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JPH0527261B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0527261B2
JPH0527261B2 JP58236154A JP23615483A JPH0527261B2 JP H0527261 B2 JPH0527261 B2 JP H0527261B2 JP 58236154 A JP58236154 A JP 58236154A JP 23615483 A JP23615483 A JP 23615483A JP H0527261 B2 JPH0527261 B2 JP H0527261B2
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JP
Japan
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guide
resin
lead
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leads
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JP58236154A
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Masao Yamaguchi
Nobukatsu Tanaka
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to GB08429620A priority patent/GB2151845A/en
Priority to KR1019840007370A priority patent/KR930007518B1/ko
Publication of JPS60128646A publication Critical patent/JPS60128646A/ja
Publication of JPH0527261B2 publication Critical patent/JPH0527261B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、絶縁型パワートランジスタの製造方
法に関するものである。
〔背景技術〕
レジンバツケージ型半導体装置(トランジス
タ)の一つとして、電子材料、1981年11月号、42
〜46頁にも記載されているように、絶縁型のパワ
ートランジスタが知られている。このトランジス
タは、放熱用のヘツダの主面に半導体素子(チツ
プ)が固定されるとともに、ヘツダの上面および
下面さらにはヘツダに設けられた取付孔内周面が
レジンで被われた構造となつている。ヘツダの下
面のレジンは熱抵抗が大きくならないように極め
て薄く形成されている。
しかし、このような絶縁型のパワートランジス
タはヘツダに連る細いガイド(フレーム支え)端
部がレジンハツケージから突出するため、電子機
器等に組み込んだ場合、隣接する電子部品等の導
電体部分にこのガイド端部が近接すると、放電を
生じるおそれがあり、高密度実装ができにくくな
るという問題が生じることが、本発明者によつて
あきらかとされた。
また、前記ガイドは、レジンモールド後のリー
ドフレームの一部を切断してリードフレームの枠
部からレジンパツケージを切り離す際に、ガイド
の突出長さを短かくするために、切断箇所はでき
るだけレジンパツケージの外表面に近接した位置
が選ばれる。この結果、切断時の外力がこのガイ
ドに大きく加わることから、レジンパツケージを
形作るレジンとガイドとの界面にクラツクが入
り、耐湿性が低下するという問題も生じるという
ことが本発明者によつてあきらかとされた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、他の導体物に近接して実装が
できる高耐圧の絶縁型パワートランジスタの製造
方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、絶縁型パワートランジス
タの取付板とガイドの絶縁が維持され、高電圧使
用でも放電が起きなくすることが可能な技術を提
供することにある。
本発明の他の目的は、耐湿性の優れた絶縁型パ
ワートランジスタの製造方法を提供することにあ
る。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な
特徴は、本明細書の記述および添付図面からあき
らかになるであろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。
すなわち、本発明の絶縁型パワートランジスタ
の製造方法は、その製造に用いられるリードフレ
ームの枠部に連るガイドの分断箇所に、あらかじ
めV字溝をその幅員全域に亘つて設けておくこと
から、レジンモールド時にヘツダの下面と同一側
となるガイド下面および側面をもレジンで被つて
も、枠部等を上方に突き上げることによつて、ガ
イドをレジン上に載る分断箇所で応力集中を利用
して容易かつ確実に分断することができる。この
結果、本発明のトランジスタはガイドの下面およ
び側面には絶縁効果の大きいレジンが存在し、か
つガイドの先端はレジンパツケージの周面よりも
内側に深く引つこんでいることから、トランジス
タ実装時の取付板とガイドとの絶縁が維持され、
高電圧使用でも放電が起きなくなり、耐圧向上が
図れる。
また、本発明のトランジスタは、リードフレー
ムからのガイドの分断が、ガイドの分断箇所に設
けられたくびれ部分を利用して分断されるため、
ガイドには大きな応力は加わらず、レジンとガイ
ドとの密着性は良好な状態が維持されることから
耐湿性の向上が達成できる。
〔実施例〕
第1図a〜dは本発明の一実施例による絶縁型
パワートランジスタの製造方法を示す斜視図およ
び断面図である。
本実施例の絶縁型パワートランジスタは第1図
dに示すように、略矩形のレジンパツケージ(樹
脂封止パツケージ)1と、このレジンパツケージ
1の一端面から突出する3本のリード2とからな
つている。また、レジンパツケージ1にはトラン
ジスタの実装時にねじを挿し込む取付孔3が設け
られている。この取付孔3は絶縁性のレジンパツ
ケージ1によつて形成されている。
つぎに、第1図a〜dを参照しながら、このト
ランジスタの製造方法(組立方法)について説明
しながら、このトランジスタの細部について説明
する。
このトランジスタの組立にあつては、第1図a
に示すようなリードフレーム4が用いられる。こ
のリードフレーム4は放熱性の優れた金属板、た
とえば銅板を精密プレス等でパターニングして形
成される。この金属板は板厚が部分的に異る異形
板となつている。このため、リードフレーム4の
後述するヘツダ5は厚く、その他のヘツダ5の両
端側に延在する、リードフレーム2およびガイド
6等は薄く、かつヘツダ5、リード2、ガイド6
の上面(主面)は同一面となつている。したがつ
て、ガイド6およびリード2の下面はヘツダ5の
下面よりも高い位置にある。これは、リード2が
レジンパツケージ1の中間高さから突出するよう
にするためと、リード2およびガイド6によつて
レジンモールド時にヘツダ5をモールド型のキヤ
ビテイ内に浮かせ、ヘツダ5の下面にもレジンが
流れ込むようにするためである。
つぎに、リードフレーム4の具体的形状につい
て説明する。すなわち、リードフレーム4は細い
枠部7と、この枠部7の一側から平行に延在する
3本のリード2(中央はコレクタ用リード、両側
はエミツタ・ベース用リード)を有している。3
本のリード2は前記枠部7と平行に延在する細い
ダム片8によつて連結されている。
このダム片8はリードフレーム4の取り扱い時
には補強部材の役割を果たし、レジンモールド時
には注入されたレジンの流出を防止するダムの約
割を果たす。両側のリード2の先端部分は部分的
にくびれるとともに、先端は幅広となり、ワイヤ
接続部9を構成している。前記細いくびれは、レ
ジンパツケージ1内にリード2の先端が位置した
際、レジンにワイヤ接続部9が喰い込んで抜けな
いようにするために設けられている。
一方、中央のリード2は厚くかつ幅広のヘツダ
5に連なつている。このヘツダ5はリード2に近
い幅広のチツプ取付部10と、このチツプ取付部
10よりもわずかに幅が狭く中央に貫通孔11を
有する取付孔形成部12とからなつている。この
貫通孔11は前記レジンパツケージ1の取付孔3
よりも直径が大きくなつている。貫通孔11と取
付孔3の間のレジンは取付孔3に挿入するねじと
ヘツダ5との間の絶縁部材となることから、必要
な耐圧に合せて貫通孔11と取付孔3の直径を選
択する必要がある。また、ヘツダ5の取付孔形成
部12側の先端にはダム片8および枠部7と平行
に延在する細いガイド6が設けられている。この
ガイド6の取付孔形成部12側面から外れかつチ
ツプ取付部10の側面の内側に位置するして幅員
に沿つてV字断面の溝13が設けられ応力集中が
生じ易くなつている。
このようなリードフレーム4を用いてトランジ
スタを組立てる場合には、第1図aに示すよう
に、リードフレーム4のチツプ取付部10にチツ
プ(半導体素子)14が固定される。つぎに、チ
ツプ14の電極と所定リード2の先端とはワイヤ
15で電気的に接続される。その後、ダム片8か
ら先端のヘツダ部分はレジンモールドされる。こ
の際、第1図bで示すように、リードフレーム4
は反転状態でモールド型の下型16と上型17間
に挟持されて保持され、キヤビテイ18内にレジ
ン19が注入されることによつて、第1図cに示
すようにレジンパツケージ1で部分的に被われ
る。レジンパツケージ1はリードフレーム4の貫
通孔11に対応する位置に貫通孔11よりも直径
の小さな取付孔3が設けられる必要があることか
ら、この取付孔3に対応する上・下型17,16
部分はキヤビテイとはなつていない。また、ガイ
ド6の溝13が設けられた上面部分は、第1図b
の破線で示すように下型16によつて支えられる
ため、第1図cで示すように、レジンパツケージ
1の隅部に形成された窪み20の底に露出する。
上・下型17,16は逆でもよいが、この実施
例の場合にはガイド6の宙吊り長さが短かくな
り、キヤビテイ内におけるヘツダ5の高さが最も
安定すると考えられる。このレジンモールド時、
トランジスタの熱放散性を良好とするために、ヘ
ツダ5の下面に設けられるレジンの厚さは所望の
絶縁性を維持する範囲でできるだけ薄く、かつ均
一厚さとなるようにする必要がある。
つぎに、第1図cに示すように、レジンパツケ
ージ1の側面から突出するガイド6は矢印で示す
ように、上方に突き上げられ窪み20の壁側に折
り曲げられ、前記壁によつて固定された溝13部
分で応力集中のため分断される。また、リードフ
レーム4の不要部分、すなわち、ダム片8および
枠部7は切断除去され、第1図dに示すようなト
ランジスタが製造される。
〔効果〕
(1) 本発明の絶縁型トランジスタはガイド6の下
面および側面は絶縁性のレジン19で被われて
いる。また、ガイド6の先端はレジンパツケー
ジ1の側面から奥深く内側に引つ込んでいる。
また、ガイド6の上面はレジンパツケージ1の
主たる上面よりも低い窪み20の底面に位置し
ている。この結果、トランジスタを図示しない
導電性の取付板上に載置固定しても、コレクタ
電位と等電位となるガイド6と取付板間には絶
縁性のレジン19が介在しかつガイド6の周面
部分は取付板に対して遮蔽されるため、放電は
起きなくなり、トランジスタの高耐圧化にも充
分対応できる高い絶縁性が達成できる。これに
より、絶縁型パワートランジスタ実装時の取付
板とガイド6との絶縁が維持され高電圧使用で
も放電が起きなくなり、耐圧向上を計ることが
できる。例えば、コンピユータの電源回路に用
いられるものにおいては、絶縁型パワートラン
ジスタのコレクタ電極と同電位にあるガイド6
は、取付板との間に400ボルト程度の電圧が印
加される場合がある。このような場合の電圧に
も耐えることができる。
(2) 上記(1)で示すように、ガイド6の周面はレジ
ンパツケージ1の周面から内方に引つ込んでい
る。このため、トランジスタの実装時レジンパ
ツケージ1の周面に接触するように、他の導電
体を配置しても、この導電体とガイド周面との
間にはレジンあるいは空気による充分な絶縁体
が介在するため、放電は起きなくなり、トラン
ジスタの近接実装による高密度実装化が達成で
きる。
(3) 本発明のトランジスタはその製造時におい
て、レジンモールド後のガイド6の分断は、レ
ジンパツケージ1の窪み20の壁に沿つてその
ガイド6に設けられた応力集中箇所(溝13を
設けた箇所)を利用して行われる。すなわち、
ガイド6をレジンパツケージ1の窪み20の壁
側に向けて折り曲げることで、その壁が押えと
なつて、壁に沿つた溝13のところでガイド6
が分断する。この結果、ガイド6は弱い力によ
つて分断し、ガイド6には大きな応力が加わら
ない。
したがつて、ガイド分断時にガイド6とレジ
ン19との間にクラツク等が入ることもなく、
両者の密着度は高く維持され、トランジスタの
高耐湿性が達成できる。
(4) 従来のカツトパンチ等による剪断を行う場合
には、レジンパツケージ1に接した位置で切断
を行うために、通常の切断ではレジンパツケー
ジ1と切断箇所の間のリードによつて吸収され
る外力が直接にレジンパツケージ1に伝わつて
いたが、本発明では、前述のように折り曲げに
よつて分断するので、ガイド分断時にガイド6
とレジン19との間にクラツク等が入ることも
なく、両者の密着度は高く維持され、トランジ
スタの高耐湿性が達成できる。
(5) 上記(1)〜(4)から、本発明によれば高性能高信
頼性のトランジスタの提供が達成できる。
以上発明者によつてなされた発明を実施例にも
とづき具体的に説明したが、本発明な上記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。第3図に示すような形状のリードフレーム4
を用いて第2図に示すように、レジンパツケージ
1の上面が三段となるように形成したトランジス
タであつても、前記実施例と同様な製造工程を経
て同様な効果が得られる。レジンパツケージ1の
最上面はチツプおよびワイヤ等を被うために必要
であり、最下段の上面は前記実施例と同様にヘツ
ダ5から延在するガイド6のレジンモールド時の
ヘツダ高さ決定の結果生じる。
なお、この実施例では、ガイド6の変形例とし
て溝13を有するガイド6はリード2の延在方向
に沿つて延び、かつその先端は他の枠部21に連
なつている。また、中段の面には取付孔形成部1
2が形成されている。
したがつて、このトランジスタは取付孔3を有
する面がレジンパツケージ1の最上面よりも一段
低くなつていることから、ねじを取り付けた際、
ねじ頭がレジンパツケージ1の最上面よりも突出
しない、あるいはわずかに突出するというように
なることから、実装高さが低くなり、多段状にこ
れらのトランジスタを組み込む電子機器類の背丈
低下が達成できる。
また、この実施例ではリードフレーム4は一枚
の薄い金属板のパターニングおよび段付成形によ
つて形成されている。このため、リードフレーム
4のコストが異形材から製作する場合に比較して
安価となり、トランジスタ製造コストの低減化が
達成できる効果も奏する。
また、前記2つの実施例におけるリードフレー
ム4の溝13は、いずれもヘツダ5のチツプ取付
面側に形成されているが、溝13をチツプ取付面
側でなく、裏面に形成しても前記実施例と同様な
効果が得られる。
〔利用分野〕
以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野である技術
に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、たとえば、ダイオード、集
積回路装置等他の半導体装置にも同様に適用でき
同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図a〜dは本発明の一実施例による絶縁型
パワートランジスタの製造方法を示す斜視図およ
び断面図、第2図は他の実施例による絶縁型パワ
ートランジスタの斜視図、第3図は同じくその製
造に用いられるリードフレームの斜視図である。 1……レジンパツケージ、2……リード、3…
…取付孔、4……リードフレーム、5……ヘツ
ダ、6……ガイド、7……枠部、8……ダム片、
9……ワイヤ接続部、10……チツプ取付部、1
1……貫通孔、12……取付孔形成部、13……
溝、14……チツプ、15……ワイヤ16……下
型、17……上型、18……キヤビテイ、19…
…レジン、20……窪み、21……枠部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 a 枠部7と、この枠部7の一側から平行に
    延在する3本のリード2と、それらリード2に
    連結し、前記枠部7と平行に延在するダム片8
    と、前記3本のリード2の中央に位置したリー
    ド2に連結し、主面にチツプ取付部10及び貫
    通孔11を有する取付孔形成部12とから成る
    ヘツダ5と、前記取付孔形成部12に連結し、
    それぞれの主面に溝13を有する一対のガイド
    6とから成るリードフレーム4を用意する工程
    と、 b 前記チツプ取付部10に半導体チツプ14を
    固定する工程と、 c 前記半導体チツプ14一主面に設けられた電
    極と前記中央リード2の両側に位置したリード
    2の先端とをワイヤ15で接続する工程と、 d モールドすべきリードフレーム4の部分に対
    応して段部をもつたキヤビテイ18を形作るモ
    ールド上下型16,17により、前記モールド
    上下型16,17の一方のモールド型16で前
    記溝13が設けられた一対のガイド6主面を支
    えるようにしてリードフレーム4を挾持し、そ
    のモールド上下型16,17のキヤビテイ18
    内にレジン19を注入し、前記半導体チツプ1
    4、前記ワイヤ15、前記ヘツダ5の一主面と
    は反対の主面を含むヘツダ5全体をレジン19
    でモールドし、前記溝13から先端側のガイド
    6の上面が窪み20の角部において露出するレ
    ジンパツケージ1を形成する工程と、しかる
    後、 e 前記ガイド6を前記窪み20の壁側に向かつ
    て折り曲げ前記ガイド6の溝13において分
    断、および前記リード2に連結する前記ダム片
    8および前記枠部7を切断除去する工程と、か
    らなる絶縁型パワートランジスタの製造方法。
JP58236154A 1983-12-16 1983-12-16 絶縁型パワートランジスタの製造方法 Granted JPS60128646A (ja)

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60172346U (ja) * 1984-04-23 1985-11-15 新電元工業株式会社 樹脂密封型半導体装置
JPS61207040U (ja) * 1985-06-17 1986-12-27
JPS62180957U (ja) * 1986-05-06 1987-11-17
JPH079917B2 (ja) * 1987-05-11 1995-02-01 サンケン電気株式会社 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPH0824156B2 (ja) * 1987-05-25 1996-03-06 サンケン電気株式会社 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPH0744194B2 (ja) * 1989-02-17 1995-05-15 サンケン電気株式会社 樹脂封止形半導体装置の製造方法
US5028741A (en) * 1990-05-24 1991-07-02 Motorola, Inc. High frequency, power semiconductor device
JP3598579B2 (ja) * 1995-04-17 2004-12-08 株式会社デンソー 電磁弁ブロック
US20040113240A1 (en) 2002-10-11 2004-06-17 Wolfgang Hauser An electronic component with a leadframe
JP4953205B2 (ja) * 2007-05-01 2012-06-13 三菱電機株式会社 半導体装置
US11602055B2 (en) 2018-09-04 2023-03-07 Apple Inc. Overmolded components having sub-flush residuals

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57188858A (en) * 1981-05-18 1982-11-19 Matsushita Electronics Corp Plastic molded type semiconductor device
JPS58143538A (ja) * 1982-02-19 1983-08-26 Matsushita Electronics Corp 樹脂封止形半導体装置の製造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS615818Y2 (ja) * 1979-06-07 1986-02-21
US4451973A (en) * 1981-04-28 1984-06-05 Matsushita Electronics Corporation Method for manufacturing a plastic encapsulated semiconductor device and a lead frame therefor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57188858A (en) * 1981-05-18 1982-11-19 Matsushita Electronics Corp Plastic molded type semiconductor device
JPS58143538A (ja) * 1982-02-19 1983-08-26 Matsushita Electronics Corp 樹脂封止形半導体装置の製造方法

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JPS60128646A (ja) 1985-07-09

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