JP6659199B2 - 流量計 - Google Patents
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Description
流量制御装置11は、ボールバルブ機構により構成される流量調節弁21を備える。流量調節弁21は、軸部25と、当該軸部25の先端(図3における右端)に設けられて流路13を遮断可能なボール部23と、を備えた弁体22を有する。軸部25の基端(図3における左端)は、モータアクチュエータ24の回転軸24Aに接続される。ボディ12には、当該ボディ12を水平方向(図3における左右方向)へ貫通して流路13に連通する軸孔26が形成される。軸孔26には、弁体22の軸部25が摺動可能に嵌合される。なお、弁体22の軸部25とボディ12の軸孔26との間は、Oリング27によりシールされる。また、モータアクチュエータ24は、ステッピングモータ、減速機構、及び位置検出センサを含む。
流量制御装置11は、流量計1からなる流量測定部41の測定結果(羽根車42の回転数)に基づき流量調節弁21の開度をフィードバック制御する制御部61を備える。制御部61は、演算部、記憶部等を備える、所謂、マイクロコンピュータであり、流量測定部41から出力された回転数信号(流量測定部41により測定された流量)に基づき、流量調節弁21の開度をフィードバック制御(PID制御)する。すなわち、制御部61は、回転数信号を流量の測定値に変換、換言すると、データテーブルに基づき回転数を流量に換算し、当該測定値(流量測定値)と設定値(流量目標値)とを演算処理する。そして、演算処理結果に基づきモータアクチュエータ24を制御することにより、弁体22、延いてはボール部23を回転させ、流路13を流れる流体の流量を調節するように構成される。
図3を参照すると、制御対象となる流体(本実施形態では「水」)は、ジョイントアダプタ71内のフィルタ7を通過して流入口14から流路13内へ導入される。流路13を流れる流体は、旋回流プレート46を通過することで一定方向へ旋回する旋回流となる。当該旋回流は、流路13内に配置された羽根車42を回転させる。センサユニット51は、羽根車42の回転に伴う磁界強度の変化をGMRセンサ53により検知し、当該磁界強度の変化に基づき羽根車42の回転数を測定する。そして、センサユニット51は、流量測定部41の流量測定結果としての回転数信号(パルス信号)を制御部61へ出力する。
本実施形態によれば、流量測定部41の羽根車42を磁化していない磁性体を材料とするメタルインジェクションモールディングにより製造したので、複雑な形状の羽根車42を高い精度で成形することができる。また、切削加工された羽根車と比較して、製造コストを大幅に削減することができる。これにより、羽根車42の回転軸43と複数個の翼部44とを一体に成形することが可能であり、回転軸43と複数個の翼部44とを別個に製造した羽根車と比較して、部品点数を削減することができる。また、製造コスト削減の観点から、切削加工に代えて回転軸43と複数個の翼部44とを接合(圧入、接着等)して製造される羽根車では、接合部の信頼性低下に伴う品質管理の厳格化が問題になるが、本実施形態に係る羽根車42は、メタルインジェクションモールディングの適用により、これらの問題を解消することができる。
また、ハウジング63の材料に放熱性に優れるアルミニウム合金を適用したので、例えば、比較的温度が高い流体の流量を制御することができる。
また、ハウジング63の表面に、LED68(フルカラー)を視認するための光伝送窓69を設けたので、フィルタ目詰まり、センサ異常等を外部から目視にて確認することができる。
13:流路
41:流量測定部
42:羽根車
43:回転軸
44:翼部
53:GMRセンサ
57:バイアスマグネット
Claims (3)
- 流路内で回転可能に支持される羽根車と、
前記羽根車の回転に伴う磁気の変化を検知するGMRセンサと、
前記GMRセンサに磁界を印加するマグネットと、を備え、
前記羽根車が磁化していない磁性体からなり、前記GMRセンサと前記マグネットが同一のセンサ基板上でかつ前記羽根車の回転半径方向に直列に実装されて前記流路の外部に配置されていることを特徴とする流量計。 - 前記GMRセンサは、前記センサ基板上に、前記羽根車の回転方向に間隔をあけて2個のGMR素子が配置されてホイートストンブリッジが構成されていることを特徴とする請求項1に記載の流量計。
- 前記羽根車を構成する回転軸と複数個の翼部とが磁化していない磁性体を材料とするメタルインジェクションモールディングにより一体成形されていることを特徴とする請求項1に記載の流量計。
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