[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP3719249B2 - 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法 - Google Patents

圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3719249B2
JP3719249B2 JP2003028584A JP2003028584A JP3719249B2 JP 3719249 B2 JP3719249 B2 JP 3719249B2 JP 2003028584 A JP2003028584 A JP 2003028584A JP 2003028584 A JP2003028584 A JP 2003028584A JP 3719249 B2 JP3719249 B2 JP 3719249B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
piezoelectric actuator
vibration
vibration mode
drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003028584A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003304693A (ja
Inventor
秀弘 赤羽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2003028584A priority Critical patent/JP3719249B2/ja
Publication of JP2003304693A publication Critical patent/JP2003304693A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3719249B2 publication Critical patent/JP3719249B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電素子を有する圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、圧電素子の圧電効果を利用した各種の圧電アクチュエータが開発されている。この圧電アクチュエータは、腕時計や携帯電話機などの携帯機器の分野に応用されている。携帯機器は、蓄電池や充電池などのバッテリによって駆動されるものである。このような携帯機器に圧電アクチュエータが組み込まれる場合、圧電アクチュエータによる消費電力が低く抑えられる必要がある。
【0003】
そこで、電気エネルギーから機械エネルギーへの変換効率が高く、携帯型機器のような小型機器への搭載を可能とするアクチュエータとして、従来技術(特許文献1)に示すようなものが提案されている。この従来技術には、薄板矩形状の圧電素子等から構成される振動板に駆動信号が印加されると、圧電素子を長手方向に伸縮させて縦振動を励振し、この縦振動によって機械的に屈曲振動を誘発させる圧電アクチュエータが開示されている。この圧電アクチュエータは、振動板に縦振動および屈曲振動の両者を生じさせることにより、駆動対象と接触する部位を楕円軌道に沿って移動させる。
【0004】
【特許文献1】
特開2001−286466号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した圧電アクチュエータにおいて、駆動信号が印加されたときに圧電素子の伸縮によって生じる縦振動は、駆動信号の電圧値により比較的容易に制御されるが、振動板の機械的な特性に応じて誘発される屈曲振動を正確に制御することは技術的に難しく、このため、圧電アクチュエータの振動を制御することが困難であるといった問題がある。特に、圧電アクチュエータの振動のうち、屈曲振動が正確に制御されないと、駆動対象と接触する部位が描く軌道が正常な楕円軌道から外れてしまう。これにより、圧電アクチュエータによる駆動対象の駆動量(例えば変位)が小さくなり、駆動効率(圧電アクチュエータに投入される電力に対する駆動量)が悪くなってしまう。
【0006】
本発明は、上述した事情を鑑みてなされたものであり、その目的は、振動が正確に制御される圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの振動を正確に制御することができる圧電アクチュエータの駆動制御回路、この駆動制御回路を備えた時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、交流電圧が印加されることにより第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じる板状の圧電素子を備えた振動板と、前記第1の振動モードの共振周波数の交流電圧が前記圧電素子に印加されたときに、前記圧電素子の面上のうち、振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された第1の電極と、前記第2の振動モードの共振周波数の交流電圧が前記圧電素子に印加されたときに、前記圧電素子の面上のうち、振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された第2の電極と、を具備し、前記第1の電極は、前記圧電素子に発生する第1の振動モードに大きく起因する電圧を検出し、前記第2の電極は、前記圧電素子に発生する第2の振動モードに大きく起因する電圧を検出することを特徴とする圧電アクチュエータを提供する。
また、上記目的を達成するために、本発明は、圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる駆動回路を制御する駆動制御回路において、前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧を取得する第1の電圧取得手段と、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧を取得する第2の電圧取得手段と、前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する乗算手段と、前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように前記駆動回路を制御する周波数制御手段とを具備することを特徴とする圧電アクチュエータの駆動制御回路を提供する。
【0008】
さらにまた、上記目的を達成するために、本発明は、圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる駆動回路を制御する制御方法において、前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧を取得するとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧を取得する第1ステップと、前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する第2ステップと、前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように前記駆動回路を制御する第3ステップと、を具備する
ことを特徴とする圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法を提供する。
【0009】
本発明に係る圧電アクチュエータの駆動制御回路および圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法において、前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧が取得されるとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧が取得される。そして、前記第1の電圧と、前記第2の電圧とが乗算され、この乗算の結果として得られる乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように前記駆動回路が制御される。
【0010】
一般に、第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じる圧電アクチュエータは、駆動電圧の周波数に応じて振動状態が変化する。この振動状態が変化すると、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極に発生する第1の振動モードに大きく起因する第1の電圧の値と、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極に発生する第2の振動モードに大きく起因する第2の電圧の値とが変動する。すなわち、第1の電圧と第2の電圧との乗算値は、振動状態に依存し、かつ、圧電アクチュエータの振動状態は、駆動電圧の周波数に依存する。本発明に係る圧電アクチュエータの駆動制御回路および圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法によれば、乗算値に応じて圧電素子に印加される駆動電圧の周波数が変更されるようになっており、これにより、圧電アクチュエータの振動が正確に制御される。
【0011】
ここで、上述した圧電アクチュエータの駆動制御回路において、前記周波数制御手段は、前記乗算電圧信号により示される乗算値が略最大となるように、前記駆動電圧の周波数を変更すべく前記駆動回路を制御することが望ましい。より具体的には、前記周波数制御手段は、前記乗算手段から出力された乗算値に対して一定時間の遅延を与えて、遅延乗算値として出力する遅延手段と、前記遅延乗算値と、当該遅延乗算値が前記遅延手段から出力されたときと略同時に前記乗算手段から出力された乗算値とを比較し、当該乗算値が前記遅延乗算値よりも大きい場合に、駆動電圧の周波数を高めるように前記駆動回路を制御する一方、当該乗算値が前記遅延乗算値以下の場合に、駆動電圧の周波数を低くするように前記駆動回路を制御する制御手段とを備える構成が望ましい。
【0012】
一般に、乗算値が略最大となると、第1振動モードに起因する振幅と第2振動モードに起因する振幅とが略最大となる。すなわち、上述した圧電アクチュエータの駆動制御回路によれば、乗算値が略最大となるような周波数の駆動電圧が圧電素子に印加されるから、圧電アクチュエータの第1振動モードに起因する振幅と、第2モードに起因する振幅とが略最大となるため、駆動対象の駆動量(変位量)が大きくなり、駆動効率も向上する。
【0013】
さらに、上述した圧電アクチュエータの駆動制御回路の他の望ましい構成として、前記周波数制御手段は、前記乗算値の目標値を出力する目標値出力手段と、前記目標値と、前記乗算手段から出力された乗算値とを比較して、当該乗算値が前記所定乗算値よりも大きい場合に、駆動電圧の周波数を低くするように前記駆動回路を制御する一方、当該乗算値が前記所定乗算値以下の場合に、駆動電圧の周波数を高めるように前記駆動回路を制御する制御手段とを備える構成が望ましい。ここで、前記目標値は、例えば前記圧電アクチュエータが駆動対象を駆動すべき変位量に応じて設定されるようにしても良い。この構成によれば、圧電アクチュエータの駆動時に必要となる駆動対象の変位量が得られるように、駆動電圧の周波数が変更される。
【0014】
さらに、上述の圧電アクチュエータの駆動制御回路において、前記圧電アクチュエータは、長手方向を有し、前記第1の振動モードは、前記長手方向に伸縮する縦振動モードであり、前記第2の振動モードは、前記長手方向と直交する幅方向に屈曲する屈曲振動モードであることが好ましい。また、上述した圧電アクチュエータの駆動制御回路は、時計に設けられることが望ましく、さらに、携帯電話機などの携帯機器に設けられることも望ましい。
【0015】
また、上記目的を達成するために、本発明は、時計要素を駆動する駆動体と、当該駆動体を駆動する圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる時計の制御方法において、前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の電圧を取得するとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の電圧を取得する第1ステップと、前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する第2ステップと、前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように制御する第3ステップとを備える時計の制御方法を提供する。
【0016】
さらにまた、上記目的を達成するために、本発明は、携帯機器要素を駆動する駆動体と、当該駆動体を駆動する圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる携帯機器の制御方法において、前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の電圧を取得するとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の電圧を取得する第1ステップと、前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する第2ステップと、前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように制御する第3ステップとを備える携帯機器の制御方法を提供する。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。以下の実施形態においては、腕時計のカレンダー表示機構に取り付けられた圧電アクチュエータが駆動される場合について例示する。
【0018】
図1は、本発明の実施形態に係る腕時計のカレンダー表示機構の主要構成を示す平面図である。本実施形態に係る圧電アクチュエータA1は、面内方向(図の紙面と平行な方向)に伸縮振動する振動板10およびロータ100から大略構成されている。ロータ100は、地板103に回転自在に支持されるとともに、振動板10と当接する位置に配置されており、振動板10に生じる振動によってその外周面が叩かれると、図中矢印で示す方向に回転駆動されるようになっている。
【0019】
カレンダー表示機構は、圧電アクチュエータA1と連結しており、その駆動力によって駆動される。カレンダー表示機構の主要部は、ロータ100の回転を減速する減速輪列とリング状の日車50から大略構成されている。また、減速輪列は、日回し中間車40と日回し車60とを備えている。ここで、上述したように振動板10が面内方向に振動すると、振動板10と当接しているロータ100が時計回り方向に回転させられる。ロータ100の回転は、日回し中間車40を介して日回し車60に伝達され、この日回し車60が日車50を時計回り方向に回転させる。
【0020】
図2は、圧電アクチュエータA1の構成を示す上面図である。同図に示すように、圧電アクチュエータA1は、図の左右方向に長く形成された長板状の振動板10と、この振動板10を地板103(図1参照)に支持する支持部材11とを備えている。振動板10の長手方向の端部35には、ステンレス鋼等から形成される突起部36がロータ100側に向けて突設されており、この突起部36がロータ100の外周面に接触している。一方、振動板10の長手方向の端部35の他端にも、突起部36´が突設されている。このような突起部36、36´を設けることにより、振動板10の全体に重量バランスにアンバランスさを持たせ、後述するように当該突起部36が楕円軌道に沿って移動するようにしている。
【0021】
振動板10の長手方向の略中央には、支持部材11の一端部37が取り付けられている。支持部材11の他端部38は、ネジ39により地板103(図1参照)に支持されている。この構成の下、支持部材11は、その弾性力によって振動板10をロータ100側に付勢した状態で支持しており、これにより振動板10の突起部36はロータ100の側面に当接させられている。このようにロータ100に当接させられた突起部36が変位すると、ロータ100と突起部36との間の摩擦によりロータ100も突起部36に伴って移動させられ、図2中矢印で示す方向に回転駆動される。
【0022】
図3に示すように、振動板10は、2つの長方形状の圧電素子30,31の間に、これらの圧電素子30,31とほぼ同形状であり、かつ圧電素子30,31よりも肉厚の小さいステンレス鋼などの補強板32を配置した積層構造となっている。補強板32としては、圧電素子30,31よりも肉厚の小さいものを用いることにより、圧電素子30,31の振動を極力妨げないようにしている。上下に配置された圧電素子30,31の面上には、それぞれ電極33が形成されている。また、圧電素子30の面上には、電極33の他にも検出用電極が形成されているが、この検出用電極ついては、後述する。
【0023】
ここで、圧電素子30,31としては、チタン酸ジルコニウム酸鉛(PZT(商標))、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。ここで、亜鉛ニオブ酸鉛の組成式は、[Pb(Zn1/3−Nb2/3)O31-X(PbTiO3X]、(但し、Xは組成により異なり、X=0.09程度)となり、スカンジウムニオブ酸鉛の組成式は、[{Pb((Sc1/2−Nb1/21-XTiX)O3}、(但し、Xは組成により異なり、X=0.09程度)となる。
【0024】
このような構成の振動板10は、電極33を介して圧電素子30,31に駆動電圧が印加されると、圧電素子30,31が伸縮することによって振動するようになっている。その際、図4に示すように、振動板10が長手方向に伸縮する縦振動で振動するようになっており、これにより振動板10は、図2中矢印で示す方向に振動することになる。このように圧電素子30,31に交流電圧が印加されて縦振動が励振されると、図5に示すように、振動板10の重量バランスのアンバランスさによって振動板10に幅方向の屈曲振動が誘発されることになる。具体的には、振動板10が縦振動をした場合、その支点(無負荷時には重心)を中心とした回転モーメントが作用し、振動板10に図示のような屈曲振動が誘発されるようになっている。このような縦振動と屈曲振動とが生じ、両者が結合されると、振動板10の突起部36におけるロータ100の外周面との接触部分は、図6に示すように楕円軌道に沿って移動することになる。つまり、突起部36におけるロータ100との接触部分が大きく変位することになる。
【0025】
このように、振動板10は、縦振動と屈曲振動とが結合した振動を生じるが、この振動のうち、縦振動モードが優勢になるか、屈曲振動モードが優勢になるかは、圧電素子30、31に印加される駆動電圧の周波数に依存する。図7は、振動板10の振動周波数とインピーダンスとの関係の一例を示す図である。同図に示すように、縦振動モードのインピーダンスの極小値である共振周波数f1と、屈曲振動モードのインピーダンスの極小値である共振周波数f2とは、互いに異なる値を有する。そこで、共振周波数f1と共振周波数f2との間でインピーダンスが極大値となる周波数f3と、屈曲振動モードの共振周波数f2との間の周波数f2´にて圧電素子30、31が駆動されれば、圧電素子30、31が縦振動するとともに、屈曲振動が誘発される。さらに、圧電素子30、31が屈曲振動モードの共振周波数f2に近い周波数f2´にて駆動されるため、大きな屈曲振動が誘発され、振動板10の突起部36がより大きな楕円を描くようになる。このように、突起部36が描く楕円が大きくなるため、突起部36によりロータ100に加えられる回転力も大きくなり、駆動効率が高くなる。なお、この駆動効率は、圧電素子30、31に供給される電力に対するロータ100の単位時間当たりの仕事(すなわち、回転数×負荷トルク)にて定義されるものとする。
【0026】
ところで、上述した振動板10の特性、すなわち、振動周波数とインピーダンスとの関係は、気温や発熱による温度上昇、突起部36とロータ100との接触圧などの使用状況により変動するものである。従って、設計時において、圧電素子30、31が周波数f2´にて駆動されるように設計がなされていても、環境や使用状況などの変化により、実際の駆動時においては、周波数f2´が必ずしも最大の駆動効率に対応する周波数であるとは限らない。すなわち、振動板10の特性が変動すると、誘発される屈曲振動の振幅(変位)も変わってしまうため、突起部36が正常な楕円を描かなくなり、ロータ100が正常に駆動されなくなる場合がある。
【0027】
本実施形態に係る駆動制御回路は、環境や使用状況が変化したとしても、ロータ100が正常に駆動されるように、圧電アクチュエータA1(すなわち、振動板10)の振動を正確に制御するものである。以下、この駆動制御回路が適用された圧電アクチュエータA1の駆動の駆動構成について詳述する。
【0028】
図8は、圧電アクチュエータA1の駆動構成を示す図である。同図に示すように、圧電素子30の面上には、圧電アクチュエータA1の振動のうち、縦振動モードに大きく起因して発生する電圧を検出するための検出用電極T1と、屈曲振動モードに大きく起因して発生する電圧を検出するための検出用電極T2が形成されている。ここで、検出用電極T1、T2の配置位置は、次のようにして決定されている。すなわち、圧電素子30、31が振動すると、その振動による変位(歪み)に応じた電圧が圧電素子30、31の面上に発生する。上述のように、圧電素子30、31を備えた振動板10は、第1振動モードである縦振動モードと第2振動モードである屈曲振動モードとが結合した振動を生じるが、この振動のうち、縦振動モードが優勢であるか、屈曲振動モードが優勢であるかによって、圧電素子30、31の面上において電圧が最大となる位置が異なる。
【0029】
図9は、圧電素子30、31に対して縦振動モードの共振周波数の駆動電圧が印加された場合(すなわち、縦振動モードが優勢である場合)に、圧電素子30の面上に発生する電位分布の一例を等電位線にて示す図である。また、図10は、圧電素子30、31に対して屈曲振動モードの共振周波数の駆動電圧が印加された場合(すなわち、屈曲振動モードが優勢である場合)に、圧電素子30の面上に発生する電位分布の一例を等電位線にて示す図である。これらの図9および図10において、図8に示す圧電素子30の上面のうち、圧電素子30の幅方向を半分に割ったときの図中下方の領域における電位分布が示されている。図9および図10においては、等電位となる領域に同一の模様が付されている。より具体的には、電位の高い順に、黒塗り模様、格子模様、横線模様、縦線模様、左斜線模様、右斜線模様が付されている。
【0030】
図9に示すように、振動板10の振動のうち、縦振動モードが優勢である場合には、圧電素子30の面上のうち、図面上方の中央付近の領域(領域R1にて示す)において最も電圧が高くなっている。一方、図10に示すように、振動板10の振動のうち、屈曲振動モードが優勢である場合には、図面右下付近の領域(領域R2にて示す)において、最も電圧が高くなっている。そこで、領域R1に検出用電極T1を配置し、領域R2に検出用電極T2を配置する。このように、検出用電極T1、T2が配置されれば、検出用電極T1からは、振動板10の振動のうち、縦振動モードに大きく起因して発生する電圧が検出され、また、検出用電極T2からは、振動板10の振動のうち、屈曲振動モードに大きく起因する電圧が検出される。
【0031】
検出用電極T1、T2の夫々は、駆動制御回路81に電気的に接続されており、この駆動制御回路81が検出用電極T1の電圧を示す信号(以下、「第1検出電圧信号SD1」と称する)と、検出用電極T2の電圧を示す信号(以下、「第2検出電圧信号SD2」と称する)とを取得できるようになっている。駆動制御回路81は、これらの第1検出電圧信号SD1と第2検出電圧信号SD2に応じて、駆動電圧の周波数を特定し、この周波数の駆動電圧が圧電素子30、31に印加されるように駆動回路80を制御する。
【0032】
さらに説明すると、図11に示すように、検出用電極T1の電圧の実効値V1と、検出用電極T2の電圧の実効値V2とは、駆動電圧の周波数fに依存する。これは、縦振動モードに起因する振動振幅と屈曲振動モードに起因する振動振幅が駆動電圧の周波数fに依存するからである。また、同図に示すように、実効値V1と実効値V2とを乗算して得られる乗算値Mに依存して、ロータ100の回転数も変動する。特に、乗算値Mが概ね最大となるような駆動電圧の周波数fに対応して、ロータ100の回転数も略最大となっている。そこで、駆動制御回路81は、最大の駆動効率を達成すべく、乗算値Mが略最大となるように駆動電圧の周波数fを調整する。
【0033】
図12は、駆動制御回路81の回路構成を示すブロック図である。同図に示すように、駆動制御回路81は、2つの電圧平均化回路201a、201bを備えている。電圧平均化回路201aは、第1検出電圧信号SD1を受け取り、図示せぬ積分回路により検出用電極T1の電圧の実効値V1を特定し、乗算器202に出力する。電圧平均回路201bは、第2検出電圧信号SD2を受け取り、図示せぬ積分回路により検出用電極T2の電圧の実効値V2を特定し、乗算器202に出力する。
【0034】
乗算器202は、実効値V1と実効値V2との乗算を行い、乗算結果である乗算値Mを示す信号を乗算電圧信号SPDとして遅延回路203および比較回路204に出力する。遅延回路203は、乗算電圧信号SPDを一定の時間tp(秒)だけ遅延させ、遅延乗算電圧信号DSPDとして比較回路204に出力する。
【0035】
比較回路204は、乗算電圧信号SPDが示す乗算値Mと遅延乗算電圧信号DSPDが示す遅延乗算値Mtpとの大きさを比較し、この比較結果に応じた論理レベルの調整制御信号SCTを電圧調整回路205に出力する。さらに詳述すると、比較回路204は、乗算値Mがtp(秒)前の遅延乗算値Mtpよりも大きければ(すなわち、M>Mtp)、Hレベルの調整制御信号SCTを電圧調整回路205に出力する。一方、比較回路204は、乗算値Mが遅延乗算値Mtp以下の場合(すなわち、M≦Mtp)には、Lレベルの調整制御信号SCTを電圧調整回路205に出力する。
【0036】
電圧調整回路205は、調整制御信号SCTを受け取り、この調整制御信号SCTの論理レベルに応じた電圧値の電圧制御信号SVCを電圧制御発振器(VCO)206に出力する。より具体的には、電圧調整回路205は、Hレベルの調整制御信号SCTを受け取ると、電圧制御信号SVCの電圧値を上げ、Lレベルの調整制御信号SCTを受け取ると、電圧制御信号SVCの電圧値を下げるようになっている。
【0037】
電圧制御発振器206は、図示せぬ発振回路を備え、電圧制御信号SVCの論理レベルに応じて発振回路が出力する信号の周波数を調整し、この周波数の信号を駆動周波数信号Sdrとして駆動回路80に出力する。より具体的に説明すると、電圧制御発振器206は、電圧調整回路205からの電圧制御信号SVCの電圧値が上がったか否かを判別し、電圧制御信号SVCの電圧が上がった場合には、駆動周波数信号Sdrの周波数を上げて駆動回路80に出力する。一方、電圧制御発振器206は、電圧制御信号SVCの電圧値が下がった場合には、駆動周波数信号Sdrを下げて駆動回路80に出力する。駆動回路80は、受け取った駆動周波数信号Sdrの周波数fを有する駆動電圧(交流電圧)を生成し、圧電素子30、31に印加する。なお、圧電アクチュエータA1の駆動開始時にあっては、電圧制御発振回路206は、予め設定された初期設定周波数の駆動周波数信号Sdrを駆動回路80に出力するようになっている。
【0038】
さて、このような構成の駆動制御回路81によれば、圧電アクチュエータA1の駆動開始時にあっては、圧電素子30、31には、初期設定周波数の駆動電圧が印加され、これにより、振動板10が振動する。この振動により、検出用電極T1には、縦振動モードに大きく起因する電圧が発生するとともに、検出用電極T2には、屈曲振動モードに大きく起因する電圧が発生する。そして、電圧平均化回路201aからは、検出用電極T1に発生している電圧の実効値V1が出力される一方で、電圧平均化回路201bからは、検出用電極T2に発生している電圧の実効値V2が出力される。そして、これらの実効値V1と実効値V2とが乗算器202に入力されると、乗算器202は、実効値V1と実効値V2を乗算し、この乗算結果である乗算値Mを示す乗算電圧信号SPDを遅延回路203と比較回路204に出力する。
【0039】
遅延回路203は、乗算電圧信号SPDを受け取ると、この信号を時間tp(秒)だけ遅延させ、遅延乗算電圧信号DSPDとして比較回路204に出力する。比較回路204は、乗算電圧信号SPDと遅延乗算電圧信号DSPDを受け取ると、乗算電圧信号SPDが示す乗算値Mと、遅延乗算電圧信号DSPDが示すtp(秒)前の遅延乗算値Mtpの大きさを比較する。そして、乗算値Mが遅延乗算値Mtpよりも大きい場合、比較回路204は、駆動電圧の周波数fを高めるべく、Hレベルの調整制御信号SCTを電圧調整回路205に出力する。一方、乗算値Mが遅延乗算値Mtp以下の場合、駆動電圧の周波数fを低めるべく、Lレベルの調整制御信号SCTを電圧調整回路205に出力する。これにより、駆動電圧の周波数fは、第1検出電圧信号SD1に対応する実効値V1と、第2検出電圧信号SD2に対応する実効値V2との乗算値Mがより最大値になるように制御される。さらに、乗算値Mが最大となるように制御されることにより、ロータ100が略最大の回転数にて回転するようになるから、最大の駆動効率が達成される。
【0040】
以上説明したように、本実施形態の駆動制御回路81によれば、駆動効率(圧電アクチュエータA1に投入される電力量対ロータ100の回転数)が最大となる。また、環境や使用状況が変化して、振動板10の特性が変動したとしても、乗算値Mが最大となるように駆動電圧の周波数fが制御されるから、圧電アクチュエータA1を安定かつ高駆動効率で動作させることができ、圧電アクチュエータA1の振動を正確に制御することができる。
【0041】
<駆動電圧の周波数>
ここで、本実施形態では、縦振動の歪みと屈曲振動の歪みとを監視して、圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するようにしている。このため、駆動制御回路81から駆動回路80に印加される駆動周波数信号Sdrの初期設定周波数は、予め設定される必要があり、以下その周波数の設定について述べる。
圧電アクチュエータA1の駆動特性を安定させるためには、振動板の先端の突起部が常に同じ楕円軌道を描いて周期的に運動するように、振動板における縦振動と屈曲振動の発生を安定させる必要がある。
この点に関し、文献「電子回路素子としての電気機械振動子とその応用」(コロナ社の第9頁)には、「長方形の振動板は、長辺と短辺との比率が1:0.272で縦振動と第2横振動が縮退する」ことが記載されている。なお、第2横振動とは、本実施形態における屈曲振動のことである。
そこで、本発明者らは、圧電素子の長辺対短辺の比を7:2近傍にある振動板で実験した結果、それぞれの振動による共振周波数は、縦振動:284.3kHz、屈曲振動:288.6kHzとなり、共振周波数の比率が約1.015倍となって、縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数とが略等しくなることが分かった。
そして、突起部が良好な楕円振動を起こす圧電アクチュエータを実現するためには、屈曲振動の共振周波数が縦振動の共振周波数に対して0.97〜1.03倍の範囲であればよいことが分かった。
【0042】
ここで、この2つの周波数の差は、圧電素子の長辺対短辺の比を変更することにより変えることができ、長辺寸法を固定して短辺寸法を7対2の比率より小さくすると差は小さくなり、大きくすると差は大きくなる。これは、短辺の寸法を変えると、縦振動の共振周波数はあまり変化せず、屈曲振動の共振周波数が変化するからである。これらの共振周波数は、補強板や圧電素子のヤング率、さらに密度によっても変化するため、個々の振動板毎に異なるものである。このため、個々の振動板において最適化する必要があるものの、辺の比が7:2近傍に設定すれば共振周波数が略等しい値になる。
【0043】
このような振動板において、突起部で大きな楕円運動を得るためには、縦振動および屈曲振動の両方を大きく振動させれば良いから、各共振周波数に近い周波数の駆動電圧を圧電素子に印加すればよいことになる。そこで、図7に示すように、駆動電圧の周波数f2´は、縦振動の極小値f1と屈曲振動の極小値f2との間が良く、さらには反共振周波数f3より高く、屈曲振動の極小値f2より低い値とすることにより、突起部は大きな楕円振動が得られることになる。
そこで、駆動制御回路81から駆動回路80にある周波数f2´の駆動周波数信号Sdrを印加した後は、駆動制御回路81から駆動回路80に印加される駆動周波数信号Sdrの周波数は、反共振周波数f3から屈曲振動の極小値f2の範囲で変化することになる。
さらに、支持部材11は、縦振動と屈曲振動の両方の振動の節となる部分で支持することにより、振動による損失を小さくすることができる。
【0044】
<変形例>
上述した実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変更可能である。そこで以下に、各種の変形例を説明する。
【0045】
(変形例1)
上述した実施形態において、駆動制御回路81は、乗算値Mを略最大とすべく、乗算値Mと遅延乗算値Mtpとの大小に応じて駆動電圧の周波数fを変更するように駆動回路80を制御している。しかしながら、駆動制御回路81は、予め駆動効率が最大となり得る乗算値の目標値(以下、「目標乗算値Mt」と称する)を記憶し、乗算値Mが目標乗算値Mtになるように、駆動電圧の周波数fを変更するように、実施形態が変形されても良い。
【0046】
図13は、本変形例に係る駆動制御回路の構成を示すブロック図である。同図に示すように、本実施形態に係る駆動制御回路81´は、実施形態の駆動制御回路81が備える遅延回路203に代えて、定電圧回路210を備えている。この定電圧回路210は、RAM(Random Access Memory)やEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)などの記憶手段を備え、目標乗算値Mtを記憶しており、この目標乗算値Mtを示す目標乗算電圧信号TSPDを比較回路204に出力する。なお、定電圧回路210は、記憶手段に限らず、抵抗素子を備えても良い。具体的には、この抵抗素子は、目標乗算値Mtに応じた信号振幅の目標乗算電圧信号TSPDを出力するように抵抗値が調整されている。
【0047】
さて、このような構成の下、比較回路204には目標乗算電圧信号TSPDと乗算電圧信号SPDが入力される。比較回路204は、目標乗算電圧信号TSPDにより示される目標乗算値Mtと、乗算電圧信号SPDにより示される乗算値Mとを比較し、乗算値Mが目標乗算値Mtよりも小さい場合、駆動電圧の周波数fを高めるべく、Hレベルの調整制御信号SCTを出力する。一方、乗算値Mが目標乗算値Mtよりも大きい場合、駆動電圧の周波数fを下げるべく、Lレベルの調整制御信号SCTを出力する。これにより、乗算値Mが目標乗算値Mtになるように駆動電圧の周波数fが変更される。
【0048】
ところで、図11に示すように、ロータ100の回転数は、乗算値Mの値に依存して変動していることから、目標乗算値Mtを適宜変更すれば、ロータ100の回転数を制御することが可能である。そこで、ロータ100の必要な回転数に応じて定電圧回路210が記憶している目標乗算値Mtが変更されるように本変形例を更に変形すれば、ロータ100の回転数を正確に制御することができる。
【0049】
(変形例2)
上述した実施形態において、圧電素子30の上面には、検出用電極として検出用電極T1、T2の2つが配置されている場合を例示したが、4つの検出用電極を圧電素子30の上面に配置しても良い。さらに説明すると、図9および図10には、図8において圧電素子30の幅方向を半分に割ったときの図面下方の領域における電位分布が示されている。図9および図10に図示されていない、図8における図面上方の領域の電位分布は、図面下方の領域の電位分布と圧電素子30の中心点に対して点対称となる。すなわち、振動板10の振動のうち、縦振動モードが優勢である場合には、圧電素子30の上面において電圧が高くなる領域が2つ(領域R1、R1´:図示せず)あり、屈曲振動モードが優勢である場合にも、電圧が高くなる領域が2つ(領域R2、R2´:図示せず)ある。そこで、領域R1、R1´、R2、R2´の夫々に検出用電極が配置されるように実施形態を変形しても良い。また、領域R1、R1´のうち、一の領域のみに検出用電極T1が配置されるとともに、領域R2、R2´のうち、一の領域のみに検出用電極T2が配置されるように、実施形態を変形しても良い。
【0050】
さらに、図14ないし図16に示すように電極を配置してもよい。
図14に示すように電極が形成された場合には、振動板は電極Iと電極IIに駆動電圧を印加することによって駆動される。電極Iで縦振動を起こし、電極IIを振動させ、電極IIIを振動させないことにより、縦方向の伸縮に対してアンバラスが生じ、屈曲振動が励振され、当接部に対してある方向(例えば、時計回り方向)の楕円軌道に沿った振動を発生させる。この際、電極IIIが検出用電極となる。当接部を正転/逆転させる場合には、上記のように構成さればよいが、特に1方向にのみ駆動させる場合には、電極Iと電極IIとを一体に形成してもよい。
【0051】
図15は、図14の電極Iを無くしたものである。電極IIに駆動電圧を印加することによっても縦振動を発生させることができる。この場合においても、電極IIIが検出用電極となる。
【0052】
図16は、全面電極Iで駆動する場合を示している。この振動体は、形状的なアンバラス(当接部)により屈曲振動を励振させる。破線で示すように、検出用電極(電極III)を形成するようにしてもよい。
【0053】
(変形例3)
上述した実施形態において、腕時計のカレンダー機構に組み込まれた圧電アクチュエータA1の駆動に本発明を適用した場合について例示したが、本発明は、第1の振動モードと第2の振動モードが結合した振動を生じるアクチュエータであれば、任意の携帯機器および固定装置に組み込まれたアクチュエータの駆動に適用可能である。例えば、腕時計の他に、携帯電話機が備えるバイブレータの瑶動に用いられる薄型アクチュエータの駆動や、絵本やグリーディングカードの中のキャラクターを動かすための薄型アクチュエータの駆動などがある。
【0054】
(変形例4)
実施形態にて説明した駆動制御回路81は、図17に示すようにデジタル回路により構成されるようにしても良い。図17は、本変形例に係る駆動制御回路81の機能的構成を示すブロック図である。同図において、CPU(Central Processing Unit)300は、駆動制御回路81の各部の動作を制御するものである。ROM302(Read Only Memory)は、CPU300により実行される制御プログラムや、後述する駆動周波数補正処理のためのプログラムなどの各種プログラム、各種データなどを記憶する。RAM(Random Access Memory)304は、CPU300のワークエリアとして使用され、各種データを一時的に記憶する。
【0055】
また、同図に示すように、駆動制御回路81は、2つのA/Dコンバータ306a、306bを備えている。A/Dコンバータ306aは、CPU300から実行指示信号を受け取ると、電圧平均化回路201aから検出用電極T1の電圧の実効値V1を受け取り、A/D変換して、実効値信号DV1として掛算機308に出力する。また、A/Dコンバータ306bは、CPU300の制御の下、電圧平均化回路201bから検出用電極T2の電圧の実効値V2を受け取り、A/D変換して、実効値信号DV2として掛算機308に出力する。
【0056】
掛算機308は、CPU300の制御の下、受け取った実効値信号DV1、DV2の夫々が示す実効電圧値の掛算を実行し、この演算結果を掛算信号DPとしてCPU300に出力する。CPU300は、受け取った掛算信号DPをRAM304に記憶させる一方、掛算信号DPに従って、駆動回路80に指示されるべき駆動電圧の周波数fを特定し、この特定結果をRAM304に記憶させる一方で、周波数指示信号DFとしてD/Aコンバータ310に出力する。D/Aコンバータ310は、受け取った周波数指示信号DFをD/A変換し、電圧制御信号SVCとして電圧制御発振器206に出力する。電圧制御発振器206は、受け取った電圧制御信号SVCにより示される周波数の駆動周波数信号Sdrを駆動回路80に出力する。
【0057】
さて、このような構成の下、駆動制御回路81は、図18に示す駆動周波数補正処理を一定時間間隔ごとに間欠的に実行することにより、圧電アクチュエータA1に印加される駆動電圧の周波数fが最適な値となるように、駆動回路80を制御する。具体的には、図18に示すように、駆動制御回路81のCPU300は、A/Dコンバータ306a、306bの夫々に実行指示信号を出力し(ステップSa1)、A/Dコンバータ306aに実効値信号DV1を出力させると共に、A/Dコンバータ306bに実効値信号DV2を出力させる。次いで、CPU300は、掛算機308に実効値信号DV1、DV2の夫々が示す実効電圧値の掛算を行わせ、この演算結果を掛算信号DPとして掛算機308から受け取る(ステップSa2)。
【0058】
また、CPU300は、RAM304に記憶されている前回の掛算信号DP(以下、RAM304から読み出した掛算信号を前掛算信号BDPと称し、掛算機308から受け取った掛算信号DPと区別する)を読み出す(ステップSa3)。そして、CPU300は、掛算信号DPが示す掛算値から前掛算信号BDPが示す掛算値を減算して差分値ΔPを算出する(ステップSa4)。次に、CPU300は、駆動電圧の周波数fを差分値ΔPに従って補正すべく、次の処理を実行する。すなわち、CPU300は、RAM304から前回の周波数指示信号DF(以下、RAM304から読み出した掛算信号を前周波数指示信号DFOと称する)が示す駆動周波数と、ステップSa5にて算出した差分値ΔPとから、
DFO+α×ΔP (α:正の実数)
を算出し(ステップSa5)、この演算結果として得られる周波数値を周波数指示信号DFとしてD/A変換コンバータ310に出力する(ステップSa6)。そして、CPU300は、掛算機308から今回受け取った掛算信号DPにてRAM304に記憶されている掛算信号DPを更新するとともに、今回の周波数指示信号DFにてRAM304に記憶されている周波数指示信号DFを更新する(ステップSa7)。
【0059】
この一連の処理により、ステップSa4において算出された差分値ΔPが負の値であれば、前回指示された周波数よりも低い周波数が電圧制御発振器206に指示され、これとは逆に、差分値ΔPが正の値であれば、前回指示された周波数よりも高い周波数が電圧制御発振器206に指示されることとなる。これにより、駆動電圧の周波数fは、第1検出電圧信号SD1に対応する実効値V1と、第2検出電圧信号SD2に対応する実効値V2との乗算値Mがより最大値になるように制御される。さらに、乗算値Mが最大となるように制御されることにより、ロータ100が略最大の回転数にて回転するようになるから、最大の駆動効率が達成されることとなる。
【0060】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、振動が正確に制御される圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの振動を正確に制御することができる圧電アクチュエータの駆動制御回路、この駆動制御回路を備えた時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 圧電アクチュエータを備えた腕時計のカレンダー表示機構の主要構成を示す平面図である。
【図2】 前記圧電アクチュエータの構成を示す図である。
【図3】 前記圧電アクチュエータの構成要素である振動板を示す側断面図である。
【図4】 前記振動板が縦振動する様子を示す図である。
【図5】 前記振動板が縦振動することにより誘発される屈曲振動を説明するための図である。
【図6】 前記振動板の振動時における前記振動板の一端側に設けられた突起部の軌道を説明するための図である。
【図7】 前記振動板の振動周波数とインピーダンスとの関係の一例を示す図である。
【図8】 前記圧電アクチュエータの駆動構成を示す図である。
【図9】 前記圧電アクチュエータを縦振動の共振周波数にて駆動した場合に、前記振動板に設けられた圧電素子の面上に発生する電位分布の一例を等電位線にて示す図である。
【図10】 前記圧電アクチュエータを屈曲振動の共振周波数にて駆動した場合に、前記振動板に設けられた圧電素子の面上に発生する電位分布の一例を等電位線にて示す図である。
【図11】 本発明の実施形態に係る乗算値とロータ100の回転数と駆動電圧の周波数との関係を示す図である。
【図12】 本発明の実施形態に係る駆動制御回路の構成を示すブロック図である。
【図13】 本発明の第1の変形例に係る駆動制御回路の構成を示すブロック図である。
【図14】 本発明の第2の変形例に係る振動板の表面の電極を示す平面図である。
【図15】 本発明の第2の変形例に係る振動板の表面の電極を示す平面図である。
【図16】 本発明の第2の変形例に係る振動板の表面の電極を示す平面図である。
【図17】 本発明の第4の変形例に係る駆動制御回路の構成を示すブロック図である。
【図18】 同駆動周波数補正処理の処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
A1…圧電アクチュエータ、T1、T2…検出用電極、10…振動板、30、31…圧電素子、80…駆動回路、81、81´…駆動制御回路、100…ロータ、201a、201b…電圧平均化回路、202…乗算器、203…遅延回路、204…比較回路、205…電圧調整回路、206…電圧制御発振器、210…定電圧回路、300・・・CPU、306a、306b・・・A/Dコンバータ、308・・・掛算機、310・・・D/Aコンバータ

Claims (12)

  1. 交流電圧が印加されることにより第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じる板状の圧電素子を備えた振動板と、
    前記第1の振動モードの共振周波数の交流電圧が前記圧電素子に印加されたときに、前記圧電素子の面上のうち、振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された第1の電極と、
    前記第2の振動モードの共振周波数の交流電圧が前記圧電素子に印加されたときに、前記圧電素子の面上のうち、振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された第2の電極と、を具備し、
    前記第1の電極は、前記圧電素子に発生する第1の振動モードに大きく起因する電圧を検出し、前記第2の電極は、前記圧電素子に発生する第2の振動モードに大きく起因する電圧を検出する
    ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  2. 圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる駆動回路を制御する駆動制御回路において、
    前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧を取得する第1の電圧取得手段と、
    前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧を取得する第2の電圧取得手段と、
    前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する乗算手段と、
    前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように前記駆動回路を制御する周波数制御手段とを具備する
    ことを特徴とする圧電アクチュエータの駆動制御回路。
  3. 前記周波数制御手段は、前記乗算値が略最大となるように、前記駆動電圧の周波数を変更すべく前記駆動回路を制御する
    ことを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路。
  4. 前記周波数制御手段は、前記乗算手段から出力された乗算値に対して一定時間の遅延を与え、遅延乗算値として出力する遅延手段と、
    前記遅延乗算値と、当該遅延乗算値が前記遅延手段から出力されたときと略同時に前記乗算手段から出力された乗算値とを比較し、当該乗算値が前記遅延乗算値よりも大きい場合に、駆動電圧の周波数を高めるように前記駆動回路を制御する一方、当該乗算値が前記遅延乗算値以下の場合に、駆動電圧の周波数を低くするように前記駆動回路を制御する制御手段とを具備する
    ことを特徴とする請求項2または3に記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路。
  5. 前記周波数制御手段は、前記乗算値の目標値を出力する目標値出力手段と、
    前記目標値と、前記乗算手段から出力された乗算値とを比較して、当該乗算値が前記所定乗算値よりも大きい場合に、駆動電圧の周波数を低くするように前記駆動回路を制御する一方、当該乗算値が前記所定乗算値以下の場合に、駆動電圧の周波数を高めるように前記駆動回路を制御する制御手段とを具備する
    ことを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路。
  6. 前記目標値は、前記圧電アクチュエータが駆動対象を駆動すべき変位量に応じて設定される
    ことを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路。
  7. 前記圧電アクチュエータは、長手方向を有し、
    前記第1の振動モードは、前記長手方向に伸縮する縦振動モードであり、
    前記第2の振動モードは、前記長手方向と直交する幅方向に屈曲する屈曲振動モードである
    ことを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路。
  8. 板状の圧電素子を備える圧電アクチュエータと、
    前記圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる駆動回路と、
    前記圧電アクチュエータの振動により駆動され、時計要素を駆動する駆動体とを備え、
    前記駆動回路は、請求項2乃至7のいずれかに記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路により制御される
    ことを特徴とする時計。
  9. 板状の圧電素子を備える圧電アクチュエータと、
    前記圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる駆動回路と、
    前記圧電アクチュエータの振動により駆動され、携帯機器要素を駆動する駆動体とを備え、
    前記駆動回路は、請求項2乃至7のいずれかに記載の圧電アクチュエータの駆動制御回路により制御される
    ことを特徴とする携帯機器。
  10. 圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法において、
    前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧を取得するとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧を取得する第1ステップと、
    前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する第2ステップと、
    前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように前記駆動回路を制御する第3ステップと、を具備する
    ことを特徴とする圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法。
  11. 時計要素を駆動する駆動体と、当該駆動体を駆動する圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる時計の制御方法において、
    前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧を取得するとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧を取得する第1ステップと、
    前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する第2ステップと、
    前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように制御する第3ステップとを具備する
    ことを特徴とする時計の制御方法。
  12. 携帯機器要素を駆動する駆動体と、当該駆動体を駆動する圧電アクチュエータが備える板状の圧電素子に交流電圧である駆動電圧を印加して、前記圧電アクチュエータに第1の振動モードと第2の振動モードとが結合した振動を生じさせる携帯機器の制御方法において、
    前記第1の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第1の振動モードに大きく起因する電圧を示す第1の電圧を取得するとともに、前記第2の振動モードの共振周波数にて前記圧電アクチュエータを振動させたときに、前記圧電素子の面上のうち、当該振動の歪みにより発生する電圧が略最大となる箇所に配置された電極から第2の振動モードに大きく起因する電圧を示す第2の電圧を取得する第1ステップと、
    前記第1の電圧に前記第2の電圧を乗算し、この乗算の結果である乗算値を出力する第2ステップと、
    前記乗算値に応じて前記圧電素子に印加する駆動電圧の周波数を変更するように制御する第3ステップと、を具備する
    ことを特徴とする携帯機器の制御方法。
JP2003028584A 2002-02-06 2003-02-05 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法 Expired - Fee Related JP3719249B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003028584A JP3719249B2 (ja) 2002-02-06 2003-02-05 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002-30135 2002-02-06
JP2002030135 2002-02-06
JP2003028584A JP3719249B2 (ja) 2002-02-06 2003-02-05 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003304693A JP2003304693A (ja) 2003-10-24
JP3719249B2 true JP3719249B2 (ja) 2005-11-24

Family

ID=29404899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003028584A Expired - Fee Related JP3719249B2 (ja) 2002-02-06 2003-02-05 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3719249B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106452168A (zh) * 2015-08-12 2017-02-22 Mplus株式会社 压电致动器驱动方法以及装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE602005020028D1 (de) 2004-07-07 2010-04-29 Seiko Epson Corp Piezoelektrischer aktuator und einrichtung
JP4141990B2 (ja) 2004-07-12 2008-08-27 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータおよび機器
JP4951955B2 (ja) * 2005-12-15 2012-06-13 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動方法、および電子機器
DE102009002311A1 (de) * 2009-04-09 2010-10-14 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor und Brennstoffeinspritzventil
JP2014079135A (ja) * 2012-10-12 2014-05-01 Seiko Epson Corp 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP6020022B2 (ja) * 2012-10-17 2016-11-02 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
CN110601595B (zh) * 2019-08-22 2022-05-27 南京理工大学 用于压电驱动器迟滞非线性补偿的实时控制方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106452168A (zh) * 2015-08-12 2017-02-22 Mplus株式会社 压电致动器驱动方法以及装置
CN106452168B (zh) * 2015-08-12 2018-11-13 Mplus株式会社 压电致动器驱动方法以及装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003304693A (ja) 2003-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4525943B2 (ja) 超音波モータの駆動方法
JP4144356B2 (ja) 圧電アクチュエータおよびその駆動回路
EP1737114B1 (en) Piezoelectric actuator drive device, electronic device, and drive method thereof
JP3719249B2 (ja) 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法
CN1906843B (zh) 压电致动器驱动装置、电子设备、其驱动方法
JP4487662B2 (ja) 圧電アクチュエータの駆動方法、圧電アクチュエータの駆動装置、電子機器
JP2008306826A (ja) 圧電アクチュエータ及びその駆動方法
JP3614076B2 (ja) 圧電アクチュエータ、時計、携帯機器および圧電アクチュエータの駆動方法
JPH07241090A (ja) 超音波モータ
JP2006020445A (ja) 圧電アクチュエータの駆動方法、圧電アクチュエータの駆動装置、電子機器、圧電アクチュエータの駆動装置の制御プログラム及び記憶媒体
JP4770043B2 (ja) 圧電アクチュエータの駆動装置、圧電アクチュエータの駆動方法、時計および携帯機器
JP3632562B2 (ja) 圧電アクチュエータ、時計および携帯機器
JP3453838B2 (ja) 超音波モータ
JP4265255B2 (ja) 圧電アクチュエータの駆動装置、駆動方法、時計、および電子機器
JP2002223577A (ja) 圧電アクチュエータ、時計、携帯機器、圧電アクチュエータの設計方法および製造方法
JP7388174B2 (ja) 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット
JP3649086B2 (ja) 圧電アクチュエータ、時計および携帯機器
JP2000188883A (ja) 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動方法、携帯機器および時計
JP2002223576A (ja) 圧電アクチュエータ、時計および携帯機器
JP2010252422A (ja) 圧電駆動装置、圧電駆動装置の制御方法および電子機器
JP2010252471A (ja) 圧電駆動装置、圧電駆動装置の制御方法および電子機器
JPH10174464A (ja) 振動アクチュエータ駆動装置
JPWO2004021091A1 (ja) アナログ電子時計
JP2001286167A (ja) 圧電アクチュエータの調整方法および圧電アクチュエータ
JP3721928B2 (ja) 圧電アクチュエータ、時計および携帯機器

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050325

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050531

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050721

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050816

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050829

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080916

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090916

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090916

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100916

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100916

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110916

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120916

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130916

Year of fee payment: 8

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees