JPH0629189A

JPH0629189A - 投影式露光装置およびその方法並びに照明光学装置

Info

Publication number: JPH0629189A
Application number: JP4184962A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Shibata; 行広芝田; Yoshitada Oshida; 良忠押田; Minoru Noguchi; 稔野口
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1992-07-13
Filing date: 1992-07-13
Publication date: 1994-02-04

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】パターンの露光、検査および表示において用い
る照明光の指向性や照度分布を対象とするパターンの形
状や寸法に応じて変化可能とし、対象とするパターンが
代わってもそのパターンに最適な照明でパターンの露
光、検査および表示を行う。【構成】投影式露光装置、パターン検査装置等に用いら
れる照明光学系として、光源２４から出射した光を光フ
ァイバーを束ねた光ファイバー束１の入射端に集め、こ
の光ファイバー束１の入射端を複数の小光ファイバー束
に分岐し、この複数の小光ファイバー束端の相対的な位
置を小光ファイバー束相対位置可変機構１０によって、
棒状レンズ５００に入射する光束の径を制御する。【効果】比較的簡単な構成で、かつ光の損失を生じるこ
となく照明光の指向性を照度分布を一様に保ち変化させ
ることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体の投影式露光装置
等に用いられる露光照明の方法及び装置に係り、特に露
光や検出を行うパターンの寸法や形状、或いはマスクま
たはレチクルやウェハの種類に応じて照明光の指向性を
制御し、最適な状態でパターン露光やパターン検出を可
能にする投影式露光装置およびその方法並びに照明光学
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路のパターン微細化は光の
波長に近いパターン幅に迫るほどに進んできている。光
に変わる露光方法として、Ｘ線或いは電子線による方法
も開発が進められているが、需要の大きいメモリ等では
短時間で多数の集積回路チップが露光できる光露光に比
べ量産性が劣り、安価なメモリーを大量に生産すること
が難しい。このような状況下で、近年、従来のｉ線縮小
投影露光装置（ｉ線ステッパ）に用いるマスクあるいは
レチクル上のパターンに位相シフト部を設け、従来使用
されていた通常のレチクルに比べパターンの解像度を大
幅に向上させる技術の開発が進められている。またこの
ような特殊なレチクルを用いなくても、特開昭６１−９
１６６２号に記載されているように、レチクルに照射す
る照明光が縮小投影レンズの入射瞳上で輪帯状になるよ
うにし、レチクル透過光の高い空間周波数成分が露光結
像レンズの入射瞳を通過する様にすることにより、パタ
ーンの解像度を向上させる技術の開発も進められてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような解像度向上
方法を用いようとするとき、従来用いていた半導体露光
装置（ｉ線ステッパ）をそのまま用いると、レチクルを
照明する照明光の照明指向性を示すいわゆるσの値（σ
＝露光結像レンズの瞳径に対する照明光のこの瞳上での
広がりの比）が上記の解像度向上方法で最適とされる照
明指向性を示すσ値と一致しないという課題を有してい
た。

【０００４】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決すべく、各種の解像度向上方法に対し最適となる照明
光を容易に選択制御し、かつ露光光源から発する露光光
を無駄することなく利用できるようにした投影式露光装
置およびその方法並びに照明光学装置を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、露光光源と、該露光光源より出射した光
をマスクまたはレチクルに照射せしめるべく、前記露光
光源より出射した光が入射される入射面を有する複数の
光ファイバーを束ねた光ファイバー束部と該光ファイバ
ー束部から分岐され、出射面を有する複数個の小さい束
の小光ファイバー束部とから構成された光ファイバーを
備えた照明光学系と、該照明光学系により照明されてマ
スクまたはレチクルを通過した光を被露光物体上にマス
クまたはレチクルのパターン像として投影せしめる投影
露光系とを備えたことを特徴とする投影式露光装置であ
る。即ち、本発明は、投影式露光装置において、露光光
源より出射した光を集めて複数の光ファイバーを束ねた
光ファイバー束部の一方の入射面に照射し、この光ファ
イバー束部を分岐して複数個の小さい束の小光ファイバ
ー束部を有するように照明光学系を構成する。そしてこ
の光ファイバーの複数の小光ファイバー束部から出射し
た光をマスクまたはレチクルの被照射物体に照射する
際、この複数の小光ファイバー束部の各出射面の相対的
位置を制御可能に構成する。

【０００６】また本発明は、前記投影式露光装置におい
て、前記照明光学系の光ファイバーの出射端と集光発散
光学系の入射面とが光学的に共役な関係になるようにし
たことにある。また本発明は、前記投影式露光装置にお
いて、前記照明光学系の光ファイバーに入射する光の光
束を、屈折あるいは反射により変形させる変形光学手段
を備えたことにある。また本発明は、前記投影式露光装
置において、前記照明光学系の集光発散光学系に入射す
る光の光束を、屈折あるいは反射により変形させる変形
光学手段を備えたことにある。また本発明は、前記投影
式露光装置において前記光ファイバーは、前記変形光学
手段により変形させられた照明光の傾きを十分透過可能
であるＮＡ（開口比）を有することにある。また本発明
は、前記投影式露光装置において、前記集光発散光学系
は、前記変形光学手段により変形させられた照明光の傾
きを十分透過可能であるＮＡ（開口比）を有することに
ある。また本発明は、前記投影式露光装置において前記
照明光学系の光ファイバーの出射面と前記集光発散光学
系の入射面を光学的にケーラー照明、又は光学的に無限
遠の関係にする光学手段を備えたことにある。

【０００７】また本発明は、露光光源より出射した光
を、入射面を有する複数の光ファイバーを束ねた光ファ
イバー束部と該光ファイバー束部から分岐され、出射面
を有する複数個の小さい束の小光ファイバー束部とから
構成された光ファイバーの前記入射面に入射し、前記光
ファイバの前記出射面から出射された光を、集光発散光
学系により特定角度成分の光を集光して発散させてマス
クまたはレチクルに照射せしめ、該マスクまたはレチク
ルを透過した光を投影光学系により被露光物体状にマス
ク又はレチクルのパターン像として投影せしめることを
特徴とする投影式露光方法である。

【０００８】また本発明は、光源を設け、該光源より出
射した光を入射させる入射面を有する複数の光ファイバ
ーを束ねた光ファイバー束部と該光ファイバー束部から
分岐され、出射面を有する複数個の小さい束の小光ファ
イバー束部とから構成された光ファイバーを有し、前記
光ファイバから出射された光を入射して特定角度成分の
光を集光して発散させる集光発散光学系を備えたことを
特徴とする照明光学装置である。

【０００９】

【作用】上記の手段を用いることにより、位相シフトレ
チクルの場合に適した指向性の比較的高い、σの小さな
照明にしたり、通常のレチクルで高解像度のパターンを
得るために輪帯照明にしたり、あるいは従来の照明の指
向性にしたりすることが容易に可能となる。さらに上記
手段を用いることにより光源から出射した光を高い利用
効率で被露光物体に照射させることが可能となる。

【００１０】

【実施例】以下本発明を図面に基づいて詳細に説明す
る。

【００１１】図１は本発明の露光照明装置２を示す一実
施例である。水銀ランプ２４から発した光は楕円面鏡２
５で反射され、所望の露光波長である例えばｉ線を反射
する波長選択ミラー２６で反射された後に光ファイバー
束の入射面Ａ−Ａに入射する。束ねられた光ファイバー
１は入射端からある距離離れたところから複数の小光フ
ァイバー１１に分岐される。例えば、光ファイバー１本
の径は約０．２ｍｍ程度で、束ねたものの径は約３０ｍ
ｍ程度である。そして前記分岐された複数の小光ファイ
バー束１１の出射面は、相対位置制御手段１０により、
小光ファイバー束出射面Ｂ−Ｂ内で相対的な位置を変え
られる。小光ファイバー束１１を出射した光は集光発散
光学系である棒状レンズ５００に入射する。集光発散光
学系である棒状レンズ群５００に入射する光の光束径
は、小光ファイバ束１１により変更が可能であるため、
棒状レンズ群５００の出射面付近に形成される２次光源
の形状や大きさを任意に設定することが可能となり、照
明のパーシャルコヒーレンシーσを容易に、しかも光の
利用効率を低下させることなく変更することが可能とな
る。棒状レンズ群５００を射出した光は、通常の半導体
露光装置で用いられる照明系と同様にアウトプットレン
ズ２２を通過した後コンデンサレンズ２３を通り被露光
物体であるレチクル３を照明する。

【００１２】図２は、図１に示す露光照明装置２におい
て、上記相対位置制御手段（小光ファイバ束相対位置可
変機構）１０を用いて、小光ファイバ束１１の相対位置
を変化させた場合の出射面の状態を示した図である。こ
のように小光ファイバーの相対位置を変化させることに
よって棒状レンズ群５００に入射する光の光束径を変更
することが可能となる。これに伴って、棒状レンズ群５
００の射出面付近に形成される２次光源の大きさを任意
に変更することができ、照明のパーシャルコヒーレンシ
ーσを自由に設定することが可能となり、しかも露光光
の損失が低いため照明効率の高い照明光学系となる。そ
こで、例えば通常のレチクルの場合には、σ＝０．６程
度に、また位相シフタレチクルを用いる場合にはσ＝
０．４程度になるように上記相対位置制御手段１０によ
り、小光ファイバー束出射面Ｂ−Ｂ内で相対的な位置を
変える。

【００１３】図３は、図１に示す露光照明装置２におい
て、小光ファイバー束１１の出射面Ｂ−Ｂと集光発散光
学系である棒状レンズ５００の入射面を無限遠の位置に
設定するため、光学レンズ５１７の前側焦点位置に小光
ファイバー束１１の出射面を配置し、後側焦点位置に棒
状レンズ５００の入射面を設定したものである。即ち、
光学レンズ５１７により小光ファイバー束１１の出射面
Ｂ−Ｂと集光発散光学系である棒状レンズ５００の入射
面を無限遠の位置関係にすればよい。他の構成は図１と
同様である。これにより、棒状レンズ群５００に入射す
る光の強度は均一となるため、被露光物体であるレチク
ル３を均一に照明することが可能となる。

【００１４】図４は、図１に示す露光照明装置２におい
て、光ファイバー１の入射面Ａ−Ａに入射する光束の径
を光の反射を利用して変形させる屈折変形機構５１０を
配置した場合を示した図である。水銀ランプ２４から発
した光は楕円面鏡２５で反射され光ファイバー１に入射
する。このとき、テーパのついた穴の内面が高反射率で
あるミラーを光ファイバー入射面に配置することによ
り、光ファイバー１の周辺部に入射すべき光を中心部に
入射させることが可能となり、小光ファイバー束１１の
射出光は中心部のみで得られ、棒状レンズ群５００に入
射する光も中心部だけとなる。従って、集光発散光学系
である棒状レンズ群５００の射出面付近に形成される２
次光源も棒状レンズ群５００の中心部のみに形成され、
照明光を損失させることなくパーシャルコヒーレンシー
σを変更することが可能である。また、光ファイバー１
の入射面Ａ−Ａに入射する光束の径を光の屈折を利用し
て変形させる屈折変形機構５２０を配置することによ
り、照明光を損失させることなくパーシャルコヒーレン
シーσを変更することも可能である。

【００１５】図５は、図１に示す露光照明装置２におい
て、反射変形機構５１０を用いて、光ファイバー１（５
１１）に入射する光束の径を変更させた場合を示した図
である。例えば、図５（ａ）に示すように、反射変形機
構５１０を配置させない場合は光ファイバー１の全面に
光が入射するように光学設計する。この光学系において
図５（ｂ）に示すように、中心部に円錐状の光束の反射
変形鏡５１２を配置させると、中心部に集まる光は周辺
部に反射されて輪帯状の光束として光ファイバー１（５
１１）ヘ入射する。またこの光学系において図５（ｃ）
に示すように、周辺部に円錐筒状の光束の反射変形鏡５
１３を配置させると、周辺部に集まる光は中心部に反射
されて円状の光束として光ファイバー１（５１１）ヘ入
射する。また、光ファイバー１に入射する光束の径を任
意に変更するためには、反射変形鏡５１２、５１３のテ
ーパを適正である値に設定すれば良い。

【００１６】図６は、図１に示す露光照明装置２におい
て、屈折変形機構５２０を用いて、光ファイバー１に入
射する光束の径を変更させた場合を示した図である。例
えば、図６（ａ）に示すように、屈折変形機構５２０を
配置させない場合は光ファイバー１の全面に光が入射す
るように光学設計する。この光学系において図６（ｂ）
に示すように、光ファイバー１にプリズム５２１を配置
させると、中心部に集まる光は周辺部に屈折され、光軸
に対して傾いた光線を平行にさせるレンズを透過して光
ファイバー１に入射する。これにより、光ファイバー１
に入射する光束は周辺部のみとなり、照明光を損失する
ことなく輪帯状の光束が得られる。また、図６（ｃ）に
示すように、プリズム５２１の替わりに光束を圧縮させ
る作用をもつレンズ５２２を配置させることにより、周
辺部に集まる光を屈折させて中心部に円状の光束として
光ファイバー１へ入射させることが可能となる。なお、
光ファイバー１に入射する光束の径を任意に変更するた
めには、レンズ５２２の焦点距離を適正である値に設定
すれば良い。

【００１７】以上に示した光束を変形させる手段である
反射変形鏡５１２及び５１３並びにプリズム５２１及び
レンズ５２２は、光ファイバー１の入射面において有効
であるが、集光発散光学系である棒状レンズ５００の入
射面に配置しても同様の効果が得られ、光ファイバー１
あるいは棒状レンズ５００の入射面のどちらに配置して
も良い。

【００１８】図７は、反射変形機構５１０あるいは屈折
変形機構５２０を配置させると、光束の傾きが大きくな
り、棒状レンズ５００の透過可能である傾き以上になる
ため、光に損失が生じる恐れが大きくなるが、この問題
を防ぐ手段を示した実施例である。図７（ａ）に示すご
とく、反射変形機構５１０あるいは屈折変形機構５２０
を配置させない場合は、光線の最大入射角度はα₁であ
り、通常の棒状レンズ５０１はＮＡ（開口数）＝ｓｉｎ
α₁で表される開口数で設計されている。しかし、反射
変形機構５１０あるいは屈折変形機構５２０を配置させ
ると光束の傾きが大きくなり、最大入射角度はα₂と大
きくなるため、図７（ｂ）に示すごとく、通常の棒状レ
ンズ５０１では入射面で反射するなどの損失が生じ、光
の利用効率が低下する。この対策として、棒状レンズ群
５００の個々の棒状レンズ５０２をＮＡ（開口数）＝ｓ
ｉｎα₂で表される開口数で設計することにより、光の
損失を防ぐことが可能である。但し、棒状レンズ群５０
０の開口数を変更させることにより、アウトプットレン
ズ２２及びコンデンサレンズ２３についても設計変更す
る必要がある。

【００１９】図８は本発明の変形照明手段を備えた投影
式露光装置を示した図である。水銀ランプ２４より発し
た例えばｉ線の光は光ファイバー１に入射して射出面よ
り射出して、レンズ５１６により屈折して棒状レンズ群
５００に入射する。レンズ５１６は光ファイバー１の射
出面と棒状レンズ５００群の入射面を共役な位置関係に
設定する作用を有している。棒状レンズ５００群の入射
面には反射変形機構５１０あるいは屈折変形機構５２０
が配置されており、棒状レンズ５００群の出射面付近に
形成される２次光源の形状を変形させる。２次光源より
発散する光はコンデンサレンズ２３を透過してレチクル
３を均一にケーラー照明して、縮小投影レンズ４の入射
瞳４１の位置に２次光源像２００を結像する。縮小投影
レンズ４の入射瞳４１の径Ｄに対して、入射瞳４１の位
置に形成される２次光源像２００の径ｄの比で表される
照明のパーシャルコヒーレンシーσは任意に設定するこ
とが可能となる。露光照明系２を最適な光学条件に設定
後は、レチクル３に形成された回路パターンと、ウエハ
５に前の露光工程で既に転写されているパターンとの位
置合せを行うため、測長用のレーザビーム６０及びウエ
ハ駆動ステージ６を用いて、ウエハチャック５１に吸着
されたウエハ５を駆動する。

【００２０】図９は本発明の変形照明手段を備えた投影
式露光装置を示した図である。水銀ランプ２４より発し
た例えばｉ線の光は光ファイバー１に入射して射出面よ
り射出して、レンズ５１６により屈折して棒状レンズ群
５００に入射する。レンズ５１６は光ファイバー１の射
出面と棒状レンズ群５００の入射面を共役な位置関係に
設定する作用を有している。光ファイバー１の入射面に
は反射変形機構５１０あるいは屈折変形機構５２０が配
置されており、棒状レンズ群５００の出射面付近に形成
される２次光源の形状を変形させる。これにより、縮小
投影レンズ４の入射瞳４１の径Ｄに対して、入射瞳４１
の位置に形成される２次光源像２００の径ｄの比で表さ
れる照明のパーシャルコヒーレンシーσは任意に設定す
ることが可能となる。

【００２１】図１０に光ファイバー１の射出面から棒状
レンズ群５００の入射面までの光路中に３枚のレンズを
配置して、棒状レンズ群５００に入射する光束の径を任
意に変更するズームレンズ機構５３０を配置した例を示
す。光ファイバー１側から１枚目のレンズの焦点距離を
ｆ₁、２枚目のレンズの焦点距離をｆ₂、３枚目のレンズの
焦点距離をｆ₃、光ファイバー１の射出面の径をｄ₁、棒
状レンズ５００に入射する光束の径をｄ₂とした場合、
図１０に示す式を満たすようにｆ₁及びｆ₂の焦点距離を
持つレンズを光軸と平行に移動させることにより、棒状
レンズ５００に入射する光束の径を任意に変更すること
が可能となる。これにより、光を損失させることなく、
照明のパーシャルコヒーレンシーσを任意に変更するこ
とが可能となる。しかも、この光学系では棒状レンズ５
００の入射面が均一に照明されるケーラー照明の位置に
なっており、被露光物体であるレチクル３をより均一に
照明することができる。

【００２２】図１１にズームレンズ機構５３０を搭載し
た投影式露光装置の実施例を示す。水銀ランプ２４より
発した例えばｉ線の光は光ファイバー１に入射して射出
面より射出して、ズームレンズ機構５３０により屈折し
て棒状レンズ群５００に入射する。ズームレンズ機構５
３０は棒状レンズ群５００に入射する光束の径を任意に
変更する作用を有しており、棒状レンズ５００の出射面
付近に形成される２次光源の形状を変形させる。これに
より、縮小投影レンズ４の入射瞳４１の径Ｄに対して、
入射瞳４１の位置に形成される２次光源像２００の径ｄ
の比で表される照明のパ−シャルコヒ−レンシ−σは任
意に設定することが可能となる。

【００２３】なお、光源として、前記実施例において
は、水銀ランプ２４から発した光は楕円面鏡２５で反射
され、所望の露光波長である例えばｉ線を波長選択ミラ
ー２６で反射させるものを示したが、これに限定される
ものではなく、例えば、エキシマレーザ光源で構成して
も良いことは明かである。

【００２４】また、前記実施例で説明した照明光学系
は、パターンの露光は勿論のこと、パターンの検査ある
いは表示棟等に用いる照明光学系に適用することができ
ることは明かである。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、光の利用効率を低下さ
せることなく所望の照明指向性あるいは照明光分布を実
現できる効果を奏する。

【００２６】また本発明によれば、比較的簡単な構成
で、かつ光の損失を生じることなく照明光の指向性を照
度分布を一様に保ち変化させることが可能となり、１つ
の露光装置、あるいは検査装置や表示装置で各種の対象
パターンに対し、最適な照明を、効率よく実現でき、こ
のため、露光装置、検査装置、あるいは表示装置の解像
性能の大幅な向上と共に、これら装置に用いる光源の低
出力化、または露光装置と検査装置にあっては高スルー
プット可が実現できる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光照明系を備えた投影式露光装置の
実施例を示した図である。

【図２】図１に示す小光ファイバー束の相対位置を変化
させた場合の説明図である。

【図３】本発明の露光照明系を備えた投影式露光装置の
実施例を示す図である。

【図４】本発明の変形照明手段を備えた投影式露光装置
の実施例を示す図である。

【図５】本発明に係る反射を利用した変形照明手段の実
施例を示した図である。

【図６】本発明に係る屈折を利用した変形照明手段の実
施例を示した図である。

【図７】本発明に係る棒状レンズの適正化を示すための
説明図である。

【図８】本発明の変形照明手段を備えた投影式露光装置
の実施例を示した図である。

【図９】本発明の変形照明手段を備えた投影式露光装置
の実施例を示した図である。

【図１０】本発明のレンズを用いた変形照明手段の実施
例を示した図である。

【図１１】本発明の変形照明手段を備えた投影式露光装
置の実施例を示した図である。

【符号の説明】

１…光ファイバ−、２…照明光学系、３…レチクル、４
…縮小レンズ、１０…小光ファイバ束、２４…水銀ラン
プ、５００…棒状レンズ群、５１０…反射変形機構、５
２０…屈折変形機構、５３０…ズ−ムレンズ機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光光源と、該露光光源より出射した光を
マスクまたはレチクルに照射せしめるべく、前記露光光
源より出射した光が入射される入射面を有する複数の光
ファイバーを束ねた光ファイバー束部と該光ファイバー
束部から分岐され、出射面を有する複数個の小さい束の
小光ファイバー束部とから構成された光ファイバーを有
し、前記光ファイバから出射された光を入射して特定角
度成分の光を集光して発散させる集光発散光学系を備え
た照明光学系と、該照明光学系により照明されてマスク
またはレチクルを透過した光を被露光物体状にマスク又
はレチクルのパターン像として投影せしめる投影光学系
とを備えたことを特徴とする投影式露光装置。
【請求項２】前記照明光学系に、さらに前記小光ファイ
バー束部の出射面の相対的位置を制御する制御手段を備
えたことを特徴とする請求項１記載の投影式露光装置。
【請求項３】前記照明光学系の光ファイバーの出射端と
集光発散光学系の入射面とが光学的に共役な関係である
ことを特徴とする請求項１記載の投影式露光装置。
【請求項４】前記照明光学系の光ファイバーに入射する
光の光束を、屈折あるいは反射により変形させる変形光
学手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の投影式
露光装置。
【請求項５】前記照明光学系の集光発散光学系に入射す
る光の光束を、屈折あるいは反射により変形させる変形
光学手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の投影
式露光装置。
【請求項６】前記光ファイバーは、前記変形光学手段に
より変形させられた照明光の傾きを十分透過可能である
ＮＡ（開口比）を有することを特徴とする請求項４記載
の投影式露光装置。
【請求項７】前記集光発散光学系は、前記変形光学手段
により変形させられた照明光の傾きを十分透過可能であ
るＮＡ（開口比）を有することを特徴とする請求項５記
載の投影式露光装置。
【請求項８】前記照明光学系の光ファイバーの出射面と
前記集光発散光学系の入射面を光学的にケーラー照明、
又は光学的に無限遠の関係にする光学手段を備えたこと
を特徴とする請求項１記載の投影式露光装置。
【請求項９】前記照明光学系の光ファイバーを出射した
光束の径を変形させて、前記集光発散光学系に入射させ
る変形手段を備えたことを特徴とする請求項８記載の投
影式露光装置。
【請求項１０】前記照明光学系の集光発散光学系に入射
する光の光束を、屈折あるいは反射により変形させる変
形光学手段を備えたことを特徴とする請求項８記載の投
影式露光装置。
【請求項１１】前記集光発散光学系は棒状レンズで形成
したことを特徴とする請求項１又は２又は３又は５又は
７又は８又は９又は１０記載の投影式露光装置。
【請求項１２】露光光源より出射した光を、入射面を有
する複数の光ファイバーを束ねた光ファイバー束部と該
光ファイバー束部から分岐され、出射面を有する複数個
の小さい束の小光ファイバー束部とから構成された光フ
ァイバーの前記入射面に入射し、前記光ファイバの前記
出射面から出射された光を、集光発散光学系により特定
角度成分の光を集光して発散させてマスクまたはレチク
ルに照射せしめ、該マスクまたはレチクルを透過した光
を投影光学系により被露光物体状にマスク又はレチクル
のパターン像として投影せしめることを特徴とする投影
式露光方法。
【請求項１３】光源を設け、該光源より出射した光を入
射させる入射面を有する複数の光ファイバーを束ねた光
ファイバー束部と該光ファイバー束部から分岐され、出
射面を有する複数個の小さい束の小光ファイバー束部と
から構成された光ファイバーを有し、前記光ファイバか
ら出射された光を入射して特定角度成分の光を集光して
発散させる集光発散光学系を備えたことを特徴とする照
明光学装置。
【請求項１４】更に前記小光ファイバー束部の出射面の
相対的位置を制御する制御手段を備えたことを特徴とす
る請求項１３記載の照明光学装置。
【請求項１５】前記光ファイバーの出射端と集光発散光
学系の入射面とが光学的に共役な関係であることを特徴
とする請求項１３記載の照明光学装置。
【請求項１６】前記光ファイバーに入射する光の光束
を、屈折あるいは反射により変形させる変形光学手段を
備えたことを特徴とする請求項１３記載の照明光学装
置。
【請求項１７】前記集光発散光学系に入射する光の光束
を、屈折あるいは反射により変形させる変形光学手段を
備えたことを特徴とする請求項１３記載の照明光学装
置。
【請求項１８】前記光ファイバーの出射面と前記集光発
散光学系の入射面を光学的にケーラー照明、又は光学的
に無限遠の関係にする光学手段を備えたことを特徴とす
る請求項１３記載の照明光学装置。
【請求項１９】前記光ファイバーを出射した光束の径を
変形させて、前記集光発散光学系に入射させる変形手段
を備えたことを特徴とする請求項１８記載の照明光学装
置。
【請求項２０】前記集光発散光学系に入射する光の光束
を、屈折あるいは反射により変形させる変形光学手段を
備えたことを特徴とする請求項１８記載の照明光学装
置。
【請求項２１】前記集光発散光学系は棒状レンズで形成
したことを特徴とする請求項１３記載の照明光学装置。