JPH0685404B2 - プロ−ブ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、プローブ装置に関する。

（従来の技術） プローブ装置例えば半導体ウエハプローバは実開昭60−
130646号公報などに記載されていて周知のものである。
即ち位置決めされたウエハに形成された半導体チップの
パッドにプローブ針を接触させ、そのプローブ針の他方
にテストヘッドのピンエレクトロニクスボードを接触さ
せ電気的性能を測定する。この際、ウエハの載置された
ステージを移動し、プローブカードの針を上記半導体チ
ップに接触させ測定するものである。このような構成の
プローバは、着脱自在に構成されたプローブカードを保
持しているインサートリングをプローバ筐体上面のヘッ
ドプレートの測定部に該当する部分に接着し、その部分
にテストヘッドを必要時に応じて回転支点を中心にして
回転し設置するもの例えば実開昭60-163743号公報に開
示されたものもある。

（発明が解決しようとする問題点） 上記プローブ装置は、着脱自在に構成されたプローブカ
ードを保持しているインサートリングをプローバ筐体上
面のヘッドプレートの測定部に該当する部分に装着し、
その部分にテストヘッドを回転支点を中心に回転して設
置する。このような設置構成では、テストヘッドの設置
に費やす時間は多大なもので、なおかつテストヘッドを
使用しての測定中に頻繁に行なわれる保守点検の際、お
よびテストヘッドを使用しない測定の際のテストヘッド
の収納場所に多大なスペースが必要であり、プローブ装
置の小型化は望めず、超LSI対応のクラス10のクリーン
ルームのスペース効率の問題からプローブ装置の小型化
が要望されている。

本発明は上記点を改善するためになされたもので、テス
トヘッドをスムーズに平面内でスライド移動可能にし、
プローブカード等の交換、保守点検が容易に行えるプロ
ーブ装置を提供するものである。

〔発明の構成〕

（問題を解決するための手段） この発明は、被測定体の電極部にプローブカードに設け
られた測定端を電気的に接触させてテストヘッドにより
電気特性を測定するプローブ装置において、上記テスト
ヘッドを測定に際しスライド搬送機構により移動させる
手段とを具備してなることを特徴とするプローブ装置を
得るものである。

（作用） 本発明プローブ装置では、テストヘッドを測定に際しス
ライド搬送機構により移動させる手段とを具備している
ことにより、テストヘッド収納部を小型化しクリーンル
ームのスペース効率の向上による有効活用を実現する効
果が得られる。

（実施例） 次に本発明プローブ装置を半導体ウエハプローバに適用
した実施例を図を参照して説明する。

ウエハプローバは被測定体であるウエハ（１）を収納し
た状態のカセットをカセット収納部に搬入し、この収納
部からウエハ（１）を一枚づつ取出し、オリフラ合わせ
後測定ステージ（２）上に搬送する。この搬送されたウ
エハ（１）をオリフラなどを基準に微細位置合わせした
のち、プローブカード（３）に配線されて導通してい
る、前もって決められた電圧・電流・信号を出力した
り、デバイスからの電圧・電流・信号などを入力する基
板例えばピンエレクトロニクスボード（４）が構成され
ているテストヘッド（５）を上面部に設置する。そして
下方から測定ステージ（２）がプローブカード（３）に
自動的にウエハ（１）上にソフトランディングし、自動
的に検査を開始する構成になっている。又、この自動工
程を実行するために連続工程に先だちティーチング操作
を行なう。

次にプローブカード（３）とテストヘッド（５）との導
通方法について説明する。

第１図に示すように、テストヘッド（５）内部に構成さ
れているドライバー，コンパレーターを含んだピンエレ
クトロニクスボード（４）と基板（６）を配線（７）
し、基板（６）の下方にポゴピン（８）を設ける。配線
（７），基板（６），ポゴピン（８）はテストヘッド
（５）に取付けられている。又、インサートリング
（９）にコンタクトボード（10）とプローブカードソケ
ット（11）を配線（12）しプローブカードソケット（1
1）とプローブカード（３）を接触させたものを設置し
ている。上記ポゴピン（８）とコンタクトボード（10）
を接触させるとプローブカード（３）とテストヘッド
（５）は導通する。

又ポゴピン（８）とコンタクトボード（10）の接触方法
は第２図に示すように、インサートリング（９）内部に
コンタクトボード（10）とプローブカードソケット（1
1）との間に直径10mmのシリンダ（20）を設けそのシリ
ンダ（20）とプローバ内部に設けられたエアー機構（2
1）を結びエアーの強弱を調整することにより、コンタ
クトボード（10）の上下動例えば20mmを制御する。コン
タクトボード（10）を上状態にした時コンタクトボード
（10）とポゴピン（８）は接触する。又この上状態の時
配線（12）が切れないように20mm程度余裕をもたす。

次にテストヘッド（５）を移動させるスライド搬送機構
を説明する。

上記コンタクトボード（10）を下状態にしポゴピン
（８）とコンタクトボード（10）を非接触にする。この
非接触にしたのは、テストヘッド（５）のスライド搬送
の際コンタクトボード（10）とポゴピン（８）を保護し
損障を与えないためである。第３図に示めすようにテス
トヘッド（５）の幅例えば410mmの間隔のスライド搬送
機構としてのガイドレール（13）２本をプローバ上面に
70mmの間隔を持たせて設置する。このガイドレール（1
3）にテストヘッド（５）を保持させガイドレール（1
3）上をスライド可能なようにテストヘッド（５）の側
面にガイドレール（13）に合った突起（14）を前面、後
面に夫々２箇所設ける。この突起をガイドレール（13）
上を滑走させることによりテストヘッド（５）はスライ
ド搬送可能となる。このガイドレール（13）はプローバ
筐体上面コーナー部（15）でプローバ側面に設置されて
いるエアシリンダ（16）と接続しており、すなわち操作
者によりテストヘッド（５）をコーナー部（15）までス
ライドさせ、ここから、プローバ筐体側面下部に設けら
れたテストヘッド収納部（17）まではエアシリンダ（1
6）により自動搬送する仕組みになっている。又、テス
トヘッド収納部（17）にはクッション（18）が設けられ
ており、テストヘッド収納動作の際のテストヘッド
（５）の保安は保証されている。さらにテストヘッド
（５）を収納部（17）よりコーナー部（15）へエアシリ
ンダ（16）により自動搬送し、コーナー部（15）より測
定位置へ操作者によりスライド搬送させる際、測定位置
の位置決めが容易なように、接触型のスイッチ（19）を
セットしておき測定位置でスライドが終わるようにす
る。

上記実施例では、スライド搬送機構にガイドレールを使
用したがテストヘッドをスライド可能に構成するものな
ら何れでも良い。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、テストヘッドを測定に際
しスライド搬送機構により移動させる手段とを具備して
いることにより、プローブカード等の交換、保守点検の
際にテストヘッドを横方向にスライドしてインサートリ
ングから退避させることができ、保守点検、修理が容易
に行え、またスライド搬送機構によって重量物であるテ
ストヘッドを容易に移動できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するためのプローブカ
ードにテストヘッドを設置した状態の側面図、第２図は
第１図のコンタクトボードの下状態の図、第３図は本発
明一実施例を説明するためのテストヘッドの取付け図、
第４図はガイドレールの側面図である。 ２……測定ステージ、３……プローブカード ５……テストヘッド、９……インサートリング 10……コンタクトボード、13……ガイドレール 14……突起、16……エアシリンダ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定ステージに載置された被測定体の電極
   部にプローブカードに設けられた測定端を電気的に接触
   させてテストヘッドにより電気特性を測定するプローブ
   装置において、 プローバ本体の内部に、下面に前記プローブカードを有
   し、上面にコンタクトボードを有したインサートリング
   を設け、 前記プローバ本体の上部に同プローバ本体の左右方向に
   亘ってスライド搬送機構を設け、 このスライド搬送機構に前記テストヘッドを支持し、同
   テストヘッドを前記インサートリングから退避可能に前
   記プローバ本体の側面方向にスライド自在にしたことを
   特徴とするプローバ装置。