JP4483566B2 - 発光装置 - Google Patents
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Description
図1に、本発明の実施例に係るIII族窒化物系化合物半導体素子100の模式的な平面図を、図2にはその断面図を示す。また、図3には、そのIII族窒化物系化合物半導体素子100を用いた発光装置の断面図を示す。
上記の構成のIII族窒化物系化合物半導体素子100は次のように製造された。III族窒化物系化合物半導体素子100は、有機金属気相成長法(以下「MOVPE」と略す)により製造された。用いられたガスは、アンモニア(NH3)、キャリアガス(H2及びN2)、トリメチルガリウム(Ga(CH3)3)(以下「TMG」と記す)、トリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)(以下「TMA」と記す)、トリメチルインジウム(In(CH3)3)(以下「TMI」と記す)、シラン(SiH4)とシクロペンタジエニルマグネシウム(Mg(C5H5)2)(以下「CP2Mg」と記す)である。
以上の結晶成長工程を経たサファイア基板(以下ウェハと呼ぶ)について、ウェハ全面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィによりIII族窒化物系化合物半導体素子100の最外周部がジグザグの形状となるようにフォトレジストを除去して窓を形成し、また同時に、n電極140を形成する部分のフォトレジストを除去して窓を形成した。
次に、ウェハ全面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィにより反射p電極110を形成する部分のフォトレジストを除去して窓を形成し、p型コンタクト層(第2のp層)108を露出させた。続いて、ウェハ全面にロジウム(Rh)を300nm蒸着した。
次に、ウェハ全面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィによりn電極140を形成する部分のフォトレジストを除去して窓を形成し、n型コンタクト層104を露出させた。続いて、ウェハ全面に膜厚約20nmのバナジウム(V)、膜厚約100nmのアルミニウム(Al)の順に、連続して蒸着した。この後、フォトレジストとともにフォトレジスト上のバナジウム(V)とアルミニウム(Al)の積層膜を除去し、n型コンタクト層104上にn電極140としてバナジウム(V)/アルミニウム(Al)積層膜を形成し、次に、N2雰囲気で500℃、4分程度の熱処理を行う。
次に、図3には、上記にて製造した半導体素子100を用いた発光装置200を示している。このIII族窒化物系化合物半導体素子100をリフレクタ部220を有する樹脂ケース210の凹部中央に金バンプ240を介して固定し、樹脂ケース210に形成されたp側電極211とIII族窒化物系化合物半導体素子100の反射p電極110と、又、樹脂ケースに形成されたn側電極212とIII族窒化物系化合物半導体素子100のn電極140をそれぞれ金バンプ240で電気的に接続固定した。そして、樹脂ケースの凹部に透明材料であるシリコン樹脂等の封止材料230を充填し、III族窒化物系化合物半導体素子100を保護した発光装置200を製造した。
(実施の形態2)
図42に、本発明の実施の形態2に係るIII族窒化物系化合物半導体素子300の模式的な平面図を示す。
120 p電極
140 n電極
150 溝
160 凹凸側面
200 発光装置
Claims (5)
- 発光装置において、
p層、発光層及びn層が積層され、前記p層と電気的に接続しているp電極及び前記n層と電気的に接続しているn電極が同一面側に形成されている半導体発光素子と、
前記半導体発光素子は前記p電極及び前記n電極のそれぞれに電気的に接続する回路を有するマウント部材にフリップ実装し、
前記半導体発光素子は、前記p層から前記n層までの斜面を有し、前記斜面は前記発光層から発光した光を拡散させながら発光観測面側に全反射させる表面凹凸構造からなる、
ことを特徴とする発光装置。 - 前記半導体発光素子の前記斜面は、溝状に形成されていることを特徴とする請求項1記載の発光装置。
- 前記凹凸構造は、表裏方向に伸びたのこぎり歯状であることを特徴とする請求項1又は2記載の発光装置。
- 前記n電極は、側面が斜面により形成されたメサ状形状であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の発光装置。
- 前記半導体発光素子の前記斜面は、50度以下30度以上であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の発光装置。
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