JP6026052B2 - キャニスタ用チラー - Google Patents
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Description
本発明は、キャニスタ(Canister)に関するものである。
キャニスタは、半導体および電子材料に関連する製造プロセスにおいて使用される有機および無機の金属化合物を保存するための容器である。有機および無機の金属化合物の大部分は、特別に設計された高純度の高価な化合物であり、このような前駆体の大部分は空気または水に非常に敏感であるため、キャニスタは、シーリング(sealing)および耐化学薬品性を提供する金属から製造される。
キャニスタは、その中に保存される有機および無機の金属化合物を保護するため、所定の温度に維持されなければならない。このため、キャニスタを冷却するためにチラー(chiller)が使用される。
チラーはキャニスタを囲み、キャニスタを冷却するための冷却水を循環させる。チラーは、「ＣＨＩＬＬＥＲ ＳＹＳＴＥＭ ＦＯＲ ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ ＥＱＵＩＰＭＥＮＴ」という名称の登録特許第１０−０７７３４７４号明細書において開示されている。
図１は、従来のチラー１０の断面図である。図に示されるように、チラー１０は、トレイ１１と、キャニスタ２０を受けるためのトレイ１１に挿入される内側ケーシング１３とを含む。矢印で示されるように、入口管１５を通して供給される冷却水は、内側ケーシング１３とキャニスタ２０との間を流れ、排出管１７を通して排出される。
この場合、内側ケーシング１３から排出された冷却水が、トレイ１１と内側ケーシング１３との間の空間（Ｓ１）に集められ、次に排出管１７を通して排出されるように、チラー１０は設計されている。ここで、冷却水の温度は外部の気温と異なり、そのために、蒸気がトレイ１１の外壁上で凝縮され、問題を引き起こす露（Ｍ）が発生する。
本発明の実施形態によると、トレイの外壁上での露の発生を防止するキャニスタ用チラーが提供される。
本発明の別の実施形態によると、カバーとシール部材との連結構造を改善することによって、冷却水が外部に漏れることを防止するキャニスタ用チラーが提供される。
本発明のさらに別の実施形態によると、キャニスタの移動を防止するキャニスタ用チラーが提供される。
本発明のさらなる実施形態によると、露の底部への流れ落ちを防止するように、カバーの上面に発生する露を集めるためのキャニスタ用チラーが提供される。
本発明の目的および利点は、本発明の好ましい実施形態から、当業者によって明確に理解される。
本発明の実施形態によると、キャニスタ用チラーは、開放上部を有するドラム形トレイと、キャニスタを受けるためにトレイの内壁面と内側ケーシングとの間に所定の空間をあけてトレイに挿入される内側ケーシングと、内側ケーシングから排出された冷却水を集めるために内側ケーシングとトレイとの間に配置される排水容器とを含む。
本発明の別の実施形態によると、排水容器は、所定の空間によりトレイの内壁から切り離される。
本発明の別の実施形態によると、断熱層が、排水容器とトレイの内壁との間の所定の空間に配置される。
本発明の別の実施形態によると、冷却水排出管が、内側ケーシングから冷却水排出管を通して排水容器に集められたすべての冷却水を排出するように、トレイを通して排水容器に連結されている。
本発明の別の実施形態によると、排水容器が、内側ケーシングを囲むリングのように形づくられる。
本発明の別の実施形態によると、複数の逆三角形のオーバーフロー開口が、排水容器に連通するように、開口間に所定の間隔をあけて内側ケーシングの上部の内側に形成され、内側ケーシングを流れる冷却水は、オーバーフロー開口を通って排水容器へ移動する。
本発明の別の実施形態によると、複数の逆三角形のオーバーフロー開口が、排水容器に連通するように、開口間に所定の間隔をあけて内側ケーシングの上部の内側に形成され、内側ケーシングを流れる冷却水は、オーバーフロー開口を通って排水容器へ移動する。
本発明の別の実施形態によると、ロッキングスカートが、キャニスタの下部の周縁に沿って所定の長さに延在するロッキングバーを係止するように、内側ケーシングの底部に形成される。
本発明の別の実施形態によると、キャニスタ用チラーは、トレイおよび内側ケーシングの上部に固定的に連結される上部シール部と、上部シール部の上面に着脱可能に取り付けられる着脱可能シール部材と、冷却水が外部に流れることを防止するように着脱可能シール部材を押圧するために、着脱可能シール部材の上部に連結されるシールカバーとを含む。
本発明の別の実施形態によると、上部シール部の上面には、着脱可能シール部材を着座させるために所定の深さに凹んだ座面が設けられ、シールカバーの下部には、着脱可能シール部材を押圧するために、内部から外部へと放射方向に沿って増加する長さを有する圧力傾斜突起が設けられる。
本発明の別の実施形態によると、露受け溝は、周辺に沿った排水溝のように、シールカバーの上面を凹ませることによって形成されて露を受け、減湿ポケットは、トレイの上部の外面に連結されて、露受け溝からの露を集める。
本発明の別の実施形態によると、キャニスタ用チラーは、露受け溝に配置される一端と減湿ポケットに着脱可能に取り付けられる他端とを有するポケット連結管をさらに含む。
本発明の少なくとも１つの実施形態によると、キャニスタ用チラーの外部で露が形成することが防止される。
本発明の少なくとも１つの実施形態によると、シールカバーの上面で凝縮される露は、露受け溝によって受けられて減湿ポケットに排出され、したがって、露が底部に流れ落ちることが防止される。
本発明の少なくとも１つの実施形態によると、圧力傾斜突起の傾斜面は、冷却水が外部に漏れることを効果的に防止するように、着脱可能シール部材を押圧する。
本発明の少なくとも１つの実施形態によると、内側ケーシングの下部には、キャニスタの回転を防止するためにロッキングスカートが設けられ、したがって、キャニスタの位置が安定的に固定される。
本発明を明確に理解するために、本発明の好ましい実施形態が添付図面を参照して記載される。本発明の実施形態は、さまざまに変更されてもよく、本発明の範囲は、特に以下に記載される実施形態に限定されるべきではない。実施形態は、当業者が本発明を明確に理解するために提供される。したがって、構成部品の形状などは、明確な説明を強調するために誇張されてもよい。同一の要素は、同一の参照数字によって表されることに留意されたい。本発明の要点を不明確にすることがある従来の機能および構造は記載されない。
図２は本発明の実施形態によるキャニスタ用チラー１００の外部構造の斜視図であり、図３は本発明の実施形態によるキャニスタ用チラー１００の分解された構造の斜視図であり、図４は本発明によるキャニスタ用チラー１００の断面図、および冷却水の流路であり、図５は本発明によるキャニスタ用チラー１００の上部シール構造の拡大図である。
図に示されるように、本発明によるキャニスタ用チラー１００は、キャニスタ２００を囲み、キャニスタ２００を所定の温度に冷却するために冷却水を循環させる。この場合、キャニスタ用チラー１００には、冷却水を循環させるための循環ポンプ（図示せず）が設けられる。
本発明の実施形態によるチラー１００は、ドラム形トレイ１１０と、キャニスタ２００を囲むためにトレイ１１０に挿入される内側ケーシング１２０と、トレイ１１０と内側ケーシング１２０との間に配置される排水容器１３０と、内側ケーシング１２０に冷却水を案内する入口管１４０と、排水容器１３０の冷却水を外部に排出する排出管１４５と、トレイ１１０および内側ケーシング１２０の上部に連結される上部シール部１５０と、上部シール部１５０に着脱可能に取り付けられる着脱可能シール部材１６０と、着脱可能シール部材１６０の上部に連結されるシールカバー１７０と、シールカバー１７０で発生する露を集めるために、トレイ１１０の外周面に連結される減湿ポケット１８０とを含む。
トレイ１１０は、内側ケーシング１２０およびキャニスタ２００を囲むための所定の直径を有する円筒として形成される。トレイ１１０は、トレイ本体１１１と、トレイ本体１１１と内側ケーシング１２０とを連結する内側入口管１１３と、トレイ１１０の底部に連結される可動容器１１５とを含む。
トレイ本体１１１は、冷却水を安定的に流入出させ、キャニスタ２００を安定的に支持する。トレイ本体１１１の下部に入口管１４０が設けられ、トレイ本体１１１の上部に排出管１４５が設けられる。入口管１４０は、内側入口管１１３に連結される。内側入口管１１３は、内側ケーシング１２０に冷却水を供給するように、内側ケーシング１２０の底部で入口穴１２２に連結される。
可動容器１１５は、たとえば、移動するトレイ１１０を支持するために、トレイ１１０の底部に連結される。可動容器１１５の下部には、複数の車輪１１６が設けられる。
トレイ本体１１１の上部には、内側ケーシング１２０とトレイ本体１１１とを連結するための連結板１１８が設けられる。連結板１１８の上面には、上部シール部１５０が設けられる。
内側ケーシング１２０は、所定の空間だけトレイの内側から切り離されるトレイ１１０に挿入される。内側ケーシング１２０は、キャニスタ２００を囲む。内側ケーシング１２０は、たとえば、トレイ本体１１１に挿入される内側ケーシング本体１２１と、冷却水を排水容器１３０に排出するために内側ケーシング本体１２１の内壁を貫通するオーバーフロー開口１２３と、内側ケーシング１２１の底部に形成される複数のロッキングスカート(locking skirts) １２５とを含む。
内側ケーシング本体１２１は、キャニスタ２００が内側ケーシング本体１２１とキャニスタ２００との間を流れる冷却水と熱交換するように、キャニスタ２００を受ける。内側ケーシング本体１２１は、所定の空間だけトレイ本体１１１から切り離される外径を有する。
内側ケーシング本体１２１とトレイ本体１１１との間の分離空間は、断熱材（Ａ）で満たされる。断熱材（Ａ）は冷却水とトレイ１１０の外壁との間の熱交換を防止し、したがって、トレイ１１０の外部での露の発生を防止する。
内側ケーシング本体１２１とトレイ本体１１１との間の分離空間（Ｌ２）は、冷却水の温度によって調整されてもよい。また、断熱材（Ａ）の種類は、冷却水の温度によって選ばれてもよい。また、別の実施形態によると、空気が、独立した断熱材（Ａ）の代わりに断熱層の役割を果たしてもよい。
内側ケーシング本体１２１の内径は、キャニスタ２００の外径より所定の長さ（ｄ１）だけ大きい。本発明の実施形態による内側ケーシング本体１２１の内径は、キャニスタ２００の外径より１ｍｍだけ大きい。冷却水は、キャニスタ２００と熱を交換するように、キャニスタ２００の外側と内側ケーシング本体１２１の内側との間を流れる。
オーバーフロー開口１２３は、内側ケーシング本体１２１上部の内壁面を貫通して形成される。オーバーフロー開口１２３は、キャニスタ２００との交換熱を有する冷却水を排水容器１３０に排出する。冷却水は、上部シールブロック１５１によって上へ流れることを阻止され、したがって、オーバーフロー開口１２３にあふれ出る。
本実施形態において、オーバーフロー開口１２３は、逆三角形のように形づくられてもよい。したがって、オーバーフロー開口１２３の断面は、オーバーフロー開口１２３を通して排水容器１３０に排出される冷却水の渦を減少させるように、上部から下部に向けて減少する。
ロッキングスカート１２５は、内側ケーシング本体１２１に挿入されたキャニスタ２００の位置を固定する。ロッキングスカート１２５は、図４に示されるように、内側ケーシング本体１２１の下部側壁から突出して形成される。ロッキングスカート１２５は、側壁から内向きに放射状に突出し、垂直に曲げられた端部領域１２５ａを有する。したがって、連結溝１２５ｂが、端部領域１２５ａと側壁との間に形成され、キャニスタ２００のロッキングバー２１０を受ける。
ロッキングバー２１０は、キャニスタ２００の下部側壁２１１の内周に沿って突出して形成される。ロッキングバー２１０の端部は、段のあるロッキング突起２１０ａで形成される。ロッキング突起２１０ａの長さは、連結溝１２５ｂの幅より大きくてもよく、したがって、キャニスタ２００を内側ケーシング１２０に挿入すると、キャニスタ２００の側壁２１１は、ロッキングスカート１２５の連結溝１２５ｂに挿入される。次いで、キャニスタ２００を回転し、ロッキングバー２１０は、ロッキング突起２１０ａを端部領域１２５ａに接触させるように連結溝１２５ｂに挿入され、したがって、キャニスタの回転が防止される。
したがって、キャニスタ２００および内側ケーシング１２０の位置は固定され、内側ケーシング１２０を流れる冷却水は、キャニスタ２００と安定的に熱を交換する。
トレイ１１０と内側ケーシング１２０との間に挿入される排水容器１３０は、排出管１４５に排出される冷却水を集める。排水容器１３０は、内側ケーシング１２０の外壁面を囲むリングのように形づくられ、オーバーフロー開口１２３に対応する。この場合、排水容器１３０の幅は、所定の空間だけトレイ１１０の内壁面から切り離されるように形成される。したがって、断熱材（Ａ）は、排水容器１３０とトレイ１１０の内壁面との間に挿入される可能性がある。
排水容器１３０は、冷却水が排水容器１３０を通して排出管１４５に排出されるように、トレイ１１０と内側ケーシング１２０との間に別に設けられ、したがって、図１に示されるような従来のチラー１０と比較して、冷却水がトレイ１１０に直接接触することが防止される。また、断熱材（Ａ）は、トレイ１１０の外壁面での露の発生を防止するように、排水容器１３０とトレイ１１０との間に配置される。
入口管１４０はトレイ１１０の外部に連結され、トレイ１１０の内側に冷却水を案内する。入口管１４０は内側入口管１１３に連結され、冷却水を供給する。
排出管１４５は排水容器１３０に連結され、外部との熱交換を終えた冷却水を排出する。排出管１４５は、排水容器１３０の連結管１３５を経由して連結される。
図５は、キャニスタチラー１００の上部シール構造を示す拡大断面図である。図に示されるように、上部シール部１５０は、冷却水が外部に漏れることを防止するように、トレイ１１０および内側ケーシング１２０の上部に配置される。上部シール部１５０は、連結板１１８の上部に一体的に連結される上部シールブロック１５１と、上部シールブロック１５１と連結板１１８との間に配置される複数の下部シール部材１５３とを含む。
上部シールブロック１５１は、連結板１１８に固定的に連結される。下部シール部材１５３は、連結板１１８と上部シールブロック１５１との間に固定的に連結され、冷却水が横に（すなわち、キャニスタチラー１００の中心から半径方向外方に）漏れることを防止する。下部シール部材１５３は、Ｏリングとして作られてもよい。
上部シールブロック１５１の内側の外周面には、所定の深さの段を形成するように凹んだ座面１５７が設けられる。着脱可能シール部材１６０が、座面１５７に着座する。
上部シールブロック１５１の外部の外周面には、座面１５７との干渉を防止するように、所定の間隔をあけて係合部材挿入溝１５５が設けられる。係合部材１７９が係合部材挿入溝１５５に挿入され、上部シールブロック１５１およびシールカバー１７０の位置を固定する。
着脱可能シール部材１６０は、上部シール部材１５０に着脱可能に取り付けられる。着脱可能シール部材１６０は座面１５７上に着座し、冷却水が外部に漏れることを防止するように、シールカバー１７０によって押圧される座面１５７に密着する。着脱可能シール部材１６０もＯリングとして作られてもよい。
シールカバー１７０は、上部シール部１５０の上部に連結される。シールカバー１７０は、着脱可能シール部材１６０が上部シール部１５０に密着するように、下方へ上部シール部１５０を押圧する。シールカバー１７０は、シールカバー本体１７１と、シールカバー本体１７１の周辺のくぼみによって形成される露受け溝１７３と、露受け溝１７３と減湿ポケット１８０とを連結するポケット連結管１７５と、着脱可能シール部材１６０を押圧するシールカバー１７０の下部から突出する圧力傾斜突起１７７とを含む。
シールカバー本体１７１はリングのように形づくられ、上部シール部１５０の上部を覆う。露受け溝１７３は、その周辺に沿った排水溝のように、シールカバー本体１７１の上面を押し下げることによって形成される。
断熱材（Ａ）は、トレイ１１０と内側ケーシング１２０との間に挿入されるが、上部シール部１５０とシールカバー１７０との間には断熱材（Ａ）は挿入されず、冷却水と外部との温度差によってシールカバー本体１７１の上面に露が発生することがある。露受け溝１７３は、結露によって発生する露を受けるように、シールカバー本体１７１を所定の深さだけ押し下げて形成される。露受け溝１７３は、シールカバー１７０に沿って露が下に流れることを防止する。
ポケット連結管１７５は、露受け溝１７３に配置される一端と、減湿ポケット１８０に着脱可能に連結される他端とを有する。露受け溝１７３で受けられた露は、ポケット連結管１７５を通って減湿ポケット１８０に流れる。
圧力傾斜突起１７７は、シールカバー本体１７１の下部から突出して形成される。この場合、圧力傾斜突起１７７は、シールカバー本体１７１の内側境界から、着脱可能シール部材１６０の直径だけ切り離されて配置される。さらに、圧力傾斜突起１７７は、半径方向外方に増加する長さを有するように、傾斜して形成される。
圧力傾斜突起１７７のこのような形状のため、シールカバー１７０が上部シール部材１５０の方へ係合部材１７９によって押圧される場合、着脱可能シール部材１６０は圧力傾斜突起１７７の傾斜面と連結板１１８とを密着させ、したがって、シール効果を向上させる。また、圧力傾斜突起１７７は座面１５７に接触し、冷却水が漏れることを効果的に防止する。
減湿ポケット１８０はトレイ１１０の上部外壁に連結され、シールカバー１７０から発生した露を集める。
減湿ポケット１８０は、たとえば、露を受ける室を有するポケット本体１８１と、露の液位を示すためにポケット本体１８１の一方に配置される液位計１８５と、ポケット本体１８１の露を外部に排出する露排出管１８７とを含む。
ポケット本体１８１は、たとえば、トレイ１１０の外壁に連結される。ポケット本体１８１の上部には、ポケット連結管１７５に連結される露入口穴１８３が設けられ、よって、露がポケット本体１８１の内側へ案内される。
液位計１８５は目視によって確認され、露排出管１８７を切り替えることによって露を排出する。
本発明によるキャニスタ用チラー１００の操作が、図２〜５を参照して記載される。
最初に、キャニスタ２００が内側ケーシング１２０に挿入される。この際、着脱可能シール部材１６０およびシールカバー１７０は、トレイ１１０から切り離される。キャニスタ２００を内側ケーシング１２０に挿入した後、図４に示されるように、キャニスタ２００の側壁２１１をロッキングスカート１２５の連結溝１２５ｂに挿入するように配置し、時計回りまたは反時計回りに回転させる。
回転させることによって、ロッキングバー２１０が連結溝１２５ｂに挿入され、ロッキング突起２１０ａが端部領域１２５ａに接触し、よって、キャニスタ２００の移動が防止される。したがって、キャニスタ２００の位置は、熱交換を行うために冷却水が流れる間、安定的に固定される。
一方、キャニスタ２００は、周囲面に連結される着脱可能シール部材１６０とともに内側ケーシング１２０に挿入される。キャニスタ２００の挿入により、着脱可能シール部材１６０が上部シールブロック１５１の座面１５７上に着座する。
キャニスタ２００の位置が固定されると、シールカバー１７０が着脱可能シール部材１６０の上部に配置される。次に、複数の係合部材１７９が、シールカバー１７０を上部シールブロック１５１に固定するように留められる。この場合、圧力傾斜突起１７７は、上部シールブロック１５１とシールカバー１７０との間のシール力を高めるように、着脱可能シール部材１６０を押圧し、冷却水が外部に漏れることを二重に防止する。
シールカバー１７０の連結が完了すると、ポケット連結管１７５が減湿ポケット１８０に連結される。このようにして、キャニスタ２００とチラー１００との連結が完了すると、冷却水が内側ケーシング１２０の内側に供給される。
冷却水は、図４の矢印で示されるように、入口管１４０および内側入口管１１３を通って内側ケーシング１２０に流れる。冷却水は、内側ケーシング１２０の内壁とキャニスタ２００との間の分離空間を通って、排水容器１３０に向かうオーバーフロー溝１２３に流れる。排水容器１３０に集められた冷却水は、連結管１３５および排出管１４５を通って外部に排出される。
この際、断熱材（Ａ）が、冷却水の外気との接触を防止するように、内側ケーシング１２０とトレイ１１０との間の分離空間に挿入される。したがって、トレイ１１０の外壁は、外気温と等しいまたはほぼ等しい温度に維持され、露は発生しない。
また、排水容器１３０はトレイ１１０の内壁から切り離されて配置され、断熱材（Ａ）はそれらの間に挿入されており、よって、トレイ１１０を通して露は発生しない。
シールカバー１７０の表面は、冷却水と空気との温度差により露が発生する。結露によって発生した露は、段のある露受け溝１７３に集められる。露受け溝１７３に所定の液位まで集められた露は、ポケット連結管１７５を通して減湿ポケット１８０に移動する。減湿ポケット１８０に受けられた露は、露排出管１４５を通して外部に排出される。
上記のキャニスタチラーの実施形態は実施例のみであり、このような実施形態が本発明を逸脱しない範囲でさまざまに変形または変更されてもよいことが、当業者によって理解されるであろう。したがって、本発明は、上記の形態によって限定されるものではない。よって、本発明の保護される範囲は、添付された請求の範囲の技術的概念によって決定されなければならない。また、本発明が、本発明の要点の範囲内の、すべての変形形態、変更形態、および代替形態を含むことに留意されたい。
１００ キャニスタ用チラー
１１０ トレイ
１１１ トレイ本体
１１３ 内側入口管
１１５ 可動容器
１１６ 車輪
１１８ 連結板
１２０ 内側ケーシング
１２１ 内側ケーシング本体
１２２ 入口穴
１２３ オーバーフロー溝
１２５ ロッキングスカート
１２５ａ 端部領域
１２５ｂ 連結溝
１３０ 排水容器
１３５ 連結管
１４０ 入口管
１４５ 排出管
１５０ 上部シール部
１５１ 上部シールブロック
１５３ 下部シール部材
１５５ 係合部材挿入溝
１５７ 座面
１６０ 着脱可能シール部材
１７０ シールカバー
１７１ シールカバー本体
１７３ 露受け溝
１７５ ポケット連結管
１７７ 圧力傾斜突起
１７９ 係合部材
１８０ 減湿ポケット
１８１ ポケット本体
１８３ 露入口穴
１８５ 液位計
１８７ 露排出管
２００ キャニスタ
２１０ ロッキングバー
２１０ａ ロッキング突起
Ａ 断熱材
１１０ トレイ
１１１ トレイ本体
１１３ 内側入口管
１１５ 可動容器
１１６ 車輪
１１８ 連結板
１２０ 内側ケーシング
１２１ 内側ケーシング本体
１２２ 入口穴
１２３ オーバーフロー溝
１２５ ロッキングスカート
１２５ａ 端部領域
１２５ｂ 連結溝
１３０ 排水容器
１３５ 連結管
１４０ 入口管
１４５ 排出管
１５０ 上部シール部
１５１ 上部シールブロック
１５３ 下部シール部材
１５５ 係合部材挿入溝
１５７ 座面
１６０ 着脱可能シール部材
１７０ シールカバー
１７１ シールカバー本体
１７３ 露受け溝
１７５ ポケット連結管
１７７ 圧力傾斜突起
１７９ 係合部材
１８０ 減湿ポケット
１８１ ポケット本体
１８３ 露入口穴
１８５ 液位計
１８７ 露排出管
２００ キャニスタ
２１０ ロッキングバー
２１０ａ ロッキング突起
Ａ 断熱材
Claims (17)
- 開放上部を有するドラム形トレイと、
キャニスタを受けるために前記トレイの内壁から所定の空間をあけて前記トレイに挿入される内側ケーシングと、
前記内側ケーシングの内壁と前記キャニスタの間の空間に流す冷却水を供給する入口管と、
前記内側ケーシングから排出された冷却水を集めるために、前記内側ケーシングと前記トレイとの間に配置される排水容器と、
を含み、
前記排水容器は、前記トレイの内壁から所定の空間分離れている、キャニスタ用チラー。
- 前記排水容器と前記トレイの内壁との間の空間に断熱材が設けられることを特徴とする、請求項１に記載のキャニスタ用チラー。
- 冷却水排出管が前記トレイを貫いて前記排水容器に連結され、前記内側ケーシングから排出されたすべての前記冷却水は前記排水容器に集められ、前記冷却水排出管を介してそとに排出される、請求項１または２に記載のキャニスタ用チラー。
- 前記排水容器が、前記内側ケーシングを囲むリング形である、請求項３に記載のキャニスタ用チラー。
- 複数の逆三角形のオーバーフロー開口が、前記排水容器に連通するように、前記開口間に所定の間隔をあけて前記内側ケーシングの上部の内側に形成され、前記内側ケーシングを流れる前記冷却水は、前記オーバーフロー開口を通って前記排水容器へ移動することを特徴とする、請求項１に記載のキャニスタ用チラー。
- 複数の逆三角形のオーバーフロー開口が、前記排水容器に連通するように、前記開口間に所定の間隔をあけて前記内側ケーシングの上部の内側に形成され、前記内側ケーシングを流れる前記冷却水は、前記オーバーフロー開口を通って前記排水容器へ移動することを特徴とする、請求項３に記載のキャニスタ用チラー。
- ロッキングスカートが、前記キャニスタの下部の周縁に沿って形成されたロッキングバーをインターロックするように、前記内側ケーシングの底部に設けられていることを特徴とする、請求項３に記載のキャニスタ用チラー。
- 前記トレイおよび前記内側ケーシングの上部に固定的に取り付けられる上部シール部と、
前記上部シール部の上面に着脱可能に取り付けられる着脱可能シール部材と、
前記冷却水が外部に流れることを防止するように前記着脱可能シール部材を押圧するために、前記着脱可能シール部材の上部に取り付けられるシールカバーと
をさらに含む、請求項３に記載のキャニスタ用チラー。 - 前記上部シール部の上面には、前記着脱可能シール部材を着座させるために所定の深さに凹んだ座面が設けられ、前記シールカバーの下部には、前記着脱可能シール部材を押圧するために圧力傾斜突起が設けられ、前記圧力傾斜突起は内部から外部へと放射方向に増加する高さを有することを特徴とする、請求項８に記載のキャニスタ用チラー。
- 露を受けるために、トレンチ型露受け溝が、前記シールカバーの上面の周縁に沿って所定に深さで形成されており、減湿ポケットが前記トレイの上部周縁部表面に設けられ、前記露受け溝の露を集めることを特徴とする、請求項９に記載のキャニスタ用チラー。
- 前記露受け溝に配置される一端と前記減湿ポケットに着脱可能に取り付けられる他端とを有するポケット連結管をさらに含む、請求項１０に記載のキャニスタ用チラー。
- 前記トレイおよび前記内側ケーシングの上部に固定的に取り付けられる上部シール部と、
前記上部シール部の上部表面に着脱可能に取り付けられる着脱可能シール部材と、
前記着脱可能シール部材の上部に取り付けられるシールカバーと、
前記シールカバー内で発生した露を集める減湿ポケットと
をさらに含む、請求項１に記載のキャニスタ用チラー。 - 前記減湿ポケットが、前記トレイの前記上部周縁表面に取り付けられることを特徴とする、請求項１２に記載のキャニスタ用チラー。
- 前記シールカバーが前記着脱可能シール部材を押圧する、請求項１２に記載のキャニスタ用チラー。
- 露を受けるために、トレンチ型露受け溝が、前記シールカバーの上面の周縁部に所定の深さで形成されており、前記露受け溝と前記減湿ポケットがポケット連結管により連結されていることを特徴とする、請求項１２に記載のキャニスタ用チラー。
- 冷却水排出管が前記トレイを貫いて前記排水容器に連結され、前記内側ケーシングから排水されたすべての前記冷却水が前記排水容器に集められ、前記冷却水排出管を通じて外部に排出されることを特徴とする、請求項１２に記載のキャニスタ用チラー。
- 複数の逆三角形のオーバーフロー開口が、前記排水容器に連通するように、前記開口間に所定の間隔をあけて前記内側ケーシングの上部の内側に形成され、前記内側ケーシングを流れる前記冷却水は、前記オーバーフロー開口を通って前記排水容器へ移動することを特徴とする、請求項１２に記載のキャニスタ用チラー。
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