JP5471870B2

JP5471870B2 - 配線基板

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Publication number: JP5471870B2
Application number: JP2010138127A
Authority: JP
Inventors: 誉裕大井; 義裕森田; 亜紀子松井; 哲郎山田; 光彦菅根; 考英向山
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2010-06-17
Filing date: 2010-06-17
Publication date: 2014-04-16
Anticipated expiration: 2030-06-17
Also published as: US20110308840A1; JP2012004351A; EP2400821A1; CN102291926A; TWI405507B; US8648260B2; TW201206262A

Description

本発明は、絶縁層上に差動配線が形成された配線基板に関する。

図１は、従来の配線基板の主要部を例示する平面透視図である。図２は、従来の配線基板の主要部を例示する断面図である。なお、図１において、図２に示す構成要素の一部は省略されている。又、図２は図１のＡ−Ａ断面を示している。

図１及び図２を参照するに、従来の配線基板１００において、リファレンス１７０と、絶縁層１１０ａと、配線１５０及び１６０と、絶縁層１１０ｂと、リファレンス１８０とが積層されている。

絶縁層１１０ａは、ガラス繊維束１２０ａ及び１３０ａと、絶縁樹脂１４０ａとを有する。ガラス繊維束１２０ａ及び１３０ａは、絶縁樹脂１４０ａを含浸している。絶縁層１１０ｂは、ガラス繊維束１２０ｂ及び１３０ｂと、絶縁樹脂１４０ｂとを有する。ガラス繊維束１２０ｂ及び１３０ｂは、絶縁樹脂１４０ｂを含浸している。

ガラス繊維束１２０ａはＸ軸と平行な方向に並設されており、ガラス繊維束１３０ａはＹ軸と平行な方向に並設されている。そして、ガラス繊維束１２０ａとガラス繊維束１３０ａとは、格子状に織られている。同様に、ガラス繊維束１２０ｂはＸ軸と平行な方向に並設されており、ガラス繊維束１３０ｂはＹ軸と平行な方向に並設されている。そして、ガラス繊維束１２０ｂとガラス繊維束１３０ｂとは、格子状に織られている。ガラス繊維束１２０ｂ及び１３０ｂは、ガラス繊維束１２０ａ及び１３０ａに対応する位置に設けられている。

配線１５０及び１６０は絶縁層１１０ａの一方の側に選択的に形成されており、リファレンス１７０は絶縁層１１０ａの他方の側の略全面に形成されている。リファレンス１８０は、絶縁層１１０ｂの配線１５０及び１６０とは反対側の面の略全面に形成されている。配線１５０及び１６０は所定の電気信号が流れる導体であり、リファレンス１７０及び１８０は配線１５０及び１６０を流れる所定の電気信号の帰路となる導体である。

配線１５０及び１６０は並走しており、差動伝送方式に対応した差動配線である。一般に、差動伝送方式は良好な高速伝送を実現できる。しかしながら、配線１５０はガラス繊維束１３０ａ上（ガラス繊維束１３０ｂ上）に配置されており、配線１６０は隣接するガラス繊維束１３０ａ間（隣接するガラス繊維束１３０ｂ間）に配置されている。

近年、ガラス繊維束のピッチに対して配線が細くなってきたため、このようにガラス繊維束上に配置される配線とガラス繊維束間に配置される配線とが混在する場合が多い。ガラス繊維束上とガラス繊維束間（絶縁樹脂上）ではガラス繊維密度の疎密の差異により比誘電率が異なるため、ガラス繊維束上に配置される配線とガラス繊維束間に配置される配線とが混在すると、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差が問題となる。特に、現在では高速伝送の周波数が３〜５ＧＨｚの領域に差し掛かり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差が問題となりつつある。

そこで、このような問題を解消するために、格子状に織られているガラス繊維束に対して配線をある一定の長さのところで角度を変えてジグザグに配置する技術や、配線基板の材料に低誘電材を使用し高周波信号を伝播させる技術等が用いられている。又、ジグザグに配線する技術と同じ効果を得るために、配線基板を傾斜させて積層を行う技術が用いられている。

特開２００９−７３９４６号公報

しかしながら、配線をジグザグに配置する技術の場合は、余計な配線が必要となり、製造コストが上昇するという問題がある。又、配線基板の材料に低誘電材を使用し高周波信号を伝播させる技術の場合には、低誘電材が高価であるため、製造コストが上昇するという問題がある。又、配線基板を傾斜させて積層を行う技術の場合には、傾斜角度が大きくなるに従い板取り効率が極端に悪くなり、製造コストが上昇するという問題がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、製造コストの上昇を抑え、配線に対するガラス繊維密度の疎密の影響を低減することが可能な配線基板を提供することを課題とする。

本配線基板の一形態は、一対の差動配線と、前記差動配線の進行方向に並設された第１の繊維束を含み、前記差動配線の一方の側に隣接する第１の絶縁層と、前記差動配線の進行方向に並設された、前記第１の繊維束と同一ピッチの第２の繊維束を含み、前記差動配線の他方の側に隣接する第２の絶縁層と、前記差動配線の進行方向に並設された第３の繊維束を含み、前記第１の絶縁層の前記差動配線の反対側に設けられた第３の絶縁層と、前記差動配線の進行方向に並設された第４の繊維束を含み、前記第２の絶縁層の前記差動配線の反対側に設けられた第４の絶縁層と、を有し、前記第３及び第４の繊維束の間隔は、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の間隔よりも狭く、前記差動配線は、隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、隣接する前記第２の繊維束間の前記第２の繊維束と平面視で重ならない位置に配置されていることを要件とする。

又、本配線基板の他の形態は、一対の差動配線と、前記差動配線の進行方向に並設された第１の繊維束、及び隣接する前記第１の繊維束間に前記第１の繊維束と同一方向に設けられた第３の繊維束を含み、前記差動配線の一方の側に隣接する第１の絶縁層と、前記差動配線の進行方向に並設された前記第１の繊維束と同一ピッチの第２の繊維束、及び隣接する前記第２の繊維束間に前記第２の繊維束と同一方向に設けられた第４の繊維束を含み、前記差動配線の他方の側に隣接する第２の絶縁層と、を有し、前記第３及び第４の繊維束の幅は、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の幅よりも狭く、前記差動配線は、隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、隣接する前記第２の繊維束間の前記第２の繊維束と平面視で重ならない位置に配置されていることを要件とする。

開示の技術によれば、製造コストの上昇を抑え、配線に対するガラス繊維密度の疎密の影響を低減することが可能な配線基板を提供することができる。

従来の配線基板の主要部を例示する平面透視図である。従来の配線基板の主要部を例示する断面図である。第１の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する平面透視図である。第１の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。絶縁層２１ａのガラス繊維束を例示する図である。第１の実施の形態の変形例１に係る配線基板の主要部を例示する平面透視図である。第１の実施の形態の変形例２に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。第１の実施の形態の変形例３に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。第２の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する平面透視図である。第２の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。多層の配線基板について説明するための図である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その１）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その２）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その３）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その４）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その５）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その６）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その７）である。図３及び図４に示した配線基板の製造方法について例示する図（その８）である。

以下、図面を参照して、実施の形態の説明を行う。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

〈第１の実施の形態〉
図３は、第１の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する平面透視図である。図４は、第１の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。なお、図３において、図４に示す構成要素の一部は省略されている。又、図４は図３のＢ−Ｂ断面を示している。図３及び図４を参照するに、配線基板１０において、絶縁層２１ａと、リファレンス１７と、絶縁層１１ａと、配線１５及び１６と、絶縁層１１ｂと、リファレンス１８と、絶縁層２１ｂとが積層されている。以下、配線基板１０の各構成要素について詳説する。

絶縁層１１ａは、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａと、絶縁樹脂１４ａとを有する。ガラス繊維束１２ａ及び１３ａは、絶縁樹脂１４ａを含浸している。絶縁樹脂１４ａの材料としては、例えばエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂等を用いることができる。絶縁樹脂１４ａは、シリカ、アルミナ等のフィラーを有していても構わない。

幅Ｗ_１であるガラス繊維束１２ａは、Ｘ軸と平行な方向に間隔Ｓ_１で並設されている。幅Ｗ_２であるガラス繊維束１３ａは、Ｙ軸と平行な方向に間隔Ｓ_２で並設されている。そして、ガラス繊維束１２ａとガラス繊維束１３ａとは、格子状に平織りされている。なお、ガラス繊維束が格子状に平織りされている部材をカラスクロスという場合がある。ガラス繊維束１２ａ及び１３ａは、それぞれ１本が例えば数μｍ程度のガラス繊維を複数本束ねて例えば数１００μｍ程度の幅にしたものである。ガラス繊維束１２ａ及び１３ａにより形成される空隙部１２ｘ（所謂バスケットホール）には、ガラス繊維は存在せず、絶縁樹脂１４ａが充填されている。

絶縁層１１ｂは、ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂと、絶縁樹脂１４ｂとを有する。ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂは、絶縁樹脂１４ｂを含浸している。絶縁樹脂１４ｂの材料等は、絶縁樹脂１４ａと同様であるため、その説明は省略する。

幅Ｗ_１であるガラス繊維束１２ｂは、Ｘ軸と平行な方向に間隔Ｓ_１で並設されている。幅Ｗ_２であるガラス繊維束１３ｂは、Ｙ軸と平行な方向に間隔Ｓ_２で並設されている。そして、ガラス繊維束１２ｂとガラス繊維束１３ｂとは、格子状に平織りされている。ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂの詳細については、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａと同様であるため、その説明は省略する。なお、幅Ｗ_１＝幅Ｗ_２、間隔Ｓ_１＝間隔Ｓ_２としても構わない。

ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂは、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａに対応する位置に設けられている。すなわち、ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂは、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａと平面視で重なる位置に設けられている。なお、平面視とは、対象物を、図３及び図４に示すＺ軸の＋方向から−方向（又は−方向から＋方向）に見ることを言う（以降、同様）。

なお、ガラス繊維束１２ａと１２ｂとは同一方向に同一ピッチで並設されていれば良く、それぞれの幅及び間隔は完全に一致していなくても構わない。同様に、ガラス繊維束１３ａと１３ｂとは同一方向に同一ピッチで並設されていれば良く、それぞれの幅及び間隔は完全に一致していなくても構わない。

又、ガラス繊維を複数本束ねたガラス繊維束１２ａ等の代替物として、炭素繊維、ポリエステル繊維、テトロン繊維、ナイロン繊維、アラミド繊維等を複数本束ねた繊維束を用いても構わない。又、ガラス繊維束１２ａ等（又は、その代替物である繊維束）の織り方は平織りには限定されず、朱子織り、綾織り等であっても構わない。

配線１５及び１６は絶縁層１１ａの一方の側に選択的に形成されており、リファレンス１７は絶縁層１１ａの他方の側の略全面に形成されている。リファレンス１８は、絶縁層１１ｂの配線１５及び１６とは反対側の略全面に形成されている。配線１５及び１６は所定の電気信号が流れる導体であり、リファレンス１７及び１８は配線１５及び１６を流れる所定の電気信号の帰路となる導体である。配線１５やリファレンス１７の材料は、導体であれば特に限定はされないが、例えばＣｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ等を用いることができる。

配線１５及び１６は、差動伝送方式に対応した差動配線であり、並走している。ここで、差動伝送方式とはＰＯＳ信号及びＮＥＧ信号（ＰＯＳ信号の反転した信号）を用いて信号を伝送する方式であり、特に高速伝送に使用される。ＰＯＳ信号は例えば配線１５を通り、ＮＥＧ信号は例えば配線１５と並走する配線１６を通る。配線１５と配線１６とに特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差がなければ、良好な高速伝送を実現できる。

配線１５及び１６は、隣接するガラス繊維束１２ａの間のガラス繊維束１２ａと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ａの間のガラス繊維束１３ａと平面視で重ならない位置に配置されている。又、配線１５及び１６は、隣接するガラス繊維束１２ｂの間のガラス繊維束１２ｂと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ｂの間のガラス繊維束１３ｂと平面視で重ならない位置に配置されている。配線１５及び１６の幅は、例えば１００〜２００μｍとすることができる。配線１５と配線１６とのピッチは、例えば１５０〜４００μｍとすることができる。

ガラス繊維束１２ａの幅Ｗ_１（ガラス繊維束１２ｂの幅Ｗ_１）、及びガラス繊維束１３ａの幅Ｗ_２（ガラス繊維束１３ｂの幅Ｗ_２）は、任意に設定して構わないが、配線１５及び１６の幅より狭くすると好適である。より具体的には、ガラス繊維束の幅は従来３００μm程度であったが、本実施の形態では幅Ｗ_１及びＷ_２を配線１５及び１６の幅より狭い例えば１００μｍ以下にすると好適である。

ガラス繊維束１２ａの間隔Ｓ_１（ガラス繊維束１２ｂの間隔Ｓ_１）、及びガラス繊維束１３ａの間隔Ｓ_２（ガラス繊維束１３ｂの間隔Ｓ_２）は、『配線１５の幅＋配線１６の幅＋配線１５と配線１６の間隔』よりも広く設定されている。間隔Ｓ_１及びＳ_２は、例えば５００μｍとすることができる。

このように、ガラス繊維束の間隔Ｓ_１及びＳ_２を『配線１５の幅＋配線１６の幅＋配線１５と配線１６の間隔』よりも大きく設定することにより、配線１５及び１６を隣接するガラス繊維束１２ａの間のガラス繊維束１２ａと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ａの間のガラス繊維束１３ａと平面視で重ならない位置に配置することができる。又、配線１５及び１６を隣接するガラス繊維束１２ｂの間のガラス繊維束１２ｂと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ｂの間のガラス繊維束１３ｂと平面視で重ならない位置に配置することができる。その結果、配線１５及び１６の多くの部分が比誘電率が小さくて伝送特性に優れた絶縁樹脂上を通り、ガラス繊維束を横切る部分が少なくなるため、従来の配線基板と比べてガラス繊維密度の疎密の差異の影響を低減することが可能となり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を低減し良好な高速伝送を実現することができる。

なお、配線をジグザグに配置したり、配線基板の材料に高価な低誘電材を使用したり、配線基板を傾斜させて積層を行ったりする従来の方法に比べて、製造コストの上昇を抑えることができる。

特に、ガラス繊維束の幅Ｗ_１及びＷ_２を配線１５及び１６の幅よりも狭くすることにより、配線１５及び１６の更に多くの部分が比誘電率が小さくて伝送特性に優れた絶縁樹脂上を通り、ガラス繊維束を横切る部分が更に少なくなるため、ガラス繊維密度の疎密の差異の影響を更に低減することが可能となり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を更に低減し良好な高速伝送を実現することができる。

なお、ガラス繊維束の間隔Ｓ_１及びＳ_２は『配線１５の幅＋配線１６の幅＋配線１５と配線１６の間隔』よりも広く設定すれば良いが、間隔Ｓ_１及びＳ_２が広すぎると絶縁樹脂が流れ出てしまい絶縁層の厚さが保てなくなるため、必要十分な広さとすべきである。

ところで、配線基板１０では従来の配線基板と比べてガラス繊維束の幅を狭くし間隔を広くしているため、従来の配線基板と比べて単位面積当たりのガラス繊維量が減少し絶縁樹脂量が増加している。そのため、強度不足や熱膨張率の増大が問題となる虞がある。本実施の形態では、このような問題を回避するため、配線基板１０に絶縁層２１ａ及び２１ｂを設けている。絶縁層２１ａ及び２１ｂの役割について以下に説明する。

図５は、絶縁層２１ａのガラス繊維束を例示する図である。図４及び図５を参照するに、絶縁層２１ａは、ガラス繊維束２２ａ及び２３ａと、絶縁樹脂２４ａとを有する。ガラス繊維束２２ａ及び２３ａは、絶縁樹脂２４ａを含浸している。絶縁樹脂２４ａの材料等は、絶縁樹脂１４ａと同様であるため、その説明は省略する。

ガラス繊維束１２ａと同じ幅Ｗ_１であるガラス繊維束２２ａは、Ｘ軸と平行な方向にガラス繊維束１２ａよりも狭い間隔Ｓ_３で並設されている。ガラス繊維束１３ａと同じ幅Ｗ_２であるガラス繊維束２３ａは、Ｙ軸と平行な方向にガラス繊維束１３ａよりも狭い間隔Ｓ_４で並設されている。そして、ガラス繊維束２２ａとガラス繊維束２３ａとは、格子状に平織りされている。ガラス繊維束２２ａ及び２３ａの詳細については、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａと同様であるため、その説明は省略する。

絶縁層２１ｂは、ガラス繊維束２２ｂ及び２３ｂと、絶縁樹脂２４ｂとを有する。ガラス繊維束２２ｂ及び２３ｂは、絶縁樹脂２４ｂを含浸している。絶縁樹脂２４ｂの材料等は、絶縁樹脂１４ａ等と同様であるため、その説明は省略する。

ガラス繊維束１２ｂと同じ幅Ｗ_１であるガラス繊維束２２ｂは、Ｘ軸と平行な方向にガラス繊維束１２ｂよりも狭い間隔Ｓ_３で並設されている。ガラス繊維束１３ｂと同じ幅Ｗ_２であるガラス繊維束２３ｂは、Ｙ軸と平行な方向にガラス繊維束１３ｂよりも狭い間隔Ｓ_４で並設されている。そして、ガラス繊維束２２ｂとガラス繊維束２３ｂとは、格子状に平織りされている。ガラス繊維束２２ｂ及び２３ｂの詳細については、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａと同様であるため、その説明は省略する。なお、幅Ｗ_１＝幅Ｗ_２、間隔Ｓ_３＝間隔Ｓ_４としても構わない。

このように、ガラス繊維束１２ａの幅Ｗ_１と同じ幅でガラス繊維束１２ａの間隔Ｓ_１よりも間隔の狭いガラス繊維束２２ａと、ガラス繊維束１３ａの幅Ｗ_２と同じ幅でガラス繊維束１３ａの間隔Ｓ_２よりも間隔の狭いガラス繊維束２３ａとを有する絶縁層２１ａを設ける。又、ガラス繊維束１２ｂの幅Ｗ_１と同じ幅でガラス繊維束１２ｂの間隔Ｓ_１よりも間隔の狭いガラス繊維束２２ｂと、ガラス繊維束１３ｂの幅Ｗ_２と同じ幅でガラス繊維束１３ｂの間隔Ｓ_２よりも間隔の狭いガラス繊維束２３ｂとを有する絶縁層２１ｂを設ける。その結果、絶縁層１１ａ及び１１ｂの空隙部（所謂バスケットホール）と平面視で重なる領域にガラス繊維束２２ａ、２３ａ、２２ｂ、及び２３ｂが配置されるため、ガラス繊維量の減少を補うことが可能となり、配線基板１０の強度不足や熱膨張率の増大を防止することができる。

以上のように、本実施の形態では、ガラス繊維束１２ａ及び１２ｂの幅Ｗ_１、並びにガラス繊維束１３ａ及び１３ｂの幅Ｗ_２を従来に比べて狭くし、かつ、ガラス繊維束１２ａ及び１２ｂの間隔Ｓ_１、並びにガラス繊維束１３ａ及び１３ｂの間隔Ｓ_２を従来に比べて広くしている。そして、配線１５及び１６を隣接するガラス繊維束１２ａの間のガラス繊維束１２ａと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ａの間のガラス繊維束１３ａと平面視で重ならない位置に配置している。又、配線１５及び１６を隣接するガラス繊維束１２ｂの間のガラス繊維束１２ｂと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ｂの間のガラス繊維束１３ｂと平面視で重ならない位置に配置している。これにより、配線１５及び１６の多くの部分は、比誘電率が小さくて伝送特性に優れた絶縁樹脂が充填された空隙部（所謂バスケットホール）上を通り、ガラス繊維束を横切る部分が少なくなる。その結果、配線基板１０は、従来の配線基板と比較して、ガラス繊維密度の疎密の差異の影響を低減することが可能となり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を低減し良好な高速伝送を実現することができる。

更に、本実施の形態では、絶縁層１１ａ及び１１ｂに隣接するように、絶縁層１１ａ及び１１ｂよりも多くのガラス繊維を有する絶縁層２１ａ及び２１ｂを設けている。その結果、絶縁層１１ａ及び１１ｂの空隙部（所謂バスケットホール）上に絶縁層２１ａ及び２１ｂのガラス繊維束が配置されるため、ガラス繊維量の減少を補うことが可能となり、配線基板１０の強度不足や熱膨張率の増大を防止することができる。

なお、本実施の形態に係る配線基板１０の伝搬遅延時間の差（配線１５の伝搬遅延時間と配線１６の伝搬遅延時間との差）を測定したところ、５ｐｓ／１００ｍｍであった。一方、従来の配線基板１００の伝搬遅延時間の差を測定したところ、７ｐｓ／１００ｍｍであった。このように、本実施の形態に係る配線基板１０では、従来の配線基板１００と比較して、伝搬遅延時間の差が約３０％改善することが確認された。

〈第１の実施の形態の変形例１〉
図６は、第１の実施の形態の変形例１に係る配線基板の主要部を例示する平面透視図である。なお、図６に示す配線基板３０は、ガラス繊維束１２ａ及び１２ｂがそれぞれガラス繊維束３２ａ及び３２ｂ（図示せず）に置換され、配線１５及び１６がそれぞれ配線３５及び３６に置換されたた点が図３及び図４に示す配線基板１０と異なる。以下、配線基板３０について、配線基板１０と異なる部分を中心に説明し、その他の部分の説明は省略する。

ガラス繊維束３２ａ及び３２ｂのそれぞれの幅Ｗ_１は、ガラス繊維束１２ａ及び１２ｂのそれぞれの幅と同一である。又、ガラス繊維束３２ａ及び３２ｂのそれぞれの間隔Ｓ_５は、ガラス繊維束１２ａ及び１２ｂのそれぞれの間隔Ｓ_１よりも狭い。なお、図示しないガラス繊維束３２ｂは、ガラス繊維束３２ａに対応する位置に設けられている。すなわち、ガラス繊維束３２ｂは、ガラス繊維束３２ａと平面視で重なる位置に設けられている。配線３５及び３６は、Ｙ方向のみに並走しており、隣接するガラス繊維束１３ａの間のガラス繊維束１３ａと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ｂの間のガラス繊維束１３ｂと平面視で重ならない位置に配置されている。

このように、差動配線である配線３５及び３６が一方向にのみ並走している場合には、一方向のみのガラス繊維束の間隔を『配線３５の幅＋配線３６の幅＋配線３５と配線３６の間隔』よりも広く設定することにより、配線３５及び３６を隣接する隣接するガラス繊維束１３ａの間のガラス繊維束１３ａと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束１３ｂの間のガラス繊維束１３ｂと平面視で重ならない位置に配置することができる。その結果、配線３５及び３６の多くの部分が比誘電率が小さくて伝送特性に優れた絶縁樹脂上を通り、ガラス繊維束を横切る部分が少なくなるため、従来の配線基板と比べてガラス繊維密度の疎密の差異の影響を低減することが可能となり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を低減し良好な高速伝送を実現することができる。

但し、配線３５及び３６がガラス繊維束を横切る部分は、図３に示す配線基板１０よりも多くなるため、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差をより低減したい場合には、第１の実施の形態の方が好ましい。

〈第１の実施の形態の変形例２〉
図７は、第１の実施の形態の変形例２に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。なお、図７に示す配線基板４０は、ガラス繊維束２２ａ、２３ａ、２２ｂ、及び２３ｂがそれぞれガラス繊維束４２ａ、４３ａ、４２ｂ、及び４３ｂに置換された点が図３及び図４に示す配線基板１０と異なる。以下、配線基板４０について、配線基板１０と異なる部分を中心に説明し、その他の部分の説明は省略する。

ガラス繊維束４２ａ及び４３ａのそれぞれの幅は、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａのそれぞれの幅Ｗ_１及びＷ_２よりも狭い。又、ガラス繊維束４２ｂ及び４３ｂのそれぞれの幅は、ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂのそれぞれの幅Ｗ_１及びＷ_２よりも狭い。

このように、ガラス繊維束４２ａ、４３ａ、４２ｂ、及び４３ｂの幅を狭くすることにより、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を第１の実施の形態に比べて、更に低減できる場合がある。すなわち、ガラス繊維束４２ａ、４３ａ、４２ｂ、及び４３ｂは、ガラス繊維束１２ａ、１３ａ、１２ｂ、及び１３ｃと比較して、配線１５及び１６との距離が離れているため、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差への影響は比較的小さい。しかしながら、絶縁層１１ａや１１ｂが比較的薄い場合には、ガラス繊維束４２ａ、４３ａ、４２ｂ、及び４３ｂが特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差に影響を及ぼす場合がある。このような場合は、ガラス繊維束４２ａ、４３ａ、４２ｂ、及び４３ｂの幅をより狭くすることにより、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を第１の実施の形態に比べて、更に低減することできる。

なお、ガラス繊維束４２ａ、４３ａ、４２ｂ、及び４３ｂの幅をより狭くしても、絶縁層１１ａ及び１１ｂの空隙部（所謂バスケットホール）上にガラス繊維束が配置されるため、ガラス繊維量の減少を補うことが可能となり、配線基板４０の強度不足や熱膨張率の増大を防止することができる。

〈第１の実施の形態の変形例３〉
図８は、第１の実施の形態の変形例３に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。なお、図８に示す配線基板５０は、ガラス繊維束２２ａ、２３ａ、２２ｂ、及び２３ｂがそれぞれガラス繊維束５２ａ、５３ａ、５２ｂ、及び５３ｂに置換された点が図３及び図４に示す配線基板１０と異なる。以下、配線基板５０について、配線基板１０と異なる部分を中心に説明し、その他の部分の説明は省略する。

ガラス繊維束５２ａ及び５３ａのそれぞれの幅は、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａのそれぞれの幅Ｗ_１及びＷ_２よりも広い。又、ガラス繊維束５２ｂ及び５３ｂのそれぞれの幅は、ガラス繊維束１２ｂ及び１３ｂのそれぞれの幅Ｗ_１及びＷ_２よりも広い。

例えば、絶縁層１１ａや１１ｂが比較的厚い場合には、ガラス繊維束５２ａ、５３ａ、５２ｂ、及び５３ｂが特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差に影響を及ぼす虞が少ない。このような場合は、図８に示すように、ガラス繊維束５２ａ、５３ａ、５２ｂ、及び５３ｂの幅が比較的太くても構わない。ガラス繊維束５２ａ、５３ａ、５２ｂ、及び５３ｂの幅を太くすることは、配線基板５０の強度不足や熱膨張率の増大を防止するのにより効果的である。

〈第２の実施の形態〉
図９は、第２の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する平面透視図である。図１０は、第２の実施の形態に係る配線基板の主要部を例示する断面図である。なお、図９において、図１０に示す構成要素の一部は省略されている。又、図１０は図９のＣ−Ｃ断面を示している。図９及び図１０を参照するに、配線基板６０において、リファレンス６７と、絶縁層６１ａと、配線６５及び６６と、絶縁層６１ｂと、リファレンス６８とが積層されている。以下、配線基板６０の各構成要素について詳説する。

絶縁層６１ａは、ガラス繊維束６２ａ、６３ａ、及び６３ｂと、絶縁樹脂６４ａとを有する。ガラス繊維束６２ａ、６３ａ、及び６３ｂは、絶縁樹脂６４ａを含浸している。絶縁樹脂６４ａの材料は、絶縁樹脂１４ａと同様であるため、その説明は省略する。

幅Ｗ_３であるガラス繊維束６２ａは、Ｘ軸と平行な方向に間隔Ｓ_６で並設されている。幅Ｗ_４であるガラス繊維束６３ａは、Ｙ軸と平行な方向に間隔Ｓ_７で並設されている。隣接するガラス繊維束６３ａ間には、幅Ｗ_５であるガラス繊維束６３ｂがＹ軸と平行な方向に間隔Ｓ_８で並設されている。そして、ガラス繊維束６２ａとガラス繊維束６３ａ及び６３ｂとは、格子状に平織りされている。ガラス繊維束６２ａ、６３ａ、及び６３ｂは、それぞれ１本が例えば数μｍ程度のガラス繊維を複数本束ねたものである。ガラス繊維束６２ａとガラス繊維束６３ａ又は６３ｂとにより形成される空隙部６２ｘ（所謂バスケットホール）には、ガラス繊維は存在せず、絶縁樹脂６４ａが充填されている。なお、幅Ｗ_４＞幅Ｗ_５、間隔Ｓ_７＞間隔Ｓ_８である。

絶縁層６１ｂは、ガラス繊維束６２ｂ、６３ｃ、及び６３ｄと、絶縁樹脂６４ｂとを有する。ガラス繊維束６２ｂ、６３ｃ、及び６３ｄは、絶縁樹脂６４ｂを含浸している。絶縁樹脂６４ｂの材料は、絶縁樹脂１４ａと同様であるため、その説明は省略する。

幅Ｗ_３であるガラス繊維束６２ｂは、Ｘ軸と平行な方向に間隔Ｓ_６で並設されている。幅Ｗ_４であるガラス繊維束６３ｃは、Ｙ軸と平行な方向に間隔Ｓ_７で並設されている。隣接するガラス繊維束６３ｃ間には、幅Ｗ_５であるガラス繊維束６３ｄがＹ軸と平行な方向に間隔Ｓ_８で並設されている。そして、ガラス繊維束６２ｂとガラス繊維束６３ｃ及び６３ｄとは、格子状に平織りされている。ガラス繊維束６２ｂ、６３ｃ、及び６３ｄの詳細については、ガラス繊維束６２ａ、６３ａ、及び６３ｂと同様であるため、その説明は省略する。なお、幅Ｗ_３＝幅Ｗ_４、間隔Ｓ_６＝間隔Ｓ_７としても構わない。

ガラス繊維束６２ｂ、６３ｃ、及び６３ｄは、ガラス繊維束６２ａ、６３ａ、及び６３ｂに対応する位置に設けられている。すなわち、ガラス繊維束６２ｂ、６３ｃ、及び６３ｄは、ガラス繊維束６２ａ、６３ａ、及び６３ｂと平面視で重なる位置に設けられている。

配線６５及び６６は絶縁層６１ａの一方の側に選択的に形成されており、リファレンス６７は絶縁層６１ａの他方の側の略全面に形成されている。リファレンス６８は、絶縁層６１ｂの配線６５及び６６とは反対側の略全面に形成されている。配線６５及び６６は所定の電気信号が流れる導体であり、リファレンス６７及び６８は配線６５及び６６を流れる所定の電気信号の帰路となる導体である。配線６５及び６６は、差動信号に対応している。配線６５等の材料は、配線１５等と同様であるため、その説明は省略する。

ガラス繊維束６２ａの幅Ｗ_３（ガラス繊維束６２ｂの幅Ｗ_３）、及びガラス繊維束６３ａの幅Ｗ_４（ガラス繊維束６３ｂの幅Ｗ_４）は、任意に設定して構わないが、配線６５及び６６の幅より狭くすると好適である。より具体的には、ガラス繊維束の幅は従来３００μm程度であったが、本実施の形態では幅Ｗ_３及びＷ_４を配線６５及び６６の幅より狭い例えば１００μｍ以下にすると好適である。

ガラス繊維束６３ａの間隔Ｓ_７（ガラス繊維束６３ｃの間隔Ｓ_７）は、『配線６５の幅＋配線６６の幅＋配線６５と配線６６の間隔』よりも広く設定されている。間隔Ｓ_７は、例えば８００μｍとすることができる。

ガラス繊維束６３ｂの幅Ｗ_５（ガラス繊維束６３ｄの幅Ｗ_５）は、配線６５及び６６の幅より狭くされている。幅Ｗ_５は、例えば１００μｍ以下にすることができる。ガラス繊維束６３ｂの間隔Ｓ_８（ガラス繊維束６３ｄの間隔Ｓ_８）は、例えば、ガラス繊維束６３ａの間隔Ｓ_７（ガラス繊維束６３ｃの間隔Ｓ_７）を均等に分割するような値とすることができる。但し、ガラス繊維束６３ｂ及び６３ｄの本数は３本には限定されず、任意の本数として構わない。

このように、ガラス繊維束の間隔Ｓ_７を『配線６５の幅＋配線６６の幅＋配線６５と配線６６の間隔』よりも広く設定することにより、配線６５及び６６を隣接するガラス繊維束６３ａの間のガラス繊維束６３ａと平面視で重ならない位置、かつ、隣接するガラス繊維束６３ｃの間のガラス繊維束６３ｃと平面視で重ならない位置に配置することができる。これにより、配線６５及び６６の多くの部分は、比誘電率が小さくて伝送特性に優れた絶縁樹脂が充填された空隙部（所謂バスケットホール）上を通り、ガラス繊維束を横切る部分が少なくなる。その結果、配線基板６０は、従来の配線基板と比較して、ガラス繊維密度の疎密の差異の影響を低減することが可能となり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を低減し良好な高速伝送を実現することができる。

特に、ガラス繊維束の幅Ｗ_３を配線６５及び６６の幅より狭くすることにより、配線６５及び６６の更に多くの部分が比誘電率が小さくて伝送特性に優れた絶縁樹脂上を通り、ガラス繊維束を横切る部分が更に少なくなるため、ガラス繊維密度の疎密の差異の影響を更に低減することが可能となり、特性インピーダンスの不整合や伝搬遅延時間の差を更に低減し良好な高速伝送を実現することができる。

又、隣接するガラス繊維束６３ａの間にガラス繊維束６３ａよりも幅の狭いガラス繊維束６３ｂを設け、かつ、隣接するガラス繊維束６３ｃの間にガラス繊維束６３ｃよりも幅の狭いガラス繊維束６３ｄを設けている。その結果、ガラス繊維量の減少を補うことが可能となり、配線基板６０の強度不足や熱膨張率の増大を防止することができる。なお、ガラス繊維束６３ｂ及び６３ｄの幅Ｗ_５は、配線６５及び６６の幅よりも狭く設定されているため、高速伝送に与える影響は少ない。

なお、図１１に示す配線基板７０のように、多数の配線層７１_１〜７１_ｎが、格子状に織られたガラス繊維束（図示せず）を有する絶縁層７２_１〜７２_ｎ−１を介して積層されている場合には、全配線層及び全絶縁層に第１の実施の形態や第２の実施の形態に係る構造を適用する必要はない。例えば、配線層７１_３が差動配線を有する配線層であれば、配線層７１_３及び絶縁層７２_１〜７２_４のみに図４に示す構造を適用すれば良い。他の絶縁層の有するガラス繊維束の幅や間隔は、配線層７１_３の差動配線の高速伝送に影響しないため、配線基板７０の強度不足や熱膨張率の増大を防止できるように適宜設定すればよい。

又、配線層７１_３が差動配線を有する配線層であれば、配線層７１_３及び絶縁層７２_２〜７２_３のみに図１０に示す構造を適用すれば良い。他の絶縁層の有するガラス繊維束の幅や間隔は、配線層７１_３の差動配線の高速伝送に影響しないため、配線基板７０の強度不足や熱膨張率の増大を防止できるように適宜設定すればよい。

〈配線基板の製造方法〉
続いて、図１２〜図１９を参照しながら、図３及び図４に示した配線基板１０の製造方法について説明する。ここでは、リファレンス１７、絶縁層１１ａ、配線１５及び１６、及び絶縁層１１ｂを積層形成する部分についてのみ説明する。他の部分は、同様の方法で製造することが可能である。

始めに図１２及び図１３に示すように、絶縁層１１ａの両面に配線層であるベタ銅箔１７及び８１を形成したコア層８２を準備し、コア層８２に基準穴８２ｘを形成する。基準穴８２ｘは、例えば対角方向に、例えば２個形成する。ここで、図１２は平面透視図であり、図１３は図１２のＣ−Ｃ断面を示している。なお、図１２において、図１３に示す構成要素の一部は省略されている。なお、ベタ銅箔１７はリファレンス１７と同じものを示している。

具体的には、例えばコア層８２にＸ線を照射してガラス繊維束１２ａ及び１３ａの位置を認識し、原点位置Ｒを決定する。原点位置Ｒは任意の位置として構わないが、ここでは、ガラス繊維束１２ａとガラス繊維束１３ａが形成する空隙部１２ｘの一つの頂点を原点位置Ｒとしている。次に、決定した原点位置Ｒを基準として所定の位置にコア層８２を貫通する基準穴８２ｘを形成する。ここで、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａの幅や間隔に関する情報は、設計情報として予め認識されているので、基準穴８２ｘを基準としたガラス繊維束１２ａ及び１３ａの存在する領域の座標を算出することができる。

次いで、差動配線である配線１５及び１６を形成する。具体的には、図１４に示すように、配線層であるベタ銅箔８１上にレジスト層８３を形成する。そして、図１５に示すように、レジスト層８３上にマスク８４を配置する。マスク８４には、例えばコア層８２の基準穴８２ｘに対応する位置決め穴８４ｘ（基準マーク）と、配線１５及び１６に対応する開口部１５ｘ及び１６ｘが予め形成されている。前述のように、基準穴８２ｘを基準としたガラス繊維束１２ａ及び１３ａが存在する座標が算出されているため、基準穴８２ｘと位置決め穴８４ｘとの位置を合わせたときに、開口部１５ｘ及び１６ｘが隣接するガラス繊維束１２ａ間又は隣接するガラス繊維束１３ａ間に配置されるようにマスク８４を作製することができる。

次いで、マスク８４を介してレジスト層８３を露光及び現像し、図１６に示すように、ベタ箔８１上の配線１５及び１６の形成位置に対応する部分のみのレジスト層８３を残し、その他の部分のレジスト層８３を除去する。そして、図１７に示すように、レジスト層８３をマスクとしてベタ箔８１をエッチングした後、レジスト層８３を除去し、配線１５及び１６を形成する。

次いで、絶縁層１１ｂを準備し、図１２及び図１３に示したコア層８２の基準穴８２ｘと同じ位置に、基準穴１１ｘ（２カ所）を形成する。すなわち、基準穴１１ｘの位置は、基準穴１１ｘと基準穴８２ｘとを位置合わせしたときに、ガラス繊維束１２ａ及び１２ｂの中心位置が一致し、かつ、ガラス繊維束１３ａ及び１３ｂの中心位置が一致する位置に形成される。そして、ピンラミネーションによりコア層８２及び絶縁層１１ｂを位置合わせする。具体的には、図１８に示すように、位置決めピン８８を有する載置部８９を用いてコア層８２及び絶縁層１１ｂを位置決めし、コア層８２上に絶縁層１１ｂを固着する。なお、載置部８９には、図１２及び図１３に示した絶縁層１１ａの２つの基準穴８２ｘに対応する位置、及び絶縁層１１ｂの２つの基準穴１１ｘに対応する位置に２本の位置決めピン８８が設けられている。その後、コア層８２及び絶縁層１１ｂを位置決めピン８８を有する載置部８９から取り外すことにより、図１９に示すコア層８２上に絶縁層１１ｂが固着された積層体が形成される。

このように、絶縁層にＸ線等を照射してガラス繊維束の位置を認識して原点位置Ｒを決定し、決定した原点位置Ｒを基準として所定の位置に絶縁層を貫通する基準穴を形成する。基準穴を基準としたガラス繊維束の位置を認識できるので、隣接するガラス繊維束の間に配置されるように差動配線を形成する。そして、他の絶縁層に対しても同様の方法で基準穴を形成する。そして、差動配線が形成された絶縁層上にピンラミネーションにより位置合わせを行い他の絶縁層を積層する。その結果、差動配線を、差動配線が形成された絶縁層の隣接するガラス繊維束の間のガラス繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、他の絶縁層の隣接するガラス繊維束の間のガラス繊維束と平面視で重ならない位置に配置することができる。

なお、コア層８２上に絶縁層１１ｂが固着された積層体に、更に絶縁層２１ａを積層する際に、ガラス繊維束１２ａ及び１３ａとガラス繊維束２２ａ及び２３ａとの位置関係は、さほど重要とはならない。ガラス繊維束２２ａ及び２３ａは、空隙部１２ｘを補強するためのものであり、空隙部１２ｘ上に存在していればその役割を果たすからである。絶縁層２１ｂを積層する際も同様である。

第１の実施の形態の変形例１に係る配線基板３０、第１の実施の形態の変形例２に係る配線基板４０、第１の実施の形態の変形例３に係る配線基板５０、及び第２の実施の形態に係る配線基板６０も配線基板１０と同様の方法で製造することができる。

以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。

例えば、第２の実施の形態において、隣接するガラス繊維束６２ａ間や隣接するガラス繊維束６２ｂ間に、ガラス繊維束６２ａや６２ｂより幅の狭いガラス繊維束をＹ軸と平行な方向に設けても構わない。

以上の第１の実施の形態及びその変形例、並びに第２の実施の形態を含む実施の形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
一対の差動配線と、
前記差動配線の進行方向に並設された第１の繊維束を含み、前記差動配線の一方の側に隣接する第１の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された、前記第１の繊維束と同一ピッチの第２の繊維束を含み、前記差動配線の他方の側に隣接する第２の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された第３の繊維束を含み、前記第１の絶縁層の前記差動配線の反対側に設けられた第３の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された第４の繊維束を含み、前記第２の絶縁層の前記差動配線の反対側に設けられた第４の絶縁層と、を有し、
前記第３及び第４の繊維束の間隔は、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の間隔よりも狭く、
前記差動配線は、隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、隣接する前記第２の繊維束間の前記第２の繊維束と平面視で重ならない位置に配置されている配線基板。
（付記２）
一対の差動配線と、
前記差動配線の進行方向に並設された第１の繊維束、及び隣接する前記第１の繊維束間に前記第１の繊維束と同一方向に設けられた第３の繊維束を含み、前記差動配線の一方の側に隣接する第１の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された前記第１の繊維束と同一ピッチの第２の繊維束、及び隣接する前記第２の繊維束間に前記第２の繊維束と同一方向に設けられた第４の繊維束を含み、前記差動配線の他方の側に隣接する第２の絶縁層と、を有し、
前記第３及び第４の繊維束の幅は、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の幅よりも狭く、
前記差動配線は、隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、隣接する前記第２の繊維束間の前記第２の繊維束と平面視で重ならない位置に配置されている配線基板。
（付記３）
前記差動配線の各配線幅は、前記第１及び第２の繊維束の幅よりも広い付記１又は２記載の配線基板。
（付記４）
前記第３及び第４の繊維束の幅は、前記差動配線の各配線幅よりも狭い付記１乃至３の何れ一に記載の配線基板。
（付記５）
前記第１の絶縁層は、前記第１の繊維束と直交する第５の繊維束を含み、
前記第２の絶縁層は、前記第２の繊維束と直交する第６の繊維束を含み、
前記第５及び第６の繊維束のピッチは、それぞれ前記第１及び第２の繊維束のピッチよりも狭い付記１乃至４の何れ一に記載の配線基板。
（付記６）
並設された第１の繊維束を含む第１の絶縁層における前記第１の繊維束の幅及び間隔、並びに、前記第１の繊維束と同一方向に同一ピッチで並設された第２の繊維束を含む第２の絶縁層における前記第２の繊維束の幅及び間隔に関する情報を入手する第１工程と、
前記第１及び第２の絶縁層にそれぞれ形成する第１及び第２の基準穴の位置を決定し、前記情報に基づいて前記第１及び第２の基準穴を基準とした前記第１及び第２の繊維束の存在する領域の座標を算出する第２工程と、
前記第１の絶縁層上に配線層を積層し、前記第１の絶縁層及び前記配線層並びに前記第２の絶縁層の前記第２工程で決定した位置に、それぞれ前記第１及び第２の基準穴を形成する第３工程と、
前記第２工程で算出した座標に基づいて前記配線層の一部を除去し、前記第１の絶縁層上の隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置に差動配線を形成する第４工程と、
前記第１の基準穴と前記第２の基準穴とを位置合わせし、前記第１の絶縁層上に前記差動配線を覆うように前記第２の絶縁層を積層する第５工程と、
それぞれ前記第１及び第２の繊維束と同一方向に並設され、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の間隔よりも狭い第３及び第４の繊維束を含む第３及び第４の絶縁層を、それぞれ前記第１及び第２の絶縁層の両側に積層する第６工程と、を有し、
前記第２工程において、前記第１及び第２の基準穴の位置は、前記第１及び第２の基準穴を位置合わせしたときに、前記第１の繊維束と前記第２の繊維束の中心位置が一致する位置に決定される配線基板の製造方法。
（付記７）
並設された第１の繊維束及び隣接する前記第１の繊維束間に前記第１の繊維束と同一方向に設けられた第３の繊維束を含む第１の絶縁層における前記第１の繊維束の幅及び間隔、並びに、前記第１の繊維束と同一ピッチで並設された第２の繊維束及び隣接する前記第２の繊維束間に前記第２の繊維束と同一方向に設けられた第４の繊維束を含む第２の絶縁層における前記第２の繊維束の幅及び間隔に関する情報を入手する第１工程と、
前記第１及び第２の絶縁層にそれぞれ形成する第１及び第２の基準穴の位置を決定し、前記情報に基づいて前記第１及び第２の基準穴を基準とした前記第１及び第２の繊維束の存在する領域の座標を算出する第２工程と、
前記第１の絶縁層上に配線層を積層し、前記第１の絶縁層及び前記配線層並びに前記第２の絶縁層の前記第２工程で決定した位置に、それぞれ前記第１及び第２の基準穴を形成する第３工程と、
前記第２工程で算出した座標に基づいて前記配線層の一部を除去し、前記第１の絶縁層上の隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置に差動配線を形成する第４工程と、
前記第１の基準穴と前記第２の基準穴とを位置合わせし、前記第１の絶縁層上に前記差動配線を覆うように前記第２の絶縁層を積層する第５工程と、を有し、
前記第２工程において、前記第１及び第２の基準穴の位置は、前記第１及び第２の基準穴を位置合わせしたときに、前記第１の繊維束と前記第２の繊維束の中心位置が一致する位置に決定される配線基板の製造方法。
（付記８）
前記第４工程において、前記差動配線の各配線幅は、前記第１及び第２の繊維束の幅よりも広く形成する付記６又は７記載の配線基板の製造方法。
（付記９）
前記第３及び第４の繊維束の幅は、前記差動配線の各配線幅よりも狭い付記６乃至８の何れ一に記載の配線基板の製造方法。
（付記１０）
前記第１の絶縁層は、前記第１の繊維束と直交する第５の繊維束を含み、
前記第２の絶縁層は、前記第２の繊維束と直交する第６の繊維束を含み、
前記第５及び第６の繊維束のピッチは、それぞれ前記第１及び第２の繊維束のピッチよりも狭い付記６乃至９の何れ一に記載の配線基板の製造方法。
（付記１１）
前記第４工程は、前記第２工程で算出した座標に基づいて、前記第１の基準穴の位置に対応する基準マーク、及び前記第１の基準穴と前記基準マークとを位置合わせすると、前記第１の絶縁層上の隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置に配置される前記差動配線に対応する開口部が形成されたマスクを作製する工程と、
前記配線層上にレジスト層を形成する工程と、
前記第１の基準穴と前記基準マークとを位置合わせし、前記配線層上に前記レジスト層を介して前記マスクを配置する工程と、
前記マスクを介して前記レジスト層を露光及び現像し、前記差動配線の形成位置に対応する部分のみの前記レジスト層を残し、その他の部分の前記レジスト層を除去する工程と、
残した前記レジスト層をマスクとして前記配線層をエッチングした後、前記レジスト層を除去し前記差動配線を形成する工程と、を含む付記６乃至１０の何れ一に記載の配線基板の製造方法。

１０、３０、４０、５０、６０、７０配線基板
１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、６１ａ、６１ｂ、７２_１〜７２_ｎ−１絶縁層
１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、３２ａ、３２ｂ、４２ａ、４３ａ、４２ｂ、４３ｂ、５２ａ、５３ａ、５２ｂ、５３ｂ、６２ａ、６３ａ、６３ｂ、６２ｂ、６３ｃ、６３ｄガラス繊維束
１２ｘ空隙部
１４ａ、１４ｂ、２４ａ、２４ｂ、６４ａ、６４ｂ絶縁樹脂
１５、１６、３５、３６、６５、６６配線
１７、１８、６７、６８リファレンス
７１_１〜７１_ｎ配線層
８１ベタ銅箔
８２コア層
１１ｘ、８２ｘ基準穴
８３レジスト層
８４マスク
８８位置決めピン
８９載置部
Ｓ_１〜Ｓ_８間隔
Ｗ_１〜Ｗ_５幅

Claims

一対の差動配線と、
前記差動配線の進行方向に並設された第１の繊維束を含み、前記差動配線の一方の側に隣接する第１の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された、前記第１の繊維束と同一ピッチの第２の繊維束を含み、前記差動配線の他方の側に隣接する第２の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された第３の繊維束を含み、前記第１の絶縁層の前記差動配線の反対側に設けられた第３の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された第４の繊維束を含み、前記第２の絶縁層の前記差動配線の反対側に設けられた第４の絶縁層と、を有し、
前記第３及び第４の繊維束の間隔は、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の間隔よりも狭く、
前記差動配線は、隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、隣接する前記第２の繊維束間の前記第２の繊維束と平面視で重ならない位置に配置されている配線基板。
一対の差動配線と、
前記差動配線の進行方向に並設された第１の繊維束、及び隣接する前記第１の繊維束間に前記第１の繊維束と同一方向に設けられた第３の繊維束を含み、前記差動配線の一方の側に隣接する第１の絶縁層と、
前記差動配線の進行方向に並設された前記第１の繊維束と同一ピッチの第２の繊維束、及び隣接する前記第２の繊維束間に前記第２の繊維束と同一方向に設けられた第４の繊維束を含み、前記差動配線の他方の側に隣接する第２の絶縁層と、を有し、
前記第３及び第４の繊維束の幅は、それぞれ前記第１及び第２の繊維束の幅よりも狭く、
前記差動配線は、隣接する前記第１の繊維束間の前記第１の繊維束と平面視で重ならない位置、かつ、隣接する前記第２の繊維束間の前記第２の繊維束と平面視で重ならない位置に配置されている配線基板。
前記差動配線の各配線幅は、前記第１及び第２の繊維束の幅よりも広い請求項１又は２記載の配線基板。
前記第３及び第４の繊維束の幅は、前記差動配線の各配線幅よりも狭い請求項１乃至３の何れ一項記載の配線基板。
前記第１の絶縁層は、前記第１の繊維束と直交する第５の繊維束を含み、
前記第２の絶縁層は、前記第２の繊維束と直交する第６の繊維束を含み、
前記第５及び第６の繊維束のピッチは、それぞれ前記第１及び第２の繊維束のピッチよりも狭い請求項１乃至４の何れ一項記載の配線基板。