[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP4577895B2 - 接着剤組成物及び接着性フィルム - Google Patents

接着剤組成物及び接着性フィルム Download PDF

Info

Publication number
JP4577895B2
JP4577895B2 JP2005170723A JP2005170723A JP4577895B2 JP 4577895 B2 JP4577895 B2 JP 4577895B2 JP 2005170723 A JP2005170723 A JP 2005170723A JP 2005170723 A JP2005170723 A JP 2005170723A JP 4577895 B2 JP4577895 B2 JP 4577895B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
group
mass
adhesive
hydrogenated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005170723A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006342287A (ja
Inventor
正平 小堺
信広 市六
章央 鈴木
利夫 塩原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2005170723A priority Critical patent/JP4577895B2/ja
Publication of JP2006342287A publication Critical patent/JP2006342287A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4577895B2 publication Critical patent/JP4577895B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Description

本発明は、接着剤組成物に関し、詳細には水添1,2−ポリブタジエン樹脂及び/又は水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂を含むことによって、顕著に弾性率が改良されたポリイミドシリコーン系接着剤組成物及び該組成物を用いて得られる接着性フィルムに関する。
半導体装置は、(i)IC回路が形成された大径のシリコンウエハをダイシング(切断)工程で半導体チップに切り分け、(ii)該チップを、硬化性の液状接着剤(ダイボンド材)等でリードフレームに熱圧着して固定(マウント)し、(iii)電極間のワイヤボンディングの後、(iv)ハンドリング性の向上及び外部環境からの保護ため、封止することによって製造される。この封止形態として、金属封止やセラミック封止などの気密封止型、樹脂による非気密封止型がある。現在、後者の方法、特に樹脂によるトランスファーモールド法が、量産性に優れ且つ安価なため、最も一般的に用いられている。
半導体パッケージが、チップと同サイズのパッケージング構造(CSP)、及びチップが積層されたパッケージング構造(スタックドCSP、SiP)等、年々コンパクトになるなかで、パッケージングにおける耐熱応力性も厳しいものとなってきている。
更に、これらの半導体装置のプリント基板への搭載実装プロセス工程において、鉛フリーはんだが使用されるようになっており、該はんだに対応した高温(265℃)耐リフロー性も要求されている。
パッケージング構成材料において、ダイボンド材は比較的広範囲での特性制御が可能なため、厳しい熱応力に対応できる低弾性率、高接着性、及び高耐熱性が求められている。半導体回路の微細化に伴い、ダイボンド材として、従来の液状接着剤に代えて、フィルム状の接着剤又は接着性フィルムが望まれている。これは、接着性フィルムを用いることで、液状接着剤による問題点、例えば、チップ端からのはみ出しや、不均一な厚みによりチップの傾斜してワイヤボンドの不具合等を防止することができるからである。
接着剤としては、耐熱性に優れた樹脂であるポリイミドやポリアミドイミドに、シロキサン構造を導入した低弾性率材料が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2)。しかし、これらの樹脂は、弾性率及び基材に対する接着性の点で改良が必要である。
また、シロキサン変性ポリアミドイミドにマレイミド基を2個以上有する化合物を配合して、高温特性を改良した組成物が知られている(特許文献3)。しかし、この組成物は接着力に劣る。
ポリイミドシリコーンとエポキシ樹脂から成る耐熱性接着フィルムも知られている(特許文献4、特許文献5)。該フィルムは接着性に優れるが、弾性率の点で問題がある。
弾性率をより低下するために、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体をポリイミドシリコーン系樹脂とエポキシ樹脂の組成物に添加した接着剤が知られているが(特許文献6)、樹脂間の相溶性が悪いために、フィルムに塗布された場合に表面に凹凸が発生し、又、経時でゴム状高分子量体成分が分離する欠点がある。
特開平3−189127号公報 特開平4−264003号公報 特開平10−60111号公報 特開平7−224259号公報 特開平8−27427号公報 特開平2003−193016号公報
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、接着性に優れ、低弾性率で且つ耐熱性に優れた硬化物を与える接着剤組成物、及び該接着剤層を備えた接着フィルムを提供することを目的とする。
本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、及びエポキシ樹脂硬化触媒を含有する接着剤組成物に、水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂を配合することにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明をなすに至った。
すなわち、本発明は、
(A)主鎖にジオルガノポリシロキサン残基を有するポリイミド樹脂 100質量部、
(B)エポキシ樹脂 5〜200質量部、
(C)エポキシ樹脂硬化触媒 有効量、
及び
(D)水添1,2−ポリブタジエン樹脂及び/又は水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂 (A)、(B)及び(C)の合計100質量部に対して5〜100質量部、
を含む接着剤組成物、及び該組成物からなる接着層を備えた接着性フィルムである。
本発明の接着剤組成物は、経時安定性に優れ、基材フィルム上に塗布されて平滑な表面の塗膜を形成する。該接着剤はチップ及び各種基材に対して高い接着力を示し、加熱により、低弾性率及び高耐熱性の硬化物を与える。
本発明の接着剤組成物は、(D)水添1,2−ポリブタジエン樹脂及び/又は水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂(以下「樹脂(D)」という)を含むことを特徴とする。樹脂(D)は、(A)ポリイミド樹脂及び(B)エポキシ樹脂と混合されて、均一な組成物を構成し、且つ、硬化物の弾性率を低下する作用を有する。樹脂(D)としては、水添1,2−ポリブタジエン樹脂単体(商品名 BI−2000、BI−3000、日本曹達(株)製)、反応性官能基を有する水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂、例えば、両末端にエポキシ基を有するもの(商品名EPB−13、日本曹達(株)製)、両末端にカルボキシル基を有するもの(C−1000、日本曹達(株)製)、アルコール性水酸基を有するもの(GI−1000、GI−2000、GI−3000(日本曹達(株)製)が挙げられる。さらに、これらの官能基を有する樹脂と反応性の基、例えばイソシアネート基、アミノ基、及びアルコール性水酸基等を有する化合物と反応させて得られる、水添1,2−ポリブタジエン誘導体も使用することができる。接着性の点から、(B)エポキシ樹脂と反応する官能基、例えば、エポキシ基及び/又はカルボキシル基、を含有する水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂が好ましい。
樹脂(D)の配合量は、本発明の(A)、(B)、(C)成分合計量100質量部に対して、5〜100質量部、好ましくは10〜50質量部である。前記下限値未満の樹脂(D)を含む組成物は、その硬化物の弾性率が高くなり過ぎる場合がある。一方、前記上限値超の樹脂(D)を含む組成物は、接着性が低い場合がある。
本発明において、(A)主鎖にジオルガノポリシロキサン残基を有するポリイミド樹脂としては、その前駆体である下記一般式(3)で表されるポリアミック酸樹脂も用いることができる。
Figure 0004577895
式中、Xは芳香族環又は脂肪族環を含む四価の有機基、Yは二価の有機基、qは1〜300の整数であり、Yの少なくとも1つがジオルガノポリシロキサン残基である。
しかし、ダイボンド工程における加熱硬化時にイミド化(脱水閉環)により水が副生し、接着面の剥離等が生じる場合があるため、予めイミド化(脱水閉環)した下記一般式(4)で表されるポリイミド樹脂を用いることが好ましい。

Figure 0004577895
(式中、X、Y及びqは上で定義したとおりである。)
上記一般式(3)において、qは1〜300の整数、好ましくは2〜300の整数、特には5〜300の整数である。該ポリアミック酸樹脂は、下記の方法により調製することができる。得られるポリアミック樹脂を、常法により脱水、閉環することにより、上記一般式(4)で表されるポリイミド樹脂を得ることができる。
一般式(3)で表されるポリアミック酸樹脂は、下記構造式(5)
Figure 0004577895
(但し、Xは上で定義したとおりである。)
で表されるテトラカルボン酸二無水物と、下記構造式(6)
2N−Y−NH2 (6)
(但し、Yは上で定義したとおりである。)
で表されるジアミンとを常法に従って、ほぼ等モルで有機溶剤中で反応させることによって得ることができる。
ここで、上記式(5)で表されるテトラカルボン酸二無水物の例を示すが、これらに限定されるものではない。また、これらテトラカルボン酸二無水物の2種以上を混合物として用いてもよい。
Figure 0004577895
ポリイミド樹脂(A)の主鎖中のジオルガノポリシロキサン残基は、好ましくは、下記式(1)で表されるジアミノシロキサン化合物から誘導される。より好ましくは、有機溶剤への溶解性、基材に対する接着性、低弾性、柔軟性の点から、総ジアミン量の、1〜80モル%、更に好ましくは1〜60モル%が、下記構造式(1)で表されるジアミノシロキサン化合物(又はα,ω−ジアミノポリシロキサン)である。
Figure 0004577895
(式中、R3は炭素原子数3〜9の二価の有機基、R4及びR5は炭素原子数1〜8の非置換又は置換の一価炭化水素基であり、mは1〜200の整数である。)
式(1)において、R3としては、例えば、−(CH23−,−(CH24−,−CH2CH(CH3)−,−(CH26−,−(CH28−等のアルキレン基、
Figure 0004577895
等のアリーレン基、これらを組み合わせたアルキレン・アリーレン基、−(CH23−O−,−(CH24−O−等のオキシアルキレン基、
Figure 0004577895
等のオキシアリーレン基、及びこれらを組み合わせた
Figure 0004577895
等のオキシアルキレン・アリーレン基などの二価炭化水素基が包含される。
4及びR5としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、2−エチルヘキシル基、オクチル基等のアルキル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ヘキセニル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基、これらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部がフッ素、臭素、塩素等のハロゲン原子等で置換された基、例えば、クロロメチル基、ブロモエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が挙げられ、中でもメチル基及びフェニル基が好ましい。
他のジアミン化合物としては、例えば、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(p−アミノフェニルスルホニル)ベンゼン、1,4−ビス(m−アミノフェニルスルホニル)ベンゼン、1,4−ビス(p−アミノフェニルチオエーテル)ベンゼン、1,4−ビス(m−アミノフェニルチオエーテル)ベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−メチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−クロロ−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[3−メチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[3−クロロ−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[3,5−ジメチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[3−メチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[3−クロロ−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[3,5−ジメチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]パーフルオロプロパン等の芳香族環含有ジアミン等が挙げられ、好ましくはp−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−メチル−4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン等である。
これらのジアミノ化合物は、単独でも2種以上の組み合わせでも使用することができる。
接着性の点から、好ましくは、(A)ポリイミド樹脂は、主鎖にフェノール性の水酸基を有する芳香族化合物残基をさらに含む。該残基は、フェノール性の水酸基を有するジアミン化合物から誘導することができ、例えば、下記のものを挙げることができる。
Figure 0004577895
(式中、R7は独立に水素原子又はフッ素、臭素、よう素などのハロゲン原子、あるいは炭素原子数1〜8のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、トリフルオロメチル基、フェニル基などの非置換又は置換一価炭化水素基であり、各芳香族環に付いている置換基は全て同じでも、異なっていてもよい。ここでnは0〜5の整数である。A、Bはそれぞれ2種以上であってもよい。Rは水素原子、ハロゲン原子又は非置換もしくは置換一価炭化水素基である。)
ここで、R7の炭素原子数1〜8の置換又は非置換の一価炭化水素基としては、上記R4及びR5について例示したものと同様のもの、またエチニル基、プロピニル基、ブチニル基、ヘキシニル基等のアルキニル基等を挙げることができる。また、Rの非置換もしくは置換一価炭化水素基も、上記R7で例示したものと同様のものを例示することができる。
上記フェノール性水酸基を有するジアミン化合物の中でも、特に下記式(2)で表されるジアミン化合物が好ましい。
Figure 0004577895
(式中、R7は上記と同じである。)
該フェノール性の水酸基を有するジアミン化合物の量は、ジアミン化合物全体の5〜80モル%、特に10〜60モル%であることが好ましい。該量が前記下限値未満であると、組成物の接着力を向上する効果が不充分である場合があり、前記上限値を超えると、塗膜、即ち接着剤層の柔軟性が不足する場合がある。
フェノール性水酸基の導入のためにフェノール性水酸基を有するモノアミンを用いることもでき、下記の構造を例示することができる。
Figure 0004577895
(式中、R7は上記のとおりであり、各芳香族環に付いている置換基は全て同じでも異なっていてもよい。Dは1種でも2種を併用してもよい。また、pは1〜3の整数である。)
フェノール性水酸基を有するモノアミンは、ジアミン化合物全体に対して1〜10モル%の量で使用される。また、2種以上の混合物として使用してもよい。
ポリアミック酸樹脂及びポリイミド樹脂の生成反応について例を挙げると、上述の出発原料を、不活性な雰囲気下で溶媒に溶かし、通常、80℃以下、好ましくは0〜40℃で反応させて、ポリアミック酸樹脂を合成する。更に得られたポリアミック酸樹脂を、通常、100〜200℃、好ましくは150〜200℃に昇温させることにより、ポリアミック酸樹脂の酸アミド部分を脱水閉環させ、目的とするポリイミド樹脂を合成することができる。
上記反応に使用する有機溶媒は、得られるポリアミック酸に不活性なものであれば、前記出発原料を完全に溶解できるものでなくともよい。例えば、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド及びジメチルスルホキシドが挙げられ、好ましくは非プロトン性極性溶媒、特に好ましくはN−メチルピロリドン、シクロヘキサノン及びγ−ブチロラクトンである。これらの溶媒は、1種又は2種以上組み合わせて用いることができる。
上記の脱水閉環を容易にするためには、トルエン、キシレンなどの共沸脱水剤を用いるのが望ましい。また、無水酢酸/ピリジン混合溶液を用いて低温で脱水閉環を行うこともできる。
なお、ポリアミック酸及びポリイミド樹脂の分子量を調整するために、無水マレイン酸、無水フタル酸などのジカルボン酸無水物及び/又はアニリン、n−ブチルアミン、上記に挙げたフェノール性の水酸基を有するモノアミンを添加することもできる。但し、ジカルボン酸無水物の添加量は、テトラカルボン酸二無水物100質量部当たり、通常、0〜2質量部であり、モノアミンの添加量は、ジアミン100質量部当たり、通常、0〜2質量部である。
本発明で用いられる(B)エポキシ樹脂としては、1分子中にエポキシ基を少なくとも2個有するものが好ましい。このようなエポキシ樹脂の例としては、例えば、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、2,2’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン又はこのハロゲン化物の、ジグリシジルエーテル及びこれらの縮重合物(いわゆるビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、ブタジエンジエポキシド、ビニルシクロヘキセンジオキシド、レゾルシンのジグリシジルエーテル、1,4−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)ジフェニルエーテル、1,4−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)シクロヘキセン、ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)アジペート、1,2−ジオキシベンゼン或いはレゾルシノール、多価フェノール又は多価アルコールとエピクロルヒドリンとを縮合させて得られるエポキシグリシジルエーテル或いはポリグリシジルエステル、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等のノボラック型フェノール樹脂(或いはハロゲン化ノボラック型フェノール樹脂)とエピクロルヒドリンとを縮合させて得られるエポキシノボラック(即ち、ノボラック型エポキシ樹脂)、過酸化法によりエポキシ化したエポキシ化ポリオレフィン、エポキシ化ポリブタジエン、ナフタレン環含有エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、シクロペンタジエン型エポキシ樹脂などが挙げられる。
なお、モノエポキシ化合物を適宜併用することも差し支えなく、例えば、スチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、オクチレンオキシド、ドデセンオキシドなどが挙げられる。これらのエポキシ樹脂は単独でも、2種以上を組合わせて使用してよい。
(B)エポキシ樹脂の配合量は、(A)ポリイミド樹脂100質量部に対して5〜200質量部が好ましく、特に10〜100質量部であることが好ましい。エポキシ樹脂の配合量が前記下限値未満であると、組成物の接着力が劣る場合があり、前記上限値を超えると接着剤層の柔軟性が不足する場合がある。
本発明で用いられるエポキシ樹脂硬化触媒(C)としては公知のものを使用することができ、例えば、リン系触媒、アミン系触媒等が例示される。
リン系触媒としては、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスホニウムトリフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレートや下記に示すような化合物が挙げられる。
Figure 0004577895
(式中、R8〜R15は水素原子又はフッ素、臭素、よう素などのハロゲン原子、あるいは炭素原子数1〜8のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、又は炭素原子数1〜8のアルコキシ基、トリフルオロメチル基、フェニル基などの非置換もしくは置換一価炭化水素基であり、総ての置換基が同一でも、おのおの異なっていても構わない。)
ここで、R8〜R15の一価炭化水素基としては、上記R7で例示したものと同様のもの、またメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基等のアルコキシ基などを挙げることができる。
またアミン系触媒としては、ジシアンジアミド、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体などが挙げられる。
これらのエポキシ樹脂硬化触媒は、単独でも又は2種以上の組合わせて用いることができる。なお、エポキシ樹脂硬化触媒の配合量は、触媒として有効な量であれば特に制限は無いが、通常エポキシ樹脂100質量部に対し0.1〜10質量部、好ましくは0.5〜5質量部である。
本発明の組成物は、エポキシ樹脂用の硬化剤を配合してもよい。該硬化剤としては、従来公知の種々のものを使用することができ、例えば、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ジエチルアミノプロピルアミン、N−アミノエチルピペラジン、ビス(4−アミノ−3−メチルシクロヘキシル)メタン、メタキシリレンジアミン、メンタンジアミン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ(5,5)ウンデカンなどのアミン系化合物;エポキシ樹脂−ジエチレントリアミンアダクト、アミン−エチレンオキサイドアダクト、シアノエチル化ポリアミンなどの変性脂肪族ポリアミン;ビスフェノールA、トリメチロールアリルオキシフェノール、低重合度のフェノールノボラック樹脂、エポキシ化もしくはブチル化フェノール樹脂あるいは“Super Beckcite”1001(日本ライヒホールド化学工業(株)製)、“Hitanol”4010((株)日立製作所製)、Scado form L.9(オランダScado Zwoll社製)、Methylon 75108(米国ゼネラルエレクトリック社製)などの商品名で知られているフェノール樹脂などの、分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を含有するフェノール樹脂;“Beckamine”P.138(日本ライヒホールド化学工業(株)製)、“メラン”((株)日立製作所製)、“U−Van”10R(東洋高圧工業(株)製)などの商品名で知られている炭素樹脂;メラミン樹脂、アニリン樹脂などのアミノ樹脂;式HS(C24OCH2OC24SS)n24OCH2OC24SH(n=1〜10の整数)で示されるような1分子中にメルカプト基を少なくとも2個有するポリスルフィド樹脂;無水フタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ピロメリット酸、メチルナジック酸、ドデシル無水こはく酸、無水クロレンディック酸などの有機酸もしくはその無水物(酸無水物)などが挙げられる。上記した硬化剤のうちでもフェノール系樹脂(フェノールノボラック樹脂)が、良好な成形作業性を与えるとともに、優れた耐湿性を与え、また毒性がなく、比較的安価であるので望ましいものである。上記した硬化剤は、その使用にあたっては必ずしも1種類に限定されるものではなく、それら硬化剤の硬化性能などに応じて2種類以上を併用してもよい。
この硬化剤の使用量は適宜調整されるが、一般には前記エポキシ樹脂100質量部に対して1〜100質量部、より典型的には5〜50質量部の範囲である。硬化剤の使用量が1質量部未満では、本発明の組成物を良好に硬化させることが困難となる場合があり、逆に100質量部を超えると、経済的に不利となるほか、エポキシ樹脂が希釈されて硬化に長時間を要するようになり、更には硬化物の物性が低下するという不利が生じる場合がある。
更に、本発明の組成物には、本発明の効果を損わない範囲内で、シリカ微粉末、アルミナ、酸化チタン、カーボンブラック、導電性粒子等の充填剤、無機系あるいは有機系の顔料、染料等の着色剤、濡れ向上剤、酸化防止剤、熱安定剤等の添加剤などを目的に応じて添加することができる。
本発明の接着剤組成物は、上記(A)ポリイミド樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)エポキシ樹脂硬化触媒、(D)水添1,2−ポリブタジエン樹脂、及び、所望によりその他の成分を、定法に従い混合することにより調製することができる。
本発明の接着剤組成物の使用方法は、例えば、該接着剤組成物をトルエン、シクロヘキサノン、NMPなどの非プロトン性極性溶媒に適当な濃度に溶解し、基板上に塗布、乾燥し、被着体を圧着して加熱硬化する。また、溶媒に適当な濃度に溶解した接着剤組成物を支持基材上に塗布、乾燥し、接着層を形成したフィルムを得(以下、これを接着フィルムとする。)、この接着フィルムを基板と被着体で挟んで圧着し、加熱硬化して接着することもできる。該支持基材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリテトラフルオロエチレン、紙、金属箔等、あるいはこれらの表面を離型処理したものを用いることができる。
接着剤組成物を塗布した後の乾燥条件としては、常温〜200℃、特に80〜150℃で1分〜1時間、特に3〜10分間とすることが好ましい。接着剤層の膜厚は特に制限はなく、目的に応じ選択することができ、通常、10〜100μmであり、好ましくは15〜50μmである。また、接着剤層の硬化条件としては、圧力0.01〜10MPa、特に0.1〜2MPaで圧着した後、温度100〜200℃、特に120〜180℃で30分〜5時間、特に1〜2時間で硬化させることができる。
本発明の接着剤組成物は、電子部品の製造だけでなく、接着工程を含む種々の工程で用いることができる。
以下、実施例により、本発明をさらに説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
ポリイミド樹脂の合成
[合成例1]
環流冷却器を連結したコック付き25mlの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに、下記構造のジアミノシロキサン:KF−8010(信越化学社製、アミン当量421)44.03質量部、反応溶媒として2−メチルピロリドン100質量部を仕込み、80℃で攪拌し、ジアミノシロキサンを分散させた。これに酸無水物として6FDA(2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物38.72質量部と2−メチルピロリドン100質量部の溶液を滴下して室温で2時間攪拌反応を行うことにより、酸無水物リッチのアミック酸オリゴマーを合成した。
Figure 0004577895
次に、下記式
Figure 0004577895
で示されるフェノール性水酸基を有する芳香族ジアミン17.25質量部と100質量部の2−メチルピロリドンを環流冷却器が連結されたコック付き25mlの水分定量受器、温度計、攪拌器を備えた1Lのセパラブルフラスコに仕込み、分散させ、前出の酸無水物リッチのアミック酸オリゴマーを滴下した後、室温で16時間攪拌し、ポリアミック酸溶液を合成した。その後、キシレン25mlを投入してから温度を上げ、約180℃で2時間環流させた。水分定量受器に所定量の水がたまっていること、水の流出が見られなくなっていることを確認し、水分定量受器にたまっている流出液を除去しながら、180℃でキシレンを除去した。反応終了後、得られた反応液を大過剰のメタノール中に滴下し、ポリマーを析出させ、減圧乾燥してポリイミド樹脂を得た。
得られたポリイミド樹脂の赤外吸光スペクトルを測定したところ、ポリアミック酸に基づく吸収は現れず、1780cm-1及び1720cm-1にイミド基に基づく吸収を確認し、3500cm-1にフェノール性水酸基に基づく吸収を確認した。
実施例1〜5、比較例1〜2
合成例1で得られた(A)ポリイミド樹脂50質量部をシクロヘキサノン50質量部に溶解し、この溶液に下記表1に示す(B)エポキシ樹脂(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、RE310S(商品名)、日本化薬(株)製、又はエピコート834(商品名)、ジャパンエポキシレジン(株)製)、(C)エポキシ硬化触媒(ジシアンジアミド(DICY)、四国化成(株)製)、(D)水添ポリブタジエン樹脂(両末端にエポキシ基を有する水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂、EPB−13(商品名)、日本曹達(株)製又は両末端にカルボキシ基を有する水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂、C−1000(商品名)、日本曹達(株)製の70質量%シクロヘキサノン溶液)を該表に示す質量部(固形分)で混合し、接着剤組成物を調製した。
比較例として、水添ポリブタジエン樹脂を含有しない組成物、水添ポリブタジエン樹脂に代えてブタジエン−アクリロニトリル共重合体(CTBN1300×31、カルボキシル基含有ポリマー、宇部興産社製)の70質量%シクロヘキサノン溶液を含む組成物を調製した。
樹脂組成物の経時安定性
得られた各組成物の安定性を評価した。各組成物を4時間放置し、分離等が無いか否かを目視観察し、相分離等が観察されなかったものをG、相分離が観察されたものをNGとして評価した。
次いで、各組成物をフッ素系シリコーン離型剤がコーティングされた厚さ50μmのPETフィルム上に塗布して、120℃で10分間加熱乾燥し、厚さ約50μmの接着層を備えた接着フィルムを作製した。
接着層の表面状態
得られた各フィルム上の接着層表面を目視観察し、表面が平滑であるものをG、凹凸等が観察されたものをNGとして評価した。
さらに、各接着フィルムについて、硬化接着フィルムの特性(ヤング率、ガラス転移点、加熱重量減少、硬化接着樹脂に対する封止樹脂の接着性、基板との接着性、湿熱後の接着性)を下記方法により評価した。
ヤング率
各接着フィルムを175℃で1時間加熱して硬化させた。20mm×5mm×50μmのフィルムを切り出し、動的粘弾性測定装置を用い、引張りモード、チャック間距離15mm、測定温度25℃、及び測定周波数30Hzの条件でヤング率を測定した。
ガラス転移点
各接着フィルムを175℃で1時間加熱して硬化させた。20mm×5mm×50μmのフィルムを切り出し、熱機械特性の測定装置のTMA−2000(アルバック理工製)を用い、引張りモード、チャック間距離15mm、測定温度25〜300℃、昇温速度10℃/分、測定荷重10gの条件でガラス転移点を測定した。
加熱重量減少温度
各接着フィルムを175℃で1時間加熱して硬化させた。このフィルムをTGA測定装置(理学電気社製、差動型示差熱天秤、TG8120)を用いて窒素下で加熱重量減少を測定し、重量減少が5質量%となった温度を求めた。
接着性試験(初期)
各接着フィルムを5mm×5mmに切断して接着剤層側を18mm×18mmの42アロイ(凸版印刷社製KAKU−42、42アロイの試験片)に80℃、0.01MPaの条件で30秒熱圧着して固定した後、PETフィルムを剥離して、再度18mm×18mmの42アロイの試験片を、前記試験片との重なりが5mm×5mmになるように接着剤層をはさんで重ねて、前記と同条件で熱圧着して固定した。この圧着した積層体を175℃で4時間加熱処理して接着剤層を硬化させ、接着用試験片を作製した。その後、(株)島津製作所製のオートグラフ引張り試験機を用いて、速度2.0mm/分でせん断接着力(MPa)を測定した。
湿熱後の接着性試験
上述と同様にして調製した接着用試験片を85℃/85%RH条件下で168時間保持した後、(株)島津製作所製のオートグラフ引張り試験機を用いて、上述と同様にしてせん断接着力を測定した。
評価結果を表1に示す。
Figure 0004577895
表1から分かるように、本発明の組成物から得られる硬化物は、水添ポリブタジエン樹脂を含まない組成物(比較例1)と比べて、ほぼ同等の耐熱性を示しつつ、ヤング率が顕著に低い。また、ブタジエン−アクリルニトリル共重合体を含む組成物(比較例2)に比べて、経時安定性に優れ、滑らかな表面の塗膜を与える。
本発明の接着剤組成物は、半導体ダイボンド用に好適に使用される。その他、低弾性率、高耐熱性が要求される用途における接着剤として好適である。

Claims (6)

  1. (A)主鎖にジオルガノポリシロキサン残基を有するポリイミド樹脂 100質量部、
    (B)エポキシ樹脂 5〜200質量部、
    (C)エポキシ樹脂硬化触媒 有効量、
    及び
    (D)水添1,2−ポリブタジエン樹脂及び/又は水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂 (A)、(B)及び(C)の合計100質量部に対して5〜100質量部、
    を含む接着剤組成物。
  2. (D)水添1,2−ポリブタジエン樹脂及び/又は水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂を(A)、(B)及び(C)の合計100質量部に対して10〜50質量部で含む請求項1記載の接着剤組成物。
  3. (D)水添1,2−ポリブタジエン誘導体樹脂が、エポキシ基及び/又はカルボキシル基を有することを特徴とする請求項1または2記載の接着剤組成物。
  4. 前記ジオルガノポリシロキサン残基が、下記式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の接着剤組成物。

    Figure 0004577895
    (式中、R3は炭素原子数3〜9の二価の有機基、R4及びR5は炭素原子数1〜8の置換されていてよい一価炭化水素基であり、mは1〜200の整数である。)
  5. 前記ポリイミド樹脂(A)が、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物残基をさらに有し、該残基が下記式(2)で表されるジアミン化合物から誘導されたものである、請求項1〜4のいずれか1項記載の接着剤組成物。
    Figure 0004577895
    (式中、R7は互いに独立に、水素原子、ハロゲン原子、又は炭素原子数1〜8の置換されていてよい一価炭化水素基である。)
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の接着剤組成物からなる接着層を備えた接着性フィルム。
JP2005170723A 2005-06-10 2005-06-10 接着剤組成物及び接着性フィルム Active JP4577895B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005170723A JP4577895B2 (ja) 2005-06-10 2005-06-10 接着剤組成物及び接着性フィルム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005170723A JP4577895B2 (ja) 2005-06-10 2005-06-10 接着剤組成物及び接着性フィルム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006342287A JP2006342287A (ja) 2006-12-21
JP4577895B2 true JP4577895B2 (ja) 2010-11-10

Family

ID=37639478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005170723A Active JP4577895B2 (ja) 2005-06-10 2005-06-10 接着剤組成物及び接着性フィルム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4577895B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4658735B2 (ja) * 2005-08-18 2011-03-23 信越化学工業株式会社 接着剤組成物及び接着フィルム
JP2008248114A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Shin Etsu Chem Co Ltd 接着剤組成物
JP2012082261A (ja) * 2010-10-07 2012-04-26 Kaneka Corp 光硬化性組成物およびその硬化物
JP5971960B2 (ja) * 2012-01-20 2016-08-17 旭化成株式会社 積層体、積層体の製造方法及びプリント配線基板の製造方法
WO2015107990A1 (ja) * 2014-01-15 2015-07-23 東レ株式会社 接着組成物ならびにそれを有する接着フィルム、接着組成物付き基板、半導体装置およびその製造方法
SG11201606994XA (en) * 2014-02-26 2016-09-29 Toray Industries Polyimide resin, resin composition using same, and laminated film
CN106995678B (zh) * 2015-12-28 2021-01-15 荒川化学工业株式会社 聚酰亚胺类胶粘剂
CN112980385B (zh) * 2019-12-16 2024-06-18 荒川化学工业株式会社 粘接剂组合物、粘接剂组合物的相关制品及其制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0827427A (ja) * 1994-07-13 1996-01-30 Sumitomo Bakelite Co Ltd 耐熱性フィルム接着剤及びその製造方法
JPH09328665A (ja) * 1996-06-12 1997-12-22 Tomoegawa Paper Co Ltd 電子部品用液状接着剤および接着テープ
JP2003193016A (ja) * 2001-12-26 2003-07-09 Hitachi Chem Co Ltd 高耐熱高放熱接着フィルム
JP2006165045A (ja) * 2004-12-02 2006-06-22 Shin Etsu Chem Co Ltd ダイシング・ダイボンド用接着シート

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0827427A (ja) * 1994-07-13 1996-01-30 Sumitomo Bakelite Co Ltd 耐熱性フィルム接着剤及びその製造方法
JPH09328665A (ja) * 1996-06-12 1997-12-22 Tomoegawa Paper Co Ltd 電子部品用液状接着剤および接着テープ
JP2003193016A (ja) * 2001-12-26 2003-07-09 Hitachi Chem Co Ltd 高耐熱高放熱接着フィルム
JP2006165045A (ja) * 2004-12-02 2006-06-22 Shin Etsu Chem Co Ltd ダイシング・ダイボンド用接着シート

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006342287A (ja) 2006-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5046366B2 (ja) 接着剤組成物及び該接着剤からなる接着層を備えたシート
TWI460249B (zh) 黏合組成物、黏合膜及製造半導體元件的方法
JP2008124141A (ja) ダイシング・ダイボンド用接着フィルム
KR101304798B1 (ko) 접착제 조성물 및 상기 접착제로 이루어지는 접착층을구비한 시트
JP4658735B2 (ja) 接着剤組成物及び接着フィルム
JP2008248114A (ja) 接着剤組成物
JP2008166578A (ja) 半導体装置の製造方法及び半導体装置
JP2010265338A (ja) 接着剤組成物、接着用シート及びダイシング・ダイアタッチフィルム
JP5648617B2 (ja) 熱伝導性接着剤組成物並びにそれを用いた接着用シート及び熱伝導性ダイシング・ダイアタッチフィルム
JP2008021858A (ja) ダイシング・ダイボンド用接着フィルム
JP2008138124A (ja) 接着剤組成物及び接着性フィルム
JP4235808B2 (ja) 接着剤組成物及び接着フィルム
JP2008308618A (ja) 接着剤組成物及び接着フィルム
JP2006005159A (ja) ダイシング・ダイボンド用接着テープ
JP5183076B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP4577895B2 (ja) 接着剤組成物及び接着性フィルム
JP5541613B2 (ja) 熱伝導性接着剤組成物、接着用シートおよび熱伝導性ダイシング・ダイアタッチフィルム
JP4530125B2 (ja) 接着剤組成物及び接着フイルム並びにダイシング・ダイボンド用接着テープ
JP4530126B2 (ja) 接着剤組成物及び接着フイルム
JP4586966B2 (ja) 接着剤組成物及び接着フィルム
JP2008308552A (ja) 接着剤組成物及び接着フィルム
JP4421422B2 (ja) ダイアタッチ可能な半導体チップの製造方法
JP4272471B2 (ja) フィルム状接着剤
JP2009114295A (ja) 接着剤組成物
JP4272468B2 (ja) ポリイミド樹脂の製造方法および該製造方法で得られたポリイミド樹脂

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070621

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100820

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100823

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4577895

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150