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JPH05206359A - 半導体電子部品及び半導体電子部品の実装方法 - Google Patents

半導体電子部品及び半導体電子部品の実装方法

Info

Publication number
JPH05206359A
JPH05206359A JP4278789A JP27878992A JPH05206359A JP H05206359 A JPH05206359 A JP H05206359A JP 4278789 A JP4278789 A JP 4278789A JP 27878992 A JP27878992 A JP 27878992A JP H05206359 A JPH05206359 A JP H05206359A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solder
electronic component
lead
semiconductor electronic
lead terminals
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4278789A
Other languages
English (en)
Inventor
Junji Nakada
順二 中田
Masakazu Nakazono
正和 中園
Satoru Hara
悟 原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP4278789A priority Critical patent/JPH05206359A/ja
Publication of JPH05206359A publication Critical patent/JPH05206359A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3421Leaded components

Landscapes

  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】はんだ付け不良の発生を防止することが可能な
半導体電子部品を提供することにある。 【構成】多数のリ−ド端子23…を狭ピッチで突出さ
せ、リ−ド端子23…の先端部がプリント配線基板4の
パッド部5にはんだ付けされるQFP21において、リ
−ド端子23の一部を彎曲成形して変形部24を設け、
この変形部24とプリント配線基板4のパッド部5とで
はんだ溜りa、bを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多数のリ−ド端子を狭
ピッチで突出させ、リ−ド端子の先端部がプリント配線
基板等のパッド部にはんだ付けされるQFPやTCP等
の半導体電子部品及びこれの実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図9には半導体電子部品としてのQFP
(Quad Flat Package) 1が示されている。このQFP1
においては、平面矩形状のモ−ルド部2の四つの端面か
らガウウイング状のリ−ド端子3…が狭ピッチで突出し
ている。そして、このQFP1は、現在多くの種類の電
子機器に組込まれている。
【0003】また、同様に矩形状のモ−ルド部を有する
半導体電子部品としてSOP(SmallOut-line Package)
が在り、このSOPにおいてはリ−ド端子が二方向に突
出している。
【0004】実際に使用される電子回路を構成するた
め、上記QFP1を、プリント配線基板やセラミック基
板、もしくは金属基板等の基板に実装する実装手段とし
て、リフロ−はんだ付けが多く採用されている。
【0005】これは、図10に示すように基板4に、予
め、例えば露出した銅箔パタ−ンからなるパッド部5…
(二つのみ図示)を設ける。上記パッド部5に、メタル
マスクあるいはスクリ−ンマスクなどを用いてクリ−ム
はんだ(ソルダペ−ストとも呼ばれる)を印刷(スクリ
−ン印刷と呼ばれる)しておく。
【0006】上記パッド部5に対し、QFP1のリ−ド
端子3…の先端部を押し付ける。QFP1は、クリ−ム
はんだの持つ粘着力によって基板4に仮装着される。こ
の状態から、上記クリ−ムはんだを加熱・溶融させ、積
極的に、もしくは自然的に冷却すると、はんだが凝固し
て、リ−ド端子3…と基板4のパッド部5…とが安定し
た状態で電気的に接続され、実装がなされる。このリフ
ロ−はんだ付け方法は、一括リフロ−はんだ付けと、個
別リフロ−はんだ付けとに区別される。
【0007】一括リフロ−はんだ付けは、必要な全ての
半導体電子部品を基板4に仮装着した状態で、基板4を
丸ごと加熱してはんだを溶かす。加熱工程には、赤外
線、不活性液体の飽和蒸気、もしくは熱風等を用いる。
はんだ付けのスル−プットは比較的高いが、基板4の反
りが生じ易く、耐熱性の低い部品が使えないのが特徴で
ある。
【0008】個別リフロ−はんだ付けは、半導体電子部
品を一個ずつ加熱する方法である。加熱する箇所は、は
んだを塗った部分だけに限定される。一括リフロ−と比
較して、基板4の反りがないことと、耐熱性の低い部品
を使える利点があるが、スル−プットは高くない。
【0009】加熱手段としては、金属性の加熱ツ−ルを
リ−ド端子3に押し当ててからパルス電流を加熱ツ−ル
内のヒ−タに流して加熱するパルスヒ−ト、及び、接続
部位にレ−ザ光を照射して加熱するレ−ザ−リフロ−等
がある。
【0010】なお、上記一括リフロ−はんだ付けで用い
られるクリ−ムはんだは、文字通りクリ−ム状のはんだ
であって、錫(Sn)、鉛(Pb)などのはんだ金属粉
末と、溶剤分に固形分を混ぜたフラックスとからなる。
【0011】はんだ金属や銅箔パタ−ンの表面が酸化さ
れ易く、酸化した状態で接続信頼性が悪化するが、上記
フラックスは、この酸化物を除去する働きがあり、かつ
はんだのダレを防止する作用をなす。
【0012】また、最近は、図11及び図12に示すよ
うなTCP(Tape Carrier Package)11が利用されるよ
うになった。このTCP11は、TAB(Tape Automate
d Bonding)技術を利用して製造された半導体電子部品で
あり、合成樹脂製フィルムから打ち抜かれている。さら
に、TCP11においては、ICチップ12に接続され
た多数のリ−ド端子13…(二つのみ図示)をアウタリ
−ドとして利用しており、これらリ−ド端子13…は四
方向(もしくは二方向)に突出している。
【0013】リ−ド端子13…は合成樹脂製のフィルム
からなるサポ−トリング14によって保持されている。
また、TCP11は、実装の直前にフィルムテ−プから
打抜かれ、この際にリ−ド端子13…がガルウイング状
に成形される。さらに、TCP11は、前述のQFP1
等と同様にはんだ付けによって、基板4に実装される。
【0014】また、一般のTCPには、図11及び図1
2に示すように、ICチップ12をポッティング樹脂1
5によってパッケ−ジングしたタイプのものと、IC1
2をパッケ−ジングしていないもの(図示しない)とが
在る。一般のTCPは、QFP1等のようにモ−ルド部
2を有する半導体電子部品に比べて薄いので、反りを生
じ易い。しかし、ポッティング樹脂15でパッケ−ジン
グすることにより、TCP11の強度が増す。
【0015】パッケ−ジングが施されていないTCPを
QFP1やチップ部品(図示しない)等の半導体電子部
品(以下では、まとめて一般部品と称する)と同一の基
板に実装する場合、TCPを一般部品の後に実装する方
法、いわゆる「後付け」が採用される。
【0016】つまり、パッケ−ジングされていないTC
Pは反り易いので、実装の前にリ−ド端子13…を矯正
する必要がある。したがって、TCPを一般部品と一括
リフロ−はんだ付けすることはできなかった。そして、
TCPを後付けする場合には、一般部品のための実装機
の他にTCP専用の実装機を付設し、リ−ド端子の補正
工程を追加する必要があった。
【0017】これに対し、図11のTCP11において
はパッケ−ジングが施されているので、剛性が高く、反
りが少ない。そして、このTCP11の出現によって、
TCP11と一般部品との一括リフロ−はんだ付けが可
能になった。また、TCPには、リ−ド端子13に補強
板を重ねたタイプのものも在る。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のQF
P1等のリ−ド端子3…の形状は、先端部がやや八の字
に開いているか、或いはフラットであるのが普通であ
る。この状態では、次のような問題がある。
【0019】図10に示すようにQFP1を基板4に実
装するとき、モ−ルド部2を上から押さえ付けるため、
リ−ド端子3…先端部のエッジや、ここに形成されるバ
リで基板4のパッド部5…の表面である銅箔パタ−ン面
を傷付ける恐れがある。
【0020】一般に多用される基板4は、−30°Cか
ら+60°C程度の環境下で使用されることもあり、こ
のような環境下では、銅箔パタ−ン面に傷があると、そ
の部分に熱膨脹による伸びや応力が集中して、導体の断
線に至る。
【0021】また、QFP1は、基板4に実装する以前
は、パレットに梱包され、運搬、輸送されて実装現場に
搬入される。リ−ド端子3…の先端部が、やや八の字状
に開いていたり、或いはフラットであったりすると、先
端部エッジがパレットに接触し易く、その結果、リ−ド
端子3…に曲り変形が生じる。
【0022】リ−ド端子3…の先端部の曲り変形が著し
い(0.1〜0.3mm)と、基板4に実装する際にリ
−ド端子3…の先端部が基板4のパッド部5から浮い
て、互いの接続不良の原因となるオ−プン不良を生じ
る。
【0023】特に、QFP1のような多端子・狭ピッチ
の半導体電子部品は、上述したようなリフロ−方式によ
る接続手段が多用されているところから、接続不良が発
生すると、作業者の手によるはんだ付け修正を行わざる
を得ない。このような手によるはんだ付け作業は、品質
のばらつきを生じ易くし、コストアップに繋がる不具合
となる。
【0024】また、リ−ド端子3…の先端部が八の字状
に開いていると、リフロ−はんだ付けしたとき、パッド
部5…上の溶融したはんだが少ない状態になって、正常
なフレットを形成することができない。そのため、充分
な接続強度が保証されなくなる。
【0025】多端子・狭ピッチの半導体電子部品におい
ては、リ−ド間隔が狭いため、凝固したはんだの間隔も
小さい。例えば、リ−ド端子3…のピッチが0.5mm
のQFPでは、はんだの間隔が0.1mm程度になる。
表面張力や毛細管現象等の作用によってリ−ド端子3…
の一箇所(根元側)にはんだが多く集まると、隣接する
リ−ド端子3,3相互間にはんだが渡る現象、即ちはん
だブリッジが生じ易くなる。そして、このはんだブリッ
ジは回路の短絡の原因となる。
【0026】また、図11及び図12のTCP11で
は、QFP1等の半導体電子部品に比べて更にリ−ドピ
ッチが狭く、リ−ド数が多い。このため、QFP1等の
場合よりも、クリ−ムはんだの供給が難しい。
【0027】通常、クリ−ムはんだは、メタルマスクを
用いて印刷されたり、ディスペンサから吐出されたりす
る。印刷の場合、印刷回数が増すにしたがって、クリ−
ムはんだの「だれ」や「滲み」が多くなる。また、TC
P11の実装においては、多少のはんだ量の変化(ばら
つき)がはんだ付け不良の原因となる。特に、クリ−ム
はんだ供給後の「だれ」や「滲み」は、はんだブリッジ
やはんだボ−ルの発生の原因になる。したがって、TC
P11を実装する際には、クリ−ムはんだのだれや滲み
を防止することが重要である。本発明の目的とするとこ
ろは、はんだ付け不良の発生を防止することが可能な半
導体電子部品を提供することにある。
【0028】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために請求項1の発明は、多数のリ−ド端子を狭
ピッチで突出させ、リ−ド端子の先端部がプリント配線
基板等のパッドにはんだ付けされる半導体電子部品にお
いて、リ−ド端子の一部を彎曲成形して変形部を設け、
この変形部とプリント配線基板のパッド部とではんだ溜
りを形成する半導体電子部品にある。
【0029】また、請求項2の発明は、半導体電子部品
のリ−ド端子をプリント配線基板のパッド部にリフロ−
はんだ付けする半導体電子部品の実装方法において、上
記半導体電子部品のリ−ド端子に彎曲した変形部を設け
るリ−ドフォ−ミング工程と、上記変形部と上記パッド
部との間に溶融したはんだを吸収してはんだ溜りを形成
しながら上記リ−ド端子を上記パッド部にはんだ付けす
るはんだ付け工程と備えた半導体電子部品の実装方法に
ある。そして、請求項1及び請求項2の発明は、半導体
電子部品のはんだ付け不良の発生を防止できるようにし
た。
【0030】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図1〜図8に基づ
いて説明する。
【0031】図1は本発明の第1実施例を示しており、
図中の符号21は半導体電子部品としてのQFP(Quad
Flat Package) である。このQFP21は、モ−ルド部
22から多数のリ−ド端子23…(二つのみ図示)が狭
ピッチで突出していて、基本的な構造は、従来のものと
同様である。
【0032】ただし、上記リ−ド端子23…の先端部
は、ここでは上方に凹状に彎曲形成した変形部24が形
成される。QFP21を製造するとき、リ−ドフレ−ム
から電子部品を打ち抜いてリ−ドフォ−ミングする工程
がある。このとき金型を用いてU字状にリ−ドフォ−ミ
ングすることにより、上記変形部24を得る。
【0033】あるいは、後述するように、このQFP2
1をプリント配線基板(以下、基板と称する)4に実装
する直前に、金型を用いてリ−ド端子23…のみをフォ
−ミングし、変形部24を得るようにしてもよい。変形
部24のU字状の部分の曲率半径は、0.05〜1.5
mmの範囲に設定するとよく、好ましくは、0.1mm
にするとよい。
【0034】このようなQFP21をプリント配線基板
4に実装する際に、パッケ−ジを上から押さえ付けて
も、基板4に設けられる銅箔パタ−ン面であるパッド部
5表面を、ここに接続されるリ−ド端子23…が傷付け
ることがない。
【0035】すなわち、変形部24は、その曲成頂部の
みをパッド部5に接触させるので、リ−ド端子23の先
端部のエッジが銅箔パタ−ン面に接触しない。したがっ
て、パッド部5を傷付けずにすむ。
【0036】リ−ド端子23…とパッド部5…とをはん
だ付けすると、溶融したはんだがリ−ド端子23の変形
部24の根元側および先端側に溜って、ほぼ均一なはん
だ溜りa,bを形成する。
【0037】その結果、リ−ド端子23とパッド部5と
の間において、はんだ量の偏りが少なくなり、互いの接
合強度を高めることができる。そして、互いの接合が確
実になり、オ−プン不良が発生しにくくなる。
【0038】さらに、リ−ド端子23の根元側であるモ
−ルド部22の基端側にはんだが多く集まることもな
く、狭ピッチリ−ドのものであっても、はんだブリッジ
不良の発生を防止できる。
【0039】なお、変形部24は全てのリ−ド端子23
に形成することに限定されない。たとえば、同列のリ−
ド端子23…に対して1本おきに変形部24を設けて
も、ブリッジ不良の発生率を従来のものよりも大幅に低
減できる。
【0040】図2は本発明の第2実施例を示している。
図2に示すように、QFP31のリ−ド端子33…の先
端に波形状の変形部34が形成されている。この波形状
の凹凸の曲率半径を0.01〜0.3mm程度とする。
【0041】上記リ−ド端子33…をパッド部5にはん
だ付けした状態で、変形部34の基端側と、中間部およ
び先端側との3か所にはんだ溜りc,d,eが形成され
て、はんだの偏りを防止する。
【0042】したがって、さらに確実にブリッジ不良を
防止するとともに接合強度を高められ、リ−ド端子33
…の見掛け上の断面係数を高くすることができて、リ−
ド端子33…の曲りを防止し、温度等の環境変化や、経
時変化によりはんだが劣化する速度を低減できる。
【0043】図3は本発明の第3実施例を示している。
図3に示すように、QFP41のリ−ド端子43…の先
端が凹状に形成されているとともに、この端部だけを反
対方向に折り返して、変形部44が形成されている。こ
の場合、特に、リ−ド端子43…の最先端側のはんだ溜
りfが、第1実施例のQFP31よりも確実に形成され
る。
【0044】図4及び図5は本発明の第4実施例を示し
ており、図中の符号51は半導体電子部品としてのTC
P(Tape Carrier Package)である。このTCP51にお
いては、ICチップ52の上面(素子形成面)に多数の
リ−ド端子53…(二つのみ図示)が接続されており、
ICチップ52はポッティング樹脂54によって覆われ
ている。
【0045】また、TCP51は、リ−ド端子53…は
四方向に突出している。また、リ−ド端子53…は、樹
脂樹脂製のフィルムからなるサポ−トリング55によっ
て保持されている。そして、このリ−ド端子53…はア
ウタリ−ドとして利用される。
【0046】リ−ド端子53…の先端部には、ここでは
上方にU字状に彎曲した変形部56が形成される。そし
て、リ−ド端子53…は基板4のパッド部5…にはんだ
付けされている。図6(a)及び(b)には、リ−ド端
子53…をフォ−ミングする金型61が示されている。
【0047】この金型61は上型62と下型63とを有
している。さらに、上型62は、内型64と外型65と
により構成されており、内型64と外型65とは、図示
しないスプリング等によって弾性的に保持されている。
また、内型64と外型65との間には曲げポンチ66と
切断ポンチ67とが設けられている。曲げポンチ66と
切断ポンチ67とは、図6(a)中の矢印A,Bで示す
ように個別に上下する。
【0048】下型63にはサポ−トリング用の凹陥部6
8、68と変形部形成用の凹陥部69とが設けられてい
る。そして、変形部形成用の凹陥部69と曲げポンチ6
6及び切断ポンチ67とは互いに対応する位置関係にあ
る。
【0049】上型62と下型63との間にリ−ドフレ−
ム70が挟まれ、サポ−トリング55、55は、下型6
3に形成された凹陥部68、68に収容される。さら
に、切断ポンチ67が図6(a)中に示すように下降し
てリ−ドフレ−ム70を切断し、互いに分離したリ−ド
端子53…を作製する。こののち、図6(b)に示すよ
うに曲げポンチ66が下降し、リ−ド端子53…を下型
63の凹陥部69に押し付けて変形部55を作製する。
このようにして作製されたTCP51は図7(a)〜
(d)に示すようにして基板4に実装される。
【0050】まず、図7(b)に示すように、基板4上
のパッド部5…にクリ−ムはんだ71…が供給される。
クリ−ムはんだ71…の供給は、メタルマスク、或い
は、ディスペンサ等を用いて行われる。さらに、同図
(c)に示すように、リ−ドフォ−ミングを終えたTC
P51が、第1実施例のQFP21やチップ部品72等
の一般部品の供給とともに、所定のパッド部5…上に載
せられる。
【0051】こののち、図7(d)に示すように、熱風
リフロ−により基板4へ向けて熱風73が吹き付けら
れ、クリ−ムはんだ71…が再溶融し、TCP51及び
一般部品がはんだ付けされる。ここで、TCP51や一
般部品のはんだ付けに、遠赤外リフロ−を利用してもよ
い。
【0052】クリ−ムはんだ71…の供給量は通常より
も多く設定される。それは、未はんだ(はんだが少なく
はんだ付けが十分になされていない状態)を防止するた
めである。はんだ付け後の検査工程においては、未はん
だの発見は、はんだブリッジの発見よりも困難である。
【0053】クリ−ムはんだ71は各パッド部5…に幾
分過剰に供給され、各クリ−ムはんだ71には許容量以
上のはんだが含まれる。しかし、許容量を越えた分のは
んだは、溶融すると図5に示すように変形部55の両側
に沿って立ち上がり、リ−ド端子53の先端側と根元側
に吸収される。そして、リ−ド端子53の先端側と根元
側にはんだ溜りg,hが形成される。
【0054】したがって、許容量を越えた分のはんだが
隣のリ−ド端子53の側へ流れることを防止でき、はん
だブリッジやはんだボ−ルが発生しにくくなる。そし
て、はんだ付け不良の発生を防止することができ、TC
P51を確実に実装することができる。なお、はんだク
リ−ム71を溶融させるために、熱風やレ−ザを利用し
た局部加熱方式を採用してもよい。
【0055】また、本発明は、図8に示すようにリ−ド
端子53を補強板74で補強したタイプのTCP75に
も適用可能である。ここで、補強板の材質には金属或い
は合成樹脂が採用されており、補強板74の厚さは0.
2〜1.0mmである。なお、この場合にはフォ−ミン
グ用の金型に、補強板との干渉を避けるための凹陥部を
形成する必要がある。
【0056】
【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明は、多
数のリ−ド端子を狭ピッチで突出させ、リ−ド端子の先
端部がプリント配線基板等のパッドにはんだ付けされる
半導体電子部品において、リ−ド端子の一部を彎曲成形
して変形部を設け、この変形部とプリント配線基板のパ
ッド部とではんだ溜りを形成する。
【0057】また、請求項2の発明は、半導体電子部品
のリ−ド端子をプリント配線基板のパッド部にリフロ−
はんだ付けする半導体電子部品の実装方法において、上
記半導体電子部品のリ−ド端子に彎曲した変形部を設け
るリ−ドフォ−ミング工程と、上記変形部と上記パッド
部との間に溶融したはんだを吸収してはんだ溜りを形成
しながら上記リ−ド端子を上記パッド部にはんだ付けす
るはんだ付け工程と備えた。そして、請求項1及び請求
項2の発明は、半導体電子部品のはんだ付け不良の発生
を防止できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例のQFPを示す図。
【図2】本発明の第2実施例のQFPを示す図。
【図3】本発明の第3実施例のQFPを示す図。
【図4】本発明の第4実施例のTCPを示す図。
【図5】リ−ド端子の変形部を拡大して示す図。
【図6】(a)及び(b)はリ−ドフォ−ミング工程を
順に示す図。
【図7】(a)〜(d)はTCPの実装工程を順に示す
図。
【図8】第4実施例の変形例を示す図。
【図9】従来のQFPを示す斜視図。
【図10】従来のQFPが基板に実装された状態を示す
図。
【図11】従来のTCPが基板に実装された状態を示す
図。
【図12】従来のTCPの要部を拡大して示す図。
【符号の説明】
4…プリント配線基板、5…パッド部、21…QFP
(半導体電子部品)、23…リ−ド端子、24…変形
部、a,b…はんだ溜り、51…TCP(半導体部
品)、53…リ−ド端子、56…変形部、g,h…はん
だ溜り。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多数のリ−ド端子を狭ピッチで突出さ
    せ、上記リ−ド端子の先端部がプリント配線基板のパッ
    ド部にはんだ付けされる半導体電子部品において、上記
    リ−ド端子の一部を彎曲成形して変形部を設け、この変
    形部と上記プリント配線基板の上記パッド部とではんだ
    溜りを形成することを特徴とする半導体電子部品。
  2. 【請求項2】 半導体電子部品のリ−ド端子をプリント
    配線基板のパッド部にリフロ−はんだ付けする半導体電
    子部品の実装方法において、上記半導体電子部品のリ−
    ド端子に彎曲した変形部を設けるリ−ドフォ−ミング工
    程と、上記変形部と上記パッド部との間に溶融したはん
    だを吸収してはんだ溜りを形成しながら上記リ−ド端子
    を上記パッド部にはんだ付けするはんだ付け工程と備え
    た半導体電子部品の実装方法。
JP4278789A 1991-10-16 1992-10-16 半導体電子部品及び半導体電子部品の実装方法 Pending JPH05206359A (ja)

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