JP4529878B2 - 光学センサ、インクカートリッジ及びインクジェット装置 - Google Patents
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Description
本発明おいては、対象物に識別標識としての光吸収部材(特定の波長の参照光を吸収する色素や染料等;本明細書ではこの光吸収部材をインク等に含まれる色素等と区別して「識別マーカー」ということがある)を含有させ、この光吸収部材を識別することによって対象物の種類等を識別する。ここで、光吸収部材の吸光特性は、対象物の吸光特性とは別に調節されている。例えば対象物が印字用のインクである場合には、インクに含まれる色材とは別に光吸収部材の吸光特性が調節される。この吸光特性には、吸光ピーク波長や吸光度等が含まれ、対象物に含まれる色材等の吸光ピーク波長や吸光度等とは異なるものとなっている。この光吸収部材の吸光特性は、光吸収部材の種類及び量(濃度)によって任意に制御できるため、対象物自体の微妙な吸光特性の違いによって対象物の種類等を識別する従来の方法に比べて、精度の高い識別が可能となる。
この構成によれば、例えば光吸収部材として、可視光域では吸光度がゼロに近く、赤外域でピーク状の波長吸収特性を持つものを用いることで、対象物の色を損なわないようにすることができる。
この構成によれば、単一の参照光を用いて光吸収部材を識別する場合に比べて、正確な識別が可能になる。すなわち、単一の参照光を用いて識別を行なう場合には、参照光を対象物に透過させる前後の参照光の光量変化を検出することになるが、この場合、対象物を収容する容器等の吸収によって透過光量が大きく変化することがあるので、正確な識別が難しくなる場合があるが、複数の参照光の吸光度の比(透過光量の比)に基づいて識別を行なう場合には、容器等の吸収は全ての参照光について同程度の割合で生じるため、吸光度の比としての検出誤差はそれ程大きなものとはならない。したがって、それぞれの光吸収部材の吸光度の比(すなわち光吸収部材の濃度比)を適切に調節すれば、検出誤差を殆ど生じさせずに正確に対象物の種類等を識別することが可能になる。
このような転写技術によって得られる発光素子は非常に小さなものであるため(例えば、数百μm四方以下の面積と数十μm以下の厚さをもつもの)、コンパクトな構成でありながら、高い発光機能を有した集積回路基板を実現することができる。
また、転写技術で作製された発光素子の厚みは非常に薄いので、例えば発光素子として面発光レーザや発光ダイオードを作製した場合には、参照光として放射される上面側の光だけでなく、化合物半導体層側に放射される下面側の光も外部に取り出すことができる。すなわち、発光部を形成した化合物半導体基板を転写技術に用いずにそのまま発光素子として利用する場合には、活性層の下に厚い化合物半導体層(化合物半導体基板)が存在するため、活性層から集積回路基板側(化合物半導体層側)に光が放射されても、その光は殆ど化合物半導体層に吸収されてしまい、外部に取り出すことができない。したがって、発光素子から放射される光をモニターして自動制御(Auto Power Control ;APC)を行なう場合には、上面側(集積回路基板とは反対側)に放射された参照光の一部を反射させる等、モニターを行なうための特別な受光光学系が必要となる。
一方、転写技術で作製された発光素子の場合は、化合物半導体基板の表層部を剥離して発光素子を形成するため、化合物半導体層の厚みが非常に薄くなり、集積回路基板側に発した光は化合物半導体層によって殆ど吸収されずに外部に取り出すことができるようになる。したがって、集積回路基板側にこの光をモニターするモニター用受光素子を設けておけば、特別な受光光学系を設けなくても容易に自動制御を行うことが可能になる。しかも、このような光は、本来は化合物半導体基板に吸収されるべき無駄な光であるため、これをモニター光として利用することにより、光の有効利用が可能になる。
さらに、発光素子を形成するための基板(化合物半導体基板等)は何度でも再利用できるので、発光素子自体のコストも十分に低減することができる。
この構成によれば、放射光の波長幅が狭く、波長も正確に選べるため、参照光として非常に適したものが得られる。また、放射される光の広がりが小さく、指向性が強いことも吸光透過計測の参照光として適している。さらに、発光素子として端面発光レーザを用いた場合に比べて、よりコンパクトな構成を実現することができる。
この構成によれば、センサ機能に寄与しない集積回路基板側への発光をモニター用の光として利用することができる。
この構成によれば、周囲の温度の変化や素子劣化等の経年変化に関係なく、発光素子の発光量を所望の範囲に制御することができる。また、電流制御回路が発光素子又は受光素子の近傍に配置されるので、モニター光に基づいたより高速且つ正確な制御が可能になる。
この構成によれば、発光素子の発光量の制御を精度良く行なうことができる。
この構成によれば、複数の発光素子について受光素子を共通化することができるため、光学センサの小型化が図られる。
この構成によれば、それぞれの参照光の透過光量を容易に比較することができる。
この構成によれば、転写技術を用いて受光素子を転写配置する場合に比べて、広い面積の受光素子を形成することができる。このため、複数の発光素子に対して受光素子を共通化する場合に参照光を受光し易くなり、また感度も良好なものとなる。
この構成によれば、光学センサの取り扱い性を向上させることができる。例えば、絶縁基板が可撓性のフィルム基板である場合には、これを対象物を収容する容器等に巻きつけて使用することができ、これにより取り付け面積の小さい小型の光学センサを実現することができる。
この構成によれば、発光素子又は受光素子を水分や酸素等から保護でき、光学センサの機械的強度も高めることができる。
この構成によれば、インクの種類を正確に識別でき、インクジェット装置本体への取り付け間違い等を防止することのできるインクカートリッジを提供することができる。
この構成によれば、光学センサの取り扱いが容易で且つコンパクトな構成のインクカートリッジを提供することができる。
この構成によれば、外壁界面での反射や屈折による光のロスを低減することができる。
この構成によれば、インクカートリッジの取り付け間違いによる印刷品質の低下や、間違ったインクを供給することによるインクジェットヘッドの損傷等を防止することのできるインクジェット装置を提供することができる。
なお、以下の各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせている。
[インクジェット装置]
図1は、本発明の第1実施形態に係るインクカートリッジを備えたインクジェット装置の概略斜視図である。また、図2は、インクカートリッジを含む印刷ユニットの要部を示す分解斜視図である。
図3に示すように、プリント配線基板116は、発光素子113及び受光素子114をインクカートリッジ110側に向けて、インクカートリッジ110の外壁に装着されている。また、インクカートリッジ110の外壁110aと、発光素子113a,113b及び受光素子114との間には、外壁110aと同等の屈折率を有する樹脂119が充填されており、これにより外壁界面での反射や屈折による光のロスを低減できるようになっている。
図4に示すように、集積回路基板115の2つの発光素子113a,113bが接合されている部分には、発光素子113a,113bから集積回路基板115側に放射された光の光量をモニターするモニター用受光素子118a,118bが設けられている。これらのモニター用受光素子118a,118bとしてはフォトダイオードやフォトトランジスタ等が使用でき、例えばインク吸光度検出用の受光素子114(以下、インク吸光度検出用受光素子ともいう)と共通の工程によって集積回路基板115上に形成することができる。本実施形態においては、発光素子113a,113bは、集積回路基板115に設けられたモニター用受光素子118a,118bの上に接着されたものとなっている。
なお、図5では、発光素子113aと発光素子113bとを特に区別せずに、発光素子113と記載している。同様に、モニター用受光素子118aとモニター用受光素子118bをモニター用受光素子118としている。さらに、上面方向に放射される光(参照光)La,Lbを上面側放射光Lとし、下面方向に放射される光(モニター光)Ma,Mbを下面側放射光Mと記載している。
図6は、インクの識別方法を説明するためのブロック図である。
なお、図6では、発光素子113a(第1発光素子)の電流制御を行なう電流制御回路を第1電流制御回路130aとし、発光素子113b(第2発光素子)の電流制御を行なう電流制御回路を第2電流制御回路130bとしている。
以上の工程が終了したら、コントローラ回路151は第1電流制御回路130aを停止する。
以上の工程が終了したら、コントローラ回路151は第2電流制御回路130bを停止する。
図7に示すように、第1識別マーカー121及び第2識別マーカー122は、それぞれ異なる波長域に吸光ピーク波長を有している。図7の例では、第1識別マーカー121の吸光ピーク波長は、参照光Laのピーク波長である814nmであり、第2識別マーカー122の吸光ピーク波長は、参照光Lbのピーク波長である870nmである。
次に、光学センサ111の製造方法について説明する。
なお、本製造方法では、発光素子113a,113bとして化合物半導体デバイス(化合物半導体素子)を用い、これを集積回路基板115となるシリコン・LSIチップ上に接合する場合について説明するが、半導体デバイスの種類及びLSIチップの種類は必ずしもこれに限定されない。また、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物質から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物質であれば「半導体基板」に含まれる。また、特に区別する場合を除いて、発光素子113a,113bを発光素子(又は微小タイル状素子)113、モニター用受光素子118a,118bをモニター用受光素子118と記載する。
図8は、光学センサ111の製造方法の第1工程を示す概略断面図である。
図8において、基板10は、半導体基板であり、例えばガリウム・ヒ素化合物半導体基板とする。基板10における最下位層には、犠牲層11を設けておく。犠牲層11は、アルミニウム・ヒ素(AlAs)からなり、厚さが例えば数百nmの層である。
図9は、光学センサ111の製造方法の第2工程を示す概略断面図である。
本工程においては、各機能部13を分割するように分離溝21を形成する。分離溝21は、少なくとも犠牲層11に到達する深さをもつ溝とする。例えば、分離溝の幅及び深さともに、10μmから数百μmとする。また、分離溝21は、後述するところの選択エッチング液が当該分離溝21を流れるように、行き止まりなく繋がっている溝とする。さらに、分離溝21は、碁盤のごとく格子状に形成することが好ましい。
図10は、光学センサ111の製造方法の第3工程を示す概略断面図である。
本工程においては、中間転写フィルム31を基板10の表面(機能部13側)に貼り付ける。中間転写フィルム31は、表面に粘着剤が塗られたフレキシブルな帯形状のフィルムである。
図11は、光学センサ111の製造方法の第4工程を示す概略断面図である。
本工程においては、分離溝21に選択エッチング液41を注入する。本工程では、犠牲層11のみを選択的にエッチングするために、選択エッチング液41として、アルミニウム・ヒ素に対して選択性が高い低濃度の塩酸を用いる。選択エッチング液41としては低濃度のフッ酸も使えるが、選択性という点で塩酸を使う方が望ましい。
図12は、光学センサ111の製造方法の第5工程を示す概略断面図である。
本工程においては、第4工程での分離溝21への選択エッチング液41の注入後、所定時間の経過により、犠牲層11のすべてを選択的にエッチングして基板10から取り除く。その後、分離溝21及び犠牲層11のあった部位に純水を注入してリンスする。
図13は、光学センサ111の製造方法の第6工程を示す概略断面図である。
第5工程で犠牲層11が全てエッチングされると、基板10から機能層12が切り離される。そして、本工程において、中間転写フィルム31を基板10から引き離すことにより、中間転写フィルム31に貼り付けられている機能層12を基板10から引き離す。
図14は、光学センサ111の製造方法の第7工程を示す概略断面図である。
本工程においては、微小タイル状素子113が貼り付けられた中間転写フィルム31を移動させることで、最終基板115の所望の位置に微小タイル状素子113をアライメントする。ここで、最終基板115はシリコン半導体からなり、その基板の表面にはインク吸光度検出用受光素子114とモニター用の受光素子118とが形成されている。また、最終基板115の所望の位置には、微小タイル状素子113を接着するための接着剤73を塗布しておく。この接着剤73は、微小タイル状素子113の接合される部分、すなわちモニター用受光素子118が形成された部分に塗布される。なお、図14では、モニター用受光素子118を1つだけ記載しているが、実際には、発光素子113a及び発光素子113bが搭載される位置にそれぞれ受光素子118が形成されている。
図15は、光学センサ111の製造方法の第8工程を示す概略断面図である。
本工程においては、最終基板115の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子114を、中間転写フィルム31越しに裏押しピン81で押しつけて最終基板115に接合する。ここで、所望の位置には接着剤73が塗布されているので、その最終基板115の所望の位置に微小タイル状素子113接着される。
なお、本工程では、最終基板115への微小タイル状素子113の接着方法として接着剤を用いたが、他の接着方法を用いてもよい。
図16は、光学センサ111の製造方法の第9工程を示す概略断面図である。
本工程においては、中間転写フィルム31の粘着力を消失させて、微小タイル状素子113から中間転写フィルム31を剥がす。
本工程は、図示していない。本工程においては、加熱処理などを施して、微小タイル状素子113を最終基板115に本接合する。そして、微小タイル状素子113の電極と最終基板115上の回路を配線により電気的に繋ぎ、一つのLSIチップを完成させる。
図17は、光学センサ111の製造方法の第11工程を示す概略断面図である。
本工程においては、上述の方法により製造された最終基板、すなわち集積回路基板115をプリント配線基板116上に実装する。集積回路基板115は、微小タイル状素子113(発光素子113a,113b)が配置された側を上にしてプリント配線基板116上に実装するものとする。
図19では、集積回路基板115をプリント配線基板116上にフリップチップ実装している。すなわち、集積回路基板115の発光素子113a,113b及び受光素子114が設けられた側の面をプリント配線基板116に対向させて配置し、集積回路基板115上に設けられた接続部材であるバンプ190を、プリント配線基板116のプリント配線上又はパッド上にマウントすることにより、集積回路基板115とプリント配線基板116とを電気的に接続している。この方法では、集積回路基板115の固定と電気的接続が一度に行なえるため、生産性が高いという利点がある。
図20は、本発明の第2実施形態に係る光学センサ211を備えたインクカートリッジ210の要部を示す分解斜視図である。なお、第1実施形態と同様の構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
Claims (8)
- 第1の発光素子と、
第1の受光素子と、
第2の受光素子と、を含み、
前記第1の発光素子は、前記第2の受光素子上に接着されたものであり、
前記第1の発光素子は、前記第2の受光素子との接着面である下面から第1の放射光を放射し、且つ、前記下面とは反対の上面から第1の参照光を放射するように構成され、
前記第2の受光素子は、前記第1の発光素子の下面から放射された前記第1の放射光を前記第1の発光素子との接着界面を介して受光し、
前記第1の受光素子は、前記第1の発光素子が放射した前記第1の参照光が対象物を透過した透過光を受光し、
前記対象物は、該対象物とは別に吸光特性を調節された第1の光吸収部材を含み、
前記第1の参照光は前記第1の光吸収部材の吸収波長域に第1のピーク波長を有していること、
を特徴とする光学センサ。 - 請求項1に記載の光学センサにおいて、
前記第1の参照光と前記第1の放射光との強度の比は一定であること
を特徴とする光学センサ。 - 請求項1又は2に記載の光学センサにおいて、
さらに第2の参照光を放射する第2の発光素子を含み、
前記対象物は、該対象物とは別に吸光特性を調節された第2の光吸収部材を含み、
前記第2の参照光は前記第2の光吸収部材の吸収波長域に第2のピーク波長を有し、
前記第1のピーク波長と前記第2のピーク波長とは異なっていること、
を特徴とする光学センサ。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の光学センサにおいて、
前記第1の発光素子が面発光レーザ又は発光ダイオードからなり、
前記面発光レーザ又は前記発光ダイオードは、表層部に前記面発光レーザ又は前記発光ダイオードが形成された化合物半導体基板の前記表層部を剥離して前記第2の受光素子上に接着されたものであること、
を特徴とする光学センサ。 - 請求項3に記載の光学センサにおいて、
前記第1の参照光と前記第2の参照光が交互で前記対象物に入射されること、
を特徴とする光学センサ。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の光学センサを含むインクカートリッジであって、
前記光学センサが、前記対象物として、前記インクカートリッジ内に収容されたインクを識別することを特徴とするインクカートリッジ。 - 請求項6に記載のインクカートリッジにおいて、
前記光学センサが前記インクカートリッジの外壁に取り付けられていること、
を特徴とするインクカートリッジ。 - 請求項6又は7に記載のインクカートリッジを有することを特徴とするインクジェット装置。
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