JPH0249029A - 含フッ素ポリイミドの製造方法 - Google Patents
含フッ素ポリイミドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0249029A JPH0249029A JP20057988A JP20057988A JPH0249029A JP H0249029 A JPH0249029 A JP H0249029A JP 20057988 A JP20057988 A JP 20057988A JP 20057988 A JP20057988 A JP 20057988A JP H0249029 A JPH0249029 A JP H0249029A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- formulas
- formula
- fluorine
- tables
- chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 title claims abstract description 32
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 title claims abstract description 28
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 12
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 12
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 claims abstract description 7
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 claims abstract description 4
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims abstract 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 13
- 125000001140 1,4-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:2])=C([H])C([H])=C1[*:1] 0.000 abstract 1
- 150000000000 tetracarboxylic acids Chemical class 0.000 abstract 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical class C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- NUIURNJTPRWVAP-UHFFFAOYSA-N 3,3'-Dimethylbenzidine Chemical compound C1=C(N)C(C)=CC(C=2C=C(C)C(N)=CC=2)=C1 NUIURNJTPRWVAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 125000006158 tetracarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、熱膨張係数が小さく、かつ誘電率、屈折率の
小さい含フッ素ポリイミド及びその製造方法に関する。
小さい含フッ素ポリイミド及びその製造方法に関する。
「従来の技術」
ポリイミドは、種々の有機ポリマーの中でも耐熱性に優
れているため、宇宙、航空分野から電子通信分野まで幅
広く使われ始めている。特に最近では、単に耐熱性に優
れているだけでなく用途に応じて種々の性能を合わせ持
つことが期待されている。例えば、プリント板やLSI
用の層間絶縁膜などとしては、熱膨張率係数、誘電率が
小さいことが期待され、光通信関係、特に光導波路のク
ラツド材には屈折率が小さいことが期待されている。し
かしながら、これらの性能を充分に満足するポリイミド
は現在のところ得られていない。
れているため、宇宙、航空分野から電子通信分野まで幅
広く使われ始めている。特に最近では、単に耐熱性に優
れているだけでなく用途に応じて種々の性能を合わせ持
つことが期待されている。例えば、プリント板やLSI
用の層間絶縁膜などとしては、熱膨張率係数、誘電率が
小さいことが期待され、光通信関係、特に光導波路のク
ラツド材には屈折率が小さいことが期待されている。し
かしながら、これらの性能を充分に満足するポリイミド
は現在のところ得られていない。
これらのポリイミドを得るためには、ポリイミドの主鎖
をできる限り剛直構造にして低熱膨張性を発現させ、ざ
らにモノマーであるテトラカルボン酸二無水物またはジ
アミンに低誘電率性、低屈折率性を発現する置換基を導
入する方法が考えられる。例えばエポキシ樹脂において
は、ジャーナル オブ ポリマー サイエンス(J □
urnal ofP olymer S cience
)のパート(Part )C,ポリマー レターズ(
P olymer L etters )、第24巻
、第249頁(1986)に示されているようにエポキ
シ樹脂の硬化剤に多フッ素置換基を導入することにより
、これまでのエポキシ樹脂の中で最も低い誘電率を達成
している。また、特開昭61−44969号公報で示さ
れているように、屈折率においても多フッ素置換基を導
入することにより、これまでのエポキシ樹脂の中で最も
低い屈折率を達成している。このようにポリイミド骨格
を剛直構造にし、フッ素置換基を導入することにより、
熱膨張係数、誘電率、屈折率の低減が期待できる。
をできる限り剛直構造にして低熱膨張性を発現させ、ざ
らにモノマーであるテトラカルボン酸二無水物またはジ
アミンに低誘電率性、低屈折率性を発現する置換基を導
入する方法が考えられる。例えばエポキシ樹脂において
は、ジャーナル オブ ポリマー サイエンス(J □
urnal ofP olymer S cience
)のパート(Part )C,ポリマー レターズ(
P olymer L etters )、第24巻
、第249頁(1986)に示されているようにエポキ
シ樹脂の硬化剤に多フッ素置換基を導入することにより
、これまでのエポキシ樹脂の中で最も低い誘電率を達成
している。また、特開昭61−44969号公報で示さ
れているように、屈折率においても多フッ素置換基を導
入することにより、これまでのエポキシ樹脂の中で最も
低い屈折率を達成している。このようにポリイミド骨格
を剛直構造にし、フッ素置換基を導入することにより、
熱膨張係数、誘電率、屈折率の低減が期待できる。
「発明が解決しようとする課題」
しかしながら、これまでに剛直構造のポリイミドにフッ
素置換基を導入して、低熱膨張係数、低誘電率、低屈折
率を達成したという報告はない。
素置換基を導入して、低熱膨張係数、低誘電率、低屈折
率を達成したという報告はない。
本発明の目的は、従来のポリイミドでは有していなかっ
た低熱膨張係数、低誘電率、低屈折率などの優れた特性
を有するポリイミド及びその製造方法を提供することに
ある。
た低熱膨張係数、低誘電率、低屈折率などの優れた特性
を有するポリイミド及びその製造方法を提供することに
ある。
「課題を解決するための手段」
本発明における請求項1に記載した発明では、下記の化
学構造式[I11]で表される含フッ素ポリイミドを提
供することを、また請求項2に記載した発明では、上記
一般式[I]で表される酸無水物と、上記一般式[11
]で表されるジアミンとを反応させて含フッ素ポリイミ
ドを得ることを上記課題の解決手段とした。
学構造式[I11]で表される含フッ素ポリイミドを提
供することを、また請求項2に記載した発明では、上記
一般式[I]で表される酸無水物と、上記一般式[11
]で表されるジアミンとを反応させて含フッ素ポリイミ
ドを得ることを上記課題の解決手段とした。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明者らは、フッ素化ポリイミドの分子構造について
種々検討し、ピロメリット酸無水物の側鎖に直鎖状のフ
ルオロアルキル基を導入した含フッ素ピロメリット酸無
水物を用い、さらに剛直構造ジアミンにフルオロアルキ
ル基を導入することにより、誘電率、屈折率、熱膨張係
数とも従来のポリイミドに比較して小さいポリイミドが
得られることを明らかにした。
種々検討し、ピロメリット酸無水物の側鎖に直鎖状のフ
ルオロアルキル基を導入した含フッ素ピロメリット酸無
水物を用い、さらに剛直構造ジアミンにフルオロアルキ
ル基を導入することにより、誘電率、屈折率、熱膨張係
数とも従来のポリイミドに比較して小さいポリイミドが
得られることを明らかにした。
本発明においては、まず、上記[I]式で示される酸無
水物と上記[11式で示されるジアミンとの反応からポ
リアミド酸を製造する。反応条件は通常のポリアミド酸
の重合条件と同じでよく、−船釣にはN−メチル−2−
ピロリドン、N、N−ジメチルアセトアミド、N、N−
ジメチルホルムアミドなどの有機溶剤中で反応させる。
水物と上記[11式で示されるジアミンとの反応からポ
リアミド酸を製造する。反応条件は通常のポリアミド酸
の重合条件と同じでよく、−船釣にはN−メチル−2−
ピロリドン、N、N−ジメチルアセトアミド、N、N−
ジメチルホルムアミドなどの有機溶剤中で反応させる。
次に、得られたポリアミド酸のイミド化によるポリイミ
ドの合成であるが、これも通常のポリイミドの合成法が
使用できる。
ドの合成であるが、これも通常のポリイミドの合成法が
使用できる。
「実施例」
以下、実施例により本発明の含フッ素ポリイミド及びそ
の製造方法について具体的に説明するが、本発明はこれ
ら実施例に限定されるものではない。
の製造方法について具体的に説明するが、本発明はこれ
ら実施例に限定されるものではない。
なお、下記実施例において、誘電率は1kHzでの値で
あり、屈折率はナトリウムD線の波長(5896人)で
の値である。また、熱膨張係数は、下記の条件で熱処理
したフィルムを熱機械試験機に取り付けて5℃/分の条
件で窒素雰囲気中室温からガラス転位温度の間の昇温を
繰り返し行い、フィルムの吸湿水分、イミド化反応等に
よる残留歪みの影響を十分取り除き、再現性のある値を
求めた。
あり、屈折率はナトリウムD線の波長(5896人)で
の値である。また、熱膨張係数は、下記の条件で熱処理
したフィルムを熱機械試験機に取り付けて5℃/分の条
件で窒素雰囲気中室温からガラス転位温度の間の昇温を
繰り返し行い、フィルムの吸湿水分、イミド化反応等に
よる残留歪みの影響を十分取り除き、再現性のある値を
求めた。
(実施例1)
三角フラスコに3.6−ジ(3,5−ジトリフルオロメ
チルフェノキシ)ピロメリット酸無水物13゜489
(20,0mmol)、o−トリジン4.249(20
゜OIIlmol)、N−メチル−2−ピロリドン(N
MP)100gを加えた。この混合物を窒素雰囲気下、
室温で3日間撹拌し、ポリアミド酸のNMP溶液(粘度
=58ポアズ)を得た。このものをアルミ板上に流し、
ドクターブレードで平坦にした後、100℃で1時間、
200℃で1時間、350℃で1時間、さらに400℃
で加熱キュアした。このアルミ板を10%t−t c
x水溶液に浸し、アルミ板を溶解してポリイミドフィル
ムを得た。
チルフェノキシ)ピロメリット酸無水物13゜489
(20,0mmol)、o−トリジン4.249(20
゜OIIlmol)、N−メチル−2−ピロリドン(N
MP)100gを加えた。この混合物を窒素雰囲気下、
室温で3日間撹拌し、ポリアミド酸のNMP溶液(粘度
=58ポアズ)を得た。このものをアルミ板上に流し、
ドクターブレードで平坦にした後、100℃で1時間、
200℃で1時間、350℃で1時間、さらに400℃
で加熱キュアした。このアルミ板を10%t−t c
x水溶液に浸し、アルミ板を溶解してポリイミドフィル
ムを得た。
得られたポリイミドフィルムの物性を調べたところ、誘
電率が3,1、屈折率が1.639、熱膨張係数が9
x 10−”(’C″″′)であった。
電率が3,1、屈折率が1.639、熱膨張係数が9
x 10−”(’C″″′)であった。
(実施例2〜6 )
実施例1と同様の方法を用いて、異なる組成のポリイミ
ドフィルム5種類を得た。これらの誘電率、屈折率及び
熱膨張係数をそれぞれに測定し、第1表に示した。
ドフィルム5種類を得た。これらの誘電率、屈折率及び
熱膨張係数をそれぞれに測定し、第1表に示した。
なお、比較例として、先の実施例1と同様の方法により
、ピロメリット酸無水物と4.4゛ジアミノジフエニル
エーテルを等モルずつ用いて重板ポリイミド(商品名:
カプトン)と同等のポリイミドフィルムを得、このもの
の誘電率、屈折率、熱膨張係数を測定して第1表に示し
た。
、ピロメリット酸無水物と4.4゛ジアミノジフエニル
エーテルを等モルずつ用いて重板ポリイミド(商品名:
カプトン)と同等のポリイミドフィルムを得、このもの
の誘電率、屈折率、熱膨張係数を測定して第1表に示し
た。
以下余白
これらの結果より、本発明の含フッ素ポリイミドは、従
来のものと比較して低誘電率、低屈折率かつ低熱膨張係
数を存していることが明らかとなりノこ。
来のものと比較して低誘電率、低屈折率かつ低熱膨張係
数を存していることが明らかとなりノこ。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明の含フッ素ポリイミドは、
従来のピロメリット酸無水物を用いたポリイミドに比較
して低誘電率、低屈折率かつ低熱膨張係数となる利点を
有しているので、プリント板、1.、 S I用の層間
絶縁膜、光導波路用材料等への適用が可能となる。
従来のピロメリット酸無水物を用いたポリイミドに比較
して低誘電率、低屈折率かつ低熱膨張係数となる利点を
有しているので、プリント板、1.、 S I用の層間
絶縁膜、光導波路用材料等への適用が可能となる。
Claims (2)
- (1)式 ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中R_1は以下の化学構造式からなる群より選ばれ
た四価の有機基であり、 ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼ R_2は以下の化学構造式からなる群より選ばれた二価
の基を表す ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
) で示される繰り返し単位を有する含フッ素ポリイミド。 - (2)下記一般式[ I ]で表される酸無水物と、下記
一般式[II]で表されるジアミンとを反応させて請求項
1に記載した含フッ素ポリイミドを得ることを特徴とす
る含フッ素ポリイミドの製造方法。 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・[ I ] H_2N−R_2−NH_2・・・[II] (式中のR_1、R_2はそれぞれ請求項1に記載した
R_1、R_2と同一とする。)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63200579A JP2567049B2 (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 含フッ素ポリイミドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63200579A JP2567049B2 (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 含フッ素ポリイミドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0249029A true JPH0249029A (ja) | 1990-02-19 |
JP2567049B2 JP2567049B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=16426684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63200579A Expired - Fee Related JP2567049B2 (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | 含フッ素ポリイミドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2567049B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5324813A (en) * | 1992-07-22 | 1994-06-28 | International Business Machines Corporation | Low dielectric constant fluorinated polymers and methods of fabrication thereof |
US5895900A (en) * | 1996-12-20 | 1999-04-20 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Pressure sensitive seat switch with air vent passages |
US5896090A (en) * | 1996-05-29 | 1999-04-20 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Occupant sensing apparatus |
US5965856A (en) * | 1996-11-28 | 1999-10-12 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Pressure sensitive switch |
US6388556B1 (en) | 2000-09-07 | 2002-05-14 | Fujikura Ltd. | Film pressure sensitive resistor and pressure sensitive sensor |
US7465479B2 (en) * | 2001-12-27 | 2008-12-16 | Merck Patent Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Polymerisable monocyclic compounds |
EP2571019A1 (en) | 2011-08-30 | 2013-03-20 | Yamaha Corporation | Controller provided with touch detection device |
-
1988
- 1988-08-11 JP JP63200579A patent/JP2567049B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5324813A (en) * | 1992-07-22 | 1994-06-28 | International Business Machines Corporation | Low dielectric constant fluorinated polymers and methods of fabrication thereof |
US5896090A (en) * | 1996-05-29 | 1999-04-20 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Occupant sensing apparatus |
US5965856A (en) * | 1996-11-28 | 1999-10-12 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Pressure sensitive switch |
US5895900A (en) * | 1996-12-20 | 1999-04-20 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Pressure sensitive seat switch with air vent passages |
US6388556B1 (en) | 2000-09-07 | 2002-05-14 | Fujikura Ltd. | Film pressure sensitive resistor and pressure sensitive sensor |
US7465479B2 (en) * | 2001-12-27 | 2008-12-16 | Merck Patent Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Polymerisable monocyclic compounds |
EP2571019A1 (en) | 2011-08-30 | 2013-03-20 | Yamaha Corporation | Controller provided with touch detection device |
US9130572B2 (en) | 2011-08-30 | 2015-09-08 | Yamaha Corporation | Controller provided with touch detection device including movable and fixed contact patterns |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2567049B2 (ja) | 1996-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101545666B1 (ko) | 디아민, 폴리이미드, 그리고, 폴리이미드 필름 및 그 이용 | |
EP0280801B1 (en) | Colorless transparent polyimide shaped articles and process for their production | |
JP2015071765A (ja) | ポリイミドのための前駆体組成物及びその使用 | |
US5484879A (en) | Polyimides containing fluorine | |
JP2657700B2 (ja) | 含フッ素ポリイミド光学材料 | |
JP2640553B2 (ja) | フッ素化ポリイミド共重合体及びその製造方法 | |
JPH0249029A (ja) | 含フッ素ポリイミドの製造方法 | |
JP2744969B2 (ja) | 含フッ素ポリイミド及びその製造方法 | |
JP3131940B2 (ja) | ポリイミド共重合体及びその製造方法 | |
KR19980079256A (ko) | 폴리이미드 전구체 용액, 이의 제조방법, 이러한 용액으로부터 수득한 피막 또는 필름 및 필름의 제조방법 | |
JPH047333A (ja) | 新規ポリイミド | |
JPH0676554B2 (ja) | 含フッ素ポリイミド組成物及びその製造方法 | |
JP3425854B2 (ja) | 低屈折率透明ポリイミド共重合体、及びそれらの前駆体溶液、及びそれらの製造方法 | |
JPH048733A (ja) | 透明ポリイミドフィルム | |
JP2694008B2 (ja) | 含フッ素ポリイミド及びその製造方法 | |
JP2519228B2 (ja) | 無色透明ポリイミド成形体およびその製法 | |
JP3339205B2 (ja) | ポリイミド共重合体の製造方法 | |
JP2843314B2 (ja) | 含フッ素ポリイミド光学材料 | |
JP2998835B2 (ja) | 含フッ素ポリイミド光学材料 | |
JPH01182324A (ja) | 含フッ素ポリイミドの製造方法 | |
JPS63199239A (ja) | 新規な溶剤可溶性ポリイミド及びその製造方法 | |
KR20020055837A (ko) | 폴리아믹산 수지 조성물 | |
KR102699256B1 (ko) | 폴리아믹산 조성물 및 이로부터 제조되는 폴리이미드 필름 | |
JP2004339363A (ja) | ポリイミド前駆体液組成物及びポリイミド被膜 | |
JP4620946B2 (ja) | ポリイミド前駆体の製造方法、ポリイミド前駆体有機溶媒溶液の製造方法、ポリイミド膜の製造方法、ポリイミド前駆体、ポリイミド製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |