JP6715699B2 - セラミックスヒータ - Google Patents
セラミックスヒータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6715699B2 JP6715699B2 JP2016127063A JP2016127063A JP6715699B2 JP 6715699 B2 JP6715699 B2 JP 6715699B2 JP 2016127063 A JP2016127063 A JP 2016127063A JP 2016127063 A JP2016127063 A JP 2016127063A JP 6715699 B2 JP6715699 B2 JP 6715699B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating resistor
- resistance element
- shaft
- lower heating
- upper heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 48
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 218
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 49
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 1-[6-[4-(5-chloro-6-methyl-1H-indazol-4-yl)-5-methyl-3-(1-methylindazol-5-yl)pyrazol-1-yl]-2-azaspiro[3.3]heptan-2-yl]prop-2-en-1-one Chemical compound ClC=1C(=C2C=NNC2=CC=1C)C=1C(=NN(C=1C)C1CC2(CN(C2)C(C=C)=O)C1)C=1C=C2C=NN(C2=CC=1)C AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Description
基材10として、160高熱伝導窒化アルミニウムからなり、直径340mm、厚さ15mmの円板状のものを用意した。
また、実施例1bでは、プロセスBとして、セラミックスヒータ100を、雰囲気圧力が0.1Torr(=約13.33Pa)のチャンバ内に収容した。
上側発熱抵抗体20を図4のようにした以外、実施例1と同じ仕様で製作し評価を行った。
下側発熱抵抗体を図5のようにした以外、実施例1と同じ仕様で製作し評価を行った。
その結果、実施例1では、第1下側発熱抵抗要素の効果又は第1上側発熱抵抗要素の少なくとも1つが均温性に良い影響を与えていることが理解される。また、実施例2では、第1下側発熱抵抗要素の効果のみによっても均温化が図られ効果があることが示された。
Claims (4)
- セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基材と、
前記セラミックス基材に埋設された下側発熱抵抗体と、
前記下側発熱抵抗体より上側にて前記セラミックス基材に埋設された上側発熱抵抗体と、
セラミックスからなり、前記セラミックス基材の下面の中心部に接続された中空のシャフトと、
前記下側発熱抵抗体に電流を流すための下側用端子と、
前記上側発熱抵抗体に電流を流すための上側用端子とを備えたセラミックスヒータであって、
前記下側発熱抵抗体は、前記下側用端子と接続された第1下側発熱抵抗要素と、前記第1下側発熱抵抗要素と接続され、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より外側であって、前記第1下側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している1又は複数の下側環状区域のそれぞれに配置されている第2下側発熱抵抗要素と、隣り合う前記下側環状区域に配置されている前記第2下側発熱抵抗要素同士を接続する第3下側発熱抵抗要素とにより構成され、
前記上側発熱抵抗体は、上面視において、前記シャフトの外周の内側及び外側に位置する領域に配置されており、
前記第1下側発熱抵抗要素は、少なくとも、上面視において、前記シャフトの外周の外側であって、かつ、前記上側発熱抵抗体の最外周より内側に位置する領域を含み、前記下側用端子と前記第2下側発熱抵抗要素とを前記第3下側発熱抵抗要素の幅で直線的に接続した領域の面積を超える面積を有する領域に配置されていることを特徴とするセラミックスヒータ。 - 前記第1下側発熱抵抗要素は、前記上側用端子と電気的に接続される構造と離間しつつ、前記セラミックス基材を上下方向に貫通する孔を除き、上面視において前記上側発熱抵抗体の最外周より内側の領域の全面に亘って配置されていることを特徴とする請求項1に記載のセラミックスヒータ。
- 前記上側発熱抵抗体は、前記上側用端子と接続された第1上側発熱抵抗要素と、前記第1上側発熱抵抗要素と接続され、前記第1上側発熱抵抗要素を重畳的に囲む相互に離間している1又は複数の上側環状区域のそれぞれに配置されている第2上側発熱抵抗要素と、隣り合う前記上側環状区域に配置されている前記第2上側発熱抵抗要素同士を接続する第3上側発熱抵抗要素とにより構成され、
上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第2上側発熱抵抗要素は、上面視において前記シャフトの外側に位置し最も近い前記第2上側発熱抵抗要素と比較して、抵抗値が大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックスヒータ。 - 前記上面視において前記シャフトの内側に位置し当該シャフトに最も近い前記第2上側発熱抵抗要素は、外側から中心部に向う部分を有するように蛇行していることを特徴とする請求項3に記載のセラミックスヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016127063A JP6715699B2 (ja) | 2016-06-27 | 2016-06-27 | セラミックスヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016127063A JP6715699B2 (ja) | 2016-06-27 | 2016-06-27 | セラミックスヒータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018005999A JP2018005999A (ja) | 2018-01-11 |
JP6715699B2 true JP6715699B2 (ja) | 2020-07-01 |
Family
ID=60946432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016127063A Active JP6715699B2 (ja) | 2016-06-27 | 2016-06-27 | セラミックスヒータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6715699B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019008889A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | 住友電気工業株式会社 | 半導体基板加熱用の基板載置台 |
JP7025278B2 (ja) | 2018-05-01 | 2022-02-24 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックスヒータ |
KR102110410B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2020-05-14 | 엘지전자 주식회사 | 전기 히터 |
KR102558722B1 (ko) * | 2018-12-20 | 2023-07-24 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 세라믹 히터 |
JP7249805B2 (ja) * | 2019-02-19 | 2023-03-31 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用の電極埋設部材およびその製造方法 |
CN110446281A (zh) * | 2019-08-12 | 2019-11-12 | 南京安尔泰通信科技有限公司 | 一种加热负载 |
JP7321990B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2023-08-07 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
KR20230090271A (ko) | 2021-12-14 | 2023-06-21 | 니테라 컴퍼니 리미티드 | 기판 유지 부재 |
TW202333267A (zh) | 2021-12-14 | 2023-08-16 | 日商日本特殊陶業股份有限公司 | 基板保持構件及基板保持構件的製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3631614B2 (ja) * | 1998-05-29 | 2005-03-23 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータ |
JP4467730B2 (ja) * | 2000-08-01 | 2010-05-26 | 住友大阪セメント株式会社 | 基板加熱装置 |
JP3615694B2 (ja) * | 2000-08-08 | 2005-02-02 | 京セラ株式会社 | ウェハ加熱部材及びこれを用いたウェハの均熱化方法 |
KR101343556B1 (ko) * | 2012-05-18 | 2013-12-19 | 주식회사 케이에스엠컴포넌트 | 2차원적으로 배선된 열선을 포함하는 세라믹 히터 |
JP6059512B2 (ja) * | 2012-11-14 | 2017-01-11 | 株式会社ブリヂストン | ヒータユニット |
JP6084906B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2017-02-22 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
-
2016
- 2016-06-27 JP JP2016127063A patent/JP6715699B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018005999A (ja) | 2018-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6715699B2 (ja) | セラミックスヒータ | |
JP3897563B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP4640842B2 (ja) | 加熱装置 | |
KR102368339B1 (ko) | 웨이퍼 지지대 | |
JP5882614B2 (ja) | セラミックスヒータ | |
TWI643832B (zh) | 陶瓷構件 | |
JP6796436B2 (ja) | セラミックヒータ及びその製造方法。 | |
JPWO2020008859A1 (ja) | ウエハ支持台 | |
KR102094212B1 (ko) | 세라믹스 부재 | |
TWI713408B (zh) | 陶瓷加熱器 | |
JP6664660B2 (ja) | マルチゾーンに区分された加熱ヒータ | |
JP2018005998A (ja) | セラミックスヒータ | |
US10679873B2 (en) | Ceramic heater | |
JP7123181B2 (ja) | セラミックヒータ | |
WO2020153071A1 (ja) | セラミックヒータ | |
JP6903525B2 (ja) | セラミックス部材 | |
JP7169376B2 (ja) | セラミックヒータ及びその製法 | |
JP2017188262A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2018006269A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2019003924A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP6711738B2 (ja) | 支持装置 | |
US20210242046A1 (en) | Ceramic heater | |
JP5795222B2 (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2014029784A (ja) | 3ゾーン抵抗体からなる結線構造体を具備したヒータ | |
JP6789081B2 (ja) | 保持装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191223 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6715699 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |