[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR102357186B1 - 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리 - Google Patents

시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리 Download PDF

Info

Publication number
KR102357186B1
KR102357186B1 KR1020200032749A KR20200032749A KR102357186B1 KR 102357186 B1 KR102357186 B1 KR 102357186B1 KR 1020200032749 A KR1020200032749 A KR 1020200032749A KR 20200032749 A KR20200032749 A KR 20200032749A KR 102357186 B1 KR102357186 B1 KR 102357186B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
test
test substance
filter box
present
Prior art date
Application number
KR1020200032749A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210116068A (ko
Inventor
강명철
Original Assignee
(주)이에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)이에스 filed Critical (주)이에스
Priority to KR1020200032749A priority Critical patent/KR102357186B1/ko
Publication of KR20210116068A publication Critical patent/KR20210116068A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102357186B1 publication Critical patent/KR102357186B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G01N15/0806—Details, e.g. sample holders, mounting samples for testing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0084—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours provided with safety means
    • B01D46/0086—Filter condition indicators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • G01M99/008—Subject matter not provided for in other groups of this subclass by doing functionality tests
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G01N2015/084—Testing filters

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

본 발명의 일 측면은 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정, 병원의 수술실 등에 설치되는 청정작업실에 적용되는 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 테스트기의 관로를 청정작업실에 한번만 연결하여 모든 필터박스를 한번에 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.

Description

시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리{Filter Assembly having Test Material Distributor}
본 발명의 일 측면은 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정, 병원의 수술실 등에 설치되는 청정작업실에 적용되는 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 발명의 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
청정작업실은 먼지가 전혀 없는 방을 말하며, 청정실(淸淨室)이라고도 한다.
제품이나 기술이 고도화되면 제품을 만드는 곳의 미소한 환경조건까지도 품질에 큰 영향을 끼친다. 수술 등 환자를 개복하는 의료행위를 수행하는 수술실 등에서도 먼지가 없는 환경조건은 매우 중요하다.
그 환경조건의 하나로 먼지의 유무가 문제되는데, 눈에 보이지 않을 정도의 미세한 것도 존재하지 않아야 하므로, 외부로부터 먼지가 들어오지 않도록 방을 격리시키거나, 방안으로 들어오는 사람의 먼지를 문 밖에서 떨어내거나, 방 안에 있는 사람에게 먼지가 나지 않는 특수복을 입히거나, 방안의 먼지를 강제적으로 없애는 장치를 설비해야 한다.
청정작업실을 유지하기 위해서 일반적으로 필터 어셈블리를 설치하여 청정작업실에 공급되는 공기를 여과하는 방식이 사용된다. 청정작업실 내부를 양압 또는 음압으로 만들어 내부로의 먼지의 유입을 차단하거나 필터링된 청정공기를 흡입하는 방식의 경우에도 역시 필터 어셈블리가 필요하다.
청정작업실이 제대로 작동하지 않으면 반도체 제조공정에서 불량이 일어나며, 수술실 등에서 환자 감염 등의 문제가 생길 수 있다. 따라서 청정작업실에 설치되는 필터 어셈블리의 성능 평가는 중요하다
청정작업실의 실내 천정 등에 설치되는 헤파(HEPA : High Efficiency Particulate Air)필터의 성능 평가를 위해 DOP(Di-Octyl-Phthalate)테스트를 실시할 수 있다. 이는 헤파필터의 진성을 시험하는데 적합한 시험방법으로서, 상기 DOP는 비등점이 높은 유성의 액체이며, 헤파필터의 여과효율을 시험하기 위해 DOP 증기를 응축한 연기구름이 사용될 수 있다.
한편, 헤파필터는 약 03㎛보다 큰 입자를 약 9997%를 여과하여 잔류시킬 수 있기 때문에, 이를 보장하기 위해서는 약 03㎛ 보다 큰 입자를 충분한 양으로 헤파필터에 인입시켜야 하기 때문에 챌린지 물질(시험물질)로 어떠한 것을 사용하는지가 중요한 문제이다. 따라서, 이러한 DOP는 이러한 요구사항을 만족시킬 수 있는 하나의 후보물질에 불과하다.
그리고 일반적으로 DOP의 입자가 지름 약 03㎛의 균일성이 보유되고 있으므로, 이것을 시험분체로 하여 헤파필터의 상하류 입자수를 광산란식 진애계측기로 측정하여 효율을 구한다.
헤파필터의 성능을 시험하는데 시험물질 즉 DOP 가스를 PAO(Poly-alpha olefin) 로 대체하여 사용하는 경우도 많이 있다.
청정작업실에 설치되는 필터박스는 복수인 경우가 많으며 그 중 어느 하나라도 불량인 경우 청정작업실이 제대로 작동하지 않기 때문에 복수의 필터박스 하나 하나를 모두 테스트해야 한다.
필터박스의 테스트는 필터가 교체되는 등 이벤트가 생기거나 필터의 내구연한에 맞추어 주기적으로 수행되어야 한다.
필터박스의 테스트하는 과정에서 작업자는 필터박스에 시험물질을 주입하기 위해서 하나의 필터박스에 테스트기의 관로를 연결하고 테스트를 수행한 뒤에 관로를 분리하여 다른 필터박스에 다시 연결하고는 테스트를 수행해야 하므로 불편하다.
특히, 청정작업실의 면적이 커서 필터박스가 많이 설치된 경우는 관로의 연결과 분리를 반복해야 하므로 청정작업실의 작동여부를 테스트하는 것이 매우 불편하며, 시간도 많이 걸려서 문제가 된다. 또한 관로를 필터박스에 연결, 분리를 반복하는 과정에서 관로가 정확히 연결이 되지 않는 경우 테스트의 결과를 신뢰할 수 없게 되어 문제가 된다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 실시예들의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 실시예들의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
이에 본 발명에 따른 일 측면은, 전술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 테스트기의 관로를 청정작업실에 한번만 연결하여 모든 필터박스를 한번에 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 테스트기의 관로를 한번만 연결하여 원하는 필터박스만 선별하여 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 밸브 개폐 여부가 이미 프로그래밍되어 일정시간의 경과 또는 필터박스의 교체가 확인된 경우 등 일정 조건이 충족되면 자동으로 원하는 필터박스를 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
위에 제기된 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면은 청정작업실에 설치되어 청정작업실 내부에 공기를 정화하는 필터 어셈블리에 있어서, 청정작업실에 설치되어 청정작업실 내부에 공기를 정화하는 필터 어셈블리에 있어서,
하우징; 상기 하우징 내부에 설치되고, 상기 하우징으로 유입되는 에어를 필터링하는 필터박스;
테스트기기와 연통하여 시험물질이 유입되는 시험물질 유입구;
상기 테스트기기와 연통하여 시험물질이 배출되는 시험물질 유출구;
상기 시험물질 유입구와 상기 시험물질 유출구가 연결되고, 선별적으로 상기 필터박스를 테스트할 수 있도록 시험물질을 분배하는 시험물질 분배기; 및
상기 시험물질 분배기와 상기 필터박스를 연결하고, 시험물질을 이동시키는 관로;를 포함하는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.
상기 필터박스는 복수이되, 상기 복수의 필터박스는 각각 상기 관로에 연결된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 필터박스는 제1 케이싱부, 상기 제1 케이싱부 내부에 조립되는 제2 케이싱부, 상기 제2 케이싱부 내부에 설치되는 거치프레임, 상기 거치프레임의 중앙부에 설치되는 모터, 상기 모터에 연결되는 송풍팬, 제1 케이싱부의 개구부에 설치되는 필터모듈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 케이싱부 내면에는 상기 필터모듈의 성능은 테스트하기 위한 시험물질을 분사하는 테스트노즐이 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 시험물질 분배기에서 인출되는 상기 관로 각각에는 상기 복수의 필터박스 중에서 선별된 필터박스에 시험물질을 공급할 수 있도록, 유로제어밸브가 설치된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 관로는 시험물질 공급관로와 리턴관로를 포함하는 한 쌍으로 구성되고, 상기 유로제어밸브는 상기 시험물질 공급관로 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.
본 발명의 다른 측면은 전술한 필터 어셈블리가 설치되는 청정작업실을 제공할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면은 테스트기기로부터 성능을 평가받는 복수의 필터박스;
상기 복수의 필터박스에 시험물질을 선별적으로 공급하기 위하여, 상기 테스트기기로부터 인출된 시험물질 공급라인과 시험물질 리턴라인이 연결되는 유입구와 유출구가 구비된 시험물질 분배기; 및
상기 시험물질 분배기로부터 인출되어 상기 복수의 필터박스 각각에 연결되는 복수의 시험물질 분배라인;을 포함하는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면 테스트기의 관로를 청정작업실에 한번만 연결하여 모든 필터박스를 한번에 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 테스트기의 관로를 한번만 연결하여 원하는 필터박스만 선별하여 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 밸브 개폐 여부가 이미 프로그래밍되어 일정시간의 경과 또는 필터박스의 교체가 확인된 경우 등 일정 조건이 충족되면 자동으로 원하는 필터박스를 테스트할 수 있는 필터 어셈블리를 제공할 수 있다.
이외에도, 본 발명의 효과는 실시예에 따라서 우수한 범용성을 가지는 등 다양한 효과를 가지며, 그러한 효과에 대해서는 후술하는 실시예의 설명 부분에서 명확하게 확인될 수 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 일 실시예를 예시하는 것이며, 전술된 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 테스트기기에 연결된 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리의 개략적 구성을 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터박스를 나타낸다.
도 3은 도 2의 필터박스의 내부를 나타내기 위한 단면도이다.
도 4는 도 2의 필터박스에 필터모듈이 설치되는 모습을 나타낸다.
도 5는 필터박스의 성능을 평가하기 위한 테스트기기과 테스트기기에 연결되어 테스트를 받고 있는 필터박스의 모습을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리가 테스트기기에 연결된 모습을 나타낸다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터박스를 나타낸다.
도 8은 도 7의 필터박스의 측면을 나타낸다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리가 설치된 청정작업실을 나타낸다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 설명되는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 아래에서 제시되는 실시 예들로 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 아래에 제시되는 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 본 발명에 따른 실시 예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략한다.
도 1은 테스트기기(100)에 연결된 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리(10)의 개략적 구성을 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리(10)는 청정작업실에 설치되어 청정작업실 내부에 에어(A)를 정화하는 것으로서, 하우징; 하우징 내부에 설치되고, 하우징으로 유입되는 에어(A)를 필터링하는 필터박스(300);
테스트기기(100)와 연통하여 시험물질이 유입되는 시험물질 유입구(210); 테스트기기(100)와 연통하여 시험물질이 배출되는 시험물질 유출구(220);
시험물질 유입구(210)와 시험물질 유출구(220)가 연결되고, 선별적으로 필터박스(300)를 테스트할 수 있도록 시험물질을 분배하는 시험물질 분배기(200); 및
시험물질 분배기(200)와 상기 필터박스(300)를 연결하고, 시험물질을 이동시키는 관로(400);를 포함하여 구성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터박스(300)를 나타낸다. 도 3은 도 2의 필터박스(300)의 내부를 나타내기 위한 단면도이다. 도 4는 도 2의 필터박스(300)에 필터모듈(370)이 설치되는 모습을 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터박스(300)는 커버부(310)와, 커버부(310)의 상면에 형성되는 흡입구(340)와, 상기 커버부(310)의 측면에 형성되는 시험물질공급부(320) 및 시험물질배출부(330)와, 커버부(310)의 하면에 형성된 개구부에 결합되는 필터모듈(370)과, 시험물질공급부(320)와 연통하여 커버부(310)의 내부로 돌출 형성되는 테스트노즐(360)과, 흡입구(340)와 테스트노즐(360) 사이에 배치되는 송풍팬(350)을 포함하여 구성될 수 있다.
필터박스(300)는 에어덕트를 통하여 청정작업실로 유입되는 에어(A)를 여과하여 청정작업실 내부의 작업공간으로 토출시키는 기능을 할 수 있으며, 일반적으로 청정작업실의 천정에 복수개가 설치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터박스(300)의 작동을 설명하면, 송풍팬(350)의 회전에 의하여 흡입구(340)로부터 에어(A)가 유입되고, 유입된 에어(A)는 필터모듈(370)을 통과하면서 여과되어 청정공기를 청정작업실로 공급하는 것이다.
필터박스(300)의 커버부(310) 측면에는 시험물질공급부(320)와 시험물질배출부(330)가 설치될 수 있으며 이들은 테스트기기(100)에 연결되어 시험물질을 공급받고, 공급받은 시험물질을 다시 배출하여 테스트기기(100)로 전달할 수 있다.
필터박스(300)에 설치되는 필터모듈(370)은 예컨대 헤파필터를 포함할 수 있다. 무질실에 청정공기를 공급하기 위해서 에어(A)에 포함되는 먼지의 양이 일정 수준 이하로 유지되도록 먼지를 여과해야 한다. 작업의 특성 예컨대 반도체 제조나 수술실에서 환자의 개복 수술을 하는 경우에 에어(A)가 함유하는 먼지의 양은 상당한 수준으로 낮춰야 한다. 따라서 헤파필터를 적용함으로써 무균실의 먼지양을 설정된 수준으로 유지할 수 있다.
본 실시예에 따른 필터박스(300)에는 시험물질공급부(320)와 시험물질배출부(330)와 테스트노즐(360)은 필터박스(300)를 테스트하는데 사용될 수 있다.
도 5는 필터박스(300)의 성능을 평가하기 위한 테스트기기(100)과 테스트기기(100)에 연결되어 테스트를 받고 있는 필터박스(300)의 모습을 나타낸다.
테스트기기(100)는 시험물질을 수용하는 시험물질수용부(110)와, 시험물질을 피시험대상으로 공급하는 시험물질 공급라인(130)과, 피시험대상으로부터 시험물질을 회수하는 시험물질 회수라인(140)과, 누유여부를 체크하는 프로브부(150)와, 필터박스(300)로부터 시험물질이 누유되는지 여부를 체크하는 프로브부(150)와, 테스트기기(100)를 제어하기 위한 제어부(120)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 시험물질은 예컨대 PAO일 수 있다.
필터박스(300)는 주기적으로 성능평가 테스트를 수행해야 한다. 필터박스(300)에 누유가 발생하면 미세먼지가 내부로 유입되어 반도체 제조 수율에 문제가 되거나 수술중인 환자가 감염될 수 있는 등 심각한 문제가 생길 수 있다. 따라서 필터 어셈블리(10) 자체에 스스로 필터박스(300)의 성능을 테스트할 수 있도록 테스트 구성이 구비되어 있으면 정기적으로 계속적으로 필터 성능을 테스트하여 최적의 상태에서 청정작업실이 운영되도록 할 수 있다.
특히 헤파필터는 내구연한이 정해져 있으므로 주기적으로 교체가 필요하다. 따라서 필터가 교체되는 경우 필터 성능 테스트도 함께 수행함으로써 새로 교체된 필터의 성능을 담보할 수 있다. 이러한 테스트 작업은 정기적으로 수행해야 하며, 필터가 교체되는 등의 특별한 상황에서 반드시 수행되어야 한다.
테스트기기(100)가 피시험대상인 필터박스(300)를 테스트하는 방식을 설명한다. 우선 작업자가 테스트기기(100)의 시험물질 공급라인(130)과 시험물질 회수라인(140)을 각각 필터박스(300)의 시험물질공급부(320)와 시험물질배출부(330)에 연결한다.
그 다음 필터박스(300)의 송풍팬(350)을 가동시키고, 테스트기기(100)의 시험물질수용부(110)에 수용되어 있는 시험물질을 시험물질 공급라인(130)을 통하여 필터박스(300)에 공급한다. 그러면 시험물질공급부(320)와 연통하는 테스트노즐(360)에서 시험물질이 분사된다. 테스트노즐(360)에서 분사된 시험물질은 에어로졸 형태로 분사되므로 송풍팬(350)을 작동시켜 필터모듈(370) 측으로 분사되도록 유도된다.
본 발명의 일 실시예에 따라서는 필터모듈(370)의 테두리에는 씰링액이 충진되어 있으며, 필터모듈(370)이 필터박스(300)의 커버부(310)의 끝단에 결합할 때 씰링액을 통하여 테두리가 씰링된다.
필터모듈(370) 및 씰링부위가 정상인 경우, 시험물질이 분사되더라도 누유가 생기지 않으며, 분사된 시험물질은 시험물질 회수라인(140)을 통하여 테스트기기(100)로 회수된다. 따라서 테스트기기(100)는 공급한 시험물질과 회수한 시험물질의 양이 동일하거나 일정 범위 내에 유지되는 경우에 정상으로 판정할 수 있다.
그러나 초기 또는 사용되는 과정에서 필터모듈(370) 자체가 불량이거나 필터모듈(370)과 필터박스(300) 사이의 씰링이 불량인 경우 테스트 과정에서 시험물질이 필터모듈(370), 씰링부위 등에서 누유될 수 있다. 이 경우 작업자는 프로브부(150)를 필터모듈(370), 필터모듈(370)과 필터박스(300)의 접촉부위, 필터박스(300) 전 부분에 근접시켜 시험물질의 누유 여부를 체크할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리(10)가 테스트기기(100)에 연결된 모습을 나타낸다.
도 6은 복수의 필터박스(300)가 구비된 모습을 나타내며, 제1 필터박스(300a), 제2 필터박스(300b), 제3 필터박스(300c)가 각각 시험물질 분배기(200)에 관로(400)를 통하여 연결된 모습을 나타낸다.
본 실시예에 따른 시험물질 분배기(200)는 시험물질을 선별적으로 분배하는 기능을 수행하는 구성으로서 필터박스(300)가 복수개가 구비된 경우에 더욱 효과가 있다.
시험물질 분배기(200)의 일측에는 시험물질 유입구(210)와 시험물질 유출구(220)가 연결될 수 있으며, 타측에는 제1 필터박스(300a)와 연결되는 제1 관로(410), 제1 필터박스(300a)와 연결되는 제1 관로(410), 제1 필터박스(300a)와 연결되는 제1 관로(410)가 각각 연결될 수 있다. 시험물질 분배기(200) 내부에서 제1 관로(410), 제2 관로(420), 제3 관로(430)는 각각 병렬로 시험물질 유입구(210)와 시험물질 유출구(220)에 연결될 수 있다.
제1 관로(410), 제2 관로(420), 제3 관로(430)는 각각 시험물질 공급관로 및 시험물질 리턴관로로 구성된 한 쌍으로 구성될 수 있다.
제1 관로(410)의 시험물질 공급관로, 제2 관로(420)의 시험물질 공급관로, 제3 관로(430)의 시험물질 공급관로에는 각각 유로제어용 제1 유로제어밸브(231), 제2 유로제어밸브(232), 제3 유로제어밸브(233)가 설치될 수 있다. 작업자는 유로제어밸브(232, 232, 233)를 조작하여 선별된 필터박스(300)에 대하여 누유 테스트를 수행할 수 있다.
일반적인 시험물질 분배기(200)가 없는 복수의 필터박스(300)로 구성된 필터 어셈블리(10)에 있어서, 필터박스(300)를 테스트하기 위해서는 작업자는 테스트기기(100)의 시험물질 공급라인(130)과 시험물질 회수라인(140)을 필터박스(300)의 시험물질 공급부와 시험물질 배출부에 각각 연결하고 밸브를 열어 시험물질을 공급하고, 공급된 시험물질이 모두 시험물질 회수라인(140)을 타고 다시 회수되는지를 분석하여 누유여부를 체크할 수 있다.
그러나 이러한 구조에서는 작업자는 제1 필터박스(300a), 제2 필터박스(300b), 제3 필터박스(300c)를 모두 테스트하기 위해서, 제1 필터박스(300a)에 시험물질 공급라인(130)과 시험물질 회수라인(140)을 연결하여 필터박스(300)의 테스트를 수행한 뒤에 분리하고, 다시 제2 필터박스(300b)에 연결하여 테스트한 뒤에 다시 분리하고, 다시 제3 필터박스(300c)에 연결하여 테스트한 뒤에 다시 분리하는 등 작업자는 연결과 분리를 반복해야 하므로 매우 불편하고 시간이 많이 걸리며, 반복되는 연결과정에서 연결이 정확하게 이루어지지 않는 문제가 생길 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 필터박스(300)와 시험물질 분배기(200)를 가지는 필터 어셈블리(10)의 구조는 테스트기기(100)를 시험물질 분배기(200)의 시험물질 유입구(210)와 시험물질 유출구(220)에 각각 연결한 상태에서 제2 유로제어밸브(232)와 제3 유로제어밸브(233)는 잠그고, 제1 유로제어밸브(231)를 열면, 시험물질 분배기(200)가 제1 필터박스(300a)만 시험물질을 공급하게 되고(도 6을 참조), 제2 유로제어밸브(232)만 열면 시험물질 분배기(200)가 제2 필터박스(300b)만 시험물질을 공급하게 되며, 제3 유로제어밸브(233)만 열면 시험물질 분배기(200)가 제3 필터박스(300c)만 시험물질을 공급하게 된다.
따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 필터박스(300)와 시험물질 분배기(200)를 가지는 필터 어셈블리(10)의 구조에 의하면, 작업자가 시험물질 공급라인(130)과 시험물질 회수라인(140)을 필터박스(300)에 연결과 분리를 반복할 필요가 없이 밸브만 제어하여 각각의 필터박스(300)를 테스트할 수 있으므로 경제적이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시험물질 분배기(200)는 별도의 구성일 수도 있고, 복수의 필터박스(300)가 설치되는 하우징의 일측면에 함께 설치되는 구성일 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 시험물질 분배기(200)는 경우에 분배제어부(240)를 포함할 수 있으며 분배제어부(240)에서는 프로그래밍에 의하여 일정한 시기가 도래하면 자동으로 밸브를 제어하여 복수의 필터박스(300)를 순차적으로 테스트할 수 있으며, 경우에 따라서 문제가 되는 필터박스(300)를 찾아서 해당 필터박스(300)만 테스트를 수행할 수 있다.
실시예에 따라서 필터박스(300)에는 필터모듈(370)이 탈착되는지 여부를 센싱할 수 있는 탈착감지센서가 설치될 수 있다. 탈착감지센서가 필터모듈(370)이 교체되는 것을 감지하는 경우 센싱신호를 전송하도록 구성할 수 있다. 즉, 탈착감지센서는 1차로 필터모듈(370)이 필터박스(300)에서 탈거되는 것을 감지하고, 2차로 필터박스(300)에 새로운 필터모듈(370)이 설치된 것을 감지한 경우에 센싱신호를 전송할 수 있으며, 센싱신호를 전송받은 분배제어부(240)는 해당 필터박스(300)에 대응하는 유로제어밸브를 제어하여 해당 필터박스(300)의 필터 성능 테스트를 자동으로 수행하도록 프로그래밍할 수 있다.
이러한 구성은 작업자는 테스트기기(100)를 연결하고, 제1 필터박스(300a)의 필터모듈(370)을 교체한 경우 시험물질 분배기(200)는 자동으로 필터모듈(370)이 교체된 제1 필터박스(300a)를 찾아내어 테스트를 수행하게 되므로 작업자의 업무량을 획기적으로 줄일 수 있다.
특히, 청정작업실에 필터박스(300)가 대량으로 설치된 경우 랜덤하게 몇개의 필터박스(300)의 필터모듈(370)을 교체하더라도 교체된 필터박스(300)들을 정확하게 찾아내어 해당 필터박스(300)에 대하여 테스트를 수행하게 되므로 작업 능율이 향상될 수 있고, 경제적이며, 정확한 테스트 결과를 확보할 수 있다.
실시예에 따라서 복수의 필터박스(300)에 인접하여 누유센서를 설치할 수 있으며, 이 경우 작업자가 테스트기기(100)에서 프로브부(150)를 수동을 움직여 누유여부를 체크할 필요가 없게 되므로 필터박스(300) 테스트 과정에서 작업자의 수작업 부분을 획기적으로 줄일 수 있다.
분배제어부(240)를 포함하는 시험물질 분배기(200)와 탈착감지센서와 누유센서는 복수의 필터박스(300)를 가지는 하나의 필터 어셈블리(10)에 설치되어 하나의 제품으로서 청정작업실에 설치될 수 있다. 즉 작업자가 청정작업실을 설치함에 있어서 필터 어셈블리(10) 하나만 설치함으로써 원스톱으로 자동화된 필터 테스트를 수행할 수 있는 청정작업실을 마련할 수 있는 것이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터박스(500)를 나타낸다. 도 8은 도 7의 필터박스(500)의 측면을 나타낸다.
실시예에 따라서 필터박스(500)는 제1 케이싱부(510), 제1 케이싱부(510) 내부에 조립되는 제2 케이싱부(520), 제2 케이싱부(520) 내부에 설치되는 거치프레임(550), 거치프레임(550)의 중앙부에 설치되는 모터(540), 모터(540)에 연결되는 송풍팬(530), 제1 케이싱부(510)의 개구부에 설치되는 필터모듈(370)을 포함하여 구성될 수 있다.
실시예에 따라서는 제2 케이싱부(520)는 제1 케이싱부(510)로부터 슬라이딩 탈착 가능하게 구성될 수 있다. 즉, 작업자는 필터박스(500)에서 송풍팬(530)을 분리할 때 거치프레임(550)을 분리할 필요가 없이, 제2 케이싱부(520)를 제1 케이싱부(510)에 고정하는 볼트를 풀고, 송풍팬(530)을 포함하는 제2 케이싱부(520)를 제1 케이싱부(510)의 내부에서 슬라이딩 이동시켜 제2 케이싱부(520) 자체를 분리함으로써 편리하게 송풍팬(530)을 탈거할 수 있다. 이러한 구조는 필터박스(500)의 분리를 손쉽게 하여 작업자의 업무량을 줄이는 효과가 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 어셈블리(10)가 설치된 청정작업실(600)을 나타낸다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 전술한 필터 어셈블리(10)가 설치되는 청정작업실(600)을 제공할 수 있다.
청정작업실(600)의 천장에는 필터 어셈블리(10)가 설치될 수 있으며 측면에는 송풍기(630)와 흡기덕트(610)와 배기덕트(620)가 설치될 수 있다. 흡기덕트(610)를 통하여 유입된 에어(A)는 송풍기(630)에 의하여 천장으로 이동하게 되고 천장에 설치된 복수의 필터박스(300)에 의하여 여과되어 청정작업실(600) 내부(P)로 들어올 수 있으며, 이렇게 유입된 청정공기는 다시 환풍구를 통하여 청정작업실(600)의 내부(P)를 빠져나가 배기덕트(620)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.
또한 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 테스트기기(100)로부터 성능을 평가받는 복수의 필터박스(300); 상기 복수의 필터박스(300)에 시험물질을 선별적으로 공급하기 위하여, 상기 테스트기기(100)로부터 인출된 시험물질 공급라인과 시험물질 리턴라인이 연결되는 유입구와 유출구가 구비된 시험물질 분배기(200); 및
상기 시험물질 분배기(200)로부터 인출되어 상기 복수의 필터박스(300) 각각에 연결되는 복수의 시험물질 분배라인;을 포함하는 필터 어셈블리(10)를 제공할 수 있다.
본 발명의 명세서(특히 특허청구범위에서)에서 "상기"의 용어 및 이와 유사한 지시 용어의 사용은 단수 및 복수 모두에 해당하는 것일 수 있다. 또한, 본 발명에서 범위(range)를 기재한 경우 상기 범위에 속하는 개별적인 값을 적용한 발명을 포함하는 것으로서(이에 반하는 기재가 없다면), 발명의 상세한 설명에 상기 범위를 구성하는 각 개별적인 값을 기재한 것과 같다.
본 발명에 따른 방법을 구성하는 단계들에 대하여 명백하게 순서를 기재하거나 반하는 기재가 없다면, 상기 단계들은 적당한 순서로 행해질 수 있다. 반드시 상기 단계들의 기재 순서에 따라 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 본 발명에서 모든 예들 또는 예시적인 용어(예들 들어, 등등)의 사용은 단순히 본 발명을 상세히 설명하기 위한 것으로서 특허청구범위에 의해 한정되지 않는 이상 상기 예들 또는 예시적인 용어로 인해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 당업자는 다양한 수정, 조합 및 변경이 부가된 특허청구범위 또는 그 균등물의 범주 내에서 설계 조건 및 팩터에 따라 구성될 수 있음을 알 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 또는 이로부터 등가적으로 변경된 모든 범위는 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 필터 어셈블리
100: 테스트기기
110: 시험물질수용부
120: 제어부
130: 시험물질 공급라인
140: 시험물질 회수라인
150: 프로브부
200: 분배기
210: 시험물질 유입구
220: 시험물질 유출구
231: 제1 유로제어밸브
232; 제2 유로제어밸브
233: 제3 유로제어밸브
240: 분배제어부
300: 필터박스
300a: 제1 필터박스
300b: 제2 필터박스
300c: 제3 필터박스
310: 커버부
320: 시험물질공급부
330: 시험물질배출부
340: 흡입구
350: 송풍팬
360: 테스트노즐
370: 필터모듈
A: 에어
400: 관로
410: 제1 관로
420: 제2 관로
430: 제3 관로
500: 필터박스의 제2 실시예
510: 제1 케이싱부
520: 제2 케이싱부
530: 제2 실시예의 송풍팬
540: 모터
550: 거치프레임
600: 청정작업실
610: 흡기덕트
620: 배기덕트
630: 송풍기

Claims (8)

  1. 청정작업실에 설치되어 청정작업실 내부에 에어를 정화하는 필터 어셈블리에 있어서,
    하우징;
    상기 하우징 내부에 설치되고, 상기 하우징으로 유입되는 에어를 필터링하는 필터박스;
    테스트기기와 연통하여 시험물질이 유입되는 시험물질 유입구;
    상기 테스트기기와 연통하여 시험물질이 배출되는 시험물질 유출구;
    상기 시험물질 유입구와 상기 시험물질 유출구가 연결되고, 선별적으로 상기 필터박스를 테스트할 수 있도록 시험물질을 분배하는 시험물질 분배기; 및
    상기 시험물질 분배기와 상기 필터박스를 연결하고, 시험물질을 이동시키는 관로;
    를 포함하고,
    상기 필터박스는 복수이되, 상기 복수의 필터박스는 각각 상기 관로에 연결되며,
    상기 시험물질 분배기에서 인출되는 상기 관로 각각에는 상기 복수의 필터박스 중에서 선별된 필터박스에 시험물질을 공급할 수 있도록, 유로제어밸브가 설치되고,
    상기 관로는 시험물질 공급관로와 리턴관로를 포함하는 한 쌍으로 구성되고, 상기 유로제어밸브는 상기 시험물질 공급관로 상에 설치되며,
    상기 필터박스는 제1 케이싱부, 상기 제1 케이싱부 내부에 조립되는 제2 케이싱부, 상기 제2 케이싱부 내부에 설치되는 거치프레임, 상기 거치프레임의 중앙부에 설치되는 모터, 상기 모터에 연결되는 송풍팬, 제1 케이싱부의 개구부에 설치되는 필터모듈을 포함하여 구성되는 필터 어셈블리.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 케이싱부 내면에는 상기 필터모듈의 성능은 테스트하기 위한 시험물질을 분사하는 테스트노즐이 형성된 것을 특징으로 하는 필터 어셈블리.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1 항, 제4항 중 어느 하나의 항에 따른 필터 어셈블리가 설치되는 청정작업실.
  8. 테스트기기로부터 성능을 평가받는 복수의 필터박스;
    상기 복수의 필터박스에 시험물질을 선별적으로 공급하기 위하여, 상기 테스트기기로부터 인출된 시험물질 공급라인과 시험물질 리턴라인이 연결되는 유입구와 유출구가 구비된 시험물질 분배기; 및
    상기 시험물질 분배기로부터 인출되어 상기 복수의 필터박스 각각에 연결되는 복수의 시험물질 분배라인;
    을 포함하고,
    상기 필터박스는 제1 케이싱부, 상기 제1 케이싱부 내부에 조립되는 제2 케이싱부, 상기 제2 케이싱부 내부에 설치되는 거치프레임, 상기 거치프레임의 중앙부에 설치되는 모터, 상기 모터에 연결되는 송풍팬, 제1 케이싱부의 개구부에 설치되는 필터모듈을 포함하여 구성되는 필터 어셈블리.




KR1020200032749A 2020-03-17 2020-03-17 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리 KR102357186B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200032749A KR102357186B1 (ko) 2020-03-17 2020-03-17 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200032749A KR102357186B1 (ko) 2020-03-17 2020-03-17 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210116068A KR20210116068A (ko) 2021-09-27
KR102357186B1 true KR102357186B1 (ko) 2022-01-28

Family

ID=77925839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200032749A KR102357186B1 (ko) 2020-03-17 2020-03-17 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102357186B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003035636A (ja) 2001-07-23 2003-02-07 Horiba Ltd エンジン排ガス中の粒子状物質の分析方法および装置
KR100621610B1 (ko) * 1999-05-10 2006-09-06 삼성전자주식회사 필터 테스트용 시뮬레이션 장치
JP2014032140A (ja) 2012-08-06 2014-02-20 Horiba Ltd 排ガス希釈装置及びｐｍ測定システム
JP2014081335A (ja) * 2012-10-18 2014-05-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ダスト自動採取装置
KR101514300B1 (ko) 2013-11-06 2015-04-22 (주) 크린필텍 크린룸 사용필터의 필터링 성능 측정장치 및 방법
KR101932478B1 (ko) * 2017-11-30 2019-03-20 케이앤제이엔지니어링 주식회사 미세먼지 측정 방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04303736A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Hitachi Electron Eng Co Ltd 高濃度微粒子計測方法
JPH10267803A (ja) * 1997-03-26 1998-10-09 Nohmi Bosai Ltd エアサンプリング式環境監視センサ
KR20060036687A (ko) * 2004-10-26 2006-05-02 삼성전자주식회사 클린룸에서 사용되는 파티클 측정 장치
KR20150047097A (ko) * 2013-10-23 2015-05-04 주식회사 위드텍 오염도 측정을 위한 멀티 샘플링 포트 모니터링 장치 및 이를 이용한 모니터링 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100621610B1 (ko) * 1999-05-10 2006-09-06 삼성전자주식회사 필터 테스트용 시뮬레이션 장치
JP2003035636A (ja) 2001-07-23 2003-02-07 Horiba Ltd エンジン排ガス中の粒子状物質の分析方法および装置
JP2014032140A (ja) 2012-08-06 2014-02-20 Horiba Ltd 排ガス希釈装置及びｐｍ測定システム
JP2014081335A (ja) * 2012-10-18 2014-05-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ダスト自動採取装置
KR101514300B1 (ko) 2013-11-06 2015-04-22 (주) 크린필텍 크린룸 사용필터의 필터링 성능 측정장치 및 방법
KR101932478B1 (ko) * 2017-11-30 2019-03-20 케이앤제이엔지니어링 주식회사 미세먼지 측정 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210116068A (ko) 2021-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100873410B1 (ko) 공기청정기의 집진성능 측정시스템
KR102198919B1 (ko) 가스 측정 장치 및 그의 세척 방법
CN204254779U (zh) 洁净室除湿空调设备
CN104958961A (zh) 一种自洁式空气净化装置
CN102759502A (zh) 一种滤料测试系统
KR20150047097A (ko) 오염도 측정을 위한 멀티 샘플링 포트 모니터링 장치 및 이를 이용한 모니터링 방법
CN110072622A (zh) 安全柜
CN205269276U (zh) 一种布袋除尘器滤袋检查停用装置
CN107328695A (zh) 颗粒物质量浓度传感器及颗粒物质量浓度检测方法
RU2741477C2 (ru) Воздухопроводящий конструктивный элемент
KR102357186B1 (ko) 시험물질 분배기를 가지는 필터 어셈블리
WO2019220661A1 (ja) フィルター漏れ監視装置及びそれを備えた粒子分離機
CN207641157U (zh) 一种自检漏袋式除尘器
CN114054438B (zh) 全自动部组件冲洗、洁净度检测及流阻的测试系统和方法
JP5946109B2 (ja) 空気浄化装置およびその試験システム
KR20160113338A (ko) 정비공장용 비산먼지 포집 및 집진기
KR101187279B1 (ko) 기체분석장치
JP5950144B2 (ja) 空気浄化装置およびその試験システム
CN108026688A (zh) 特别用于对洁净室服装和配件进行干燥的干燥机
JP2002214115A (ja) 空気浄化装置及びその試験システム
KR20220049068A (ko) 흡습제 교체 장치 및 이를 포함하는 공기 건조 시스템
JPH08503654A (ja) バッグフィルタ装置のフィルタバッグを清掃するための方法
KR102251456B1 (ko) 정화 장치
CN105344170B (zh) 实验用除尘装置
CN204601882U (zh) 汽车排气回收过滤装置

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20200317

PA0201 Request for examination
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20210311

Patent event code: PE09021S01D

PG1501 Laying open of application
E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20220113

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20220125

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20220125

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20250108

Start annual number: 4

End annual number: 4