JP5522181B2 - 搬送ロボット - Google Patents

Description

開示の実施形態は、搬送ロボットに関する。

従来、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれる局所クリーン装置内に形成された空間において、ウェハなどの基板を半導体製造プロセスにおけるプロセス処理装置へ搬入出する搬送ロボットが知られている。

基板を搬送する搬送ロボットは、一般に基板を保持する保持部が先端に設けられたアームを備えており、例えば、基板を保持部の上面へ載置するなどして保持しつつ、アームおよび保持部を水平方向に動作させることによって基板を搬送する。

かかる搬送ロボットとして、複数の保持部を備え、各保持部を互いに平行な平面上で個別に動作させることにより、複数の基板の搬送を並行して行なうものがある（例えば、特許文献１参照）。

ところで、半導体製造プロセスには、例えばベーキング処理などのように、基板を加熱する処理が含まれる。このため、複数の保持部を備える搬送ロボットは、処理後の高温になった基板を保持部によって搬送する作業と並行して、処理前の常温の基板を他の保持部によって搬送する作業を行なう場合がある。

特開２００７−００５５８２号公報

しかしながら、複数の保持部を備える従来の搬送ロボットでは、高温の基板を搬送中の保持部が発する輻射熱や、搬送中の高温になった基板が発する輻射熱によって他の保持部が悪影響を受けることがある。

例えば、高温の基板を搬送中の保持部と、常温の基板を搬送する保持部とが上下に近接する位置関係となった場合、常温の基板を搬送する保持部は、高温の基板を搬送中の保持部や搬送中の高温になった基板が発する輻射熱によって悪影響を受ける。

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、高温の基板を搬送中の保持部が発する輻射熱や、搬送中の高温になった基板が発する輻射熱が他の保持部へ与える悪影響を低減することができる搬送ロボットを提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係る搬送ロボットは、複数のワーク保持部と、断熱部材とを備える。複数のワーク保持部は、一方の面で搬送対象のワークを保持し、前記ワークの搬送中に上下に重なり合う場合がある。断熱部材は、前記複数のワーク保持部のうち、少なくとも一つの前記ワーク保持部における他方の面側に設けられる。

実施形態の一態様によれば、高温の基板を搬送中の保持部が発する輻射熱や、搬送中の高温になった基板が発する輻射熱が他の保持部へ与える悪影響を低減することができる搬送ロボットを提供することができる。

図１は、第１の実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す模式図である。 図２は、第１の実施形態に係る搬送ロボットの構成を示す模式図である。 図３は、第１の実施形態に係る下段ハンドの模式斜視図である。 図４は、第１の実施形態に係る上段ハンドの模式斜視図である。 図５は、第１の実施形態に係る断熱板の形状を示す模式斜視図である。 図６は、第１の実施形態に係る搬送ロボットの姿勢の一例を示す模式側面図である。 図７は、第１の実施形態に係る断熱板以外の断熱部材を備えた搬送ロボットの模式側面図である。 図８は、第１の実施形態に係る下段側に高温用のハンドを設け、上段側に低温用のハンドを設けた搬送ロボットの模式側面図である。 図９は、第２の実施形態に係る搬送ロボットの模式上面図である。 図１０は、第２の実施形態に係る搬送ロボットの模式上面図である。

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送ロボットを有する搬送システムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

また、以下では、搬送対象物であるワークが基板であり、かつ、かかる基板が半導体ウェハである場合について説明することとし、かかる「半導体ウェハ」を「ウェハ」と記載することとする。また、エンドエフェクタである「ロボットハンド」については、「ハンド」と記載する。

（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態に係る搬送システムの全体構成について図１を用いて説明する。図１は、第１の実施形態に係る搬送システム１の全体構成を示す模式図である。

なお、説明を分かりやすくするために、図１には、鉛直上向きを正方向とし、鉛直下向き（すなわち、「鉛直方向」）を負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。したがって、ＸＹ平面に沿った方向は、「水平方向」を指す。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。また、以下では、複数個で構成される構成要素については、複数個のうちの１個にのみ符号を付し、その他については符号の付与を省略する場合がある。

図１に示すように、第１の実施形態に係る搬送システム１は、基板搬送部２と、基板供給部３と、基板処理部４とを備える。基板搬送部２は、搬送ロボット１０と、かかる搬送ロボット１０を内部に配設する筐体２０とを備える。なお、基板供給部３は、かかる筐体２０の一方の側面２１に設けられ、基板処理部４は、他方の側面２２に設けられる。また、図中の符号１００は、搬送システム１の設置面を示している。

搬送ロボット１０は、搬送対象物であるウェハＷを上下２段で保持可能なワーク保持部（以下、「ハンド」と記載する）１１を有するアーム部１２を備える。アーム部１２は、筐体２０の底壁部を形成する基台設置フレーム２３上に設置される基台１３に対して昇降自在、かつ水平方向に旋回自在に支持される。なお、搬送ロボット１０の詳細については、図２を用いて後述する。

筐体２０は、いわゆるＥＦＥＭであり、上部に備えるフィルタユニット２４を介してクリーンエアのダウンフローを形成する。かかるダウンフローにより、筐体２０の内部は高クリーン度状態に保たれる。また、基台設置フレーム２３の下面には脚具２５が備えられており、筐体２０と設置面１００との間に所定のクリアランスＣを設けつつ筐体２０を支持する。

基板供給部３は、複数のウェハＷを高さ方向に多段に収納するフープ３０と、かかるフープ３０の蓋体を開閉して、ウェハＷを筐体２０内へ取り出せるようにするフープオープナ（図示せず）とを備える。なお、フープ３０およびフープオープナのセットは、所定の高さを有するテーブル３１上に所定の間隔をおいて複数セット並設することができる。

基板処理部４は、たとえば、洗浄処理や成膜処理、フォトリソグラフィ処理といった半導体製造プロセスにおける所定のプロセス処理をウェハＷに対して施すプロセス処理部である。基板処理部４は、かかる所定のプロセス処理を行う処理装置４０を備える。かかる処理装置４０は、筐体２０の他方の側面２２に、搬送ロボット１０を挟んで基板供給部３と対向するように配置される。

また、筐体２０の内部には、ウェハＷのセンタリングやノッチ合わせを行うプリアライナ装置２６が設けられる。

そして、かかる構成に基づき、第１の実施形態に係る搬送システム１は、搬送ロボット１０に昇降動作や旋回動作をとらせながら、フープ３０内のウェハＷを取り出させ、プリアライナ装置２６を介してウェハＷを処理装置４０へ搬入する。そして、処理装置４０において所定のプロセス処理を施されたウェハＷをふたたび搬送ロボット１０の動作によって搬出および搬送し、フープ３０へ再収納する。

次に、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０の構成について図２を用いて説明する。図２は、第１の実施形態に係るロボット１０の構成を示す模式図である。

図２に示すように、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０は、ハンド１１と、アーム部１２と、基台１３とを備える。アーム部１２は、昇降部１２ａと、関節部１２ｂ、関節部１２ｄおよび関節部１２ｆと、第１アーム１２ｃと、第２アーム１２ｅとをさらに備える。

基台１３は、上述したように、基台設置フレーム２３（図１参照）上に設置される搬送ロボット１０のベース部である。昇降部１２ａは、かかる基台１３から鉛直方向（Ｚ軸方向）にスライド可能に設けられ（図２の両矢印ａ０参照）、アーム部１２を鉛直方向に沿って昇降させる。

関節部１２ｂは、軸ａ１まわりの回転関節である（図２の軸ａ１まわりの両矢印参照）。第１アーム１２ｃは、かかる関節部１２ｂを介し、昇降部１２ａに対して回転可能に連結される。

また、関節部１２ｄは、軸ａ２まわりの回転関節である（図２の軸ａ２まわりの両矢印参照）。第２アーム１２ｅは、かかる関節部１２ｄを介し、第１アーム１２ｃに対して回転可能に連結される。

また、関節部１２ｆは、軸ａ３まわりの回転関節である（図２の軸ａ３まわりの両矢印参照）。ハンド１１は、かかる関節部１２ｆを介し、第２アーム１２ｅに対して回転可能に連結される。

また、昇降部１２ａ、第１アーム１２ｃ、および第２アーム１２ｅの内部には、それぞれモータ、プーリ、ベルト等の図示しない駆動機構が搭載されており、関節部１２ｂ、関節部１２ｄおよび関節部１２ｆのそれぞれは、かかる駆動源の駆動に基づいて回転する。

さらに、これら昇降部１２ａ、第１アーム１２ｃ、および第２アーム１２ｅの内部には、昇降部１２ａ、第１アーム１２ｃ、および第２アーム１２ｅの動作状態を検知する各種センサ類も搭載される。

ハンド１１は、ウェハＷを保持するエンドエフェクタであり、それぞれ高さ位置の異なる下段ハンド１１ａと上段ハンド１１ｂとの２個のハンドからなる。下段ハンド１１ａおよび上段ハンド１１ｂは、軸ａ３を共通の旋回軸として近接して設けられ、それぞれ独立して軸ａ３まわりに旋回することができる。

そして、第１の実施形態に係る搬送システム１は、かかる下段ハンド１１ａおよび上段ハンド１１ｂのそれぞれにウェハＷを載置して、たとえば、２枚同時に搬送ロボット１０へ搬送させることによって、作業の効率化やスループットの向上などを図ることができる。なお、下段ハンド１１ａおよび上段ハンド１１ｂの構成の詳細については後述する。

また、搬送ロボット１０が示すこととなる各種動作は、制御装置５０によって制御される。制御装置５０は、搬送ロボット１０と相互通信可能に接続され、たとえば、筐体２０（図１参照）内部の搬送ロボット１０の懐（ふところ）や筐体２０の外部などに配設される。なお、搬送ロボット１０と制御装置５０とが一体化していてもよい。

また、制御装置５０の行う搬送ロボット１０の各種動作の動作制御は、あらかじめ制御装置５０に格納されている教示データに基づいて行なわれるが、やはり相互通信可能に接続された上位装置６０からかかる教示データを取得する場合もある。また、上位装置６０は、搬送ロボット１０（およびその各構成要素）の状態監視が逐次可能である。

なお、本実施形態では、説明の便宜上、制御装置５０が上位装置６０から教示データほか搬送ロボット１０の状態などの通知を受けるものとする。かかる点は、搬送システム１における分散処理形態を限定するものではない。

次に、第１の実施形態に係るハンド１１の構成の詳細について、図３および図４を用いて説明する。図３は、第１の実施形態に係る下段ハンド１１ａの模式斜視図であり、図４は、第１の実施形態に係る上段ハンド１１ｂの模式斜視図である。

ここでは、下段ハンド１１ａが常温のウェハＷを保持して搬送する常温用のワーク保持部であり、上段ハンド１１ｂが常温よりも高温のウェハＷを保持して搬送する高温用のワーク保持部である場合について説明する。

下段ハンド１１ａは、図３に示すように、プレート１１１と、先端側支持部１１２と、基端側支持部１１３と、押圧駆動部１１４と、押圧部１１４ａとを備える。押圧駆動部１１４は、突出部１１４ｂと、センサ１１４ｃを備える。

プレート１１１は、ウェハＷが載置される基底部もしくは基部にあたる部材であり、例えば、アルミ製の板体である。なお、図３には、先端側がＶ字状に成形されたプレート１１１を例示しているが、プレート１１１の形状を限定するものではない。

先端側支持部１１２は、プレート１１１の先端部に配設される。また、基端側支持部１１３は、プレート１１１の基端部に配設される。なお、図３には、先端側支持部１１２および基端側支持部１１３が、それぞれ１対ずつ配設されている例を示している。

そして、図３に示すように、ウェハＷは、かかる先端側支持部１１２および基端側支持部１１３の間に載置される。このとき、先端側支持部１１２および基端側支持部１１３は、ウェハＷをプレート１１１から浮かせた状態で下方から支持しつつ、主に摩擦力によって保持する。なお、先端側支持部１１２および基端側支持部１１３の形状については、少なくとも水平方向および鉛直方向でウェハＷと当接する面を有していれば特に限定されない。

押圧駆動部１１４は、突出部１１４ｂを突出させることによって押圧部１１４ａをＸ軸方向に沿って直動させる駆動機構であり、たとえば、エアシリンダなどを用いて構成される。なお、図３に示す押圧駆動部１１４、押圧部１１４ａほか、押圧駆動部１１４に関連する各部材の形状は一例であって、その形状を限定するものではない。

そして、かかる押圧駆動部１１４および押圧部１１４ａは、前述の先端側支持部１１２とともにウェハＷを把持する把持機構を構成する。

具体的には、押圧駆動部１１４は、突出部１１４ｂを突出させて押圧部１１４ａにウェハＷの周縁を押圧させ、ウェハＷをＸ軸の正方向へ押し出し、押圧された側とは反対側のウェハＷの周縁を先端側支持部１１２の側壁へ当接させる。これにより、ウェハＷは、所定の押圧力をもって押圧部１１４ａと先端側支持部１１２とに挟持され、把持される。

また、センサ１１４ｃは、突出部１１４ｂの突出位置に基づき、押圧部１１４ａによってウェハＷが把持されたか否かを検知する。このように、下段ハンド１１ａは、ウェハＷを把持することによって保持する把持型のワーク保持部である。

一方、上段ハンド１１ｂは、高温のウェハＷを搬送するものであるため、常温のウェハＷを搬送する下段ハンド１１ａとは異なり、上方から落とし込まれるウェハＷを主に摩擦力によって保持する落とし込み型のワーク保持部である。

具体的には、図４に示すように、上段ハンド１１ｂは、プレート１１１ｂと、先端側支持部１１２ｂと、基端側支持部１１３ｂとを備える。プレート１１１ｂは、ウェハＷが載置される基底部もしくは基部にあたる部材である。かかるプレート１１１ｂは、高温のウェハＷが載置されることを考慮し、例えば、セラミックスや繊維強化プラスチックといった耐熱性素材によって形成される。

先端側支持部１１２ｂは、プレート１１１ｂの先端部に配設される。また、基端側支持部１１３ｂは、プレート１１１ｂの基端部に配設される。そして、図４に示すように、ウェハＷは、かかる先端側支持部１１２ｂおよび基端側支持部１１３ｂの間に載置される。

このとき、先端側支持部１１２ｂおよび基端側支持部１１３ｂは、ウェハＷをプレート１１１ｂから浮かせた状態で下方から支持しつつ、主に摩擦力によって保持する。なお、先端側支持部１１２ｂおよび基端側支持部１１３ｂは、高温のウェハＷを保持することを考慮し、例えば、ポリイミド樹脂などの超耐熱性素材によって形成される。

このように、上段ハンド１１ｂは、ウェハＷを主に摩擦力によって保持するので、反りや破損が生じやすい高温のウェハＷを安全に保持することができる。

また、上段ハンド１１ｂのプレート１１１ｂは、高温のウェハＷが載置された場合、ウェハＷが発する熱によって高温となり、輻射熱を発する。かかる輻射熱は、例えば、上段ハンド１１ｂおよび下段ハンド１１ａが上下に重なり合って近接する位置関係となった場合に、下段ハンド１１ａのセンサ１１４ｃ等へ悪影響を及ぼす。

そこで、第１の実施形態に係る上段ハンド１１ｂは、プレート１１１ｂの下面に、断熱部材（以下、「断熱板」と記載する）１１５を備える。かかる断熱板１１５は、例えば、ポリイミド樹脂などの超耐熱性素材によって形成される。

このように、搬送ロボット１０では、下段ハンド１１ａおよび上段ハンド１１ｂという複数のハンドが第２アーム１２ｅの先端側に同一の回転軸ａ３周りに回転可能に設けられ、下段ハンド１１ａおよび上段ハンド１１ｂがそれぞれ上面でウェハＷを保持して搬送する。

さらに、搬送ロボット１０では、常温のウェハＷを搬送する常温用のワーク保持部である下段ハンド１１ａよりも、第２アーム１２ｅから離れた位置に、高温のウェハＷを搬送する高温用のワーク保持部である上段ハンド１１ｂが設けられる。かかる場合、搬送ロボット１０では、上段ハンド１１ｂの裏面側に、断熱部材である断熱板１１５が設けられる。

これにより、高温のウェハＷを保持した上段ハンド１１ｂと下段ハンド１１ａとが重なり合って上下に近接する位置関係となった場合に、上段ハンド１１ｂのプレート１１１ｂから発せられる輻射熱が下段ハンド１１ａへ及ぼす悪影響を低減することができる。

次に、図５を用いて、かかる断熱板１１５の形状について説明する。図５は、第１の実施形態に係る断熱板１１５の形状を示す模式斜視図である。なお、図５には、断熱板１１５をプレート１１１ｂからＺ軸の負方向へ分離した分解斜視図を示している。

図５に示すように、断熱板１１５は、プレート１１１ｂと対向する面の形状がプレート１１１ｂと同一の形状をしており、上面視した場合に、プレート１１１ｂと重なるようにプレート１１１ｂの下面側に設けられる。

かかる断熱板１１５によれば、プレート１１１ｂから下段ハンド１１ａへ発せられる輻射熱を遮断するために必要な面積を最小限に抑えることができるので、コストを最小限に抑えることができる。

次に、図６を用いて、かかる断熱板１１５を設けたことによる、さらなる作用効果につて説明する。図６は、第１の実施形態に係る搬送ロボット１０の姿勢の一例を示す模式側面図である。なお、図６では、搬送路ロボット１０における第１アーム１２ｃの延伸方向中途部よりも先端側を選択的に図示している。

図６に示すように、搬送ロボット１０では、第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅが共に先端部をＸ軸の正方向へ向け、下段ハンド１１ａと高温のウェハＷを保持した上段ハンド１１ｂとが共に先端部をＸ軸の負方向へ向ける姿勢をとる場合がある。

つまり、搬送ロボット１０では、上段ハンド１１ｂによって高温のウェハＷを搬送中に、第１アーム１２ｃ、第２アーム１２ｅ、下段ハンド１１ａおよび上段ハンド１１ｂが、上面視において重なり互いに近接する位置関係となる場合がある。

かかる場合、前述したように、第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅの内部には、モータ、プーリ、ベルト等の駆動機構が搭載されているが、上段ハンド１１ｂの下面には、断熱板１１５が設けられているため、駆動機構をプレート１１１ｂの輻射熱から守ることができる。

また、断熱板１１５は、図６に示すように、プレート１１１ｂの下面との間に所定の間隙を空けて配置される。これにより、断熱板１１５がプレート１１１ｂと直接接触して断熱板１１５自体が高温となることを抑制することができる。したがって、断熱板１１５から発せられる輻射熱が下段ハンド１１ａ、第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅに対して悪影響を及ぼすことを抑制することができる。

なお、上段ハンド１１ｂの下面に設ける断熱部材は、断熱板１１５に限定するものではない。以下、図７を用いて、断熱板１１５以外の断熱部材を備えた搬送ロボット１０ａについて説明する。

図７は、第１の実施形態に係る断熱板１１５以外の断熱部材を備えた搬送ロボット１０ａの模式側面図である。なお、図７では、搬送路ロボット１０ａにおける第１アーム１２ｃの延伸方向中途部よりも先端側を選択的に図示しており、図６に示す構成要素と同一の構成要素に対して同一の符号を付している。

図７に示すように、搬送ロボット１０ａは、上段ハンド２１ｂが断熱部材として、プレート１１１ｂの下面にコーティングされた断熱性樹脂２１５を備える点を除き、図６に示す搬送ロボット１０と同一の構成である。ここで、断熱部材となる断熱性樹脂２１５としては、例えば、断熱性に優れたポリイミド樹脂を用いることができる。

このように、上段ハンド２１ｂのプレート１１１ｂの下面を断熱性樹脂２１５によりコーティングすることによっても、下段ハンド１１ａ、第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅを上段ハンド２１ｂのプレート１１１ｂが発する輻射熱から守ることができる。

また、上段ハンド２１ｂの下面に設ける断熱部材をプレート１１１ｂの下面にコーティングされた断熱性樹脂２１５とすることにより、プレート１１１ｂと同一形状の断熱部材を容易かつ低コストで形成することができる。

なお、これまで、下段に設けられるハンドが常温用であり、上段に設けられるハンドが高温用である場合について説明したが、下段側に高温用のハンドを設け、上段側に低温用のハンドを設けてもよい。以下、図８を用いて、下段側に高温用のハンドを設け、上段側に低温用のハンドを設けた搬送ロボット１０ｂについて説明する。

図８は、第１の実施形態に係る下段側に高温用のハンドを設け、上段側に低温用のハンドを設けた搬送ロボット１０ｂの模式側面図である。なお、図８では、搬送路ロボット１０ｂにおける第１アーム１２ｃの延伸方向中途部よりも先端側を選択的に図示しており、図６に示す構成要素と同一の構成要素に対して同一の符号を付している。

図８に示すように、搬送ロボット１０ｂは、下段側に高温用のハンド３１ａを備え、上段側に常温用のハンド３１ｂを備える点を除き、図６に示す搬送ロボット１０と同一の構成である。また、高温用のハンド３１ａは、図６に示す上段ハンド１１ｂと同一の構成であり、プレート３１１ａの下面に断熱板３１５ａを備える。

これにより、搬送ロボット１０ｂでは、高温のウェハＷを保持した高温用のハンド３１ａと第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅとが上下に重なって近接した場合に、断熱板３１５ａによってプレート３１１ａの輻射熱から第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅを守ることができる。

一方、上段に設けられる常温用のハンド３１ｂは、プレート３１１ｂの下面に断熱板３１５ｂを備える点が、図６に示す下段ハンド１１ａとは異なる。

これにより、搬送ロボット１０ｂでは、高温のウェハＷを保持した高温用のハンド３１ａと常温用のハンド３１ｂとが上下に重なって近接した場合に、断熱板３１５ｂによってウェハＷの輻射熱から常温用のハンド３１ｂを守ることができる。

また、搬送ロボット１０ｂでは、上段および下段の両方に、高温用のハンド３１ａを取り付けることもできる。かかる構成とすれば、２つの高温用のハンド３１ａのうち、いずれか一方、または双方で高温のウェハＷを保持した場合であっても、断熱板３１５ａによってプレート３１１ａの輻射熱から第１アーム１２ｃおよび第２アーム１２ｅを守ることができる。なお、ここでは、断熱部材が断熱板３１５ａ、３１５ｂである場合について説明したが、断熱部材は、図７に示す断熱性樹脂２１５であってもよい。

上述したように、第１の実施形態に係る搬送ロボットは、複数のワーク保持部と、断熱部材とを備える。複数のワーク保持部は、一方の面で搬送対象のワークを保持し、ワークの搬送中に上下に重なり合う場合がある。断熱部材は、複数のワーク保持部のうち、少なくとも一つのワーク保持部における他方の面側に設けられる。

したがって、第１の実施形態に係る搬送ロボットによれば、高温の基板を搬送中の保持部が発する輻射熱や、搬送中の高温になった基板が発する輻射熱が他の保持部へ与える悪影響を低減することができる。

なお、第１の実施形態では、搬送ロボットに設けられるワーク保持部が２個の場合について説明したが、搬送ロボットに設けられるワーク保持部は、３個以上であってもよい。かかる場合、少なくとも一つのワーク保持部のワーク保持面とは逆の面側に断熱部材を設ける。

これにより、高温用のワーク保持部に断熱部材が設けられる場合には、断熱部材とワークの保持面とが近接する他のワーク保持部を、高温用のワーク保持部の輻射熱から守ることができる。

一方、常温用のワーク保持部に断熱部材が設けられる場合には、断熱部材とワーク保持面とが近接する他のワーク保持部によって高温のワークが保持されても、高温のワークの輻射熱から常温用のワーク保持部を守ることができる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る搬送ロボット１０ｃについて説明する。図９および図１０は、第２の実施形態に係る搬送ロボット１０ｃの模式上面図である。図９に示すように、搬送ロボット１０ｃは、胴部５と、胴部５から延伸する左アーム部５ａおよび右アーム部５ｂとを備える。

胴部５は、床面等に固定される搬送ロボット１０ｃのベース部であり、Ｙ軸の負方向側（以下、「左側」と記載する）の頂面よりもＹ軸の正方向側（以下、「右側」と記載する）の頂面の方が、Ｚ軸方向の高さが高く形成される。

左アーム部５ａは、第１アーム５１ａと、第２アーム５２ａとを備える。第１アーム５１ａは、基端側が胴部５の左側頂面にＺ軸と平行な軸ｚ１を回転軸として回転可能に設けられる。

また、第２アーム５２ａは、基端側が第１アーム５１ａの先端側にＺ軸と平行な軸ｚ２を回転軸として回転可能に設けられる。また、第２アーム５２ａの先端側には、ワーク保持部（以下、「左ハンド」と記載する）５３ａがＺ軸と平行な軸ｚ３を回転軸として回転可能に設けられる。

一方、右アーム部５ｂは、第１アーム５１ｂと、第２アーム５２ｂとを備える。第１アーム５１ｂは、基端側が胴部５の右側頂面にＺ軸と平行な軸ｚ４を回転軸として回転可能に設けられる。

また、第２アーム５２ｂの先端側には、ワーク保持部（以下、「右ハンド」と記載する）５３ｂがＺ軸と平行な軸ｚ６を回転軸として回転可能に設けられる。また、第２アーム５２ｂは、基端側が第１アーム５１ｂの先端側にＺ軸と平行な軸ｚ５を回転軸として回転可能に設けられる。

かかる搬送ロボット１０ｃでは、左ハンド５３ａおよび右ハンド５３ｂがそれぞれ一方の面（ここでは、上面）でウェハＷを保持し、Ｚ軸方向の高さが異なる互いに平行な平面上でウェハＷの搬送を行なう。

このため、搬送ロボット１０ｃでは、図１０に示すように、左ハンド５３ａと右ハンド５３ｂとが上下に重なりあって近接する場合がある。ここでは、左アーム部５ａよりも右アーム部５ｂの方が、Ｚ軸方向の高さが高い位置に設けられるので、常温のウェハＷを搬送する左ハンド５３ａ上に、高温のウェハＷを保持した右ハンド５３ｂが位置する場合がある。

そこで、左ハンド５３ａによって常温のウェハＷを搬送し、右ハンド５３ｂによって高温のウェハＷを搬送する場合、左ハンド５３ａは、図６に示す下段ハンド１１ａと同一構成とし、右ハンド５３ｂは、図６に示す上段ハンド１１ｂと同一構成とする。

これにより、常温用の左ハンド５３ａ上に、高温のウェハＷを保持した右ハンド５３ｂが位置する場合であっても、右ハンド５３ｂは、下面側に断熱板を備えるので、右ハンド５３ｂの輻射熱から左ハンド５３ａを守ることができる。

一方、左ハンド５３ａによって高温のウェハＷを搬送し、右ハンド５３ｂによって常温のウェハＷを搬送する場合、左ハンド５３ａは、図８に示す下段ハンド３１ａと同一構成とし、右ハンド５３ｂは、図８に示す上段ハンド３１ｂと同一構成とする。

これにより、高温のウェハＷを保持した左ハンド５３ａ上に、常温用の右ハンド５３ｂが位置する場合であっても、右ハンド５３ｂは、下面側に断熱板を備えるので、高温のウェハＷの輻射熱から右ハンド５３ｂを守ることができる。

また、仮に、高温のウェハＷを保持中の左ハンド５３ａと第２アーム５２ａとが上下に重なり合っても、左ハンド５３ａは、下面側に断熱板を備えるので、左ハンド５３ａの輻射熱から第２アーム５２ａを守ることができる。

上述したように、第２の実施形態に係る搬送ロボットのワーク保持部は、同一の胴部から延伸する複数のアームの先端側にそれぞれ設けられ、上面でワークを保持して互いに並行な平面上で前記ワークの搬送を行う。

さらに、断熱部材は、常温のワークを搬送する常温用のワーク保持部上に、常温よりも高温のワークを搬送する高温用のワーク保持部が位置することがある場合、高温用のワーク保持部の下面側に設けられる。

したがって、第２の実施形態に係る搬送ロボットによれば、常温用のワーク保持部上に、常温よりも高温のワークを搬送する高温用のワーク保持部が位置した場合に、高温用のワーク保持部の輻射熱から常温用のワーク保持部を守ることができる。

また、第２の実施形態に係る搬送ロボットの断熱部材は、常温よりも高温のワークを搬送する高温用のワーク保持部上に、常温のワークを搬送する常温用のワーク保持部が位置することがある場合、常温用のワーク保持部および高温用のワーク保持部の下面側に設けられる。

したがって、第２の実施形態に係る搬送ロボットによれば、高温用のワーク保持部上に常温用の保持部が位置した場合に、高温のワークの輻射熱から常温のワーク保持部を守ることができる。さらに、常温用のワーク保持部とアームとが重なり合って近接する場合に、高温用のワーク保持部の輻射熱からアームを守ることができる。なお、上述した第２の実施形態では、搬送ロボットに設けられるアームが２本の場合について説明したが、搬送ロボットに設けられるアームの本数は、３本以上であってもよい。

また、第１の実施形態および第２の実施形態では、各ワーク保持部が上面側でワークを保持し、少なくともいずれか一つのワーク保持部の下面側に断熱部材が設けられる場合について説明したが、ワークの保持面と断熱部材の配設面とを逆にしてもよい。

つまり、各ワーク保持部が下面側でワークを保持し、少なくともいずれか一つのワーク保持部の上面側に断熱部材を設けるように搬送ロボットを構成してもよい。かかる構成とした場合であっても、第２実施形態に係る搬送ロボットと同様に、高温用のワーク保持部の輻射熱から常温用のワーク保持部を守ることができる。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細及び代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲及びその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１ 搬送システム
２ 基板搬送部
３ 基板供給部
４ 基板処理部
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ 搬送ロボット
１１ ハンド
１１ａ、３１ａ 下段ハンド
１１ｂ、２１ｂ、３１ｂ 上段ハンド
１１５、３１５ａ、３１５ｂ 断熱板
２１５ 断熱性樹脂
１２ アーム部
１２ａ 昇降部
１２ｂ 関節部
１２ｃ 第１アーム
１２ｄ 関節部
１２ｅ 第２アーム
１２ｆ 関節部
１３ 基台
２０ 筐体
２１、２２ 側面
２３ 基台設置フレーム
２４ フィルタユニット
２５ 脚具
２６ プリアライナ装置
３０ フープ
３１ テーブル
４０ 処理装置
５０ 制御装置
６０ 上位装置
１００ 設置面
１１１ａ、１１１ｂ、３１１ａ、３１１ｂ プレート
１１２、１１２ｂ 先端側支持部
１１３、１１３ｂ 基端側支持部
１１４ 押圧駆動部
１１４ａ 押圧部
１１４ｂ 突出部
５ 胴部
５ａ 左アーム部
５ｂ 右アーム部
５１ａ、５１ｂ 第１アーム
５２ａ、５２ｂ 第２アーム
５３ａ 左ハンド
５３ｂ 右ハンド

Claims (8)

1. 一方の面で搬送対象のワークを保持し、前記ワークの搬送中に上下に重なり合う場合がある複数のワーク保持部と、
   前記複数のワーク保持部のうち、少なくとも一つの前記ワーク保持部における他方の面側に設けられ、当該ワーク保持部とともに移動する断熱部材と
   を備え、
   前記複数のワーク保持部は、
   アームの先端側上面に設けられ、共通の軸を旋回軸として、それぞれ独立して旋回可能に構成されることを特徴とする搬送ロボット。
2. 前記断熱部材は、
   前記ワーク保持部における前記他方の面と同一の形状を有し、上面視した場合に当該ワーク保持部と重なるように設けられる断熱板である
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。
3. 前記断熱板は、
   前記ワーク保持部における前記他方の面との間に所定の間隙を空けて配置される
   ことを特徴とする請求項２に記載の搬送ロボット。
4. 前記断熱部材は、
   前記ワーク保持部における前記他方の面にコーティングされた断熱性樹脂である
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送ロボット。
5. 前記複数のワーク保持部は、
   アームの先端側に積層され、上面で前記ワークを保持して前記ワークの搬送を行い、
   前記断熱部材は、
   常温の前記ワークを搬送する常温用の前記ワーク保持部よりも前記アームから近い位置に、常温よりも高温の前記ワークを搬送する高温用の前記ワーク保持部が設けられる場合、前記常温用のワーク保持部および前記高温用のワーク保持部の下面側に、それぞれ設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の搬送ロボット。
6. 前記断熱部材は、
   常温の前記ワークを搬送する常温用の前記ワーク保持部よりも前記アームから離れた位置に、常温よりも高温の前記ワークを搬送する高温用の前記ワーク保持部が設けられる場合、前記高温用のワーク保持部の下面側に設けられる
   ことを特徴とする請求項５に記載の搬送ロボット。
7. 前記ワーク保持部は、
   同一の胴部から延伸する複数のアームの先端側にそれぞれ設けられ、上面で前記ワークを保持して互いに平行な平面上で前記ワークの搬送を行い、
   前記断熱部材は、
   常温よりも高温の前記ワークを搬送する高温用の前記ワーク保持部上に、常温の前記ワークを搬送する常温用の前記ワーク保持部が位置することがある場合、前記高温用のワーク保持部および前記常温用のワーク保持部の下面側に、それぞれ設けられる
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の搬送ロボット。
8. 前記断熱部材は、
   常温の前記ワークを搬送する常温用の前記ワーク保持部上に、常温よりも高温の前記ワークを搬送する高温用の前記ワーク保持部が位置することがある場合、前記高温用のワーク保持部の下面側に設けられる
   ことを特徴とする請求項７に記載の搬送ロボット。

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