JPH05157006A - エンジンの排熱回収装置 - Google Patents
エンジンの排熱回収装置Info
- Publication number
- JPH05157006A JPH05157006A JP3342266A JP34226691A JPH05157006A JP H05157006 A JPH05157006 A JP H05157006A JP 3342266 A JP3342266 A JP 3342266A JP 34226691 A JP34226691 A JP 34226691A JP H05157006 A JPH05157006 A JP H05157006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- engine
- exhaust heat
- passage
- heat recovery
- engine cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/12—Improving ICE efficiencies
Landscapes
- Heat-Pump Type And Storage Water Heaters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エンジンの排熱を回収する装置を簡素な構成
で小型に造る。 【構成】 エンジン2のウォータジャケット8と排気熱
吸収用熱交換器9のエンジン冷却液流路9aと排熱回収
用の第1放熱部4aとを直列循環状に接続して排熱回収
路4を構成する。その第1放熱部4aを貯湯槽6内に設
ける。上記の排熱回収路4の戻り路15に対してエンジ
ン冷却路5を並列に接続する。そのエンジン冷却路5に
第2放熱部5aを設ける。上記の戻り路15と上記エン
ジン冷却路5との分岐部分にサーモスタット式バルブ1
9を設ける。そのバルブ19は、上記の戻り路15内の
エンジン冷却液が設定温度以上になった時に、そのエン
ジン冷却液を第2放熱部5aへ供給する。
で小型に造る。 【構成】 エンジン2のウォータジャケット8と排気熱
吸収用熱交換器9のエンジン冷却液流路9aと排熱回収
用の第1放熱部4aとを直列循環状に接続して排熱回収
路4を構成する。その第1放熱部4aを貯湯槽6内に設
ける。上記の排熱回収路4の戻り路15に対してエンジ
ン冷却路5を並列に接続する。そのエンジン冷却路5に
第2放熱部5aを設ける。上記の戻り路15と上記エン
ジン冷却路5との分岐部分にサーモスタット式バルブ1
9を設ける。そのバルブ19は、上記の戻り路15内の
エンジン冷却液が設定温度以上になった時に、そのエン
ジン冷却液を第2放熱部5aへ供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、エンジンの排熱を回
収する装置に関する。
収する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の排熱回収装置には、本出願人が
先に提案した特開平2−191808号公報に示すもの
がある。これは、図3に示すように、次のように構成さ
れている。
先に提案した特開平2−191808号公報に示すもの
がある。これは、図3に示すように、次のように構成さ
れている。
【0003】エンジン2のウォータジャケット8と排気
熱吸収用熱交換器9のエンジン冷却液流路9aと第1放
熱部4aとエンジン冷却液循環ポンプ10とを直列循環
状に接続して排熱回収路4を構成する。その第1放熱部
4aに対してエンジン冷却路5を並列に接続して、その
エンジン冷却路5にラジエータからなる第2放熱部5a
を設ける。符号29は、電動式の可変分流弁である。上
記の第1放熱部4aを排熱回収用熱交換器30内に設け
る。その熱交換器30の熱回収流路31と貯湯槽6と水
道水循環ポンプ32とを直列循環状に接続して、その循
環ポンプ32を温度スイッチ33とコントローラ34と
で運転制御する。
熱吸収用熱交換器9のエンジン冷却液流路9aと第1放
熱部4aとエンジン冷却液循環ポンプ10とを直列循環
状に接続して排熱回収路4を構成する。その第1放熱部
4aに対してエンジン冷却路5を並列に接続して、その
エンジン冷却路5にラジエータからなる第2放熱部5a
を設ける。符号29は、電動式の可変分流弁である。上
記の第1放熱部4aを排熱回収用熱交換器30内に設け
る。その熱交換器30の熱回収流路31と貯湯槽6と水
道水循環ポンプ32とを直列循環状に接続して、その循
環ポンプ32を温度スイッチ33とコントローラ34と
で運転制御する。
【0004】そして、排熱回収路4に設けた温度スイッ
チ36とコントローラ37とによって前記の可変分流弁
29の分流率を調節して、エンジン冷却液の第1放熱部
4aへの供給量と第2放熱部5aへの供給量とを制御す
るのである。
チ36とコントローラ37とによって前記の可変分流弁
29の分流率を調節して、エンジン冷却液の第1放熱部
4aへの供給量と第2放熱部5aへの供給量とを制御す
るのである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】排熱回収装置は、排熱
回収用熱交換器30と貯湯槽6と水道水循環ポンプ32
とが必要なので、複雑な構成で大型である。また、温度
スイッチ33による水道水循環ポンプ32の運転タイミ
ングと、別の温度スイッチ36による可変分流弁29の
分流率の調節とが個別に制御されているので、貯湯槽6
の給湯温度の変動幅が大きい。
回収用熱交換器30と貯湯槽6と水道水循環ポンプ32
とが必要なので、複雑な構成で大型である。また、温度
スイッチ33による水道水循環ポンプ32の運転タイミ
ングと、別の温度スイッチ36による可変分流弁29の
分流率の調節とが個別に制御されているので、貯湯槽6
の給湯温度の変動幅が大きい。
【0006】上記の問題を解決するため、本発明者は、
本発明に先立って、上記の従来例を次のように改良した
ものを考えた。これは、図2に示すように、第1放熱部
4aを貯湯槽6内に設けるとともに、その貯湯槽6の温
度スイッチ36でコントローラ37を介して可変分流弁
29の分流率を調節するように構成したものである。な
お、上記の可変分流弁29に代えて、排熱回収路4とエ
ンジン冷却路5との分岐部分に2つの電磁弁を設けても
よい。
本発明に先立って、上記の従来例を次のように改良した
ものを考えた。これは、図2に示すように、第1放熱部
4aを貯湯槽6内に設けるとともに、その貯湯槽6の温
度スイッチ36でコントローラ37を介して可変分流弁
29の分流率を調節するように構成したものである。な
お、上記の可変分流弁29に代えて、排熱回収路4とエ
ンジン冷却路5との分岐部分に2つの電磁弁を設けても
よい。
【0007】上記の先発明例は、図3の従来例から排熱
回収熱交換器30と水道水循環ポンプ32とを省略して
排熱回収装置を簡素な構成で小型に造れるうえ、給湯用
温度スイッチ36によってコントローラ37を介して可
変分流弁29又は2つの電磁弁を直接に調節するので時
間遅れがなくなり、貯湯槽6の給湯温度の変動幅も小さ
くなる。
回収熱交換器30と水道水循環ポンプ32とを省略して
排熱回収装置を簡素な構成で小型に造れるうえ、給湯用
温度スイッチ36によってコントローラ37を介して可
変分流弁29又は2つの電磁弁を直接に調節するので時
間遅れがなくなり、貯湯槽6の給湯温度の変動幅も小さ
くなる。
【0008】しかし、上記の可変分流弁29(又は2つ
の電磁弁)とコントローラ37とが高価であることか
ら、排熱回収装置の構成を簡素化するうえでは改善の余
地が残されていた。本発明は、前記の従来例と上記の先
発明例の問題点を全て解決することを目的とする。
の電磁弁)とコントローラ37とが高価であることか
ら、排熱回収装置の構成を簡素化するうえでは改善の余
地が残されていた。本発明は、前記の従来例と上記の先
発明例の問題点を全て解決することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、エンジンの排熱回収装置を次のように構
成した。
成するために、エンジンの排熱回収装置を次のように構
成した。
【0010】例えば図1に示すように、エンジン2の排
熱発生部Aと排熱回収用第1放熱部4aとで排熱回収路
4を構成して、その排熱回収路4とエンジン冷却路5の
第2放熱部5aとへエンジン冷却液を循環可能に構成し
たエンジンの排熱回収装置において、上記の第1放熱部
4aを貯湯槽6内に設け、上記の排熱回収路4の戻り路
15に対して上記エンジン冷却路5を並列に設け、その
戻り路15内のエンジン冷却液温度が設定温度以上にな
った時に開弁するサーモスタット式バルブ19を上記の
エンジン冷却路5に設けたものである。
熱発生部Aと排熱回収用第1放熱部4aとで排熱回収路
4を構成して、その排熱回収路4とエンジン冷却路5の
第2放熱部5aとへエンジン冷却液を循環可能に構成し
たエンジンの排熱回収装置において、上記の第1放熱部
4aを貯湯槽6内に設け、上記の排熱回収路4の戻り路
15に対して上記エンジン冷却路5を並列に設け、その
戻り路15内のエンジン冷却液温度が設定温度以上にな
った時に開弁するサーモスタット式バルブ19を上記の
エンジン冷却路5に設けたものである。
【0011】
【作用】本発明は、例えば図1に示すように、次のよう
に作用する。排熱回収路4の戻り路15を流れるエンジ
ン冷却液の温度が設定温度未満の場合には、サーモスタ
ット式バルブ19が閉じられたままであり、そのエンジ
ン冷却液は、排熱発生部A・第1放熱部4a・戻り路1
5の経路で循環される。
に作用する。排熱回収路4の戻り路15を流れるエンジ
ン冷却液の温度が設定温度未満の場合には、サーモスタ
ット式バルブ19が閉じられたままであり、そのエンジ
ン冷却液は、排熱発生部A・第1放熱部4a・戻り路1
5の経路で循環される。
【0012】貯湯槽6の給湯量が減少して第1放熱部4
aからの放熱量が少なくなると、エンジン冷却液の温度
が次第に上昇していく。その温度が設定温度に到達する
と、上記サーモスタット式バルブ19が開いて、エンジ
ン冷却液を第2放熱部5aへ循環させてここから放熱さ
せる。これにより、エンジン冷却液の温度が異常に上昇
するのを防止する。
aからの放熱量が少なくなると、エンジン冷却液の温度
が次第に上昇していく。その温度が設定温度に到達する
と、上記サーモスタット式バルブ19が開いて、エンジ
ン冷却液を第2放熱部5aへ循環させてここから放熱さ
せる。これにより、エンジン冷却液の温度が異常に上昇
するのを防止する。
【0013】上記の状態において、貯湯槽6の給湯量が
増加して第1放熱部4aからの放熱量が多くなると、エ
ンジン冷却液の温度が次第に下降していく。その温度が
設定温度未満になると、上記サーモスタット式バルブ1
9が閉じて第2放熱部5aからの放熱を停止する。これ
により、エンジン冷却液の温度が異常に低下するのを防
止する。以上により、エンジン冷却液の温度が所定範囲
内に保たれるのである。
増加して第1放熱部4aからの放熱量が多くなると、エ
ンジン冷却液の温度が次第に下降していく。その温度が
設定温度未満になると、上記サーモスタット式バルブ1
9が閉じて第2放熱部5aからの放熱を停止する。これ
により、エンジン冷却液の温度が異常に低下するのを防
止する。以上により、エンジン冷却液の温度が所定範囲
内に保たれるのである。
【0014】
【発明の効果】本発明は、上記のように構成され作用す
ることから次の効果を奏する。従来例の装置から排熱回
収熱交換器と水道水循環ポンプとを省略できるうえ、可
変分流弁(又は2つの電磁弁)及びそのコントローラをも
省略できるので、排熱回収装置を簡素な構成で小型に造
れる。また、サーモスタット式バルブの開閉によってエ
ンジン冷却液の放熱量を直接に制御できるので、制御の
時間遅れが少なくなり、貯湯槽での給湯温度の変動幅が
小さい。
ることから次の効果を奏する。従来例の装置から排熱回
収熱交換器と水道水循環ポンプとを省略できるうえ、可
変分流弁(又は2つの電磁弁)及びそのコントローラをも
省略できるので、排熱回収装置を簡素な構成で小型に造
れる。また、サーモスタット式バルブの開閉によってエ
ンジン冷却液の放熱量を直接に制御できるので、制御の
時間遅れが少なくなり、貯湯槽での給湯温度の変動幅が
小さい。
【0015】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1で説明する。
コージェネレーション装置1は、液冷式ガスエンジン2
・発電機3・排熱回収路4・エンジン冷却路5を備え
る。エンジン2で発電機3を駆動すると、発電機3によ
って電力を供給すると同時に、エンジン2の排熱をエン
ジン冷却液を介して貯湯槽6内の水道水に回収するよう
になっている。
コージェネレーション装置1は、液冷式ガスエンジン2
・発電機3・排熱回収路4・エンジン冷却路5を備え
る。エンジン2で発電機3を駆動すると、発電機3によ
って電力を供給すると同時に、エンジン2の排熱をエン
ジン冷却液を介して貯湯槽6内の水道水に回収するよう
になっている。
【0016】上記の貯湯槽6から取り出される温水量が
減少して、排熱回収路4の第1放熱部4aでの放熱量が
少なくなると、エンジン冷却液の温度が上昇していく。
その液温が設定値以上になると、エンジン冷却液をエン
ジン冷却路5の第2放熱部5aからも放熱させて、エン
ジン冷却液の液温を所定の範囲内に保つように構成して
ある。
減少して、排熱回収路4の第1放熱部4aでの放熱量が
少なくなると、エンジン冷却液の温度が上昇していく。
その液温が設定値以上になると、エンジン冷却液をエン
ジン冷却路5の第2放熱部5aからも放熱させて、エン
ジン冷却液の液温を所定の範囲内に保つように構成して
ある。
【0017】上記の排熱回収路4は、エンジン2のウォ
ータジャケット8と排気熱吸収用熱交換器9のエンジン
冷却液流路9aと貯湯槽6内の第1放熱部4aとエンジ
ン冷却液循環ポンプ10とを順に接続して構成される。
なお、エンジン2の排気ガスは、排気熱吸収用熱交換器
9の排気ガス流路9bからマフラ11を経て外部に排出
される。
ータジャケット8と排気熱吸収用熱交換器9のエンジン
冷却液流路9aと貯湯槽6内の第1放熱部4aとエンジ
ン冷却液循環ポンプ10とを順に接続して構成される。
なお、エンジン2の排気ガスは、排気熱吸収用熱交換器
9の排気ガス流路9bからマフラ11を経て外部に排出
される。
【0018】そして、ウォータジャケット8で温度上昇
したエンジン冷却液は、排気熱吸収用熱交換器9のエン
ジン冷却液流路9aを通過する間に排気熱を吸収してさ
らに温度上昇し、その後、第1放熱部4aを通過する間
に貯湯槽6内の水道水へ放熱して、ウォータジャケット
8へ戻される。上記ウォータジャケット8と排気熱吸収
用熱交換器9のエンジン冷却液流路9aとで排熱発生部
Aが構成される。
したエンジン冷却液は、排気熱吸収用熱交換器9のエン
ジン冷却液流路9aを通過する間に排気熱を吸収してさ
らに温度上昇し、その後、第1放熱部4aを通過する間
に貯湯槽6内の水道水へ放熱して、ウォータジャケット
8へ戻される。上記ウォータジャケット8と排気熱吸収
用熱交換器9のエンジン冷却液流路9aとで排熱発生部
Aが構成される。
【0019】なお、排気熱吸収用熱交換器9のエンジン
冷却液流路9aの出口は、サーモスタット式バルブ13
を介して循環ポンプ10の入口に接続される。このサー
モスタット式バルブ13は、エンジン2の冷機始動時で
エンジン冷却液の温度が設定温度(ここでは摂氏80度)
未満の場合には、そのエンジン冷却液をバイパス路14
から循環ポンプ10へバイパスさせてエンジン2を早期
に暖めるるとともに、そのエンジン冷却液温度が設定温
度(同上の摂氏80度)以上となった場合に、エンジン冷
却液を排熱回収回路4へ送るように構成される。
冷却液流路9aの出口は、サーモスタット式バルブ13
を介して循環ポンプ10の入口に接続される。このサー
モスタット式バルブ13は、エンジン2の冷機始動時で
エンジン冷却液の温度が設定温度(ここでは摂氏80度)
未満の場合には、そのエンジン冷却液をバイパス路14
から循環ポンプ10へバイパスさせてエンジン2を早期
に暖めるるとともに、そのエンジン冷却液温度が設定温
度(同上の摂氏80度)以上となった場合に、エンジン冷
却液を排熱回収回路4へ送るように構成される。
【0020】前記エンジン冷却路5は、上記の排熱回収
路4の戻り路15と並列に設けられる。このエンジン冷
却路5にラジエータからなる第2放熱部5aが設けら
れ、その第2放熱部5aにラジエータファン17が対面
される。上記エンジン冷却路5の入口と上記の戻り路1
5の始端との分岐部分に、別のサーモスタット式バルブ
19が設けられる。このサーモスタット式バルブ19の
バルブ本体は、エンジン冷却路5の入口に設けられる。
路4の戻り路15と並列に設けられる。このエンジン冷
却路5にラジエータからなる第2放熱部5aが設けら
れ、その第2放熱部5aにラジエータファン17が対面
される。上記エンジン冷却路5の入口と上記の戻り路1
5の始端との分岐部分に、別のサーモスタット式バルブ
19が設けられる。このサーモスタット式バルブ19の
バルブ本体は、エンジン冷却路5の入口に設けられる。
【0021】上記サーモスタット式バルブ19は、上記
の戻り路15内のエンジン冷却液温度が設定温度(ここ
では摂氏90度)未満の場合には、エンジン冷却路5を
閉じて戻り路15へエンジン冷却液を送るのに対して、
そのエンジン冷却液温度が設定温度(同上の摂氏90度)
以上となった場合に、エンジン冷却路5を開いてエンジ
ン冷却液をエンジン冷却路5へ送るように構成される。
の戻り路15内のエンジン冷却液温度が設定温度(ここ
では摂氏90度)未満の場合には、エンジン冷却路5を
閉じて戻り路15へエンジン冷却液を送るのに対して、
そのエンジン冷却液温度が設定温度(同上の摂氏90度)
以上となった場合に、エンジン冷却路5を開いてエンジ
ン冷却液をエンジン冷却路5へ送るように構成される。
【0022】なお、ラジエータファン17は、温度スイ
ッチ21で運転制御されるが、その温度スイッチ21に
代えてフロースイッチを用いてもよい。
ッチ21で運転制御されるが、その温度スイッチ21に
代えてフロースイッチを用いてもよい。
【0023】上記の実施例は次のように変更できる。サ
ーモスタット式バルブ19は、エンジン冷却路5の入口
と戻り路15の始端との分岐部分に設けることに代え
て、エンジン冷却路5の出口と戻り路15の終端との分
岐部分に設けることも可能である。
ーモスタット式バルブ19は、エンジン冷却路5の入口
と戻り路15の始端との分岐部分に設けることに代え
て、エンジン冷却路5の出口と戻り路15の終端との分
岐部分に設けることも可能である。
【0024】また、そのサーモスタット式バルブ19の
バルブ部分をエンジン冷却路5の途中部に設けるととも
に感熱部分を戻り路15に設けて、これらバルブ部分と
感熱部分とをキャピラリで接続することも可能である。
バルブ部分をエンジン冷却路5の途中部に設けるととも
に感熱部分を戻り路15に設けて、これらバルブ部分と
感熱部分とをキャピラリで接続することも可能である。
【0025】さらに、上記サーモスタット式バルブ19
は、エンジン冷却路5と戻り路15とに開弁用設定温度
が異なるバルブ本体をそれぞれ設けたものであってもよ
い。
は、エンジン冷却路5と戻り路15とに開弁用設定温度
が異なるバルブ本体をそれぞれ設けたものであってもよ
い。
【0026】エンジン冷却液循環ポンプ10は、エンジ
ン2と第1放熱部4aとの間に設けることも可能であ
る。排熱発生部Aは、排気熱吸収用熱交換器9のエンジ
ン冷却液流路9aとウォータジャケット8とを並列に接
続して構成することも可能であり、これら両者9a・8
のうちのいずれか一方だけ設けることも可能である。
ン2と第1放熱部4aとの間に設けることも可能であ
る。排熱発生部Aは、排気熱吸収用熱交換器9のエンジ
ン冷却液流路9aとウォータジャケット8とを並列に接
続して構成することも可能であり、これら両者9a・8
のうちのいずれか一方だけ設けることも可能である。
【0027】エンジン2は、ガスエンジンに代えて、ガ
ソリンエンジンやディーゼルエンジンであってもよい。
貯湯槽6から取り出される液体は、水道水に限定される
ものでなく、他の液体であってもよい。
ソリンエンジンやディーゼルエンジンであってもよい。
貯湯槽6から取り出される液体は、水道水に限定される
ものでなく、他の液体であってもよい。
【図1】本発明の一実施例の系統図である。
【図2】先発明例の系統図である。
【図3】従来例の系統図である。
2…エンジン、4…排熱回収路、4a…第1放熱部、5
…エンジン冷却路、5a…第2放熱部、6…貯湯槽、15
…戻り路、19…サーモスタット式バルブ、A…排熱発
生部。
…エンジン冷却路、5a…第2放熱部、6…貯湯槽、15
…戻り路、19…サーモスタット式バルブ、A…排熱発
生部。
Claims (1)
- 【請求項1】 エンジン(2)の排熱発生部(A)と排熱回
収用第1放熱部(4a)とで排熱回収路(4)を構成して、
その排熱回収路(4)とエンジン冷却路(5)の第2放熱部
(5a)とへエンジン冷却液を循環可能に構成した、エン
ジンの排熱回収装置において、 上記の第1放熱部(4a)を貯湯槽(6)内に設け、上記の
排熱回収路(4)の戻り路(15)に対して上記エンジン冷
却路(5)を並列に設け、その戻り路(15)内のエンジン
冷却液温度が設定温度以上になった時に開弁するサーモ
スタット式バルブ(19)を上記のエンジン冷却路(5)に
設けた、ことを特徴とするエンジンの排熱回収装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3342266A JPH05157006A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | エンジンの排熱回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3342266A JPH05157006A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | エンジンの排熱回収装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05157006A true JPH05157006A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18352387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3342266A Pending JPH05157006A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | エンジンの排熱回収装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05157006A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003028508A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Tokyo Gas Co Ltd | 加熱装置 |
JP2007064518A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Chofu Seisakusho Co Ltd | コージェネレーションシステム |
US8136488B2 (en) | 2005-07-28 | 2012-03-20 | Audi Ag | Cooling system for a vehicle, and method for the operation of a cooling system |
WO2015146346A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | ヤンマー株式会社 | エンジン冷却水回路 |
WO2015146345A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | ヤンマー株式会社 | エンジン冷却水回路 |
KR20210115069A (ko) * | 2020-02-21 | 2021-09-27 | 주식회사 하나티이씨 | 가스 발전기를 이용한 폐열 재활용시스템 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5588323A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-04 | Hitachi Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP3342266A patent/JPH05157006A/ja active Pending
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