JP5946109B2 - 空気浄化装置およびその試験システム - Google Patents

Description

本発明は、ケミカルハザード物質を使用している事業所、例えば抗生物質の製造室等の排気系に使用される空気浄化装置およびその試験システムに関する。

例えば、抗生物質の製造室等のケミカルハザード物質を使用する製造現場では、ケミカルハザード物質は、製造現場の雰囲気を空気浄化装置に通すことによって、製造現場の外部への流出を防止している。空気浄化装置には、０．３μｍのＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）粒子に対して９９．９７％以上のろ過効率を有するＨＥＰＡフィルタや、０．１μｍの粒子に対して９９．９９９％以上のろ過効率を有するＵＬＰＡフィルタ等が用いられる。
このような空気浄化装置は、例えば特許文献１と特許文献２に開示されている。この空気浄化ユニットは、鋼またはＳＵＳからなるケーシング内にＨＥＰＡフィルタを取り付けたもので、空気浄化装置に流入したハザード物質を含む空気をろ過して、清浄な空気のみを室外に排出する。

空気浄化装置のＨＥＰＡフィルタには、空気のろ過に伴いハザード物質のみならず粉塵も堆積する。このためＨＥＰＡフィルタは、目詰まりにより圧力損失が増加することから、定期的に交換が必要である。
ＨＥＰＡフィルタとケーシングのシール部は、一般にスポンジパッキンによって気密性が保たれているが、パッキンの経時劣化によりシール部からリークが生じる可能性がある。
このため、ＨＥＰＡフィルタの交換時や一定期間運転後等では、ＨＥＰＡフィルタやシール部からのリークがないことを、定期的にリーク試験して確認する必要がある。

このリーク試験について説明すると、空気浄化装置のリーク試験は、ＨＥＰＡフィルタの上流側におけるケーシング内に試験用粒子を供給し、ＨＥＰＡフィルタの上流側および下流側における試験用粒子濃度を検出することにより行われる（特許文献１の図１３参照）。リーク試験は、以下の通りに行われる。
（１）空気浄化装置に送風する。
（２）空気浄化装置の上流側のケーシングに試験用粒子（例えば粒径０．３μｍのＤＯＰ粒子）を投入する。
（３）粒子検出器（例えばパーティクルカウンタ）により、ＨＥＰＡフィルタの上流側の試験用粒子濃度を測定する。
（４）ＨＥＰＡフィルタの下流側の試験用粒子濃度を同様に測定する
（５）ＨＥＰＡフィルタ上流と下流の試験用粒子濃度の比より、ＨＥＰＡフィルタからのリークが規定のレベル以下であることを確認する。

また、近年、作業者によるプローブの走査作業を伴うリーク試験が、ＨＥＰＡフィルタ取り付け状態でおこなえるような構造とした空気浄化装置の出現を望むユーザが増えている。ＨＥＰＡフィルタのリーク試験を行うために、例えば特許文献３に記載の高性能フィルタ検査装置が知られている。特許文献３に記載の検査装置では、フィルタの上流側の粒子供給部と、フィルタの下流側のサンプリングプローブとを、フィルタを間に挟んで少ない間隔で相互に対向させるとともに、粒子供給部とサンプリングプローブの対向位置関係を保ったまま粒子供給部とサンプリングプローブとをフィルタ全面にわたってスキャンニングさせる同期スキャンニング機構を有する。特許文献３の検査装置は、試験用粒子の供給および検出が効率よく行われることから、より少ない粒子供給量でより精度よくフィルタのリークを検出することができる点で優れている。

特開２００２−２１４１１５号公報 特開２００９−５０８３１号公報 特開平８−１１０２９４号公報

ところで、特許文献１と特許文献２に開示されている空気浄化装置では、ＨＥＰＡフィルタは排気系に用いられるために、ＨＥＰＡフィルタの下流側では空気浄化装置外の圧力に比べて負圧となっている。このためリーク試験においては、空気浄化装置外の粒子がＨＥＰＡフィルタの下流側に吸引されて、リークしてきた粒子の検出の障害とならないように、ＨＥＰＡフィルタの下流側は空気浄化装置の外部からは気密性よく遮断されていなければならない。このため、空気浄化装置のリーク試験では、ＨＥＰＡフィルタの下流側を空気浄化装置外の雰囲気に開放できないことから、作業者がＨＥＰＡフィルタ下流側に清浄空間が形成される通常のクリーンルームのように、吹き出し口にプローブを手で持ってリーク試験を行うことができない。

通常は、空気浄化装置のケーシングの利用や固定配管の設置等により、空気浄化装置の外部に対して気密な通気路をフィルタ下流側に形成し、リークした粒子を検出する手法が用いられる。しかし、このリークした粒子を検出する手法を用いる場合には、次のような問題点がある。
（１）ＨＥＰＡフィルタの下流側の試験用粒子サンプリング位置がＨＥＰＡフィルタに近いと、サンプリング位置から離れた場所にリークがあった場合に、そのリークから漏れてくる試験用粒子をサンプリングできず、リークを見落としてしまうことがある。
（２）リークから漏れてきた試験用粒子を確実に検出するため、ＨＥＰＡフィルタの下流側のサンプリング位置をＨＥＰＡフィルタから十分に離れた位置とすると、漏れてきた試験用粒子がＨＥＰＡフィルタの正常部を通過した清浄空気により希釈されてしまうため、比較的小さなリークを見落としてしまうことがある。

また、特許文献３に記載の高性能フィルタ検査装置は、ＨＥＰＡフィルタのリークを検出するための装置であることから、例えばＨＥＰＡフィルタが空気浄化装置に取り付けられた際に、取り付けの不具合やパッキンの劣化等、取り付けによって生じるリークについては検出することができない。従って、特許文献３に記載の高性能フィルタ検査装置は、実際にＨＥＰＡフィルタが空気浄化ユニットに設置された状況でのリークの有無を検査するには必ずしも適当でない場合がある。

そこで、特許文献１に開示された空気浄化装置は、空気を浄化する状態においてリーク試験を実施することができるようにするために、浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシングと、このケーシング内に設けられてケーシングを通る空気を浄化するＨＥＰＡフィルタとを有し、さらにリーク試験時にＨＥＰＡフィルタよりも上流側のケーシング内の空気を捕捉して案内する上流側検出口と、ＨＥＰＡフィルタよりも下流側のケーシング内を移動自在であり、リーク試験時にＨＥＰＡフィルタよりも下流側のケーシング内の空気を捕捉して案内するサンプリングプローブを有している。
ところが、特許文献１の空気浄化装置では、作業者がケーシングの内部を観察するために観察窓が設けられているが、この観察窓は、ケーシングの前面の中央部の位置に形成されている。従って、作業者がプローブ走査によりＨＥＰＡフィルタ上の試験用粒子をサンプリングする際に、作業者はプローブをほぼ水平方向に沿って、しかもグローブを通して目視で観察することになり、作業者の観察視野が狭くなりプローブ走査状況が観察しづらいので、試験用粒子のサンプリング作業が容易に行えない。
本発明は、上記課題を解消するためになされたものであり、作業者がサンプリングプローブを目視で直接観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる空気浄化装置およびその試験システムを提供することを目的とする。

本発明の空気浄化装置は、浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシングと、前記ケーシング内に設けられて前記ケーシングを通る空気を浄化する空気浄化部とを有する空気浄化装置であって、前記ケーシング内の前記空気浄化部におけるリーク試験時に前記空気浄化部よりも上流側のケーシング下部の外側で空気を捕捉する上流側検出部と、前記空気浄化部よりも下流側のケーシング上部内を移動自在であり、前記リーク試験時に前記空気浄化部よりも前記下流側のケーシング上部内の空気を捕捉するサンプリングプローブと、前記下流側のケーシング上部に配置されて前記サンプリングプローブを移動操作させる操作部と、前記下流側のケーシング上部において前記操作部の上の位置に配置されて作業者が前記サンプリングプローブを視認するための観察窓と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、作業者がサンプリングプローブを目視で直接観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。すなわち、観察窓は、サンプリングプローブと操作部の位置よりも高い位置にあるので、作業者は観察窓を通してケーシング内の全体の様子を容易に見渡すことができ、作業者が目視で直接サンプリングプローブを観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。

好ましくは、前記操作部は、前記観察窓と別体的に設けられ、作業者の手を入れるための変形自在で気密な構造を有するグローブであることを特徴とする。
上記構成によれば、作業者は、手を操作部であるグローブに挿入するだけで、作業者はサンプリングプローブを走査することで空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。
好ましくは、前記上流側のケーシング下部から前記空気浄化部を着脱可能に取り付け可能な着脱部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、空気浄化部は、交換の際に上流側のケーシング下部から取り外すことができるので、下流側のケーシング上部を気密状態に維持することができ、従来必要であったビニールバッグの交換作業を行う必要が無い。

好ましくは、前記試験用粒子供給部から供給される試験用粒子がチャンバーに導かれ、前記上流側検出部が、前記チャンバーの前記チャンバー出口と前記ケーシングの開口との間で上流側の空気を捕捉して案内する構成としたことを特徴とする。
上記構成によれば、上流側検出部が、チャンバーのチャンバー出口とケーシングの開口との間で上流側の空気を捕捉できるので、試験粒子の上流側濃度を代表できる。

好ましくは、前記ケーシングの開口から吸入された空気がプレフィルタおよび前記空気浄化部を通過して排気口から排出されるように前記ケーシングの内部が連通しており、前記プレフィルタを取り外した状態で前記開口から前記ケーシングの内部に放水したときに前記空気浄化部の少なくとも空気流の上流側の面が水洗可能なように、前記空気浄化部が前記ケーシングの内部において着脱可能に前記着脱部に取り付けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、空気浄化部の少なくとも上流側の表面を洗浄水により濡らすことができるので、空気浄化部の上流側の表面において捕集した有害粉塵が飛散してすることが無い。従って、空気浄化部の水洗作業や空気浄化部の交換作業において、作業者が有害粉塵を吸引することがない。

本発明の試験システムは、試験装置のことであり、浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシングと、前記ケーシング内に設けられて前記ケーシングを通る空気を浄化する空気浄化部とを有する空気浄化装置におけるリークを検出するための試験システムであって、前記ケーシング内の前記空気浄化部におけるリーク試験時に前記空気浄化部よりも上流側のケーシング下部の外側で空気を捕捉する上流側検出部と、前記空気浄化部よりも下流側のケーシング上部内を移動自在であり、前記リーク試験時に前記空気浄化部よりも前記下流側のケーシング上部内の空気を捕捉するサンプリングプローブと、前記下流側のケーシング上部に配置されて前記サンプリングプローブを移動操作させる操作部と、前記下流側のケーシング上部において前記操作部の上の位置に配置されて前記作業者が前記サンプリングプローブを視認するための観察窓と、前記空気浄化部よりも前記上流側のケーシング下部内に試験用粒子を供給する試験用粒子供給部と、前記上流側検出部から案内される上流側空気に含まれる前記試験用粒子と、前記サンプリングプローブから案内される下流側空気に含まれる前記試験用粒子を検出する試験用粒子検出部と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、作業者がサンプリングプローブを目視で直接観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。すなわち、観察窓は、サンプリングプローブと操作部の位置よりも高い位置にあるので、作業者は観察窓を通してケーシング内の全体の様子を容易に見渡すことができ、作業者が目視で直接サンプリングプローブを観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。

好ましくは、試験システムは、前記試験用粒子供給部から供給された前記試験用粒子を分散して均一化する粒子分散部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、試験用粒子は、試験用粒子供給部からの試験用粒子を均一に分散した状態にして、上流側のケーシング下部内に導入することができるので、リーク試験の精度を保つことができる。
好ましくは、試験システムは、前記操作部は、前記観察窓と別体的に設けられ、作業者の手を入れるための変形自在で気密な構造を有するグローブであることを特徴とする。
上記構成によれば、作業者は、手を操作部であるグローブに挿入するだけで、作業者はサンプリングプローブを走査することで空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。

好ましくは、試験システムは、前記上流側のケーシング下部から前記空気浄化部を着脱可能に取り付け可能な着脱部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、空気浄化部は、交換の際に上流側のケーシング下部から取り外すことができるので、下流側のケーシング上部を気密状態に維持することができ、従来必要であったビニールバッグの交換作業を行う必要が無い。
好ましくは、試験システムは、前記試験用粒子供給部から供給される試験用粒子がチャンバーに導かれ、前記上流側検出部が、前記チャンバーの前記チャンバー出口と前記ケーシングの開口との間で上流側の空気を捕捉して案内する構成としたことを特徴とする。
上記構成によれば、上流側検出部が、チャンバーのチャンバー出口とケーシングの開口との間で上流側の空気を捕捉できるので、試験粒子の上流側濃度を代表できる。

好ましくは、試験システムは、前記ケーシングの開口から吸入された空気がプレフィルタおよび前記空気浄化部を通過して排気口から排出されるように前記ケーシングの内部が連通しており、前記プレフィルタを取り外した状態で前記開口から前記ケーシングの内部に放水したときに前記空気浄化部の少なくとも空気流の上流側の面が水洗可能なように、前記空気浄化部が前記ケーシングの内部に着脱可能に前記着脱部に取り付けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、空気浄化部の少なくとも上流側の表面を洗浄水により濡らすことができるので、空気浄化部の上流側の表面において捕集した有害粉塵が飛散してすることが無い。従って、空気浄化部の水洗作業や空気浄化部の交換作業において、作業者が有害粉塵を吸引することがない。

本発明は、作業者がサンプリングプローブを目視で直接観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる空気浄化装置およびその試験システムを提供することができる。

本発明の空気浄化装置の実施形態とこの空気浄化装置の試験システムの実施形態を示す概略側面図。 図１に示す本発明の空気浄化装置およびその試験システムの実施形態の概略正面図。 図１に示す本発明の空気浄化装置の試験システムの実施形態の使用状態を示す概略正面図。 図３の使用状態の概略平面図。 図２に示すプレフィルタにおけるＤ−Ｄ線の断面構造例を示す図。 ＨＥＰＡフィルタをケーシング内に着脱可能に取り付けるための着脱部の構造例を示す図。 下流側検出口の付近を示す図。 グローブの取り付け構造例を示す図。 ＨＥＰＡフィルタの交換作業の例を示す図。

以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図１は、本発明の空気浄化装置とこの空気浄化装置の試験システムの各実施形態を示す図であり、図２は図１の空気浄化装置だけを示す正面図であり、図３は、図１に示す空気浄化装置の試験システム（試験装置）の使用状態を示す正面図、図４は図３の使用状態を示す概略平面図である。
図１では、空気浄化装置に試験システム（試験装置）を設けた状態を示している。

図１と図２に示す空気浄化装置１００は、ケミカルハザード物質を使用している事業所、例えば抗生物質の製造室等における排気系に使用される。この空気浄化装置１００は、部屋Ｒの床面Ｆに設定され、部屋Ｒの側壁Ｗに対して面一になるように設けられており、部屋Ｒの壁面Ｗの一部を形成している。空気浄化装置１００に粒子発生器２０やチャンバー１０９等を配置して試験システム（試験装置）を形成している。
図１と図２に示す空気浄化装置１００は、ケーシング１を有しており、ケーシング１は上流側のケーシング下部１Ａと下流側のケーシング上部１Ｂを有している。上流側のケーシング下部１Ａから部屋Ｒ内の空気を取り入れて、部屋Ｒ内の空気を、空気浄化部である例えばＨＥＰＡフィルタ２を通して浄化した後に、浄化した空気を下流側のケーシング上部１Ｂの上部の排気口１５から、矢印Ｃで示すように部屋Ｒの外部に排気するようになっている。

図１に示すケーシング１の上流側のケーシング下部１Ａと下流側のケーシング上部１Ｂは、上述したように空気の通気路を形成しており、ＨＥＰＡフィルタ２がこのケーシング１内の途中の位置において、着脱部３００を用いて着脱可能に設けられている。ケーシング１の上流側のケーシング下部１Ａは、ＨＥＰＡフィルタ２の下側に位置し、下流側のケーシング上部１Ｂは、は、ＨＥＰＡフィルタ２の上側に位置している。すなわち、上流側のケーシング下部１Ａは、ＨＥＰＡフィルタ２に対して空気の上流側に位置しており、下流側のケーシング上部１Ｂは、ＨＥＰＡフィルタ２に対して空気の下流側に位置している。
上流側のケーシング下部１Ａには、空気の吸気口３が設けられている。
図５は、図２に示すプレフィルタ４におけるＤ−Ｄ線の断面構造例を示している。図５に示すように、この吸気口３の開口１１０には、プレフィルタ４が着脱可能に設けられている。このプレフィルタ４は、ＨＥＰＡフィルタ２に対して上流側に配置されており、ＨＥＰＡフィルタ２に比べて、比較的大きな塵埃を捕集することができる。
図１に示すように、上流側のケーシング下部１Ａ内には、傾斜床ＣＦが形成されている。この傾斜床ＣＦは、上流側のケーシング下部１Ａの背面側から吸気口３に向けて下がるように湾曲して形成されている。これにより、ＨＥＰＡフィルタ２の下面側を洗浄水で洗浄して清掃した場合に、上流側のケーシング下部１Ａ内からの洗浄水の排出を容易にしている。

図１に示すＨＥＰＡフィルタ２は、例えば処理風量が１９．６ｍ3／ｍｉｎ、圧力損失が２５０Ｐａ、そして０．３μｍの粒子に対するろ過効率が９９．９９％以上のフィルタである。
図６は、ＨＥＰＡフィルタ２をケーシング１内に着脱可能に取り付けるための着脱部３００の構造例を示している。図６に示すように、着脱部３００は、フィルタ取付枠１０３を有しており、フィルタ取付枠１０３は、図１のケーシング１の中間位置において水平に固定されている。図６に示す４本の長尺ボルト１０４が、フィルタ取付枠１０３に対して下向きに固定されている。各長尺ボルト１０４は、ＨＥＰＡフィルタ２の各辺の中間位置に位置されている。ＨＥＰＡフィルタ２は、スポンジパッキン等のシール部材（ガスケット）１０２を介して、フィルタ取付枠１０３に対して押し付けて、長尺ボルト１０４に対してフィルタ押さえ板１０５を用いてナット１０６を締め付けることで、ＨＥＰＡフィルタ２は、気密状態でフィルタ取付枠１０３に取り付けられている。

これにより、図６に示すように、作業者は、ＨＥＰＡフィルタ２を交換する際に、ＨＥＰＡフィルタ２を上流側のケーシング下部１Ａ側からフィルタ取付枠１０３に対してＴ方向に沿って上向きに取り付けることができ、Ｔ方向とは反対方向に取り外すことができる。すなわち、作業者は、ＨＥＰＡフィルタ２を空気の上流側（下側）から交換することができる。なお、図６に示すように、ラス網１０７が、ＨＥＰＡフィルタ２を保護するために、フィルタ取付枠１０３のケーシング下部１Ａ側に設けられている。

図１に示すように、上流側のケーシング下部１Ａの空気の吸気口３には、上流側検出チューブ端子１１１が設けられている。
上流側検出チューブ端子１１１は、ケーシング１の外側であって、チャンバー出口１０９ａとケーシング１の開口１１０の間において、上流側空気を捕捉して上流側検出チューブ１７を通じて、パーティカルカウンタ１９内に案内することができる空気浄化部よりも上流側のケーシング下部の外側で空気を捕捉する上流側検出部の一例である。

図１に示すように、ＨＥＰＡフィルタ２よりも上側に位置される下流側のケーシング上部１Ｂには、空気浄化時に密閉自在な下流側検出口６が設けられている。
図７は、この下流側検出口６の付近を示しており、下流側検出口６には、複数の樹脂チューブ接続治具１１２が配置されている。樹脂チューブ接続治具１１２は、下流側検出チューブ１８とサンプリングプローブ８の樹脂チューブ７を、下流側検出口プラグ１１３と下流側検出口ソケット１１４を介してそれぞれ接続する。
各樹脂チューブ接続治具１１２は、溶接によりケーシング１の下流側検出口６の受け部６ａに取り付けられている。リーク試験時にケーシング１の下流側検出口６のカバー６ｂを外して変形自在な樹脂チューブ１８が接続される。樹脂チューブ７の先端には常時サンプリングプローブ８が接続されている。

樹脂チューブ７は、自由に変形可能なチューブであり、サンプリングプローブ８をＨＥＰＡフィルタ２の下流側端面上およびその周辺で、２次元的（平面的）に移動させるのに十分な長さを有している。

図１に示すサンプリングプローブ８の基端はソケットを有し、この基端から先端に向けて断面積が徐々に拡大し、先端が矩形に開口する形状に形成されている。サンプリングプローブ８は、樹脂チューブ７の先端に接続された継手を介して樹脂チューブ７に接続されている。
図１に示すように、下流側のケーシング上部１Ｂの上部には、後述する作業者Ｍが下流側のケーシング上部１Ｂの内部を、目視で直接観察することができるようにするための観察窓１１５が設けられている。すなわち、図１と図２に示す観察窓１１５は、グローブ１４とサンプリンググローブ８を作業者が目で直接目視するための覗き窓であるが、観察窓１１５は、下流側のケーシング上部１Ｂにおいてグローブ１４の上の位置に配置されており、作業者Ｍがサンプリングプローブ８を直接的に視認することができる。この観察窓１１５は、例えば透明なガラス板をはめ込むことで構成されている。

下流側検出口６と同じ水平高さの位置には、グローブ１４が設けられている。図８は、グローブ１４の取り付け構造例を示している。図８に示すグローブ１４は、例えば透明の合成樹脂製の手袋であり、グローブポート１１６に対して、Ｏリング１１７を用いて気密状態になるように固定されている。グローブ１４は、ＨＥＰＡフィルタ２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内の任意の位置で、サンプリングプローブ８を２次元的に走査する作業を行うために十分な大きさを有している。グローブ１４は、作業者Ｍが手を入れるようになっており、グローブ１４は、下流側のケーシング上部１Ｂの前面側において、観察窓１１５と別体的（別々の位置）に設けられて、作業者Ｍの手を入れるために変形自在で気密な構造を有する。このグローブ１４は、下流側のケーシング上部１Ｂに配置されてサンプリングプローブ８を手動で移動操作させることができる操作部の一例である。

図１に示すように、下流側のケーシング上部１Ｂの最下流には、排気口１５が設けられている。また、排気口１５は断面形状が矩形に形成されている。排気口１５内には、ケーシング１から排出される浄化空気の風量（ケーシング１に吸い込まれる空気の吸い込み量）を調整自在なダンパを設けることもできる。
この排気口１５は、不図示の排気ダクトに接続されており、浄化空気は排気ダクトを通って室外に排出される。なお、排気ダクトの通気路中には送風機が設けられており、この送風機によって室内の空気を空気浄化装置内に吸引する構成となっている。空気浄化装置１００では、図１に示すＨＥＰＡフィルタ２、プレフィルタ４、樹脂チューブ７と図８に示すグローブ１４、Ｏ−リング１１７等を除いて、そのほとんどの部分がＳＵＳで構成されている。

次に、図１を参照して、空気浄化装置１００による空気の浄化動作について説明する。
図１に示す部屋Ｒの空気を浄化する時には、上流側検出部である上流側検出チューブ端子１１１は、プレフィルタ４により封止され、下流側検出口６は樹脂チューブ接続治具１１２によって封止されている。また、グローブ１４は、下流側のケーシング上部１Ｂの中において使用できる状態となっている。
ケーシング１の図示しない送風機が駆動すると、部屋Ｒの空気は、吸気口３から上流側のケーシング下部１Ａ内に吸い込まれて、プレフィルタ４を通過する。この時には比較的大きな粒子や塵埃等がプレフィルタ４で捕集される。プレフィルタ４を通過した空気は、ＨＥＰＡフィルタ２を通過する。この時には、ケミカルハザード物質等の室内空気に含まれる粒子状の汚染物質は、このＨＥＰＡフィルタ２によって捕集され、室内から吸い込まれた空気は浄化される。浄化された空気は、下流側のケーシング上部１Ｂ、排気口１５、そして排気ダクトを通って室外に排出される。
なお、この空気浄化装置１００ではプレフィルタ４により封止される部分の開口は従来よりも大きくされ、多くの空気を取り込むことができるようになっており、このため、プレフィルタ４の通気開口側断面積も従来より大きくすることで、チャンバー１０９で分散均一化された試験用粒子を不均一化することなくケーシング下部１Ａへ導入することができる。

次に、図１を参照して、空気浄化装置の試験システムすなわち、試験装置１０１を説明する。
図１に示すように、空気浄化装置の試験システム１０１は、空気浄化装置１００と、粒子発生器２０と、チャンバー１０９と、パーティクルカウンタ１９等を有している。
このチャンバー１０９は、粒子発生器２０が発生する多数の粒子を均一に分散させて、上流側のケーシング下部１Ａ側に供給する機能を有する。粒子発生器２０は、空気浄化装置１００のリーク試験時に、空気浄化装置１００のケーシング１の上流側に試験用粒子を供給するための試験用粒子供給部の一例である。パーティクルカウンタ１９は、試験用粒子を検出する試験用粒子検出部の一例である。
リーク試験時には、試験用粒子供給部であるＰＡＯ（ポリアルファオレフィン）粒子発生器２０は、導入管１０８によりチャンバー１０９に接続される。チャンバー１０９は、プレフィルタ４を介して取り込んだ空気に混入されるＰＡＯ粒子（後述）の均一化部または均一化装置の一例である。
上述した浄化装置１００では、プレフィルタ４を大きくし、多くの空気を導入できるようにしたことに伴い、開口１１０を大きくしたため、診断システム１０１を使用する際に、試験、診断時に混入されるＰＡＯ粒子の拡散均一度を向上させる必要があり、そのため、粒子を分散して均一化する粒子分散部（粒子分散手段）を設けている。
チャンバー１０９は、粒子発生器２０から導入される試験用粒子を拡散均一化するのに十分な空間を内部に備える装置である。図１，図２，図３に示されているように、作業者Ｍと空気浄化装置１００との間に位置するように、架台５の上に配置されて、ケーシング下部１Ａの開口１１０に位置合わせされている。
このチャンバー１０９には、粒子発生器２０から延びる導入管１０８が接続されている。すなわち、試験用粒子供給部としての粒子発生器２０は、空気浄化装置１００のリーク試験時だけに多数の試験用粒子を上流側のケーシング下部１Ａ内に供給することができる。粒子発生器２０が発生する多数の試験用粒子は、導入管１０８を通じてチャンバー１０９に導き、チャンバー１０９はこの多数の試験用粒子を均一に分散する。このチャンバー１０９は、粒子発生器２０から供給された多数の試験用粒子を分散して均一化する粒子分散部であり、リーク試験の際に試験システム（試験装置）を構成する際にだけ取付けられる。
このチャンバー１０９は図１及び図３を参照して理解されるように、試験作業の作業者Ｍと、ケーシング１との間において、架台５の上に配置される。
チャンバー１０９は例えば、内部に空間を有するようにしたほぼ矩形の箱状の形態であり、外部からの空気を取り入れることができるように、空気の吸込口が形成されている。吸込口は、例えば、図３に示されているように、チャンバー１０９の正面の略中央付近に四角形に設けた開口である正面の吸込口２５と、図１に示すように、側面に長方形の開口として設けた側面吸込口２３を有しており、この実施形態は側面吸込口２３は、図１に現れていない反対の側面にも設けられている。チャンバー１０９とケーシング１との間の隙間には、図１に平行斜線で示すように、リーク防止のため例えばガスケットなどの目止め２１が施され、この目止め２１は、チャンバー１０９とケーシング１との間の隙間を全て埋めるように、チャンバー１０９の全周にわたって設けられることにより、気密状態を維持するようにされている。
ここで、導入管１０８は、好ましくは、チャンバー１０９の略中央まで引き回されて、該チャンバー１０９の中央部の吸込口２５に試験用粒子をチャンバー１０９内に導くようになっている。これにより、吸込口２３と吸込口２５，２５の三方から吸い込まれた空気でチャンバー１０９内で該試験用微粒子がミキシングされて均一に拡散し易いようにされている。
これに対応して、上流側検出チューブ端子１１１は、ケーシング１の外側であって、チャンバー出口１０９ａとケーシング１の開口１１０の間で、しかもチャンバー出口１０９ａの中央部に配置されており、当該箇所において、適切に拡散されてチャンバー１０９から出される粒子を代表して検出するようにされている。これにより精密な計測が可能となるようになっている。

チャンバー１０９のチャンバー出口１０９ａと上流側のケーシング下部１Ａの開口１１０とは対峙させ、開口１１０に設けたプレフィルタ４を取り外す。これにより、チャンバー１０９のチャンバー出口１０９ａと上流側のケーシング下部１Ａの開口１１０とは接続する。また、リーク試験時には、図７に示す下流側検出口６のカバー６ｂとプラグ１１３が外される。図１に示すように、上流側検出部である上流側検出チューブ端子１１１は、チャンバー１０９と上流側のケーシング下部１Ａの開口１１０との間に設置される。この上流側検出チューブ１７が、上流側検出部である上流側検出チューブ端子１１１とパーティクルカウンタ１９の間に設けられている。
図７に示すように、下流側検出口６の樹脂チューブ接続治具１１２には、下流側検出チューブ１８が接続される。このように、上流側検出チューブ１７と下流側検出チューブ１８は、試験用粒子検出部であるパーティクルカウンタ（ＬＡＳＡＩＲ、ＰＭＳ社製）１９に接続される。

次に、図１を参照して、空気浄化装置の試験システム１０１による空気浄化装置１００のリーク試験について説明する。
リーク試験では、まず図１に示すＰＡＯ粒子発生器２０から試験用粒子としてＰＡＯ粒子が供給される。このときＰＡＯ粒子は、粒子濃度がＨＥＰＡフィルタ２の上流側で１０６〜１０７個／ｆｔ３（３．５×１０７〜３．５×１０８個／ｍ３）となるように供給される。ＰＡＯ粒子の粒子濃度は、ダンパの開度やコンプレッサからの圧縮空気の供給によって調整される。ＨＥＰＡフィルタ２の上流側のチャンバー１０９と上流側のケーシング下部１Ａの開口１１０との間の空気の一部は、上流側検出チューブ端子１１１により捕捉されて上流側検出チューブ１７に案内され、上流側検出チューブ１７を通ってパーティクルカウンタ１９に送られる。これにより、パーティクルカウンタ１９は、上流側空気に含まれるＰＡＯ粒子を検出して、ＨＥＰＡフィルタ２の上流側のＰＡＯ粒子濃度を測定することができる。

図１に示すＨＥＰＡフィルタ２の上流側でのＰＡＯ粒子濃度が予め定めた範囲内であることが確認されたら、作業者はグローブ１４に手を入れてサンプリングプローブ８を持ち、観察窓１１３を通じて、ＨＥＰＡフィルタ２の下流側端面およびその周辺を直接見ながら、サンプリングプローブ８をＨＥＰＡフィルタ２のフィルタ面およびシール部に沿ってスキャン（走査）する。
ＨＥＰＡフィルタ２の下流側のケーシング上部１Ｂ内の空気の一部は、スキャン中のサンプリングプローブ８により捕捉されて、樹脂チューブ７に案内され、下流側検出口６および下流側検出チューブ１８を通ってパーティクルカウンタ１９に送られる。これにより、パーティクルカウンタ１９は、下流側空気に含まれるＰＡＯ粒子を検出し、ＨＥＰＡフィルタ２の下流側のＰＡＯ粒子濃度を測定することができる。
ＦＤＡの無菌操作ガイドラインにあるＨＥＰＡフィルタの局所的な許容基準リーク率は、０．０１％（１０２〜１０３個／ｆｔ３又は約３．５×１０３〜３．５×１０４個／ｍ３）以下である。試験システム１０１では、装置の運転状態、ＨＥＰＡフィルタ２の大きさ、およびサンプリングプローブ８の開口面積等の条件によって異なるが、サンプリングプローブ８を５ｃｍ／ｓ程度の速度にて移動して走査させることにより、上記基準によるリーク試験を実施することができる。

次に、図１と図２に示す空気浄化装置１００のメンテナンスについて説明する。
図９は、ＨＥＰＡフィルタ２の交換作業の例を示しており、図９を参照してＨＥＰＡフィルタ２の交換作業について説明する。
リーク試験で試験用粒子の数を検出したことにより上記基準値を上回る結果が検出された場合や、ＨＥＰＡフィルタ２の浄化能力が低下（例えば差圧計によって目詰まりを検出）した場合、またはＨＥＰＡフィルタ２の耐久期限を迎えた場合等には、使用したＨＥＰＡフィルタ２を新たなＨＥＰＡフィルタ２に交換することがある。

ＨＥＰＡフィルタ２の交換作業は、図９(ａ)〜図９(ｅ)に示すとおりである。
図９(ａ)に示すように、外部ホース１１４がプレフィルタ４へ散水することで、プレフィルタ４に付着した粉塵が飛散するのを防止し、図９(ｂ)に示すように、プレフィルタ４は粉塵の飛散を防止してから取り外す。
図９(ｃ)に示すように、外部ホース１１４が上流側のケーシング下部１Ａの内部へ散水して、ＨＥＰＡフィルタ２の空気流の上流側の面２Ｆに付着した粉塵を洗い流すと共に、ＨＥＰＡフィルタ２の少なくも上流側の面２Ｆが水洗される。

次に、図９(ｄ)に示すように、使用済のＨＥＰＡフィルタ２（区別のために２Ａと示す）と新規のＨＥＰＡフィルタ２（区別のために２Ｂと示す）を、図１と図６に示す着脱部３００において交換するために、図６に示す使用済ＨＥＰＡフィルタ２Ａのナット１０６を緩めて押さえ板１０５をずらして、フィルタ取付枠１０３に固定された使用済ＨＥＰＡフィルタ２Ａを取り外す。そして、新規ＨＥＰＡフィルタ２Ｂをスタッドボルト１０４に挿通した押さえ板１０５で留めてナット１０６で締め付けてフィルタ取付枠１０３に固定する。最後に、図９(ｅ)に示すように、洗浄したプレフィルタ４を取り付ける。
なお、図９に示す水洗によるフィルタ交換は一例であり、粉塵が飛散しない場合、粉塵の有害性がない場合には、水洗することなくＨＥＰＡフィルタ２の交換をする場合もある。

新たにＨＥＰＡフィルタ２が取り付けられた際のリーク試験は、前述したリーク試験と同様に行われる。このようなＨＥＰＡフィルタ２の交換作業により、ＨＥＰＡフィルタ２に捕集されたケミカルハザード物質等の汚染物質が、フィルタ交換作業に伴い空気浄化装置から飛散することを防止することが可能となる。
ＨＥＰＡフィルタ２よりも上流側のケーシング下部１Ａ内には、浄化される前の空気が通ることから、ＨＥＰＡフィルタ２よりも上流側のケーシング下部１Ａ内は比較的汚れやすい。また、リーク試験を行った場合では、上流側のケーシング下部１Ａ内にはＰＡＯ粒子が付着する。このような場合には通常水洗いが行われる。
図１に示す空気浄化装置１００では、上流側のケーシング下部１Ａ側からＨＥＰＡフィルタ２を取り付けるようになっていることから、水洗時には図９（ｃ）に示すようにＨＥＰＡフィルタ２の上流側の面２Ｆ側を濡らすことができ、上流側の面２Ｆに付着した粉塵が飛散することを防止できる。上流側のケーシング下部１Ａの床面が、吸気口３に向けて傾斜した傾斜床ＣＦをしていることから、上流側のケーシング下部１Ａにおける水洗時における水はけが良い。

なお、図１の空気浄化装置１００では、通常の空気浄化時には、樹脂チューブ７の基端がサンプリングプローブ８の開口部に挿入された状態（すなわち樹脂チューブ７およびサンプリングプローブ８の内部空間が外部から閉塞された状態）で、両者を上流側のケーシング下部１Ａ内に空気の流れの抵抗とならぬようにケーシング内壁に固定するなどして収納することができる。

図１に示す空気浄化装置１００は、浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシング１と、このケーシング１内に設けられて空気の上流側のケーシング下部１Ａ側から（下側から）交換可能であり、ケーシング１を通る空気を浄化するＨＥＰＡフィルタ２と、リーク試験時にＨＥＰＡフィルタ２よりも上流側のケーシング下部１Ａ内の空気を捕捉して案内するチャンバー出口１０９ａとケーシング１の開口１１０の間に設けた上流側検出チューブ端子１１１（上流側検出部）と、ＨＥＰＡフィルタ２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内を移動自在であり、リーク試験時にＨＥＰＡフィルタ２よりも下流側のケーシング１Ｂ内の空気を捕捉して案内するサンプリングプローブ８と、を有する。
このことから、空気浄化装置１００は、空気を浄化することができ、かつ空気を浄化する状態について精度および信頼性の高いリーク試験を実施することができる。

そして、空気浄化装置１００の下流側のケーシング上部１Ｂには、ＨＥＰＡフィルタ２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内を外部から観察するための覗きガラス窓である観察窓１１５が設けられていることから、作業者は、リーク試験時にサンプリングプローブ８の位置を目視で直接視認することができ、サンプリング作業をより容易に行うことができる。図１の作業者Ｍが、空気浄化部２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内を、外部から観察するための観察窓１１５を有することが、リーク試験時におけるより正確なスキャンニングやリーク箇所の特定をする上で好ましい。このような観察窓１１５としては、例えば、下流側のケーシング上部１Ｂに設けられた開口部位を透明樹脂フィルムやガラス等の光透過性物質で気密に塞いだ構成等を例示することができる。

空気浄化装置１００は、サンプリングプローブ８を自在に走査するためのグローブ１４を有することから、作業者はリーク試験時において手動でサンプリングプローブ８を任意にスキャンニングすることができ、リーク箇所の特定がより容易である。グローブ１４は、例えば透明ビニール等の合成樹脂等で成形されていることから、グローブ１４内に挿入した作業者の手を観察窓１１５から直接視認することができ、リーク試験時のスキャンニングやメンテナンス作業をより容易に行うことができる。
図１の空気浄化装置１００では、上流側のケーシング下部１Ａの床面が、吸気３に向けて傾斜した傾斜床ＣＦになっていることから、リーク試験後等にＨＥＰＡフィルタ２の上流側の面を洗浄した場合に、上流側のケーシング下部１Ａ内の水洗における水はけが良く、水洗後の上流側のケーシング下部１Ａ内をより清潔な状態に容易にすることができ、ケーシング１のメンテナンス性により優れている。

試験システム１０１は、ＨＥＰＡフィルタ２よりも上流側のケーシング下部１Ａ内にＰＡＯ粒子を供給するＰＡＯ粒子発生器２０と、チャンバー出口１０９ａとケーシング１の開口１１０の間に設けた上流側検出チューブ端子１１１により案内される上流側空気に含まれるＰＡＯ粒子（試験用粒子）と、サンプリングプローブ８から案内される下流側空気に含まれるＰＡＯ粒子を検出するパーティクルカウンタ１９とを有する。このことから、微少なリークの検出およびリーク箇所の特定が容易にでき、空気を浄化する状態の空気浄化装置について、精度および信頼性の高いリーク試験を実施することができる。
試験システム１０１は、断面形状が矩形のケーシング１に対して、矩形の開口端を有するサンプリングプローブ８が用いられることから、下流側のケーシング上部１Ｂの角部やＨＥＰＡフィルタ２の取り付け部（シール部）周辺においても、ＨＥＰＡフィルタ２の下流側のケーシング上部１Ｂ内をもれなくスキャンして、角部周辺の空気も捕捉、案内できることから、より精密なリーク試験を実施することができる。

図１に示すケーシング１は、浄化されるべき空気の通気路を形成するものであれば特に限定されないが、ＳＵＳ製または鋼製であることが、装置の耐圧性や気密性を維持する上で好ましい。
図１と図６に示すに示す空気浄化部としてのＨＥＰＡフィルタ２は、粒子状の汚染物質を捕集するものであれば特に限定されない。この空気浄化部としては、例えば、準ＨＥＰＡフィルタ、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ、超ＵＬＰＡフィルタ等の高性能フィルタを例示することができ、排気系の空気浄化装置としては、ＨＥＰＡフィルタが好ましくは用いられる。空気浄化部のケーシング１への取り付けは気密に行われるが、空気浄化部の取り付けには、図６に例示したように長尺ボルトとナットまたはカム等の締め付け部材を用いることが、取り付けの気密性を確保する上で好ましい。

図１に示す上流側検出部としての上流側検出チューブ端子１１１は、リーク試験時に空気浄化部よりも上流側でかつケーシング１の外側で空気を捕捉して案内でき、試験用粒子検出部であるパーティクルカウンタ１９と接続できるものであれば、特に限定されない。上流側検出部は、リーク試験時に開放でき、空気浄化時には密閉自在なものであることが好ましい。このような上流側検出部は、試験用粒子を供給する試験用粒子供給部としての粒子発生器２０から試験用粒子を導入管１０８によりチャンバー１０９に導き、チャンバー出口１０９ａとケーシング１の開口(プレフィルタがあれば吸気口でなければ開口)との間で、ケーシング１の上流側空気を捕捉して案内することができる。

図１のサンプリングプローブ８は、空気浄化部２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内、特に空気浄化部２の下流側端面およびその近傍を移動自在であり、リーク試験時に空気浄化部２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内の空気を捕捉して案内するものであれば良い。図１のサンプリングプローブ８を自在に操作するための操作部としてのグローブ１４を有することが、リーク試験時におけるより正確なスキャンニングやリーク箇所の特定をする上で好ましい。操作部は、空気浄化部よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内（特に空気浄化部下流側端面およびその近傍）でサンプリングプローブ８を自在に操作できるものであれば特に限定されないが、空気浄化部の交換等のメンテナンス作業にも活用できるものであることがより好ましい。このような操作部としては、樹脂製のグローブ等の変形自在かつ気密なグローブを例示することができる。さらに操作部は透明グローブであると操作時における手の形状を視認することができより一層好ましい。

サンプリングプローブ８を移動自在にする構成としては、作業者Ｍが手動でサンプリングプローブ８を移動させる構成であっても良いし、サンプリングプローブ８が自動的に空気浄化部２の下流側端面近傍を移動する構成であっても良い。サンプリングプローブ８を手動により移動自在な構成とすると、簡易な構成で移動自在とすることができ、空気浄化時の汚染源となるおそれも少なく、かつ微少なリーク箇所の特定にも有利であり好ましい。
サンプリングプローブ８を手動で移動自在とする構成としては、例えば変形自在かつ気密な管状体の先端にサンプリングプローブを接続する構成を例示できる。

図１のサンプリングプローブ８としては、基端に比して先端が広く開口しているものを好ましくは例示することができ、先端の開口面積が適度なものを用いると、精度の良いリーク試験を実施する上で好ましい。サンプリングプローブ８の先端の開口面積は、空気浄化部２の浄化能力や断面積、空気浄化装置の運転条件等に応じて適切に決定することができる。
サンプリングプローブ８の先端の開口形状は、ケーシング１の断面形状、空気浄化部２の下流側端面の形状、空気浄化部２とケーシング１との取り付け部の形状等によって決めることが好ましい。例えばケーシング１の断面形状が矩形である場合では、サンプリングプローブ８の開口形状も矩形とすると、リーク試験時においてケーシングの角部でも隙間無く空気の捕捉ができ、より正確にスキャンニングすることができる。また、断面形状が円形、楕円形等も使用できる。

図１のサンプリングプローブ８は、リーク試験時に開放でき、空気浄化時には密閉自在な下流側検出口を浄化部下流側のケーシング１に設け、ケーシング１内において下流側検出口６に接続する構成とすると、個々の空気浄化装置のリーク試験を行うのにより便利であり好ましい。このような下流側検出口６としては、空気浄化部２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内に開口し、かつ密閉自在な管状体、例えばバルブを備える通気管やプラグ封入が可能なソケット等を例示できる。
図１に示す試験用粒子供給部としての粒子発生器２０は、空気浄化部２よりも上流側のケーシング下部１Ａ内に試験用粒子を供給するが特に限定されず、当該技術分野において従来知られている粒子発生装置等を用いることができる。試験用粒子供給部は、リーク試験に用いられる試験用粒子の種類によって適当なものが用いられる。試験用粒子供給部は、リーク試験時に空気浄化部２よりも上流側のケーシング下部１Ａに直接接続されていなくても良く、例えば適当なダクト等を介して上流側のケーシング下部１Ａと接続されて試験用粒子を供給するものであっても良い。

リーク試験の規格は、空気浄化部の種類や浄化すべき空気の性状等によって異なることから、試験用粒子供給部は、試験用粒子の粒径や供給量を自在に調整できることが好ましい。例えば空気浄化部としてＨＥＰＡフィルタ２が用いられる場合では、ＨＥＰＡフィルタ２の上流側のケーシング下部１Ａ内に、粒径０．３μｍの試験用粒子の粒子濃度が１０６〜１０７個／ｆｔ3（３．５×１０7〜３．５×１０8個／ｍ3）となるように試験用粒子を供給することが好ましい。試験用粒子の粒径および供給量は、例えば試験用粒子を発生させるノズルの種類や試験用粒子の発生条件（例えば圧力や風量等）などによって調整することができる。
試験用粒子としては、従来ＤＯＰが使用されてきたがフィルタ汚染問題、発がん性、内分泌かく乱物質の人体有害問題の疑いからＪＩＳＺ８９０１の試験用粒子２の１種として規定されるポリアルファオレフィン（ＰＡＯ）粒子が代替粒子として用いられる。このＰＡＯ粒子を試験用粒子とする場合の試験用粒子供給部には、例えばＪＩＳＢ９９２７に示されるように、ラスキンノズルと呼ばれるノズルをＰＡＯ液中に浸漬し、ノズルの穴より噴出する圧縮空気流により粒径１μｍ以下のＰＡＯ粒子を発生させるものを用いることができる。

ＰＡＯ等の液体ミストの揮発が汚染源となりうる環境では、試験用粒子として個体粒子を用いることが好ましい。このような試験用粒子としては、例えば特開平８−１３６４３７号公報に記載されているシリカ粒子を例示することができる。このシリカ粒子を試験用粒子とする場合では、試験用粒子供給部には、例えば、コロイダルシリカ懸濁液が投入され、またコリソン型アトマイザが収容されている粒子発生器と、この発生器に圧縮空気を送り込むための送気管と、この送気管に接続されるフィルタ、レギュレータ、流量計、および圧力計と、粒子発生器で発生した含シリカ液滴粒子を乾燥する乾燥筒とを有する装置を用いることができる。

図１の上流側検出チューブ端子（上流側検出部）１１１およびサンプリングプローブ８は、それぞれ空気を取り入れて、例えばケーシング１外に設けられた計測器等の試験用粒子検出部としてのパーティカルカウンタ１９に案内する。試験用粒子検出部は、上流側検出チューブ端子１１１およびサンプリングプローブ８から案内される上流側空気および下流側空気のそれぞれに含まれる試験用粒子を検出する部であれば特に限定されず、当該技術分野で知られている装置を用いることができる。
試験用粒子検出部は、用いられる試験用粒子の種類によって適当なものが用いられる。試験用粒子検出部としては、例えば、ＰＭＳ社製パーティクルカウンタ（ＬＡＳＡＩＲ）や、ＪＩＳＺ４８１２にある光散乱式相対濃度計（例えばＡＴＩ社製、ＴＤＡ−２Ｅ）等を例示することができる。

図１のグローブ１４は交換することなく常にケーシング１内にあるので空気浄化中は気流の抵抗になるため、例えばケーシング１に面ファスナーの凹部を設け、グローブ１４に面ファスナーの凸部を設けて、浄化中は気流の抵抗にならないようにグローブ１４をケーシング１の内壁に固定しておくことができる。
空気浄化装置１００は、ＳＵＳや鋼等の金属で形成された部材等を必要に応じて用い、着脱自在部位を除き全溶接構造とすることが、耐圧性や気密性等を維持する上で好ましい。空気浄化装置１００は、好ましくは排気系に用いられるが、例えばチャンバー等により閉鎖された空間に浄化された空気を供給するなど、清浄空間を形成するために用いられても良いし、清浄空間や製造室等の壁面や通気路等の一部を構成するユニットとして利用することもできる。試験システム１０１は、空気浄化装置１００のリーク試験を行うためのシステムであるが、空気浄化部２のリーク試験に用いても良い。

空気浄化装置１００は、ＨＥＰＡフィルタ２を、上流側のケーシング下部１Ａの着脱部３００のフィルタ取付枠１０３に対して，上流側（下側）から着脱自在に取り付けているために、作業者Ｍは、従来のビニールバッグを使用する必要がなくフィルタを安全に交換することができ、作業者Ｍは、フィルタ交換が簡単で、短時間に、特段の熟練技術を要することなくできる。
従来では上流側検出口を装置前面に設ける必要があり、前面のプレフィルタの設置面積が制約を受けたが、上流側濃度は空気浄化装置の外で行なうので、プレフィルタの設置に制約されることなく前面に寸法いっぱいに設置できる。

従来は観察窓とビニールバッグとグローブを一体化していたために、観察窓とビニールバッグとグローブがケーシングの前面の中央部に集中して配置されていることから、作業者Ｍがケーシング内のサンプリングプローブを目視で観察するための視野が狭く、プローブ走査が直接確認できずに確認動作がしづらいという問題があった。
しかし、本発明の実施形態では、下流側のケーシング上部１Ｂにおいて、グローブ１４の上部の位置に別体として離して観察窓１１５を設けたため、ケーシング１の下流側のケーシング上部１Ｂの内部全体およびサンプリングプローブを目視で直接見渡すことができる。このため、作業者Ｍは、精度および信頼性の高いリーク試験を実施することができる。
従来は観察窓とビニールバッグとグローブを一体化した構造とする必要があるために、ＨＥＰＡフィルタの交換のたびにグローブを新しく交換して取り付ける必要があり、廃棄物が生じていた。これに対して、本発明の実施形態では、グローブは交換の必要が無いために廃棄物の発生を防ぐことができる。

空気浄化装置１００は、浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシング１と、このケーシング１内に設けられてケーシング１を通る空気を浄化する空気浄化部２とを有し、リーク試験時に空気浄化部２よりも上流側の空気を捕捉して案内するチャンバー出口とケーシング下部の開口の間に設けた上流側検出チューブ端子１１１と空気浄化部２よりも下流側のケーシング１内を移動自在であり、リーク試験時に空気浄化部２よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内の空気を捕捉して案内するサンプリングプローブ８とを有することから、空気を浄化することができ、かつ空気を浄化する状態について精度および信頼性の高いリーク試験を実施することができる。

図１に示す本発明の実施形態の試験システム１０１は、空気浄化部２が実際に設けられた状態での空気浄化装置１００について、空気浄化部２のみならず空気浄化部２とケーシング１との取り付け部分のリークの有無についても検出することができ、空気浄化装置１００について精度および信頼性の高いリーク試験を実施することができる。
空気浄化装置およびその試験システムでは、空気浄化部がＨＥＰＡフィルタであると、ケミカルハザード物質の捕集、除去など高度な浄化を要する空気の浄化にも使用することができ、また高度な浄化を要する空気浄化装置１００のリーク試験を実施することができる。

図１に示す本発明の実施形態の空気浄化装置１００およびその試験システム１０１は、空気浄化部よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内を外部から観察するための観察窓１１５を有すると、作業者Ｍはリーク試験時において空気浄化部よりも下流側のケーシング上部１Ｂ内の様子を視認することができ、リーク試験においてより精密な作業を容易に行うことができる。
空気浄化装置１００およびその試験システム１０１は、サンプリングプローブ８を自在に操作するための操作部（グローブ１４）を有するので、作業者はリーク試験時におけるスキャンニングを任意に行うことができ、より容易かつ正確にリーク箇所を特定することができる。
空気浄化装置１００およびその試験システム１０１では、操作部（グローブ１４）が変形自在かつ気密なグローブであると、イニシャルコストをより低くすることができ、空気浄化時には操作部を容易に収納することができ、空気の浄化に影響を及ぼしにくく、かつ作業性の向上により一層効果的である。

図１に示す本発明の実施形態の空気浄化装置１００と試験システム１０１では、ＨＥＰＡフィルタ２（空気浄化部）を、上流側のケーシング下部１Ａのフィルタ取付枠に対して，上流側（下側）から着脱自在に取り付けることができるので、ＨＥＰＡフィルタ２は上流側のケーシング下部１Ａ側に突出している。
このため、ＨＥＰＡフィルタ２が上流側のケーシング下部１Ａ内で空気を捕捉すると、上流側の濃度を代表できないおそれがある。しかし、上流側検出チューブ端子（上流側検出部）１１１は、ＨＥＰＡフィルタ２からのリーク試験時にＨＥＰＡフィルタ２よりも上流側であってケーシング１の外側で空気を捕捉して案内することができる。すなわち、上流側検出チューブ端子（上流側検出部）１１１は、ケーシング外で試験粒子を充満したチャンバー出口１０９ａ(ケーシング１の開口１１０)において試験粒子を検出できるので、試験粒子の上流側濃度を代表できるというメリットがある。

従来例では、ＨＥＰＡフィルタが下流側のケーシング上部側から着脱自在に交換するようになっているので、必ず下流側のケーシング上部を気密状態に維持しながらビニールバッグの交換作業を行う必要がある。
これに対して、図１に示す本発明の実施形態の空気浄化装置１００と試験システム１０１では、ＨＥＰＡフィルタ（空気浄化部２）を、上流側のケーシング下部１Ａのフィルタ取付枠１０３に対して，上流側（下側）から着脱自在に交換することができる。このため、図９に例示したように、上流側のケーシング下部１Ｂを水洗するだけで、ＨＥＰＡフィルタをビニールバッグの交換をすることなく簡単に交換することができる。特に、ＨＥＰＡフィルタの少なくとも上流側の面２Ｆを洗浄水により濡らすことができるので、ＨＥＰＡフィルタの上流側の面２Ｆにおいて捕集した有害粉塵が飛散してすることが無い。従って、ＨＥＰＡフィルタの水洗作業やＨＥＰＡフィルタの交換作業において、作業者が有害粉塵を吸引することがないというメリットがある。

従来例では、ＨＥＰＡフィルタが下流側のケーシング上部１Ｂ側から着脱自在に交換するようになっているので、下流側のケーシング上部１Ｂは気密構造でなければならない。このためＨＥＰＡフィルタを交換するために透明なビニールバッグを予め下流側のケーシング上部カバー内に設定準備する必要がある。そして、従来例では、作業者は、この透明なビニールバッグを観察窓として利用しており、ビニールバッグとグローブが同じ高さ位置になっている。このため、従来例では、作業者は、ケーシング内全体を目視で見渡し難いという問題がある。
これに対して、図１に示す本発明の実施形態の空気浄化装置１００と試験システム１０１では、観察窓１１５の配置位置が、グローブ１４の取り付け位置よりも上になっている。従って、三角形の破線で示すように、作業者Ｍの目の位置Ｐ１と、気密構造になっているグローブ１４の取付け位置Ｐ２と、下流側のケーシング上部１Ｂ内におけるサンプリングプローブ８の走査面の先端(最奥)位置Ｐ３とが、例えばほぼ二等辺三角形を形成することができる。このため、図１に示す本発明の実施形態の空気浄化装置１００と試験システム１０１では、作業者Ｍの目の位置Ｐ１は、サンプリングプローブ８とグローブ１４の位置よりも高い位置にあるので、作業者Ｍはケーシング１内の全体の様子を容易に見渡すことができ、サンプリングプローブ８の走査状況を確実に視認できる
また、ＨＥＰＡフィルタ（空気浄化部２）を、上流側のケーシング下部１Ａのフィルタ取付枠に対して，上流側（下側）から着脱自在に交換することができるので、下流側のケーシング上部１Ｂを気密化した構造を採用する必要がなく、しかも従来必要であったビニールバッグを使用する必要も無い。上流側のケーシング下部１Ａを上流側のケーシング下部１Ａ側から水洗することが容易にできるメリットがある。

従来例では、下流側のケーシング上部においてフィルタ取付枠の上部にＨＥＰＡフィルタを載置しているために、サンプリングプローブは、フィルタ取付枠の取付け用のボルト等の突出物を避けながら水平方向だけではなく垂直方向にも動く必要、すなわち３次元的に複雑に動く必要がある。
これに対して、図１の本発明の実施形態の空気浄化装置１００と試験システム１０１では、図６に示すように、ＨＥＰＡフィルタ２は、Ｔ方向に沿って上流側から、すなわち下側からフィルタ取付枠１０３に取り付ける構造を採用している。このため、フィルタ取付枠１０３の上部には突出物がなくフラットな形状であるために、図１に示すサンプリングプローブ８は平面的な２次元な走査をするだけでよい。このように、平面上をサンプリングプローブ８が走査するので、サンプリングプルーブ８は、ＨＥＰＡフィルタ２の吹出面側に沿うようにして試験粒子のサンプリングが確実に行えるので、リーク試験の信頼性が高まるメリットがある。

図１の本発明の実施形態の空気浄化装置１００と試験システム１０１では、作業者がサンプリングプローブを目視で直接観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。すなわち、観察窓は、サンプリングプローブと操作部の位置よりも高い位置にあるので、作業者は観察窓を通してケーシング内の全体の様子を容易に見渡すことができ、作業者が目視で直接サンプリングプローブを観察しながら、空気浄化部の試験用粒子を容易にサンプリングすることができる。
ところで、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明は様々な修正と変更が可能であり、特許請求の範囲に記載された範囲で種々の変形が可能である。

１・・・ケーシング、１Ａ・・・上流側のケーシング下部、１Ｂ・・・下流側のケーシング上部、２・・・ＨＥＰＡフィルタ（空気浄化部）、３・・・吸気口、４・・・プレフィルタ、６・・・下流側検出口、６ａ・・・受け部、６ｂ・・・カバー、７・・・樹脂チューブ、８・・・サンプリングプローブ、１４・・・グローブ（操作部の一例）、１５・・・排気口、１７・・・上流側検出チューブ、１８・・・下流側検出チューブ（下流側検出部）、１９・・・パーティクルカウンタ（試験用粒子検出部）、２０・・・ＰＡＯ粒子発生器（試験用粒子供給部）、１００・・・空気浄化装置、１０１・・・空気浄化装置の試験システム、１０２・・・ガスケット、１０３・・・フィルタ取付枠、１０４・・・スタッドボルト、１０５・・・押さえ板、１０６・・・ナット、１０７・・・ラス網、１０８・・・導入管、１０９・・・チャンバー、１０９ａ・・・チャンバー出口、１１０・・・開口、１１１・・・上流側検出チューブ端子（上流側検出部）、１１２・・・樹脂チューブ接続治具、１１３・・・下流側検出口プラグ、１１４・・・下流側検出口ソケット、１１５・・・観察窓、１１６・・・グローブポート、１１７・・・Ｏリング、３００・・・着脱部、ＣＦ・・・傾斜床、

Claims (9)

1. 浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシングと、前記ケーシング内に設けられて前記ケーシングを通る空気を浄化する空気浄化部としてのフィルタとを有する空気浄化装置であって、
   前記ケーシング内の前記フィルタにおける走査リーク試験時に、外側のパーティクルカウンタと接続され、前記フィルタよりも上流側で空気を捕捉する上流側検出部と、
   前記フィルタよりも下流側のケーシング上部内を移動自在であり、前記走査リーク試験時に、前記パーティクルカウンタと接続され、前記フィルタよりも前記下流側のケーシング上部内の空気を捕捉するサンプリングプローブと、
   前記下流側のケーシング上部に配置されて前記サンプリングプローブを移動操作させる操作部と、
   前記ケーシングの前記下流側である前記ケーシング上部に配置されて作業者が前記サンプリングプローブを観察するための観察窓と、
   前記ケーシング内の前記上流側と下流側の境界位置に設けられ、前記フィルタを着脱可能な着脱部と、
   を有し、
   前記着脱部は、前記フィルタが取り付けられる枠状のフィルタ取付枠を有し、
   前記フィルタ取付枠は、前記フィルタが下流側に突出しないように前記ケーシング下部からシール部材を介して押し付けられていると共に、前記フィルタの前記下流側に向いた露出面側に着脱構造の一部等が突出しないようにされ、さらに、下流側の面が平坦な形状とされている
   ことを特徴とする空気浄化装置。
2. 前記操作部は、前記観察窓と別体的に設けられ、作業者の手を入れるための変形自在で
   気密な構造を有するグローブであることを特徴とする請求項１に記載の空気浄化装置。
3. 試験用粒子供給部から供給された前記試験用粒子を分散して均一化する粒子分散部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の空気浄化装置。
4. 前記ケーシングの開口から吸入された空気がプレフィルタおよび前記フィルタを通過して排気口から排出されるように前記ケーシングの内部が連通しており、前記プレフィルタを取り外した状態で前記開口から前記ケーシングの内部に放水したときに前記フィルタの少なくとも空気流の上流側の面が水洗可能なように、前記フィルタが前記ケーシングの内部において着脱可能に前記着脱部に取り付けられていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の空気浄化装置。
5. 浄化されるべき空気の通気路を形成するケーシングと、前記ケーシング内に設けられて前記ケーシングを通る空気を浄化するフィルタとを有する空気浄化装置におけるリークを検出するための試験システムであって、
   前記ケーシング内の前記フィルタにおける走査リーク試験時に、外側のパーティクルカウンタと接続され、前記フィルタよりも上流側で空気を捕捉する上流側検出部と、
   前記フィルタよりも下流側のケーシング上部内を移動自在であり、前記走査リーク試験時に、前記パーティクルカウンタと接続され、前記フィルタよりも前記下流側のケーシング上部内の空気を捕捉するサンプリングプローブと、
   前記下流側のケーシング上部に配置されて前記サンプリングプローブを移動操作させる操作部と、
   前記ケーシングの前記下流側である前記ケーシング上部に配置されて作業者が前記サンプリングプローブを観察するための観察窓と
   前記フィルタよりも前記上流側のケーシング下部内に、試験用粒子を供給する試験用粒子供給部と、
   前記ケーシング内の前記上流側と下流側の境界位置に設けられ、前記フィルタを着脱可能な着脱部と
   を有し、
   前記着脱部は、前記フィルタが取り付けられる枠状のフィルタ取付枠を有し、
   前記フィルタ取付枠は、前記フィルタが下流側に突出しないように前記ケーシング下部からシール部材を介して押し付けられていると共に、前記フィルタの前記下流側に向いた露出面側に着脱構造の一部等が突出しないようにされ、さらに、下流側の面が平坦な形状とされている
   ことを特徴とする試験システム。
6. 前記試験用粒子供給部から供給された前記試験用粒子を分散して均一化する粒子分散部を有することを特徴とする請求項５に記載の試験システム。
7. 前記操作部は、前記観察窓と別体的に設けられ、作業者の手を入れるための変形自在で気密な構造を有するグローブであることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の試験システム。
8. 前記試験用粒子供給部から供給される試験用粒子が前記粒子分散部としてのチャンバーに導かれ、前記上流側検出部が、前記チャンバーの前記チャンバー出口と前記ケーシングの開口との間で上流側の空気を捕捉して案内する構成としたことを特徴とする請求項５ないし請求項７のいずれかに記載の試験システム。
9. 前記ケーシングの開口から吸入された空気がプレフィルタおよび前記フィルタを通過して排気口から排出されるように前記ケーシングの内部が連通しており、前記プレフィルタを取り外した状態で前記開口から前記ケーシングの内部に放水したときに前記フィルタの少なくとも空気流の上流側の面が水洗可能なように、前記フィルタが前記ケーシングの内部に着脱可能に前記着脱部に取り付けられていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の試験システム。

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