筒３３とバキュームロッド２３とを固定する
ための固定具としてキー３５を使用したが、セットビス
等の他の手段でも良い。又、緩衝部材５０１の外筒３３
とバキュームロッド２３とを一体構造として、キー３５
を省略するようにしても良い。又、本実施形態では、ノ
ズル部材２２にて吸着される部品として電子部品を例に
採り該電子部品は回路基板に装着される場合を例に採っ
たが、部品は電子部品に限られない。よって当該部品が
装着される被着体も回路基板に限るものではない。
【００２１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ノ
ズル装着部に対して軸回り方向に回動不能に緩衝部材を
取り付け、かつその一端には係合部を備え、ノズル部材
の後端には上記係合部と係合する係止部を備え、上記係
合部と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材
が軸回り方向に回動することを防止したことより、上記
ノズル部材における軸回り方向の位置決めは完全に行わ
れ、従って高い装着精度にて部品の装着を行うことがで
きる。
ズル装着部に対して軸回り方向に回動不能に緩衝部材を
取り付け、かつその一端には係合部を備え、ノズル部材
の後端には上記係合部と係合する係止部を備え、上記係
合部と上記係止部とを係合させることで上記ノズル部材
が軸回り方向に回動することを防止したことより、上記
ノズル部材における軸回り方向の位置決めは完全に行わ
れ、従って高い装着精度にて部品の装着を行うことがで
きる。
【図１】 本発明の一実施形態の部品装着ヘッドにおけ
るノズル部材回りの構造を示す断面図である。
るノズル部材回りの構造を示す断面図である。
【図２】 本発明の他の実施形態の部品装着ヘッドにお
けるノズル部材回りの構造を示す断面図である。
けるノズル部材回りの構造を示す断面図である。
【図３】 図１に示すスプライン軸の係合部とノズル部
材の係止部との概略形状を示す斜視図である。
材の係止部との概略形状を示す斜視図である。
【図４】 従来の部品装着ヘッドにおけるノズル部材回
りの構造を示す断面図である。
りの構造を示す断面図である。
【図５】 図４に示すIII−III線における部品装着ヘッ
ドの断面図である。
ドの断面図である。
【図６】 従来の他の部品装着ヘッドにおけるノズル部
材回りの構造を示す断面図である。
材回りの構造を示す断面図である。
【図７】 従来の別の部品装着ヘッドにおけるノズル部
材回りの構造を示す断面図である。
材回りの構造を示す断面図である。
【図８】 実装機全体を示した実装機の斜視図である。
２２…ノズル部材、２３…バキュームロッド、２４…圧
縮バネ、２５…圧縮バネ、２６…鋼球、２７…ボルト、
２８…摺動部材、３２…スプライン軸、３３…外筒、２
２１…係止部、２２１ａ…係合面、３２０…係合部、３
２１…係合エッジ、５０１…緩衝部材。
縮バネ、２５…圧縮バネ、２６…鋼球、２７…ボルト、
２８…摺動部材、３２…スプライン軸、３３…外筒、２
２１…係止部、２２１ａ…係合面、３２０…係合部、３
２１…係合エッジ、５０１…緩衝部材。
フロントページの続き (72)発明者 奥田 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 ノズル装着部（２３）と、上記ノズル装
着部に緩衝部材（５０１）を介して着脱可能に挿入され
その先端にて部品を吸着するノズル部材（２２）と、を
備えた部品装着ヘッドであって、 上記緩衝部材は、上記ノズル装着部に対して軸回り方向
に回動不能に取り付けられ、かつその一端には係合部
（３２０）を備え、上記ノズル部材の後端には上記係合
部と係合する係止部（２２１）を備え、上記係合部と上
記係止部とを係合させることで上記ノズル部材が軸回り
方向に回動することを防止することを特徴とする部品装
着ヘッド。 - 【請求項２】 上記係合部は、上記係止部に対して線接
触する直線状の係合エッジ（３２１）を有する凸部であ
り、上記係止部は上記係合エッジと線接触する係合面
（２２１ａ）を有する凹部である、請求項１記載の部品
装着ヘッド。 - 【請求項３】 上記係合部である凸部は矩形状の断面に
てなり、上記係止部である凹部はＶ字状の断面にてな
る、請求項２記載の部品装着ヘッド。 - 【請求項４】 上記緩衝部材は、上記係合部を上記係止
部側へ常時付勢する付勢部材（２４）を有し、上記ノズ
ル装着部には、上記付勢部材の付勢力により上記ノズル
部材が上記ノズル装着部から離脱するのを制限する離脱
制限部材（２５，２６，２７）を有する、請求項１ない
し３のいずれかに記載の部品装着ヘッド。 - 【請求項５】 上記緩衝部材は、さらに、上記ノズル装
着部に対して軸回り方向に回動不能に密着嵌合される外
筒（３３）と、上記ノズル部材と同軸芯上にて上記外筒
内に設けられ軸方向に移動可能であり、かつ上記付勢部
材にて上記ノズル部材側へ付勢されるスプライン軸（３
２）と、を有する、請求項４記載の部品装着ヘッド。 - 【請求項６】 上記外筒と上記スプライン軸との接合部
分には、上記スプライン軸の軸方向に沿って、上記スプ
ライン軸の軸方向への移動を円滑にする摺動部材（２
８）を設けた、請求項５記載の部品装着ヘッド。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8165877A JPH1013092A (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 部品装着ヘッド |
| CN97195577A CN1095625C (zh) | 1996-06-26 | 1997-06-24 | 元件安装头 |
| PCT/JP1997/002161 WO1997050285A1 (en) | 1996-06-26 | 1997-06-24 | Component mounting head |
| DE69703799T DE69703799T2 (de) | 1996-06-26 | 1997-06-24 | Bestückungskopf für bauelemente |
| US09/202,620 US6161886A (en) | 1996-06-26 | 1997-06-24 | Component mounting head |
| EP97927432A EP0908081B1 (en) | 1996-06-26 | 1997-06-24 | Component mounting head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8165877A JPH1013092A (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 部品装着ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1013092A true JPH1013092A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15820684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8165877A Pending JPH1013092A (ja) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 部品装着ヘッド |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6161886A (ja) |
| EP (1) | EP0908081B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1013092A (ja) |
| CN (1) | CN1095625C (ja) |
| DE (1) | DE69703799T2 (ja) |
| WO (1) | WO1997050285A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007150096A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Juki Corp | ノズル装着機構 |
| CN112278855A (zh) * | 2020-10-26 | 2021-01-29 | 天堃自动化科技(苏州)有限公司 | 一种快速上料抓取装置及其上料方法 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998029221A1 (fr) * | 1996-12-25 | 1998-07-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tete-support de piece, dispositif de montage de piece et procede de fixation de piece |
| US6298547B1 (en) * | 1997-09-25 | 2001-10-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for holding component, apparatus for mounting component, and method for mounting component |
| US6895662B2 (en) * | 1997-09-25 | 2005-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for holding and mounting a component |
| JP2001047385A (ja) * | 1999-08-05 | 2001-02-20 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電気部品装着ヘッド |
| DE50002019D1 (de) * | 1999-11-09 | 2003-06-05 | Siemens Ag | Einrichtung zum halten eines greifers für ein elektrisches bauelement an einem bestückkopf |
| WO2001063999A2 (en) * | 2000-02-22 | 2001-08-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Suction nozzle for holding component by suction |
| KR100344905B1 (ko) * | 2000-09-09 | 2002-07-20 | 미래산업 주식회사 | 표면실장장치에서 모듈헤드의 부품흡착장치 |
| JP2002200585A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電気部品保持装置 |
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