JPH07103730A - リードフレーム検査装置 - Google Patents
リードフレーム検査装置Info
- Publication number
- JPH07103730A JPH07103730A JP24513493A JP24513493A JPH07103730A JP H07103730 A JPH07103730 A JP H07103730A JP 24513493 A JP24513493 A JP 24513493A JP 24513493 A JP24513493 A JP 24513493A JP H07103730 A JPH07103730 A JP H07103730A
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- JP
- Japan
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- lead frame
- light source
- tape
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リ−ドフレームのめっき位置とテープ位置と
を同時に検査することによって、リードフレームの外観
検査の一層の高速化、合理化を図る。 【構成】 照明光源３，照明光源に取り付けた光源用偏
光フィルター、撮影用カメラ４，光源用偏光フィルター
の偏光軸と８０°乃至９０°の交角をなす偏光軸を有し
撮影用カメラに取り付けた撮影用偏光フィルター、画像
処理装置５などを備えたリードフレーム検査装置であ
り、、２値化レベルをリードフレームのめっき部とテー
プ部の両方で、同時に抽出するように設定することがで
きる。
を同時に検査することによって、リードフレームの外観
検査の一層の高速化、合理化を図る。 【構成】 照明光源３，照明光源に取り付けた光源用偏
光フィルター、撮影用カメラ４，光源用偏光フィルター
の偏光軸と８０°乃至９０°の交角をなす偏光軸を有し
撮影用カメラに取り付けた撮影用偏光フィルター、画像
処理装置５などを備えたリードフレーム検査装置であ
り、、２値化レベルをリードフレームのめっき部とテー
プ部の両方で、同時に抽出するように設定することがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等を製造
するのに用いられるリードフレームの検査装置、特に被
検査物であるリードフレームの正面を照明し、カメラを
介してリードフレームの正面の状態を、画像処理装置に
取り込む構成のリードフレーム検査装置に関するもので
ある。
するのに用いられるリードフレームの検査装置、特に被
検査物であるリードフレームの正面を照明し、カメラを
介してリードフレームの正面の状態を、画像処理装置に
取り込む構成のリードフレーム検査装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】最近、ＬＳＩの集積度アップに従い、リ
ードフレームは多ピン化傾向にあり、それに伴いリード
自体も細くなり、リード変形が生じやすくなっている。
そこでリード変形を防ぐために、リード部にテーピング
をしたリードフレームも製造されるようになった。図５
は、テーピングをしたＱＦＰ(Quadrangle Flat Packag
e) タイプリードフレームの正面図で、同一のＱＦＰタ
イプリードフレーム１を、１枚の共通シート２に、直線
状に多数配列して印刷して一挙に製作したものを示して
いる。
ードフレームは多ピン化傾向にあり、それに伴いリード
自体も細くなり、リード変形が生じやすくなっている。
そこでリード変形を防ぐために、リード部にテーピング
をしたリードフレームも製造されるようになった。図５
は、テーピングをしたＱＦＰ(Quadrangle Flat Packag
e) タイプリードフレームの正面図で、同一のＱＦＰタ
イプリードフレーム１を、１枚の共通シート２に、直線
状に多数配列して印刷して一挙に製作したものを示して
いる。
【０００３】図５のリードフレーム１では、ＩＣチップ
を搭載する中央部のダイアタッチ部１ａ，ダイアタッチ
部１ａの周辺を占めリードが一段と細くなり密集してい
るインナーリード部１ｂがあり、インナーリード部１ｂ
から外方に向かいリードは太さが漸次増しており、外部
に接続するアウターリード部１ｃがある。そして、リー
ドが一段と細くなり密集しているインナーリード部１ｂ
には、ダイアタッチ部１ａを囲んでリング状にリード補
強用のテープ１ｄが貼設してある。テープ１ｄは、ポリ
イミドテープである。
を搭載する中央部のダイアタッチ部１ａ，ダイアタッチ
部１ａの周辺を占めリードが一段と細くなり密集してい
るインナーリード部１ｂがあり、インナーリード部１ｂ
から外方に向かいリードは太さが漸次増しており、外部
に接続するアウターリード部１ｃがある。そして、リー
ドが一段と細くなり密集しているインナーリード部１ｂ
には、ダイアタッチ部１ａを囲んでリング状にリード補
強用のテープ１ｄが貼設してある。テープ１ｄは、ポリ
イミドテープである。
【０００４】テーピングをしてあるリードフレーム１
は、鉄−ニッケル合金（一般に４２重量％Ｎｉ合金）及
び銅合金を材料として、エッチング法やスタンピング法
で成形されたのち、パターン検査に合格した半製品にテ
ープ１ｄを貼設し、次にインナーリード部１ｂの先端部
分を金又は銀でめっき処理して製作するが、製造過程で
何らかの原因により欠陥を生じる虞れがあるので、パタ
ーン検査のほか完成品検査もなされる。なお、大量生産
のため、図５に示したように、共通シート２にリードフ
レーム１は配列してあるので、パターン検査や完成品検
査は、共通シート２をワークとしてなされる。
は、鉄−ニッケル合金（一般に４２重量％Ｎｉ合金）及
び銅合金を材料として、エッチング法やスタンピング法
で成形されたのち、パターン検査に合格した半製品にテ
ープ１ｄを貼設し、次にインナーリード部１ｂの先端部
分を金又は銀でめっき処理して製作するが、製造過程で
何らかの原因により欠陥を生じる虞れがあるので、パタ
ーン検査のほか完成品検査もなされる。なお、大量生産
のため、図５に示したように、共通シート２にリードフ
レーム１は配列してあるので、パターン検査や完成品検
査は、共通シート２をワークとしてなされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】現在のリードフレーム
の完成品検査は、リードフレーム外観検査装置でなさ
れ、リードの変形やめっき位置及びめっき面光沢（し
み、むら、変色）に関する検査が主なものであり、最近
になってこれにテープ位置に関する検査の要求が出てき
ている。従来、リードフレーム外観検査装置には、種々
の構造のものがあるが、被検査物であるリードフレーム
に対して、照明光源とＩＴＶカメラなどの撮像手段がほ
ぼ同方向に配置してあって、この撮像手段でリードフレ
ームの所要部分の画像を画像処理装置に入力する構成の
リードフレーム検査装置については、次のような問題点
がある。
の完成品検査は、リードフレーム外観検査装置でなさ
れ、リードの変形やめっき位置及びめっき面光沢（し
み、むら、変色）に関する検査が主なものであり、最近
になってこれにテープ位置に関する検査の要求が出てき
ている。従来、リードフレーム外観検査装置には、種々
の構造のものがあるが、被検査物であるリードフレーム
に対して、照明光源とＩＴＶカメラなどの撮像手段がほ
ぼ同方向に配置してあって、この撮像手段でリードフレ
ームの所要部分の画像を画像処理装置に入力する構成の
リードフレーム検査装置については、次のような問題点
がある。
【０００６】すなわち、上記構成のリードフレーム検査
装置の測定ステージに、ＱＦＰタイプリードフレーム１
を図５の姿勢で載置する。この場合、図５の紙面に対し
て垂直上方に円形リング形状の照明光源を、また、照明
光源の上方に画像処理装置に接続しているＣＣＤカメラ
を同心的に配設してある。このような撮像条件で得られ
たＱＦＰタイプリードフレーム１の画像を、図６（ａ）
に示してある。図６（ｂ）は、図６（ａ）の画像の直線
Ｌに沿った部分の明るさのプロフィルであって、横軸は
直線Ｌに沿った位置を示し、縦軸は最小値が０，最大値
が２５５の２５６階調で表した明るさのレベルＩを示し
ている。そして、明るさのレベルＩの数値が大きいほ
ど、画像は明るくなっている。
装置の測定ステージに、ＱＦＰタイプリードフレーム１
を図５の姿勢で載置する。この場合、図５の紙面に対し
て垂直上方に円形リング形状の照明光源を、また、照明
光源の上方に画像処理装置に接続しているＣＣＤカメラ
を同心的に配設してある。このような撮像条件で得られ
たＱＦＰタイプリードフレーム１の画像を、図６（ａ）
に示してある。図６（ｂ）は、図６（ａ）の画像の直線
Ｌに沿った部分の明るさのプロフィルであって、横軸は
直線Ｌに沿った位置を示し、縦軸は最小値が０，最大値
が２５５の２５６階調で表した明るさのレベルＩを示し
ている。そして、明るさのレベルＩの数値が大きいほ
ど、画像は明るくなっている。
【０００７】図６（ｂ）の明るさのプロフィルは、素材
面の明るさのレベルと比較して、テープ１ｄ部の明るさ
のレベルは低く、インナーリード部１ｂの先端部分のめ
っき部の明るさのレベルは高いことを示している。した
がって、２値化レベルは、めっき部とテープ部の両方を
同時に抽出して設定することはできない。このことも一
つの理由として、従来、テープ位置の検査を人間による
目視で行うか、自動検査装置で行う場合には、被検査物
であるリードフレームを、テープ位置専用の測定ステー
ジに搬送して、めっき位置の検査とは別に行っていた。
面の明るさのレベルと比較して、テープ１ｄ部の明るさ
のレベルは低く、インナーリード部１ｂの先端部分のめ
っき部の明るさのレベルは高いことを示している。した
がって、２値化レベルは、めっき部とテープ部の両方を
同時に抽出して設定することはできない。このことも一
つの理由として、従来、テープ位置の検査を人間による
目視で行うか、自動検査装置で行う場合には、被検査物
であるリードフレームを、テープ位置専用の測定ステー
ジに搬送して、めっき位置の検査とは別に行っていた。
【０００８】本発明は、上述のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、搬送系により測定ステージ上に搬送さ
れてきたリードフレームのめっき位置とテープ位置とを
同時に検査することによって、リードフレームの外観検
査の一層の高速化、合理化を図ることを目的としてい
る。
れたものであり、搬送系により測定ステージ上に搬送さ
れてきたリードフレームのめっき位置とテープ位置とを
同時に検査することによって、リードフレームの外観検
査の一層の高速化、合理化を図ることを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のリードフレーム
検査装置は、検査されるべきリードフレームに対する照
明光源と、この照明光源に取り付けた光源用偏光フィル
ターと、リードフレームに対する撮影用カメラと、光源
用偏光フィルターの偏光軸と８０°以上、好ましくは９
０°の交角をなす偏光軸を有し撮影用カメラのレンズの
前に配置した撮影用偏光フィルターと、画像処理装置と
を備えるように構成されている。
検査装置は、検査されるべきリードフレームに対する照
明光源と、この照明光源に取り付けた光源用偏光フィル
ターと、リードフレームに対する撮影用カメラと、光源
用偏光フィルターの偏光軸と８０°以上、好ましくは９
０°の交角をなす偏光軸を有し撮影用カメラのレンズの
前に配置した撮影用偏光フィルターと、画像処理装置と
を備えるように構成されている。
【００１０】
【作用】撮影用偏光フィルターと光源用偏光フィルター
は、それぞれの偏光軸が８０°以上、好ましくは９０°
の交角をなしている。光源からの光は、光源用偏光フィ
ルターにより振動方向が一定な偏光として、リードフレ
ームを照射する。このとき、リードフレームの金属部分
の表面を直接照射し反射した光は、振動方向がほとんど
変化しないが、非金属平滑表面であるテープ１ｄ部から
の反射光（テープを透過し金属面で反射した光も含む）
は、振動方向が変化する。したがって、金属部分からの
反射光に比較して、非金属平滑表面からの反射光は、撮
影用偏光フィルターをより透過する。その結果、図６
（ｂ）の明るさのプロフィルは変化し、２値化レベル
は、めっき部とテープ部の両方を同時に抽出して設定で
きるようになる。
は、それぞれの偏光軸が８０°以上、好ましくは９０°
の交角をなしている。光源からの光は、光源用偏光フィ
ルターにより振動方向が一定な偏光として、リードフレ
ームを照射する。このとき、リードフレームの金属部分
の表面を直接照射し反射した光は、振動方向がほとんど
変化しないが、非金属平滑表面であるテープ１ｄ部から
の反射光（テープを透過し金属面で反射した光も含む）
は、振動方向が変化する。したがって、金属部分からの
反射光に比較して、非金属平滑表面からの反射光は、撮
影用偏光フィルターをより透過する。その結果、図６
（ｂ）の明るさのプロフィルは変化し、２値化レベル
は、めっき部とテープ部の両方を同時に抽出して設定で
きるようになる。
【００１１】
【実施例】図１〜図４は、本発明に係るリードフレーム
検査装置の一実施例に関するもので、図１は検査装置の
全体構成図、図２は検査装置の光学系の概略斜視図、図
３（ａ）は図１の装置で得られたリードフレームの画像
の図、図３（ｂ）は図３（ａ）の画像における所定の直
線に沿う図１の装置で得られた明るさのプロフィルの
図、図４は撮影用、光源用の各偏光フィルターの偏光軸
交角とリードフレームの表面各部の明るさとの関係図で
ある。
検査装置の一実施例に関するもので、図１は検査装置の
全体構成図、図２は検査装置の光学系の概略斜視図、図
３（ａ）は図１の装置で得られたリードフレームの画像
の図、図３（ｂ）は図３（ａ）の画像における所定の直
線に沿う図１の装置で得られた明るさのプロフィルの
図、図４は撮影用、光源用の各偏光フィルターの偏光軸
交角とリードフレームの表面各部の明るさとの関係図で
ある。
【００１２】図中、１は共通シート２に配列して製作し
てあるリードフレーム、３はリードフレーム１に対する
円形リング形状の照明光源、３ａは照明光源３に取り付
けた光源用偏光フィルター、４は撮影用カメラとしての
ＣＣＤカメラ、４ａはＣＣＤカメラ４の撮影レンズ４ｂ
に取り付けた撮影用偏光フィルター、５は画像処理装
置、６はホストコンピュータ、７は搬送機構である。図
１の構成で、円形リング形状の照明光源３，光源用偏光
フィルター３ａ，撮影レンズ４ｂ及び撮影用偏光フィル
ター４ａの各光軸は共軸であり、また、光源用偏光フィ
ルター３ａの偏光軸と撮影用偏光フィルター４ａの偏光
軸とは、交角が９０°をなすように調整されている。
てあるリードフレーム、３はリードフレーム１に対する
円形リング形状の照明光源、３ａは照明光源３に取り付
けた光源用偏光フィルター、４は撮影用カメラとしての
ＣＣＤカメラ、４ａはＣＣＤカメラ４の撮影レンズ４ｂ
に取り付けた撮影用偏光フィルター、５は画像処理装
置、６はホストコンピュータ、７は搬送機構である。図
１の構成で、円形リング形状の照明光源３，光源用偏光
フィルター３ａ，撮影レンズ４ｂ及び撮影用偏光フィル
ター４ａの各光軸は共軸であり、また、光源用偏光フィ
ルター３ａの偏光軸と撮影用偏光フィルター４ａの偏光
軸とは、交角が９０°をなすように調整されている。
【００１３】本発明装置は、上記のように構成されてい
るから、共通シート２をワークとして、搬送機構７で間
欠的に移動させ、例えばリードフレーム１におけるダイ
アタッチ部１ａの中心が上述の光軸に合致するように、
リードフレーム１を所定の検査位置に位置決めして停止
させる。次に、照明光源３から照明光を射出し、光源用
偏光フィルター３ａを介してリードフレーム１を照射す
るが、光源用偏光フィルター３ａを透過した照明光は、
振動方向が一定な偏光となっている。
るから、共通シート２をワークとして、搬送機構７で間
欠的に移動させ、例えばリードフレーム１におけるダイ
アタッチ部１ａの中心が上述の光軸に合致するように、
リードフレーム１を所定の検査位置に位置決めして停止
させる。次に、照明光源３から照明光を射出し、光源用
偏光フィルター３ａを介してリードフレーム１を照射す
るが、光源用偏光フィルター３ａを透過した照明光は、
振動方向が一定な偏光となっている。
【００１４】このように振動方向が一定な偏光として、
リードフレーム１を照射した照明光の中で、リードフレ
ーム１の金属部分の表面を直接照射した光は、反射して
も振動方向がほとんど変化しない。しかし、リードフレ
ーム１の非金属平滑表面であるテープ１ｄ部からの反射
光（テープを透過し金属面で反射した光も含む）は、振
動方向が変化している。その結果、金属部分からの反射
光に比較して、非金属平滑表面からの反射光は、撮影用
偏光フィルター４ａをより透過する。上記の撮影条件
で、ＣＣＤカメラ４はリードフレーム１の画像を生成す
る。次に、このリードフレーム１の画像信号を、ＣＣＤ
カメラ４から画像処理装置５に取り込み、計測処理部、
演算部を介して、めっき位置とテープ位置を算出する。
最終的に、ぞれの基準位置（基準値）と比較して、判定
結果を出力する。
リードフレーム１を照射した照明光の中で、リードフレ
ーム１の金属部分の表面を直接照射した光は、反射して
も振動方向がほとんど変化しない。しかし、リードフレ
ーム１の非金属平滑表面であるテープ１ｄ部からの反射
光（テープを透過し金属面で反射した光も含む）は、振
動方向が変化している。その結果、金属部分からの反射
光に比較して、非金属平滑表面からの反射光は、撮影用
偏光フィルター４ａをより透過する。上記の撮影条件
で、ＣＣＤカメラ４はリードフレーム１の画像を生成す
る。次に、このリードフレーム１の画像信号を、ＣＣＤ
カメラ４から画像処理装置５に取り込み、計測処理部、
演算部を介して、めっき位置とテープ位置を算出する。
最終的に、ぞれの基準位置（基準値）と比較して、判定
結果を出力する。
【００１５】本実施例におけるリードフレーム１の画像
を図３（ａ），図３（ａ）の画像における直線Ｌに沿う
明るさのプロフィルを図３（ｂ）にそれぞれ示してあ
る。リードフレームの明るさのレベルと比較して、テー
プ部及びインナーリード部先端のめっき部の明るさのレ
ベルが高いことが分かる。そして、例えば２値化レベル
を図３（ｂ）に示したＡ−Ａに選定し、（ａ，ｂ）
（ｃ，ｄ）の座標を求めれば、めっき位置とテープ位置
は、同時に検査することができる。また、基準パターン
との比較照合方式によっても、めっき面とテープ面の検
査ができるのはいうまでもない。なお、本実施例で、Ｃ
ＣＤカメラ４として１０２４×１０２４画素のものを用
い、１画素２０μｍにスケール調整して、リードフレー
ムの外観検査を行った。基準パターンとの比較照合方式
によるテープ位置の検査精度は、±４０μｍ程度であっ
た。
を図３（ａ），図３（ａ）の画像における直線Ｌに沿う
明るさのプロフィルを図３（ｂ）にそれぞれ示してあ
る。リードフレームの明るさのレベルと比較して、テー
プ部及びインナーリード部先端のめっき部の明るさのレ
ベルが高いことが分かる。そして、例えば２値化レベル
を図３（ｂ）に示したＡ−Ａに選定し、（ａ，ｂ）
（ｃ，ｄ）の座標を求めれば、めっき位置とテープ位置
は、同時に検査することができる。また、基準パターン
との比較照合方式によっても、めっき面とテープ面の検
査ができるのはいうまでもない。なお、本実施例で、Ｃ
ＣＤカメラ４として１０２４×１０２４画素のものを用
い、１画素２０μｍにスケール調整して、リードフレー
ムの外観検査を行った。基準パターンとの比較照合方式
によるテープ位置の検査精度は、±４０μｍ程度であっ
た。
【００１６】図３（ｂ）に関連して、図４は、光源用偏
光フィルター３ａの偏光軸と撮影用偏光フィルター４ａ
の偏光軸との交角と、リードフレーム１の表面各部の明
るさの関係を示してある。横軸は偏光軸交角、縦軸は素
材面の明るさＩP とテープ面の明るさＩTA及びめっき面
の明るさＩAgとの比（ＩTA／ＩP ，ＩAg／ＩP ）を表し
ている。図４から、図３（ｂ）と同じような明るさのプ
ロフィルが得られるのは、偏光軸交角が約８０°乃至９
０°の狭い範囲であることが確認できた。
光フィルター３ａの偏光軸と撮影用偏光フィルター４ａ
の偏光軸との交角と、リードフレーム１の表面各部の明
るさの関係を示してある。横軸は偏光軸交角、縦軸は素
材面の明るさＩP とテープ面の明るさＩTA及びめっき面
の明るさＩAgとの比（ＩTA／ＩP ，ＩAg／ＩP ）を表し
ている。図４から、図３（ｂ）と同じような明るさのプ
ロフィルが得られるのは、偏光軸交角が約８０°乃至９
０°の狭い範囲であることが確認できた。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のリードフレ
ーム検査装置は、２値化レベルがリードフレームのめっ
き部とテープ部の両方で同時に抽出するように設定する
ことができ、その結果、搬送系により測定ステージ上に
搬送されてきたリードフレームのめっき位置とテープ位
置とを同時に検査することによって、リードフレームの
外観検査の一層の高速化、合理化が可能である。
ーム検査装置は、２値化レベルがリードフレームのめっ
き部とテープ部の両方で同時に抽出するように設定する
ことができ、その結果、搬送系により測定ステージ上に
搬送されてきたリードフレームのめっき位置とテープ位
置とを同時に検査することによって、リードフレームの
外観検査の一層の高速化、合理化が可能である。
【図１】本発明に係るリードフレーム検査装置の一実施
例の全体構成図である。
例の全体構成図である。
【図２】本発明に係るリードフレーム検査装置の一実施
例の光学系の概略斜視図である。
例の光学系の概略斜視図である。
【図３】（ａ）図１の装置で得られたリードフレームの
画像の図である。 （ｂ）（ａ）の画像における所定の直線に沿う図１の装
置で得られた明るさのプロフィル図である。
画像の図である。 （ｂ）（ａ）の画像における所定の直線に沿う図１の装
置で得られた明るさのプロフィル図である。
【図４】撮影用、光源用の各偏光フィルターの偏光軸交
角とリードフレームの表面各部の明るさの関係図であ
る。
角とリードフレームの表面各部の明るさの関係図であ
る。
【図５】ＱＦＰタイプリードフレームの正面図である。
【図６】（ａ）従来のリードフレーム検査装置で得られ
たリードフレームの画像の図である。 （ｂ）（ａ）の画像における所定の直線に沿う従来のリ
ードフレーム検査装置で得られた明るさのプロフィル図
である。
たリードフレームの画像の図である。 （ｂ）（ａ）の画像における所定の直線に沿う従来のリ
ードフレーム検査装置で得られた明るさのプロフィル図
である。
１ リードフレーム ３ 円形リング形状の照明光源 ３ａ 光源用偏光フィルター ４ 撮影用カメラとしてのＣＣＤカメラ ４ａ 撮影用偏光フィルター ５ 画像処理装置
Claims (1)
- 【請求項１】 検査されるべきリードフレームに対する
照明光源と、前記照明光源に取り付けた光源用偏光フィ
ルターと、前記リードフレームに対する撮影用カメラ
と、前記光源用偏光フィルターの偏光軸と８０°以上の
交角をなす偏光軸を有し前記撮影用カメラのレンズの前
に配置した撮影用偏光フィルターと、画像処理装置とを
備えたリードフレーム検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24513493A JPH07103730A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | リードフレーム検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24513493A JPH07103730A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | リードフレーム検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103730A true JPH07103730A (ja) | 1995-04-18 |
Family
ID=17129141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24513493A Pending JPH07103730A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | リードフレーム検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103730A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008145171A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレームの検査方法及びその装置 |
| JP2010210373A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Kyushu Nogeden:Kk | 外観検査装置 |
| JP2014052217A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物検査装置、異物検査方法 |
| JP2015132625A (ja) * | 2015-03-17 | 2015-07-23 | 大日本印刷株式会社 | 異物検査装置、異物検査方法 |
Citations (2)
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| JPS6131909A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-14 | Hitachi Ltd | 金属物体の立体形状検出装置およびその方法 |
| JPH0566381A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-03-19 | Olympus Optical Co Ltd | 光沢検出装置 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24513493A patent/JPH07103730A/ja active Pending
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