[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH0247045U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0247045U
JPH0247045U JP12600988U JP12600988U JPH0247045U JP H0247045 U JPH0247045 U JP H0247045U JP 12600988 U JP12600988 U JP 12600988U JP 12600988 U JP12600988 U JP 12600988U JP H0247045 U JPH0247045 U JP H0247045U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
horizontal
view
section
manufacturing equipment
arm part
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12600988U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP12600988U priority Critical patent/JPH0247045U/ja
Publication of JPH0247045U publication Critical patent/JPH0247045U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ないし第３図は本考案の一実施例を示す
ものであり、半導体ウエハ用移送ロボツトの側面
図、第２図は半導体ウエハ用移送ロボツトの平面
図、第３図は半導体ウエハ用移送ロボツトの正面
図、第４図、第５図は本実施例の半導体ウエハ用
移送ロボツトによつて半導体製造装置にウエハカ
セツトを装着する方法を説明するためのものであ
り、第４図ａはウエハカセツトを半導体ウエハ用
移送ロボツトから半導体製造装置上に装着すると
ころを示す説明図、第４図ｂ，ｃ，ｄは半導体製
造装置にウエハカセツトを装着した状態の平面図
、また第４図ｂ′は第４図ｂのＸ―Ｙ矢視図、第
４図ｃ′は第４図ｃのＸ―Ｙ矢視図、第４図ｄ′
は第４図ｄのＸ―Ｙ矢視図、第５図ａはウエハカ
セツトを半導体ウエハ用移送ロボツトから半導体
製造装置上に載置することを示す説明図、第５図
ｂ，ｃ，ｄは半導体製造装置にウエハカセツトを
装着した状態の平面図、第５図ｂ′は第５図ｂの
Ｘ―Ｙ矢視図、第５図ｃ′は第５図ｃのＸ―Ｙ矢
視図、第５図ｄ′は第５図ｄのＸ―Ｙ矢視図、第
６図、第７図ａ，ｂ，ｃは従来の半導体ウエハ用
移送ロボツトを示すものであり、第６図は半導体
ウエハ用移送ロボツトの斜視図、第７図ａ，ｂ，
ｃは半導体ウエハ用移送ロボツトの先端の斜視図
である。 Ｍ……半導体製造装置、Ｒ……半導体ウエハ用
移送ロボツト（移送ロボツト）、Ｃ……アーム部
、１０……ウエハカセツト、１０ａ……半導体ウ
エハ、１１……把持部、１２……水平アーム部、
１３……垂直アーム部、１４……水平旋回部、１
５……振り旋回部。
補正 昭６３．１２．９ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第１２頁第１７行〜第１３頁第８行の「
第４図ｂ，ｃ，ｄは〜Ｘ−Ｙ矢視図」とあるのを
、次の文に補正する。 「第４図ｂは半導体製造装置ウエハカセツトを
装着した状態の平面図、第４図ｃは半導体製造装
置にウエハカセツトを装着した状態の平面図、第
４図ｄは半導体製造装置にウエハカセツトを装着
した状態の平面図、また第４図ｅは第４図ｂのＸ
−Ｙ矢視図、第４図ｆは第４図ｃのＸ−Ｙ矢視図
、第４図ｇは第４図ｄのＸ−Ｙ矢視図、第５図ａ
はウエハカセツトを半導体ウエハ用移送ロボツト
から半導体製造装置上に載置することを示す説明
図、第５図ｂは半導体製造装置にウエハカセツト
を装着した状態の平面図、第５図ｃは半導体製造
装置にウエハカセツトを装着した状態の平面図、
第５図ｄは半導体製造装置にウエハカセツトを装
着した状態の平面図、第５図ｅは第５図ｂのＸ−
Ｙ矢視図、第５図ｆは第５図ｃのＸ−Ｙ矢視図、
第５図ｇは第５図ｄのＸ−Ｙ矢視図。」

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリーンルーム内に設置された半導体製造装置
    に沿つて設けられた軌道に案内されて移動するこ
    とにより、半導体製造装置に半導体ウエハの着脱
    を自動的に行う半導体ウエハ用移動ロボツトであ
    つて、ウエハカセツトをつかむ把持部と、該把持
    部を水平方向に伸縮自在とする水平アーム部と、
    この水平アーム部を水平方向に回動自在にかつ上
    下動可能に保持する垂直アーム部とを具備してお
    り、上記水平アーム部と把持部との間には、把持
    部を水平方向に回動させる水平旋回部と、該水平
    旋回部に取り付けられて把持部を垂直方向に回動
    させる振り旋回部を取り付けたことを特徴とする
    半導体ウエハ用移送ロボツト。
JP12600988U 1988-09-27 1988-09-27 Pending JPH0247045U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12600988U JPH0247045U (ja) 1988-09-27 1988-09-27

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12600988U JPH0247045U (ja) 1988-09-27 1988-09-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0247045U true JPH0247045U (ja) 1990-03-30

Family

ID=31377129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12600988U Pending JPH0247045U (ja) 1988-09-27 1988-09-27

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0247045U (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08288358A (ja) * 1995-04-20 1996-11-01 Rohm Co Ltd 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置
JPH11222121A (ja) * 1997-07-10 1999-08-17 Shinko Electric Co Ltd 無人搬送車
JP2000003894A (ja) * 1999-05-10 2000-01-07 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及びその方法
JP2002362737A (ja) * 2001-06-07 2002-12-18 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
JP2006240884A (ja) * 2005-03-03 2006-09-14 Keuro Besitz Gmbh & Co Edv Dienstleistungs Kg 長尺物品用荷役装置
WO2018146740A1 (ja) * 2017-02-08 2018-08-16 株式会社Ｆｕｊｉ 作業機

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62198113A (ja) * 1986-02-26 1987-09-01 Shimizu Constr Co Ltd ウエハの自動移送装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62198113A (ja) * 1986-02-26 1987-09-01 Shimizu Constr Co Ltd ウエハの自動移送装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08288358A (ja) * 1995-04-20 1996-11-01 Rohm Co Ltd 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置
JPH11222121A (ja) * 1997-07-10 1999-08-17 Shinko Electric Co Ltd 無人搬送車
JP2000003894A (ja) * 1999-05-10 2000-01-07 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及びその方法
JP2002362737A (ja) * 2001-06-07 2002-12-18 Semiconductor Leading Edge Technologies Inc マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
JP2006240884A (ja) * 2005-03-03 2006-09-14 Keuro Besitz Gmbh & Co Edv Dienstleistungs Kg 長尺物品用荷役装置
WO2018146740A1 (ja) * 2017-02-08 2018-08-16 株式会社Ｆｕｊｉ 作業機
CN110248777A (zh) * 2017-02-08 2019-09-17 株式会社富士 作业机
JPWO2018146740A1 (ja) * 2017-02-08 2019-11-07 株式会社Ｆｕｊｉ 作業機
CN110248777B (zh) * 2017-02-08 2022-09-16 株式会社富士 作业机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0247045U (ja)
JPS6071546U (ja) 位置決め装置
JPS5845360U (ja) サブストレ−トの着脱装置
JPS62295839A (ja) グリツプ装置
JPH0534818B2 (ja)
JPH0463643U (ja)
JPS6049758U (ja) 植物支持はり移設装置
JPS6317249Y2 (ja)
JPS6452240U (ja)
JPS6224238B2 (ja)
JPS63122789U (ja)
JPS61191886U (ja)
JPS59115648U (ja) 半導体ウエハ移替装置
JPS63202448U (ja)
JPH0227733U (ja)
JPS61183308U (ja)
JPH0482130U (ja)
JPS59151620U (ja) チヤツキング装置
JPS6247958U (ja)
JPS61205727U (ja)
JPS6066483U (ja) ロボツト装置
JPS62198491U (ja)
JPS61113734U (ja)
JPH01103067U (ja)
JPH0378060U (ja)