JPH0297239A - 露光装置用電源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、例えばマスクパターンをウェハに転写する露
光装置に用いる電源装置に関し、特に停電時にも装置が
急停止しないように停電対策が講じられている電源装置
に関するものである。

［従来の技術］ 第４図に、従来の露光装置およびその電源装置の概略構
成を示す。同図において、２４はステジ、照明系および
アライメント部の制御回路を含むファインアライメント
部である。２５はＴＶプリアライメントの制御回路を含
むプリアライメント部、２６はウェハ搬送制御回路を含
むウェハ搬送部、２７はマスク搬送制御回路を含むマス
ク搬送部、２８は操作者がマニュアルでアライメントを
するための補助手段である操作パネル、２９は装置と操
作者とのインターフェース用の人出カ装置となるコンソ
ール、３ｏは装置全体のシーケンスを管理するミニコン
ピユータ、３１は各種データの格納および保持をおこな
う外部記憶装置としてのディスクである。また、２３は
外部から交流電源を受けて変圧および直流化等をおこな
って装置の各部へ配電するところの電源部である。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら上記従来例によれば、停電事故等で外部交
流電源の供給が停止した場合には露光装層全体が停止し
てしまい、次に電源が復帰したときには露光装置全体の
初期化をやり直さなければならないという欠点があった
。

また、停電等の電源異常の場合に非常用の電源に切り換
える方式もあるが、非常用の電源によって電源供給が復
帰したときには、露光装置の大部分に電源供給を行なっ
てしまうので、非常用電源の容量も大きくしなりれはな
らないという経済的欠点もあった。

さらに、最近注目されているＸ線を光源とするＸ線露光
装置では、密閉された容器内で露光に適した雰囲気をつ
くっているので、短時間の停電であっても、装置を再立
ち上げするには上記の露光霊囲気をつくることから始め
なければならない。

そのため、数時間から半日程度の時間の損失となり、ま
た露光雰囲気をつくるためヘリウム（Ｈｅ）のムダ使い
をしてしまう欠点があった。

特に、シンクロトロン軌道放射光を利用したＸ線露光装
置では、現状では光源を水平方向にしか導入することか
できない。したがって、ウェハにマスクパターンを転写
するためには、ウニへ面を垂直に保持する真空吸着手段
等が必要であり、従来の方法では停電時にウェハ落下等
の事故につながる欠点があった。

本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、停電等
の電源異常が原因となって発生するウェハ落下等の事故
を無くし、非常用の電源の容量を従来より小さく紅済的
なものとし、さらに電源が正常に復帰した場合に容易に
再稼動することのできる露光装置用電源装置を提供する
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係る露光装置用電源装置は、正
常運転時には第１の電源部から露光装置内の各部分に対
し電源を供給し、電源異常により第１の電源部から正常
に電源を供給することができなくなった場合には第２の
電源部から電源を供給することとし、また電源監視部か
ら電源異常の検出信号を配電部へと送出し、配電部では
第１の電源部から第２の電源部へと供給源を切り換える
とともに、電源供給対象を露光装置内の所定の部分のみ
に制限することとしている。

すなわち、停電等の電源異常時には、第１の電源部によ
る電源供給から第２の電源部による電源供給に速やかに
切り換えると同時に、露光装置内の電源供給対象を必要
最小限としている。これにより、必要最小限の機器には
第２の電源部から電源が供給されることとなり、ウェハ
の落下等の事故を無くすことができる。また、第２の電
源部の容量は小さくで診る。さらに、−次側電源供給の
復帰等電源が正常状態に復帰するまで待機させるように
しているので、正常復帰時には露光装置を容易に再稼動
することができる。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の第１の実施例に係る露光装置用電源
装置を適用した露光装置の構成を示すブロック図である
。同図において、１は第１の電源部、２は第２の電源部
、３は停電等の電源異常を監視するところの電源監視部
、５は露光装置内の各配電対象に配電する配電部、６は
配電部５と各配電対象とを結ぶ配電ライン、７は配電部
５と各配電対象とを結ぶもう一つの配電ラインである。

８はウェハおよびマスクの搬送のための真空吸着等のバ
ルブ制御と真空ポンプの制御をするところの搬送ポンプ
・バルブ制御部、９はウェハ搬送のためのアクチュエー
タおよびセンサ等の制御をするところのウェハ搬送制御
部、１０はマスクの搬送のためのアクチュエータおよび
センサ等の制御をするところのマスク搬送制御部、１１
は搬送にかかわる各部の中央制御をするところの搬送中
央制御部である。

また、１２はウェハステージの制御をするところのステ
ージ制御部、１３はマスクとウェハのプリアライメント
をするところのプリアライメント制御部、１４はマスク
とウェハのファインアライメントをするところのファイ
ンアライメント制御部、１５は露光時間の間開く露光シ
ャッタ部、１６はアライメントと露光の中央制御をする
ところのＡＡ（オート・アライメント）露光中央制御部
、１７は露光装置の各所の温度制御をするところの温度
制御部、１８は露光雰囲気をつくるための密閉容器内の
気圧等のコントロールをするところのチャンバ雰囲気制
御部、１９はチャンバ雰囲気と温度を中央制御する環境
中央制御部である。

２０は各種データの保持および格納を行ない操作者との
マンマシンインターフェースを実現するコンソール部、
２１は各中央制御部と個別機能の制御部との間を結ぶ制
御パスラインである。２２は電源監視部３か配電部５へ
向けて出力する停電検出信号（異常検出信号）である。

上記構成において、外部交流電源が正常に電源１および
電源２に供給されている間は、電源１は露光装置に給電
するために配電部５に各種の電力を出力している。この
とき、電源２は内部の蓄電池に充電をしており、配電部
５へは電力供給を停止している状態にある。電源監視部
３は電源１の動作状態を監視しており、前述のように電
源１が正常に電力供給をしているとぎは、停電検出信号
２２は正常状態を示している。配電部５は前記の正常状
態を示している停電検出信号２２を受りて、配電ライン
６および配電ライン７に給電をする。

配電ライン６は、ウェハ搬送制御部９、マスク搬送制御
部１０、搬送中央制御部１１、プリアライメント制御部
１３、ファインアライメント制御部１４、露光シャッタ
部１５、ＡＡ露光中央制御部１６、温度制御部１７、チ
ャンバ雰囲気制御部１８および環境中央制御部１９へ接
続されており、各制御部で必要とする各種の電圧の直流
および交流電力を供給している。給電ライン７は、搬送
ポンプ・バルブ制御部８、ステージ制御部１２およびコ
ンソール部２０へ接続されており、これらの各制御部で
必要とする各種の電圧の直流および交梳電力を供給して
いる。

搬送中央制御部１１は、ウェハおよびマスク搬送にかか
わる各制御部、すなわち搬送ポンプ・バルブ制御部８、
ウェハ搬送制御部９およびマスク搬送制御部１０の上位
に当る制御部であって、制御パスライン２１を通してこ
れら各部に対する中央制御を行なう。搬送ポンプ・バル
ブ制御部８は、ウェハおよびマスク搬送につかわれる真
空ポンプ、真空計およびバルブの制御を担当する。ウェ
ハ搬送制御部９は、ウェハを搬送するための各種アクチ
ュエータセンサの制御を担当している。

マスク搬送制御部１０は、マスクを搬送するための各種
アクチュエータおよびセンサの制御を担当している。

ＡＡ露光中央制御部１６は、ステージ制御部１２、プリ
アライメント制御部１３、ファインアライメント制御部
１４および露光シャッタ部１５の上位に当る制御部であ
って、制御パスライン２１を通じてこれら各部に対する
中央制御を行なう。ステージ制御部１２は、マスクとウ
ェハとの位置合せに用いるステージの制御を担当する。

プリアライメント制御部１３は、マスクとウェハとの粗
い位置合せ（プリアライメント）を担当する。ファイン
アライメント制御部１４はマスクとウェハとの高精度な
位置合せ（ファインアライメント）を担当する。露光シ
ャッタ部１５はシャッタの制御を担当する。

環境中央制御部１９は、温度制御部１７とチャンバ雰囲
気制御部１８の上位に当る制御部であって、制御パスラ
イン２１を通じてこれら各部に対する中央制御を担当す
る。温度制御部１７は、ウェハの温度および周囲温度等
の制御を担当する。

チャンバ雰囲気制御部１８は、露光に最適な気圧および
ガス組成の制御を担当する。

コンソール部２０は、各種データの蓄積とマンマシンイ
ンターフェースを担当する。

次に、外部交流電源が異常状態例えば停電となったとき
、電源監視部３は速やかにこの停電を検知して停電検出
信号２２を停電状態にする。電源２は、停電になると内
部蓄電池に対する充電を停止し、電力を配電部５に対し
て供給する。このとき、電源１は配電部５に対する電力
供給ができなくなっている。そして、停電状態を示して
いる停電検出信号２２を受けた配電部５は、配電ライン
６に対する給電を停止し、配電ライン７に対する給電を
続ける。

この結果、配電ライン６に接続されているすべての制御
部は動作を停止する。一方、配電ライン７に接続されて
いる搬送ポンプ・バルブ制御部８、ステージ制御部１２
およびコンソール部２０には電源が供給されているので
、これらの部分は停電時の最小限の動作を続ける。

第２図は、上記実施例の装置の動作を説明するためのタ
イミングチャートである。外部交流電源の停電に同期し
て、第１の電源部１から第２の電源部２へと切り換り、
同時に配電ライン６への給電が停止している。その結果
、消費電力が低下している様子がわかる。

本実施例によれば、以下のような効果がある。

■　停電時には最小限の制御部だけに給電しているので
第２の電源部２の規模が最小限でよい。したがって、経
済的効果がある他に、スペースファクタの点でも有利で
ある。

■　停電時に搬送ポンプ・バルブ制御部８に給電されて
いるので、吸着中のウェハを落下させてしまう危険を回
避できる。

■　停電時にもコンソール部２０へ給電しているので、
電源異常が発生したときのマンマシン・インターフェー
スを確保でき安全である。

また、保存前のデータを保存する時間もあり信頼性の高
いシステムになる。

■停電時にもステージ制御部１２へ給電しているので、
ステージを停電直前の状態に保持でき、停電から回復し
たときのウェハ回収などの動作が容易である。

［他の実施例コ 第３図は、本発明の第２の実施例に係る電源装置を適用
した露光装置の構成を示すブロック図である。同図にお
いて、第１図と同一の付番は同または共通の部分を示す
ものとする。第３図の構成では、第１図のものと異なり
電源２および電源監視部３がない。ただし、工場内無停
電電源４が追加されており、電源監視部はこの工場内無
停電電源４の内部に設けられている。また、工場内無停
電電源４は、正常時に電源供給を行なう回路（第１図の
第１の電源部１に相当する）および外部交流電源の異常
等の場合に電源供給を行なう回路（第１図の第２の電源
部２に相当する）を備えている。

本実施例は、露光装置の外部に工場内無停電電源４を設
置する場合の実施例である。露光装置は工場内無停電電
源４より電力供給を受ける。また、停電検出信号２２が
工場内無停電電源４の内部の不図示の電源監視部から露
光装置内の配電部５へ入力されている。この停電検出信
号２２は、工場内無停電電源４の内部の電源監視部が停
電を検出した時は停電状態を示す。配電部５は、この停
電検出信号２２の状態を見て、第１の実施例と同様の動
作をする。

なお、複数の露光装置の内に無停電電源を設けるより、
製造ライン全体で１つの無停電電源を設置した方が経済
的には得策である。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれば、停電等の電源異
常が発生した場合に非常用の第２の電源部に切り換え、
露光装置内の必要最小限の部分に給電することとしてい
るので、電源異常が原因で発生する事故やウェハ損品な
なくすことができる。また、第２の電源部による給電は
必要最小限でよいので、その容量も最小限でよく経済的
である。さらに、必要最小限の部分は稼動を続けている
ので、電源異常から復帰したときの露光装置の再稼動が
容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例に係る露光装置用電源
装置を適用した露光装置の構成を示すブロック図、 第２図は、上記実施例の装置の動作を説明するためのタ
イミングチャート、 第３図は、本発明の第２の実施例に係る電源装置を適用
した露光装置の構成を示すブロック図、第４図は、従来
の露光装置およびその電源装置の概略構成図である。 第１の電源部、 第２の電源部、 電源監視部、 工場内無停電電源、 配電部、 ７　配電ライン、 搬送ポンプ・バルブ制御部、 ウェハ搬送制御部、 マスク搬送制御部、 ：ｒ送中央制御部、 ：ステージ制御部、 ニブリアライメン）・制御部、 ：ファインアライメント制御部、 ：露光シャッタ部、 二ＡＡ露光中央制御部、 ：温度制御部、 ：チャンバー雰囲気制御部、 環境中央制御部、 コンソール部、 制御パスライン、 ２２　停電検出信号。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）正常運転時に露光装置内の各部分に対し電源を供
   給する第１の電源部と、電源異常により該第１の電源部
   から正常に電源を供給することができなくなった場合に
   電源を供給する第２の電源部と、該電源異常を検出して
   異常検出信号を送出する電源監視部と、該異常検出信号
   を受けて、上記第１の電源部から上記第２の電源部へと
   供給源を切り換え、さらに電源供給対象を露光装置内の
   所定の部分のみに制限する配電部とを具備することを特
   徴とする露光装置用電源装置。