JP7110553B2 - レンズ付き光ファイバの製造方法、及び切断装置 - Google Patents

Description

本発明は、光ファイバの先端にロッド状のＧＲＩＮレンズを融着したレンズ付き光ファイバの製造方法、及び当該方法に用いるのに好適な切断装置に関する。

光信号を伝送する光ファイバを、半導体レーザー、光スイッチ、光アイソレータなどの光デバイスに結合する際に、効率良く低損失で結合できるように、光ファイバの先端にロッド状のＧＲＩＮ（Gradient Index）レンズを融着したレンズ付き光ファイバが知られている（特許文献１～３参照）。

このようなレンズ付き光ファイバにあっては、伝送損失をできるだけ少なくするために、所定の長さで精度よく切り揃えられたＧＲＩＮレンズを、高い同軸性を以て光ファイバの先端に融着することが求められる。特許文献１では、先端が切り揃えられた光ファイバと、先端が切り揃えられたＧＲＩＮロッドレンズの長尺体（長尺ロッドレンズ）とを、先端どうしを突合せて融着した後に、長尺ロッドレンズを所定の長さで切断するようにしており、このような方法によれば、レンズの長さを精確に同一に揃えられるとしている。

特開２００３－２２７９６３号公報 特許第４０３７３４６号公報 特許第４６５９１３７号公報

しかしながら、一般に知られている光ファイバ用の切断装置は、光ファイバの先端を切り揃えることを目的とするものであり、切り落とされた部位をファイバ屑として回収する構造になっている。このような切断装置を用いて特許文献１の方法を実施すると、光ファイバに融着された長尺ロッドレンズを切断する際には、特許文献１の図６（ｉ）に示されているように、光ファイバ側は、クランプ機構や位置決めアダプタなどにより比較的容易に位置決めできるものの、長尺ロッドレンズ側には位置を規制する手段がなく、位置決め精度に劣ってしまう。

このため、特許文献１の方法によれば、レンズの長さを精確に同一に揃えられるとしているが、それには限界があり、製品の品質を向上させるとともに、歩留まりを高めるための改善が必要であった。
また、光ファイバに長尺ロッドレンズを融着する都度、新たな長尺ロッドレンズを用意して、その先端を切り揃えて光ファイバに融着するのは、長尺ロッドレンズを無駄に消費してしまうため、コストの面からも好ましくない。そのため、長尺ロッドレンズを無駄なく使用して、生産性よくレンズ付き光ファイバを製造することも望まれる。

本発明は、上記したような事情に鑑みてなされたものであり、光ファイバの先端にロッド状のＧＲＩＮレンズを融着したレンズ付き光ファイバを、生産性よく、かつ、高品質に製造することができるレンズ付き光ファイバの製造方法、及び当該方法に用いるのに好適な切断装置の提供を目的とする。

本発明に係るレンズ付き光ファイバの製造方法は、光ファイバの先端に、長尺状に形成されたＧＲＩＮレンズを同軸に融着し、次いで、前記ＧＲＩＮレンズを所定の長さでロッド状に切断するレンズ付き光ファイバの製造方法であって、ファイバホルダに保持された前記光ファイバと、レンズホルダに保持された前記ＧＲＩＮレンズとを、互いの先端を突き合せて融着する工程と、前記レンズホルダの保持力を緩めつつ、前記ファイバホルダから離れる方向に前記レンズホルダを移動させて、前記ＧＲＩＮレンズを保持し直す工程と、前記レンズホルダの移動距離と等しい長さで、前記ＧＲＩＮレンズを切断する工程とを含む方法としてある。

本発明に係る切断装置は、光ファイバと互いの先端を突き合せて融着された長尺状のＧＲＩＮレンズを所定の長さで切断する切断装置であって、前記光ファイバを保持するファイバホルダが載置されるファイバホルダ載置部と、前記ＧＲＩＮレンズを保持するレンズホルダが載置されるレンズホルダ載置部と、前記ファイバホルダ載置部と前記レンズホルダ載置部との間に配設された切断部とを有し、前記ファイバホルダ載置部が、載置された前記ファイバホルダを位置決めする位置決め手段を備え、前記レンズホルダ載置部が、載置された前記レンズホルダを位置決めする位置決め手段を備える構成としてある。

本発明によれば、光ファイバの先端にロッド状のＧＲＩＮレンズを融着したレンズ付き光ファイバを、生産性よく、かつ、高品質に製造することができる。

本発明の実施形態に係るレンズ付き光ファイバの製造方法の概略を示す工程図である。 本発明の実施形態に係る切断装置の要部の概略を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る切断装置の要部の概略を示す正面図である。 図２のＡ－Ａ断面図である。 本発明の実施形態に係る切断装置の使用例を示す説明図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

［レンズ付き光ファイバの製造方法］
まず、本実施形態に係るレンズ付き光ファイバの製造方法の概略について説明する。
図１は、本実施形態に係るレンズ付き光ファイバの製造方法の概略を示す工程図である。

本実施形態にあっては、光ファイバ２の先端に、長尺状に形成されたＧＲＩＮレンズ３を同軸に融着し、次いで、所定の長さでＧＲＩＮレンズ３をロッド状に切断することによって、レンズ付き光ファイバ１を製造する。

光ファイバ２の先端に、長尺状に形成されたＧＲＩＮレンズ３を同軸に融着するには、公知の光ファイバ融着接続装置を用いることができる。
その際、光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３とを、それぞれファイバホルダ２０とレンズホルダ３０とに保持し（図１（ａ）参照）、互いの先端を突き合せて光ファイバ融着接続装置にセットして、一対の放電電極４０の間に位置決めされた両者の突き合わせ面をアーク放電により融着する（図１（ｂ）参照）。

ここで、図１には、４心テープ心線を用いて、その先端側の被覆を除去して口出しされた光ファイバ２のそれぞれに、ＧＲＩＮレンズ３を融着する例を示しているが、これに限定されない。必要に応じて、２心テープ心線、８心テープ心線、１２心テープ心線などの多心の光ファイバ心線を用いてもよく、単心の光ファイバ心線を用いてもよい。
また、光ファイバ２に融着するＧＲＩＮレンズ３には、クラッドのない屈折率分布型レンズのほか、ＧＩ（Graded Index）光ファイバなども含まれるものとし、屈折率分布（Gradient Index）によりレンズ機能を発現するものであれば、特に限定されない。

光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３とを、それぞれ保持するホルダ２０，３０としては、光ファイバ融着接続装置の仕様に応じて用意されたものを、そのまま用いてもよいが、必要に応じて適宜改良して用いることもできる。
例えば、図１に示す例において、ＧＲＩＮレンズ３を保持するレンズホルダ３０としては、その基板３１の上面に、断面Ｖ字状又は断面コ字状などに形成された保持溝が、適当な間隔、深さで並設され、複数（図示する例では４本）のＧＲＩＮレンズ３が、それぞれ突き合わされる光ファイバ２と同軸に位置決めできるように改良したものを用いることができる。

なお、図１に示す例において、レンズホルダ３０は、基板３１と、基板３１に対して一端を軸に回動可能に取り付けられた保持板３２とを有しており、基板３１と保持板３２との間でＧＲＩＮレンズ３を押圧して保持するように構成されている。光ファイバ２を保持するファイバホルダ２０も同様に、基板２１と、基板２１に対して一端を軸に回動可能に取り付けられた保持板２２とを有しており、基板２１と保持板２２との間で光ファイバ２（光ファイバ心線）を押圧して保持するように構成されている。

また、ホルダ２０，３０は、光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３との突き合わせ面を位置決めするための位置決め部材としても機能し、光ファイバ融着接続装置にセットしたときに互いに対向する端面２０ａ，３０ａが位置決め面とされる。そして、当該端面２０ａ，３０ａが所定の離間距離ｄ_０で対向するように、ホルダ２０，３０を光ファイバ融着接続装置にセットしたときに、光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３との突き合わせ面が、一対の放電電極４０の間に位置決めされるようになっている（図１（ｂ）参照）。

このような位置決めが可能となるように、光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３とを、それぞれファイバホルダ２０とレンズホルダ３０とに保持する際には、ファイバホルダ２０の端面２０ａから光ファイバ２の先端までの長さＬ_２と、レンズホルダ３０の端面３０ａからＧＲＩＮレンズ３の先端までの長さＬ_３を適宜調整する（図１（ａ），（ｂ）参照）。このとき、光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３のそれぞれの突き合わせ面が、光軸に対して垂直になるように、必要に応じて、それぞれの先端を切り揃えておくのが好ましい。

このようにして、ファイバホルダ２０に保持された光ファイバ２と、レンズホルダ３０に保持されたＧＲＩＮレンズ３とを、互いの先端を突き合せて融着した後に、光ファイバ融着接続装置からホルダ２０，３０を取り外す。

光ファイバ融着接続装置からホルダ２０，３０を取り外すにあたり、ファイバホルダ２０については、光ファイバ２を保持する位置が変動しないようにする。
一方、レンズホルダ３０については、保持板３２を基板３１の上面から浮き上がらせるなどして、ＧＲＩＮレンズ３を押圧する力（レンズホルダ３０の保持力）を緩めつつ、ファイバホルダ２０から離れる方向にレンズホルダ３０を移動させる。このとき、ＧＲＩＮレンズ３は光ファイバ２に融着されているため、ＧＲＩＮレンズ３がバラバラになって脱落したりすることなく、レンズホルダ３０を移動させることができる。

そして、ファイバホルダ２０の端面２０ａと、レンズホルダ３０の端面３０ａとが、所定の離間距離ｄ（＝ｄ_０+Δｄ）で対向するように、ＧＲＩＮレンズ３を保持し直しながら、ホルダ２０，３０を切断装置にセットする（図１（ｃ），図５参照）。
なお、本実施形態に用いるのに好適な切断装置については後述する。

次いで、図１（ｄ）に鎖線で示す位置で、ＧＲＩＮレンズ３をロッド状に切断することによって、レンズ付き光ファイバ１が得られる（図１（ｅ）参照）。
ＧＲＩＮレンズ３を切断するにあたり、光ファイバ２との融着部から切断位置までの長さＬは、ＧＲＩＮレンズ３の屈折率分布や開口数（Numerical Aperture）などに応じて、作動距離やビームウェスト径が所望の値となる長さでＧＲＩＮレンズ３が切断されるように適宜調整される。そして、前述したようにしてＧＲＩＮレンズ３を保持し直す際のレンズホルダ３０の移動距離Δｄを、当該長さＬと等しくなるように設定（Δｄ＝Ｌ）して、レンズホルダ３０の移動距離Δｄと等しい長さで、ＧＲＩＮレンズ３をその光軸に対して垂直に切断する。

このようにすることで、切断後にレンズホルダ３０に保持されている残りのＧＲＩＮレンズ３にあっては、レンズホルダ３０の端面３０ａから、その先端までの長さＬａ（図１（ｅ）参照）が、最初にＧＲＩＮレンズ３をレンズホルダ３０に保持したときの長さＬ_３（図１（ａ）参照）と等しくなり、前述したようにして光ファイバ融着接続装置にセットする際の位置決めが可能な状態になっている。そのため、切断後に残ったＧＲＩＮレンズ３は、レンズホルダ３０に保持したまま、再度、光ファイバ融着接続装置にセットして、新たに用意された光ファイバ２と互いの先端を突き合せて融着することができる。

その結果、本実施形態によれば、前述した融着から切断までの工程を繰り返し行うことで、ＧＲＩＮレンズ３の無駄な消費を抑制して、生産性よくレンズ付き光ファイバ１を製造することができる。
また、特に図示しないが、このようにして製造されたレンズ付き光ファイバ１には、その先端に融着されたＧＲＩＮレンズ３に、ＧＲＩＮレンズ３とは開口数が異なる別のＧＲＩＮレンズをさらに融着したり（特許文献２参照）、プリズムレンズをさらに融着して側方出射を可能としたりすることができる（特許文献３参照）。
前者の場合には、例えば、ＧＲＩＮレンズ３とは開口数が異なる別のＧＲＩＮレンズをレンズホルダ３０に保持して、レンズ付き光ファイバ１に対して、前述した融着から切断までの工程を行うようにすればよい。
後者の場合には、例えば、プリズムレンズ用ファイバをレンズホルダ３０に保持して、レンズ付き光ファイバ１に対して、前述した融着から切断までの工程を行いつつ、所定の長さで切断されたプリズムレンズ用ファイバの先端を研磨するなどして、先端傾斜面を形成することによって側方出射を可能とすることができる。

［切断装置］
次に、本実施形態に係る切断装置について説明する。
図２は、本実施形態に係る切断装置の要部の概略を示す平面図、図３は、同正面図であり、図４は、図２のＡ－Ａ断面図である。
また、本実施形態に係る切断装置は、前述したレンズ付き光ファイバの製造方法において、光ファイバ２と互いの先端を突き合せて融着されたＧＲＩＮレンズ３を所定の長さで切断する際に好適に用いることができ、その使用例を図５に示す。

これらの図に示すように、切断装置１００は、光ファイバ２を保持するファイバホルダ２０が載置されるファイバホルダ載置部１２０と、ＧＲＩＮレンズ３を保持するレンズホルダ３０が載置されるレンズホルダ載置部１３０と、ファイバホルダ載置部１２０とレンズホルダ載置部１３０との間に配設された切断部１４０とを有している。

切断部１４０は、丸刃状の切断刃１４１を備える切断刃ユニットを有し、かかる切断刃１４１が、図５に示すように、ＧＲＩＮレンズ３と直交する方向にスライドして、ＧＲＩＮレンズ３の切断位置に傷をつけた後、応力をかけて劈開させることによって、ＧＲＩＮレンズ３を切断する構成とすることができる。特に図示しないが、切断部１４０は、切断位置の両側近傍でＧＲＩＮレンズ３又は光ファイバ２を把持するクランプ機構を有する構成とすることもできる。このような切断部１４０としては、光ファイバの切断に用いる公知の切断装置が備えるものを転用してもよい。

また、ファイバホルダ載置部１２０は、載置されたファイバホルダ２０を位置決めする位置決め手段を備えており、レンズホルダ載置部１３０は、載置されたレンズホルダ３０を位置決めする位置決め手段を備えている。

本実施形態にあっては、このような位置決め手段として、ファイバホルダ載置部１２０には、ファイバホルダ２０の端面２０ａと側面２０ｂとに当接して、ファイバホルダ２０を位置決めする位置決め凹部１２１が刻設されている。同様に、レンズホルダ載置部１３０には、レンズホルダ３０の端面３０ａと側面３０ｂとに当接して、レンズホルダ３０を位置決めする位置決め凹部１３１が刻設されている。

そして、これらの位置決め凹部１２１，１３１は、直列に延在して、それぞれの長手方向終端が、切断部１４０が配設される側に位置するように刻設されており、それぞれの長手方向終端に、ホルダ２０，３０の端面２０ａ，３０ａが当接するようにしている。このとき、ホルダ２０，３０の端面２０ａ，３０ａが所定の離間距離ｄで対向するように、位置決め凹部１２１，１３１を刻設すれば（図５参照）、前述したレンズ付き光ファイバの製造方法において、ＧＲＩＮレンズ３を保持し直す際に、位置決め凹部１３１の長手方向終端にレンズホルダ３０の端面３０ａを当接させるだけで、レンズホルダ３０の移動距離Δｄを容易に規制することができる。

なお、ＧＲＩＮレンズを切断する長さＬが変更になった場合には、それに応じた厚さのスペーサを、位置決め凹部１２１の長手方向終端とファイバホルダ２０の端面２０ａとの間と、位置決め凹部１３１の長手方向終端とレンズホルダ３０の端面３０ａとの間のいずれか一方、又は両方に介在させることができる。これにより、レンズホルダ３０の移動距離ΔｄをΔｄ＝Ｌの関係を維持したまま変更することができ、ホルダ２０，３０の端面２０ａ，３０ａの離間距離ｄについても、ｄ＝ｄ_０+Δｄの関係を維持できる。

このような位置決め手段を備えるファイバホルダ載置部１２０とレンズホルダ載置部１３０とは、それぞれ別々の部材に位置決め凹部１２１，１３１を刻設して、これらを組み合わせて構成してもよいが、このような構成にした場合には、載置部１２０，１３０の位置合わせ（レベル調整など）が必要となる。そのため、載置部１２０，１３０の位置合わせが十分でないと、ホルダ２０，３０に保持された光ファイバ２とＧＲＩＮレンズ３が傾いたりするなどして、その位置決め精度が劣ってしまう虞がある。

このような不具合を回避するために、ファイバホルダ載置部１２０とレンズホルダ載置部１３０とは、その位置合わせが不要となるように一体に形成するのが好ましい。例えば、金属板などを用いて、一つの部材に切削加工を施して、位置決め凹部１２１が刻設されたファイバホルダ載置部１２０と、位置決め凹部１３１が刻設されたレンズホルダ載置部１３０とを一体に形成することで、ファイバホルダ載置部１２０とレンズホルダ載置部１３０との位置合わせを不要として、位置決め精度がより高められるようにすることができる。

また、光ファイバ２と互いの先端を突き合せて融着されたＧＲＩＮレンズ３を切断して、レンズ付き光ファイバ１を製造するにあたり、その品質を向上させるとともに、歩留まりを高めるためには、光ファイバ２との融着部から切断位置までの長さＬにバラツキが生じることなく、その切断面が光軸に対して垂直になっていることが求められる。特に、前述したレンズ付き光ファイバの製造方法において、切断後に残った複数のＧＲＩＮレンズ３を、新たに用意された複数の光ファイバ２と互いの先端を突き合せて融着する際に、端面間隔にバラツキがあると、例えば、融着部の太りや細りなどの原因になり、品質の低下やレンズ長のバラツキを招いてしまたったり、フェルールなどに正しくアッセンブリできないなどの不具合が生じたりもする。

本実施形態によれば、ホルダ２０，３０の位置決め精度を高めることで、このような不具合を解消できるが、より一層の品質向上と、歩留まりのさらなる改善を図るためには、切断対象となるＧＲＩＮレンズ３の数や、その切断位置に応じて、切断刃１４１の位置を高い自由度で適宜調整可能とするのが好ましい。

例えば、図２及び図３に、三次元直交座標系のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を示すが、切断刃１４１は、ＧＲＩＮレンズ３の切断位置を調整するＺ軸方向と、それに直交するＸ軸方向に移動可能とするとともに、ＧＲＩＮレンズ３につける傷の深さを調整するＹ軸方向に移動可能とするのが好ましい。
また、ホルダ２０，３０の個体差などによって、切断対象のＧＲＩＮレンズ３がＺ軸に対して斜めになってしまうこともある。このような場合を考慮して、切断刃１４１がスライドする方向がＧＲＩＮレンズ３の光軸に対して常に直交するように、ＸＺ平面において切断刃１４１がスライドする方向を所定の角度αで調整できるようにするのが好ましい。

このような位置調整を可能とするには、例えば、切断部１４０が有する切断刃ユニットをＸＹＺ回転ステージなどに支持させればよい。ＸＹＺ回転ステージに切断刃ユニットを支持することで、切断刃１４１の位置を調整するにあたり、マイクロメータによるＸＹＺ軸の位置調整と、ＸＺ平面における角度調整が可能になる。

以上、本発明について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明は、前述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることはいうまでもない。

例えば、前述した切断装置１００において、ファイバホルダ載置部１２０とレンズホルダ載置部１３０とが備える位置決め手段としては、載置部１２０，１３０に立設された係合ピンを、ホルダ２０，３０に穿設された係合穴に係止して、これらの位置決めを行うものであってもよい。

１ レンズ付き光ファイバ
２ 光ファイバ
３ ＧＲＩＮレンズ
２０ ファイバホルダ
２０ａ 端面
２０ｂ 側面
３０ レンズホルダ
３０ａ 端面
３０ｂ 側面
１００ 切断装置
１２０ ファイバホルダ載置部
１２１ 位置決め凹部（位置決め手段）
１３０ レンズホルダ載置部
１３１ 位置決め凹部（位置決め手段）
１４０ 切断部
１４１ 切断刃（切断刃ユニット）

Claims (6)

1. 光ファイバの先端に、長尺状に形成されたＧＲＩＮレンズを同軸に融着し、次いで、前記ＧＲＩＮレンズを所定の長さでロッド状に切断するレンズ付き光ファイバの製造方法であって、
   ファイバホルダに保持された前記光ファイバと、レンズホルダに保持された前記ＧＲＩＮレンズとを、互いの先端を突き合せて融着する工程と、
   前記融着する工程の後に、前記ファイバホルダが前記光ファイバを保持したまま、前記レンズホルダの保持力を緩めつつ、前記ファイバホルダから離れる方向に前記レンズホルダを移動させて、前記ＧＲＩＮレンズを保持し直す工程と、
   前記保持し直す工程の後に、前記ファイバホルダが前記光ファイバを保持したまま、かつ、前記レンズホルダが前記ＧＲＩＮレンズを保持したまま、前記レンズホルダの移動によって前記レンズホルダが前記ファイバホルダから離れた距離と等しい長さの前記ＧＲＩＮレンズが前記光ファイバの先端に残るように、前記ＧＲＩＮレンズを切断する工程と
   を含み、
   切断後に残った前記ＧＲＩＮレンズを前記レンズホルダに保持したまま、新たに用意された光ファイバと互いの先端を突き合せて、前記各工程を繰り返す
   ことを特徴とするレンズ付き光ファイバの製造方法。
2. 前記ＧＲＩＮレンズを切断する長さをＬとし、
   前記光ファイバと前記ＧＲＩＮレンズとを互いの先端を突き合せて融着する際に、対向する前記ファイバホルダの端面と前記レンズホルダの端面との離間距離をｄ_０とし、
   前記ＧＲＩＮレンズを保持し直す際に、前記レンズホルダの移動距離をΔｄとし、
   前記ＧＲＩＮレンズを切断する際に、対向する前記ファイバホルダの端面と前記レンズホルダの端面との離間距離をｄとしたときに、
   ｄ＝ｄ_０+Δｄ
   Δｄ＝Ｌ
   の関係が成り立つ請求項１に記載のレンズ付き光ファイバの製造方法。
3. 融着接続装置と切断装置とを備える、レンズ付き光ファイバの製造のための融着・切断システムであって、
   前記融着接続装置は、
   光ファイバを保持するように構成されたファイバホルダが載置されるように構成されており、前記ファイバホルダの位置決めをするように構成された、第１のファイバホルダ載置部と、
   長尺状のＧＲＩＮレンズを保持するように構成されたレンズホルダが載置されるように構成されており、前記ファイバホルダと前記レンズホルダとの距離がｄ _０ となるように前記レンズホルダの位置決めをするように構成された、第１のレンズホルダ載置部と、
   前記第１のファイバホルダ載置部と前記第１のレンズホルダ載置部との間に配置され、前記光ファイバの先端と前記長尺状のＧＲＩＮレンズの先端とを融着するように構成された電極と
   を備え、
   前記切断装置は、前記光ファイバと互いの先端を突き合せて融着された前記長尺状のＧＲＩＮレンズを所定の長さで切断する切断装置であって、
   前記融着のときから前記光ファイバを保持し続けるように構成された前記ファイバホルダが載置されるように構成された第２のファイバホルダ載置部と、
   融着された前記ＧＲＩＮレンズを保持し直すように構成された前記レンズホルダが載置されるように構成された第２のレンズホルダ載置部と、
   前記第２のファイバホルダ載置部と前記第２のレンズホルダ載置部との間に配設された切断部とを有し、
   前記第２のファイバホルダ載置部が、載置された前記ファイバホルダを位置決めする位置決め手段を備え、
   前記第２のレンズホルダ載置部が、前記ファイバホルダと前記レンズホルダとの距離がｄ _０ ＋Ｌとなるように載置された前記レンズホルダを位置決めする位置決め手段を備え、
   前記切断部は、前記光ファイバの先端にその先端が融着された前記ＧＲＩＮレンズを当該ＧＲＩＮレンズの長さがＬとなるように切断するように構成されている
   ことを特徴とする融着・切断システム。
4. 前記第２のファイバホルダ載置部に、前記位置決め手段として、前記ファイバホルダの端面と側面とに当接して、前記ファイバホルダを位置決めする位置決め凹部が刻設され、
   前記第２のレンズホルダ載置部に、前記位置決め手段として、前記レンズホルダの端面と側面とに当接して、前記レンズホルダを位置決めする位置決め凹部が刻設された請求項３に記載の融着・切断システム。
5. 一つの部材に切削加工を施して、前記位置決め凹部が刻設された前記第２のファイバホルダ載置部と、前記位置決め凹部が刻設された前記第２のレンズホルダ載置部とを一体に形成してなる前記切断装置を備える請求項４に記載の融着・切断システム。
6. 前記切断部が有する切断刃ユニットが、ＸＹＺ回転ステージに支持された請求項３～５のいずれか一項に記載の融着・切断システム。

Images