JP5388530B2 - 着色硬化組成物、含フッ素ジピロメテン系化合物及びその互変異性体、含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体、並びにカラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(1)分子分散状態である染料は、一般に分子集合体である顔料に比べて、耐光性、耐熱性に劣る。
(2)通常の染料は、分子が広いπ共役平面をとっており、アルカリ水溶液又は有機溶剤(以下単に溶剤ともいう)への溶解度が低いため、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
(3)染料は、硬化性組成物中の他の成分との相互作用を示すことが多く、硬化部、非硬化部の溶解性(現像性)の調節が難しい。
(4)染料のモル吸光係数(ε)が低い場合には多量の染料を添加しなければならず、そのために硬化性組成物中の重合性化合物(モノマー)やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得ず、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、(非)硬化部の現像性等が低下する等である。
本発明は、新規なジピロメテン系金属錯体化合物、並びに溶剤溶解性及び堅牢性が高く、高い吸光係数を有するジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体を提供することを目的とする。また、
本発明は、高い染料濃度(好ましくは35質量%以上)に調製が可能であると共に、薄膜可能な高い吸光係数を有し、色濃度及び色純度の良好な着色硬化性組成物を提供することを目的とする。さらに、
本発明は、薄層で色濃度が高く、色再現性及び堅牢性(特に耐光性、耐熱性)に優れたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
かかる観点から、本発明は、画素パターンが薄膜(例えば厚み1μm以下)に形成され、2μm以下の微少サイズ(基板法線方向からみた画素パターンの辺長が例えば0.5〜2.0μm)の高精細さが求められ、良好な矩形の断面プロファイルが要求される固体撮像素子用のカラーフィルタの形成に特に有効である。
<1> 下記一般式(4)又は一般式(5)で表されるジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体より選択される少なくとも一種と、重合性モノマーと、光重合開始剤と、を含有する着色硬化性組成物である。
<3> 下記一般式(6)又は一般式(7)で表される含フッ素ジピロメテン系化合物又はその互変異性体である。
<4> 下記一般式(4)又は一般式(5)で表される含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体。
<5> 前記<1>又は前記<2>に記載の着色硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタである。
<6> 前記<1>又は前記<2>に記載の着色硬化性組成物を塗布し、塗布形成された塗布層をマスクを介して露光し、現像してパターン像を形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法である。
本発明によれば、高い染料濃度(好ましくは35質量%以上)に調製が可能であると共に、薄膜可能な高い吸光係数を有し、色濃度及び色純度の良好な着色硬化性組成物を提供することができる。これより、従来に比べてより薄膜(好ましくは1μm以下)で高精細なパターンを形成することができる。
本発明によれば、薄層で色濃度が高く、色再現性及び堅牢性(特に耐光性、耐熱性)に優れたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
着色硬化性組成物は、着色剤として、下記一般式(1)で表される化合物(以下、適宜「特定化合物−1」と称する。)と金属又は金属化合物とを用いて得られる含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体(以下、適宜「特定金属錯体化合物−1」と称する)の少なくとも一種を用いて構成されたものである。着色硬化性組成物は、必要に応じて、更にバインダーなどの他の成分を用いて構成することができる。
まず、下記一般式(1)で表される化合物(特定化合物−1)と金属又は金属化合物とを用いて得られる含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体(特定金属錯体化合物−1)について説明する。
ここで、Rで表されるアルキレン基は、前記一般式(1)中のR1〜R7における置換基中のアルキル基の水素原子を1つ除いたアルキレン基が挙げられ、好ましい態様として、その好ましいアルキル基から水素原子を1つ除いたアルキレン基が挙げられる。また、Arで表されるアリーレン基は、前記一般式(1)中のR1〜R7における置換基中のアリール基の水素原子を1つ除いたアリーレン基が挙げられ、好ましい態様として、その好ましいアリール基から水素原子を1つ除いたアリーレン基が挙げられる。
一般式(1)及び一般式(2)において、好ましくは、aは1以上の整数であって、Rfは各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、及び含フッ素アリールスルホンアミド基であって、mは1〜5の整数であって、Rgは各々独立に水素原子、又は置換基であって、nは0〜4の整数であって、Lは単結合、酸素原子、−NH−、−R−NH−(Rはアルキレン基を表す)、−Ar−NH−(Arはアリーレン基を表す)、カルボニル基、エステル基、オキシカルボニル基、チオエステル基、チオカルボニル基、*−CONH−、*−NHCO−、*−NHSO2−、スルフィニル基、スルホニル基、*−SO2NH−、置換もしくは無置換の炭素数1〜4のアルキレン鎖、又は置換もしくは無置換のアリーレン基であって(*は一般式(1)と結合する結合手を表す。)、R1及びR6は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はホスフィノイルアミノ基であって、R2及びR5は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシ基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であって、R3及びR4は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、又はホスフィノイルアミノ基であって、R7は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基である場合である。
着色硬化性組成物に含有する特定金属錯体化合物−1を得るためには、前記特定化合物−1(一般式(1)で表される含フッ素ジピロメテン化合物)に加え、金属又は金属化合物が用いられる。
好ましい範囲(以下、好ましい範囲Aともいう。)は、一般式(1)において、R1、及びR6は、各々独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はホスフィノイルアミノ基で表され、R2及びR5は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、カルバモイル基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基で表され、R3、及びR4は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシル基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、又はホスフィノイルアミノ基で表され、R7は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基で表され、金属、又は金属化合物は、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Mo、Mn、Cu、Ni、Co、TiO、又はVOで表され、一般式(2)中のRfは、各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、及び、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、Rgは各々独立に水素原子を表し、nは0〜4の整数を表し、Lは単結合、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−R−NH−(Rはアルキレン基を表す)、−Ar−NH−(Arはアリーレン基を表す)、カルボニル基、エステル基、オキシカルボニル基、チオエステル基、チオカルボニル基、*−CONH−、*−NHCO−、*−NHSO2−、スルフィニル基、スルホニル基、*−SO2NH−、置換もしくは無置換の炭素数1〜4のアルキレン鎖、又は置換もしくは無置換のアリーレン基を表し(*は一般式(1)と結合する結合手を表す。)、aは1以上の整数を表す。〕
また、置換基を有する場合、該置換基としては、例えば、前記R1〜R7で表される置換基の項で説明した置換基が挙げられ、好ましい置換基もR1〜R7と同様である。
なお、一般式(1)及び一般式(2)で表される化合物、並びにこれと金属又は金属化合物とを用いて得られる特定金属錯体化合物−1は、互変異性体であってもよい。
前記特定金属錯体化合物−1のうち、下記一般式(3)で表される含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物(以下、適宜「特定金属錯体化合物−2」と称する。)が好ましい。
ここで、R1〜R7の少なくとも1つは、少なくとも1つの水素原子を置換して前記一般式(2)で表される置換基を表す。一般式(2)中、aは1以上の整数を表す。Rfは各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、Rgは各々独立に、水素原子又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。Lは、単結合、酸素原子、硫黄原子、−NH−、−R−NH−(Rはアルキレン基を表す)、−Ar−NH−(Arはアリーレン基を表す)、カルボニル基、エステル基、オキシカルボニル基、チオエステル基、チオカルボニル基、*−CONH−、*−NHCO−、*−NHSO2−、スルフィニル基、スルホニル基、*−SO2NH−、炭素数1〜4のアルキレン鎖、アリーレン基を表す。なお、*は一般式(3)と結合する結合手を表す。
本発明の着色硬化性組成物は、着色剤として、前記特定金属錯体化合物−1のうち、下記一般式(4)で表される含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物(以下、適宜「特定金属錯体化合物−3」と称する。)、及び一般式(5)で表される含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物(以下、適宜「特定金属錯体化合物−4」と称する。)で表される化合物を用いて構成される。
具体的には、R16とR8とが互いに結合することにより、5員環(例えば、シクロペンタン、ピロリジン、テトラヒドロフラン、ジオキソラン、テトラヒドロチオフェン、ピロール、フラン、チオフェン、インドール、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン)、6員環(例えば、シクロヘキサン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、テトラヒドロピラン、ジオキサン、ペンタメチレンスルフィド、ジチアン、ベンゼン、ピペリジン、ピペラジン、ピリダジン、キノリン、キナゾリン)、又は7員環(例えば、シクロヘプタン、ヘキサメチレンイミン)を形成してもよい。
また、bは、0、1、又は2を表す。
特定金属錯体化合物−1の融点は、溶解性の観点から、高すぎない方が好ましい。
なお、特定金属錯体化合物−1の具体例において、Maは金属又は金属化合物に含まれるいずれかを表すものであり、Znである場合が特に好ましい。
本発明の着色硬化性組成物(及びこの着色硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ)は、既述の特定金属錯体化合物−1(前記特定金属錯体化合物−2〜特定金属錯体化合物−4を含む)以外に、他の着色剤として、550nm〜650nmの波長領域に吸収極大を有するトリアリールメタン系の着色剤、例えば、シー・アイ・アシッドブルー7(C.I.Acid Blue7)、シー・アイ・アシッドブルー83(C.I.Acid Blue83)、シー・アイ・アシッドブルー90(C.I.Acid Blue90)、シー・アイ・ソルベント・ブルー38(C.I.Solvent Blue38)、シー・アイ・アシッド・バイオレット17(C.I.Acid Violet17)、シー・アイ・アシッド・バイオレット49(C.I.Acid Violet49)、シー・アイ・アシッド・グリーン3(C.I.Acid Green3)、等を用いることができる。
本発明の着色硬化性組成物は、バインダーの少なくとも一種を含有することが好ましい。バインダーとしては、アルカリ可溶性のものであれば、特には制限はなく、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
また、硬化被膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンとのポリエーテル等も有用である。
ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、又はビスフェノールA等が挙げられる。アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、又はベンズアルデヒド等が挙げられる。
フェノール類及びアルデヒド類は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
本発明の着色硬化性組成物は、従来との比較においてより色純度に優れ、薄層化が可能で高い吸光係数を有し、かつ堅牢性に優れるものであるが、更に補足的に架橋剤を用いることによって、より高度に硬化させた膜が得られるように構成することもできる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
(b)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
以下、これら化合物を総じて、(c)に係る化合物(メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、又はアシロキシメチル基含有化合物)ということがある。
前記(c)に係るアルコキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
また、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
これら(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
本発明の着色硬化性組成物は、重合性モノマーの少なくとも一種を含有することにより好適に構成することができる。重合性モノマーは、着色硬化性組成物をネガ型に構成する場合に主として含まれる。
なお、後述のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に、後述の光重合開始剤と共に含有でき、この場合には形成されるパターンの硬化度をより促進させることができる。以下、重合性モノマーについて説明する。
本発明の着色硬化性組成物は、感放射線性化合物の少なくとも一種を含有することにより好適に構成することができる。感放射線性化合物は、波長400nm以下の紫外光や可視光、赤外光、電子線などの放射線によって、ラジカル発生、酸発生、塩基発生などの化学反応を起こし得る化合物である。この感放射線性化合物を含有することにより、上記のバインダーを架橋、重合、酸性基の分解などの反応により不溶化させたり、塗膜中に共存する重合性モノマーやオリゴマーの重合、架橋剤の架橋などを起こすことで塗膜をアルカリ現像液に対して不溶化させることが可能になる。
光重合開始剤は、前記重合性モノマーを重合させ得るものであれば、特に制限はなく、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。なお、上記のナフトキノンジアジド化合物を含有するポジ型の系に更に含有してもよく、この場合には形成されるパターン硬化度をより促進させることができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
その具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
光酸発生剤は、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生し、重合性を有するモノマー(重合性モノマー)を重合可能なものであれば特に限定されるものではなく、公知のものを用いることができる。
本発明の着色硬化性組成物がポジ型に構成される場合に用いられるナフトキノンジアジド化合物について説明する。
ナフトキノンジアジド化合物は、少なくとも1つのo−キノンジアジド基を有する化合物であり、例えば、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸アミド、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸アミド等が挙げられる。これらのエステルやアミド化合物は、例えば特開平2−84650号公報、特開平3−49437号公報に一般式(I)として記載されたフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
本発明の着色硬化性組成物の調製の際には、一般に溶剤を含有することができる。
溶剤は、調製する着色硬化性組成物の各成分の溶解性や組成物としたときの塗布性を満たすものであれば、基本的には特に制限はないが、特にバインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の着色硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することができる。
本発明の着色硬化性組成物は、着色パターンが微少サイズで薄膜に形成され、しかも良好な矩形の断面プロファイルが要求される固体撮像素子用のカラーフィルタの形成に特に好適である。具体的には、カラーフィルタを構成する画素パターンサイズ(基板法線方向からみた画素パターンの辺長)が2μm以下である場合(例えば0.5〜2.0μm)は、着色剤量が増大したり、更には色相が青色系であること等により、線幅感度が悪くなり、DOFマージンが狭くなる結果、パターン形成性が損なわれやすい。これは、特に画素パターンサイズが1.0〜1.7μm(更に1.2〜1.5μm)の場合に顕著になる。また、厚み1μm以下の薄膜である場合、着色剤を除くフォトリソ性に寄与する成分の膜中の量が相対的に減少し、着色剤量の増大で他成分の量は更に減少して、低感度化し、低露光量領域ではパターンが剥離しやすくなる。この場合、ポストベーク等の熱処理を施した際に熱ダレを起こし易い。これらは、特に膜厚が0.005μm〜0.9μm(更に0.1μm〜0.7μm)の場合に顕著である。
本発明のカラーフィルタは、既述のジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体を含有する前記本発明の着色硬化性組成物を用いて得られたものである。以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
前記レーザ光源としては、Arイオンレーザ(364nm、351nm、10mW〜1W)、Krイオンレーザ(356nm、351nm、10mW〜1W)、固体レーザとして、Nd:YAG(YVO4)とSHG結晶×2回の組み合わせ(355nm、5mW〜1W)、導波型波長変換素子とAlGaAs、導波型波長変換素子とAlGaInP、AlGaAs半導体の組み合わせ(300nm〜350nm、5mW〜100mW)、その他パルスレーザとして、N2レーザ(337nm、パルス0.1〜10mJ)、XeF(351nm、パルス10〜250mJ)などが挙げられる。更には、ArFエキシマレーザ(波長193nm)、KrFエキシマレーザ(波長248nm)、i線(波長365nm)などの紫外線を利用できる。コストと露光エネルギーの観点から、特に好ましい光源は、紫外線であり、g線、h線、i線が挙げられ、i線が好ましい。
また、ステッパー露光に用いる露光装置としては、例えば、i線ステッパー(商品名:FPA−3000i5+、キャノン(株)製)等を用いることができる。
なお、アルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に水で洗浄される。
〜合成例1〜
−ジピロメテン系金属錯体化合物の合成−
下記反応スキーム1にしたがって、ジピロメテン系金属錯体化合物の既述の例示化合物Ia−15、Ib−15、IIa−6、及びIIb−6を合成した。
米国特許出願公開第2008/0076044号明細書に記載の方法で得た15.2g(0.436モル)の中間体1にアセトニトリル45mlを加え、氷冷下で攪拌した。この溶液に対して、3−トリフルオロメチルベンゾイルクロライド10g(0.479モル)を滴下しながら加えた。その後、ピリジン4.13g(0.523モル)を滴下しながら加え、室温下で1.5時間攪拌した。反応液を塩酸水溶液500ml中に注ぎ、酢酸エチル300mlにて抽出、その後飽和炭酸水素ナトリウム水溶液500mlで中和した。硫酸マグネシウムにて乾燥後、ろ過し、ろ液を減圧濃縮した。その後、カラムクロマトグラフィーにて精製し、得られた固体をメタノールで洗浄した後、固体をろ取し、乾燥した。このようにして、中間体2を11.4g(収率:50.2%)得た。
ジメチルホルムアミド10mlを氷冷下(5℃)に撹拌した。この液にオキシ塩化リン0.98g(6.4ミリモル)を滴下した。滴下終了後、5℃で30分間撹拌した後、上記のようにして得た2.55g(4.9ミリモル)の中間体2を加えた。その後、5℃〜10℃で1時間撹拌し、反応を完結させた。
反応終了後、この反応液を水250ml中に撹拌下で滴下した。この水溶液に撹拌しながら、水酸化ナトリウム0.77gを水10mlに溶解させた水溶液を滴下し、室温で30分間撹拌した。析出した結晶を濾過し、水30mlで洗浄した。その後、結晶をメタノール200mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、メタノール15mlで洗浄した後、乾燥した。このようにして、中間体3を2.2g(収率:83.0%)得た。
米国特許出願公開第2008/0076044号明細書に記載の方法で得た32.8g(79.9ミリモル)の中間体4にアセトニトリル100mlを加え、室温下で攪拌した。この溶液に対して、3−トリフルオロメチルベンゾイルクロライド20g(95.9ミリモル)を滴下しながら加え、室温下で一時間攪拌し、得られた結晶を濾過して、アセトニトリルで洗浄した後、乾燥した。このようにして、中間体5を27g(収率:58%)得た。
ジメチルホルムアミド60mlを氷冷下(5℃)に撹拌した。この液にオキシ塩化リン9.24g(60.2ミリモル)を滴下した。滴下終了後、5℃で30分間撹拌した後、上記のようにして得た27g(46.3ミリモル)の中間体5を加えた。その後、5℃〜10℃で1時間撹拌し、反応を完結させた。
反応終了後、この反応液を水1.2l中に撹拌下で滴下した。この水溶液に撹拌しながら、水酸化ナトリウム7.23gを水100mlに溶解させた水溶液を滴下して、室温で30分間撹拌した。析出した結晶を濾過し、水50mlで洗浄した。その後、結晶をメタノール600mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、メタノール20mlで洗浄後、乾燥した。このようにして、中間体6を13.8g(収率:48.7%)得た。
米国特許出願公開第2008/0076044号明細書に記載の方法で得た30g(164ミリモル)の中間体7にジメチルアセトアミド90mlを加え、室温下で攪拌した。この溶液に対して、2−クロロピバロイルクロライド24.9g(197ミリモル)を滴下しながら加え、室温下で一時間攪拌し、得られた結晶を濾過して、アセトニトリルで洗浄した後、乾燥した。このようにして、中間体8を40.1g(収率:89.7%)得た。
上記のようにして得た6.97g(25.5ミリモル)の中間体8と5−メルカプトイソフタル酸ジメチルエステル5.76g(25.5ミリモル)を、ジメチルアセトアミド20mlに溶解させ、室温下で攪拌しながらトリエチルアミン2.7g(26.7ミリモル)を滴下した。その後、室温で一時間、50℃で一時間攪拌し、反応完了後、塩酸水溶液500ml中に反応液を滴下し、酢酸エチル250mlで抽出した。抽出液を硫酸マグネシウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。その後、メタノール100mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄して乾燥した。このようにして、中間体9を11.16g(収率:94.6%)得た。
上記の方法で得た11.1g(23.9ミリモル)の中間体9を、N−メチルピロリドン55mlに溶解させ、40℃で攪拌しながら、水酸化ナトリウム2.87g(71.7ミリモル)を水20mlに溶解させた水溶液を反応液へ滴下し、2.5時間40℃で加熱攪拌した。抽出液を硫酸マグネシウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。その後、塩酸水溶液500ml中へ反応液を注ぎ、酢酸エチル200mlで抽出し、抽出液を硫酸マグネシウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。残渣をメタノール100mlにて分散洗浄し、結晶をろ過し、メタノール10mlで洗浄して乾燥した。このようにして、中間体10を9.5g(収率:91.3%)得た。
上記のようにして得た5.04g(9.19ミリモル)の中間体3を、無水酢酸10ml及びジフルオロ酢酸10mlの混合溶液に分散し、室温下で攪拌しながら、上記より得た中間体10を5.61g(9.19ミリモル)を加え、室温下で1時間攪拌した。その後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液500ml中に反応液を滴下し、酢酸エチル250mlで抽出した。抽出液を硫酸ナトリウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。その後、酢酸エチル60mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、酢酸エチル10mlで洗浄して乾燥した。このようにして、中間体11を3.01g(収率:33.9%)得た。
上記のようにして得た5.61g(9.19ミリモル)の中間体6を、無水酢酸10ml及びジフルオロ酢酸10mlの混合溶液に分散し、室温下で攪拌しながら、上記より得た中間体10を4g(9.19ミリモル)を加え、室温下で1時間攪拌した。その後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液500ml中に反応液を滴下し、酢酸エチル250mlで抽出した。抽出液を硫酸ナトリウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。その後、酢酸エチル60mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、酢酸エチル10mlで洗浄して乾燥した。このようにして、中間体12を3.97g(収率:42.1%)得た。
上記の方法で得た9.05g(20ミリモル)の中間体2と5.19g(35ミリモル)のオルト蟻酸トリメチルとを、無水酢酸10ml及びジフルオロ酢酸10mlの混合溶液に分散し、室温下で1時間攪拌した。その後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液500ml中に反応液を滴下し、酢酸エチル250mlで抽出した。この抽出液を硫酸マグネシウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。その後、カラムクロマトグラフィーにて生成し、メタノール80mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄して乾燥した。このようにして、中間体13を5.31g(収率:58%)得た。
上記の方法で得た10g(17.2ミリモル)の中間体5と5.19g(30.1ミリモル)のオルト蟻酸トリメチルとを、無水酢酸10ml及びジフルオロ酢酸10mlの混合溶液に分散し、室温下で1時間攪拌した。その後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液500ml中に反応液を滴下し、酢酸エチル250mlで抽出した。この抽出液を硫酸マグネシウムにて乾燥後、濾過し、濾液の溶媒を減圧留去した。その後、カラムクロマトグラフィーにて生成し、メタノール80mlにて分散洗浄し、結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄して乾燥した。このようにして、中間体14を4.3g(収率:42.6%)得た。
酢酸亜鉛二水和物0.93g(3.67ミリモル)をメタノール50mlに溶解させて室温下で攪拌し、その後、上記の方法で得た3.55g(3.67ミリモル)の中間体11を加え、室温下で2時間攪拌した。析出した結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄し、乾燥した。このようにして、例示化合物Ia−15を3.8g(収率:95.5%)得た。
酢酸亜鉛二水和物0.93g(3.67ミリモル)をメタノール50mlに溶解させて室温下で攪拌し、その後、上記の方法で得た3.77g(3.67ミリモル)の中間体12を加え、室温下で2時間攪拌した。析出した結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄し、乾燥した。このようにして、例示化合物Ib−15を3.8g(収率:95%)得た。
酢酸亜鉛二水和物0.55g(2.5ミリモル)をメタノール30mlに溶解させて室温下で攪拌し、その後、上記の方法で得た2.4g(2.28ミリモル)の中間体13を加え、室温下で1時間攪拌した。析出した結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄し、乾燥した。このようにして、例示化合物IIa−6を2.23g(収率:86.4%)得た。
酢酸亜鉛二水和物0.31g(1.43ミリモル)をメタノール25mlに溶解させて室温下で攪拌し、その後、上記の方法で得た1.55g(1.32ミリモル)の中間体14を加え、室温下で1時間攪拌した。析出した結晶を濾過し、メタノール10mlで洗浄し、乾燥した。このようにして、例示化合物IIb−6を1.2g(収率:72.3%)得た。
前記合成例1における反応スキームに類似する方法により、さらに下記表1に示す例示化合物(ジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体)を合成すると共に、前記合成例1と同様に同定並びに最大吸収波長λmaxとモル吸光係数εの測定を行なった。測定結果は、下記表1に示す。
1)レジスト溶液の調製
下記組成の各成分を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
<組成>
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)・・・57.8部
・バインダー・・・30.5部
(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体[モル比=60/20/20]の41%乳酸エチル(EL)溶液)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・10.2部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール)・・・0.006部
・フッ素系界面活性剤(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)・・・0.80部
・光重合開始剤・・・0.58部
(TAZ−107(トリハロメチルトリアジン系光重合開始剤)、みどり化学(株)製)
ガラス基板(コーニング1737)を0.5%NaOH水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク(200℃/20分)を行なった。次いで、前記1)のレジスト溶液を洗浄したガラス基板上に膜厚2.0μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜(下塗り層)を得た。
前記1)で得られたレジスト溶液9.4gと、上記で合成した例示化合物Ia−12(一般式(4)で表される化合物;ジピロメテン系錯体化合物)0.35gとを混合し、溶解して着色レジスト溶液(感紫外線性着色硬化性組成物[ネガ型]の溶液)を調製した。
前記3)で得られた着色レジスト溶液を、前記2)で得た下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が1.0μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークし、単色のカラーフィルタを得た。
上記で調製された着色レジスト溶液の保存安定性、及び着色レジスト溶液を用いてガラス基板上に塗布された塗布膜の分光特性(透過率)、耐熱性、及び耐光性を評価した。評価結果は、下記表2に示す。
前記着色レジスト溶液を室温で1ヶ月間保存した後の異物の析出度合いを目視により観察し、下記の判定基準にしたがって評価した。
<判定基準>
○:析出は認められなかった。
△:僅かに析出が認められた。
×:析出が認められた。
上記より得たカラーフィルタの透過スペクトルを測定し、450nmの透過率を下記の判定基準にしたがって評価した。評価は、色素の最大吸収波長での透過率を2%に補正(規格化)したときの450nmの透過率について判定した。なお、透過率は、値の大きい方が青色光の透過量が多く、青色のカラーフィルタに使用可能なマゼンタ色ないしバイレット色として優れることを示す。
<判定基準>
○:450nmの透過率≧90%
△:80%≦450nmの透過率<90%
×:450nmの透過率<80%
前記3)で得た着色レジスト溶液を塗布した下塗り層付ガラス基板を、ホットプレートにより100℃で1時間加熱した後、色度計MCPD−1000(大塚電子(株)製)にて、加熱前後での色差(ΔEab)を測定し、下記判定基準にしたがって評価した。ΔEab値は、値が小さいほど耐光性が高いことを示す。
<判定基準>
○:ΔEab値<6以下
△:6≦ΔEab値≦10
×:10<ΔEab値
前記3)で得た着色レジスト溶液を塗布した下塗り層付ガラス基板に対し、キセノンランプを2万luxで10時間照射(20万lux・h相当)した後、照射前後での色差(ΔEab)を測定し、下記判定基準にしたがって評価した。ΔEab値は、値が小さいほど耐光性が高いことを示す。
<判定基準>
○:ΔEab値<6
△:6≦ΔEab値≦10
×:10<ΔEab値
実施例2の前記3)の着色レジスト溶液の調製において、着色剤として用いた例示化合物Ia−12を下記表2に示す既述の例示化合物(ジピロメテン系金属錯体化合物)にそれぞれ等モルにて置き代えたこと以外は、実施例2と同様にして、着色レジスト溶液(ネガ型)を調製し、カラーフィルタを作製すると共に、評価を行なった。評価結果は、下記表2に示す。
実施例2の前記3)の着色レジスト溶液の調製において、着色剤として用いた例示化合物Ia−12を、下記表2に示すように、米国特許出願公開第2008/0076044号明細書に記載の化合物(例示化合物I−23、例示化合物III−37、例示化合物III−55)に代えたこと以外は、実施例2と同様にして、着色レジスト溶液(ネガ型)を調製し、カラーフィルタを作製すると共に、評価を行なった。評価結果は、下記表2に示す。
また、実施例では、青色の分光特性(色分離)に優れたカラーフィルタに適した着色膜が得られ、さらに耐熱性、耐光性に優れていた。
−レジスト液の塗布・露光・現像(画像形成)−
1)下塗り層付シリコンウエハ基板の作製
6inchシリコンウエハをオーブン中にて200℃で30分間、加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、実施例2の1)で調製したレジスト溶液を乾燥膜厚1.0μmとなるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間乾燥させることにより下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハ基板を得た。
前記1)で得られた下塗り層付シリコンウエハ基板の下塗り層上に、実施例2〜37で調製した着色レジスト溶液(感紫外線性着色硬化性組成物[ネガ型]の溶液)を、塗布膜の乾燥膜厚が0.6μmになるようにそれぞれ塗布し、光硬化性の塗布層を形成した。そして、100℃のホットプレートを用いて120秒間、加熱処理(プリベーク)を行なった。次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長光を、パターンが1.2μm四方のアイランドパターンマスクを通して100〜2500mJ/cm2の範囲で露光量を100mJ/cm2ずつ変化させて照射した。その後、照射された塗布層が形成されているシリコンウエハ基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型;(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に置き、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハ基板に青色の着色パターンを形成した。
1)感紫外線性着色硬化性組成物[ポジ型]の調製
下記組成の成分を混合して溶解し、感紫外線性着色硬化性組成物[ポジ型]を得た。
<組成>
・乳酸エチル(EL)・・・30部
・下記樹脂P−1・・・3.0部
・下記ナフトキノンジアジド化合物N−1・・・1.8部
・架橋剤:ヘキサメトキシメチロール化メラミン・・・0.6部
・光酸発生剤・・・1.2部
(TAZ−107、みどり化学(株)製;トリハロメチルトリアジン系開始剤)
・フッ素系界面活性剤(F−475、大日本インキ化学工業(株)製)・・・0.0005部
・上記で合成した例示化合物Ia−12(一般式(4)で表されるジピロメテン系錯体化合物)・・・0.3部
また、実施例2と同様にしてカラーフィルタを作製し、実施例2と同様に分光特性(透過率)を評価した。その結果、透過率に優れ、色分離に優れた青色のカラーフィルタが得られた。
〜樹脂P−1の合成〜
ベンジルメタクリレート70.0g、メタクリル酸13.0g、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル17.0g、及び2−メトキシプロパノール600gを三口フラスコに仕込み、これに攪拌装置、還流冷却管、及び温度計を取り付け、窒素気流下65℃にて重合開始剤V−65(和光純薬工業(株)製)を触媒量添加して10時間攪拌した。得られた樹脂溶液を20L(リットル)のイオン交換水に激しく攪拌しながら滴下し、白色粉体を得た。この白色粉体を40℃で24時間真空乾燥させ、145gの樹脂P−1を得た。
得られた樹脂P−1の分子量をGPCにて測定したところ、重量平均分子量Mw=28,000、数平均分子量Mn=11,000であった。
Trisp−PA(本州化学(株)製)42.45g、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホニルクロリド61.80g、及びアセトン300mlを三口フラスコに仕込み、これに室温下、トリエチルアミン24.44gを1時間かけて滴下した。滴下終了後、更に2時間攪拌した後、反応液を大量の水に攪拌しながら注いだ。沈殿したナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを、吸引濾過により集め、40℃で24時間真空乾燥させ、ナフトキノンジアジド化合物N−1を得た。
Claims (6)
- 下記一般式(4)又は一般式(5)で表されるジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体より選択される少なくとも一種と、重合性モノマーと、光重合開始剤と、を含有する着色硬化性組成物。
〔一般式(4)中、R f は各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、R g は各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。R 2 、R 3 、R 4 、R 5 、及びR 7 は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R 2 又はR 5 の少なくとも一方は、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基を表す。Maは、Zn、Co、V=O、又はCuを表し、X 1 は、NY(Yは水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。)、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子を表す。R 16 は、NR(Rは水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。)、又は炭素原子を表し、R 8 は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、又はヘテロ環アミノ基を表す。R 16 とR 8 とは、互いに結合して5員、6員、又は7員の環を形成していてもよい。X 2 は、Maの電荷を中和するために必要な基を表し、bは0、1、又は2を表す。〕
〔一般式(5)中、R f は各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、R g は各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。R 2 、R 3 、R 4 、R 5 、及びR 7 は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R 2 又はR 5 の少なくとも一方は、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基を表す。Maは、Zn、Co、V=O、又はCuを表し、X 2 は、Maの電荷を中和するために必要な基を表し、bは0、1、又は2を表す。〕 - 前記Maが、Znであることを特徴とする請求項1に記載の着色硬化性組成物。
- 下記一般式(6)又は一般式(7)で表される含フッ素ジピロメテン系化合物又はその互変異性体。
〔一般式(6)中、Rfは各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、Rgは各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。R2、R3、R4、R5、及びR7は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R 2 又はR 5 の少なくとも一方は、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基を表す。X1は、NY(Yは水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。)、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子を表す。R16は、NR(Rは水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。)、又は炭素原子を表し、R8は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、又はヘテロ環アミノ基を表す。R16とR8とは、互いに結合して5員、6員、又は7員の環を形成していてもよい。〕
〔一般式(7)中、Rfは各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、Rgは各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。R2、R3、R4、R5、及びR7は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R 2 又はR 5 の少なくとも一方は、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基を表す。〕 - 下記一般式(4)又は一般式(5)で表される含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体。
〔一般式(4)中、Rfは各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、Rgは各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。R2、R3、R4、R5、及びR7は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R 2 又はR 5 の少なくとも一方は、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基を表す。Maは、Zn、Co、V=O、又はCuを表し、X1は、NY(Yは水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。)、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子を表す。R16は、NR(Rは水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アルキルスルホニル基、又はアリールスルホニル基を表す。)、又は炭素原子を表し、R8は水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、又はヘテロ環アミノ基を表す。R16とR8とは、互いに結合して5員、6員、又は7員の環を形成していてもよい。X2は、Maの電荷を中和するために必要な基を表し、bは0、1、又は2を表す。〕
〔一般式(5)中、Rfは各々独立に、フッ素原子、炭素数1〜4の含フッ素アルキル基、含フッ素アリール基、炭素数1〜4の含フッ素アルコキシ基、炭素数1〜4の含フッ素アルキルスルホンアミド基、又は含フッ素アリールスルホンアミド基を表し、mは1〜5の整数を表し、Rgは各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、nは0〜4の整数を表す。R2、R3、R4、R5、及びR7は、各々独立に、水素原子又は置換基を表し、R 2 又はR 5 の少なくとも一方は、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルシクロヘキシルオキシカルボニル基を表す。Maは、Zn、Co、V=O、又はCuを表し、X2は、Maの電荷を中和するために必要な基を表し、bは0、1、又は2を表す。〕 - 請求項1又は請求項2に記載の着色硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタ。
- 請求項1又は請求項2に記載の着色硬化性組成物を塗布し、塗布形成された塗布層をマスクを介して露光し、現像してパターン像を形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法。
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