JPH08146353A - Laser light diffraction microscope method and microscope device therefor - Google Patents
Laser light diffraction microscope method and microscope device thereforInfo
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- JPH08146353A JPH08146353A JP30678894A JP30678894A JPH08146353A JP H08146353 A JPH08146353 A JP H08146353A JP 30678894 A JP30678894 A JP 30678894A JP 30678894 A JP30678894 A JP 30678894A JP H08146353 A JPH08146353 A JP H08146353A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、サンプルの拡大像を
形成する顕微鏡に係わり、更に詳細にはレーザー光を用
いて電子顕微鏡と同様の原理でサンプルの拡大像を形成
するレーザー光回折顕微鏡方法およびその装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microscope for forming a magnified image of a sample, and more particularly to a laser light diffraction microscope method for forming a magnified image of a sample by using a laser beam on the same principle as that of an electron microscope. And its equipment.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、サンプルの拡大像を形成する装置
として白色光源を用いた光学顕微鏡が利用されている。
これは、入射白色光のサンプルによる透過光または反射
光を対物レンズと接眼レンズに導入し、サンプルの拡大
像を形成するものである。しかし白色光は多数の波長の
光を含んでいること、ビーム状に絞ることができないこ
と、干渉性が少ないこと、レンズ視野全部の拡大が行な
われ、しかも拡大に連れて視野が急激に暗くなること等
の理由により利用範囲に限界がある。2. Description of the Related Art Conventionally, an optical microscope using a white light source has been used as an apparatus for forming a magnified image of a sample.
In this method, transmitted light or reflected light of an incident white light sample is introduced into an objective lens and an eyepiece lens to form a magnified image of the sample. However, white light contains many wavelengths of light, cannot be focused into a beam, has low coherence, and the entire field of view of the lens is expanded. There are limits to the range of use due to such reasons.
【0003】電子線の波動性が発見されて以来、光学顕
微鏡では見えなかったミクロの物質構造を観察するた
め、電子回折装置や電子顕微鏡装置が開発されてきた。
図9は電子回折装置の説明図で、電子銃50からサンプ
ル52に入射電子ビーム54を照射し、サンプル52に
より回折された回折電子ビーム56がスクリーン58上
に回折像60を結像した状態を示している。この回折像
60はサンプル52の物質構造のフ−リエ変換であるか
ら、回折像60の濃度を計算機により逆フ−リエ変換し
てサンプル52の物質構造が解析される。Since the discovery of the wave nature of electron beams, electron diffractometers and electron microscope devices have been developed in order to observe microscopic material structures that could not be seen with optical microscopes.
FIG. 9 is an explanatory diagram of the electron diffractometer, showing a state in which the incident electron beam 54 is irradiated from the electron gun 50 to the sample 52 and the diffracted electron beam 56 diffracted by the sample 52 forms a diffraction image 60 on the screen 58. Shows. Since this diffraction image 60 is a Fourier transform of the material structure of the sample 52, the density of the diffraction image 60 is inversely Fourier transformed by a computer to analyze the material structure of the sample 52.
【0004】図10は透過型電子顕微鏡装置の説明図
で、図9で説明した回折電子ビ−ム56を電子レンズ6
2により集束して集束電子ビーム64を形成し、この電
子レンズ62の後焦点面66に回折像60が結像され
る。更に後方のスクリーン58上にはサンプル52の拡
大された実像68が結像される。電子レンズ62は自動
的に回折像60を逆フーリエ変換してサンプル52の物
質構造を再現するもので、透過型電子顕微鏡ではサンプ
ル52の物質構造が直ちにスクリーン58上に結像され
る。FIG. 10 is an explanatory view of a transmission electron microscope apparatus. The diffracted electron beam 56 described in FIG.
A focused electron beam 64 is formed by focusing by 2 and a diffraction image 60 is formed on the back focal plane 66 of the electron lens 62. A magnified real image 68 of the sample 52 is formed on the screen 58 further behind. The electron lens 62 automatically reproduces the material structure of the sample 52 by performing an inverse Fourier transform on the diffraction image 60. In the transmission electron microscope, the material structure of the sample 52 is immediately imaged on the screen 58.
【0005】一方、光分野ではレーザーが開発され、電
子ビームと同じように、可干渉性で単色性に優れたビー
ム状のレーザー光が利用できるようになった。レーザー
光はその特性により各種の分野に利用されているが、特
に教育分野では回折像の結像に活用されている。図11
はレーザー光回折装置の説明図である。レーザー光源2
からの入射レーザー光4をサンプル6に照射して回折レ
ーザー光8を形成し、前方のスクリーン10に回折像1
2を結像させる。サンプル6が回折格子の場合にはそれ
に対応した回折像が結像でき、教育実験では格子間隔や
レーザー光の波長を求めることが行なわれている。On the other hand, lasers have been developed in the optical field and, like electron beams, laser beams in the form of beams, which are coherent and have excellent monochromaticity, have become available. Laser light is used in various fields due to its characteristics, but is particularly used in the field of education to form a diffraction image. Figure 11
FIG. 3 is an explanatory diagram of a laser light diffraction device. Laser light source 2
The sample 6 is irradiated with the incident laser beam 4 from the above to form the diffracted laser beam 8, and the diffracted image 1 is formed on the front screen 10.
Image 2 When the sample 6 is a diffraction grating, a diffraction image corresponding to it can be formed, and in an educational experiment, the grating interval and the wavelength of laser light are obtained.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】単色の電子ビームを利
用して電子回折装置から透過型電子顕微鏡が開発されて
きたのに対し、単色のレーザービームを利用したレーザ
ー光回折装置は開発されていたが、レーザー光を利用し
た回折顕微鏡は開発されていなかった。このことはレー
ザー光を利用する場合における盲点であった。白色光を
利用した光学顕微鏡が既に存在していることが、レーザ
ー光を利用する着想を阻害していたものと思われる。While a transmission electron microscope has been developed from an electron diffraction apparatus using a monochromatic electron beam, a laser light diffraction apparatus utilizing a monochromatic laser beam has been developed. However, a diffraction microscope using laser light has not been developed. This was a blind spot when using laser light. The existence of optical microscopes that use white light is thought to have hindered the idea of using laser light.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明はレーザー光回
折顕微鏡方法に係わり、レーザー光源からの入射レーザ
ー光をサンプルに照射し、この入射レーザー光をサンプ
ルに透過させて回折レーザー光を形成し、この回折レー
ザー光をレンズ系により集光して集束レーザー光を形成
し、この集束レーザー光によりサンプルの実像を拡大し
て形成する点に特徴を有している。更に、この発明はレ
ーザー光回折顕微鏡装置に係わり、レ−ザ−光源と、こ
のレ−ザ−光源からの入射レ−ザ−光を照射するサンプ
ルと、このサンプルにより透過回折された回折レ−ザ−
光を集束するレンズ系から構成されている点に特徴を有
している。The present invention relates to a laser light diffraction microscope method, which irradiates a sample with incident laser light from a laser light source and transmits the incident laser light to the sample to form a diffracted laser light, This diffracted laser beam is focused by a lens system to form a focused laser beam, and the focused laser beam is used to enlarge and form a real image of a sample. Further, the present invention relates to a laser light diffraction microscope apparatus, which includes a laser light source, a sample for irradiating an incident laser beam from the laser light source, and a diffraction laser transmitted and diffracted by the sample. The-
It is characterized in that it is composed of a lens system that focuses light.
【0008】[0008]
【作用】この発明は以上のように構成されているから、
レンズ系を取り外せば、回折レーザー光によりサンプル
の回折像がスクリーン上に結像できる。また、レンズ系
により回折レーザー光を集束すれば、この集束レーザー
光によりスクリーン上にサンプルの拡大された実像が結
像できる。構成は透過型電子顕微鏡と同じで、レーザー
光を用いているため電子レンズがレンズ系に置き換えら
れる。サンプルの物質構造はフーリエ変換されて回折像
となり、更にレンズ系により逆フーリエ変換されてスク
リーン上にサンプル構造の実像が拡大して結像できる。
次に、光学顕微鏡と比較する。光学顕微鏡は白色光を用
いているために干渉性が弱く、仮に白色光のビームが形
成できたとしても、サンプルの回折像を形成することは
困難である。それに対し、本発明は回折像と実像の完全
な対応関係で成立している。また白色光はビーム状に形
成できないから、サンプルの全面に照射された白色光を
レンズ系に導入することになる。一方、レーザー光はビ
ーム状であるから、サンプルの局所をポイント的に照射
して回折させることができる。また、レーザーは単色光
であるから、レーザー光の波長毎に特定の色がつき、H
e−Neレーザーなら赤色になる。従って、回折像も実
像もその色に着色している点で美しく、教育機器として
用いられる場合には極めて効果的である。Since the present invention is constructed as described above,
If the lens system is removed, the diffraction image of the sample can be formed on the screen by the diffracted laser light. If the diffracted laser light is focused by the lens system, a magnified real image of the sample can be formed on the screen by the focused laser light. The configuration is the same as that of the transmission electron microscope, and since the laser light is used, the electron lens is replaced with a lens system. The material structure of the sample is Fourier-transformed into a diffraction image, which is further inverse-Fourier-transformed by a lens system so that a real image of the sample structure can be enlarged and formed on the screen.
Next, it compares with an optical microscope. Since the optical microscope uses white light, the coherence is weak, and even if a beam of white light can be formed, it is difficult to form a diffraction image of the sample. On the other hand, the present invention is realized by the perfect correspondence between the diffraction image and the real image. In addition, since white light cannot be formed into a beam, white light with which the entire surface of the sample is irradiated is introduced into the lens system. On the other hand, since the laser light is in the form of a beam, it is possible to irradiate the local area of the sample point by point to diffract it. Further, since the laser is a monochromatic light, a specific color is added for each wavelength of the laser light, and H
The e-Ne laser produces a red color. Therefore, both the diffraction image and the real image are beautiful in that they are colored in that color, which is extremely effective when used as an educational device.
【0009】[0009]
【実施例】図1は本発明に係るレーザー光回折顕微鏡装
置の第1実施例の構成図で、レーザー光源2からの入射
レーザー光4をサンプル6に照射する。入射レーザー光
4はサンプル6により回折されて回折レーザー光8にな
りレンズ系14に導入される。本実施例では、レンズ系
14は単一の凸レンズから構成されており、このレンズ
系14により前記回折レーザー光8は集束されて集束レ
ーザー光16になり、レンズ系14の後焦点面18にサ
ンプル6による回折像20を形成した後、後方のスクリ
ーン10上にサンプル6の拡大された実像22を結像す
る。サンプル6の物質構造がフーリエ変換されて回折像
になり、レンズ系14によりこの回折像が逆フーリエ変
換されてサンプル6の物質構造に戻り、この拡大実像が
スクリーン10に結像されると考えてもよい。サンプル
6としてはレーザー光を透過させるものならば何でもよ
く、回折格子、生物の薄膜標本でもよい。レンズ系14
は回折レーザー8を集束できるなら、数枚のレンズを組
み合わせた複合レンズでもよい。実像22の輝度は倍
率、即ち入射レーザー光がどれだけ拡散されたかに依存
する。レンズ系14の焦点距離を種々に設定することに
より倍率を調整でき、また実像のレーザー光の輝度を見
易いレベルに調整することができる。レーザー光源2と
しては、He−Neのようなガスレーザー、半導体レー
ザー等が利用できる。1 is a block diagram of a first embodiment of a laser light diffraction microscope apparatus according to the present invention, in which a sample 6 is irradiated with an incident laser light 4 from a laser light source 2. The incident laser beam 4 is diffracted by the sample 6 to become the diffracted laser beam 8 which is introduced into the lens system 14. In this embodiment, the lens system 14 is composed of a single convex lens, and the diffracted laser beam 8 is focused by the lens system 14 into a focused laser beam 16, which is sampled on the back focal plane 18 of the lens system 14. After forming the diffraction image 20 by 6, the magnified real image 22 of the sample 6 is formed on the rear screen 10. Considering that the material structure of the sample 6 is Fourier-transformed into a diffraction image, the diffraction image is inverse-Fourier-transformed by the lens system 14 to return to the material structure of the sample 6, and this enlarged real image is formed on the screen 10. Good. The sample 6 may be anything as long as it transmits laser light, and may be a diffraction grating or a biological thin film sample. Lens system 14
May be a compound lens in which several lenses are combined as long as the diffractive laser 8 can be focused. The brightness of the real image 22 depends on the magnification, that is, how much the incident laser light is diffused. The magnification can be adjusted by setting the focal length of the lens system 14 variously, and the brightness of the laser light of the real image can be adjusted to a level at which it is easy to see. As the laser light source 2, a gas laser such as He-Ne, a semiconductor laser or the like can be used.
【0010】図2は第2実施例の構成図であり、レンズ
系14を第1レンズ系14aと第2レンズ系14bの2
段レンズにしたものである。各段のレンズは単一の凸レ
ンズで構成しているが、前述したように複合レンズでも
構わない。2段レンズにすることによって倍率を格段に
大きくすることができる。作用を説明すると、第1レン
ズ系14aによる第1集束レーザー光16aが後焦点面
18に第1回折像20aを形成し、更に第2レンズ系1
4bによる第2集束レーザー光16bがその後方近傍に
第2回折像20bを形成する。そして、その後方のスク
リーン10上に大きく拡大された実像22が結像され
る。レンズ系14は3段レンズにすることによって更に
倍率の増大を図ることができ、レーザー光の波長による
光学的分解能の限界まで倍率の増大を図ることができ
る。実像22を明瞭に結像するには、まず第2レンズ系
14bを外して、第1レンズ系14aだけを前後してス
クリーン10上に明瞭な回折像を得る。次に、第2レン
ズ系14bを適当な前方にセットすると回折像が乱れ
る。この乱れを修正するため、第1レンズ系14aを適
正位置まで前後して明瞭な回折像を得るようにする。FIG. 2 is a block diagram of the second embodiment. The lens system 14 is composed of a first lens system 14a and a second lens system 14b.
It is a stepped lens. Although each stage lens is composed of a single convex lens, it may be a compound lens as described above. By using a two-stage lens, the magnification can be significantly increased. The operation will be described. The first focused laser beam 16a by the first lens system 14a forms a first diffraction image 20a on the back focal plane 18, and the second lens system 1
The second focused laser beam 16b from 4b forms a second diffraction image 20b in the vicinity of the rear of the second focused laser beam 16b. Then, a greatly magnified real image 22 is formed on the screen 10 behind it. If the lens system 14 is a three-stage lens, the magnification can be further increased, and the magnification can be increased to the limit of the optical resolution due to the wavelength of the laser light. In order to clearly form the real image 22, first, the second lens system 14b is removed, and only the first lens system 14a is moved back and forth to obtain a clear diffraction image on the screen 10. Next, when the second lens system 14b is set to an appropriate front, the diffraction image is disturbed. In order to correct this disturbance, the first lens system 14a is moved back and forth to the proper position to obtain a clear diffraction image.
【0011】図3は2次元、即ち平面六方格子の原図で
ある。この原図を白黒フィルムに縮小して撮影し、その
フィルムを六方回折格子とする。この六方回折格子をサ
ンプル6にして第1図に従いレーザー光を照射すると、
回折像20として図4に示す六回対称を有する回折像が
出現する。この回折像はレンズ系14により逆フーリエ
変換され、スクリーン上には図5に示す六方格子の拡大
実像22が結像される。換言すれば、図3の平面六方格
子の一部がレーザービームによってくり抜かれて、その
拡大断面が出現するのである。FIG. 3 is an original drawing of a two-dimensional, ie, plane hexagonal lattice. This original image is reduced to black and white film and photographed, and the film is used as a hexagonal diffraction grating. When this hexagonal diffraction grating is used as sample 6 and laser light is irradiated according to FIG. 1,
The diffraction image having the six-fold symmetry shown in FIG. 4 appears as the diffraction image 20. This diffracted image is subjected to inverse Fourier transform by the lens system 14, and an enlarged real image 22 of hexagonal lattice shown in FIG. 5 is formed on the screen. In other words, a part of the planar hexagonal lattice of FIG. 3 is hollowed out by the laser beam, and its enlarged cross section appears.
【0012】上記と全く同様に、平面多結晶格子の場合
を説明する。図6は平面多結晶格子の原図である。この
原図を白黒フィルムに縮小して撮影し、そのフィルムを
多結晶回折格子とする。この多結晶回折格子をサンプル
6にして第1図に従いレーザー光を照射すると、回折像
20として図7に示すデバイシェラーリングが出現す
る。この回折像はレンズ系14により逆フーリエ変換さ
れ、スクリーン上には図8に示す多結晶格子の拡大実像
22が結像されことになる。サンプル6として回折格子
でなく、植物や動物の薄片であってもよく、レーザー光
が透過回折するものならなんでもよい。Explaining exactly the same as above, the case of a planar polycrystalline lattice will be described. FIG. 6 is an original drawing of a planar polycrystalline lattice. This original image is reduced to a black and white film and photographed, and the film is used as a polycrystalline diffraction grating. When this polycrystalline diffraction grating is used as sample 6 and irradiated with laser light according to FIG. 1, a Debye-Scherrer ring shown in FIG. 7 appears as a diffraction image 20. This diffracted image is subjected to inverse Fourier transform by the lens system 14, and an enlarged real image 22 of the polycrystalline lattice shown in FIG. 8 is formed on the screen. The sample 6 may be a thin slice of a plant or an animal instead of a diffraction grating, and may be anything as long as it transmits and diffracts laser light.
【0013】前記実施例を基本形として、これらを的確
に運用するために次のようにすることもできる。レーザ
ー光源2とサンプル6とレンズ系14を光学台上に乗せ
て、一直線的に移動可能にすれば、レーザー光がレンズ
系14からはずれることが無く簡単かつ明瞭に実像22
を結像できる。通常のレーザー光源2はビーム断面が直
径1ミリ程度であり、サンプル6の所望の部位を拡大す
るためにはサンプルを上下左右に移動する必要がある。
入射レーザ光4のビーム断面積を平行状に拡大しておけ
ば移動の必要は無い。このために組み合わせレンズから
なるビーム断面可変器をサンプル6の直前に設置するこ
ともできるWith the above-mentioned embodiment as a basic form, it is possible to perform the following in order to operate them properly. If the laser light source 2, the sample 6, and the lens system 14 are placed on an optical table so that they can be moved in a straight line, the laser light will not come off from the lens system 14 and the real image 22
Can be imaged. An ordinary laser light source 2 has a beam cross section with a diameter of about 1 mm, and it is necessary to move the sample vertically and horizontally to enlarge a desired portion of the sample 6.
If the beam cross-sectional area of the incident laser light 4 is expanded in parallel, it is not necessary to move. For this reason, a beam cross-section variable device consisting of a combination lens can be installed immediately in front of the sample 6.
【0014】この発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、この発明の技術的思想を逸脱しない範囲におけ
る種々の変形例、設計変更等をその技術的範囲内に包含
するものである。The present invention is not limited to the above embodiments, but includes various modifications, design changes and the like within the technical scope thereof within the scope of the technical idea of the present invention.
【0015】[0015]
【発明の効果】この発明は上記のように構成されている
から、次のような効果を奏する。レーザー光を用いて電
子顕微鏡と全く同じ方法でサンプルの拡大実像を得るこ
とができるという点で、新規かつ斬新な顕微鏡方法およ
び装置を提供できる。特に教育用機器として利用される
場合には、電子顕微鏡の原理に関する指導を真空装置等
の煩雑な事を考えずに行なうことができる。レーザー光
がビーム状であるから、サンプルの局所部位だけの光学
的な拡大実像が結像でき、しかも高ビーム強度のレーザ
ー光源を使用すれば拡大による実像の輝度の低下を防止
できる。レーザー光は極めて干渉性が高く、サンプルを
透過させるだけでその回折像が結像でき、しかもレンズ
系を通せば実像を結像できる。回折像と実像を交互に観
察できる点では電子顕微鏡と一致しており、光学顕微鏡
にない特徴である。また光学台を使用すれば結像操作を
比較的簡単に行なうことができ、ビーム断面可変器を用
いれば入射レーザー光のビーム断面積を拡大縮小できる
から、サンプルの投影部分の拡大縮小を自由に行なうこ
とができる。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. A novel and novel microscope method and apparatus can be provided in that a magnified real image of a sample can be obtained by using laser light in exactly the same manner as in an electron microscope. Especially when it is used as an educational device, it is possible to give guidance on the principle of the electron microscope without considering complicated matters such as a vacuum device. Since the laser light is in the form of a beam, it is possible to form an optically magnified real image of only a local portion of the sample, and use of a laser light source having a high beam intensity can prevent reduction in the brightness of the real image due to magnification. Laser light has a very high coherence, and a diffraction image can be formed only by transmitting a sample, and a real image can be formed by passing through a lens system. This is a feature that the optical microscope does not have, because it matches the electron microscope in that the diffraction image and the real image can be observed alternately. In addition, the use of an optical bench allows the imaging operation to be performed relatively easily, and the use of a beam cross-section variable device allows the beam cross-sectional area of the incident laser light to be enlarged or reduced. Can be done.
【0016】[0016]
【図1】この発明の第1実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment of the present invention.
【図2】この発明の第2実施例の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a second embodiment of the present invention.
【図3】平面六方格子の原図である。FIG. 3 is an original drawing of a plane hexagonal lattice.
【図4】六回対称を有する図3の回折像である。4 is a diffraction image of FIG. 3 having six-fold symmetry.
【図5】図4をレンズ系で逆フーリエ変換した図3の拡
大実像である。5 is an enlarged real image of FIG. 3 obtained by inverse Fourier transforming FIG. 4 with a lens system.
【図6】平面多結晶格子の原図である。FIG. 6 is an original drawing of a planar polycrystalline lattice.
【図7】デバイシェラーリングを示す図6の回折像であ
る。7 is a diffraction image of FIG. 6 showing a Debye-Scherrer ring.
【図8】図7をレンズ系で逆フーリエ変換した図6の拡
大実像である。8 is an enlarged real image of FIG. 6 obtained by inverse Fourier transforming FIG. 7 with a lens system.
【図9】電子回折装置の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of an electron diffraction device.
【図10】透過型電子顕微鏡の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a transmission electron microscope.
【図11】レーザー光回折装置の説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of a laser beam diffractometer.
2 レーザー光源 4 入射レーザー光 6 サンプル 8 回折レーザー光 10 スクリーン 12 回折像 14 レンズ系 14a 第1レンズ系 14b 第2レンズ系 16 集束レーザー光 16a 第1集束レーザー光 16b 第2集束レーザー光 18 後焦点面 20 回折像 20a 第1回折像 20b 第2回折像 22 実像 50 電子銃 52 サンプル 54 入射電子ビーム 56 回折電子ビーム 58 スクリーン 60 回折像 62 電子レンズ 64 集束電子ビーム 66 後焦点面 68 実像 2 laser light source 4 incident laser light 6 sample 8 diffracted laser light 10 screen 12 diffracted image 14 lens system 14a first lens system 14b second lens system 16 focused laser light 16a first focused laser light 16b second focused laser light 18 back focus Surface 20 Diffraction image 20a First diffraction image 20b Second diffraction image 22 Real image 50 Electron gun 52 Sample 54 Incident electron beam 56 Diffraction electron beam 58 Screen 60 Diffraction image 62 Electron lens 64 Focused electron beam 66 Back focal plane 68 Real image
Claims (6)
ンプルに照射し、この入射レーザー光をサンプルに透過
させて回折レーザー光を形成し、この回折レーザー光に
よりサンプルの回折像を形成し、前記回折レーザー光を
レンズ系により集束して集束レーザー光を形成し、この
集束レーザー光によりサンプルの実像を拡大して結像す
るレーザー光回折顕微鏡方法。1. A sample is irradiated with an incident laser beam from a laser light source, the incident laser beam is transmitted through the sample to form a diffracted laser beam, and a diffracted image of the sample is formed by the diffracted laser beam. A laser light diffraction microscope method in which a laser beam is focused by a lens system to form a focused laser beam, and a real image of a sample is enlarged and imaged by the focused laser beam.
の入射レ−ザ−光を照射するサンプルと、このサンプル
により透過回折された回折レ−ザ−光を集束するレンズ
系からなるレーザー光回折顕微鏡装置。2. A laser light source, a sample for irradiating an incident laser light from the laser light source, and a lens system for converging the diffracted laser light transmitted and diffracted by the sample. Laser light diffraction microscope device consisting of.
を光学台上で直線的に移動自在に構成した請求項2のレ
ーザー光回折顕微鏡装置。3. The laser light diffraction microscope apparatus according to claim 2, wherein the laser light source, the sample, and the lens system are linearly movable on an optical table.
ーザー光によりサンプルの実像を拡大して結像するスク
リーンを設けた請求項2のレーザー光回折顕微鏡装置。4. The laser light diffraction microscope apparatus according to claim 2, further comprising a screen for enlarging and forming a real image of the sample by the focused laser light focused through the lens system.
るビーム断面可変器を設けた請求項2のレーザー光回折
顕微鏡装置。5. The laser light diffraction microscope apparatus according to claim 2, further comprising a beam cross section varying device for enlarging or reducing the cross section diameter of the incident laser light.
求項2のレーザー光回折顕微鏡装置。6. The laser light diffraction microscope apparatus according to claim 2, wherein the lens system is composed of a convex lens.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30678894A JPH08146353A (en) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | Laser light diffraction microscope method and microscope device therefor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30678894A JPH08146353A (en) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | Laser light diffraction microscope method and microscope device therefor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08146353A true JPH08146353A (en) | 1996-06-07 |
Family
ID=17961262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30678894A Pending JPH08146353A (en) | 1994-11-15 | 1994-11-15 | Laser light diffraction microscope method and microscope device therefor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08146353A (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49134344A (en) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 | ||
JPS57155164A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Nissan Shatai Co Ltd | Car floor board manufacturing method |
-
1994
- 1994-11-15 JP JP30678894A patent/JPH08146353A/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49134344A (en) * | 1973-04-25 | 1974-12-24 | ||
JPS57155164A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Nissan Shatai Co Ltd | Car floor board manufacturing method |
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