JP4217074B2 - Wet processing equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエット処理装置に係り、より詳細には、レンズや金属部品などの被処理物を製造工程時に処理液を貯留した処理槽内に浸漬させて洗浄、剥離、成膜、リンスなどのウエット処理を行うウエット処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】
特開平8−310635号公報(第4頁、第2図)
【0003】
従来、ウエット処理装置は、例えば、レンズの薬液洗浄、成膜(コーティング)、リンスなどの処理工程、または金属部品の脱脂(洗浄)などの処理工程に広く用いており、このレンズや金属部品などの被処理物を搬送冶具に複数保持し、その状態で処理槽に搬送してバッチ式に処理液に浸漬させてウエット処理を行っていた(例えば、特許文献1を参照)。図4は、このようなウエット処理を行う従来のウエット処理装置を示す構成図である。また、図5は、図4に示したウエット処理装置の動作を示す図であり、図5(a)は被処理物1を処理槽28に浸漬する前の状態を、図5(b)は被処理物1を処理槽28に浸漬した状態を各々示している。
【0004】
図4に示すように、従来のウエット処理装置は、被処理物1を複数収容する金網からなる箱状の搬送冶具22と、この搬送冶具22を載置して所定方向に誘導して搬送するレール体24と、このレール体24の下部に少なくとも1つ以上配置されて被処理物1を浸漬させてウエット処理する処理液を貯留した処理槽28と、この処理槽28の上部に配置したレール体24の一部を昇降可能に保持して搬送した搬送冶具22とともに降下させて処理液に浸漬させることで被処理物1をウエット処理する昇降手段26とを備えている。
【0005】
ここで、処理槽28、レール体24、及び昇降手段26は、一体に周囲を囲んでユニット化する本体20を更に備え、この本体20内に内蔵して常に清浄な状態を維持している。また、昇降手段26は、レール体24の一部を保持するハンガ26aを備え、このハンガ26aをモータまたはシリンダなどによる推力の上下動機構により昇降する構造を備えている。また、レール体24は、搬送冶具22を載置して回転式のローラ、チェーン、ベルトなどの搬送手段(図4では複数配列したローラ)を用いることで次の処理工程に水平搬送できるように形成している。この際、搬送冶具22は、図5(a)に示すように、本体20内でレール体24の上部に沿って摺動する搬送機構21を備え、この搬送機構21により押されて処理槽28の位置まで搬送している。そして、処理槽28は、図5(a)に示したように、オーバーフロー槽に形成しており、このオーバーフローした処理液が配管29を介してポンプ29a及びフィルタ29bに供給されて濾過することで再び槽内に循環するように形成している。
【0006】
このような従来のウエット処理装置を用いてウエット処理を行う場合、図5(a)に示したように、まず、搬送冶具22に被処理物1を複数収容してレール体24に載置するとともに、この搬送冶具22を搬送機構21により押してスライド搬送することで処理槽28の上部まで移動させる。そして、搬送冶具22が処理槽28の上部まで移動すると、図5(b)に示すように、搬送機構21を停止すると同時に、昇降手段26を駆動してハンガ26aを降下させることでレール体24と搬送冶具22とを処理槽28内に浸漬させる。これにより搬送冶具22は、処理槽28に貯留した処理液に浸漬して内部に収納した複数の被処理物1をウエット処理する。この際、処理槽28では、ポンプ29aを駆動させてオーバーフローする処理液を配管29を介してポンプ29a及びフィルタ29bに供給して濾過することで再び槽内に循環する。その後、ウエット処理が終了すると、図5(a)に示したように、再び、昇降手段26のハンガ26aを上昇させて搬送機構21により搬送冶具22を次の処理工程に搬送する。
【0007】
このように従来のウエット処理装置は、被処理物1を搬送冶具22内に複数収納して本体20内のレール体24に載置することで、この本体20内で搬送機構21が処理槽28まで自動的に搬送するとともに昇降手段26によりウエット処理を円滑に処理して次工程に搬送できるように形成していた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のウエット処理装置では、図5(b)に示したように、ハンガ26aやレール体24が搬送冶具26とともに処理槽28内に浸漬するため、このハンガ26aやレール体24が干渉しないように処理槽28内の容積を大きく設ける必要があり、処理液が大量に必要になるとともに、フィルタ29b及びポンプ29aにより循環して濾過する効率も悪くなるという不具合があった。また、従来のウエット処理装置では、前述したように、ウエット処理に直接関係のないハンガ26aやレール体24のような部品が処理槽28内に直接浸漬してしまうため、処理槽28内の清浄度を上げられないという問題もある。
さらに、従来のウエット処理装置では、前述したように処理槽28の容積が大きくなると同時に、この処理槽28の近傍にレール体24を昇降させる昇降手段26の配置スペースを確保する必要があるため、装置全体(本体20)が大型化し、例えば、複数の処理槽28を連設させて種々の処理液を用いる場合、この処理槽28毎に昇降手段26が必要になり非常に装置全体が大型化するという欠点があった。
本発明はこのような課題を解決し、処理槽を小さくして装置全体を小型化することで処理液の使用量を低減して槽内が清浄で循環効率が向上するウエット処理装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、複数の被処理物を収容する凹状の籠部または被処理物を少なくとも1つ保持する保持部を吊り下げて空中保持する上部から両側に延在する枠部及びこの枠部の下部に延在する下端部を備えた搬送冶具と、この搬送冶具の両下端に係合させる回転式のローラを両側に複数配列させてこのローラの中心が両側から円柱状に突出して搬送治具の下端部に係合し当該円柱状の径が外側に向かって広がり下端部が外れないように両端を保持して所定方向に誘導して搬送するレール体と、このレール体の下部に少なくとも1つ以上配置されて被処理物を浸漬させてウエット処理する処理液を貯留した処理槽と、レール体の下部で処理槽を昇降可能に保持して搬送冶具を搬送して待機する被処理物を空中保持した籠部または保持部の下部から処理槽をレール体のローラ間を介して枠部内に上昇させて籠部または保持部のみを処理液に浸漬させてウエット処理する昇降手段とを備える。
【0010】
ここで、昇降手段は、処理槽をモータまたはシリンダなどによる推力の上下動機構により昇降させることが好ましい。また、処理槽は、オーバーフロー槽に形成し、このオーバーフローした処理液が配管を介してポンプ及びフィルタに供給されて濾過することで再び槽内に循環することが好ましい。また、処理槽は、昇降手段により昇降する際、ポンプ及びフィルタを接続する配管に柔軟性を有したフレキシブル配管や回転継ぎ手を介在することで負荷を掛けないように考慮して設けることが好ましい。また、処理槽、レール体、及び昇降手段は、一体に周囲を囲んでユニット化する本体を更に備えて内蔵していることが好ましい。また、本体は、処理槽を1槽毎にユニット分割し、目的に応じて処理槽を複数直列に接続して構成することが好ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明によるウエット処理装置の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明によるウエット処理装置の一実施形態を示す構成図である。また、図2は、図1に示した搬送冶具の他の実施例を示す図である。また、図3は、図1に示したウエット処理装置の動作を示す図であり、図3(a)は被処理物1を処理槽18に浸漬する前の状態を、図3(b)は被処理物1を処理槽18に浸漬した状態を各々示している。
【0012】
図1に示すように、本発明によるウエット処理装置の一実施形態は、図4に示した従来技術と同様にレンズや金属部品などの被処理物1をウエット処理する装置であり、複数の被処理物1を空中保持する搬送冶具12と、この搬送冶具12の両下端に係合して所定方向に誘導して搬送するレール体14と、このレール体14の下部に少なくとも1つ以上配置されて被処理物1を浸漬させてウエット処理する処理液を貯留した処理槽18とを備えている。
【0013】
ここで、処理槽18は、図4に示した従来技術とは異なり、レール体14の下部で昇降手段16により昇降可能に保持されており、レール体14で搬送冶具12を搬送して待機する被処理物1の空中保持した下部から上昇して被処理物1を処理液に浸漬させてウエット処理するように形成している。また、搬送冶具12は、被処理物1を複数収容する金網からなる凹状の籠部12aと、この籠部12aを吊り下げるために上部から両側に延在する枠部12bと、この枠部12bの下部に延在してレール体14に係合する下端部12cとを備え、レール体14に下端部12cを係合して籠部12aを吊設した状態にすることで下部から処理槽18を上昇させてウエット処理するように形成している。ここで、搬送冶具12は、被処理物1を収容する籠部12aを設けて吊り下げる実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、被処理物を1つずつ保持して複数吊り下げることも可能である。このような被処理物を1つずつ保持して吊り下げる搬送冶具13の他の実施例は、図2に示すように、被処理物1を少なくとも1つ保持(図2では単一のレンズを保持)する保持部13aと、この保持部13aを複数吊り下げる上部から両側に延在した枠部13bと、この枠部13bの下部に延在してレール体14(図1参照)に係合する下端部13cとを備え、レール体14に下端部13cを係合して保持部13aを複数吊設した状態にすることで下部から処理槽18(図1参照)を上昇させてウエット処理する。このうような搬送冶具の他の実施例では、複数の被処理物1を枠部13bに吊り下げる構造のため、図1に示した搬送冶具と同様の効果を得ることができる。
【0014】
再び、図1を参照して、レール体14は、搬送冶具13の下端部13cに係合する回転式のローラ、チェーン、ベルトなどの搬送手段(図1では複数配列させたローラ)を用いて構成し、次の処理工程に水平搬送できるように形成している。このレール体14は、下端部12cの底部に両側から略円柱状のローラを突出し、このローラの径が外側に向かって広がり下端部12cが外れないように両端を保持している。また、レール体14は、図示していないモータなどの駆動源によりローラを回転するように形成している。従って、本実施の形態は、レール体14で搬送する搬送冶具12の下方から処理槽18を上昇させてウエット処理する構造のため、搬送冶具12の籠部12aのみが浸漬する小型の処理槽18を形成することが可能になる。
【0015】
また、処理槽18、レール体14、及び昇降手段16は、図4に示した従来技術と同様に、一体に周囲を囲んでユニット化する本体10を備え、この本体10内に内蔵して常に清浄な状態を維持している。また、昇降手段16は、処理槽18を保持するハンガ16aを備え、このハンガ16aをモータまたはシリンダなどによる推力の上下動機構により昇降する構造を備えている。ここで、昇降手段16は、従来技術のように処理槽の近傍でレール部を昇降させる配置スペースを設ける必要がなく、レール部14の下部に設置できるため、本体10内の狭い設置スペースでも配置でき、装置全体を小型化することができる。そして、処理槽18は、図3(a)に示したように、オーバーフロー槽に形成し、このオーバーフローした処理液が配管19を介してポンプ19a及びフィルタ19bに供給されて濾過することで再び槽内に循環するように形成している。この際、処理槽18は、従来技術とは異なり、昇降手段16により昇降する際、ポンプ19a及びフィルタ19bを接続する配管19に柔軟性を有したフレキシブル配管19cを介在することで、配管19に負荷を掛けないように考慮して配置している。
【0016】
ところで、本実施の形態では、図1に示した本体10内に複数の処理槽18を配列させることも可能であるが、例えば、処理槽18を1槽毎にユニット分割した本体10を複数設け、この1槽毎の処理槽18を備える本体10を目的に応じて直列に複数接続して構成することも可能である。これにより本実施の形態では、処理目的の違う本体を複数直列接続することで、処理要求に応じた種々の構成を容易に実現でき、多様化する処理工程に対応することができる。ここで、被処理物がプラスチックレンズの場合、例えば、アルカリ洗浄工程、すすぎ処理工程、乾燥工程、コーティング処理工程、熱硬化工程などのプラスチックレンズ製造工程を有しており、本実施形態の処理液を変えてアルカリ洗浄工程(アルカリ系溶剤)、すすぎ処理工程(シスイ、純水)、コーティング処理工程(コート液)に各々対応させることができる。
【0017】
そして、このような本発明によるウエット処理装置の一実施形態を用いてウエット処理を行う場合、図3(a)に示したように、まず、搬送冶具12の籠部12aに被処理物1を複数収容してレール体14に載置するとともに、このレール体14のローラを駆動源(図示せず)により回転することで搬送冶具12をスライド搬送させて処理槽18の上部まで移動させる。搬送冶具12が処理槽18の上部まで移動すると、図3(b)に示すように、レール体14の回転を停止して下端部12cの搬送を止めると同時に、昇降手段16が駆動することでハンガ16aに保持した処理槽18を搬送冶具12の枠部12bに吊り下げた籠部12aに向けて上昇させる。この際、配管19は、ポンプ19a及びフィルタ19bと処理槽18との間にフレキブル配管19cを介在していることで、図3(b)に示したように、このフレキブル配管19cが処理槽18の上昇とともに伸長して負荷が掛かることを防止する。これにより搬送冶具12は、処理槽18に貯留した処理液内に籠部12aのみを浸漬し、この内部に収納した複数の被処理物1をウエット処理する。この際、処理槽18では、ポンプ19aを駆動させてオーバーフローする処理液を配管19を介してポンプ19a及びフィルタ19bに供給して濾過することで再び槽内に循環させる。その後、ウエット処理が終了すると、図3(a)に示したように、再び、昇降手段16のハンガ16aを下降させてレール体14を駆動して搬送冶具12を次の処理工程(例えば、乾燥工程)に搬送する。
【0018】
このように、本発明によるウエット処理装置の一実施形態によると、図3(b)に示したように、搬送冶具12の籠部12aのみを処理槽18内の処理液に浸漬する構造のため、処理槽18の容積を籠部12aに合わせて小型化することができ、処理液の使用量も低減するとともに、フィルタ19b及びポンプ19aにより循環して濾過する効率を同時に向上できる。従って、本実施の形態は、装置の消費電力が少なくなりランニングコストの低減が期待できるとともに、ウエット処理後の排液を少なくして環境負荷の低減に貢献する。
【0019】
また、本発明によるウエット処理装置の一実施形態によると、前述したように処理槽18内の処理液に搬送冶具12の籠部12aのみを浸漬させてウエット処理する構造のため、この籠部12a及び被処理物1以外の部品による処理液の汚染を防止し、処理槽18内の清浄度を上げることができる。
【0020】
さらに、本発明によるウエット処理装置の一実施形態によると、処理槽18を小型化するとともに昇降手段16をレール体14の下部に配置して本体10内の設置スペースを最小にするため、複数の処理槽18を配列して種々の処理液を用いた場合でも装置全体(本体10)を小型化することができる。従って、本実施の形態では、図3に示した従来技術の装置に比べて装置寸法に明確な違いが生ずるとともに、例えば、プラスチックレンズ用の製造装置の場合、装置長さと奥行きがそれぞれ約半分になり、製造コスト削減にも寄与する事ができる。
【0021】
以上、本発明によるウエット処理装置の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、処理槽を複数連設してウエット処理する実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、本体内に単一の処理槽のみを密閉して被処理物をウエット処理することも可能である。
【0022】
【発明の効果】
このように本発明によるウエット処理装置によれば、被処理物を複数空中保持した搬送冶具のみを処理槽内の処理液に浸漬させる構造のため、この処理槽の容積を搬送冶具に合わせて小型化することができ、処理液の使用量も低減することができる。
また、本発明によるウエット処理装置によれば、前述したように処理槽内の処理液に搬送冶具のみを浸漬させてウエット処理する構造のため、この搬送冶具及び被処理物以外の部品による処理液の汚染を防止し、処理槽内の清浄度を上げることができる。
さらに、本発明によるウエット処理装置によれば、処理槽を小型化するとともに昇降手段をレール部の下部に配置して装置内の設置スペースを最小にできるため、複数の処理槽を配列して種々の処理液を用いても装置全体の大きさを小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるウエット処理装置の一実施形態を示す構成図。
【図2】図1に示した搬送冶具の他の実施例を示す図。
【図3】図1に示したウエット処理装置の動作を示す図。
【図4】従来のウエット処理装置を示す構成図。
【図5】図4に示したウエット処理装置の動作を示す図。
【符号の説明】
1 被処理体
10 本体
12 搬送冶具
12a 籠部
12b 枠部
12c 下端部
14 レール体
16 昇降手段
16a ハンガ
18 処理槽
19 配管
19a ポンプ
19b フィルタ
19c フレキシブル配管[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a wet processing apparatus, and more specifically, wets such as cleaning, peeling, film formation, and rinsing by immersing an object to be processed such as a lens or a metal part in a processing tank storing a processing liquid during a manufacturing process. The present invention relates to a wet processing apparatus that performs processing.
[0002]
[Prior art]
[Patent Document 1]
JP-A-8-310635 (page 4, FIG. 2)
[0003]
Conventionally, wet processing apparatuses are widely used in processing steps such as chemical cleaning of lenses, film formation (coating), and rinsing, or processing steps such as degreasing (cleaning) of metal parts. A plurality of objects to be processed are held in a transfer jig, transferred to a processing tank in that state, and immersed in a processing solution in a batch manner to perform wet processing (see, for example, Patent Document 1). FIG. 4 is a block diagram showing a conventional wet processing apparatus that performs such wet processing. 5 is a diagram showing the operation of the wet processing apparatus shown in FIG. 4. FIG. 5 (a) shows a state before the
[0004]
As shown in FIG. 4, the conventional wet processing apparatus has a box-
[0005]
Here, the
[0006]
When performing wet processing using such a conventional wet processing apparatus, as shown in FIG. 5A, first, a plurality of objects to be processed 1 are accommodated in the
[0007]
As described above, the conventional wet processing apparatus accommodates a plurality of objects to be processed 1 in the
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional wet processing apparatus, the
Further, in the conventional wet processing apparatus, as described above, the volume of the
The present invention solves such problems, and provides a wet processing apparatus that reduces the amount of processing liquid used by reducing the size of the entire processing tank and reducing the amount of processing liquid, thereby improving the circulation efficiency. For the purpose.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problem, the present invention extends from the upper part that holds a concave saddle that accommodates a plurality of objects to be processed or the holding part that holds at least one object to be processed in the air to both sides. a conveying jig having a lower portion extending in a lower portion of the frame portion and the frame portion, the rollers of rotary to engage both the lower end of the conveying jig by arrayed on both sides the circle center of the roller from both sides A rail body that protrudes in a columnar shape, engages with the lower end portion of the conveying jig, holds the both ends so as to prevent the lower end portion from escaping toward the outside, and conveys the rail body in a predetermined direction. At least one or more disposed at the lower part of the rail body and storing the treatment liquid for immersing the object to be treated and wet processing, and holding the treatment tank up and down at the lower part of the rail body and transporting the transport jig basket portion of the object to be treated was air held to wait Te Other and a lifting means by immersing only the processing tank from the bottom is raised in the frame portion via the inter-roller rail body cage portion or holding portion of the holding portion in the processing liquid to wet treatment.
[0010]
Here, the temperature descending means preferably causes the processing tank is lowered by the thrust of the vertical movement mechanism such as by a motor or a cylinder. Further, it is preferable that the processing tank is formed in an overflow tank, and the overflowed processing liquid is supplied to a pump and a filter through a pipe and filtered to circulate again in the tank. Further, it is preferable that the treatment tank be provided so as not to apply a load by interposing a flexible pipe or a rotary joint having flexibility in the pipe connecting the pump and the filter when the treatment tank is raised and lowered. Moreover, it is preferable that the processing tank, the rail body, and the elevating means further include a built-in main body that integrally surrounds the periphery and is built in. Moreover, it is preferable that a main body divides | segments a processing tank into 1 unit for every tank, and it connects and comprises a plurality of processing tanks according to the objective.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, an embodiment of a wet processing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a wet processing apparatus according to the present invention. Moreover, FIG. 2 is a figure which shows the other Example of the conveyance jig shown in FIG. 3 is a diagram showing the operation of the wet processing apparatus shown in FIG. 1. FIG. 3 (a) shows a state before the
[0012]
As shown in FIG. 1, an embodiment of the wet processing apparatus according to the present invention is an apparatus for performing wet processing on an
[0013]
Here, unlike the prior art shown in FIG. 4, the
[0014]
Referring again to FIG. 1, the
[0015]
Further, the
[0016]
By the way, in the present embodiment, it is possible to arrange a plurality of
[0017]
And when performing wet processing using one embodiment of such a wet processing device by the present invention, first, as shown in Drawing 3 (a), first, to-
[0018]
Thus, according to one embodiment of the wet processing apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 3B, only the
[0019]
Further, according to one embodiment of the wet processing apparatus according to the present invention, as described above, since the wet processing is performed by immersing only the
[0020]
Furthermore, according to one embodiment of the wet processing apparatus according to the present invention, a plurality of
[0021]
Although the embodiment of the wet processing apparatus according to the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be changed without departing from the gist thereof.
For example, the embodiment in which a plurality of treatment tanks are connected and wet-treated has been described. However, the present invention is not limited to this, and only a single treatment tank is sealed in the main body to wet-treat the workpiece. Is also possible.
[0022]
【The invention's effect】
As described above, according to the wet processing apparatus of the present invention, since the structure is such that only the transport jig holding a plurality of objects to be processed in the air is immersed in the processing liquid in the processing tank, the volume of the processing tank is made small according to the transport jig. And the amount of processing solution used can be reduced.
Further, according to the wet processing apparatus of the present invention, since the wet processing is performed by immersing only the transport jig in the processing liquid in the processing tank as described above, the processing liquid by parts other than the transport jig and the object to be processed is used. Contamination can be prevented and the cleanliness in the treatment tank can be increased.
Furthermore, according to the wet processing apparatus of the present invention, the processing tank can be downsized and the lifting means can be arranged at the lower part of the rail portion to minimize the installation space in the apparatus. Even if this processing solution is used, the size of the entire apparatus can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a wet processing apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing another embodiment of the transport jig shown in FIG. 1;
FIG. 3 is a diagram showing an operation of the wet processing apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a configuration diagram showing a conventional wet processing apparatus.
FIG. 5 is a view showing the operation of the wet processing apparatus shown in FIG. 4;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記搬送冶具の両下端部に係合させる回転式のローラを両側に複数配列させ、このローラの中心が両側から円柱状に突出して前記搬送治具の下端部に係合し、当該円柱状の径が外側に向かって広がり前記下端部が外れないように両端を保持して所定方向に誘導して搬送するレール体と、
前記レール体の下部に少なくとも1つ以上配置されて前記被処理物を浸漬させてウエット処理する処理液を貯留した処理槽と、
前記レール体の下部で前記処理槽を昇降可能に保持して前記搬送冶具を搬送して待機する前記被処理物を空中保持した前記籠部または保持部の下部から前記処理槽を前記レール体のローラ間を介して前記枠部内に上昇させて前記籠部または保持部のみを前記処理液に浸漬させてウエット処理する昇降手段とを備えたことを特徴とするウエット処理装置。 A frame that extends from the upper part that holds in the air by suspending a holding part that holds at least one object to be processed or a concave saddle that holds a plurality of objects to be processed , and a lower part of the frame part A transport jig having a lower end portion to perform ,
Is arrayed rollers rotary to engage both the lower end of the conveying jig on both sides, the center of the roller protrudes in a cylindrical shape engaged with the lower end of the conveying jig from both sides, the cylindrical A rail body that extends toward the outside and holds both ends so that the lower end portion does not come off, and guides and conveys the rail body in a predetermined direction.
A treatment tank in which at least one or more disposed at the lower part of the rail body and storing a treatment liquid for immersing the treatment object and performing a wet treatment;
From the bottom of the cage portion or retaining portion of the object to be processed by a vertically movable retaining said treatment vessel to stand by conveying the conveying jig was air maintained at a lower portion of the rail member of the processing tank said rail member A wet processing apparatus comprising: elevating means for lifting the frame portion between the rollers and immersing only the flange portion or the holding portion in the processing liquid.
前記昇降手段は、前記処理槽をモータまたはシリンダなどによる推力の上下動機構により昇降させることを特徴とするウエット処理装置。The wet processing apparatus according to claim 1 ,
The wet processing apparatus, wherein the elevating means elevates and lowers the processing tank by a vertical movement mechanism of thrust by a motor or a cylinder.
前記処理槽は、オーバーフロー槽に形成し、このオーバーフローした処理液が配管を介してポンプ及びフィルタに供給されて濾過することで再び槽内に循環することを特徴とするウエット処理装置。The wet processing apparatus according to claim 1 or 2 ,
The wet processing apparatus is characterized in that the processing tank is formed in an overflow tank, and the overflowed processing liquid is supplied to a pump and a filter through a pipe and filtered to circulate again in the tank.
前記処理槽は、前記昇降手段により昇降する際、前記ポンプ及びフィルタを接続する前記配管に柔軟性を有したフレキシブル配管や回転継ぎ手を介在することで負荷を掛けないように考慮して設けたことを特徴とするウエット処理装置。The wet processing apparatus according to claim 3 ,
The treatment tank is provided so as not to apply a load by interposing a flexible pipe or a rotary joint having flexibility to the pipe connecting the pump and the filter when the treatment tank is raised and lowered by the lifting means. A wet processing apparatus.
前記処理槽、レール体、及び昇降手段は、一体に周囲を囲んでユニット化する本体を更に備えて内蔵していることを特徴とするウエット処理装置。The wet processing apparatus according to any one of claims 1 to 4 ,
The wet processing apparatus, wherein the processing tank, the rail body, and the lifting / lowering means further comprise a built-in main body that integrally surrounds the periphery.
前記本体は、前記処理槽を1槽毎にユニット分割し、目的に応じて前記処理槽を複数直列に接続して構成することを特徴とするウエット処理装置。The wet processing apparatus according to any one of claims 1 to 5 ,
The wet processing apparatus is characterized in that the main body is configured by dividing the processing tank into units for each tank and connecting a plurality of the processing tanks in series according to the purpose.
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