JP5880097B2 - 内径測定装置 - Google Patents
内径測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5880097B2 JP5880097B2 JP2012026049A JP2012026049A JP5880097B2 JP 5880097 B2 JP5880097 B2 JP 5880097B2 JP 2012026049 A JP2012026049 A JP 2012026049A JP 2012026049 A JP2012026049 A JP 2012026049A JP 5880097 B2 JP5880097 B2 JP 5880097B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner diameter
- diameter measuring
- horizontal
- support shaft
- end portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/10—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring diameters
- G01B21/14—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring diameters internal diameters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/46—Plug gauges for internal dimensions with engaging surfaces which are at a fixed distance, although they may be preadjustable
- G01B3/50—Plug gauges for internal dimensions with engaging surfaces which are at a fixed distance, although they may be preadjustable of limit-gauge type, i.e. "go/no-go"
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/08—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters
- G01B11/12—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters internal diameters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/08—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters
- G01B5/12—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters internal diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
2 レール
3 被測定物載置架台
4 測定装置本体
6 芯出しレーザ装置
11,12 管保持ユニット
13 被測定管
14 第1基準治具ユニット
15 第2基準治具ユニット
16,17 基準リング
18 支持シャフト
19 内径計測部
22 レーザ光線
23 水平レーザ測距器
24 鉛直レーザ測距器
30 支持機構部
31 フレーム
32 シャフト端末部
33 球面軸受
35 撓み調整部
37 水平位置調整板
42 水平調整ボルト
43 ロックナット
47 ナットブロック
48 撓み調整螺子
50 鉛直ガイドブロック
52 端部固定螺子
Claims (4)
- 内径計測部を被測定中空部材の内部に挿入して内径を測定する内径測定装置であって、前記内径計測部を先端に支持した支持シャフトと、該支持シャフトを片持支持する支持機構部とを具備し、該支持機構部はフレームと、球面軸受と、撓み調整部とを有し、前記支持シャフトは前記球面軸受を介して前記フレームに支持され、前記支持シャフトの端末部は前記球面軸受を貫通して延出し、前記撓み調整部によって前記端末部の端部の鉛直方向の位置が調整される様構成されたことを特徴とする内径測定装置。
- 前記フレームは前記支持シャフトの先端側に位置する前面基板と該前面基板に対して所定距離離隔して設けられた後面基板とを有し、前記球面軸受は前記前面基板に設けられ、前記撓み調整部は、水平調整部を介して前記後面基板に設けられ、該水平調整部は前記撓み調整部の位置を水平方向に調整可能である請求項1の内径測定装置。
- 前記撓み調整部は鉛直方向に延在する鉛直ガイドブロックと、前記支持シャフトの端末部の上方に設けられたナットブロックとを有し、前記端末部の端部は前記鉛直ガイドブロックに挾持され、該鉛直ガイドブロックに沿って鉛直方向のみに変位可能であり、前記ナットブロックを螺通した撓み調整螺子の下端が前記端部の上端に当接し、前記撓み調整螺子によって前記端部の鉛直方向の位置が調整され、前記鉛直ガイドブロックに挿通され、上下方向に移動可能な端部固定螺子が前記端部に螺合し、前記端部固定螺子によって前記端部が前記鉛直ガイドブロックに固定される請求項1又は請求項2の内径測定装置。
- 前記水平調整部は、前記後面基板に対して水平方向に変位可能且つ固定可能な水平位置調整板を有し、前記鉛直ガイドブロック及び前記ナットブロックは前記水平位置調整板に設けられた請求項2又は請求項3の内径測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026049A JP5880097B2 (ja) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | 内径測定装置 |
EP13746339.4A EP2813811B1 (en) | 2012-02-09 | 2013-02-07 | Inside-diameter measurement device |
US14/377,226 US9429409B2 (en) | 2012-02-09 | 2013-02-07 | Inner diameter measuring device |
PCT/JP2013/053598 WO2013118917A1 (ja) | 2012-02-09 | 2013-02-07 | 内径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026049A JP5880097B2 (ja) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | 内径測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013164275A JP2013164275A (ja) | 2013-08-22 |
JP5880097B2 true JP5880097B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=48947665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012026049A Active JP5880097B2 (ja) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | 内径測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9429409B2 (ja) |
EP (1) | EP2813811B1 (ja) |
JP (1) | JP5880097B2 (ja) |
WO (1) | WO2013118917A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5821675B2 (ja) | 2012-02-09 | 2015-11-24 | 株式会社Ihi | 回転機器の回転制限装置 |
JP5786971B2 (ja) | 2012-02-09 | 2015-09-30 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP2013164274A (ja) | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Ihi Corp | 内径測定装置 |
JP5915223B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置及び内径測定方法 |
JP5880097B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP5915222B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP5880096B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
US9372073B2 (en) | 2012-02-09 | 2016-06-21 | Ihi Corporation | Inner diameter measuring device |
CN106225641B (zh) * | 2016-07-22 | 2018-10-16 | 燕山大学 | 一种关节轴承外圈内球面最小球径测量装置 |
CN107677720B (zh) * | 2017-10-10 | 2023-10-24 | 浙江富春江环保科技研究有限公司 | 一种二恶英在线检测系统机柜 |
CN109115085B (zh) * | 2018-09-30 | 2024-01-02 | 宁波环诚汽车轴承有限公司 | 一种全自动轴承内径检测机 |
CN109253676A (zh) * | 2018-10-08 | 2019-01-22 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 测量装置 |
CN109489607B (zh) * | 2018-11-28 | 2024-04-09 | 苏州铁近机电科技股份有限公司 | 一种轴承内圈内径轴承研磨检测装置 |
CN109396058A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-03-01 | 新乡市至德精密设备有限公司 | 圆锥或圆柱滚子直线式自动直径分组机的进料及测量装置 |
CN116045773B (zh) * | 2023-04-03 | 2023-07-04 | 湖南中大创远数控装备有限公司 | 一种可调弹性环规及滚子轴承内接圆直径测量方法 |
CN117090248A (zh) * | 2023-07-27 | 2023-11-21 | 山东送变电工程有限公司 | 一种原状土基础桩径检测设备 |
Family Cites Families (89)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1664851A (en) | 1926-08-18 | 1928-04-03 | Gisholt Machine Co | Tool post |
US1721524A (en) | 1927-10-03 | 1929-07-23 | Charles E Moore | Feed-screw limit gauge for lathes |
US2822620A (en) | 1954-12-27 | 1958-02-11 | John C Ulfeldt | Gauge for measuring inside diameters |
US3033032A (en) | 1958-10-06 | 1962-05-08 | W C Dillon & Company Inc | Dynamometer |
US3247732A (en) | 1963-10-16 | 1966-04-26 | A E Moore Company Inc | Reversible drive mechanism |
US3436967A (en) | 1965-08-18 | 1969-04-08 | Aircraft Radio Corp | Mechanical suppressor for jittery shaft |
US3771350A (en) | 1971-12-30 | 1973-11-13 | Aviat Inc | Pipeline leak detector |
GB1388475A (en) | 1972-02-08 | 1975-03-26 | Dale Ltd John | Flaw detector |
JPS50159355A (ja) | 1974-06-12 | 1975-12-23 | ||
US4045877A (en) | 1976-03-11 | 1977-09-06 | Sunnen Products Company | Retractable dial bore gauge |
IT1133314B (it) | 1980-06-02 | 1986-07-09 | Finike Italiana Marposs | Comparatore manuale a tampone per il controllo del diametro di fori |
JPS5866809A (ja) | 1981-09-28 | 1983-04-21 | サミユエル・ロスステイン | 管の欠陥測定方法及び管の検査装置における複合走査装置 |
JPS59187155A (ja) | 1983-04-06 | 1984-10-24 | Hitachi Ltd | 回転運動変換装置 |
US4536963A (en) | 1983-08-29 | 1985-08-27 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Digital indication type measuring machine |
WO1985004950A1 (en) | 1984-04-20 | 1985-11-07 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Three-dimensional measuring apparatus |
JPS61144551A (ja) * | 1984-12-18 | 1986-07-02 | Toshiba Corp | 長孔周壁検査装置 |
JPS61282659A (ja) | 1985-06-10 | 1986-12-12 | Fuji Electric Co Ltd | 回動軸の回動範囲制限機構 |
JPH0733996B2 (ja) | 1986-08-26 | 1995-04-12 | 三菱電機株式会社 | 管内面形状検出装置 |
JPS63159708A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 円筒形状物の軸中心検出装置 |
IT1213696B (it) | 1987-10-09 | 1989-12-29 | Marposs Spa | Apparecchio per il controllo di dimensioni lineari di pezzi |
JPH01195309A (ja) | 1988-01-29 | 1989-08-07 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | 円筒体測定装置 |
US4872269A (en) | 1988-04-08 | 1989-10-10 | Karl Sattmann | Automatic cylinder profiling gage |
FR2631697B1 (fr) | 1988-05-17 | 1991-07-26 | Hispano Suiza Sa | Appareil pour le controle optique du profil interne d'un tube ou d'un alesage |
DE3841439A1 (de) | 1988-12-09 | 1990-06-13 | Pietzsch Automatisierungstech | Vorrichtung zum gleichzeitigen vermessen hintereinanderliegender zylinderbohrungen |
US4937524A (en) | 1989-04-24 | 1990-06-26 | The Babcock & Wilcox Company | Rotating eddy current roller head for inspecting tubing |
JPH0562573A (ja) | 1991-06-18 | 1993-03-12 | Fuji Electric Co Ltd | 光電スイツチ |
US5259119A (en) * | 1991-09-17 | 1993-11-09 | Mitutoyo Corporation | Automatic inner diameter measuring apparatus and zero adjustment thereof |
US5224274A (en) | 1992-03-12 | 1993-07-06 | The Edmunds Manufacturing Company | Contact gage |
JP2531488B2 (ja) | 1993-08-10 | 1996-09-04 | 株式会社機動技研 | 管内測定方法 |
JPH0729405U (ja) | 1993-11-01 | 1995-06-02 | 三菱重工業株式会社 | 管内面検査装置 |
JPH07191269A (ja) | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Y S Opt:Kk | 内面観察装置 |
JPH0814874A (ja) | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Tosok Corp | 測定装置 |
JPH0893876A (ja) | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転軸の過回動防止構造 |
JP3338571B2 (ja) | 1994-11-22 | 2002-10-28 | アスモ株式会社 | 移動体の位置検出装置 |
FR2730304B3 (fr) | 1995-02-07 | 1997-04-18 | Arnould Denis | Appareil mecanique de metrologie pour mesures d'alesages et de cones de grande dimension |
AU6399796A (en) | 1995-06-30 | 1997-02-05 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force, The | Electro-optic, noncontact, interior cross-sectional profiler |
JPH09311034A (ja) | 1996-05-23 | 1997-12-02 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋼管の内径・内周長測定方法及び装置 |
US5933231A (en) | 1996-07-10 | 1999-08-03 | Industrial Technology Institute | Method and system for measuring cavities and probe for use therein |
JPH10137962A (ja) | 1996-11-07 | 1998-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ光学系 |
JPH10197215A (ja) | 1996-12-19 | 1998-07-31 | Westinghouse Electric Corp <We> | 管状製品の内壁の光学検査装置 |
JP3700805B2 (ja) | 1997-01-30 | 2005-09-28 | 石川島播磨重工業株式会社 | ロングシャフトの内径振れ計測装置 |
GB9719514D0 (en) | 1997-09-12 | 1997-11-19 | Thames Water Utilities | Non-contact measuring apparatus |
US6427353B1 (en) * | 1998-05-28 | 2002-08-06 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | High speed acquisition and calculation of dimensional variables with vibration and skew error reduction |
JP2000136923A (ja) | 1998-11-04 | 2000-05-16 | Kubota Corp | 接触式管内径測定装置 |
JP2000146564A (ja) | 1998-11-04 | 2000-05-26 | Kubota Corp | 接触式管内径測定装置の精度確認装置 |
US6243962B1 (en) | 1999-02-10 | 2001-06-12 | Samsomatic, Ltd. | Boring apparatus with shaft mounted diameter gage |
JP2002022671A (ja) | 2000-07-12 | 2002-01-23 | Nissan Motor Co Ltd | 円筒内壁面検査装置および検査方法 |
JP2002148036A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 管内径モニタリング装置 |
US7046356B2 (en) | 2000-11-15 | 2006-05-16 | Quest Trutec, Lp | Method for processing in situ inspection reformer tube data |
JP4085616B2 (ja) | 2001-11-01 | 2008-05-14 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 内面形状計測方法及びその装置 |
US6931149B2 (en) | 2002-04-19 | 2005-08-16 | Norsk Elektro Optikk A/S | Pipeline internal inspection device and method |
JP2003329606A (ja) | 2002-05-09 | 2003-11-19 | Tohoku Techno Arch Co Ltd | 内面検査装置 |
JP3869360B2 (ja) | 2002-12-27 | 2007-01-17 | 三鷹光器株式会社 | 手術用顕微鏡の回転支持構造 |
JP2004176852A (ja) | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Moriyama Giken:Kk | 回転体ストッパーとそれを用いた風力発電装置 |
JP4230408B2 (ja) | 2004-04-30 | 2009-02-25 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 深穴計測装置および深穴計測方法 |
JP2005331333A (ja) | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 軸管内径計測装置および軸管内径自動計測装置 |
JP3105724U (ja) | 2004-06-04 | 2004-11-25 | 株式会社環境システム | 管の内径測定装置 |
US7189023B2 (en) | 2004-09-01 | 2007-03-13 | Micro-Star Int'l Co., Ltd. | Rotational positioning apparatus |
JP2006153546A (ja) | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sanyo Special Steel Co Ltd | 接触式鋼管寸法測定装置 |
JP4508849B2 (ja) | 2004-11-30 | 2010-07-21 | 株式会社ケンウッド | 回転つまみのストッパー構造 |
US7111407B2 (en) | 2004-11-30 | 2006-09-26 | Tennessee Valley Authority | Vertical shaft alignment tool |
JP4192901B2 (ja) | 2005-02-17 | 2008-12-10 | 三菱電機株式会社 | アンテナ装置 |
JP4641824B2 (ja) | 2005-02-24 | 2011-03-02 | 株式会社クボタ | 管内調査装置 |
US7328520B2 (en) * | 2005-06-17 | 2008-02-12 | The Technologies Alliance, Inc. | Gage for measuring diameters |
JP2007057305A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd | 筒内検査装置 |
JP2007071852A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-22 | Akio Katsuki | 深穴測定装置および深穴測定方法 |
CH705706B1 (de) | 2005-11-03 | 2013-05-15 | Belimo Holding Ag | Stellantrieb mit einem Reduktionsgetriebe für ein Stellglied zur Regelung eines Gas- oder Flüssigkeitsstroms. |
FR2898671B1 (fr) | 2006-03-14 | 2008-12-26 | Snecma Sa | Systeme de mesure de cotes a l'interieur d'un arbre creux notamment de turbomachine aeronautique |
JP2007292699A (ja) | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Asmo Co Ltd | 部材の表面検査方法 |
DE202006017076U1 (de) | 2006-11-08 | 2007-01-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur Inspektion einer Rohrleitung |
US20090144999A1 (en) | 2006-11-30 | 2009-06-11 | Lau Kam C | Interior contour measurement probe |
KR20110036910A (ko) | 2008-06-18 | 2011-04-12 | 크리스-마린 에이비 | 측정 장치 |
US8164758B2 (en) | 2008-07-10 | 2012-04-24 | Quest Metrology, LLC | Internal inspection system and method |
JP2010019783A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Mitsutoyo Corp | 内径測定器 |
US8035823B2 (en) | 2008-09-05 | 2011-10-11 | 3Dm Devices Inc. | Hand-held surface profiler |
NO333307B1 (no) | 2008-11-24 | 2013-04-29 | Statoil Asa | Anordning og fremgangsmate for optisk maling av tykkelsen av enhver avsetning av materiale pa innerveggen til en konstruksjon |
JP2010164334A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-07-29 | Ihi Corp | 内面形状測定装置および内面形状測定方法 |
JP2011002439A (ja) | 2009-06-22 | 2011-01-06 | Kentaro Iguchi | 検査装置 |
JP5378083B2 (ja) | 2009-07-01 | 2013-12-25 | 東亜グラウト工業株式会社 | 内径測定装置及びその内径測定装置を用いた管路内径測定システム |
US20110080588A1 (en) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | Industrial Optical Measurement Systems | Non-contact laser inspection system |
JP5880097B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP5821675B2 (ja) | 2012-02-09 | 2015-11-24 | 株式会社Ihi | 回転機器の回転制限装置 |
JP5786971B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-09-30 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP2013164274A (ja) | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Ihi Corp | 内径測定装置 |
JP5915223B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置及び内径測定方法 |
JP5880096B2 (ja) | 2012-02-09 | 2016-03-08 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
JP5915222B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2016-05-11 | 株式会社Ihi | 内径測定装置 |
US9372073B2 (en) | 2012-02-09 | 2016-06-21 | Ihi Corporation | Inner diameter measuring device |
US9188775B2 (en) | 2013-08-28 | 2015-11-17 | United Sciences, Llc | Optical scanning and measurement |
-
2012
- 2012-02-09 JP JP2012026049A patent/JP5880097B2/ja active Active
-
2013
- 2013-02-07 EP EP13746339.4A patent/EP2813811B1/en active Active
- 2013-02-07 US US14/377,226 patent/US9429409B2/en active Active
- 2013-02-07 WO PCT/JP2013/053598 patent/WO2013118917A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150020395A1 (en) | 2015-01-22 |
US9429409B2 (en) | 2016-08-30 |
JP2013164275A (ja) | 2013-08-22 |
WO2013118917A1 (ja) | 2013-08-15 |
EP2813811B1 (en) | 2016-08-31 |
EP2813811A1 (en) | 2014-12-17 |
EP2813811A4 (en) | 2015-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5880097B2 (ja) | 内径測定装置 | |
JP5880096B2 (ja) | 内径測定装置 | |
JP5915223B2 (ja) | 内径測定装置及び内径測定方法 | |
JP6231153B2 (ja) | 光学測定装置のための保持機器 | |
JP2000258153A (ja) | 平面平坦度測定装置 | |
AU2018363099B2 (en) | Device for the optical measurement of the external thread profile of pipes | |
CN103940408A (zh) | 五轴影像自动调整测量仪 | |
CN107449372B (zh) | 基于激光三角的滚珠丝杠螺母综合参数检测装置及方法 | |
JP6744661B2 (ja) | 複数の変位計を用いた高精度形状計測方法 | |
JP2010145340A (ja) | 大型部品の寸法測定装置および寸法測定方法 | |
KR101974087B1 (ko) | 스트랜드 가이드 롤러의 높이의 레이저 광학 판정을 위한 방법, 측정 시스템, 측정 터치 탐침부 및 측정 시스템의 용도 | |
KR100912651B1 (ko) | 자동 영상 검사 장치 | |
CN102384729B (zh) | 用于检测螺纹垂直度的方法与装置 | |
JP2008096114A (ja) | 測定装置 | |
JP2017198521A (ja) | アライメント計測装置 | |
JP2010271047A (ja) | 光学式やタッチプローブ型の測定機構部及び軸体支持機構部を有する軸体測定装置及び該装置による軸体の諸元及び精度の測定方法 | |
JP2013221929A (ja) | 三次元測定方法及び装置 | |
JP2011085402A (ja) | 表面性状測定機 | |
JP2021056135A (ja) | 高さ測定機 | |
RU2767804C1 (ru) | Оптический стенд | |
JP2012093237A (ja) | 誤差分布算出方法、形状測定方法、および形状測定装置 | |
US20160109268A1 (en) | Measuring apparatus | |
JP5171314B2 (ja) | 球面形状測定装置 | |
JP2016151532A (ja) | レーザ照射装置設置台 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160118 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5880097 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |