JPH07190747A - 合成樹脂シートの歪測定方法 - Google Patents
合成樹脂シートの歪測定方法Info
- Publication number
- JPH07190747A JPH07190747A JP33219193A JP33219193A JPH07190747A JP H07190747 A JPH07190747 A JP H07190747A JP 33219193 A JP33219193 A JP 33219193A JP 33219193 A JP33219193 A JP 33219193A JP H07190747 A JPH07190747 A JP H07190747A
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- JP
- Japan
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- resin sheet
- synthetic resin
- measured
- strain
- sheet
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 自重による影響を受けることなく、かつそれ
が透明な薄物であっても、その歪を正確に測定し得る合
成樹脂シートの歪測定方法を提供する。 【構成】 歪を測定すべき合成樹脂シート(4)をそれ
と略同一の密度を有する液体中で支持し、好ましくは超
音波センサー(30)を使用してその歪を測定する合成
樹脂シートの歪測定方法。
が透明な薄物であっても、その歪を正確に測定し得る合
成樹脂シートの歪測定方法を提供する。 【構成】 歪を測定すべき合成樹脂シート(4)をそれ
と略同一の密度を有する液体中で支持し、好ましくは超
音波センサー(30)を使用してその歪を測定する合成
樹脂シートの歪測定方法。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、合成樹脂シートの歪測
定方法に関する。
定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】合成樹脂シートは製造過程において反り
のような歪が発生し易く、その歪具合は品質評価の判断
基準となる。そのため、合成樹脂シートはその歪が測定
されるが、一般に合成樹脂シートは機械的強度が弱く、
ノギスなどの接触式センサーを用いて定盤上に載せられ
た合成樹脂シートの歪を測定すると、シートの自重及び
測定時にセンサーの接触部分によって加えられる荷重に
より合成樹脂シートが変形し、測定誤差が生じるという
問題がある。
のような歪が発生し易く、その歪具合は品質評価の判断
基準となる。そのため、合成樹脂シートはその歪が測定
されるが、一般に合成樹脂シートは機械的強度が弱く、
ノギスなどの接触式センサーを用いて定盤上に載せられ
た合成樹脂シートの歪を測定すると、シートの自重及び
測定時にセンサーの接触部分によって加えられる荷重に
より合成樹脂シートが変形し、測定誤差が生じるという
問題がある。
【0003】すなわち、合成樹脂シートは通常重力によ
り変形しており、そのため真実の歪の測定値が得られな
いので、無重力状態で測定を行うことが望ましい。ま
た、センサーからの外力による影響を除くため、レーザ
ー光線等の光学的非接触センサーを用いた合成樹脂シー
トの歪測定方法があるが、合成樹脂シートが透明な場合
には、光学的非接触センサーをそのまま使用しても、セ
ンサーから発振される光線の大部分がシートを通過して
しまい、歪を測定することができない上、重力による歪
の影響を避けることもできない。このように透明な合成
樹脂シートの歪を光学的非接触センサーを用いて測定す
る場合は、光線が反射するよう測定すべき合成樹脂シー
トの表面に反射テープを貼り付けなければならない。し
かし、反射テープを貼り付ける際に合成樹脂シートが歪
み、正確な測定値を得ることができず、さらに、その測
定値から反射テープの厚みを補正しなければならないと
いう問題がある。
り変形しており、そのため真実の歪の測定値が得られな
いので、無重力状態で測定を行うことが望ましい。ま
た、センサーからの外力による影響を除くため、レーザ
ー光線等の光学的非接触センサーを用いた合成樹脂シー
トの歪測定方法があるが、合成樹脂シートが透明な場合
には、光学的非接触センサーをそのまま使用しても、セ
ンサーから発振される光線の大部分がシートを通過して
しまい、歪を測定することができない上、重力による歪
の影響を避けることもできない。このように透明な合成
樹脂シートの歪を光学的非接触センサーを用いて測定す
る場合は、光線が反射するよう測定すべき合成樹脂シー
トの表面に反射テープを貼り付けなければならない。し
かし、反射テープを貼り付ける際に合成樹脂シートが歪
み、正確な測定値を得ることができず、さらに、その測
定値から反射テープの厚みを補正しなければならないと
いう問題がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は、上記の問
題点を解決するためになされたものであり、その目的と
するところは、測定すべき合成樹脂シートの自重による
影響を受けることなく、かつ、それが透明な薄物であっ
ても、その歪を正確に測定し得る合成樹脂シートの歪測
定方法を提供することにある。
題点を解決するためになされたものであり、その目的と
するところは、測定すべき合成樹脂シートの自重による
影響を受けることなく、かつ、それが透明な薄物であっ
ても、その歪を正確に測定し得る合成樹脂シートの歪測
定方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、歪を測定
すべき合成樹脂シートと略同一の密度を有する液体中で
合成樹脂シートを支持し、好ましくは超音波センサーを
使用してその歪を測定することを特徴とする合成樹脂シ
ートの歪測定方法によって達成される。
すべき合成樹脂シートと略同一の密度を有する液体中で
合成樹脂シートを支持し、好ましくは超音波センサーを
使用してその歪を測定することを特徴とする合成樹脂シ
ートの歪測定方法によって達成される。
【0006】
【作用】上記の如き方法であると、重力の影響を受ける
ことなく合成樹脂シートの歪を正確に測定できるように
なる。
ことなく合成樹脂シートの歪を正確に測定できるように
なる。
【0007】
【発明を実施するための最良の様態】本発明は、歪を測
定すべき合成樹脂シートをそれと略同一の密度、望まし
くはやや大きな密度を有する液体中で支持し、その液体
中に超音波センサーが浸漬された超音波測定装置で、基
準面と合成樹脂シートとの距離を超音波センサーを移動
させながら、連続的に測定することにより、そのシート
の歪を測定するものである。
定すべき合成樹脂シートをそれと略同一の密度、望まし
くはやや大きな密度を有する液体中で支持し、その液体
中に超音波センサーが浸漬された超音波測定装置で、基
準面と合成樹脂シートとの距離を超音波センサーを移動
させながら、連続的に測定することにより、そのシート
の歪を測定するものである。
【0008】合成樹脂シートの密度は次の通りである。 ポリプロピレン;密度0.9〜0.91g/cm3 ポリエチレン;密度0.94〜0.96g/cm3 ポリスチレン;密度1.04〜1.07g/cm3 ポリ塩化ビニル;密度1.16〜1.55g/cm3 ポリエチレンテレフタレート;密度1.37g/cm3 ポリアクリロニトリル;密度1.15g/cm3 ポリカーボネート;密度1.28g/cm3 これらはいずれも本発明方法により歪を測定し得るもの
である。
である。
【0009】また、本発明に用いられる液体としては、
例えば、グリセリン78%水溶液(密度1.2g/cm
3 )、グリセリン74%水溶液(密度1.18g/cm
3 )、可塑剤ジメチルフタレート(DMP)(密度1.
189g/cm3 )、メタノール54%水溶液(密度
0.9g/cm3 )、エタノール50%水溶液(密度
0.906g/cm3 )、プロピレングリコール(P
G)(密度1.1g/cm3)及び食塩を溶解させた水
溶液等が挙げられるが、この他にも、人体に無害であ
り、かつ、合成樹脂シートを浸食しないものであって、
測定すべき合成樹脂シートと略同一の密度のものが適宜
選択されるのであれば何でも使用できる。
例えば、グリセリン78%水溶液(密度1.2g/cm
3 )、グリセリン74%水溶液(密度1.18g/cm
3 )、可塑剤ジメチルフタレート(DMP)(密度1.
189g/cm3 )、メタノール54%水溶液(密度
0.9g/cm3 )、エタノール50%水溶液(密度
0.906g/cm3 )、プロピレングリコール(P
G)(密度1.1g/cm3)及び食塩を溶解させた水
溶液等が挙げられるが、この他にも、人体に無害であ
り、かつ、合成樹脂シートを浸食しないものであって、
測定すべき合成樹脂シートと略同一の密度のものが適宜
選択されるのであれば何でも使用できる。
【0010】通常、合成樹脂シートの密度の−10〜+
10%の範囲、望ましくは−10〜+0%の範囲の密度
のことをいう。
10%の範囲、望ましくは−10〜+0%の範囲の密度
のことをいう。
【0011】この密度の範囲外の液体を使用した場合、
重力の影響が残り、正確な歪測定が不可能になる。
重力の影響が残り、正確な歪測定が不可能になる。
【0012】以下、図面により本発明を詳細に説明す
る。図1は本発明に係る合成樹脂シートの歪測定方法に
使用する歪測定装置の一実施例を示す部分破断正面図、
図2は図1に示した装置で測定される合成樹脂シートの
測定位置を示す平面説明図、図3は図1に示した装置の
プロッターに表示される映像を示す平面図である。
る。図1は本発明に係る合成樹脂シートの歪測定方法に
使用する歪測定装置の一実施例を示す部分破断正面図、
図2は図1に示した装置で測定される合成樹脂シートの
測定位置を示す平面説明図、図3は図1に示した装置の
プロッターに表示される映像を示す平面図である。
【0013】先ず、図1について説明する。図中、1は
支持台、2は水槽、3は超音波測定装置、4は合成樹脂
シートである。
支持台、2は水槽、3は超音波測定装置、4は合成樹脂
シートである。
【0014】支持台1は、架台10と、センサー支持部
110を架台10上で三軸方向に移動自在に支持する、
架台10に設けられた三軸方向移動装置11とから成
る。センサー支持部110は、図示しない制御装置によ
って三軸方向に移動制御される。
110を架台10上で三軸方向に移動自在に支持する、
架台10に設けられた三軸方向移動装置11とから成
る。センサー支持部110は、図示しない制御装置によ
って三軸方向に移動制御される。
【0015】水槽2は、架台10上に載せられ、その底
内面には四隅がジャッキボルト20によって水平に支持
される矩形状の定盤21が設けられる。また、水槽2に
は、食塩の水溶液22が注入される。定盤21には、そ
の一辺の両端近傍と、その辺に対向する一辺の中央近傍
に、定盤21から垂直に立ち上がり、上端が丸い三本の
支持ピン23、が設けられる。
内面には四隅がジャッキボルト20によって水平に支持
される矩形状の定盤21が設けられる。また、水槽2に
は、食塩の水溶液22が注入される。定盤21には、そ
の一辺の両端近傍と、その辺に対向する一辺の中央近傍
に、定盤21から垂直に立ち上がり、上端が丸い三本の
支持ピン23、が設けられる。
【0016】超音波測定装置3は、センサー支持部11
0の下端に設けられ、下方に超音波を発信する超音波セ
ンサー30と、超音波センサー30の測定値をデジタル
表示する測定値表示装置31と、その測定値を測定方向
別に連続的に図形として表示するプロッター32と、そ
の測定値からシートの歪を計算する図示しないコンピュ
ーターとから成る。
0の下端に設けられ、下方に超音波を発信する超音波セ
ンサー30と、超音波センサー30の測定値をデジタル
表示する測定値表示装置31と、その測定値を測定方向
別に連続的に図形として表示するプロッター32と、そ
の測定値からシートの歪を計算する図示しないコンピュ
ーターとから成る。
【0017】合成樹脂シート4は、例えば、縦横120
mm、厚さ0.5mmのポリカーボネート製である。ま
た、図2に示されるように、この合成樹脂シート4の各
辺の10mm内側を通る線の交わる位置を点4−1、4
−2、4−3、4−4とし、合成樹脂シート4の歪の測
定は、点4−1から点4−2へ向かう直線Aと、点4−
3から点4−4へ向かう直線Bと、点4−1から点4−
3へ向かう直線Cと、点4−2から点4−4へ向かう直
線Dに沿って5mm間隔で行われる。
mm、厚さ0.5mmのポリカーボネート製である。ま
た、図2に示されるように、この合成樹脂シート4の各
辺の10mm内側を通る線の交わる位置を点4−1、4
−2、4−3、4−4とし、合成樹脂シート4の歪の測
定は、点4−1から点4−2へ向かう直線Aと、点4−
3から点4−4へ向かう直線Bと、点4−1から点4−
3へ向かう直線Cと、点4−2から点4−4へ向かう直
線Dに沿って5mm間隔で行われる。
【0018】この歪測定装置を使用するときは、先ず、
水槽2に食塩の水溶液22を注入する。この水溶液22
は、その密度がポリカーボネートの密度1.2g/cm
3 と同一になるよう26重量%の食塩を含むものであ
る。次に、その水槽2中に合成樹脂シート4を沈め、定
盤21の支持ピン23上に置く。
水槽2に食塩の水溶液22を注入する。この水溶液22
は、その密度がポリカーボネートの密度1.2g/cm
3 と同一になるよう26重量%の食塩を含むものであ
る。次に、その水槽2中に合成樹脂シート4を沈め、定
盤21の支持ピン23上に置く。
【0019】次に、三軸方向移動装置11を制御して、
超音波センサー30をその下部が水溶液22に浸かるま
で下降させ、基準面(定盤の上面)に平行に移動させ、
超音波センサー30を、その基準面と合成樹脂シート4
との距離を測定する。その後、超音波センサー30を点
4−1上に移動させ、点4−1を測定始点とし、そこか
ら順次5mm間隔で超音波センサー30を直線A方向に
水平移動させながら、基準面と合成樹脂シート4上面間
の距離を求める。点4−2まで測定し終わったら、超音
波センサー30を次の測定始点となる点4−3上方へ水
平移動させ、そこから直線B方向へ水平移動させながら
順次定盤21と合成樹脂シート4との距離を求め、同様
に直線C及び直線D方向についても定盤21との距離を
求める。
超音波センサー30をその下部が水溶液22に浸かるま
で下降させ、基準面(定盤の上面)に平行に移動させ、
超音波センサー30を、その基準面と合成樹脂シート4
との距離を測定する。その後、超音波センサー30を点
4−1上に移動させ、点4−1を測定始点とし、そこか
ら順次5mm間隔で超音波センサー30を直線A方向に
水平移動させながら、基準面と合成樹脂シート4上面間
の距離を求める。点4−2まで測定し終わったら、超音
波センサー30を次の測定始点となる点4−3上方へ水
平移動させ、そこから直線B方向へ水平移動させながら
順次定盤21と合成樹脂シート4との距離を求め、同様
に直線C及び直線D方向についても定盤21との距離を
求める。
【0020】このようにして求めた測定値を表1に示し
た。なお、測定位置とは、測定始点からの距離を示す。
た。なお、測定位置とは、測定始点からの距離を示す。
【表1】
【0021】また、この測定値は、測定されるたびに測
定値表示装置31にデジタル表示され、さらに、プロッ
ター32にも送られる。プロッター32の表示画面に
は、この測定値に基づき、合成樹脂シート4の形状が測
定方向別にそれぞれ曲線a、b、c、dとして表示され
る。
定値表示装置31にデジタル表示され、さらに、プロッ
ター32にも送られる。プロッター32の表示画面に
は、この測定値に基づき、合成樹脂シート4の形状が測
定方向別にそれぞれ曲線a、b、c、dとして表示され
る。
【0022】合成樹脂シート4の歪は、指定方向別に求
められ、曲線a、b、c、dと、それらの両端部を結ぶ
直線a′、b′、c′、d′との最大距離La、Lb、
Lc、Ldである。これらは、図示しないコンピュータ
ーで求められ、それぞれ測定値表示装置31に表示され
る。この例では、直線A方向の最大距離Laは1.3m
m、直線B方向の最大距離Lbは1.0mm、直線C方
向の最大距離は0.3mm、直線D方向の最大距離Ld
は0.45mmとなり、これらの数値がそれぞれの方向
の歪量となる。
められ、曲線a、b、c、dと、それらの両端部を結ぶ
直線a′、b′、c′、d′との最大距離La、Lb、
Lc、Ldである。これらは、図示しないコンピュータ
ーで求められ、それぞれ測定値表示装置31に表示され
る。この例では、直線A方向の最大距離Laは1.3m
m、直線B方向の最大距離Lbは1.0mm、直線C方
向の最大距離は0.3mm、直線D方向の最大距離Ld
は0.45mmとなり、これらの数値がそれぞれの方向
の歪量となる。
【0023】なお、本発明は叙上の実施例に限定される
ものではない。例えば、水槽に投入する溶液は、食塩の
水溶液に限定されず、例えば、歪を測定すべき合成樹脂
シートがポリプロピレン(密度0.9g/cm3 )製で
あれば、メタノール54%溶液(密度0.9g/c
m3 )を、また、ポリエチレン(密度0.94g/cm
3 )製であれば、エタノール50%溶液(密度0.90
6)を使用するといったように、合成樹脂シートの材質
の密度に応じて選択するものである。
ものではない。例えば、水槽に投入する溶液は、食塩の
水溶液に限定されず、例えば、歪を測定すべき合成樹脂
シートがポリプロピレン(密度0.9g/cm3 )製で
あれば、メタノール54%溶液(密度0.9g/c
m3 )を、また、ポリエチレン(密度0.94g/cm
3 )製であれば、エタノール50%溶液(密度0.90
6)を使用するといったように、合成樹脂シートの材質
の密度に応じて選択するものである。
【0024】また、歪の測定方向は、合成樹脂シートの
対角線や適宜定めた線上でもよく、測定間隔は5mmよ
り狭くても広くても構わないが、正確な歪測定のために
は、測定間隔を狭くすることが推奨される。さらに、支
持台、水槽、測定装置及び合成樹脂シートの形状、定盤
に設けられる三本の支持ピンの配置等は、本発明の目的
の範囲内で自由に設計変更することができ、本発明は上
記の説明から当業者が容易に想到し得る総ての変更実施
例を包摂するものである。
対角線や適宜定めた線上でもよく、測定間隔は5mmよ
り狭くても広くても構わないが、正確な歪測定のために
は、測定間隔を狭くすることが推奨される。さらに、支
持台、水槽、測定装置及び合成樹脂シートの形状、定盤
に設けられる三本の支持ピンの配置等は、本発明の目的
の範囲内で自由に設計変更することができ、本発明は上
記の説明から当業者が容易に想到し得る総ての変更実施
例を包摂するものである。
【0025】
【発明の効果】本発明に係る合成樹脂シートの歪測定方
法は叙上の如く構成されるので、本発明によるときは、
歪測定すべき合成樹脂シートが薄物であっても、そのシ
ートはそれと同一の密度の液体中で支持されているた
め、自重により歪むことがなく、また、測定に超音波を
使用しているため、そのシートが透明であっても測定す
ることができる。そのため、どのような合成樹脂シート
でも、その歪を正確に測定することができる。
法は叙上の如く構成されるので、本発明によるときは、
歪測定すべき合成樹脂シートが薄物であっても、そのシ
ートはそれと同一の密度の液体中で支持されているた
め、自重により歪むことがなく、また、測定に超音波を
使用しているため、そのシートが透明であっても測定す
ることができる。そのため、どのような合成樹脂シート
でも、その歪を正確に測定することができる。
【図1】本発明に係る合成樹脂シートの歪測定方法に使
用する歪測定装置の一実施例を示す部分破断正面図であ
る。
用する歪測定装置の一実施例を示す部分破断正面図であ
る。
【図2】図1に示した装置で測定される合成樹脂シート
の測定位置を示す平面説明図である。
の測定位置を示す平面説明図である。
【図3】図1に示した装置のプロッターの表示画面を示
す平面図である。
す平面図である。
1・・・・・・支持台 10・・・・・架台 11・・・・・三軸方向移動装置 110・・・・センサー支持部 2・・・・・・水槽 20・・・・・ジャッキボルト 21・・・・・定盤 22・・・・・水溶液 23・・・・・支持ピン 3・・・・・・超音波測定装置 30・・・・・超音波センサー 31・・・・・測定値表示装置 32・・・・・プロッター 4・・・・・・合成樹脂シート 4−1・・・・点 4−2・・・・点 4−3・・・・点 4−4・・・・点 A・・・・・・直線 B・・・・・・直線 C・・・・・・直線 D・・・・・・直線 a・・・・・・曲線 b・・・・・・曲線 c・・・・・・曲線 d・・・・・・曲線 a′・・・・・直線 b′・・・・・直線 c′・・・・・直線 d′・・・・・直線 La・・・・・最大距離 Lb・・・・・最大距離 Lc・・・・・最大距離 Ld・・・・・最大距離
Claims (4)
- 【請求項1】歪を測定すべき合成樹脂シート(4)と略
同一の密度を有する液体中で合成樹脂シート(4)を支
持し、基準面と合成樹脂シート(4)との距離を測定
し、その歪を知ることを特徴とする合成樹脂シートの歪
測定方法。 - 【請求項2】基準面と合成樹脂シート(4)の距離を測
定する装置が液体中に浸漬された超音波センサー(3
0)であり、その超音波センサー(30)と合成樹脂シ
ート(4)との距離を複数個所で測定し、合成樹脂シー
ト(4)の歪を測定する請求項1に記載の合成樹脂シー
トの歪測定方法。 - 【請求項3】超音波センサー(30)が、三軸方向に移
動自在に支持される請求項2に記載の合成樹脂シートの
歪測定方法。 - 【請求項4】液体が、グリセリン、プロピレングリコー
ル及び食塩から成る群から選ばれた少なくとも一種の物
質の水溶液(22)である請求項1ないし3のいずれか
一に記載の歪測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33219193A JPH07190747A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 合成樹脂シートの歪測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33219193A JPH07190747A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 合成樹脂シートの歪測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07190747A true JPH07190747A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18252196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33219193A Pending JPH07190747A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 合成樹脂シートの歪測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07190747A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002039057A1 (fr) * | 2000-11-10 | 2002-05-16 | Toto Ltd. | Dispositif portatif de mesure de la forme d'une surface |
KR101235418B1 (ko) * | 2011-04-20 | 2013-02-20 | 한국기초과학지원연구원 | 초음파 센서장치 |
JP2015166751A (ja) * | 2015-07-03 | 2015-09-24 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | ウェーハスタック内の層厚さ及び欠陥を測定する測定デバイス及び方法 |
US10008424B2 (en) | 2010-11-12 | 2018-06-26 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Measuring device and method for measuring layer thicknesses and defects in a wafer stack |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33219193A patent/JPH07190747A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002039057A1 (fr) * | 2000-11-10 | 2002-05-16 | Toto Ltd. | Dispositif portatif de mesure de la forme d'une surface |
US6442857B1 (en) | 2000-11-10 | 2002-09-03 | Toto Ltd. | Portable surface inspector |
US10008424B2 (en) | 2010-11-12 | 2018-06-26 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Measuring device and method for measuring layer thicknesses and defects in a wafer stack |
US10109538B2 (en) | 2010-11-12 | 2018-10-23 | EV Group E.Thallner GmbH | Measuring device and method for measuring layer thicknesses and defects in a wafer stack |
KR101235418B1 (ko) * | 2011-04-20 | 2013-02-20 | 한국기초과학지원연구원 | 초음파 센서장치 |
JP2015166751A (ja) * | 2015-07-03 | 2015-09-24 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | ウェーハスタック内の層厚さ及び欠陥を測定する測定デバイス及び方法 |
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