KR100232911B1

KR100232911B1 - 유리판의 청소방법 및 청소장치

Info

Publication number: KR100232911B1
Application number: KR1019970038118A
Authority: KR
Inventors: 도시히코 나카무라
Original assignee: 니시무로 타이죠; 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 1996-08-12
Filing date: 1997-08-11
Publication date: 1999-12-01
Also published as: US5885363A; US5933901A; KR19980018556A

Abstract

본 발명은 유리판의 청소방법 및 청소장치에 관한 것으로서, 방사형상으로 설치된 복수개의 스퀴지(52)의 날끝을 X-Y 스테이지(10)상에 얹어 설치된 유리판(P) 표면에 접촉시킨 상태에서 유리판 표면과 거의 직교하는 회전축의 회전방향으로 모터(14)에 의해서 스퀴지를 회전시키고, X-Y 스테이지(10)를 이동시켜 회전하는 스퀴지에 의해 유리판 표면을 소정의 방향을 따라서 주사하고, 유리판 표면에 부착된 이물질을 스퀴지에 의해 용이하고 확실하게 제거하여 유리판을 충분히 청소할 수 있는 유리판의 청소방법 및 청소장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.

Description

유리판의 청소방법 및 청소장치

본 발명은 유리판의 표면에 부착된 유리 커렛(cullet)이나 각종 이물질을 제거하는 유리판의 청소방법 및 청소장치에 관한 것이다.

유리판으로서, 예를들면 액정표시패널의 제조에 사용되는 유리판은 그 표면에 전극, 절연막 등 여러가지 박막층이 형성된다. 이때문에 유리판의 표면은 이물질 등의 부착없이 충분히 청소되어 있을 필요가 있다.

또한, 액정표시패널은 한쌍의 유리판이 액정층을 통하여 부착되어 구성되어 있지만, 제조시에 액정표시패널의 외형 크기 보다도 충분히 큰 유리기판을 사용하여 제조 도중에 유리판의 불필요한 부분이 절단 제거되어 원하는 형상으로 가공된다. 이때문에 액정표시패널의 외표면 등에도 주로 유리 커렛 등이 부착되어 그 외표면에 편광판 등의 광학필름을 부착할 때 문제점이 생긴다.

따라서, 일반적으로 유리판의 주 표면, 액정패널 주 표면은 청소장치에 의해 청소되어 표면에 부착된 이물질이 제거된다. 유리판의 청소에 이용되는 청소장치는 길고 가느다란 스퀴지(squeegee)를 갖고, 이 스퀴지의 날끝을 유리판 표면에 맞춘 상태에서 유리판 표면위를 소정의 방향을 따라서 주사하므로써 유리판 표면에 부착된 유리 커렛이나 각종 이물질을 긁어내 물리적으로 제거한다.

종래에 있어서 이와같은 스퀴지에 의한 유리판 표면의 주사는 예를들면 일본국 특개평 4-93816호 공보 등에 개시되어 있는 바와 같이, 동일방향을 따라서 1회 또는 복수회 반복적으로 실시되고 있다.

그러나, 상기한 바와 같이, 동일 방향을 따라서 스퀴지를 주사하여 유리판을 청소하는 경우, 스퀴지의 날끝은 유리판 표면상의 이물질에 대해서 항상 동일 방향으로만 접촉하고, 유리판 표면상의 이물질도 한쪽 방향으로 긁어내는 힘만 받게 된다. 또한, 1회의 주사중에 스퀴지의 날끝은 1회밖에 이물질에 맞닿을 수 없다.

이때문에, 유리판 표면상의 이물질의 종류나 부착상태에 따라서는 스퀴지에 의한 주사로는 이물질을 제거할 수 없는 경우도 있어 유리판 표면을 충분히 청소하는 것이 곤란하게 된다. 또한, 스퀴지의 주사횟수를 늘리거나 또는 주사방향을 변경하여 복수회 주사하는 방법도 고안되고 있지만, 이 경우에도 처리 작업에 시간이 걸려 제조효율의 저하를 초래한다.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 유리판 표면상의 이물질을 용이하고, 또 확실하게 제거하여 유리판을 충분히 청소할 수 있는 유리판의 청소방법 및 청소장치를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 청소장치를 나타내는 사시도,

도 2는 상기 청소장치의 스퀴지유닛을 나타내는 측면도,

도 3은 상기 스퀴지 유닛 및 유리판의 평면도,

도 4는 상기 청소장치의 제어계의 구성을 개략적으로 나타내는 블록도,

도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 스퀴지 유닛을 나타내는 사시도,

도 6은 상기 스퀴지 유닛의 스퀴지어셈브리를 나타내는 측면도 및

도 7은 상기 스퀴지 어셈브리의 정면도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : X-Y 스테이지 12 : 스퀴지 유닛

14 : 모터 16 : 승강기구

22 : Y스테이지 24 : X스테이지

28 : Y축 구동기구 32 : X축 구동기구

36 : 흡인구멍 50 : 구동축

52 : 스퀴지 52a : 날끝

54 : 지지아암 57, 100 : 홀더

82 : 스퀴지어셈블리 88 : 승강블록

96 : 회전판 P : 유리판

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 청구항 1에 따른 유리판의 청소방법은 스퀴지의 날끝을 유리판 표면에 접촉시킨 상태에서 유리판 표면과 거의 직교하는 방향으로 뻗은 회전축의 회전 방향으로 상기 스퀴지를 회전시키고, 상기 회전하는 스퀴지에 의해 상기 유리판 표면을 소정의 방향으로 주사하고, 상기 유리판 표면에 부착된 이물질을 상기 스퀴지에 의해 제거하는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 청구항 4에 따른 본 발명의 청소방법에 의하면, 상기 회전축에 대해 방사형상으로 설치된 북수개의 스퀴지를 회전시키면서 상기 유리판 윗면을 상기 복수개의 스퀴지에 의해서 주사하는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 5에 따른 본 발명의 청소방법에 의하면, 유리판 표면에 부착된 이물질에 대해 스퀴지의 날끝을 복수의 방향으로 차례로 눌러 상기 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 6에 따른 본 발명의 유리판 청소장치는 유리판을 지지하는 지지수단과 상기 지지수단에 지지된 유리판의 표면에 접촉 가능한 날끝을 가진 스퀴지와, 상기 지지수단에 의해 지지된 유리판의 표면과 거의 직교하는 방향으로 뻗은 회전축의 회전 방향으로 상기 스퀴지를 회전시키는 회전수단과, 상기 회전하는 스퀴지를, 상기 날끝이 유리판 표면에 접촉한 상태에서 상기 유리판 표면에 대해 소정의 경로를 따라서 주사하는 주사수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 청구항 7에 따른 본 발명의 유리판 청소장치는 유리판을 지지하는 지지수단과, 상기 지지수단에 의해 지지된 유리판의 표면과 거의 직교하는 방향으로 뻗은 구동축과, 상기 구동축에서 방사형상으로 뻗어있고, 또 각각 상기 지지수단에 지지된 유리판의 표면에 접촉 가능한 날끝을 가진 복수개의 스퀴지를 구비한 스퀴지 유닛과, 상기 구동축의 회전 방향으로 상기 스퀴지 유닛을 회전시키는 회전수단과, 상기 회전하는 스퀴지 유닛을 상기 각 스퀴지의 날끝이 유리판 표면에 접촉한 상태에서 상기 유리판 표면에 대해 소정의 경로를 따라서 주사하는 주사수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.

상기와 같은 구성의 청소방법 및 청소장치에 의하면, 유리판 표면에 접촉된 날끝을 가진 스퀴지를 회전시키면서 이 유리판 표면 전체를 주사하는 것에 의해 유리판 표면에 부착된 이물질을 물리적 작용에 의해 제거한다. 이때, 회전하는 스퀴지는 유리판위의 이물질에 대해 1회의 주사에 의해 복수회 맞닿게 하고, 또 이물질에 대해 다른 방향으로 맞닿게 하여 복수의 방향의 벡터를 작용시킨다. 따라서, 유리판 표면상의 이물질을 비교적 단시간에 확실하게 제거하는 것에 가능하게 된다.

또한, 본 발명에 있어서 유리판이라고 하는 것은 각종 유리기판과 함께 석영기판 등을 포함하는 것이다.

이하 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 따른 유리판 청소장치에 대해서 상세하게 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 유리판 청소장치는 유리판(P)을 지지하는 지지수단 및 주사수단으로서 기능하는 X-Y스테이지(10), 회전 자유롭게 설치된 스퀴지 유닛(12), 스퀴지 유닛을 회전 구동하는 구동수단으로서의 모터(14) 및 X-Y스테이지(10)상에 지지된 유리판(P)에 대해 스퀴지 유닛(12) 및 모터(14)를 승강시키는 승강기구(16)를 구비하고 있다.

X-Y 스테이지(10)는 평판형상의 베이스(20), Y스테이지(22) 및 X스테이지(24)를 갖고 있다. 베이스(20)위에는 Y축방향으로 뻗은 한쌍의 가이드레일(25)이 고정되며, Y스테이지(22)는 이들의 가이드레일(25)을 따라서 이동 자유롭게 베이스(20)상에 지지되어 있다. 그리고, Y스테이지(22)는 베이스(20)상에 설치된 스태핑 모터(26) 및 리드스크류(27)를 가진 Y축 구동기구(28)에 의해 Y축방향으로 왕복 구동된다.

또한, Y스테이지(22)상에는 X축방향으로 뻗은 한쌍의 가이드레일(30)이 고정되며, X스테이지(24)는 이들의 가이드레일(30)을 따라서 이동 자유롭게 Y스테이지(22)상에 지지되어 있다. 그리고, X스테이지(24)는 Y스테이지(22)상에 설치된 스태핑 모터(32) 및 리드 스크류(33)를 갖는 X축 구동기구(34)에 의해 X축방향으로 왕복 구동된다.

X스테이지(24)에는 다수의 흡인구멍(36)이 형성되며, X스테이지(24) 표면으로 개구되어 있다. 또한, 이것들의 흡인구멍(36)은 진공라인(38)을 통하여 도시하지 않은 진공펌프에 관통되어 있다. 따라서, X스테이지(24)상에 유리판(P)을 얹어 설치한상태에서 진공펌프를 작동시키므로써 유리판(P)을 X스테이지(24) 표면에 흡착 고정할 수 있다.

X스테이지(24)의 윗쪽에는 스퀴지유닛(12)을 회전 구동하는 모터(14)가 설치되며, 모터(14)의 회전축은 유리판(P)의 표면과 직교하는 방향, 즉 Z축방향을 따라서 뻗어 있다. 그리고, 모터(14)는 승강기구(16)에 의해 Z축방향을 따라서 승강이 자유롭게 지지되어 있다.

승강기구(16)는 Z축방향을 따라서 세워 설치된 지지포스트(40)를 구비하며, 이 지지 포스트에는 Z축방향으로 뻗어나는 가이드레일(41)이 고정되어 있고, 또 그리고 가이드레일(41)을 따라서 승강 자유로운 이동 블록(42)이 설치되어 있다. 그리고, 모터(14)는 브라켓(43)을 통하여 이동 블록(42)에 부착되어 있다.

또한, 지지포스트(40)에는 Z방향으로 뻗어있고, 또 이동 블록(42)에 끼워 맞춰진 리드 스크류(44) 및 리드스크류를 구동하는 스태핑 모터(46)가 부착되어 있다. 그리고, 스태핑 모터(46)를 구동하므로써 이동 블록(42)과 함께 모터(14)를 승강시킬 수 있다.

도 1 내지 도 3에 나타내는 바와 같이, 스퀴지 유닛(12)은 모터(14)의 회전축(14a)에 연결되어 Z축방향으로 뻗어난 구동축(50)과, 구동축(50)에 연결되어 있고, 또 X스테이지(24)상에 얹어 설치된 유리판(P) 표면에 맞닿는 것이 가능한 복수개, 예를들면 4개의 스퀴지(52)를 구비하고 있다.

상세하게 설명하면 스퀴지유닛(12)은 구동축(50)의 하단부에서 방사형상으로 뻗은 4개의 지지아암(54)을 갖고, 각 지지아암의 연장단부에는 홀더(56)가 부착되어 있다. 각 홀더(56)는 Z축방향을 따라서 이동 가능하게, 또 X스테이지(24)의 표면과 평행한 방향으로 뻗은 피봇축(57)의 방향으로 회전 자유롭게 지지아암(54)에 부착되어 있다. 또한, 각 홀더(56)는 지지아암(54)과의 사이에 설치된 압축 스프링(60)에 의해 아래쪽으로, 즉 X스테이지(24)를 향해서 힘이 가해져 있다.

한편, 각 스퀴지(52)는 유리판(P) 보다도 경도가 낮은 재료, 예를들면 스테인레스, 세라믹 등에 의해 길고 가느다란 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서는 스테인레스의 스퀴지로서, 예를들면 NT커터제L-50이 사용되고 있다. 세라믹의 스퀴지는 고경도이기 때문에 내구성이 우수하고, 유리재 등의 이물질의 제거가 용이하지만, 비용과 가공성을 고려하면 스테인레스의 스퀴지가 유리하다.

그리고, 각 스퀴지(52)는 홀더(56)에 착탈 자유롭게 부착되며, 그 하단부에는 날끝(52a)이 형성되어 있다.

그것에 의해, 4개의 스퀴지(52)는 구동축(50)에 대해 방사형상으로 뻗어있고, 또 원둘레방향을 따라서 서로 등간격 떨어져 설치되어 있다. 또한, 각 스퀴지(52)는 그 하단 테두리에 형성된 날끝(52a)이 회전방향측으로 경사진 상태에서 유리판(P) 표면과 접촉하도록 소정 각도 경사진 상태에서 홀더(56)에 유지되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 유리판(P) 표면과 스퀴지(52)가 이루는 각도를 θ로 한 경우, 이 각도(θ)는 20∼50도, 바람직하게는 20∼45도의 예각으로 설정되어 있다. 이것은 각도(θ)가 너무 크면 스퀴지의 원활함이 나빠지며, 각도(θ)가 너무 작으면 정밀도가 좋은 기계 설계가 곤란해지기 때문이다. 본 실시형태에 있어서 각도(θ)는 예를들면 30도로 설정되어 있다.

상기한 바와 같이 구성된 스퀴지 유닛(12)은 승강기구(16)에 의해 모터(14)와 함께 Z축방향으로 승강되고 또, 모터(14)에 의해서 구동축(50)의 방향으로 회전 구동된다. 또한, 홀더(56)에 부착된 각 스퀴지(52)는 압축 스프링(60)에 의해 홀더(56)와 함께 X스테이지(24)측으로 힘이 가해지며, 또 피봇축(57)의 방향으로 회전 가능하게 되어 있다.

스퀴지유닛(12)의 윗쪽에는 스퀴지유닛(12) 및 유리판(P)을 향해서 연삭액을 분출하기 위한 분사노즐(61)이 설치되어 있다. 이 분사노즐(61)은 모터(14)에 부착되어 모터(14)와 함께 승강 가능하게 되어 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 청소장치의 제어계는 장치 전체의 동작을 제어하는 제어부(62)를 구비하고 있다. 그리고, 제어부(62)에는 X-Y스테이지(10)의 스태핑 모터(26, 32)가 구동기(63)를 통하여 접속되어 있고, 또 승강기구(16)의 스태핑 모터(46)가 구동기(64)를 통하여 접속되어 있다. 또한, 스퀴지유닛(12)을 구동하는 모터(14)는 구동기(66)를 통하여 제어부(62)에 접속되어 있다.

또한, 제어계는 장치 전체의 제어 프로그램이 저장된 RAM(68), 오퍼레이터에 의해서 제어 데이터를 입력하기 위한 조작 패널(70)을 갖고 있다. 그외에 제어부(62)에는 진공라인(38)에 접속되어 흡인수단으로서 기능하는 진공펌프(72) 및 연삭수를 분사노즐에 공급하기 위한 토출펌프(74)가 각각 접속되어 있다.

다음으로, 이상과 같이 구성된 청소장치를 사용하여 유리판(P)의 표면을 청소하는 방법에 대해서 설명한다.

우선, 도 1에 나타내는 바와 같이 X-Y스테이지(10)의 X스테이지(24)상에 청소하려고 하는 유리판(P)을 얹어 설치하고, 소정의 위치, 예를들면 유리판(P)의 옆 테두리가 X축 또는 Y축과 평행하게 되도록 설정한다. 이 유리판(P)은 예를들면 액정표시패널의 제조에 사용되는 유리기판이며, 그 표면에는 유리 커렛, 접착제, 밀봉제 등의 이물질이 부착되어 있다.

유리판(P)을 X스테이지(24)상에 설정할 때, 스퀴지유닛(12) 및 모터(14)는 유리판(P)에 얹어 설치하는 작업이 방해가 되지 않도록 X스테이지(24)로부터 충분히 떨어진 높은 위치로 이동되어 있다. 유리판(P)의 설정 종료후, 진공펌프(72)를 작동시키고, 진공라인(38) 및 흡인구멍(36)을 통하여 유리판(P)에 작용하는 흡인력에 의해 유리판(P)을 X스테이지(24)상에 흡착 고정한다.

유리판(P)을 고정한 후, 도 3에 나타내는 바와 같이 스퀴지 유닛(12)의 구동축(50)이 유리판(P)의 주사개시위치(S)의 윗쪽에 위치하도록 X-Y스테이지(10)를 구동하여 스퀴지유닛(12)에 대한 유리판(P)의 위치를 조정한다.

이 상태에서 모터(14)에 의해 스퀴지유닛(12)을 회전시키고, 4개의 스퀴지(52)를 구동축(50)을 중심으로 회전 구동한다. 이때, 스퀴지(52)의 회전방향(A)은 스퀴지(52)의 경사방향과 일치되어 있다. 계속해서, 각 스퀴지(52)의 날끝(52a)이 유리판(P)의 표면에 맞닿을 때까지 승강기구(16)에 의해서 모터(14), 스퀴지유닛(12) 및 분사노즐(61)을 하강시킨다.

여기서, 각 스퀴지(52)는 스퀴지유닛(12)의 지지아암(54)에 의해 Z축방향, 즉 유리판(P)의 표면에 수직 방향을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있고, 또 유리판 표면과 평행한 피봇축(57)의 방향으로 회전 자유롭게 지지되어 있다. 이때문에, 각 스퀴지(52)의 날끝(52a)은 유리판(P)의 표면에 틈없이 접촉하고, 또 압축 스프링(60)의 부가 힘에 의해 유리판(p) 표면에 소정의 압력으로 눌려 부착된다.

그 후, RAM(68)에 저장된 제어 프로그램에 따라서 X-Y스테이지(10)의 Y축 이동기구(28) 및 X축 구동기구(34)를 구동하고, 스퀴지유닛(12)의 구동축(50)의 연장선이 유리판(P) 표면상을 직사각형 형상의 주사경로(B)를 따라서 이동하도록 Y스테이지(22) 및 X스테이지(24)를 가동시킨다. 또한, 이 때, 분사노즐(61)로부터 스퀴지유닛(12)의 스퀴지(52)를 냉각하는 연삭수를 분사한다.

이것에 의해, 스퀴지 유닛(12)의 4개의 스퀴지(52)는 구동축(50)을 중심으로 하여 회전하면서 주사 경로(B)를 따라서 유리판 표면위를 주사한다. 이 때, 각 스퀴지(52)의 날끝(52a)은 유리판(P)의 표면위를 슬라이딩운동하고, 유리판 표면에 부착되어 잇는 유리커렛, 접착제, 밀봉제 등의 이물질을 유리판 표면에서 긁어내어 제거한다.

주사경로(B)는 스퀴지(52)에 의해서 유리판(P)의 표면 전체가 마찰되도록, 또 구동축(50) 및 각 스퀴지(52)의 길이바향 중앙부가 항상 유리판(P)의 표면상에 위치하도록 설정되어 있다. 따라서, 유리판(P)의 표면은 회전하는 4개의 스퀴지(52)에 의해서 그 전체 면이 마찰되며, 유리판 표면상에 부착되어 있는 이물질은 이것들의 스퀴지(52)에 의해 복수회정도 다른 방향으로 마찰된다.

이것에 의해 유리판(P) 표면에 부착되어 있는 이물질이 제거되어 유리판 표면이 청소된다.

또한, 스퀴지 유닛(12)의 회전 속도가 너무 빠르면 기판 주변의 청소시에 스퀴지의 날끝이 요동쳐 유리판(P)의 가장자리를 손상할 우려가 있다. 따라서, 스퀴지유닛(12)의 회전수는 50∼200rpm, 바람직하게는 80∼120rpm의 범위로 설정된다. 본 실시형태에 있어서, 스퀴지 유닛(12)의 회전 속도는 예를들면 약 100rpm 및 스퀴지 유닛(12)과 유리판(P)의 상대 이동 속도는 약 25mm/sec로 설정되어 있다.

또한, 유리판(P) 표면에 부착되어 있는 이물질이 접착제나 밀봉제인 경우에는 미리 유기계의 알콜 등을 사용하여 이물질을 어느 정도 용해한 후, 청소장치에 의해서 청소하는 것이 바람직하다.

이상과 같이 구성된 청소장치에 의하면, 스퀴지를 회전시키면서 예를들면 유리판으로서 코닝사제 7059를 사용하여 그 표면을 주사하는 것에 의해 청소시간을 종래와 동일하게 한 경우, 제거하려고 하는 이물질에 대해 스퀴지가 닿는 힛수가 종래의 4 내지 10배로 증가하고, 또 각 이물질에 대해 스퀴지가 다른 방향으로 맞닿기 때문에 이물질에 작용하는 제거력의 벡터가 다양화된다. 따라서, 유리판에 부착한 이물질을 확실히 제거할 수 있고, 또 제거효율을 종래에 비교하여 20% 정도 향상시킬 수 있다. 이때문에, 종래에 비교하여 단시간에 안정된 유리판의 청소가 가능하게 된다.

상기한 실시형태에서는 유리판(P) 표면을 청소하는 경우에 대해서 설명했지만 상기한 청소장치 및 청소방법은 한쌍의 기판 사이에 액정층이 유지되어 이루어진 액정표시패널의 표면을 청소하는 경우에도 적용된다. 즉, 상기한 유리판을 사용하여 구성되며, 유효표시영역이 대각 12.1인치 크기의 액정표시장치를 X-Y 스테이지(10)상에 얹어 설치하고, 상기 실시형태와 마찬가지로 하여 그 양 주 표면을 청소했다.

그 후, 광학필름으로서, 예를들면 한쌍의 편광판을 각각의 기판 외표면에 부착하여 액정 표시 패널을 완성시켰다.

이것에 의해 얻어진 액정표시패널은 기판과 광학필름 사이에 이물질이 보이지 않고, 표시불량의 발생이 매우 낮게 억제되었다. 또한, 이 처리시간도 종래에 비해 충분히 단축되었다.

다음으로, 도 5 내지 도 7를 참조하여 본 발명의 다른 실시형태에 따른 스퀴지 유닛(12)에 대해서 설명한다. 스퀴지 유닛(12) 이외의 구성은 상기한 실시형태와 같기 때문에 그 상세한 설명은 생략한다.

모터(14)의 회전축(14a)에 연결된 구동축(50)의 하단에는 유지링(80)이 고정되어 있다. 유지링(80)의 외주면에는 3개의 끼워 맞춤 홈(81)이 원둘레방향으로 등간격 떨어져 형성되며, 각각 구동축(50)의 축방향(Z방향)을 따라서 뻗어 있다. 그리고, 각 끼워맞춤 홈(81)에는 스퀴지 어셈블리(82)가 부착되어 있다.

스퀴지 어셈블리(82)는 직사각형 판형상의 기대(84)를 구비하며, 이 기대(84)는 그 옆 테두리 상단부가 끼워 맞춤 홈(81)에 끼워 맞춰진 상태에서 나사(85)에 의해 유지링(80)에 나사로 고정되어 있다. 이것에 의해, 기대(84)는 구동축(50)에 대해 방사형상으로 뻗어있고, 또 유지링(80)으로부터 Z방향 아래쪽으로 뻗어있다.

기대(84)에는 Z방향으로 뻗은 가이드레일(86)이 고정되며, 이 가이드레일에 의해 직사각형 판 형상의 승강 블록(88)이 Z방향을 따라서 이동 자유롭게 지지되어 있다. 기대(84)의 상단에는 지지아암(90)이 고정되며, 승강 블록(88)의 윗쪽으로 뻗어있다. 지지아암(90)의 연장단에는 가이드샤프트(92)가 고정되어 있다.

가이드샤프트(92)는 Z방향으로 뻗어있고, 또 지지아암(90)으로부터 윗쪽 및 아래쪽으로 뻗어있다. 그리고, 가이드샤프트(92)의 하단부는 승강블록(88)의 상단부에 형성된 도시하지 않은 구멍에 슬라이딩운동 자유롭게 삽입되어 있다. 또한, 가이드샤프트(92)의 하단부 외부측에는 압축 코일 스프링(93)이 장착되며, 승강블록(88)과 지지아암(90) 사이에 설치되어 있다. 이 압축 코일 스프링(93)에 의해 승강 블록(88)은 아래쪽으로 힘이 가해져 있다.

승강 블록(88)에는 피봇축(95)이 돌출하여 설치되며, 유리판(P) 표면과 평행하게 뻗어있다. 피봇축(95)에는 베어링(94)을 통하여 회전판(96)이 부착되며, 피봇축의 방향으로 회전 자유롭게 지지되어 있다. 회전판(96)의 상단과 상기한 가이드샤프트(92)의 상단 사이에는 인장 스프링(98)이 걸쳐 설치되며, 회전판(96)을 중립위치에 탄성적으로 유지하고 있다. 그리고, 회전판(96)의 하단에 홀더(100)를 통하여 직사각형판 형상의 스퀴지(52)가 부착되어 있다.

홀더(100)는 한쌍의 나사(101)에 의해서 회전판(96)의 하단에 고정된 홀더 본체(102)와, 한쌍의 나사(103)에 의해서 홀더 본체에 나사로 고정된 클램퍼(104)를 구비하고 있다. 그리고, 스퀴지(52)는 홀더 본체(102)와 클램퍼(104) 사이에 끼워진 상태에서 홀더(100)에 부착되어 있다. 유리판(P) 표면에 대한 스퀴지(52)의 기울기, 즉, 도 6에 있어서 각도(θ)는 나사(103)에 의해서 조정 가능하며, 20∼50도, 예를들면 30도로 설정되어 있다.

상기 구성의 스퀴지 유닛(12)에 의하면 각 스퀴지 어셈블리(82)의 스퀴지(52)는 승강블록(88)에 의해서 Z축방향, 즉 유리판(P)의 표면에 수직인 방향을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있고, 또 유리판 표면과 평행한 피봇축(94)의 방향으로 회전 자유롭게 지지되어 있다. 이때문에, 각 스퀴지(52)의 날끝(52a)은 유리판(P)의 표면에 틈없이 접촉하고, 또 압축 코일 스프링(93)의 부가 힘에 의해 유리판(P) 표면에 소정의 압력으로 눌려진다.

그리고, 스퀴지 유닛(12)을 소정의 회전속도, 예를들면 약 100rpm으로 회전 구동하면서, 유리판(P) 표면을 소정의 주사경로를 따라서 이동시키므로써 각 스퀴지(52)의 날끝(52a)이 유리판(P)의 표면위를 슬라이딩 운동하고, 유리판 표면에 부착되어 있는 유리 커렛, 접착제, 밀봉제 등의 이물질을 유리판 표면에서 긁어내어 제거한다.

이상과 같이 구성된 스퀴지 유닛(12)을 사용한 경우에도 상기한 실시형태와 같은 작용효과를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 범위내에서 여러가지 변형 가능하다. 예를들면 스퀴지유닛의 주사선 경로는 직사각형에 한정되지 않고, 필요에 따라서 또는 유리판의 크기에 따라서 임의로 설정 가능하다.

또한, 스퀴지 유닛은 적어도 1개의 스퀴지를 구비하고 있으면 상기한 실시형태와 같은 작용 효과를 얻을 수 있고, 그 갯수는 필요에 따라서 증감 가능하다. 그외에 스퀴지의 재질, 회전속도, 이동속도 등은 필요에 따라서 여러가지 변형 가능하다.

또한, 본 발명의 청소방법 및 청소장치는 액정표시패널의 제조에 사용되는 유리판의 청소에 한정되지 않고, 다른 유리판의 청소에도 적용할 수 있는 것은 물론이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 스퀴지를 회전시키면서 유리판 표면을 주사하도록 했기 때문에 유리판 표면상의 이물질을 용이하고, 또 확실하게 제거하여 유리판을 충분히 청소할 수 있는 유리판의 청소방법 및 청소장치를 제공할 수 있다.

Claims

스퀴지의 날끝을 유리판 표면에 접촉시킨 상태에서 유리판 표면과 직교하는 방향으로 뻗은 회전축의 회전 방향으로 상기 스퀴지를 회전시키고,

상기 회전하는 스퀴지에 의해 상기 유리판 표면을 소정의 방향으로 주사하여 상기 유리판 표면에 부착한 이물질을 상기 스퀴지에 의해 제거하는 것을 특징으로 하는 유리판의 청소방법.
제 1 항에 있어서,

상기 회전축이 항상 상기 유리판의 표면상에 위치한 상태에서 상기 스퀴지를 주사하는 것을 특징으로 하는 유리판의 청소방법.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 스퀴지의 날끝의 길이방향 중앙부가 상기 유리판 표면상에 항상 위치한 상태에서 상기 유리판 표면을 주사하는 것을 특징으로 하는 유리판의 청소방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 회전축에 대해 방사형상으로 설치된 복수개의 스퀴지를 회전시키면서 상기 유리판 윗면을 상기 복수개의 스퀴지에 의해서 주사하는 것을 특징으로 하는 유리판의 청소방법.
유리판 표면에 부착된 이물질에 스퀴지의 날끝을 맞닿게 하여 이물질을 제거하는 유리판의 청소방법에 있어서,

상기 스퀴지의 날끝을 상기 이물질에 대해 복수의 방향으로 차례로 눌러 상기 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 유리판의 청소방법.
유리판을 지지하는 지지수단;

상기 지지수단에 지지된 유리판의 표면에 접촉 가능한 날끝을 가진 스퀴지;

상기 지지수단에 의해 지지된 유리판의 표면과 직교하는 방향으로 뻗은 회전축의 회전 방향으로 상기 스퀴지를 회전시키는 회전수단; 및

상기 회전하는 스퀴지를 상기 날끝이 유리판 표면에 접촉한 상태에서 상기 유리판 표면에 대해 소정의 경로를 따라서 주사하는 주사수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
유리판을 지지하는 지지수단;

상기 지지수단에 의해 지지된 유리판의 표면과 직교하는 방향으로 뻗은 구동축;

상기 구동축에서 방사형상으로 뻗어 있고, 또 각각 상기 지지수단에 지지된 유리판의 표면에 접촉 가능한 날끝을 가진 복수개의 스퀴지를 구비한 스퀴지유닛;

상기 구동축의 회전 방향으로 상기 스퀴지 유닛을 회전시키는 회전수단; 및

상기 회전하는 스퀴지 유닛을 상기 각 스퀴지의 날끝이 유리판 표면에 접촉한 상태에서 상기 유리판 표면에 대해 소정의 경로를 따라서 주사하는 주사수단을 구비한 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 7 항에 있어서,

상기 스퀴지 유닛은 상기 구동축에서 방사형상으로 뻗은 복수의 지지아암과, 각 지지아암에 설치되어 있고, 또 상기 스퀴지를 착탈 자유롭게 유지한 홀더를 구비한 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 8 항에 있어서,

상기 각 홀더는 상기 구동축과 평행한 방향을 따라서 이동 자유롭게, 또 상기 지지수단에 의해서 지지된 상기 유리판의 표면과 평행한 축의 회전 방향으로 회전 자유롭게 상기 지지아암에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 7 항에 있어서,

상기 스퀴지유닛은 상기 구동축에 부착되어 있고, 또 원둘레방향을 따라서 서로 등간격 떨어져 배치된 복수의 스퀴지 어셈블리를 구비하며, 각 스퀴지 어셈블리는 상기 구동축에서 방사형상으로 뻗은 기대와, 상기 구동축과 평행한 방향을 따라서 이동 자유롭게 상기 기대에 부착된 승강 블록과, 상기 지지수단에 의해서 지지된 상기 유리판의 표면과 평행한 축의 회전 방향으로 회전 자유롭게 상기 승강 블록에 부착된 회전판과, 상기 스퀴지를 유지하고 있고, 또 상기 회전판에 고정된 홀더를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 지지수단은 유리판이 얹어 설치되고, 또 얹어 설치된 유리판의 표면과 평행한 동시에 서로 직교하는 2방향을 따라서 이동 자유로운 스테이지와, 상기 스테이지를 상기 2방향으로 이동시키는 구동기구를 구비하며, 상기 지지수단은 상기 주사수단을 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 11 항에 있어서,

상기 지지수단은 상기 스테이지의 표면에 개구된 다수의 흡인구멍과, 상기 흡인구멍을 통하여 상기 유리판을 상기 스테이지상에 흡착하는 흡인수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 7 항에 있어서,

상기 회전수단은 상기 스퀴지 유닛의 구동축에 연결되어 스퀴지 유닛을 회전시키는 모터를 구비하며,

상기 각 스퀴지의 날끝이 상기 지지수단에 의해 지지된 상기 유리판의 표면에 접촉하는 위치와, 상기 유리판 표면에서 떨어진 위치와의 사이에서 상기 스퀴지 유닛 및 모터를 승강시키는 승강기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 6 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 각 스퀴지는 상기 유리판 표면과 스퀴지가 이루는 각도가 20∼50도가 되도록 경사져 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.
제 6 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스퀴지 유닛의 회전 속도는 50∼200rpm의 범위내로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 유리판 청소장치.