JP5247093B2 - アゾ化合物、硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(1)染料は、一般に顔料に比べて、耐光性、耐熱性に劣る。
(2)通常の色素は、アルカリ水溶液又は有機溶剤(以下単に溶剤ともいう)に対する溶解度が低いため、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
(3)染料は、硬化性組成物中の他の成分との相互作用を示すことが多く、硬化部、非硬化部の溶解性(現像性)の調節が難しい。
(4)染料のモル吸光係数(ε)が低い場合には多量の染料を添加しなければならず、そのために硬化性組成物中の重合性化合物(モノマー)やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得ず、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、硬化部又は非硬化部の現像性等が低下する等の問題を生じる。
かかる問題点を解決するために、従来から多くのアゾ染料が広く検討されている(例えば、特許文献2〜10参照)。
更に、カラーフィルタの製造工程においては、通常、マスク等を介して露光・現像工程を経てパターンが形成される。かかる露光・現像工程においては、露光により硬化したパターン部分から現像液中への染料の溶出が問題となっていた。すなわち、分子量が小さい染料では、現像液中へ溶出しやすいため形成されたパターン部の濃度低下を来たす問題点があった。一方、分子量が大きい染料では薄膜化には不利であり、現像適性と薄膜化とを両立することが可能な染料が望まれていた。
更に、該硬化性組成物を用いた、堅牢性に優れると共に薄層化が可能なカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
前記の課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 下記一般式(I)、一般式(II)、又は一般式(III)で表されるアゾ化合物。
<3> 一般式(I)、一般式(II)、及び一般式(III)におけるR 1 及びR 2 が各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基であって、Z 1 及びZ 2 が各々独立に、−C(R 3 )=であって、R 3 が、水素原子、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基であり、一般式(A)におけるZ 3 が−N=であって、Z 4 が−C(R 7 )=、又は−N=であって、R 7 が、水素原子、シアノ基、アルコキシカルボニル基、又はカルバモイル基で表されることを特徴とする前記<2>に記載のアゾ化合物。
<9> 前記<4>〜<7>のいずれか1項に記載の硬化性組成物を支持体上に塗布する工程と、マスクを介して露光、現像してパターンを形成する工程と、を有するカラーフィルタの製造方法。
本発明のアゾ化合物は下記一般式(I)、一般式(II)、又は一般式(III)で表されることを特徴とする。1,3,4−チアジアゾリル基を連結基に有することにより、良好な色相と高い吸光係数を有し、熱及び光に対して良好な堅牢性を有していると共に、該アゾ化合物を含む硬化性組成物を用いたカラーフィルタを作製において、現像時における色抜けを効果的に抑制することができる。
R3の置換基は、前記R1及びR2の置換基で説明した基と同義である。R3の置換基は、可能であれば更にR1及びR2の置換基で説明した基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
D1及びD2は好ましくは、一般式(I)、一般式(II)、又は一般式(III)のいずれかで表されるアゾ化合物の可視部における最大吸収波長が500nm〜600nmであるために必要なカプラー残基、最大吸収波長が400nm〜500nmであるために必要なカプラー残基、又は、最大吸収波長が500nm〜600nmであって、第二吸収波長が400nm〜500nmであるために必要なカプラー残基である。
尚、可視部の最大吸収波長、及び第二吸収波長は、通常の可視分光光度計を用いて常法により測定することができる。
一般式(d−1)中、R50及びR51は、各々独立にアリール基、ヘテロ環基、アシル基、シアノ基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。
一般式(d−1)中のR50とR51とが互いに結合して、炭素原子、窒素原子、酸素原子、硫黄原子から選ばれる原子と共に5員又は6員の環を形成していてもよい。
R52及びR53の各基が、更に置換可能な基である場合には、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R54及びR55の各置換基、並びにR54とR55とが互いに結合して形成される5員又は6員の環は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R56に置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(d−4)及び一般式(d−5)中の、Z10及びZ11は、各々独立に=C(R57)−、又は=N−を表す。
R57は、水素原子、又は置換基を表し、R57の置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基と同じ意味の基を表す。
R57の置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R58の置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(d−6)中のZ12は、隣接するベンゼン環に縮環する5員又は6員の環を形成するのに必要な原子群であって、炭素原子、窒素原子、酸素原子、及び硫黄原子から選ばれる原子からなる原子群を表す。
R59又はR60で表される各基は、更に、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R61で表される置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R62は水素原子又は置換基を表す。R62の置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基と同じ意味の置換基を表す。
R62で表される置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
これらの形成される5員又は6員の環は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
一般式(d−8)中のR58及びsは、一般式(d−6)中のR58及びsと同じ意味の基を表す。
R5及びR6のこれらの各置換基、及び、R5とR6とが互いに結合して形成される5員又は6員の環は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R7で表される置換基は、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基と同じ意味の基を表し、R7に置換基が更に置換可能な基である場合には、前記R1又はR2で表される置換基として説明した置換基で更に置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
R1及びR2が各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、Z1及びZ2が各々独立に、−C(R3)=であって、R3が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、D1及びD2が、一般式(d−1)〜一般式(d−7)のいずれかで表されるカプラー残基であることを特徴とするアゾ化合物である。
R1及びR2が各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、Z1及びZ2が各々独立に、−C(R3)=であって、R3が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、D1及びD2が、一般式(A)で表されるカプラー残基であることを特徴とするアゾ化合物である。
R1及びR2が各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、Z1及びZ2が各々独立に、−C(R3)=であって、R3が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、D1及びD2が、一般式(A)で表されるカプラー残基であって、前記一般式(A)におけるZ3が−N=であって、Z4が−C(R7)=、又は−N=で表されることを特徴とするアゾ化合物である。
R1及びR2が各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基であって、Z1及びZ2が各々独立に、−C(R3)=であって、R3が、水素原子、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基であって、D1及びD2が、一般式(A)で表されるカプラー残基であって、一般式(A)におけるZ3が−N=であって、Z4が−C(R7)=、又は−N=であって、R7が、水素原子、シアノ基、アルコキシカルボニル基、又はカルバモイル基で表されることを特徴とするアゾ化合物である。
R1及びR2が各々独立に、水素原子、又はアルキル基であって、Z1及びZ2が各々独立に、−C(R3)=であって、R3がシアノ基であって、D1及びD2が、一般式(A)で表されるカプラー残基であって、一般式(A)におけるZ3が−N=であって、Z4が−C(R7)=又は−N=であって、R7が水素原子、又はシアノ基であって、R8がアルキル基又はアニリノ基であって、R5及びR6がそれぞれ独立に水素原子、アルキル基又はアリール基で表されることを特徴とするアゾ化合物である
本発明の硬化性組成物は、着色剤(色素)として、上記一般式(I)、一般式(II)、又は一般式(III)で表されるアゾ化合物の少なくとも1種を含んでなり、好ましくは重合性モノマーと、感放射線性化合物とを更に含んでなる。また、一般には更に溶剤を含んで構成することができる。また、必要に応じて更にバインダー、架橋剤などの他の成分を用いて構成することができる。
本発明の硬化性組成物は、上記一般式(I)、一般式(II)、又は一般式(III)で表されるアゾ化合物を含有することにより、堅牢性に優れるとともに、現像適性(耐溶出性)を有し、カラーフィルタの薄層化が可能な硬化性組成物である。また、更に、高感度で、高解像度、高透過率特性をも達成し得る硬化性組成物である。
本発明の化合物は、本発明における硬化性組成物中に、単独で含有されていてもよく、また2種以上が併用されて含有されていてもよい。
本発明の硬化性組成物は、バインダーの少なくとも1種を含有することができる。本発明に係わるバインダーとしては、アルカリ可溶性であれば特には限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶性であって弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号等の明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、特に、側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール等も有用である。
これらの重合性基を有するポリマーの例としては、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が挙げられる。
又、硬化被膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
上記ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、又はビスフェノールA等が挙げられる。
上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、又はベンズアルデヒド等が挙げられる。
上記フェノール類及びアルデヒド類は、単独若しくは2種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の硬化性組成物中の上記バインダーの使用量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、10質量%〜90質量%が好ましく、20質量%〜80質量%が更に好ましく、30質量%〜70質量%が特に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、従来との比較において、薄層化可能な高い吸光係数を有し、且つ堅牢性に優れる発明の主旨であるが、これに更に補足的に架橋剤を用いることによって、より高度に硬化させた膜が得られるように構成することも可能である。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
(b)に係る化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を組合わせて使用してもよい。
以下、これら化合物を総じて、(c)に係る化合物(メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、またはアシロキシメチル基含有化合物)ということがある。
前記(c)に係るアルコキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
また、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
これら(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を組合わせて使用してもよい。
本発明の硬化性組成物は、重合性モノマーの少なくとも1種を含有することによって好適に構成することができる。重合性モノマーは、硬化性組成物をネガ型に構成する場合に主として含まれる。
尚、後述のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に、後述の光重合開始剤と共に含有することができ、この場合には形成されるパターンの硬化度をより促進させることができる。以下、重合性モノマーについて説明する。
本発明の硬化性組成物は、感放射線性化合物の少なくとも1種を含有することにより好適に構成することができる。本発明に係わる感放射線性化合物は、ラジカル発生、酸発生、塩基発生などの化学反応を起こし得る化合物であるが、上記のバインダーを架橋、重合、酸性基の分解などの反応により不溶化させたり、塗膜中に共存する重合性モノマーやオリゴマーの重合、架橋剤の架橋などを起こすことで塗膜をアルカリ現像液に対して不溶化させる目的で用いられる。
次に、本発明の硬化性組成物が、ネガ型の組成物である場合に含まれる光重合開始剤について説明する。
光重合開始剤は前記重合性モノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
尚、上記のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に更に含有してもよく、この場合には形成されるパターン硬化度をより促進させることができる。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
特に好ましくは、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン等のオキシム−O−アシル系の化合物が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
次に、本発明の硬化性組成物がポジ型の場合に含まれるナフトキノンジアジド化合物について説明する。
該ナフトキノンジアジド化合物は、少なくとも1つのo−キノンジアジド基を有する化合物であり、例えば、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸アミド、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸アミド等が挙げられる。これらのエステルやアミド化合物は、例えば特開平2−84650号公報、特開平3−49437号公報において一般式(I)で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
本発明の硬化性組成物の調製の際には、一般に溶剤を含有することができる。使用される溶剤は、該組成物の各成分の溶解性や硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特には限定されないが、特に上記バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
前記溶剤の具体例としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート(メチルセロソルブアセテート)、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(エチルセロソルブアセテート)、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート(メチルカルビトールアセテート)、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(エチルカルビトールアセテート)、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート(ブチルカルビトールアセテート)、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;
ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;
芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等を挙げることができる。
本発明の硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の硬化性組成物が用いられる。本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明の硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して硬化性組成物層を形成する工程と、形成された硬化性組成物層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型もしくはポジ型の着色されたパターン(レジストパターン)を形成する画像形成工程とを含む。
更に、形成されたパターンは、必要に応じて加熱及び/又は露光により、より硬化させる硬化工程を設けることができる。この際に使用される光もしくは放射線としては、特にi線等の放射線が好ましく用いられる。
一般式(I)、一般式(II)又は一般式(III)で表される化合物の合成例について以下に説明する。
(合成例1)
−例示化合物I−1、I−2、I−3の合成−
以下に示す反応スキームAに従って合成した。
2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール−ジカリウム塩 100g(0.442モル)をN−メチルピロリジン 400mlを加えて窒素気流中で10℃に冷却し、攪拌した。この溶液にヨウ化メチル 150.5g(1.06モル)を滴下した。温度は10℃〜15℃に保った。滴下終了後、室温で2時間攪拌を行い、反応を完結させた。この反応液に水 1000mlと酢酸エチル 600mlを加えて抽出した。この酢酸エチル溶液を飽和食塩水で洗浄した後、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮した液体状の中間体−Aを72.0g(収率:91.5%)得た。
上記の方法で得た中間体−A 68.2g(0.383モル)に、酢酸 1mlとタングステン酸ナトリウム・2水和物 2gとエタノール 350mlを加えて加熱還流攪拌した。この溶液に過酸化水素水溶液(30%) 175gを滴下した。滴下終了後、3時間過熱還流攪拌し、反応を完結させた。反応終了後、室温に冷却して、水 350mlを加えて結晶を析出させた。この結晶を濾別して水洗し、乾燥した。中間体−Bを 72.0g(収率:77.6%)得た。
特開2002−371079号公報に記載の方法に従って合成した中間体−C 80.2g(0.15モル)と、前記の方法で得た中間体−B 45.4g(0.188モル)と、炭酸カリウム 41.4gと、二酸化マンガン 26.1gに、スルホラン 250mlを加えて、40℃〜50℃に加熱して攪拌した。12時間加熱攪拌を行って、反応を完結させた。この反応液にアセトニトリル250mlを加えて室温で攪拌した後、濾過して不溶解物を濾別した。この濾液を35%塩酸水を水3000mlで希釈した水溶液中に攪拌しながら注ぎ結晶を析出させた。この結晶を濾別し、水洗して乾燥した。この結晶に酢酸エチル 800mlを加えて攪拌し、結晶を分散洗浄した。この結晶を濾別して乾燥した。中間体−Dを 84.0g(収率:80.4%)得た。
前記の方法で得た中間体−D 20.9g(0.03モル)と、中間体−C 16.0g(0.03モル)、炭酸カリウム 8.28g(0.06モル)に、N−メチルピロリドン 100mlを加えて、95℃〜98℃に加熱して、8時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水1500mlに攪拌しながら注ぎ、次いで35%塩酸水を加えて、pH=3に調整して結晶を析出させた。この結晶を濾別して、水洗し乾燥した。この結晶をシリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶離液:n−ヘキサン/酢酸エチル=4/1)で精製した。溶出物を減圧下で濃縮、乾固して例示化合物I−1を31.0g(収率:89.9%)得た。
酢酸エチル溶液中の最大吸収波長(λmax)は516.3nmで、最大吸収波長におけるモル吸光係数(ε)は54200であった。
前記の方法で得た例示化合物I−1 26.0g(0.0226)と、4−ブロモブタン酸エチルエステル 13.2g(0.0678モル)、炭酸カリウム 15.6g(0.113モル)、に、N−メチルピロリドン 120mlを加えて、80℃〜85℃に加熱して、5時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水 2000mlに攪拌しながら注いで、結晶を析出させた。この結晶を濾別して、水洗して乾燥した。この結晶を、メタノール750mlで再結晶して精製した。例示化合物I−2を 27.9g(収率:75.2%)得た。
融点は、200℃〜203℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=520.3nm、ε=85400であった。
1H−NMR(CDCl3)δ6.94(s,4H)、6.79(s,4H)、5.52(s,2H)、4.05(q,4H)、3.39〜3.25(br,4H)、2.41(s,6H)、2.32(s,6H)、2.07(s,22H)、1.67(s,9H)、1.58(s,3H)、1.47(s,18H)、1.22(t,6H).
前記の方法で得た例示化合物I−2 26.5g(0.0192モル)に、テトラヒドロフラン 80mlと2−プロパノール 80mlとを加えて、室温で攪拌した。この溶液に、水酸化リチウム1水和物 6.45g(0.154モル)を水 70mlに溶解させた水溶液を添加して、室温で10時間攪拌し加水分解を行った。反応終了後、この反応液を水 2000mlに35%塩酸水 20mlを加えた希塩酸水溶液中に攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この結晶を濾別し、水洗して乾燥した。この結晶を酢酸エチル150mlで再結晶して精製し、例示化合物I−3 を 17.1g(収率:67.3%)得た。
融点は、246℃〜248℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=520.1nm、ε=84000であった。
1H−NMR(CDCl3)δ6.95(s,4H)、6.78(s,6H)、5.50(s,2H)、3.40〜3.25(br,4H)、2.39(s,6H)、2.31(s,6H)、2.20(s,4H)、2.05(s,25H)、1.78〜1.58(br,9H)、1.57(s,18H).
前記の合成例1と同様な方法に従って、例示化合物I−4、I−5、I−6をそれぞれ合成した。酢酸エチル溶液中のλmaxとεを以下に示した。
(例示化合物I−4) λmax=517.1nm ε=81000
(例示化合物I−5) λmax=520.3nm ε=82500
(例示化合物I−6) λmax=520.3nm ε=82500
−例示化合物IIb−1の合成−
以下の反応スキームBに従って合成した。
前記の方法で得た中間体−F9.2g(0.015モル)、中間体−E 6.73g(0.015モル)に炭酸水素ナトリウム 5gとN−メチルピロリドン 50mlを加えて40℃〜50℃に加熱して、8時間撹拌した。反応終了後、反応液を水 500ml中に撹拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この結晶をろ過し、水洗して乾燥した。この結晶をアセトン200mlから再結晶して精製した。例示化合物IIb−1を10.8g(収率:73.5%)得た。
融点は、276℃〜280℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=462.7nm、ε=83300であった。
−例示化合物IIIa−1、IIIa−2、IIIa−3の合成−
以下の反応スキームCに従って合成した。
特開2007−31616号公報に記載の方法に従って合成した中間体−G 5.04g(0.01モル)、前記の合成例1の方法で得た中間体−D 6.97g(0.01モル)、炭酸水素ナトリウム 2.52gに、ジメチルアセトアミド 50mlを加えて、75℃〜80℃に加熱して、5時間攪拌した。反応終了後、反応液を、35%塩酸5.0mlを水500mlで希釈した希塩酸水溶液中に攪拌しながら注ぎ、次いで酢酸エチル200mlを加えて抽出した。この酢酸エチル溶液を飽和食塩水で洗浄して、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮し、残留物をシリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶離液:n−ヘキサン/酢酸エチル=4/1)で精製した。溶出液を濃縮して残留物にアセトニトリル200mlを添加して結晶を析出させた。この結晶を濾別して乾燥し、例示化合物IIIa−1を7.7g(収率:68.8%)得た。
融点は、268℃〜270℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=537.5nm、ε=61100であった。
前記の方法で得た例示化合物IIIa−1 11.2g(0.01モル)に4−ブロモブタン酸エチルエステル 2.34g(0.012モル)、炭酸カリウム 4.15g、テトラブチルアンモニウムブロマイド 2gに、N−メチルピロリドン150mlを加えて75℃〜85℃に加熱して、5時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水1000mL中に攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この結晶を濾別して水洗し乾燥した。この結晶をアセトニトリル300mlから再結晶して精製した。例示化合物IIIa−2を 9.1g(収率:73.7%)得た。
融点は、216℃〜218℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=542.4nmで、ε=68500であった。
前記の方法で得た例示化合物IIIa−2 5.5g(0.0045モル)に2−プロパノール55mlとテトラヒドロフラン25mlとを加えて室温で攪拌した。この分散液に、水酸化リチウム1水和物 0.93gを水 10mlに溶解した水溶液を添加した。室温で8時間攪拌したエステル基を加水分解した。この反応液を35%塩酸 5mlを水 700mlで希釈した水溶液中に攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この結晶を濾別して水洗し、乾燥した。この結晶を
アセトニトリル 200mlと酢酸エチル50mlの混合溶媒から再結晶して精製した。例示化合物IIIa−3を 4.1g(収率:76.4%)得た。
融点は、277℃〜278℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=542.6nm、ε=68700であった。
1H−NMR(CDCl3)δ11.5(br,1h)、8.62(s,1H)、7.02〜6.94(br,4H)、6.78(s,1H)、6.63(s,4H)、5.54(s,1H)、3.45〜3.30(br,2H)、2.90(s,3H)、2,42(s,3H)、2.38(s,3H)、2.33(s,3H)、2.26(s,6H)、2.20(s,6H)、2.09(s,6H)、1.92(s,6H)、1.84(s,6H)、1.75(br,4H)、1.45(s,9H).
−例示化合物IIIb−3、IIIb−8の合成−
以下の反応スキームDに従って合成した。
(中間体−Hの合成)
イミノ二酢酸ジエチルエステル28.5g(0.15モル)にアセトニトリル 150mlを加えて0℃〜5℃に冷却して攪拌した。この溶液に、5−ブロモペンタン酸クロライド 25.0g(0.125モル)を滴下した。反応温度は5℃以下に保つようにした。滴下終了後、次いで、トリエチルアミン 17.5mlを滴下した。反応温度は5℃以下に保つようにした。滴下終了後、室温で2時間攪拌して反応を完結させた。この反応液を水500ml中に攪拌しながら注ぎ、次いで、35%塩酸水でpHを3〜5に調整した、次いで、酢酸エチル300mlを添加して抽出した。この酢酸エチル溶液を、飽和食塩水で洗浄し、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。この酢酸エチル溶液を減圧下で濃縮した。油状の中間体−Hを 43.0g(収率;97.7%)得た。
中間体−D 13.9g(0.02モル)、炭酸カリウム 5,52g、テトラブチルアンモニウムブロマイド 3,27g、前記の方法で得た中間体−H 6.91g(0.026モル)に、ジメチルスルホキシド 70mlを加えて45℃〜50℃に加熱して、6時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水800ml中に攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。次いで、35%塩酸を加えてpHを2〜4になるように調整した。この析出した結晶をろ過し、水洗して乾燥した。この結晶をアセトニトリル300mlから再結晶して精製した。中間体−Iを 10.5g(収率:56.8%)得た。
前記の方法で得た中間体−I 15.0g(0.0155モル)、中間体−E 6.95g(0.0155モル)、炭酸水素ナトリウム 3.91gにN−メチルピロリドン 75mlを加えて、70℃〜80℃に加熱して5時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水1500mlに攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この結晶を濾別して水洗し、乾燥した。この結晶をシリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶離液:n−へキサン/酢酸エチル=2/1)で精製した。溶出物を濃縮して、残留物にアセトニトリル 200mlを添加して結晶を析出させた、この結晶を濾別して乾燥し、例示化合物IIIb−3を 10.2g(収率:49.3%)得た。
融点は、173℃〜175℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=542.8nm、ε=65700であった。
1H−NMR(CDCl3)δ8.55(d,1H)、7.03〜6.85(m,7H)、5.55(s,1H)、5.49〜5.20(br,1H)、4.30〜4.04(m,8H)、3.85〜3.65(m,2H)、3.60〜3.48(m,2H)、3.46(s,1H)、3.40〜3.25(m,2H)、2.98(t,2H)2.83(br,1H)、2.41(s,3H)、2.38〜2.27(m,9H)、2.25〜2.13(m,12H)、2.12〜1.94(m,9H)、1.65(s,4H)1.50(s,3H)、1.45(s,6H)、1.38〜1.18(m,6H)、1.15〜1.00(br、3H).
前記の方法で得た例示化合物IIIb−3 9.0g(0.00673モル)に2−プロパノール 130mlを加えて室温で攪拌した。この分散液に、水酸化リチウム1水和物 1.68gを水20mlに溶解した水溶液を添加した。添加終了後、室温で1.5時間攪拌してエステル基の加水分解を完結させた。この反応液を、35%塩酸水5mlを水700mlで希釈した水溶液中に攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この分散液に酢酸エチル300mlを添加して抽出した。
この酢酸エチル溶液を飽和食塩水で洗浄して無水硫酸ナトリウムで乾燥した。次いで、この酢酸エチル溶液を減圧下で、濃縮し結晶を析出させた。析出した結晶を濾別して乾燥した。例示化合物IIIb−8を7.6g(収率:88.2%)得た。
融点は、223℃〜229℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=542.9nm、ε=63500であった。
1H−NMR(CDCl3)δ8.65(m,1H)、7.05〜6.80(m,6H)、5.53(s,1H)、4.00〜3.85(br,4H)、3.85〜3.40(m,7H)、3.30(br,4H)、3.00〜2.88(m,2H)、2.80〜2.60(m,2H)2.45〜1.84(m,35H)、1.52〜1.30(m,11H)、1.05(br、3H).
合成例9と同様な方法に従って以下に示す例示化合物をそれぞれ合成した。酢酸エチル溶液中のλmaxとεを以下に示す。
(例示化合物IIIb−5) λmax=542.9nm ε=65300
(例示化合物IIIb−7) λmax=543.0nm ε=59000
(例示化合物IIIb−9) λmax=542.8nm ε=64000
(例示化合物IIIb−10)λmax=542.9nm ε=64200
(例示化合物IIIb−11)λmax=543.1nm ε=60100
(例示化合物IIIb−12)λmax=542.4nm ε=59300
(例示化合物IIIb−13)λmax=542.4nm ε=61600
(例示化合物IIIb−14)λmax=542.9nm ε=64200
(例示化合物IIIb−15)λmax=541.9nm ε=58700
−例示化合物IIIb−16、IIIb−17、IIIb−25、IV−28の合成−
以下の反応スキームEに従って合成した。
中間体−D 6.97g(0.01モル)、特開2007−39478に記載の方法に従って合成した中間体−J 4.5g(0.01モル)、炭酸水素イナトリウム 2.52gに、N−メチルピロリドン 35mlを加えて80℃〜85℃に加熱して、6時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水1000ml中に攪拌しながら注いで結晶を析出させた。この結晶を濾別して、水洗し乾燥した。この結晶をシリカゲルカラムクロマトグラフィー(溶離液:n−へキサン/酢酸エチル=1/1)で精製した。溶出物を濃縮し残留物に酢酸エチル10mlとアセト二トリル100mlを添加して結晶を析出させた。この結晶を濾別して乾燥した。例示化合物IIIb−16を 6.0g(収率:57.1%)得た。融点は、238℃〜242℃であった。
酢酸エチル溶液中のλmax=537.5nm、ε=56800であった。
前記の方法で得た例示化合物IIIb−16 6.0g(0.00571モル)、炭酸カリウム 2.4gにジメチルスルホキシド 50mlを加えて45℃〜50℃に加熱して攪拌した。この溶液にヨウ化メチル 1.62g(0.0114モル)を滴下した。滴下終了後、35℃〜40℃に加熱して7時間攪拌して反応を完結させた。反応終了後、この反応液を水600ml中に攪拌しながら注ぎ結晶を析出させた。この結晶を濾別して水洗し乾燥した。この結晶を酢酸エチル/アセト二トリル=1/4の混合溶媒から再結晶して精製した。例示化合物IIIb−17を 5.3g(収率:87.2%)得た。
酢酸エチル溶液中のλmax=540.9nm、ε=59200であった。
前記の方法で得た例示化合物IIIb−17 6.0g(0.00563モル)にアセト二トリル60mlを加えて室温で攪拌した。この分散液に塩化チオニル5.0mlを滴下した。滴下終了後、室温で5時間攪拌し反応を完結させた。この反応液を水700ml中に攪拌しながら注ぎ、次いで、炭酸水素ナトリウムを加えて中和して結晶を析出させた。この結晶を濾別して水洗し乾燥した。この結晶をn−ヘキサン/酢酸エチル=4/1の混合溶媒で再結晶し精製した。例示化合物IIIb−25を 4.1g(収率:67.2%)得た。融点は、259℃〜265℃であった。
酢酸エチル溶液中のλmax=541.5nm、 ε=58700であった。
前記の方法で得た例示化合物IIIb−25 3.4g(0.00314モル)にジメチルアセトアミド15mlを添加して80℃〜100℃に過熱した。次いでトリエチルアミン1.0mlを滴下して、更に85℃〜100℃に加熱して、5時間攪拌した。反応終了後、この反応液を水500ml中に攪拌しながら注ぎ、結晶を析出させた。この結晶をろ過して水洗し、乾燥した。この結晶をアセトニトリル 100mlで再結晶して精製した。例示化合物IV−28を2.9g(収率:88.1%)得た。
融点は、270℃〜273℃であった。また酢酸エチル溶液中のλmax=542.1nm、ε=53700であった。
1H−NMR(CDCl3)δ11.40(s,1H),10.40(br,1H),8.66(s,1H),7.00〜6.90(m,7H)、5.60(s,1H)、4.54(br,2H)、3.65(br,2H)、3.20〜2.95(m,13H)、2.88(br,3H)、2.48〜2.27(m,13H)、2.26〜2.07(m,9H)、1.45(s,9H).
1)レジスト溶液の調製
以下に示す組成物を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
… 5.20部
・シクロヘキサノン … 52.6部
・バインダー:(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル)共重合体(モル比=60:20:20)41%EL溶液
… 30.5部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート … 10.2部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) … 0.006部
・フッ素系界面活性剤(F475、大日本インキ化学工業(株)製) … 0.80部
・光重合開始剤TAZ−107(みどり化学社製) … 0.58部
尚、ELは乳酸エチルを表す。
ガラス基板(コーニング1737)を0.5%NaOH水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク(200℃/20分)を行った。
ついで、上記1)のレジスト溶液を洗浄したガラス基板上に膜厚0.6μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜(下塗り層)を得た。
上記1)で得られたレジスト溶液9.4gと本発明のアゾ化合物である既述の例示化合物I−1 1.0gとを混合、溶解して着色レジスト溶液(硬化性組成物A−1[ネガ型]の溶液)を調製した。
上記3)で得られた着色レジスト溶液を、2)で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が1.0μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークして、カラーフィルタを得た。
上記で調製された硬化性組成物A−1の保存安定性、及びガラス基板上に塗布された塗布膜の耐熱性、耐光性を下記のように評価した。結果を表2に示す。
硬化性組成物A−1を室温で1ヶ月保存した後、異物の析出度合いを目視により観察し、下記判定基準に従って評価した。
〜 判定基準 〜
○:析出は認められなかった。
△:僅かに析出が認められた。
×:析出が認められた。
前記硬化性組成物A−1を塗布したガラス基板を、ホットプレートにより200℃で1時間加熱した後、色度計MCPD−1000(大塚電子製)にて、耐熱テスト前後の色差のΔEab値を測定して、下記基準に従って評価した。ΔEab値の小さい方が、耐熱性が良好であることを示す。
〜 判定基準 〜
○:ΔEab値<5以下
△:5≦ΔEab値≦10
×:10<ΔEab値
硬化性組成物A−1を塗布したガラス基板に対し、キセノンランプを5万luxで20時間照射(100万lux・h相当)したのち、耐光テスト前後の色差のΔEab値を測定した。ΔEab値の小さいほうが、耐光性が良好である。
〜 判定基準 〜
○:ΔEab値<3
△:3≦ΔEab値≦10
×:10<ΔEab値
実施例2において例示化合物I−1の代わりに、表2に示した化合物(本発明のアゾ化合物の例示化合物)を等モル用いた以外は、実施例2と同様な方法に従って、それぞれ硬化性組成物を作製し、作製した硬化性組成物を下塗り層付きガラス基板に塗布してカラーフィルタを得た。得られた硬化性組成物、カラーフィルタについて実施例2と同様の評価を行った。結果を表2に示した。
実施例2において例示化合物I−1の代わりに、表2に示した化合物(本発明のアゾ化合物の例示化合物)を、例示化合物I−1の2倍モル用いた以外は、実施例2と同様な方法に従って、それぞれ硬化性組成物を作製し、作製した硬化性組成物を下塗り層付きガラス基板に塗布してカラーフィルタを得た。得られた硬化性組成物、カラーフィルタについて実施例2と同様の評価を行った。結果を表2に示した。
実施例2において例示化合物I−1の代わりに、表2に示した化合物(染料)を、例示化合物I−1の2倍モル用いた以外は、実施例2と同様な方法に従って、それぞれ硬化性組成物を作製し、作製した硬化性組成物を下塗り層付きガラス基板に塗布してカラーフィルタを得た。得られた硬化性組成物、カラーフィルタについて実施例2と同様の評価を行った。結果を表2に示した。
−露光・現像(画像形成工程)−
実施例3で作製したカラーフィルタ(レジスト塗布膜が形成されたガラス基板)を、露光装置を用いて塗布膜に365nm波長で線幅20μmのマスクを通して500mJ/cm2の露光量で照射した。露光後、現像液(商品名:CD−2000、富士フイルムエレクトロマテリアルズ(株)製)を使用して25℃、60秒間の条件で現像した。その後、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥して、ガラス基板上に着色パターンを形成した。
(パターン形成性)
露光部の残色率は色度計(商品名:MCPD−1000、大塚電子(株)製)で測定した。残色率は現像前後における露光部(着色パターン)の吸光度の変化率として求めた。
○:95%<残色率
△:90%≦残色率≦95%
×:残色率<90%
実施例40において、実施例3で作製したカラーフィルタの代わりに、実施例6、実施例8、実施例9、実施例12、実施例14、実施例18、実施例20、実施例27、実施例28、実施例29、実施例30、実施例33、実施例34、実施例35、実施例36で作製したカラーフィルタをそれぞれ用いた以外は実施例40と同様にして、ガラス基板上に着色パターンを形成し、露光部の残色率を求めた。
実施例40において、実施例3で作製したカラーフィルタの代わりに、比較例1〜4で作製したカラーフィルタをそれぞれ用いた以外は実施例40と同様にして、ガラス基板上に着色パターンを形成し、露光部の残色率を求めた。
1)下塗り層付シリコンウエハー基板の作製
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に、前記の実施例2においてガラス基板の下塗り層に用いたレジスト液を、乾燥膜厚1μmになるように塗布し、220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
前記1)で得られた下塗り層付きシリコンウエハー基板の下塗り層上に、実施例3、実施例6、実施例8、実施例9、実施例12、実施例14、実施例18、実施例20、実施例27、実施例28、実施例29、実施例30、実施例33、実施例34、実施例35、実施例36で用いた硬化性組成物を、各々、塗布膜の乾燥膜厚が0.6μmになるように塗布し、硬化性組成物の塗布膜を形成した。そして、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行った。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが1.2μm四方のアイランドパターンマスクを通して100〜2500mJ/cm2の範囲で露光量を100mJ/cm2ずつ変化させて照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型;(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の50%水溶液を用いて23℃で60秒間パドル現像を行って、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。
1)硬化性組成物[ポジ型]の調製
・乳酸エチル(EL) … 30部
・樹脂P−1 … 3.0部
・ナフトキノンジアジド化合物N−1 … 1.8部
・架橋剤:ヘキサメトキシメチロール化メラミン … 0.6部
・光酸発生剤:TAZ−107(みどり化学社製) … 1.2部
・フッ素系界面活性剤 … 0.0005部
(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・例示化合物IIIb−15 … 0.4部
以上の処方からなる組成物を混合して溶解し、硬化性組成物[ポジ型]を得た。
ベンジルメタクリレート70.0g、メタクリル酸13.0g、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル17.0g、及び2−メトキシプロパノール600gを三口フラスコに仕込み、攪拌装置と還流冷却管、温度計を取り付け窒素気流下65℃にて重合開始剤V−65(和光純薬工業製)を触媒量添加して10時間攪拌した。得られた樹脂溶液を20Lのイオン交換水に激しく攪拌しながら滴下し、白色粉体を得た。この白色粉体を40℃で24時間真空乾燥し145gの樹脂P−1を得た。分子量をGPCにて測定したところ、重量平均分子量Mw=28,000、数平均分子量Mn=11,000であった。
Trisp−PA(本州化学製)42.45g、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホニルクロリド61.80g、アセトン300mlを三口フラスコに仕込み、室温下トリエチルアミン24.44gを1時間かけて滴下した。滴下終了後、更に2時間攪拌した後、反応液を大量の水に攪拌しながら注いだ。沈殿したナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを、吸引ろ過により集め、40℃で24時間真空乾燥して、ナフトキノンジアジド化合物N−1を得た。
実施例40と同様にして、下塗り層つきのガラス基板に上記のようにして調製した硬化性組成物を塗布し、プリベーク、照射、現像及びリンス、乾燥を行って画像パターンを得た。その後このパターン画像を180℃で5分間加熱し(ポストベーク)、カラーフィルタを得た。形成された赤色パターン画像の断面は矩形状の良好なプロファイルを示した。
Claims (9)
- 下記一般式(I)、一般式(II)、又は一般式(III)で表されるアゾ化合物。
(式中、R1及びR2は各々独立に、水素原子、又はハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、スルファモイルアミノ基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、若しくはスルファモイル基である置換基を表し、D1及びD2は各々独立に、下記一般式(d−1)〜一般式(d−8)のいずれかで表されるカプラー残基を表す。Z1及びZ2は各々独立に、−C(R3)=、又は−N=を表し、R3は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基を表す)
(式中、R 50 及びR 51 は各々独立に、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、シアノ基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。R 52 は、水素原子又は置換基を表し、R 53 は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。X 10 は、−OH、又は−N(R 54 )(R 55 )を表し、R 54 及びR 55 は各々独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。R 56 は水素原子又は、置換基を表す。Z 10 及びZ 11 は、各々独立に=C(R 57 )−、又は=N−を表し、R 57 は、水素原子、又は置換基を表す。R 58 は置換基を表し、sは0、1又は2の整数を表す。Z 12 は、隣接するベンゼン環に縮環する5員又は6員の環を形成するのに必要な原子群であって、炭素原子、窒素原子、酸素原子、及び硫黄原子から選ばれる原子からなる原子群を表す。R 59 及びR 60 は、各々独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。R 61 は水素原子、又は置換基を表す。Z 13 、Z 14 及びZ 15 は、各々独立に=C(R 62 )−又は=N−を表し、R 62 は水素原子、又は置換基を表す。また、*はアゾ基との結合位置を表す。R 52 、R 56 、R 57 、R 58 、R 61 及びR 62 における置換基はR 1 及びR 2 における置換基と同義である) - 一般式(I)、一般式(II)、及び一般式(III)におけるD1及びD2は、各々独立に下記一般式(A)で表されるカプラー残基であることを特徴とする請求項1に記載のアゾ化合物。
(式中、R4及びR8は、各々独立に水素原子、又は置換基を表し、R5及びR6は各々独立に水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表し、Z3及びZ4は各々独立に、−C(R7)=、又は−N=を表し、R7は水素原子又は置換基を表す。また、*はアゾ基との結合位置を表す。R 4 、R 8 及びR 7 における置換基はR 1 及びR 2 における置換基と同義である) - 一般式(I)、一般式(II)、及び一般式(III)におけるR 1 及びR 2 が各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基であって、Z 1 及びZ 2 が各々独立に、−C(R 3 )=であって、R 3 が、水素原子、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基であり、一般式(A)におけるZ 3 が−N=であって、Z 4 が−C(R 7 )=、又は−N=であって、R 7 が、水素原子、シアノ基、アルコキシカルボニル基、又はカルバモイル基で表されることを特徴とする請求項2に記載のアゾ化合物。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のアゾ化合物の少なくとも1種を含有することを特徴とする硬化性組成物。
- 前記アゾ化合物は、可視部の最大吸収波長が500nm〜600nmであることを特徴とする請求項4に記載の硬化性組成物。
- 前記アゾ化合物は、可視部の最大吸収波長が400nm〜500nmであることを特徴とする請求項4に記載の硬化性組成物。
- 前記アゾ化合物は、可視部の最大吸収波長が500nm〜600nmであり、可視部の第二吸収波長が400nm〜500nmであることを特徴とする請求項4に記載の硬化性組成物。
- 請求項4〜請求項7のいずれか1項に記載の硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタ。
- 請求項4〜請求項7のいずれか1項に記載の硬化性組成物を支持体上に塗布して硬化性組成物層を形成する工程と、形成された硬化性組成物層をマスクを介して露光、現像してパターンを形成する工程と、を有するカラーフィルタの製造方法。
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