JP4374964B2 - 石英ガラスの成形方法及び成形装置 - Google Patents
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Description
のレンズ、ミラー、レチクル等の光学部材では、材料として石英ガラスが多用されている。この石英ガラスは、例えば、火炎加水分解により透明石英ガラスを製造する直接法などの方法で合成されている。
図1に示すような成形装置10を用い、四塩化ケイ素を原料として直接法により製造された直径400mm、長さ216.5mm、重さ59.8kgの2つの合成石英インゴットの成形を行った。このインゴットを500mm×590mmの四方形状を有する四つ割のグラファイト製モールド15に入れ、成形装置10にセットした。インゴットの下面に厚さ30mmの底板16を置き、インゴット25aの上面に厚さ30mmの中板27を置いた。そして、2つ目のインゴット25bを中板27の上に置き、その上面に中板27と同形の30mmの天板23を置いた。更に、天板23にシリンダロッド26を配置した。
[参考例]
11 真空チャンバー
12 断熱材
13 カーボンヒータ
15 モールド
16 底板
17 受板
18 底部
19 側板
20 側壁部
21 中空部
23 天板(加圧部)
24 支持リング(嵌合手段)
25 石英ガラス
26 シリンダロッド(成形手段)
27 中板(仕切部)
Claims (2)
- モールドの中空部内に石英ガラスを収容し、該石英ガラスを加熱しつつ、加圧部により加圧することにより所望形状に成形する方法であって、
前記中空部の内部に移動可能に仕切部を配置して該中空部を複数の分割中空部に区画するとともに、該複数の分割中空部のそれぞれに前記石英ガラスを収容して前記加圧部により複数の前記石英ガラスを同時に成形する石英ガラスの成形方法において、
前記モールドが、前記石英ガラスより膨張係数の大きい材料からなり、互いに当接した状態で組合されて前記中空部を形成する複数の側板と、該組合された複数の側板の周囲に嵌合される嵌合手段とを備え、成形時には嵌合状態を維持するとともに、成形後の冷却時には前記モールドと前記石英ガラスとの膨張係数の相違に基づいて前記複数の側板に与えられる外方向の力により嵌合状態を解除して前記複数の側板を離間するように、前記複数の側板と前記嵌合手段との嵌合面にテーパ形状を有するものであり、
前記成形時に前記複数の石英ガラスによる前記各側板に対する押圧力が所定値以下となるように、前記加圧部による最大加圧力を調整して前記複数の石英ガラスを成形することを特徴とする石英ガラスの成形方法。 - 石英ガラスを収容可能な中空部を有するモールドと、前記中空部の内部に移動可能に配置された加圧部と、前記中空部に収容された前記石英ガラスを加熱する加熱手段とを備え、前記中空部内に前記石英ガラスを収容して前記加熱手段で加熱しつつ前記加圧部により加圧することにより前記石英ガラスを所望形状に成形する成形装置であって、
前記中空部の内部に移動可能に仕切部を配置して該中空部を複数の分割中空部に区画するとともに、該複数の分割中空部のそれぞれに前記石英ガラスを収容して前記加圧部により複数の前記石英ガラスを同時に成形可能に構成した石英ガラスの成形装置において、
前記モールドが、前記石英ガラスより膨張係数の大きい材料からなり、互いに当接した状態で組合されて前記中空部を形成する複数の側板と、該組合された複数の側板の周囲に嵌合される嵌合手段とを備え、成形時には嵌合状態を維持するとともに、成形後の冷却時には前記モールドと前記石英ガラスとの膨張係数の相違に基づいて前記複数の側板に与えられる外方向の力により嵌合状態を解除して前記複数の側板を離間するように、前記複数の側板と嵌合手段との嵌合面にテーパ形状を有するものであり、
異なる成形工程において、前記成形時に前記複数の石英ガラスによる前記各側板に対する押圧力が所定値以下となるように、前記加圧部による最大加圧力を調整可能としたことを特徴とする石英ガラスの成形装置。
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