JPH09245654A - ａｃ形プラズマディスプレイ - Google Patents
ａｃ形プラズマディスプレイInfo
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- JPH09245654A JPH09245654A JP8051982A JP5198296A JPH09245654A JP H09245654 A JPH09245654 A JP H09245654A JP 8051982 A JP8051982 A JP 8051982A JP 5198296 A JP5198296 A JP 5198296A JP H09245654 A JPH09245654 A JP H09245654A
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- plasma display
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 放電開始電圧及び駆動電圧（消費電力）を変
化させることなく、高輝度及び長寿命が図られ、しかも
低コストでの製造を可能とするａｃ形プラズマディスプ
レイを提供する。 【解決手段】 ガス放電空間を挟んで対向配置された背
面基板と、前面基板とを具備し、前記背面基板及び前面
基板の少なくとも一方には、誘電体膜で覆われた対電極
及び蛍光体が形成され、前記対電極を覆う誘電体膜及び
蛍光体の少なくとも一方の上にはＭｇＯ層と真空紫外線
領域の光を透過する物質の薄膜との複合層からなる保護
層が形成されていることを特徴とする。
化させることなく、高輝度及び長寿命が図られ、しかも
低コストでの製造を可能とするａｃ形プラズマディスプ
レイを提供する。 【解決手段】 ガス放電空間を挟んで対向配置された背
面基板と、前面基板とを具備し、前記背面基板及び前面
基板の少なくとも一方には、誘電体膜で覆われた対電極
及び蛍光体が形成され、前記対電極を覆う誘電体膜及び
蛍光体の少なくとも一方の上にはＭｇＯ層と真空紫外線
領域の光を透過する物質の薄膜との複合層からなる保護
層が形成されていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ａｃ形プラズマデ
ィスプレイに係り、特に、誘電体層及び／又は蛍光体の
表面に保護層が形成されたａｃ形プラズマディスプレイ
に関する。
ィスプレイに係り、特に、誘電体層及び／又は蛍光体の
表面に保護層が形成されたａｃ形プラズマディスプレイ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】放電に伴う発光現象を利用して画像表示
を行うディスプレイ、いわゆるプラズマディスプレイ
は、電極の構造から、放電空間に金属電極が露出してい
るｄｃ形と、金属電極が誘電体層で覆われているａｃ形
とに大別される。これらのうち、薄型かつ大画面のカラ
ーテレビには、メモリ機能を有し、大型化に対応可能な
ａｃ形プラズマディスプレイが好適である。このａｃ形
プラズマディスプレイは、電極の配置構造の相違から、
面放電方式と対向電極方式とに分けられるが、いずれの
方式においても、誘電体層の表面には保護層（主として
ＭｇＯ層）が形成されている。
を行うディスプレイ、いわゆるプラズマディスプレイ
は、電極の構造から、放電空間に金属電極が露出してい
るｄｃ形と、金属電極が誘電体層で覆われているａｃ形
とに大別される。これらのうち、薄型かつ大画面のカラ
ーテレビには、メモリ機能を有し、大型化に対応可能な
ａｃ形プラズマディスプレイが好適である。このａｃ形
プラズマディスプレイは、電極の配置構造の相違から、
面放電方式と対向電極方式とに分けられるが、いずれの
方式においても、誘電体層の表面には保護層（主として
ＭｇＯ層）が形成されている。
【０００３】この保護層の形成方法としては、ＥＢ蒸着
法、スパッタ法、ＣＶＤ法等の薄膜法があり、また、こ
れらの他に考えられる方法として、スクリーン印刷法等
がある。
法、スパッタ法、ＣＶＤ法等の薄膜法があり、また、こ
れらの他に考えられる方法として、スクリーン印刷法等
がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】放電によるスパッタリ
ングは、誘電体層に限らず、蛍光体にも同様に生じ、そ
れによって蛍光体が損傷し、寿命が低下するという問題
がある。即ち、例えば対角１７インチ程度のカラープラ
ズマディスプレイを実現する場合、単位となる１放電セ
ルが小さいので、蛍光体を塗布する面積を大きくしない
と、輝度の低下を招いてしまう。しかし、蛍光体を塗布
する面積の割合を増やすと、放電によるスパッタリング
により蛍光体が損傷を受けて、寿命を著しく低下させて
しまう。
ングは、誘電体層に限らず、蛍光体にも同様に生じ、そ
れによって蛍光体が損傷し、寿命が低下するという問題
がある。即ち、例えば対角１７インチ程度のカラープラ
ズマディスプレイを実現する場合、単位となる１放電セ
ルが小さいので、蛍光体を塗布する面積を大きくしない
と、輝度の低下を招いてしまう。しかし、蛍光体を塗布
する面積の割合を増やすと、放電によるスパッタリング
により蛍光体が損傷を受けて、寿命を著しく低下させて
しまう。
【０００５】このようなことから、蛍光体の表面にも同
様にＭｇＯ層を形成し、蛍光体の損傷を軽減してディス
プレイとしての寿命を延長する試みがなされている。し
かし、ＭｇＯは、放電で発生する１４７ｎｍ前後の真空
紫外線を吸収する性質があるため、ＭｇＯの膜厚を厚く
すると輝度の低下をまねき、薄くすると寿命を著しく短
くするといった問題を生じ、輝度と寿命を両立させるこ
とは出来なかった。更に、ＭｇＯ薄膜の形成も決して簡
単に出来るものではなかった。
様にＭｇＯ層を形成し、蛍光体の損傷を軽減してディス
プレイとしての寿命を延長する試みがなされている。し
かし、ＭｇＯは、放電で発生する１４７ｎｍ前後の真空
紫外線を吸収する性質があるため、ＭｇＯの膜厚を厚く
すると輝度の低下をまねき、薄くすると寿命を著しく短
くするといった問題を生じ、輝度と寿命を両立させるこ
とは出来なかった。更に、ＭｇＯ薄膜の形成も決して簡
単に出来るものではなかった。
【０００６】このような問題点を解決するため、鋭意検
討がなされてきたが、未だ問題の解決には至っていな
い。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであっ
て、放電開始電圧や駆動電圧（消費電力）を少なくとも
現状の程度に保ちながら高輝度、長寿命が図られ、しか
も低コストでの製造を可能とするａｃ形プラズマディス
プレイを提供することを目的とする。
討がなされてきたが、未だ問題の解決には至っていな
い。本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであっ
て、放電開始電圧や駆動電圧（消費電力）を少なくとも
現状の程度に保ちながら高輝度、長寿命が図られ、しか
も低コストでの製造を可能とするａｃ形プラズマディス
プレイを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明（請求項１）は、ガス放電空間を挟んで対向
配置された背面基板と、前面基板とを具備し、前記背面
基板及び前面基板の少なくとも一方には、誘電体膜で覆
われた対電極及び蛍光体が形成され、前記対電極を覆う
誘電体膜及び蛍光体の少なくとも一方の上にはＭｇＯ層
と真空紫外線領域の光を透過する物質の薄膜との複合層
からなる保護層が形成されていることを特徴とするａｃ
形プラズマディスプレイを提供する。
め、本発明（請求項１）は、ガス放電空間を挟んで対向
配置された背面基板と、前面基板とを具備し、前記背面
基板及び前面基板の少なくとも一方には、誘電体膜で覆
われた対電極及び蛍光体が形成され、前記対電極を覆う
誘電体膜及び蛍光体の少なくとも一方の上にはＭｇＯ層
と真空紫外線領域の光を透過する物質の薄膜との複合層
からなる保護層が形成されていることを特徴とするａｃ
形プラズマディスプレイを提供する。
【０００８】本発明（請求項２）は、上記ａｃ形プラズ
マディスプレイ（請求項１）において、前記真空紫外線
領域の光を透過する物質は、ＭｇＦ2 であることを特徴
とするａｃ形プラズマディスプレイを提供する。
マディスプレイ（請求項１）において、前記真空紫外線
領域の光を透過する物質は、ＭｇＦ2 であることを特徴
とするａｃ形プラズマディスプレイを提供する。
【０００９】本発明（請求項３）は、ガス放電空間を挟
んで対向配置された背面基板と、前面基板とを具備し、
前記背面基板及び前面基板の少なくとも一方には、誘電
体膜で覆われた対電極が形成され、前記誘電体膜上には
ＭｇＯ層とＭｇＦ2 層との複合層からなる保護層が形成
されていることを特徴とするａｃ形プラズマディスプレ
イを提供する。
んで対向配置された背面基板と、前面基板とを具備し、
前記背面基板及び前面基板の少なくとも一方には、誘電
体膜で覆われた対電極が形成され、前記誘電体膜上には
ＭｇＯ層とＭｇＦ2 層との複合層からなる保護層が形成
されていることを特徴とするａｃ形プラズマディスプレ
イを提供する。
【００１０】本発明（請求項４）は、上記ａｃ形プラズ
マディスプレイ（請求項１〜３）において、前記ＭｇＯ
層の厚さは、２００〜５００オングストロ−ムであるこ
とを特徴とするａｃ形プラズマディスプレイを提供す
る。
マディスプレイ（請求項１〜３）において、前記ＭｇＯ
層の厚さは、２００〜５００オングストロ−ムであるこ
とを特徴とするａｃ形プラズマディスプレイを提供す
る。
【００１１】本発明（請求項５）は、上記ａｃ形プラズ
マディスプレイ（請求項４）において、前記ＭｇＯ層の
厚さは、約４００オングストロ−ムであることを特徴と
するａｃ形プラズマディスプレイを提供する。
マディスプレイ（請求項４）において、前記ＭｇＯ層の
厚さは、約４００オングストロ−ムであることを特徴と
するａｃ形プラズマディスプレイを提供する。
【００１２】以下、本発明のａｃ形プラズマディスプレ
イについて、より詳細に説明する。本発明のａｃ形プラ
ズマディスプレイの特徴は、誘電体膜で覆われた対電極
及び／又は蛍光体のための保護層として、ＭｇＯ層と真
空紫外線領域の光を透過する物質の薄膜との複合層を用
いることにある。この場合、真空紫外線領域の光とは、
特に波長１４７ｎｍの光であり、かかる光を透過する物
質としては、ＭｇＦ2 を用いることが出来る。
イについて、より詳細に説明する。本発明のａｃ形プラ
ズマディスプレイの特徴は、誘電体膜で覆われた対電極
及び／又は蛍光体のための保護層として、ＭｇＯ層と真
空紫外線領域の光を透過する物質の薄膜との複合層を用
いることにある。この場合、真空紫外線領域の光とは、
特に波長１４７ｎｍの光であり、かかる光を透過する物
質としては、ＭｇＦ2 を用いることが出来る。
【００１３】ＭｇＯ層と真空紫外線領域の光を透過する
物質、例えばＭｇＦ2 層との複合層は、ＭｇＯ及びＭｇ
Ｆ2 の単結晶又は多結晶を、電子ビーム蒸着法、スパッ
タリング蒸着法、ＣＶＤ、真空蒸着法などの薄膜形成法
により成膜することにより形成することが出来る。この
場合、ＭｇＯ層とＭｇＦ2 層は、いずれを先に成膜して
もよい。
物質、例えばＭｇＦ2 層との複合層は、ＭｇＯ及びＭｇ
Ｆ2 の単結晶又は多結晶を、電子ビーム蒸着法、スパッ
タリング蒸着法、ＣＶＤ、真空蒸着法などの薄膜形成法
により成膜することにより形成することが出来る。この
場合、ＭｇＯ層とＭｇＦ2 層は、いずれを先に成膜して
もよい。
【００１４】ａｃ形プラズマディスプレイにおける保護
層は、一般に、絶縁層に対する希ガスイオンの衝撃から
の保護と、２次電子放出利得係数を高めるという２つの
役割を有している。従って、ＭｇＯ薄膜の厚さが薄い
と、真空紫外線が透過する割合が高くなり、蛍光体を強
く励起発光させる結果、輝度を高くすることが出来るも
のの、保護層としての作用の面からは、放電によるスパ
ッタリングによる損傷を防止することが困難となる。こ
れらを考慮すると複合層の膜厚は、以下のように設定さ
れる。
層は、一般に、絶縁層に対する希ガスイオンの衝撃から
の保護と、２次電子放出利得係数を高めるという２つの
役割を有している。従って、ＭｇＯ薄膜の厚さが薄い
と、真空紫外線が透過する割合が高くなり、蛍光体を強
く励起発光させる結果、輝度を高くすることが出来るも
のの、保護層としての作用の面からは、放電によるスパ
ッタリングによる損傷を防止することが困難となる。こ
れらを考慮すると複合層の膜厚は、以下のように設定さ
れる。
【００１５】まず、複合層全体の膜厚は、ＭｇＯ層及び
ＭｇＦ2 の個々の膜厚により変化するため、特に限定さ
れない。複合層のうち、ＭｇＯ層の膜厚は、上述のよう
に、好ましくは２００〜５００オングストロ−ム、より
好ましくは約４００オングストロ−ムである。ＭｇＯ層
の膜厚が２００オングストロ−ム未満では、放電による
スパッタリングによって誘電体及び／又は蛍光体が損傷
し易くなり、５００オングストロ−ムを越えると、輝度
の低下を招いてしまう。ＭｇＦ2 の厚さは、特に限定さ
れないが、薄過ぎると、放電による誘電体及び／又は蛍
光体が損傷を防止するため、ＭｇＯ層の膜厚を厚くしな
ければならず、その結果、輝度の低下を招いてしまう。
一方、厚過ぎると、放電維持電圧が変動してしまう。
ＭｇＦ2 の個々の膜厚により変化するため、特に限定さ
れない。複合層のうち、ＭｇＯ層の膜厚は、上述のよう
に、好ましくは２００〜５００オングストロ−ム、より
好ましくは約４００オングストロ−ムである。ＭｇＯ層
の膜厚が２００オングストロ−ム未満では、放電による
スパッタリングによって誘電体及び／又は蛍光体が損傷
し易くなり、５００オングストロ−ムを越えると、輝度
の低下を招いてしまう。ＭｇＦ2 の厚さは、特に限定さ
れないが、薄過ぎると、放電による誘電体及び／又は蛍
光体が損傷を防止するため、ＭｇＯ層の膜厚を厚くしな
ければならず、その結果、輝度の低下を招いてしまう。
一方、厚過ぎると、放電維持電圧が変動してしまう。
【００１６】本発明のａｃ形プラズマディスプレイによ
れば、誘電体及び／蛍光体を覆う保護層が、ＭｇＯとＭ
ｇＦ2 などの複合層で構成したことにより、放電開始電
圧や駆動電圧の低下が促進され、消費電力が大幅に低下
し、かつディスプレイ自体の厚さの薄膜化を実現するこ
とができる。
れば、誘電体及び／蛍光体を覆う保護層が、ＭｇＯとＭ
ｇＦ2 などの複合層で構成したことにより、放電開始電
圧や駆動電圧の低下が促進され、消費電力が大幅に低下
し、かつディスプレイ自体の厚さの薄膜化を実現するこ
とができる。
【００１７】これに加えて、複合層のＭｇＯ層の膜厚
を、好ましくは２００〜５００オングストロ−ム、より
好ましくは約４００オングストロ−ム程度とすること
で、上述の保護層の薄膜化や消費電力の低下をさらに促
進することが可能である。なお、ＭｇＦ2 層の膜厚は、
ＭｇＯ層と異なり、厚くなっても真空紫外線を吸収しな
いので、ガラス基板に塗布した蛍光体を完全に覆い、表
面がなめらかになる程度まで任意の厚さに形成すること
ができる。その結果、例えばその上に形成するＭｇＯ層
の膜厚が４００オングストローム程度でも、切れ目無く
蛍光体を被覆することが可能となり、放電電圧を低電圧
に保ち、放電によるスパッタリングによる損傷を長期間
に渡り最小限にすることで、プラズマディスプレイの長
寿命化を図ることが可能となる。
を、好ましくは２００〜５００オングストロ−ム、より
好ましくは約４００オングストロ−ム程度とすること
で、上述の保護層の薄膜化や消費電力の低下をさらに促
進することが可能である。なお、ＭｇＦ2 層の膜厚は、
ＭｇＯ層と異なり、厚くなっても真空紫外線を吸収しな
いので、ガラス基板に塗布した蛍光体を完全に覆い、表
面がなめらかになる程度まで任意の厚さに形成すること
ができる。その結果、例えばその上に形成するＭｇＯ層
の膜厚が４００オングストローム程度でも、切れ目無く
蛍光体を被覆することが可能となり、放電電圧を低電圧
に保ち、放電によるスパッタリングによる損傷を長期間
に渡り最小限にすることで、プラズマディスプレイの長
寿命化を図ることが可能となる。
【００１８】また、本発明のａｃ形プラズマディスプレ
イでは、ＭｇＦ2 層とＭｇＯ層の複合層からなる保護層
を、誘電体層の表面に真空蒸着法などを用いて形成する
ものであり、例えば真空蒸着法は、大画面に対し低コス
トで成膜が可能であることから、例えば大画面（たとえ
ば対角４０インチ程度）のカラーテレビのディスプレイ
を低コストで製造する上で極めて好適である。
イでは、ＭｇＦ2 層とＭｇＯ層の複合層からなる保護層
を、誘電体層の表面に真空蒸着法などを用いて形成する
ものであり、例えば真空蒸着法は、大画面に対し低コス
トで成膜が可能であることから、例えば大画面（たとえ
ば対角４０インチ程度）のカラーテレビのディスプレイ
を低コストで製造する上で極めて好適である。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例について説明する。図１は、カラーテレビのディ
スプレイ（パネル）に適用される、本発明の一実施例に
係る面放電方式のａｃ形プラズマディスプレイの概略構
造を示す断面図である。図１において、参照符号１，２
は、それぞれガス放電空間３を挟んで互いに平行に対向
配置された背面基板及び前面基板である。これら基板
１，２は、所定の厚さのガラスから構成されている。
実施例について説明する。図１は、カラーテレビのディ
スプレイ（パネル）に適用される、本発明の一実施例に
係る面放電方式のａｃ形プラズマディスプレイの概略構
造を示す断面図である。図１において、参照符号１，２
は、それぞれガス放電空間３を挟んで互いに平行に対向
配置された背面基板及び前面基板である。これら基板
１，２は、所定の厚さのガラスから構成されている。
【００２０】背面基板１の前面基板２に面する対向面に
は、Ｘ電極４ａおよびＹ電極４ｂからなる対電極４およ
びアドレス電極５が形成されている。アドレス電極５
は、前面基板２に形成される場合もある。これら対電極
４およびアドレス電極５は、ガラス製の誘電体層６で被
覆されており、更にこの誘電体層６の上には、ＭｇＦ2
層７1 とＭｇＯ層７2 の複合層からなる保護層７ａが設
けられている。
は、Ｘ電極４ａおよびＹ電極４ｂからなる対電極４およ
びアドレス電極５が形成されている。アドレス電極５
は、前面基板２に形成される場合もある。これら対電極
４およびアドレス電極５は、ガラス製の誘電体層６で被
覆されており、更にこの誘電体層６の上には、ＭｇＦ2
層７1 とＭｇＯ層７2 の複合層からなる保護層７ａが設
けられている。
【００２１】一方の前面基板２の背面基板１に面する対
向面には、蛍光体８が形成されている。この蛍光体８
は、ＭｇＦ2 層７1 とＭｇＯ層７2 の複合層からなる保
護層７ｂで被覆されている。
向面には、蛍光体８が形成されている。この蛍光体８
は、ＭｇＦ2 層７1 とＭｇＯ層７2 の複合層からなる保
護層７ｂで被覆されている。
【００２２】図２は、カラーテレビのディスプレイ（パ
ネル）に適用される、本発明の他の実施例に係る対向電
極方式のａｃ形プラズマディスプレイの構造を概略的に
示す断面図である。このプラズマディスプレイは、ガス
放電空間３を挟んで対向配置されたガラス製の背面基板
１と前面基板２とにより構成される。各基板１，２の互
いの対向面には、それぞれガラス製の誘電体層６ａ，６
ｂで覆われたＸ電極４ａおよびＹ電極４ｂが形成されて
いるとともに、各誘電体層６ａ，６ｂの表面には蛍光体
８ａ，８ｂが形成されている。
ネル）に適用される、本発明の他の実施例に係る対向電
極方式のａｃ形プラズマディスプレイの構造を概略的に
示す断面図である。このプラズマディスプレイは、ガス
放電空間３を挟んで対向配置されたガラス製の背面基板
１と前面基板２とにより構成される。各基板１，２の互
いの対向面には、それぞれガラス製の誘電体層６ａ，６
ｂで覆われたＸ電極４ａおよびＹ電極４ｂが形成されて
いるとともに、各誘電体層６ａ，６ｂの表面には蛍光体
８ａ，８ｂが形成されている。
【００２３】これら蛍光体８ａ、８ｂ上には、ＭｇＦ2
層７1 とＭｇＯ層７2 の複合層からなる保護層７ａ，７
ｂが被覆されている。なお、この場合、上下いずれにも
蛍光体８ａ，８ｂが形成されているが、場合によっては
図１に示す構造のように、蛍光体は上下いずれか一方に
のみ形成してもよい。
層７1 とＭｇＯ層７2 の複合層からなる保護層７ａ，７
ｂが被覆されている。なお、この場合、上下いずれにも
蛍光体８ａ，８ｂが形成されているが、場合によっては
図１に示す構造のように、蛍光体は上下いずれか一方に
のみ形成してもよい。
【００２４】以上説明した各ａｃ形プラズマディスプレ
イにおける保護層７ａ，７ｂは、以下のようにして形成
することが出来る。ＭｇＦ2 層とＭｇＯ層７2 の複合層
は、電子ビーム蒸着法、スパッタリング蒸着法、ＣＶＤ
などの薄膜形成法により形成される。即ち、まず誘電体
層６又は蛍光体の表面にこれら薄膜形成法によりＭｇＦ
2 層７1 を所定の厚さに形成した後、ＭｇＯ層７2 を４
００オングストローム程度の厚さに形成する。次いで、
水分を最終的に水蒸気として気化させ、更に処理として
所定の加熱温度でベーキングを施すことにより、複合層
を得ることが出来る。
イにおける保護層７ａ，７ｂは、以下のようにして形成
することが出来る。ＭｇＦ2 層とＭｇＯ層７2 の複合層
は、電子ビーム蒸着法、スパッタリング蒸着法、ＣＶＤ
などの薄膜形成法により形成される。即ち、まず誘電体
層６又は蛍光体の表面にこれら薄膜形成法によりＭｇＦ
2 層７1 を所定の厚さに形成した後、ＭｇＯ層７2 を４
００オングストローム程度の厚さに形成する。次いで、
水分を最終的に水蒸気として気化させ、更に処理として
所定の加熱温度でベーキングを施すことにより、複合層
を得ることが出来る。
【００２５】上記実施例のごとく形成したＭｇＯとＭｇ
Ｆ2 などの複合層の保護層７ａ，７ｂは、真空蒸着法な
どにより大面積に均一に薄膜で形成することが可能であ
る。このように保護層７の層厚を薄くできることは、駆
動電圧の低下を促進するので、コスト低下を実現するこ
とが出来る。
Ｆ2 などの複合層の保護層７ａ，７ｂは、真空蒸着法な
どにより大面積に均一に薄膜で形成することが可能であ
る。このように保護層７の層厚を薄くできることは、駆
動電圧の低下を促進するので、コスト低下を実現するこ
とが出来る。
【００２６】実験例 図３は、上記実施例に示した方法によって形成したＭｇ
Ｏ層とＭｇＦ2 層からなる複合層を用いた面放電型ａｃ
形プラズマディスプレイの輝度を、ＭｇＯ層単独からな
る保護層で作製した面放電型ａｃ形プラズマディスプレ
イの輝度と比較して示す特性図である。また、図４は、
同様に、発光効率を比較して示す特性図である。なお、
プラズマディスプレイの操作条件は、放電雰囲気がＨｅ
とＸｅ（１％）の混合ガスであり、圧力５００Ｔｏｒ
ｒ、周波数３０ｋＨｚである。
Ｏ層とＭｇＦ2 層からなる複合層を用いた面放電型ａｃ
形プラズマディスプレイの輝度を、ＭｇＯ層単独からな
る保護層で作製した面放電型ａｃ形プラズマディスプレ
イの輝度と比較して示す特性図である。また、図４は、
同様に、発光効率を比較して示す特性図である。なお、
プラズマディスプレイの操作条件は、放電雰囲気がＨｅ
とＸｅ（１％）の混合ガスであり、圧力５００Ｔｏｒ
ｒ、周波数３０ｋＨｚである。
【００２７】図３及び図４から、保護層としてＭｇＯ層
とＭｇＦ2 層からなる複合層を用いた場合のほうが、Ｍ
ｇＯ層単独からなる保護層を用いた場合よりも、優れた
輝度及び発光効率を示すことがわかる。
とＭｇＦ2 層からなる複合層を用いた場合のほうが、Ｍ
ｇＯ層単独からなる保護層を用いた場合よりも、優れた
輝度及び発光効率を示すことがわかる。
【００２８】次に、図５は、保護層として複合層（Ｍｇ
Ｏ層の厚さ：２００オングストローム及び４００オング
ストローム）を用いた実施例に係る面放電型ａｃ形プラ
ズマディスプレイと、ＭｇＯ層（厚さ：５０００オング
ストローム）のみからなる保護層を用いた比較例に係る
面放電型ａｃ形プラズマディスプレイの、経時変化にと
もなう放電開始電圧Ｖf と維持電圧Ｖsmの変化を比較し
て示す特性図である。図５から、保護層としてＭｇＯ層
のみを用いた比較例と保護層として複合層を用いた実施
例とは、ほとんど同様の特性を示しており、差がないこ
とが分かる。
Ｏ層の厚さ：２００オングストローム及び４００オング
ストローム）を用いた実施例に係る面放電型ａｃ形プラ
ズマディスプレイと、ＭｇＯ層（厚さ：５０００オング
ストローム）のみからなる保護層を用いた比較例に係る
面放電型ａｃ形プラズマディスプレイの、経時変化にと
もなう放電開始電圧Ｖf と維持電圧Ｖsmの変化を比較し
て示す特性図である。図５から、保護層としてＭｇＯ層
のみを用いた比較例と保護層として複合層を用いた実施
例とは、ほとんど同様の特性を示しており、差がないこ
とが分かる。
【００２９】図６は、複合層を構成するＭｇＦ2 層の膜
厚を５０００オングストロームとし、ＭｇＯ層の膜厚を
変化させた場合の維持電圧と輝度の関係を示す特性図で
ある。図６から、ＭｇＯ層の膜厚は少ないほうが、輝度
を向上させることが出来ることがわかる。
厚を５０００オングストロームとし、ＭｇＯ層の膜厚を
変化させた場合の維持電圧と輝度の関係を示す特性図で
ある。図６から、ＭｇＯ層の膜厚は少ないほうが、輝度
を向上させることが出来ることがわかる。
【００３０】なお、以上の実施例では、ＭｇＦ2 層とＭ
ｇＯ層は積層状の複合層としたが、ＭｇＦ2 およびＭｇ
Ｏを前記薄膜形成法にて混合した複合層としても、本発
明の効果と同様の効果が得られる。
ｇＯ層は積層状の複合層としたが、ＭｇＦ2 およびＭｇ
Ｏを前記薄膜形成法にて混合した複合層としても、本発
明の効果と同様の効果が得られる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のａｃ形プ
ラズマディスプレイによれば、誘電体層及び／又は蛍光
体を覆う保護層を、ＭｇＯ層とＭｇＦ2 層等などの複合
層で構成しているので、輝度及び発光効率を向上させる
とともに、併せて、誘電体層及び／又は蛍光体の損傷を
防止することが出来、その結果、高輝度・高発光効率を
有するとともに長寿命のプラズマディスプレイを得るこ
とが可能である。
ラズマディスプレイによれば、誘電体層及び／又は蛍光
体を覆う保護層を、ＭｇＯ層とＭｇＦ2 層等などの複合
層で構成しているので、輝度及び発光効率を向上させる
とともに、併せて、誘電体層及び／又は蛍光体の損傷を
防止することが出来、その結果、高輝度・高発光効率を
有するとともに長寿命のプラズマディスプレイを得るこ
とが可能である。
【図１】本発明の一実施例に係る面放電形方式のａｃ形
プラズマディスプレイの概略を示す断面図。
プラズマディスプレイの概略を示す断面図。
【図２】本発明の他の実施例に係る対向電極方式のａｃ
形プラズマディスプレイの概略を示す断面図。
形プラズマディスプレイの概略を示す断面図。
【図３】面放電型ａｃ形プラズマディスプレイの輝度を
実施例と比較例とで比較して示す特性図。
実施例と比較例とで比較して示す特性図。
【図４】面放電型ａｃ形プラズマディスプレイの発光効
率を実施例と比較例とで比較して示す特性図。
率を実施例と比較例とで比較して示す特性図。
【図５】経時変化にともなう放電開始電圧Ｖf 及び維持
電圧Ｖsmの変化を実施例と比較例とで比較して示す特性
図。
電圧Ｖsmの変化を実施例と比較例とで比較して示す特性
図。
【図６】ＭｇＯ層の膜厚を変化させた場合の維持電圧と
輝度の関係を示す特性図。
輝度の関係を示す特性図。
１…背面基板 ２…前面基板 ３…放電空間 ４…対電極 ５…アドレス電極 ６，６ａ，６ｂ…誘電体層 ７，７ａ，７ｂ…保護層 ７1 …ＭｇＦ2 層 ７2 …ＭｇＯ層 ８，８ａ，８ｂ…蛍光体。
Claims (5)
- 【請求項１】 ガス放電空間を挟んで対向配置された背
面基板と、前面基板とを具備し、前記背面基板及び前面
基板の少なくとも一方には、誘電体膜で覆われた対電極
及び蛍光体が形成され、前記対電極を覆う誘電体膜及び
蛍光体の少なくとも一方の上にはＭｇＯ層と真空紫外線
領域の光を透過する物質の薄膜との複合層からなる保護
層が形成されていることを特徴とするａｃ形プラズマデ
ィスプレイ。 - 【請求項２】 前記真空紫外線領域の光を透過する物質
は、ＭｇＦ2 であることを特徴とする請求項１に記載の
ａｃ形プラズマディスプレイ。 - 【請求項３】 ガス放電空間を挟んで対向配置された背
面基板と、前面基板とを具備し、前記背面基板及び前面
基板の少なくとも一方には、誘電体膜で覆われた対電極
が形成され、前記誘電体膜上にはＭｇＯ層とＭｇＦ2 層
との複合層からなる保護層が形成されていることを特徴
とするａｃ形プラズマディスプレイ。 - 【請求項４】 前記ＭｇＯ層の厚さは、２００〜５００
オングストロ−ムであることを特徴とする請求項１〜３
のうちの１項に記載のａｃ形プラズマディスプレイ。 - 【請求項５】 前記ＭｇＯ層の厚さは、約４００オング
ストロ−ムであることを特徴とする請求項４に記載のａ
ｃ形プラズマディスプレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8051982A JPH09245654A (ja) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | ａｃ形プラズマディスプレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8051982A JPH09245654A (ja) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | ａｃ形プラズマディスプレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09245654A true JPH09245654A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=12902074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8051982A Pending JPH09245654A (ja) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | ａｃ形プラズマディスプレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09245654A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6304032B1 (en) | 1998-06-24 | 2001-10-16 | Nec Corporation | Plasma display panel and method of producing the same |
| JP2002056779A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-22 | Pioneer Electronic Corp | プラズマディスプレイパネル |
| JP2002231129A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
| WO2005098889A1 (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ガス放電表示パネル |
| JP2006173018A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Pioneer Electronic Corp | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
| KR100899311B1 (ko) * | 1998-12-10 | 2009-05-27 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | Ｆｐｄ 용 보호막 및 그 제조방법 그리고 이것을 사용한 ｆｐｄ |
-
1996
- 1996-03-08 JP JP8051982A patent/JPH09245654A/ja active Pending
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| US7812534B2 (en) | 2004-04-08 | 2010-10-12 | Panasonic Corporation | Gas discharge display panel |
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| JP4541868B2 (ja) * | 2004-12-17 | 2010-09-08 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040726 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040803 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041130 |