JP4707557B2 - 試験装置、補正値管理方法、及びプログラム - Google Patents

Description

本発明は、試験装置、補正値管理方法、及びプログラムに関する。特に本発明は、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は被試験デバイスに対する試験信号の電圧レベルをテストモジュール毎に補正することにより、被試験デバイスを精度よく試験する試験装置に関する。

従来の試験装置では、被試験デバイスの試験に先立って、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミングを発生するタイミング発生器、被試験デバイスに対して試験信号のやり取りを行うドライバやコンパレータ等のキャリブレーションを行い、被試験デバイスの試験における測定精度の向上を図っている。現時点で先行技術文献の存在を認識していないので、先行技術文献に関する記載を省略する。

従来の試験装置において、テストモジュールは、タイミング発生器、ドライバ、コンパレータ等のキャリブレーションデータを揮発性メモリに保持して試験を行っている。そのため、試験装置の電源が切られると、テストモジュールからキャリブレーションデータが失われる。したがって、試験装置のユーザは、再度試験を行う際に適切なキャリブレーションデータを人為的に選択して抽出し、テストモジュールに供給して保持させる。このような方法では、キャリブレーションデータの選択において人為的なミスが発生する可能性があり、被試験デバイスの試験を精度よく行えない場合がある。

そこで本発明は、上記の課題を解決することができる試験装置、補正値管理方法、及びプログラムを提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

本発明の第１の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は被試験デバイスに対する試験信号の電圧レベルを補正する補正部、補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、及びテストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールと、テストモジュール識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報で識別されるテストモジュールが有する補正値保持部が保持すべき補正値を格納する補正値データベースと、識別情報格納部が格納するテストモジュール識別情報に対応づけて補正値データベースが格納する補正値を抽出して、補正値保持部に保持させる制御手段とを備える。

テストモジュールは、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミングを発生するタイミング発生部をさらに有し、補正値保持部は、予め定められたタイミングを示すタイミングデータを保持するタイミング設定メモリ、及びタイミング発生部に予め定められたタイミングで試験信号を供給させるべく、タイミングデータを校正するタイミングキャリブレーションデータを保持するタイミング校正メモリを含み、補正部は、補正値としてのタイミングデータ及びタイミングキャリブレーションデータに基づいて、タイミング発生部が発生するタイミングを補正するタイミング補正部を含んでもよい。

テストモジュールは、被試験デバイスに試験信号を受け渡すドライバ、又は試験デバイスからの出力信号を受け取るコンパレータをさらに有し、補正値保持部は、予め定められた設定電圧を示すレベルデータを保持するレベル設定メモリ、及びドライバ又はコンパレータを予め定められた設定電圧で動作させるべく、レベルデータを校正するレベルキャリブレーションデータを保持するレベル校正メモリを含み、補正部は、補正値としてのレベルデータ及びレベルキャリブレーションデータに基づいて、ドライバ又はコンパレータの設定電圧を補正するレベル補正部を含んでもよい。

識別情報格納部は、試験装置の識別情報である試験装置識別情報をさらに格納し、補正値データベースは、テストモジュール識別情報及び試験装置識別情報に対応づけて、補正値を格納し、制御手段は、識別情報格納部が格納するテストモジュール識別情報及び試験装置識別情報に対応づけて補正値データベースが格納する補正値を抽出して、補正値保持部に保持させてもよい。

補正部、補正値保持部、及び識別情報格納部が設けられたテストボードを着脱可能に保持する複数のスロットをさらに備え、識別情報格納部は、テストボードが保持されているスロットの識別情報であるスロット識別情報をさらに格納し、補正値データベースは、テストモジュール識別情報及びスロット識別情報に対応づけて、補正値を格納し、制御手段は、識別情報格納部が格納するスロット識別情報及び試験装置識別情報に対応づけて補正値データベースが格納する補正値を抽出して、補正値保持部に保持させてもよい。

識別情報格納部は、補正値保持部が保持すべき補正値の生成においてエラーが発生したか否かを示すエラーフラグをさらに格納し、制御手段は、識別情報格納部が格納するテストモジュール識別情報に基づいて補正値データベースから補正値を抽出する際に、識別情報格納部が補正値の生成においてエラーが発生したことを示すエラーフラグを格納している場合、新たな補正値を生成してもよい。

識別情報格納部は、補正値保持部が保持すべき補正値が生成された生成日時をさらに格納し、制御手段は、識別情報格納部が格納するテストモジュール識別情報に基づいて補正値データベースから補正値を抽出する際に、生成日時から所定期間経過している場合、新たな補正値を生成してもよい。制御手段は、識別情報格納部が格納するテストモジュール識別情報に対応する補正値を補正値データベースが格納していない場合、新たな補正値を生成してもよい。補正値保持部は、揮発性メモリであり、識別情報格納部は、不揮発揮発性メモリであってもよい。

また、本発明の第２の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置において、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は被試験デバイスに対する試験信号の電圧レベルを補正するための補正値を管理する補正値管理方法であって、タイミング又は電圧レベルを補正する補正部、補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、及びテストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールから、識別情報格納部が格納しているテストモジュール識別情報を抽出する識別情報抽出段階と、テストモジュール識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報で識別されるテストモジュールが有する補正値保持部が保持すべき補正値を格納する補正値データベースから、識別情報取得段階において取得したテストモジュール識別情報に対応づけて格納されている補正値を抽出する補正値抽出段階と、補正値抽出段階において抽出した補正値を補正値保持部が保持する補正値保持段階と、補正値保持部が保持している補正値を用いて補正部が試験信号を補正する試験信号補正段階とを備える。

補正値保持部が保持すべき補正値を生成する補正値生成段階と、補正値生成段階において生成した補正値を、補正値保持部を有するテストモジュールのテストモジュール識別情報に対応づけて補正値データベースに格納する補正値格納段階と、テストモジュール識別情報で識別されるテストモジュールが有する識別情報格納部にテストモジュール識別情報を格納する識別情報格納段階とをさらに備えてもよい。

また、本発明の第３の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置において、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は被試験デバイスに対する試験信号の電圧レベルの補正を制御する制御手段用のプログラムであって、制御手段を、タイミング又は電圧レベルを補正する補正部、補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、及びテストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールから、識別情報格納部が格納しているテストモジュール識別情報を抽出する識別情報抽出手段、テストモジュール識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報で識別されるテストモジュールが有する補正値保持部が保持すべき補正値を格納する補正値データベースから、識別情報取得手段によって取得したテストモジュール識別情報に対応づけて格納されている補正値を抽出する補正値抽出手段、補正値抽出手段によって抽出した補正値を補正値保持部に保持させる補正値保持手段、補正値保持部が保持している補正値を用いて補正部に試験信号を補正させる試験信号補正手段として機能させる。

なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。

本発明によれば、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミングや、被試験デバイスに対する試験信号の電圧レベルを適切に補正することにより、高い測定精度を維持して被試験デバイスを正確に試験する試験装置を提供できる。

試験装置１００の全体構成の一例を示す図である。 テストモジュール１４６の機能構成の一例を示す図である。 識別情報格納部２３０のデータ構成の一例を示す図である。 データベース１２０のデータ構成の一例を示す図である。 キャリブレーションデータ４１０の生成処理の一例を示す図である。 キャリブレーションデータ４１０の抽出処理の一例を示す図である。 システム制御装置１１０のハードウェア構成の一例を示す図である。

符号の説明

１００ 試験装置
１１０ システム制御装置
１２０ データベース
１３０ 通信ネットワーク
１４０ サイトユニット
１４２ サイト制御装置
１４４ バス
１４６ テストモジュール
１５０ ＤＵＴ
２００ テストボード
２０２ パターン発生部
２０４ 周期発生部
２０６ タイミング発生部
２０８ 波形整形部
２１０ ドライバ
２１２ コンパレータ
２１４ 論理比較部
２１６ タイミング設定メモリ
２１８ タイミング校正メモリ
２２０ タイミング補正部
２２２ レベル設定メモリ
２２４ レベル校正メモリ
２２６ レベル補正部
２２８ 電圧増幅部
２３０ 識別情報格納部
２３２ スロット
３００ システムＩＤ
３０２ ボードＩＤ
３０４ スロットＩＤ
３０６ キャリブレーションフラグ
３０８ キャリブレーション日時
４００ キャリブレーションファイル
４０２ システムＩＤ
４０４ ボードＩＤ
４０６ スロットＩＤ
４０８ キャリブレーション日時
４１０ キャリブレーションデータ

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本発明の一実施形態に係る試験装置１００の全体構成の一例を示す。試験装置１００は、オープンアーキテクチャにより実現され、ＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：被試験デバイス）１５０に試験信号を供給するテストモジュール１４６として、オープンアーキテクチャに基づくモジュールが用いられる。テストモジュール１４６は、試験信号を生成してＤＵＴ１５０に供給し、ＤＵＴ１５０が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号を期待値と比較し、ＤＵＴ１５０の良否を判断する。本実施形態に係る試験装置１００では、テストモジュール１４６が格納する各種情報に基づいて、テストモジュール１４６が試験信号の生成又は比較において用いるキャリブレーションデータをデータベース１２０から自動的に選択して抽出することにより、適切なキャリブレーションデータを用いてＤＵＴ１５０の試験を精度よく行うことを目的とする。

試験装置１００は、システム制御装置１１０、データベース１２０、通信ネットワーク１３０、及び複数のサイトユニット１４０を備える。システム制御装置１１０は、通信ネットワーク１３０を介してデータベース１２０及び複数のサイトユニット１４０と通信する。なお、データベース１２０は、本発明の補正値データベースの一例であり、システム制御装置１１０に直接接続された、又はシステム制御装置１１０に内蔵されたハードディスクであってもよい。また、サイトユニット１４０は、サイト制御装置１４２、複数のバス１４４、及び複数のテストモジュール１４６を有する。複数のバス１４４は、複数のテストモジュール１４６のそれぞれに対応して設けられており、サイト制御装置１４２は、複数のバス１４４のそれぞれを介して複数のテストモジュール１４６のそれぞれと通信する。

システム制御装置１１０は、データベース１２０が格納する試験プログラム及び試験データ、並びにキャリブレーションプログラム及びキャリブレーションデータに基づいて、複数のサイトユニット１４０による試験シーケンス並びにキャリブレーションシーケンスを制御する。サイト制御装置１４２は、システム制御装置１１０の制御に基づいて、複数のテストモジュール１４６の試験シーケンス並びにキャリブレーションシーケンスを制御する。

システム制御装置１１０は、ＤＵＴ１５０の試験に先立ち、キャリブレーションプログラムを実行することにより、テストモジュール１４６のキャリブレーションを実行させる。そして、データベース１２０は、キャリブレーションにより得られたキャリブレーションデータを各種情報とともに格納する。その後、システム制御装置１１０は、試験プログラムを実行することにより、各種情報に基づいてデータベース１２０が格納するキャリブレーションデータを選択して抽出し、サイト制御装置１４２を介してテストモジュール１４６に供給して保持させる。

サイト制御装置１４２は、システム制御装置１１０を介してデータベース１２０から試験データを取得し、ＤＵＴ１５０の試験に用いるテストモジュール１４６に格納する。そして、サイト制御装置１４２は、試験プログラム及び試験データに基づく試験の開始をテストモジュール１４６に指示する。そして、サイト制御装置１４２は、試験が終了したことを示す割込み等を例えばテストモジュール１４６から受信し、試験結果に基づいて次の試験を各モジュールに行わせる。複数のサイト制御装置１４２は、複数のＤＵＴ１５０のそれぞれの試験結果に応じて複数のテストモジュール１４６を制御し、複数のＤＵＴ１５０に対して異なる試験シーケンスを並行して実行してもよい。

複数のテストモジュール１４６は、ＤＵＴ１５０が有する複数の端子の一部ずつにそれぞれ接続され、試験プログラム及び試験データに基づいてＤＵＴ１５０の試験を行う。ＤＵＴ１５０の試験において、テストモジュール１４６は、試験プログラムにより定められた試験シーケンスに基づいて試験データから試験信号を生成し、テストモジュール１４６のそれぞれに接続されたＤＵＴ１５０の端子に試験信号を供給する。そして、ＤＵＴ１５０が試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号を取得して期待値と比較し、比較結果を格納する。このとき、テストモジュール１４６は、システム制御装置１１０から供給されたキャリブレーションデータを用いることにより、試験信号の生成又は比較における測定精度を向上させる。

本実施形態に係る試験装置１００によれば、テストモジュール１４６のキャリブレーションデータを各種情報を用いて管理することにより、当該テストモジュール１４６による試験が実行される場合に、当該テストモジュール１４６に適切なキャリブレーションデータを自動的に供給して、当該キャリブレーションデータを用いて試験を行うことができる。そのため、キャリブレーションデータの選択における人為的なミスの発生を防止することができるので、試験における測定精度を向上でき、正確にＤＵＴ１５０の試験を行うことができる。

なお、本実施形態において、システム制御装置１１０及びサイト制御装置１４２が、本発明の制御手段として機能する例を用いて説明するが、他の例においては、複数のテストモジュール１４６のそれぞれがモジュール制御装置を有してもよい。そして、システム制御装置１１０、サイト制御装置１４２、及びモジュール制御装置が分担又は協同して、本発明の制御手段として機能してもよいし、システム制御装置１１０、サイト制御装置１４２、及びモジュール制御装置のうちの一部が、本発明の制御手段として機能してもよい。

図２は、本実施形態に係るテストモジュール１４６の機能構成の一例を示す。テストモジュール１４６は、テストボード２００、パターン発生部２０２、周期発生部２０４、タイミング発生部２０６、波形整形部２０８、ドライバ２１０、コンパレータ２１２、論理比較部２１４、タイミング設定メモリ２１６、タイミング校正メモリ２１８、タイミング補正部２２０、レベル設定メモリ２２２、レベル校正メモリ２２４、レベル補正部２２６、電圧増幅部２２８、識別情報格納部２３０、及びスロット２３２を有する。

スロット２３２は、テストボード２００を着脱可能に保持し、テストボード２００とバス１４４との通信を中継する。テストボード２００には、パターン発生部２０２、周期発生部２０４、タイミング発生部２０６、波形整形部２０８、ドライバ２１０、コンパレータ２１２、論理比較部２１４、タイミング設定メモリ２１６、タイミング校正メモリ２１８、タイミング補正部２２０、レベル設定メモリ２２２、レベル校正メモリ２２４、レベル補正部２２６、電圧増幅部２２８、及び識別情報格納部２３０が設けられる。

なお、タイミング補正部２２０及びレベル補正部２２６は、本発明の補正部の一例であり、ＤＵＴ１５０に供給する試験信号の特性又はＤＵＴ１５０から出力される出力信号を測定する測定部の特性を補正する。また、他の例において、テストモジュール１４６がアナログモジュールである場合には、本発明の補正部は、ＤＵＴ１５０から出力される出力信号をフィルタリングするフィルタの透過周波数帯域を補正するフィルタ周波数補正部であってもよい。

また、タイミング設定メモリ２１６、タイミング校正メモリ２１８、レベル設定メモリ２２２、及びレベル校正メモリ２２４は、揮発性メモリであり、本発明の補正値保持部の一例である。また、識別情報格納部２３０は、不揮発性メモリである。また、コンパレータ２１２は、本発明の測定部の一例である。

まず、ＤＵＴ１５０の試験に先立ち、タイミング設定メモリ２１６は、タイミング補正部２２０による補正に用いられる、予め定められたタイミングを示すタイミングデータを保持する。タイミングデータは、タイミング発生部２０６の特性のばらつきを是正するために用いられ、システム制御装置１１０がデバイスプログラムを実行することにより、タイミング発生部２０６に対応した値が設定される。また、タイミング校正メモリ２１８は、タイミング発生部２０６に予め定められたタイミングで試験信号を供給させるべく、タイミング設定メモリ２１６が保持するタイミングデータを校正するタイミングキャリブレーションデータを保持する。タイミングキャリブレーションデータは、タイミング発生部２０６のタイミングキャリブレーションが実行されることにより得られ、システム制御装置１１０によってデータベース１２０から抽出されてタイミング校正メモリ２１８に設定される。なお、タイミングデータ及びタイミングキャリブレーションデータは、本発明の補正値の一例である。

また、ＤＵＴ１５０の試験に先立ち、レベル設定メモリ２２２は、レベル補正部２２６による補正に用いられる、予め定められた設定電圧を示すレベルデータを保持する。レベルデータは、ドライバ２１０及びコンパレータ２１２の特性のばらつきを是正するために用いられ、システム制御装置１１０がデバイスプログラムを実行することにより、ドライバ２１０及びコンパレータ２１２に対応した値が設定される。また、レベル校正メモリ２２４は、ドライバ２１０及びコンパレータ２１２を予め定められた設定電圧で動作させるべく、レベル設定メモリ２２２が保持するレベルデータを校正するレベルキャリブレーションデータを保持する。レベルキャリブレーションデータは、ドライバ２１０及びコンパレータ２１２のレベルキャリブレーションが実行されることにより得られ、システム制御装置１１０によってデータベース１２０から抽出されてレベル校正メモリ２２４に設定される。なお、レベルデータ及びレベルキャリブレーションデータは、本発明の補正値の一例である。

識別情報格納部２３０は、試験装置１００の識別情報であるシステムＩＤ、テストボード２００の識別情報であるボードＩＤ、テストボード２００を保持するスロット２３２の識別情報であるスロットＩＤ等を格納しており、システム制御装置１１０が当該システムＩＤ、当該ボードＩＤ、及びスロットＩＤに基づいてデータベース１２０から選択して抽出したタイミングキャリブレーションデータ及びレベルキャリブレーションデータがタイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４にそれぞれ設定される。他の実施形態として、識別情報格納部２３０は、タイミングキャリブレーションデータ及びレベルキャリブレーションデータを格納しており、ＤＵＴ１５０の試験に先立ち、タイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４にそれぞれ設定してもよい。

ＤＵＴ１５０の試験が開始されると、パターン発生部２０２は、システム制御装置１１０から取得した試験データに基づいて、ＤＵＴ１５０に供給する試験信号を発生し、波形整形部２０８及び論理比較部２１４に供給する。また、周期発生部２０４は、基準周期を発生し、タイミング発生部２０６に供給する。タイミング発生部２０６は、周期発生部２０４が発生した基準周期に基づいて、ＤＵＴ１５０に試験信号を供給するタイミング、及びＤＵＴ１５０からの出力信号を比較するタイミングを発生し、波形整形部２０８及び論理比較部２１４に供給する。このとき、タイミング補正部２２０は、タイミング設定メモリ２１６が保持するタイミングデータ、及びタイミング校正メモリ２１８が保持するタイミングキャリブレーションデータに基づいて、タイミング発生部２０６が発生するタイミング、即ちＤＵＴ１５０に試験信号を供給するタイミング及び試験信号を比較するタイミングを補正する。

波形整形部２０８は、パターン発生部２０２が発生した試験信号をＤＵＴ１５０への印加波形に整形し、タイミング発生部２０６が発生したタイミングで出力する。ドライバ２１０は、波形整形部２０８によって印加波形に整形された試験信号を、電圧増幅部２２８から供給された所定の設定電圧に増幅してＤＵＴ１５０に受け渡す。また、コンパレータ２１２は、ドライバ２１０から受け渡された試験信号に対応するＤＵＴ１５０からの出力信号を受け取り、電圧増幅部２２８から供給された所定の閾値電圧と比較して比較結果を論理比較部２１４に出力する。このとき、レベル補正部２２６は、レベル設定メモリ２２２が保持するレベルデータ、及びレベル校正メモリ２２４が保持するレベルキャリブレーションデータに基づいて、電圧増幅部２２８がドライバ２１０及びコンパレータ２１２に供給する閾値電圧の電圧レベルを補正する。

論理比較部２１４は、パターン発生部２０２から供給された試験信号とコンパレータ２１２から供給された比較結果とを、タイミング発生部２０６から供給されたタイミングで比較する。そして、論理比較部２１４は、試験信号と出力信号との比較結果を順次フェイルメモリに格納する。そして、システム制御装置１１０は、試験シーケンスの終了後、フェイルメモリに格納された比較結果を解析し、ＤＵＴ１５０の良否判定を行う。

本実施形態に係る試験装置１００によれば、システム制御装置１１０が、テストモジュール１４６の識別情報格納部２３０が格納する各種情報に基づいて、タイミング補正部２２０及びレベル補正部２２６が用いるキャリブレーションデータをデータベース１２０から自動的に抽出して供給し、タイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４に保持させるので、キャリブレーションデータを誤って設定することを防ぐことができる。そのため、適切なキャリブレーションデータを用いてＤＵＴ１５０の試験を精度よく行うことができる。

図３は、本実施形態に係る識別情報格納部２３０のデータ構成の一例を示す。識別情報格納部２３０は、システムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、キャリブレーションフラグ３０６、及びキャリブレーション日時３０８を格納する。システムＩＤ３００は、試験装置１００の識別情報である試験装置識別情報の一例であり、図１に示した試験装置１００毎にユニークに割り当てられた識別情報である。ボードＩＤ３０２は、テストモジュール１４６の識別情報であるテストモジュール識別情報の一例であり、試験装置１００内においてテストボード２００毎にユニークに割り当てられた識別情報である。スロットＩＤ３０４は、テストボード２００が保持されているスロット２３２の識別情報であるスロット識別情報の一例であり、システム制御装置１１０によって、バス１４４の識別情報を用いてテストボード２００が保持されているスロット２３２が判別され、試験装置１００内においてスロット２３２毎にユニークに割り当てられる。

また、キャリブレーションフラグ３０６は、本発明のエラーフラグの一例であり、タイミング発生部２０６のタイミングキャリブレーション、又はドライバ２１０若しくはコンパレータ２１２のレベルキャリブレーションにおいて、タイミング校正メモリ２１８が保持すべきタイミングキャリブレーションデータ、又はレベル校正メモリ２２４が保持すべきレベルキャリブレーションデータの生成においてエラーが発生したか否かを示す。キャリブレーション日時３０８は、本発明の生成日時の一例であり、タイミング校正メモリ２１８が保持すべきタイミングキャリブレーションデータ、及びレベル校正メモリ２２４が保持すべきレベルキャリブレーションデータが生成された日時を示す。

本実施形態に係る試験装置１００によれば、不揮発性メモリである識別情報格納部２３０が上記のような各種情報を格納することにより、試験装置１００の電源が切られた場合であっても各種情報を保持しておくことができる。そのため、試験装置１００の電源を再度投入した場合に、識別情報格納部２３０が格納している各種情報に基づいて、キャリブレーションデータをデータベース１２０から自動的に抽出することができ、適切なキャリブレーションデータを用いてＤＵＴ１５０の試験を精度よく行うことができる。

図４は、本実施形態に係るデータベース１２０のデータ構成の一例を示す。データベース１２０は、システムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、キャリブレーション日時４０８、及びキャリブレーションデータ４１０が互いに対応づけられた、複数のキャリブレーションファイル４００を格納する。データベース１２０は、複数の試験装置１００がそれぞれ有する複数のテストモジュール１４６についてのキャリブレーションファイル４００を格納する。

システムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８のそれぞれは、図３に示したシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、キャリブレーションフラグ３０６、及びキャリブレーション日時３０８と同様の内容を示す情報である。キャリブレーションデータ４１０は、システムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、及びスロットＩＤ３０４で識別されるテストモジュール１４６が有するタイミング校正メモリ２１８が保持すべきタイミングキャリブレーションデータ、及びレベル校正メモリ２２４が保持すべきレベルキャリブレーションデータを含む。

本実施形態に係る試験装置１００によれば、上述のような各種情報に基づいて、自動的にキャリブレーションデータ４１０を選択して抽出するので、テストボード２００が所望の試験装置１００と異なる試験装置１００に誤って挿入された場合や、所望のスロット２３２と異なるスロット２３２に誤って挿入された場合であっても、タイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４が保持すべきキャリブレーションデータ４１０と異なるキャリブレーションデータ４１０を保持させることを防ぐことができる。

図５は、本実施形態に係るキャリブレーションデータ４１０の生成処理の一例を示す。図５に示すキャリブレーションデータ４１０の生成処理は、本発明の補正値管理方法の一部である。まず、システム制御装置１１０は、キャリブレーションプログラムを実行することにより、ドライバ２１０及びコンパレータ２１２の設定電圧を校正するためのレベルキャリブレーションを実行し、レベルキャリブレーションデータを生成する（Ｓ５００）。そして、レベルキャリブレーションにおいてエラーが発生することなく、レベルキャリブレーションデータの生成に成功した場合（Ｓ５１０：ＹＥＳ）、システム制御装置１１０は、タイミング発生部２０６が発生するタイミングを校正するためのタイミングキャリブレーションを実行し、タイミングキャリブレーションデータを生成する（Ｓ５２０）。

そして、タイミングキャリブレーションにおいてエラーが発生することなく、タイミングキャリブレーションデータの生成に成功した場合（Ｓ５３０：ＹＥＳ）、システム制御装置１１０は、レベルキャリブレーション及びタイミングキャリブレーションにおいて取得した各種情報に基づいてキャリブレーションファイル４００を作成してデータベース１２０に格納する（Ｓ５４０）。具体的には、システム制御装置１１０は、キャリブレーションを実行したテストモジュール１４６のボードＩＤ４０４、当該テストモジュール１４６を含む試験装置１００のシステムＩＤ４０２、当該テストモジュール１４６のテストボード２００を保持するスロット２３２のスロットＩＤ４０６、及びキャリブレーションを実行した日時を示すキャリブレーション日時３０８を示すキャリブレーションデータ４１０を互いに対応づけたキャリブレーションファイル４００を生成してデータベース１２０に格納する。

また、システム制御装置１１０は、Ｓ５４０においてデータベース１２０に格納したキャリブレーションファイル４００の、システムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８と同一の内容を示すシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、及びキャリブレーション日時３０８、並びにキャリブレーションが正常に終了したことを示すキャリブレーションフラグ３０６を、当該ボードＩＤ３０２で識別されるテストモジュール１４６が有する識別情報格納部２３０に格納する（Ｓ５５０）。

一方、レベルキャリブレーションにおいてエラーが発生し、レベルキャリブレーションデータの生成に失敗した場合（Ｓ５１０：ＮＯ）、また、タイミングキャリブレーションにおいてエラーが発生し、タイミングキャリブレーションデータの生成に失敗した場合（Ｓ５３０：ＮＯ）、システム制御装置１１０は、表示装置にエラーメッセージを表示することにより、キャリブレーションが正常に終了しなかったことをユーザに通知する（Ｓ５６０）。そして、システム制御装置１１０は、キャリブレーションが正常に行われず、キャリブレーションデータ４１０の生成においてエラーが発生したことを示すキャリブレーションフラグ３０６を識別情報格納部２３０に格納する（Ｓ５７０）。

以上のように、各種情報をデータベース１２０と識別情報格納部２３０とに格納しておくことにより、図６に示すキャリブレーションデータ４１０の抽出処理において、テストモジュール１４６に適切なキャリブレーションデータ４１０をデータベース１２０から選択して抽出することができる。また、識別情報格納部２３０がキャリブレーションフラグ３０６を格納し、適切なキャリブレーションデータ４１０が存在するか否かを明確に記録しておくことにより、不適切なキャリブレーションデータ４１０が誤って用いられることを防ぐことができる。

図６は、本実施形態に係るキャリブレーションデータ４１０の抽出処理の一例を示す。図６に示すキャリブレーションデータ４１０の抽出処理は、本発明の補正値管理方法の一部である。まず、システム制御装置１１０は、識別情報格納部２３０から各種情報を抽出する（Ｓ６００）。具体的には、システム制御装置１１０は、システムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、キャリブレーションフラグ３０６、及びキャリブレーション日時３０８を抽出する。そして、システム制御装置１１０は、識別情報格納部２３０から抽出したキャリブレーションフラグ３０６に基づいて、キャリブレーションデータ４１０の生成においてエラーが発生したか否かを判断する（Ｓ６１０）。そして、キャリブレーションが正常に終了したことをキャリブレーションフラグ３０６が示す場合（Ｓ６１０：ＮＯ）、システム制御装置１１０は、識別情報格納部２３０から抽出したキャリブレーション日時３０８に基づいて、キャリブレーションデータ４１０が未だ有効か否かを判断する（Ｓ６２０）。

システム制御装置１１０は、キャリブレーション日時３０８を現在日時と比較して、キャリブレーション日時３０８から予め定められた所定の期間が未だ経過していない場合（Ｓ６２０：ＮＯ）、キャリブレーションデータ４１０が有効であると判断し、識別情報格納部２３０から抽出した各種情報に基づいて、キャリブレーションファイル４００を選択し、キャリブレーションデータ４１０をデータベース１２０から抽出する（Ｓ６３０）。具体的には、システム制御装置１１０は、識別情報格納部２３０から抽出したシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、及びキャリブレーション日時３０８と同一の内容を示すシステムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８を含むキャリブレーションファイル４００を選択する。そして、システムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８に対応づけてデータベース１２０が格納するキャリブレーションデータ４１０を抽出する。

Ｓ６３０において、識別情報格納部２３０から抽出したシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、及びキャリブレーション日時３０８と同一の内容を示すシステムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８を含むキャリブレーションファイル４００がデータベース１２０に存在し、所望のキャリブレーションデータ４１０の抽出に成功した場合（Ｓ６４０：ＹＥＳ）、システム制御装置１１０は、抽出したキャリブレーションデータ４１０が含むタイミングキャリブレーションデータ及びレベルキャリブレーションデータをそれぞれタイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４に保持させる（Ｓ６５０）。

そして、テストモジュール１４６において、タイミング補正部２２０は、タイミング校正メモリ２１８に保持されたタイミングキャリブレーションデータに基づいてタイミング発生部２０６が発生するタイミングを校正する。また、レベル補正部２２６は、レベル校正メモリ２２４に保持されたレベルキャリブレーションデータに基づいて電圧増幅部２２８がドライバ２１０及びコンパレータ２１２に供給する電圧を校正する。そして、ＤＵＴ１５０の試験が実行される。

一方、キャリブレーションデータ４１０の生成においてエラーが発生したことをキャリブレーションフラグ３０６が示す場合（Ｓ６１０：ＹＥＳ）、キャリブレーション日時３０８から予め定められた所定の期間が経過している場合（Ｓ６２０：ＹＥＳ）、識別情報格納部２３０から抽出したシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、及びキャリブレーション日時３０８と同一の内容を示すシステムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８を含むキャリブレーションファイル４００をデータベース１２０が格納しておらず、所望のキャリブレーションデータ４１０の抽出に失敗した場合（Ｓ６４０：ＮＯ）、システム制御装置１１０は、表示装置にエラーメッセージを表示することにより、キャリブレーションデータ４１０が取得できなかったことをユーザに通知する（Ｓ６６０）。そして、システム制御装置１１０は、図５に示したキャリブレーションデータ４１０の生成処理を行うことにより、新たなキャリブレーションデータ４１０を生成してデータベース１２０に格納する（Ｓ６７０）。そして、図６に示したキャリブレーションデータ４１０の抽出処理を再度行うことにより、キャリブレーションデータ４１０を抽出して、キャリブレーションデータ４１０が含むタイミングキャリブレーションデータ及びレベルキャリブレーションデータをそれぞれタイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４に保持させてもよい。

以上のように、キャリブレーションデータ４１０をシステムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、キャリブレーション日時４０８等の各種情報を用いて管理することにより、テストモジュール１４６に適切なキャリブレーションデータ４１０を自動的に供給して試験を行うことができる。また、キャリブレーション日時３０８から所定の期間が経過している場合には、キャリブレーションデータ４１０を使用せず、新たなキャリブレーションデータ４１０を生成することによって、テストモジュール１４６等の劣化による測定精度の低下を抑制し、常に高い測定精度を維持してＤＵＴ１５０の試験を正確に行うことができる。

図７は、本実施形態に係るシステム制御装置１１０のハードウェア構成の一例を示す。システム制御装置１１０は、ホストコントローラ１０８２により相互に接続されるＣＰＵ１０００、ＲＡＭ１０２０、グラフィックコントローラ１０７５、及び表示装置１０８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ１０８４によりホストコントローラ１０８２に接続される通信インターフェイス１０３０、ハードディスクドライブ１０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ１０８４に接続されるＲＯＭ１０１０、フレキシブルディスクドライブ１０５０、及び入出力チップ１０７０を有するレガシー入出力部とを備える。

ホストコントローラ１０８２は、高い転送レートでＲＡＭ１０２０をアクセスするＣＰＵ１０００及びグラフィックコントローラ１０７５をＲＡＭ１０２０と接続する。ＣＰＵ１０００は、ＲＯＭ１０１０及びＲＡＭ１０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィックコントローラ１０７５は、ＣＰＵ１０００等がＲＡＭ１０２０内に設けたフレームバッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置１０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィックコントローラ１０７５は、ＣＰＵ１０００等が生成する画像データを格納するフレームバッファを、内部に含んでもよい。

入出力コントローラ１０８４は、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス１０３０、ハードディスクドライブ１０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０をホストコントローラ１０８２と接続する。通信インターフェイス１０３０は、通信ネットワーク１３０を介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ１０４０は、システム制御装置１１０が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１０２０を介して入出力チップ１０７０に提供する。

また、入出力コントローラ１０８４には、フレキシブルディスクドライブ１０５０や入出力チップ１０７０等の比較的低速な入出力装置と、ＲＯＭ１０１０とが接続される。ＲＯＭ１０１０は、システム制御装置１１０の起動時にＣＰＵ１０００が実行するブートプログラムや、システム制御装置１１０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスクドライブ１０５０は、フレキシブルディスク１０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１０２０を介して入出力チップ１０７０に提供する。入出力チップ１０７０は、フレキシブルディスク１０９０や、例えばパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して各種の入出力装置を接続する。

システム制御装置１１０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク１０９０、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、入出力チップ１０７０を介してシステム制御装置１１０にインストールされ、システム制御装置１１０において実行される。

システム制御装置１１０にインストールされて実行されるプログラムは、システム制御装置１１０を、識別情報格納部２３０が格納しているシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、キャリブレーションフラグ３０６、及びキャリブレーション日時３０８を抽出する識別情報抽出手段と、識別情報抽出手段によって取得したシステムＩＤ３００、ボードＩＤ３０２、スロットＩＤ３０４、キャリブレーションフラグ３０６、及びキャリブレーション日時３０８と同一の内容のシステムＩＤ４０２、ボードＩＤ４０４、スロットＩＤ４０６、及びキャリブレーション日時４０８に対応づけて格納されているキャリブレーションデータ４１０をデータベース１２０から抽出する補正値抽出手段と、補正値抽出手段によって抽出されたキャリブレーションデータ４１０が含むタイミングキャリブレーション及びレベルキャリブレーションデータをタイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４にそれぞれ保持させる補正値保持手段と、タイミング校正メモリ２１８及びレベル校正メモリ２２４がそれぞれ保持しているタイミングキャリブレーション及びレベルキャリブレーションデータを用いてタイミング補正部２２０及びレベル補正部２２６に試験信号を補正させる試験信号補正手段として機能させる。

以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク１０９０、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５の他に、ＤＶＤやＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、通信ネットワーク１３０を介してプログラムをシステム制御装置１１０に提供してもよい。

以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。

上記説明から明らかなように、本発明によれば、被試験デバイスに試験信号を供給するタイミングや、被試験デバイスに対する試験信号の電圧レベルを適切に補正することにより、高い測定精度を維持して被試験デバイスを正確に試験する試験装置を提供できる。

Claims (14)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   前記被試験デバイスに供給する試験信号の特性又は前記被試験デバイスから出力される出力信号を測定する測定部の特性を補正する補正部、前記補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、及びテストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールと、
   前記テストモジュール識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を格納する補正値データベースと、
   前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報に対応づけて前記補正値データベースが格納する前記補正値を抽出して、前記補正値保持部に保持させる制御手段と、
   を備え、
   前記補正部は、前記被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は前記被試験デバイスに対する前記試験信号の電圧レベルを補正し、
   前記識別情報格納部は、前記試験装置の識別情報である試験装置識別情報をさらに格納し、
   前記補正値データベースは、前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて、前記補正値を格納し、
   前記制御手段は、前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて前記補正値データベースが格納する前記補正値を抽出して、前記補正値保持部に保持させる、
   試験装置。
2. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   前記被試験デバイスに供給する試験信号の特性又は前記被試験デバイスから出力される出力信号を測定する測定部の特性を補正する補正部、前記補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、及びテストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールと、
   前記テストモジュール識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を格納する補正値データベースと、
   前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報に対応づけて前記補正値データベースが格納する前記補正値を抽出して、前記補正値保持部に保持させる制御手段と、
   前記補正部、前記補正値保持部、及び識別情報格納部が設けられたテストボードを着脱可能に保持する複数のスロットと、
   を備え、
   前記補正部は、前記被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は前記被試験デバイスに対する前記試験信号の電圧レベルを補正し、
   前記識別情報格納部は、前記テストボードが保持されているスロットの識別情報であるスロット識別情報をさらに格納し、
   前記補正値データベースは、前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報に対応づけて、前記補正値を格納し、
   前記制御手段は、前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報および前記スロット識別情報に対応づけて前記補正値データベースが格納する前記補正値を抽出して、前記補正値保持部に保持させる、
   試験装置。
3. 前記テストモジュールは、前記被試験デバイスに前記試験信号を供給するタイミングを発生するタイミング発生部をさらに有し、
   前記補正値保持部は、予め定められたタイミングを示すタイミングデータを保持するタイミング設定メモリ、及び前記タイミング発生部に前記予め定められたタイミングで前記試験信号を供給させるべく、前記タイミングデータを校正するタイミングキャリブレーションデータを保持するタイミング校正メモリを含み、
   前記補正部は、前記補正値としての前記タイミングデータ及び前記タイミングキャリブレーションデータに基づいて、前記タイミング発生部が発生するタイミングを補正するタイミング補正部を含む、
   請求項１または請求項２に記載の試験装置。
4. 前記テストモジュールは、前記被試験デバイスに前記試験信号を受け渡すドライバ、又は前記試験デバイスからの出力信号を受け取るコンパレータをさらに有し、
   前記補正値保持部は、予め定められた設定電圧を示すレベルデータを保持するレベル設定メモリ、及び前記ドライバ又は前記コンパレータを前記予め定められた設定電圧で動作させるべく、前記レベルデータを校正するレベルキャリブレーションデータを保持するレベル校正メモリを含み、
   前記補正部は、前記補正値としての前記レベルデータ及び前記レベルキャリブレーションデータに基づいて、前記ドライバ又は前記コンパレータの設定電圧を補正するレベル補正部を含む、
   請求項１から請求項３までの何れか一項に記載の試験装置。
5. 前記識別情報格納部は、前記補正値保持部が保持すべき前記補正値の生成においてエラーが発生したか否かを示すエラーフラグをさらに格納し、
   前記制御手段は、前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報に基づいて前記補正値データベースから前記補正値を抽出する際に、前記識別情報格納部が前記補正値の生成においてエラーが発生したことを示す前記エラーフラグを格納している場合、新たな前記補正値を生成する、
   請求項１から請求項４までの何れか一項に記載の試験装置。
6. 前記識別情報格納部は、前記補正値保持部が保持すべき前記補正値が生成された生成日時をさらに格納し、
   前記制御手段は、前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報に基づいて前記補正値データベースから前記補正値を抽出する際に、前記生成日時から予め定められた期間経過している場合、新たな前記補正値を生成する、
   請求項１から請求項５までの何れか一項に記載の試験装置。
7. 前記制御手段は、前記識別情報格納部が格納する前記テストモジュール識別情報に対応する前記補正値を前記補正値データベースが格納していない場合、新たな前記補正値を生成する、
   請求項１から請求項６までの何れか一項に記載の試験装置。
8. 前記補正値保持部は、揮発性メモリであり、
   前記識別情報格納部は、不揮発揮発性メモリである、
   請求項１から請求項７までの何れか一項に記載の試験装置。
9. 被試験デバイスを試験する試験装置において、前記被試験デバイスに供給する試験信号の特性又は前記被試験デバイスから出力される出力信号を測定する測定部の特性を補正するための補正値を管理する補正値管理方法であって、
   前記試験信号の特性又は前記測定部の特性を補正する補正部、前記補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、ならびに、テストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報及び前記試験装置の識別情報である試験装置識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールから、前記識別情報格納部が格納している前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報を抽出する識別情報抽出段階と、
   前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を格納する補正値データベースから、前記識別情報抽出段階において取得した前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて格納されている前記補正値を抽出する補正値抽出段階と、
   前記補正値抽出段階において抽出した前記補正値を前記補正値保持部が保持する補正値保持段階と、
   前記補正値保持部が保持している前記補正値を用いて前記補正部が前記試験信号を補正する試験信号補正段階と
   を備え、
   前記測定部の特性は、前記被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は前記被試験デバイスに対する前記試験信号の電圧レベルである、
   補正値管理方法。
10. 前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を生成する補正値生成段階と、
    前記補正値生成段階において生成した前記補正値を、前記補正値保持部を有する前記テストモジュールの前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて前記補正値データベースに格納する補正値格納段階と、
    前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記識別情報格納部に前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報を格納する識別情報格納段階と、
    をさらに備える、
    請求項９に記載の補正値管理方法。
11. 被試験デバイスを試験する試験装置において、前記被試験デバイスに供給する試験信号の特性又は前記被試験デバイスから出力される出力信号を測定する測定部の特性を補正するための補正値を管理する補正値管理方法であって、
    前記試験信号の特性又は前記測定部の特性を補正する補正部、前記補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、前記補正部および前記補正値保持部が設けられたテストボードを着脱可能に保持する複数のスロット、ならびに、テストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報及び前記テストボードが保持されているスロットの識別情報であるスロット識別情報を格納し、前記テストボードに設けられる識別情報格納部を有するテストモジュールから、前記識別情報格納部が格納している前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報を抽出する識別情報抽出段階と、
    前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を格納する補正値データベースから、前記識別情報抽出段階において取得した前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報に対応づけて格納されている前記補正値を抽出する補正値抽出段階と、
    前記補正値抽出段階において抽出した前記補正値を前記補正値保持部が保持する補正値保持段階と、
    前記補正値保持部が保持している前記補正値を用いて前記補正部が前記試験信号を補正する試験信号補正段階と、
    を備え、
    前記測定部の特性は、前記被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は前記被試験デバイスに対する前記試験信号の電圧レベルである、
    補正値管理方法。
12. 前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を生成する補正値生成段階と、
    前記補正値生成段階において生成した前記補正値を、前記補正値保持部を有する前記テストモジュールの前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報に対応づけて前記補正値データベースに格納する補正値格納段階と、
    前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記識別情報格納部に前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報を格納する識別情報格納段階と、
    をさらに備える、
    請求項１１に記載の補正値管理方法。
13. 被試験デバイスを試験する試験装置において、前記被試験デバイスに供給する試験信号の特性又は前記被試験デバイスから出力される出力信号を測定する測定部の特性の補正を制御する制御手段用のプログラムであって、
    前記制御手段を、
    前記試験信号の特性又は前記測定部の特性を補正する補正部、前記補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、ならびに、テストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報及び前記試験装置の識別情報である試験装置識別情報を格納する識別情報格納部を有するテストモジュールから、前記識別情報格納部が格納している前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報を抽出する識別情報抽出手段、
    前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を格納する補正値データベースから、前記識別情報抽出手段によって取得した前記テストモジュール識別情報及び前記試験装置識別情報に対応づけて格納されている前記補正値を抽出する補正値抽出手段、
    前記補正値抽出手段によって抽出された前記補正値を前記補正値保持部に保持させる補正値保持手段、
    前記補正値保持部が保持している前記補正値を用いて前記補正部に前記試験信号を補正させる試験信号補正手段
    として機能させ、
    前記測定部の特性は、前記被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は前記被試験デバイスに対する前記試験信号の電圧レベルである、
    プログラム。
14. 被試験デバイスを試験する試験装置において、前記被試験デバイスに供給する試験信号の特性又は前記被試験デバイスから出力される出力信号を測定する測定部の特性の補正を制御する制御手段用のプログラムであって、
    前記制御手段を、
    前記試験信号の特性又は前記測定部の特性を補正する補正部、前記補正部による補正に用いられる補正値を保持する補正値保持部、前記補正部および前記補正値保持部が設けられたテストボードを着脱可能に保持する複数のスロット、ならびに、テストモジュールの識別情報であるテストモジュール識別情報及び前記テストボードが保持されているスロットの識別情報であるスロット識別情報を格納し、前記テストボードに設けられる識別情報格納部を有するテストモジュールから、前記識別情報格納部が格納している前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報を抽出する識別情報抽出手段、
    前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報に対応づけて、当該テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報で識別される前記テストモジュールが有する前記補正値保持部が保持すべき前記補正値を格納する補正値データベースから、前記識別情報抽出手段によって取得した前記テストモジュール識別情報及び前記スロット識別情報に対応づけて格納されている前記補正値を抽出する補正値抽出手段、
    前記補正値抽出手段によって抽出された前記補正値を前記補正値保持部に保持させる補正値保持手段、
    前記補正値保持部が保持している前記補正値を用いて前記補正部に前記試験信号を補正させる試験信号補正手段、
    として機能させ、
    前記測定部の特性は、前記被試験デバイスに試験信号を供給するタイミング又は前記被試験デバイスに対する前記試験信号の電圧レベルである、
    プログラム。

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