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JPH04137043U - 半導体ダイボンデイング装置のダイ突き上げ機構 - Google Patents

半導体ダイボンデイング装置のダイ突き上げ機構

Info

Publication number
JPH04137043U
JPH04137043U JP4361291U JP4361291U JPH04137043U JP H04137043 U JPH04137043 U JP H04137043U JP 4361291 U JP4361291 U JP 4361291U JP 4361291 U JP4361291 U JP 4361291U JP H04137043 U JPH04137043 U JP H04137043U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
die
push
adhesive tape
tape
needle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4361291U
Other languages
English (en)
Inventor
明浩 三浦
Original Assignee
山形日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 山形日本電気株式会社 filed Critical 山形日本電気株式会社
Priority to JP4361291U priority Critical patent/JPH04137043U/ja
Publication of JPH04137043U publication Critical patent/JPH04137043U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Die Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】突き上げ針にてダイを貼付テープから剥した
後、真空を破壊した時に貼付テープが元の平らな状態に
復元するまでの時間を短縮することによって、ダイボン
ディングインデックスを短縮する。 【構成】貼付テープ６を真空で引いて保持する吸着ステ
ージ２と、ダイ５を貼付テープ６から剥がす為の突き上
げ針３と、ダイ５を貼付テープ６から剥した後、真空を
破壊した時に貼付テープ６を強制的に復元する為の復元
用シャフト１と、復元用シャフト１を押し上げる為のス
プリング４とを有する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は半導体ダイボンディング装置のダイ突き上げ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のダイ突き上げ機構は、図３（ａ）の断面図に示すように、貼付テープ６ を密着させている吸着ステージ２と、貼付テープ６からダイ５を剥す為の突き上 げ針３を有している。吸着ステージ２と貼付テープ６は隙間がなく密着している 為、吸着ステージ２内を真空で引くことにより、貼付テープ６は下に引っぱられ る。突き上げ針３は吸着ステージ２に固定の為、ダイ５は突き上げ針３により貼 付テープ６より剥される。ダイ５が剥された後、真空を破壊し、貼付テープ６は 弾性にて平らに戻る。図３（ｂ）は実施例１の部分拡大図であり、ダイ５が突き 上げ針３にて貼付テープ６より剥されている状態を表す。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
この従来のダイ突き上げ機構では、貼付テープを真空で引き、突き上げ針にて ダイを貼付テープより剥した後、真空を破壊した時に貼付テープが元の平らな状 態に復元する力は貼付テープの弾性のみで行っている。また貼付テープより剥さ れたダイをピックアップ後に、次のダイを突き上げ針上に移動し位置決めするた めの反射光を用いた画像認識位置決め装置は、ダイが平らな状態でないと光が散 乱し画像が安定しない。そのためダイ及び貼付テープが平らになる為に要する時 間は、貼付テープの材質及び張り方に影響され、ダイをピックアップ後次のダイ を移動して位置決めする間に、安定時間として約０．４秒必要である。その事か ら半導体ダイボンディング装置のインデックスが遅くなってしまうという問題点 があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本考案のダイ突き上げ機構は、貼付テープを真空で引いた時に貼付テープを保 持する吸着ステージと、ダイを貼付テープから剥がす為の突き上げ針と、ダイ貼 付テープより剥した後、真空を破壊した時に貼付テープを強制的に元の平らな状 態に復元する為の復元用シャフトと、復元用シャフトを押し上げる為のスプリン グ又はエアーシリンダーを有している。
【０００５】
【実施例】
次に本考案について図面を参照して説明する。図１は本考案の実施例１を示す 図で、同図（ａ）は断面図である。吸着ステージ２と貼付テープ６は隙間がない ように密着させ、吸着ステージ２の高さを固定しおく。その状態で吸着ステージ ２内を真空で引くことにより、貼付テープ６は下に引っぱられる。さらに復元用 シャフト１は貼付テープ６に押されて同時に下がる。突き上げ針３は固定の為、 ダイ５は突き上げ針３により貼付テープ６より剥される。同図（ｂ）は実施例１ の部分拡大図である。ダイが突き上げ針３にて貼付テープ６より剥れている状態 を表す。次に真空を破壊すると復元用シャフト１はスプリング４により上に押し 上げられ、貼付ープ６を押し上げ、元の平らな状態に強制的に戻す。
【０００６】 図２は実施例２の断面図である。吸着ステージ２と復元用シャフト１及び突き 上げ針３と復元用シャフト１の間にゴムパッキン７を設ける。復元用シャフト１ をエアーシリンダー８にて下げると、貼付テープ６と復元用シャフト１の空間の 圧力が負圧になる為、貼付テープ６は下に引っぱられ、ダイ５は貼付テープ６よ り剥れる。次に復元用シャフト１をエアーシリンダー８にて上げることにより、 貼付テープ６は元の平らな状態に戻る。以上の事から実施例２は、真空を用いて 貼付テープ６からダイ５を剥すのではなく、エアーシリンダー８を用いて復元用 シャフト１を上下させることによって、貼付テープ６からダイ５を剥せるので真 空が不要になる効果がある。
【０００７】
【考案の効果】
以上説明したように本考案は、復元用シャフトとスプリングを有することによ り、貼付テープの材質及び張り方に影響されず、貼付テープを強制的に平らにす ることが出来る。そのためダイをピックアップ後、次のダイを突き上げ針上に移 動して位置決めする間の時間が０．１秒に短縮された為、半導体ダイボンディン グ装置のインデックスを０．３秒短縮でき、且つ安定した画像により認識率の向 上が計れるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例１を示す図で、同図（ａ）は断
面図、同図（ｂ）はその部分拡大図である。
【図２】本考案の実施例２の断面図である。
【図３】従来のダイ突き上げ機構を示す図で、同図
（ａ）は断面図、同図（ｂ）はその部分拡大図である。
【符号の説明】
１ 復元用シャフト ２ 吸着ステージ ３ 突き上げ針 ４ スプリング ５ ダイ ６ 貼付テープ ７ ゴムパッキン ８ エアーシリンダー

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ダイを貼付けた貼付テープを真空保持す
    る吸着ステージと、ダイを貼付テープから剥すための付
    き上げ針とを有する半導体ダイボンディング装置のダイ
    突き上げ機構において、突き上げ針を囲み突き上げ針と
    は独立に上下する復元用シャフトと、この復元用シャフ
    トを上下させ吸引された貼付テープを強制的に復元させ
    る復元用シャフト上下機構を有することを特徴とする半
    導体ダイボンディング装置のダイ突き上げ機構。
  2. 【請求項２】 復元用シャフト上下機構にスプリングを
    用いた請求項１記載の半導体ダイボンディング装置のダ
    イ突き上げ機構。
  3. 【請求項３】 復元用シャフトが吸着ステージ内にゴム
    パッキンを介して気密に挿入され、復元用シャフトをエ
    アーシリンダーで上下させて貼付テープの吸引および復
    元を行なう請求項１記載の半導体ダイボンディング装置
    のダイ突き上げ機構。
  4. 【請求項４】 復元用シャフトを下げて貼付テープとの
    間の空間を減圧し、貼付テープを吸着ステージに保持す
    る請求項３記載の半導体ダイボンディング装置のダイ突
    き上げ機構。
JP4361291U 1991-06-12 1991-06-12 半導体ダイボンデイング装置のダイ突き上げ機構 Pending JPH04137043U (ja)

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Family

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970617