JP4571534B2 - 試験装置、診断プログラムおよび診断方法 - Google Patents

Description

本発明は、試験装置、診断プログラムおよび診断方法に関する。特に、本発明は、被試験デバイスを試験する試験モジュールを診断する試験装置、診断プログラムおよび診断方法に関する。

メモリ、ロジックＬＳＩ、またはＳｏＣ（Ｓｙｓｔｅｍ ｏｎ Ｃｈｉｐ）等のＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ：被試験デバイス）を試験する試験装置は、ＤＵＴとの間で信号を入出力する複数の試験モジュールを搭載している。近年の試験装置には、互換性のある複数の試験モジュールを搭載可能なスロットが設けられており、そのスロットに挿入する試験モジュールを変更することで、様々な試験を行うことができる（非特許文献１参照）。ここで、各々の試験モジュールに障害が発生すると、入力信号や出力信号を正しく伝達できなくなることから、被試験デバイスを適切に試験できない。

このような障害に対応するために、試験モジュール毎にその試験モジュールを診断するための診断プログラムが作成される。そして、試験装置は、その診断プログラムを実行することにより、対応する試験モジュールを診断する診断機能を実現する。具体的には、診断対象の試験モジュールの診断においては、当該試験モジュールが出力した診断用信号を、他の試験モジュールに入力して期待値と比較し、他の試験モジュールが出力した診断用信号を当該試験モジュールに入力して期待値と比較する等の入出力試験等を行う。

このような診断機能を実現するために、試験装置のテストヘッドには、ＤＵＴを載置するためのパフォーマンスボードに代えて、試験モジュールを診断するための診断用パフォーマンスボードを搭載することができる。例えば、診断用パフォーマンスボードは、各々の試験モジュールからＤＵＴに対して出力されるべき信号を入力して、入力したその信号を他の試験モジュールに対して出力することにより、これら試験モジュールの入出力機能を診断する。
Semiconductor Test Consortium、"STC ANNOUNCES PUBLIC ACCESS TO THE OPENSTAR(tm) SPECS"、[online]、平成１６年１２月７日、［平成１７年３月１６日検索］、インターネット＜URL:http://www.semitest.org/site/News/STC_Spec_Open_to_Public＞

試験モジュールを適切に診断するためには、試験モジュールに対して予め定められた入力信号等を適切なタイミングで入力しなければならない。このため、テストヘッドに搭載すべき診断用パフォーマンスボードは、診断対象となる試験モジュールに対応して適切に設計されていなければならない。従って、従来、診断処理を制御する診断用プログラムは、テストヘッドに現在搭載されている診断用パフォーマンスボードの種類を判別した上で、その種類の診断用パフォーマンスボードがその試験モジュールの診断に適している場合にのみ、その試験モジュールを診断していた。

ある試験モジュールの診断には、その試験モジュールの診断専用に開発されたパフォーマンスボードのみならず、その試験モジュールの改良版について開発された上位互換のパフォーマンスボードを用いることができる場合がある。しかしながら、その試験モジュールの診断専用のパフォーマンスボードと、上位互換のパフォーマンスボードとは、種類が異なる。従って、従来の診断用プログラムは、上位互換のパフォーマンスボードを用いて試験モジュールを診断できなかった。また、上位互換のパフォーマンスボードを用いた診断処理を可能とするためには、このようなパフォーマンスボードが開発される毎に、診断用プログラムを作り直さなければならなかった。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置、診断プログラムおよび診断方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験信号を被試験デバイスに供給し、供給した試験信号に応じて被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の試験モジュールと、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードであって、載置した被試験デバイスと複数の試験モジュールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドと、複数の試験モジュールを制御する制御装置とを備え、制御装置は、診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、各々の対象診断プログラムによって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボードに代えてテストヘッドに搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも１つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納するファイル格納部と、診断用パフォーマンスボードがテストヘッドに搭載された場合に、搭載された診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得部と、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する対象診断プログラムを実行する対象診断プログラム実行部とを有する試験装置を提供する。

また、ファイル格納部は、試験装置に搭載された複数の試験モジュールのそれぞれの種類を記録したシステム構成ファイルを更に格納し、制御装置は、システム構成ファイルを読み出して、当該試験装置に搭載されたそれぞれの試験モジュールの種類を取得する種類取得部と、それぞれの試験モジュールを順次診断対象試験モジュールとし、当該診断対象試験モジュールの種類に応じた対象診断プログラムを順次選択する対象診断プログラム選択部とを更に有し、対象診断プログラム実行部は、対象診断プログラム選択部により選択された対象診断プログラムを、当該対象診断プログラムの種類に対応付けて記録された識別情報のうち少なくとも１つが識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として実行してもよい。

また、制御装置は、テストヘッドに何れかの診断用パフォーマンスボードが搭載されたことを検出する搭載検出部を更に有し、識別情報取得部は、搭載検出部によって診断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて、当該診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得してもよい。
また、制御装置は、複数の試験モジュールの各々を、互換情報ファイルにおいて当該試験モジュールの種類に対応する識別情報の何れかが、識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として、利用者によって選択可能に表示する表示部と、表示部により表示された試験モジュールのうち利用者に指定された試験モジュールを診断するための対象診断プログラムを選択する対象診断プログラム選択部と
を更に備え、対象診断プログラム実行部は、対象診断プログラム選択部によって選択された対象診断プログラムを実行してもよい。

また、表示部は、利用者によって指定された試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイルに記録された識別情報の何れもが、識別情報取得部により取得された識別情報と一致しない場合に、互換情報ファイルに記録された当該識別情報を、テストヘッドに搭載すべきパフォーマンスボードを示す情報として利用者に表示してもよい。

本発明の第２の形態においては、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御装置と、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードであって、載置した被試験デバイスと複数の試験モジュールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドとを備える試験装置において、制御装置により試験モジュールを診断させる診断プログラムであって、制御装置を、診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、各々の対象診断プログラムによって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボードに代えてテストヘッドに搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも１つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納するファイル格納部と、診断用パフォーマンスボードがテストヘッドに搭載された場合に、搭載された診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得部と、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する対象診断プログラムを実行する対象診断プログラム実行部として機能させる診断プログラムを提供する。

本発明の第３の形態においては、試験信号を被試験デバイスに供給する複数の試験モジュールと、複数の試験モジュールを制御する制御装置と、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードであって、載置した被試験デバイスと複数の試験モジュールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドとを備える試験装置において、制御装置により試験モジュールを診断させる診断方法であって、制御装置は、診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、各々の対象診断プログラムによって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボードに代えてテストヘッドに搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも１つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイルを格納するファイル格納部とを有し、診断用パフォーマンスボードがテストヘッドに搭載された場合に、搭載された診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得段階と、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得段階において取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する対象診断プログラムを実行する対象診断プログラム実行段階とを備える診断方法を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本発明によれば、各々の試験モジュールの診断に使用することのできる診断用パフォーマンスボードを定めた設定情報を、これまでより少ない作業負担で変更できる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、試験装置１０の全体構成を示す。試験装置１０は、試験モジュール２０−１〜Ｎと、テストヘッド３０と、診断用パフォーマンスボード３５と、試験用パフォーマンスボード３７と、制御装置４０とを備える。試験モジュール２０−１〜Ｎの各々は、試験信号を被試験デバイス５０（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）に供給し、供給した試験信号に応じて被試験デバイス５０が出力する出力信号を入力する。テストヘッド３０は、被試験デバイス５０を載置するパフォーマンスボードである試験用パフォーマンスボード３７を搭載する。そして、試験用パフォーマンスボード３７は、テストヘッド３０に搭載された場合に、載置した被試験デバイス５０と試験モジュール２０−１〜Ｎとを接続する。

一方、診断用パフォーマンスボード３５は、試験モジュール２０−１〜Ｎの少なくとも１つの良否を診断するために試験用パフォーマンスボード３７に代えてテストヘッド３０に搭載されるべきパフォーマンスボードである。診断用パフォーマンスボード３５は、被試験デバイス５０の良否を判断するためには用いられないので、被試験デバイス５０を載置しなくてもよい。制御装置４０は、試験用パフォーマンスボード３７が搭載されている場合においては、被試験デバイス５０の良否を判定し、診断用パフォーマンスボード３５が搭載されている場合においては、試験モジュール２０−１〜Ｎの良否を診断する。

なお、本図における試験装置１０は、例えば、試験制御用のホストコンピュータ、および、被試験デバイス５０との間で試験信号を入出力する試験ユニットから構成されてもよい。この場合、例えば、制御装置４０は、ホストコンピュータによって実現され、試験モジュール２０−１〜Ｎおよびテストヘッド３０は、試験ユニットに設けられる。これに代えて、試験モジュール２０−１〜Ｎの各々の少なくとも一部の機能が、ホストコンピュータによって実現されてもよい。

本実施例に係る試験装置１０は、通常動作において被試験デバイス５０を試験するために用いられる試験モジュール２０−１〜Ｎについて、その試験動作が正常であるか否かを診断することを目的とする。以降、テストヘッド３０に診断用パフォーマンスボード３５が搭載された場合の制御を説明する。

図２は、制御装置４０の機能を機能ブロックにより示す。制御装置４０は、診断プログラム記憶部２００と、ファイル格納部２１０と、搭載検出部２２０と、識別情報取得部２３０と、表示部２４０と、種類取得部２５０と、対象診断プログラム選択部２６０と、対象診断プログラム実行部２７０とを有する。診断プログラム記憶部２００は、診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、制御装置４０によりその種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶する。

ファイル格納部２１０は、診断用パフォーマンスボードの互換性に関する情報を記録している互換情報ファイルを格納する。より詳細には、互換情報ファイルは、各々の対象診断プログラムによって診断対象試験モジュールを診断するために試験用パフォーマンスボード３７に代えてテストヘッド３０に搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも１つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録している。また、ファイル格納部２１０は、制御装置４０に搭載された試験モジュール２０−１〜Ｎのそれぞれの種類を記録したシステム構成ファイルを更に格納する。

搭載検出部２２０は、テストヘッド３０に何れかの診断用パフォーマンスボードが搭載されたことを検出する。そして、識別情報取得部２３０は、搭載検出部２２０によって診断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて、その診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する。これに代えて、識別情報取得部２３０は、診断用パフォーマンスボードの搭載に関わらず、利用者からの指示に応じて識別情報を取得してもよい。表示部２４０は、識別情報取得部２３０によって取得された識別情報に基づいて、システム構成ファイル中に記録された試験モジュールのうち診断可能な試験モジュールを、利用者によって選択可能に表示する。

種類取得部２５０は、システム構成ファイルをファイル格納部２１０から読み出して、制御装置４０に搭載された試験モジュール２０−１〜Ｎの種類を取得する。対象診断プログラム選択部２６０は、全ての試験モジュールを診断する旨の指示を受けた場合においては、試験モジュール２０−１〜Ｎのそれぞれを順次診断対象試験モジュールとし、その診断対象試験モジュールの種類に応じた対象診断プログラムを順次選択する。一方で、対象診断プログラム選択部２６０は、特定の試験モジュールを診断対象として指定する指示を受けた場合においては、その試験モジュールの種類に応じた対象診断プログラムを選択する。この場合、表示部２４０は、選択されたその対象診断プログラムを、搭載されている診断用パフォーマンスボード３５が搭載されている状態においては実行できないことを条件として、搭載すべき他のパフォーマンスボードを示す情報を利用者に対して表示してもよい。

対象診断プログラム実行部２７０は、指定された診断対象試験モジュールの種類に対応付けて記録されたパフォーマンスボードの識別情報を、互換情報ファイルから取得する。そして、対象診断プログラム実行部２７０は、取得した識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致することを条件として、対象診断プログラム選択部２６０により選択された対象診断プログラムを実行する。

図３は、診断プログラム記憶部２００およびファイル格納部２１０が格納する各種データの第１構成例を示す。診断プログラム記憶部２００は、試験モジュール２０−１の種類に対応して当該種類の試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラム３００−１と、試験モジュール２０−２の種類に対応して当該種類の試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラム３００−２とを格納する。対象診断プログラム３００−１は、判別用サブプログラム３１０−１と、制御用サブプログラム３２０−１とを含み、対象診断プログラム３００−２は、判別用サブプログラム３１０−２と、制御用サブプログラム３２０−２とを含む。判別用サブプログラム３１０−１、制御用サブプログラム３２０−１、判別用サブプログラム３１０−２、および制御用サブプログラム３２０−２の各々は、対象診断プログラム選択部２６０によって読み出されて実行され、対象診断プログラム実行部２７０により実行される。

また、ファイル格納部２１０は、パフォーマンスボードの互換性に関する情報を記録した互換情報ファイル３３０−１および互換情報ファイル３３０−２と、制御装置４０に搭載されている試験モジュールの種類を記録したシステム構成ファイル３７０とを格納する。互換情報ファイル３３０−１は、試験モジュール２０−１の種類であるモジュールタイプ１に対応して設けられる。そして、互換情報ファイル３３０−１は、モジュールタイプ１の試験モジュールを診断するためにテストヘッド３０に搭載されるべきパフォーマンスボード（ＰＢ）の識別情報（ＩＤ）として、ＡおよびＢを記録する。互換情報ファイル３３０−２は、試験モジュール２０−２の種類であるモジュールタイプ２に対応して設けられる。互換情報ファイル３３０−２は、モジュールタイプ２の試験モジュールを診断するためにテストヘッド３０に搭載されるべきパフォーマンスボード（ＰＢ）の識別情報（ＩＤ）として、Ｂを記録する。

判別用サブプログラム３１０−１の制御に基づき、対象診断プログラム実行部２７０は、互換情報ファイル３３０−１に記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。一致する場合には、制御用サブプログラム３２０−１の制御に基づき、対象診断プログラム実行部２７０は、試験モジュール２０−１を診断するための制御信号を試験モジュール２０−１に対して送信する。即ち、識別情報取得部２３０により取得された識別情報がＡまたはＢであれば、対象診断プログラム実行部２７０は試験モジュール２０−１の診断を開始できる。

同様に、判別用サブプログラム３１０−２の制御に基づき、対象診断プログラム実行部２７０は、互換情報ファイル３３０−２に記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。一致する場合には、制御用サブプログラム３２０−２の制御に基づき、対象診断プログラム実行部２７０は、試験モジュール２０−２を診断するための制御信号を試験モジュール２０−２に送信する。即ち、識別情報取得部２３０により取得された識別情報がＢであれば、対象診断プログラム実行部２７０は試験モジュール２０−２の診断を開始できる。

このように、本図に説明した構成によれば、互換情報ファイルと対象診断プログラムとを別個のファイルとして記録することができるので、診断用パフォーマンスボードの互換性に関する情報の更新に係る作業負担を軽減することができる。

また、システム構成ファイル３７０は、制御装置４０に搭載された複数の試験モジュールのそれぞれの種類を記録している。例えば本図の例では、システム構成ファイル３７０は、制御装置４０に搭載されている試験モジュールの種類に対応付けて数値の１を記録し、制御装置４０に搭載されていない試験モジュールの種類に対応付けて数値の０を記録している。即ち、モジュールタイプ１および２の試験モジュールは制御装置４０に搭載されており、モジュールタイプ３の試験モジュールは制御装置４０に搭載されていない。
これにより、搭載されている試験モジュールの種類を容易に判別することができる。

図４は、診断プログラム記憶部２００およびファイル格納部２１０が格納する各種データの第２構成例を示す。本例における診断プログラム記憶部２００は、図３の第１構成例と同様に、対象診断プログラム３００−１と、対象診断プログラム３００−２とを格納する。対象診断プログラム３００−１および対象診断プログラム３００−２の構成および機能は図３において既に説明したので本例における説明を省略する。一方で、ファイル格納部２１０は、図３の互換情報ファイル３３０−１および互換情報ファイル３３０−２に代えて互換情報ファイル３４０を格納する。

互換情報ファイル３４０は、単一のファイル内で、モジュールタイプ１の試験モジュールを診断するためにテストヘッド３０に搭載されるべきパフォーマンスボードのＩＤ、および、モジュールタイプ２の試験モジュールを診断するためにテストヘッド３０に搭載されるべきパフォーマンスボードのＩＤの双方を記録する。このような構成であれば、単一のファイルに対する編集作業のみによって、診断用パフォーマンスボードの互換性に関する情報を更新できる。

図５は、診断プログラム記憶部２００およびファイル格納部２１０が格納する各種データの第３構成例を示す。本例におけるファイル格納部２１０は、図３の第１構成例と同様に、互換情報ファイル３３０−１、互換情報ファイル３３０−２およびシステム構成ファイル３７０を格納する。互換情報ファイル３３０−１、互換情報ファイル３３０−２およびシステム構成ファイル３７０の構成は、図３で既に説明したので、本例における説明を省略する。一方で、診断プログラム記憶部２００は、図３の第１構成例と異なり、対象診断プログラム３５０−１と、対象診断プログラム３５０−２と、判別プログラム３６０とを、それぞれ別個のファイルとして格納する。

判別プログラム３６０の制御に基づき、対象診断プログラム実行部２７０は、互換情報ファイル３３０−１に記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。また、判別プログラム３６０の制御に基づき、対象診断プログラム実行部２７０は、互換情報ファイル３３０−２に記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致するか否かを判断する。各々の判断結果は、対象診断プログラム３５０−１および対象診断プログラム３５０−２に送られる。

対象診断プログラム３５０−１の制御に基づいて、対象診断プログラム実行部２７０は、試験モジュール２０−１を診断するための制御信号を試験モジュール２０−１に対して送信する。また、対象診断プログラム３５０−２の制御に基づいて、対象診断プログラム実行部２７０は、試験モジュール２０−２を診断するための制御信号を試験モジュール２０−２に対して送信する。このように、本構成例においては、パフォーマンスボードの互換性を判別するプログラムは、各々の対象診断プログラムに共通のプログラムモジュールとして共通化されている。この構成例によれば、試験モジュールの診断処理を改変・修正する場合においては互換性の判別機能に影響を与えることなく作業することができ、互換性の判別機能を改変・修正する場合においては試験モジュールの診断処理に影響を与えることなく作業することができる。

図６は、制御装置４０が試験モジュールを診断する処理の一例を示す。試験装置１０に搭載されている全ての試験モジュールを順次診断する指示を受けた場合に（Ｓ６００：ＹＥＳ）、識別情報取得部２３０は、診断用パフォーマンスボード３５の識別情報を取得する（Ｓ６１０）。そして、種類取得部２５０は、システム構成ファイル３７０を読み出して（Ｓ６２０）、試験装置１０に搭載された試験モジュール２０−１〜Ｎの種類を取得する（Ｓ６３０）。対象診断プログラム選択部２６０は、試験モジュール２０−１〜Ｎの各々を診断対象試験モジュールとして順次指定し、その診断対象試験モジュールの種類に応じた対象診断プログラムを選択する（Ｓ６４０）。各々の試験モジュールに対応する対象診断プログラムは、予め定められていてもよいし、ファイル格納部２１０に更に格納された他の設定ファイルによって定められてもよい。

対象診断プログラム実行部２７０は、指定されたその診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイル３３０−１等に記録された識別情報の少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致することを条件として（Ｓ６５０：ＹＥＳ）、選択されたその対象診断プログラムを実行する（Ｓ６６０）。システム構成ファイル３７０に記録された試験モジュールのうち、未だ診断処理の対象として選択されていない試験モジュールが残っていれば（Ｓ６７０：ＹＥＳ）、全ての試験モジュールを順次選択するべく処理をＳ６４０に戻す。

一方で、試験装置１０に搭載された複数の試験モジュールの全てについて、診断処理の対象として既に選択したならば（Ｓ６７０：ＮＯ）、制御装置４０は、本図の処理を終了する。
以上、本図の処理によれば、制御装置４０は、試験装置１０に搭載された全ての試験モジュールの中から、テストヘッド３０に現在搭載されているパフォーマンスボードを用いて診断可能な試験モジュールのみを自動的に選択して、診断処理を実行することができる。

図７は、制御装置４０が試験モジュールを診断する処理の他の例を示す。搭載検出部２２０によって診断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて（Ｓ７００：ＹＥＳ）、識別情報取得部２３０は、その診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する（Ｓ７１０）。そして、表示部２４０は、試験装置１０に搭載された複数の試験モジュールの各々を、システム構成ファイル３７０においてその試験モジュールの種類に対応する識別情報の何れかが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致することを条件として利用者に表示する（Ｓ７２０）。例えば、表示部２４０は、上記条件を満たす各試験モジュールのＩＤを、利用者によって選択可能なようにチェックボックスに対応付けて画面上に一覧表示する。これに加えて、表示部２４０は、上記条件を満たさない各試験モジュールのＩＤを、グレーアウト（選択不能である旨を示すグレーの文字による表示演出）して表示してもよい。

対象診断プログラム選択部２６０は、表示部２４０により表示された試験モジュールのうち利用者に指定された試験モジュールを診断対象試験モジュールとし、その診断対象試験モジュールを診断するための対象診断プログラムを選択する（Ｓ７３０）。対象診断プログラム実行部２７０は、診断対象試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも１つが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致することを条件として（Ｓ７４０：ＹＥＳ）、選択された対象診断プログラムを実行する（Ｓ７５０）。

一方で、利用者によって指定された上記試験モジュールの種類に対応付けて互換情報ファイル３３０−１等に記録された識別情報の何れもが、識別情報取得部２３０により取得された識別情報と一致しない場合に（Ｓ７４０：ＮＯ）、表示部２４０は、指定された試験モジュールの種類に対応して記録された識別情報を互換情報ファイル３３０−１等から読み出して、それらのうち少なくとも何れか１つを、テストヘッド３０に搭載すべきパフォーマンスボードを示す情報として利用者に表示する（Ｓ７６０）。

図８は、制御装置４０を構成するホストコンピュータとして機能する情報処理装置４００のハードウェア構成の一例を示す。情報処理装置４００は、ホストコントローラ１０８２により相互に接続されるＣＰＵ１０００、ＲＡＭ１０２０、及びグラフィックコントローラ１０７５を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ１０８４によりホストコントローラ１０８２に接続される通信インターフェイス１０３０、ハードディスクドライブ１０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ１０８４に接続されるＲＯＭ１０１０、フレキシブルディスクドライブ１０５０、及び入出力チップ１０７０を有するレガシー入出力部とを備える。

ホストコントローラ１０８２は、ＲＡＭ１０２０と、高い転送レートでＲＡＭ１０２０をアクセスするＣＰＵ１０００及びグラフィックコントローラ１０７５とを接続する。ＣＰＵ１０００は、ＲＯＭ１０１０及びＲＡＭ１０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィックコントローラ１０７５は、ＣＰＵ１０００等がＲＡＭ１０２０内に設けたフレームバッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置１０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィックコントローラ１０７５は、ＣＰＵ１０００等が生成する画像データを格納するフレームバッファを、内部に含んでもよい。

入出力コントローラ１０８４は、ホストコントローラ１０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス１０３０、ハードディスクドライブ１０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０を接続する。通信インターフェイス１０３０は、ネットワークを介して外部の装置と通信する。ハードディスクドライブ１０４０は、情報処理装置４００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ１０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１０２０又はハードディスクドライブ１０４０に提供する。

また、入出力コントローラ１０８４には、ＲＯＭ１０１０と、フレキシブルディスクドライブ１０５０や入出力チップ１０７０等の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ１０１０は、情報処理装置４００の起動時にＣＰＵ１０００が実行するブートプログラムや、情報処理装置４００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスクドライブ１０５０は、フレキシブルディスク１０９０からプログラム又はデータを読み取り、入出力チップ１０７０を介してＲＡＭ１０２０またはハードディスクドライブ１０４０に提供する。入出力チップ１０７０は、フレキシブルディスク１０９０や、例えばパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して各種の入出力装置を接続する。

また、情報処理装置４００には、制御装置４０により試験モジュール２０−１〜Ｎを診断させる診断プログラムが提供される。診断プログラムは、対象診断プログラム３００−１〜２、対象診断プログラム３５０−１〜２、および判別プログラム３６０を含む。これらのプログラムは、フレキシブルディスク１０９０、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、入出力チップ１０７０及び/又は入出力コントローラ１０８４を介して、記録媒体から読み出され情報処理装置４００にインストールされて実行される。プログラムが情報処理装置４００等に働きかけて行わせる動作は、図１から図７において説明した制御装置４０における動作と同一であるから、説明を省略する。

以上に示したプログラムは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク１０９０、ＣＤ−ＲＯＭ１０９５の他に、ＤＶＤやＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムを情報処理装置４００に提供してもよい。

以上、本実施例における試験装置１０は、パフォーマンスボードの互換性を示す情報を、試験モジュールの診断処理を行うプログラムとは別個のファイルとして記録する。これにより、新たに開発された診断用パフォーマンスボードを、既に存在する試験モジュールの試験に使用できるように設定変更するために作業負担を軽減することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

図１は、試験装置１０の全体構成を示す。 図２は、制御装置４０の機能を機能ブロックにより示す。 図３は、診断プログラム記憶部２００およびファイル格納部２１０が格納する各種データの第１構成例を示す。 図４は、診断プログラム記憶部２００およびファイル格納部２１０が格納する各種データの第２構成例を示す。 図５は、診断プログラム記憶部２００およびファイル格納部２１０が格納する各種データの第３構成例を示す。 図６は、制御装置４０が試験モジュールを診断する処理の一例を示す。 図７は、制御装置４０が試験モジュールを診断する処理の他の例を示す。 図８は、制御装置４０として機能する情報処理装置４００のハードウェア構成の一例を示す。

符号の説明

１０ 試験装置
２０ 試験モジュール
３０ テストヘッド
３５ 診断用パフォーマンスボード
３７ 試験用パフォーマンスボード
４０ 制御装置
５０ 被試験デバイス
２００ 診断プログラム記憶部
２１０ ファイル格納部
２２０ 搭載検出部
２３０ 識別情報取得部
２４０ 表示部
２５０ 種類取得部
２６０ 対象診断プログラム選択部
２７０ 対象診断プログラム実行部
３００ 対象診断プログラム
３１０ 判別用サブプログラム
３２０ 制御用サブプログラム
３３０ 互換情報ファイル
３４０ 互換情報ファイル
３５０−１〜Ｎ 対象診断プログラム
３６０ 判別プログラム
３７０ システム構成ファイル
４００ 情報処理装置

Claims (2)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   試験信号を前記被試験デバイスに供給し、供給した前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の試験モジュールと、
   前記被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードであって、載置した前記被試験デバイスと前記複数の試験モジュールとを接続する試験用パフォーマンスボードを搭載するテストヘッドと、
   前記複数の試験モジュールを制御する制御装置と
   を備え、
   前記制御装置は、
   診断の対象となる試験モジュールである診断対象試験モジュールの種類毎に、前記制御装置により当該種類の診断対象試験モジュールの診断を制御させる対象診断プログラムを記憶する診断プログラム記憶部と、
   各々の対象診断プログラムによって前記診断対象試験モジュールを診断するために前記試験用パフォーマンスボードに代えて前記テストヘッドに搭載されるべき、互いに互換性のある少なくとも１つの診断用パフォーマンスボードの識別情報を、診断対象試験モジュールの種類毎に記録した互換情報ファイル、および前記試験装置に搭載された前記複数の試験モジュールのそれぞれの種類を記録したシステム構成ファイルを格納するファイル格納部と、
   前記診断用パフォーマンスボードが前記テストヘッドに搭載された場合に、搭載された前記診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する識別情報取得部と、
   指定された前記診断対象試験モジュールの種類に対応付けて前記互換情報ファイルに記録された識別情報のうち少なくとも１つが、前記識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として、当該種類に対応する前記対象診断プログラムを実行する対象診断プログラム実行部と、
   前記システム構成ファイルを読み出して、当該試験装置に搭載されたそれぞれの前記試験モジュールの種類を取得する種類取得部と、
   それぞれの前記試験モジュールを順次前記診断対象試験モジュールとし、当該診断対象試験モジュールの種類に応じた前記対象診断プログラムを順次選択する対象診断プログラム選択部と、
   前記複数の試験モジュールの各々を、前記互換情報ファイルにおいて当該試験モジュールの種類に対応する識別情報の何れかが、前記識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として、利用者によって選択可能に表示する表示部と、
   前記表示部により表示された試験モジュールのうち利用者に指定された試験モジュールを診断するための対象診断プログラムを選択する対象診断プログラム選択部と
   を有し、
   前記対象診断プログラム実行部は、前記対象診断プログラム選択部により選択された前記対象診断プログラムを、当該対象診断プログラムの種類に対応付けて記録された前記識別情報のうち少なくとも１つが前記識別情報取得部により取得された識別情報と一致することを条件として実行し、
   前記表示部は、利用者によって指定された前記試験モジュールの種類に対応付けて前記互換情報ファイルに記録された識別情報の何れもが、前記識別情報取得部により取得された識別情報と一致しない場合に、前記互換情報ファイルに記録された当該識別情報を、前記テストヘッドに搭載すべきパフォーマンスボードを示す情報として利用者に表示する試験装置。
2. 前記制御装置は、
   前記テストヘッドに何れかの前記診断用パフォーマンスボードが搭載されたことを検出する搭載検出部を更に有し、
   前記識別情報取得部は、前記搭載検出部によって前記診断用パフォーマンスボードの搭載が検出されたことに応じて、当該診断用パフォーマンスボードの識別情報を取得する
   請求項１に記載の試験装置。

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