JPH10109075A

JPH10109075A - ガラス板の清掃方法および清掃装置

Info

Publication number: JPH10109075A
Application number: JP9213191A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Nakamura; 敏彦中村
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Development and Engineering Corp
Priority date: 1996-08-12
Filing date: 1997-08-07
Publication date: 1998-04-28

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス板表面上の異物を容易にかつ確実に除去
しガラス板を充分に清掃することができるガラス板の清
掃方法および清掃装置を提供することにある。【解決手段】放射状に配設された複数枚のスキージ５２
の刃先を、Ｘ−Ｙステージ１０上に載置されたガラス板
Ｐの表面に接触させた状態で、ガラス板表面とほぼ直交
する回転軸の回りでモータ１４によってスキージを回転
させる。そして、Ｘ−Ｙステージ１０を移動させ、回転
するスキージによりガラス板表面を所定の方向に沿って
走査し、ガラス板表面に付着した異物をスキージにより
除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス板の表面
に付着したガラスカレットや各種の異物を除去するガラ
ス板の清掃方法および清掃装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス板として、例えば、液晶表示パネ
ルの製造に用いられるガラス板は、その表面に電極、絶
縁膜等の種々の薄膜層が形成される。そのため、ガラス
板の表面は、異物等の付着がなく充分に清掃されている
必要がある。

【０００３】また、液晶表示パネルは、一対のガラス板
が液晶層を介して貼り合わされて構成されているが、そ
の製造に際して、液晶表示パネルの外形寸法よりも十分
に大きなガラス基板を用い、製造途中でガラス板の不要
部分が切断除去されて所望の形状に加工される。このた
め、液晶表示パネルの外表面等にも、主にガラスカレッ
ト等が付着し、その外表面に偏光板等の光学フィルムを
貼り付ける際に不都合が生じる。

【０００４】そこで、一般に、ガラス板の主表面、液晶
パネル主表面は、清掃装置により清掃され、表面に付着
した異物が除去される。ガラス板の清掃に用いられる清
掃装置は、細長いスキージを有し、このスキージの刃先
をガラス板表面に当てた状態でガラス板表面上を所定の
方向に沿って走査することにより、ガラス板表面に付着
したガラスカレットや各種の異物を掻き取り物理的に除
去する。

【０００５】従来においては、このようなスキージによ
るガラス板表面の走査は、例えば特開平４−９３８１６
号公報等に開示されているように、同一方向に沿って１
回または複数回繰り返し行われている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように、同一方向に沿ってスキージを走査することによ
りガラス板を清掃する場合、スキージの刃先は、ガラス
板表面上の異物に対して常に同一の方向のみから接触
し、ガラス板表面上の異物も一方向の掻き取り力のみ受
けることとなる。また、１回の走査中において、スキー
ジの刃先は１回しか異物に当接することができない。

【０００７】そのため、ガラス板表面上の異物の種類や
付着状態によっては、スキージによる走査では異物を除
去できない場合もあり、ガラス板表面を充分に清掃する
ことが困難となる。また、スキージの走査回数を増やし
て、あるいは、走査方向を変更して複数回走査する方法
も考えられるが、この場合、処理作業に時間が掛かり製
造効率の低下を招く。

【０００８】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、ガラス板表面上の異物を容易にかつ確
実に除去しガラス板を充分に清掃することができるガラ
ス板の清掃方法および清掃装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の請求項１に係るガラス板の清掃方法は、
スキージの刃先をガラス板表面に接触させた状態で、ガ
ラス板表面とほぼ直交する方向に延びた回転軸の回りで
上記スキージを回転させ、上記回転するスキージによ
り、上記ガラス板表面を所定の方向に沿って走査し、上
記ガラス板表面に付着した異物を上記スキージにより除
去することを特徴としている。

【００１０】また、請求項４に係るこの発明の清掃方法
によれば、上記回転軸に対して放射状に配設された複数
枚のスキージを回転させながら、上記ガラス板上面を上
記複数枚のスキージによって走査することを特徴として
いる。

【００１１】請求項５に係るこの発明の清掃方法によれ
ば、ガラス板表面に付着した異物に対してスキージの刃
先を複数の方向から順次押し当てて上記異物を除去する
ことを特徴としている。

【００１２】請求項６に係るこの発明のガラス板清掃装
置は、ガラス板を支持する支持手段と、上記支持手段に
支持されたガラス板の表面に接触可能な刃先を有するス
キージと、上記支持手段により支持されたガラス板の表
面とほぼ直交する方向に延びた回転軸の回りで上記スキ
ージを回転させる回転手段と、上記回転するスキージ
を、上記刃先がガラス板表面に接触した状態で、上記ガ
ラス板表面に対して所定の経路に沿って走査する走査手
段と、を備えたことを特徴としている。

【００１３】更に、請求項７に係るこの発明のガラス板
清掃装置は、ガラス板を支持する支持手段と、上記支持
手段により支持されたガラス板の表面とほぼ直交する方
向に延びた駆動軸と、上記駆動軸から放射状に延びてい
るとともにそれぞれ上記支持手段に支持されたガラス板
の表面に接触可能な刃先を有する複数枚のスキージと、
を備えたスキージユニットと、上記駆動軸の回りで上記
スキージユニットを回転させる回転手段と、上記回転す
るスキージユニットを、上記各スキージの刃先がガラス
板表面に接触した状態で、上記ガラス板表面に対して所
定の経路に沿って走査する走査手段と、を備えたことを
特徴としている。

【００１４】上記構成の清掃方法および清掃装置によれ
ば、ガラス板表面に接触した刃先を有するスキージを回
転させながら、このガラス板表面全体を走査することに
より、ガラス板表面に付着した異物を物理的作用により
除去する。この際、回転するスキージは、ガラス板上の
異物に対して１回の走査により複数回当たるとともに、
異物に対して異なる方向から当接し複数の方向のベクト
ルを作用させる。従って、ガラス板表面上の異物を比較
的短時間で確実に除去することが可能となる。なお、本
発明におけるガラス板とは、各種ガラス基板と共に、石
英基板等を含むものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下図面を参照しながら、この発
明の実施の形態に係るガラス板清掃装置について詳細に
説明する。図１に示すように、ガラス板清掃装置は、ガ
ラス板Ｐを支持する支持手段および走査手段として機能
するＸ−Ｙステージ１０、回転自在に設けられたスキー
ジユニット１２、スキージユニットを回転駆動する駆動
手段としてのモータ１４、および、Ｘ−Ｙステージ１０
上に支持されたガラス板Ｐに対してスキージユニット１
２およびモータ１４を昇降させる昇降機構１６を備えて
いる。

【００１６】Ｘ−Ｙステージ１０は、平板状のベース２
０、Ｙステージ２２、およびＸステージ２４を有してい
る。ベース２０上にはＹ軸方向に延びる一対のガイドレ
ール２５が固定され、Ｙステージ２２はこれらのガイド
レール２５に沿って移動自在にベース２０上に支持され
ている。そして、Ｙステージ２２は、ベース２０上に設
けられたステップモータ２６およびリードスクリュ２７
を有するＹ軸駆動機構２８により、Ｙ軸方向に往復駆動
される。

【００１７】また、Ｙステージ２２上にはＸ軸方向に延
びる一対のガイドレール３０が固定され、Ｘステージ２
４はこれらのガイドレール３０に沿って移動自在にＹス
テージ２２上に支持されている。そして、Ｘステージ２
４は、Ｙステージ２２上に設けられたステップモータ３
２およびリードスクリュ３３を有するＸ軸駆動機構３４
により、Ｘ軸方向に往復駆動される。

【００１８】Ｘステージ２４には多数の吸引孔３６が形
成され、Ｘステージ２４表面に開口している。また、こ
れらの吸引孔３６は真空ライン３８を介して図示しない
真空ポンプに連通している。従って、Ｘステージ２４上
にガラス板Ｐを載置した状態で真空ポンプを作動させる
ことにより、ガラス板ＰをＸステージ２４表面に吸着固
定することができる。

【００１９】Ｘステージ２４の上方には、スキージユニ
ット１２を回転駆動するモータ１４が配設され、モータ
１４の回転軸はガラス板Ｐの表面と直交する方向、つま
り、Ｚ軸方向に沿って延びている。そして、モータ１４
は、昇降機構１６により、Ｚ軸方向に沿って昇降自在に
支持されている。

【００２０】昇降機構１６はＺ方向に沿って立設された
支持ポスト４０を備え、この支持ポストにはＺ方向に延
びるガイドレール４１が固定されているとともに、ガイ
ドレール４１に沿って昇降自在な移動ブロック４２が設
けられている。そして、モータ１４は、ブラケット４３
を介して移動ブロック４２に取り付けられている。

【００２１】また、支持ポスト４０には、Ｚ方向に延び
ているとともに移動ブロック４２に歯合したリードスク
リュ４４、およびリードスクリュを駆動するステップモ
ータ４６が取り付けられている。そして、ステップモー
タ４６を駆動することにより、移動ブロック４２と共に
モータ１４を昇降させることができる。

【００２２】図１ないし図３に示すように、スキージユ
ニット１２は、モータ１４の回転軸１４ａに連結されＺ
軸方向に延びた駆動軸５０と、駆動軸５０に連結されて
いるとともに、Ｘステージ２４上に載置されたガラス板
Ｐ表面に当接可能な複数、例えば、４枚のスキージ５２
と、を備えている。

【００２３】詳細に述べると、スキージユニット１２
は、駆動軸５０の下端部から放射状に延出した４本の支
持アーム５４を有し、各支持アームの延出端には、ホル
ダ５６が取り付けられている。各ホルダ５６は、Ｚ軸方
向に沿って移動可能に、かつ、Ｘステージ２４の表面と
平行な方向に延びる枢軸５７の回りで回動自在に、支持
アーム５４に取り付けられている。更に、各ホルダ５６
は、支持アーム５４との間に設けられた圧縮ばね６０に
より、下方に向かって、つまり、Ｘステージ２４に向か
って付勢されている。

【００２４】一方、各スキージ５２は、ガラス板Ｐより
も硬度の低い材料、例えば、ステンレス、セラミック等
により細長い矩形状に形成されている。本実施の形態に
おいては、ステンレスのスキージとして、例えば、ＮＴ
カッター製Ｌ−５０が使用されている。セラミックのス
キージは、高硬度であるため耐久性に優れ、ガラス材等
の異物の除去が容易であるが、コストと加工性を考慮す
るとステンレスのスキージが有利である。

【００２５】そして、各スキージ５２は、ホルダ５６に
脱着自在に取付けられ、その下端縁には、刃先５２ａが
形成されている。それにより、４枚のスキージ５２は、
駆動軸５０に対して放射状に延びているとともに、円周
方向に沿って互いに等間隔離間して設けられている。ま
た、各スキージ５２は、その下端縁に形成された刃先５
２ａが、回転方向側へ傾斜した状態でガラス板Ｐ表面と
接触するように、所定角度傾斜した状態でホルダ５６に
保持されている。

【００２６】図２に示すように、ガラス板Ｐ表面とスキ
ージ５２とのなす角度をθとした場合、この角度θは２
０〜５０度、好ましくは、２０〜４５度の鋭角に設定さ
れている。これは、角度θが大きすぎると、スキージの
滑りが悪くなり、角度θが小さ過ぎると、精度の良い機
械設計が困難となるためである。本実施の形態におい
て、角度θは例えば３０度に設定されている。

【００２７】上記のように構成されたスキージユニット
１２は、昇降機構１６により、モータ１４と共にＺ軸方
向へ昇降されるとともに、モータ１４によって駆動軸５
０の回りで回転駆動される。また、ホルダ５６に取り付
けられた各スキージ５２は、圧縮ばね６０によりホルダ
５６と共にＸステージ２４側へ付勢され、かつ、枢軸５
７の回りで回動可能となっている。

【００２８】スキージユニット１２の上方には、スキー
ジユニット１２およびガラス板Ｐに向かって研削液を噴
出するための噴射ノズル６１が設けられている。この噴
射ノズル６１はモータ１４に取り付けられ、モータ１４
とともに昇降可能となっている。

【００２９】図４に示すように、清掃装置の制御系は装
置全体の動作を制御する制御部６２を備えている。そし
て、制御部６２には、Ｘ−Ｙステージ１０のステップモ
ータ２６、３２がドライバ６３を介して接続されている
とともに、昇降機構１６のステップモータ４６がドライ
バ６４を介して接続されている。また、スキージユニッ
ト１２を駆動するモータ１４は、ドライバ６６を介して
制御部６２に接続されている。

【００３０】更に、制御系は、装置全体の制御プログラ
ムが格納されたＲＡＭ６８、オペレータによって制御デ
ータを入力するための操作パネル７０を有している。そ
の他、制御部６２には、真空ライン３８に接続され吸引
手段として機能する真空ポンプ７２、および研削水を噴
射ノズルに供給するための吐出ポンプ７４がそれぞれ接
続されている。

【００３１】次に、以上のように構成された清掃装置を
用いてガラス板Ｐの表面を清掃する方法について説明す
る。まず、図１に示すように、Ｘ−Ｙステージ１０のＸ
ステージ２４上に清掃しようとするガラス板Ｐを載置
し、所定の位置、例えば、ガラス板Ｐの側縁がＸ軸ある
いはＹ軸と平行となるように、セットする。このガラス
板Ｐは、例えば、液晶表示パネルの製造に使用されるガ
ラス基板であり、その表面には、ガラスカレット、接着
剤、封止剤等の異物が付着している。

【００３２】ガラス板ＰをＸステージ２４上にセットす
る際、スキージユニット１２およびモータ１４は、ガラ
ス板Ｐの載置作業の邪魔とならないように、Ｘステージ
２４から充分離れた高いに位置に移動されている。ガラ
ス板Ｐのセット終了後、真空ポンプ７２を作動させ、真
空ライン３８および吸引孔３６を介してガラス板Ｐに作
用する吸引力により、ガラス板ＰをＸステージ２４上に
吸着固定する。

【００３３】ガラス板Ｐを固定した後、図３に示すよう
に、スキージユニット１２の駆動軸５０がガラス板Ｐの
走査開始位置Ｓの上方に位置するように、Ｘ−Ｙステー
ジ１０を駆動してスキージユニット１２に対するガラス
板Ｐの位置を調整する。

【００３４】この状態で、モータ１４によりスキージユ
ニット１２を回転させ、４枚のスキージ５２を駆動軸５
０を中心として回転駆動する。この際、スキージ５２の
回転方向Ａは、スキージ５２の傾斜方向と一致してい
る。続いて、各スキージ５２の刃先５２ａがガラス板Ｐ
の表面に当接するまで、昇降機構１６によってモータ１
４、スキージユニット１２および噴射ノズル６１を下降
させる。

【００３５】ここで、各スキージ５２は、スキージユニ
ット１２の支持アーム５４により、Ｚ軸方向、つまり、
ガラス板Ｐの表面に垂直な方向に沿って移動可能に支持
されているとともに、ガラス板表面と平行な枢軸５７の
回りで回動自在に支持されている。そのため、各スキー
ジ５２の刃先５２ａは、ガラス板Ｐの表面に隙間なく接
触し、かつ、圧縮ばね６０の付勢力により、ガラス板Ｐ
表面に所定の圧力で押し付けられる。

【００３６】その後、ＲＡＭ６８に格納された制御プロ
グラムに従ってＸ−Ｙステージ１０のＹ軸移動機構２８
およびＸ軸駆動機構３４を駆動し、スキージユニット１
２の駆動軸５０の延長線が、ガラス板Ｐ表面上を矩形状
の走査経路Ｂに沿って移動するように、Ｙステージ２２
およびＸステージ２４を移動させる。なお、この際、噴
射ノズル６１からスキージユニット１２のスキージ５２
を冷却する研削水を噴射する。

【００３７】それにより、スキージユニット１２の４枚
のスキージ５２は、駆動軸５０を中心として回転しなが
ら、走査経路Ｂに沿ってガラス板表面上を走査する。そ
の際、各スキージ５２の刃先５２ａはガラス板Ｐの表面
上を摺動し、ガラス板表面に付着しているガラスカレッ
ト、接着剤、封止剤等の異物をガラス板表面から掻き取
って除去する。

【００３８】走査経路Ｂは、スキージ５２によってガラ
ス板Ｐの表面全体が擦られるように、かつ、駆動軸５０
および各スキージ５２の長手方向中央部が常にガラス板
Ｐの表面上に位置するように、設定されている。従っ
て、ガラス板Ｐの表面は、回転する４枚のスキージ５２
によってその全面が擦られ、ガラス板表面上に付着して
いる異物は、これらのスキージ５２により複数回だけ異
なる方向から擦られる。それにより、ガラス板Ｐ表面に
付着していた異物が除去され、ガラス板全面が清掃され
る。

【００３９】なお、スキージユニット１２の回転速度が
速すぎると、基板周辺の清掃時にスキージの刃先が揺ら
ぎ、ガラス板Ｐのエッジを損傷する恐れがある。そこ
で、スキージユニット１２の回転数は、５０〜２００ｒ
ｐｍ、好ましくは８０〜１２０ｒｐｍの範囲に設定され
る。本実施の形態において、スキージユニット１２の回
転速度は、例えば、約１００ｒｐｍ、およびスキージユ
ニット１２とガラス板Ｐとの相対移動速度は約２５mm／
sec に設定されている。

【００４０】また、ガラス板Ｐ表面に付着している異物
が接着剤や封止剤である場合には、予め有機系のアルコ
ール等を用いて異物をある程度溶かした後、清掃装置に
よって清掃することが望ましい。

【００４１】以上のように構成された清掃装置によれ
ば、スキージを回転させながら、例えばガラス板として
コーニング社製７０５９を用い、その表面を走査するこ
とにより、清掃時間を従来と同一とした場合、除去しよ
うとする異物に対してスキージの当たる回数が従来の４
ないし１０倍に増加するとともに、各異物に対してスキ
ージが異なる方向から当たるため、異物に作用する除去
力のベクトルが多様化する。従って、ガラス板に付着し
た異物を確実に除去することができるとともに、除去効
率を従来に比較して２０％程度向上させることができ
る。そのため、従来に比較して短時間で安定したガラス
板の清掃が可能となる。

【００４２】上述した実施の形態では、ガラス板Ｐ表面
を清掃する場合について説明したが、上述した清掃装置
および清掃方法は、一対の基板間に液晶層が保持されて
成る液晶表示パネルの表面を清掃する場合にも適用され
る。すなわち、上述したガラス板を用いて構成され、有
効表示領域が対角１２．１インチサイズの液晶表示装置
をＸ−Ｙステージ１０上に載置し、上記実施の形態と同
様にしてその両主表面を清掃した。

【００４３】その後、光学フィルムとして、例えば一対
の偏光板をそれぞれの基板外表面に貼り付けて液晶表示
パネルを完成させた。これにより得られた液晶表示パネ
ルは、基板と光学フィルムとの間に異物は認められず、
表示不良の発生は極め低く抑えられた。また、その処理
時間も従来に比べて充分に短縮された。

【００４４】次に、図５ないし図７を参照して、この発
明の他の実施の形態に係るスキージユニット１２につい
て説明する。スキージユニット１２以外の構成は前述し
た実施の形態と同一であり、その詳細な説明は省略す
る。

【００４５】モータ１４の回転軸１４ａに連結された駆
動軸５０の下端には、保持リング８０が固定されてい
る。保持リング８０の外周面には、３つの嵌合溝８１が
円周方向に等間隔離間して形成され、それぞれ駆動軸５
０の軸方向（Ｚ方向）に沿って延びている。そして、各
嵌合溝８１には、スキージアッセンブリ８２が取り付け
られている。

【００４６】スキージアッセンブリ８２は矩形板状の基
台８４を備え、この基台８４は、その側縁上端部が嵌合
溝８１に嵌合した状態で、ねじ８５によって保持リング
８０にねじ止めされている。それにより、基台８４は、
駆動軸５０に対して放射状に延びているとともに、保持
リング８０からＺ方向下方に延びている。

【００４７】基台８４にはＺ方向に延びるガイドレール
８６が固定され、このガイドレールにより、矩形板状の
昇降ブロック８８がＺ方向に沿って移動自在に支持され
ている。基台８４の上端には支持アーム９０が固定さ
れ、昇降ブロック８８の上方へ延出している。支持アー
ム９０の延出端にはガイドシャフト９２が固定されてい
る。

【００４８】ガイドシャフト９２は、Ｚ方向に延びてい
るとともに、支持アーム９０から上方および下方に延出
している。そして、ガイドシャフト９２の下端部は昇降
ブロック８８の上端部に形成された図示しない孔に摺動
自在に挿入されている。また、ガイドシャフト９２の下
端部外側には圧縮コイルばね９３が装着され、昇降ブロ
ック８８と支持アーム９０との間に配設されている。こ
の圧縮コイルばね９３により、昇降ブロック８８は下方
に向かって付勢されている。

【００４９】昇降ブロック８８には枢軸９５が突設さ
れ、ガラス板Ｐ表面と平行に延びている。枢軸９５に
は、軸受９４を介して回動板９６が取り付けられ、枢軸
の回りで回動自在に支持されている。回動板９６の上端
と前述したガイドシャフト９２の上端との間には、引っ
張りばね９８が架設され、回動板９６を中立位置に弾性
的に保持している。そして、回動板９６の下端に、ホル
ダ１００を介して矩形板状のスキージ５２が取り付けら
れている。

【００５０】ホルダ１００は、一対のねじ１０１によっ
て回転板９６の下端に固定されたホルダ本体１０２と、
一対のねじ１０３によってホルダ本体にねじ止めされた
クランパ１０４と、を備えている。そして、スキージ５
２は、ホルダ本体１０２とクランパ１０４との間に挟持
された状態でホルダ１００に取り付けられている。ガラ
ス板Ｐ表面に対するスキージ５２の傾き、つまり、図６
における角度θは、ねじ１０３によって調整可能であ
り、２０〜５０度、例えば、３０度に設定されている。

【００５１】上記構成のスキージユニット１２によれ
ば、各スキージアッセンブリ８２のスキージ５２は、昇
降ブロック８８によってＺ軸方向、つまり、ガラス板Ｐ
の表面に垂直な方向に沿って移動可能に支持されている
とともに、ガラス板表面と平行な枢軸９４の回りで回動
自在に支持されている。そのため、各スキージ５２の刃
先５２ａは、ガラス板Ｐの表面に隙間なく接触し、か
つ、圧縮コイルばね９３の付勢力により、ガラス板Ｐ表
面に所定の圧力で押し付けられる。

【００５２】そして、スキージユニット１２を所定の回
転速度、例えば、約１００ｒｐｍで回転駆動しながら、
ガラス板Ｐ表面を所定の走査経路に沿って移動させるこ
とにより、各スキージ５２の刃先５２ａがガラス板Ｐの
表面上を摺動し、ガラス板表面に付着しているガラスカ
レット、接着剤、封止剤等の異物をガラス板表面から掻
き取って除去する。

【００５３】以上のように構成されたスキージユニット
１２を用いた場合でも、前述した実施の形態と同様の作
用効果を得ることができる。なお、この発明は上述した
実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で
種々変形可能である。例えば、スキージユニットの走査
経路は矩形に限らず、必要に応じて、あるいはガラス板
のサイズに応じて任意に設定可能である。

【００５４】また、スキージユニットは、少なくとも１
枚のスキージを備えていれば上述した実施の形態と同様
の作用効果を得ることができ、その枚数は、必要に応じ
て増減可能である。その他、スキージの材質、回転速
度、移動速度等は、必要に応じて種々変形可能である。

【００５５】更に、この発明の清掃方法および清掃装置
は、液晶表示パネルの製造に使用されるガラス板の清掃
に限らず、他のガラス板の清掃にも適用できることは言
うまでもない。

【００５６】

【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、スキージを回転させながらガラス板表面を走査する
ようにしたことから、ガラス板表面上の異物を容易にか
つ確実に除去しガラス板を充分に清掃することができる
ガラス板の清掃方法および清掃装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態に係るガラス板の清掃装
置を示す斜視図。

【図２】上記清掃装置のスキージユニットを示す側面
図。

【図３】上記スキージユニットおよびガラス板の平面
図。

【図４】上記清掃装置の制御系の構成を概略的に示すフ
ロック図。

【図５】この発明の他の実施の形態に係るスキージユニ
ットを示す斜視図。

【図６】上記スキージユニットのスキージアッセンブリ
を示す側面図。

【図７】上記スキージアッセンブリの正面図。

【符号の説明】

１０…Ｘ−Ｙステージ１２…スキージユニット１４…モータ１６…昇降機構２２…Ｙステージ２４…Ｘステージ２８…Ｙ軸駆動機構３２…Ｘ軸駆動機構３６…吸引孔５０…駆動軸５２…スキージ５２ａ…刃先５４…支持アーム５７…ホルダ８２…スキージアッセンブリ８８…昇降ブロック９６…回転板１００…ホルダＰ…ガラス板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スキージの刃先をガラス板表面に接触させ
た状態で、ガラス板表面とほぼ直交する方向に延びた回
転軸の回りで上記スキージを回転させ、上記回転するスキージにより、上記ガラス板表面を所定
の方向に沿って走査し、上記ガラス板表面に付着した異
物を上記スキージにより除去することを特徴とするガラ
ス板の清掃方法。
【請求項２】上記回転軸が常時上記ガラス板の表面上に
位置した状態で上記スキージを走査することを特徴とす
る請求項１に記載のガラス板の清掃方法。
【請求項３】上記スキージの刃先の長手方向中央部が、
上記ガラス板表面上に常時位置した状態で上記ガラス板
表面を走査することを特徴とする請求項２叉は３に記載
のガラス板の清掃方法。
【請求項４】上記回転軸に対して放射状に配設された複
数枚のスキージを回転させながら、上記ガラス板上面を
上記複数枚のスキージによって走査することを特徴とす
る請求項１ないし３のいずれか１項に記載のガラス板の
清掃方法。
【請求項５】ガラス板表面に付着した異物にスキージの
刃先を当接させて異物を除去するガラス板の清掃方法に
おいて、上記スキージの刃先を上記異物に対して複数の方向から
順次押し当てて上記異物を除去することを特徴とするガ
ラス板の清掃方法。
【請求項６】ガラス板を支持する支持手段と、上記支持手段に支持されたガラス板の表面に接触可能な
刃先を有するスキージと、上記支持手段により支持されたガラス板の表面とほぼ直
交する方向に延びた回転軸の回りで上記スキージを回転
させる回転手段と、上記回転するスキージを、上記刃先がガラス板表面に接
触した状態で、上記ガラス板表面に対して所定の経路に
沿って走査する走査手段と、を備えたことを特徴とするガラス板清掃装置。
【請求項７】ガラス板を支持する支持手段と、上記支持手段により支持されたガラス板の表面とほぼ直
交する方向に延びた駆動軸と、上記駆動軸から放射状に
延びているとともにそれぞれ上記支持手段に支持された
ガラス板の表面に接触可能な刃先を有する複数枚のスキ
ージと、を備えたスキージユニットと、上記駆動軸の回りで上記スキージユニットを回転させる
回転手段と、上記回転するスキージユニットを、上記各スキージの刃
先がガラス板表面に接触した状態で、上記ガラス板表面
に対して所定の経路に沿って走査する走査手段と、を備えたことを特徴とするガラス板清掃装置。
【請求項８】上記スキージユニットは、上記駆動軸から
放射状に延出した複数の支持アームと、各支持アームに
設けられているとともに上記スキージを脱着自在に保持
したホルダと、を備えていることを特徴とする請求項７
に記載のガラス板清掃装置。
【請求項９】上記各ホルダは、上記駆動軸とほぼ平行な
方向に沿って移動自在に、かつ、上記支持手段によって
支持された上記ガラス板の表面とほぼ平行な軸の回りで
回動自在に、上記支持アームに取り付けられていること
を特徴とする請求項８に記載のガラス板清掃装置。
【請求項１０】上記スキージユニットは、上記駆動軸に
取り付けられているとともに円周方向に沿って互いに等
間隔離間して配置された複数のスキージアッセンブリを
備え、各スキージアッセンブリは、上記駆動軸から放射
状に延出した基台と、上記駆動軸とほぼ平行な方向に沿
って移動自在に上記基台に取り付けられた昇降ブロック
と、上記支持手段によって支持された上記ガラス板の表
面とほぼ平行な軸の回りで回動自在に上記昇降ブロック
に取り付けられた回動板と、上記スキージを保持してい
るとともに上記回動板に固定されたホルダと、を備えて
いることを特徴とする請求項７に記載のガラス板清掃装
置。
【請求項１１】上記支持手段は、ガラス板が載置される
とともに、載置されたガラス板の表面と平行でかつ互い
に直交する２方向に沿って移動自在なステージと、上記
ステージを上記２方向に移動させる駆動機構と、を備
え、上記支持手段は上記走査手段を構成していることを
請求項６ないし１０のいずれか１項に記載のガラス板清
掃装置。
【請求項１２】上記支持手段は、上記ステージの表面に
開口した多数の吸引孔と、上記吸引孔を通して上記ガラ
ス板を上記ステージ上に吸着する吸引手段と、を備えて
いることを特徴とする請求項１１に記載のガラス板清掃
装置。
【請求項１３】上記回転手段は、上記スキージユニット
の駆動軸に連結されてスキージユニットを回転させるモ
ータを備え、上記各スキージの刃先が上記支持手段により支持された
上記ガラス板の表面に接触する位置と、上記ガラス板表
面から離間する位置との間で、上記スキージユニットお
よびモータを昇降させる昇降機構が設けられていること
を特徴とする請求項７に記載のガラス板清掃装置。
【請求項１４】上記各スキージは、上記ガラス板表面と
スキージとのなす角度が２０〜５０度となるように傾斜
して配設されていることを特徴とする請求項６ないし１
３のいずれか１項に記載のガラス板清掃装置。
【請求項１５】上記スキージユニットの回転速度は、５
０〜２００ｒｐｍの範囲内に設定されていることを特徴
とする請求項６ないし１４のいずれか１項に記載のガラ
ス板清掃装置。