[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP3590762B2 - 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ - Google Patents

位置検出機能を備えたマニホールドバルブ Download PDF

Info

Publication number
JP3590762B2
JP3590762B2 JP2000268918A JP2000268918A JP3590762B2 JP 3590762 B2 JP3590762 B2 JP 3590762B2 JP 2000268918 A JP2000268918 A JP 2000268918A JP 2000268918 A JP2000268918 A JP 2000268918A JP 3590762 B2 JP3590762 B2 JP 3590762B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
manifold
solenoid valve
magnetic sensor
magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000268918A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002081568A (ja
Inventor
添 真 司 宮
川 誠 石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP2000268918A priority Critical patent/JP3590762B2/ja
Priority to TW090213322U priority patent/TW501693U/zh
Priority to US09/927,325 priority patent/US6520202B2/en
Priority to DE60119638T priority patent/DE60119638T2/de
Priority to EP01307371A priority patent/EP1184611B1/en
Priority to KR10-2001-0053853A priority patent/KR100415783B1/ko
Priority to CNB011324600A priority patent/CN1166884C/zh
Publication of JP2002081568A publication Critical patent/JP2002081568A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3590762B2 publication Critical patent/JP3590762B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0832—Modular valves
    • F15B13/0839—Stacked plate type valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
    • F15B13/0401—Valve members; Fluid interconnections therefor
    • F15B13/0402—Valve members; Fluid interconnections therefor for linearly sliding valves, e.g. spool valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
    • F15B13/042—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0817—Multiblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0821—Attachment or sealing of modular units to each other
    • F15B13/0825—Attachment or sealing of modular units to each other the modular elements being mounted on a common member, e.g. on a rail
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/0853—Electric circuit boards
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/0857—Electrical connecting means, e.g. plugs, sockets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/086—Sensing means, e.g. pressure sensors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0846—Electrical details
    • F15B13/0867—Data bus systems
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0875—Channels for electrical components, e.g. for cables or sensors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
    • F15B13/0401—Valve members; Fluid interconnections therefor
    • F15B2013/0409—Position sensing or feedback of the valve member
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
    • Y10T137/8225—Position or extent of motion indicator
    • Y10T137/8242—Electrical
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86574—Supply and exhaust
    • Y10T137/86582—Pilot-actuated
    • Y10T137/86614—Electric
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86574—Supply and exhaust
    • Y10T137/86622—Motor-operated
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マニホールドベース上に搭載した電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとで検出することができる、位置検出機能付きのマニホールドバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マグネットと磁気センサーとを使用してスプールの動作位置を検出できるようにした電磁弁は、例えば実開平２−６６７８４号公報に開示されているようにすでに公知である。この電磁弁は、スプールの外周にマグネットを取り付けると共に、ケーシングに磁気を感知する磁気センサーを取り付けたもので、スプールが一方の切換位置に移動したとき上記磁気センサーがマグネットを感知してオンとなり、スプールが他方の切換位置に移動したとき磁気センサーがマグネットから離れてオフになるようにしたものである。そして上記磁気センサーは、電磁弁のケーシングから外部に導出したリード線によってコントローラーに接続されている。
【０００３】
一方、この種の電磁弁には、それをマニホールドベース上に搭載することによってマニホールドバルブとして使用されるものがある。このマニホールドバルブは通常、マニホールドベース上に一個又は複数個の電磁弁が搭載されていて、これらの各電磁弁に上記マニホールドベースを通じて圧力流体と電力とが一括して供給されるように構成されている。
【０００４】
このようなマニホールドバルブにおいても、上述した公知例と同様に、各電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとを使用して検出することができる。しかしながらその場合に、公知例のように磁気センサーを電磁弁のケーシングに取り付けたのでは、導線をケーシングの外を引き回してマニホールドベースの電気接続部に導入、接続しなければならないため、配線作業が面倒で乱雑になったり、上記導線が他の部材の邪魔になるなどの問題を生じ易い。また、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、導線でマニホールドベースに接続されているセンサーをケーシングから取り外すか、あるいは上記導線をマニホールドベースから切り離すなどの作業を行わなければならず、取り扱いが面倒である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によれば、圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースとを有するマニホールドバルブが提供される。
上記電磁弁は、上記マニホールドベース上に取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に摺動自在に設けられた弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記弁部材と同期して変移するように設けられたマグネットと、上記ケーシングの取付面の該マグネットと対応する位置に設けられたセンサー取付用の窪みとを有している。
また上記マニホールドベースは、上記電磁弁を搭載するための搭載面と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグと、上記窪みと対応する搭載面上の位置に該搭載面から電磁弁側に突出するように設置されていて、該搭載面上への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを導通させるための導通手段とを有している。
【０００７】
上記構成を有する本発明のマニホールドバルブは、上記マニホールドベースに磁気センサーを突出状態に設けると共に、電磁弁のケーシングに窪みを設け、マニホールドベース上に電磁弁を搭載することによって磁気センサーが上記窪み内の所定の位置に取り付けられるようにしたので、該磁気センサーの取り付けが簡単であり、また、導線を外部に引き回す必要がないため配線も容易である。さらに、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、マニホールドベースから磁気センサーを取り外したり、導線をマニホールドベースから切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
【０００８】
本発明の好ましい構成態様によれば、上記マニホールドベースの搭載面に上記窪みに嵌合する突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することによりこの突部が、マニホールドベースと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを載置面から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねている。
【０００９】
本発明の具体的な構成態様によれば、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁からなっていて、上記電磁弁が弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有し、上記弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられている。
【００１０】
本発明において好ましくは、上記マグネットが、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けられていることである。
【００１１】
本発明の好ましい具体的な構成態様よれば、上記各ピストンが、その一端面側に形成された圧力室と、他端面側に形成された呼吸室と、これら両室の間を遮断するピストンパッキンとを有していて、一方のピストンにおける上記ピストンパッキンよりも呼吸室側に寄った位置に上記マグネットが、このピストンパッキンでパイロット流体との接触を防止された状態に取り付けられている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は本発明に係るマニホールドバルブの第１実施形態を示すもので、このマニホールドバルブ１００は、圧縮空気等の圧力流体をコントロールするための電磁弁１と、この電磁弁１に上記圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベース２とを有し、このマニホールドベース２上に上記電磁弁１が搭載されている。
【００１３】
上記電磁弁１はダブルパイロット式の電磁弁で、主弁４と、該主弁４の一端に並べて取り付けられた２つの電磁操作式のパイロット弁５ａ，５ｂとを有し、これらのパイロット弁５ａ，５ｂで主弁４を切り換えるものである。上記主弁４は５ポート弁として構成され、非磁性体からなるケーシング６を有している。このケーシング６は、矩形断面を有する第１部材６ａと、その一端に連結されて上記パイロット弁５ａ，５ｂを取付けるためのアダプターを兼ねる第２部材６ｂと、他端に連結されてケーシングの端部を閉鎖するエンドカバーとしての機能を持つ第３部材６ｃとからなっていて、このケーシング６の下面は、上記マニホールドベース２の上面の搭載面２ａに固定するための実質的に平らな取付面１ａとなっている。
【００１４】
上記取付面１ａには、第１部材６ａの底面となる位置に、供給通孔Ｐ１ と、その両側に位置する２つの出力通孔Ａ１ ，Ｂ１ と、さらにその両側に位置する２つの排出通孔ＥＡ１ ，ＥＢ１ とが設けられている。また、上記第１部材６ａの内部には、これらの各通孔が軸線方向に並んで開口する弁孔７が設けられ、この弁孔７内に、流路切換用の弁部材であるスプール８が摺動自在に収容されている。
【００１５】
上記スプール８の外周には、上記各ポート間を結ぶ流路同士を相互に区画するための複数のシール部材９が設けられると共に、スプール８の両端部外周に、該スプール８の端部が臨む呼吸室１０と弁孔７内の作動流体の流路との間を遮断する端部シール部材９ａがそれぞれ設けられている。
【００１６】
一方、上記第２部材６ｂ及び第３部材６ｃには、スプール８の両端が臨む位置にピストン室１１ａ，１１ｂがそれぞれ形成されている。第２部材６ｂに形成された第１ピストン室１１ａは大径で、その中には大径の第１ピストン１２ａが摺動自在に収容されている。また、第３部材６ｃに形成された第２ピストン室１１ｂは上記第１ピストン室１１ａより小径で、その中には小径の第２ピストン１２ｂが摺動自在に収容されている。これらのピストン１２ａ，１２ｂはそれぞれ、スプール８の端面に分離自在に当接するるか、又はスプール８と一体に連結されていて、該スプール８と同期して移動するようになっている。
【００１７】
そして、上記各ピストン１２ａ，１２ｂの背面側、即ちスプール８に当接している面とは反対側の部分には、それぞれ第１及び第２の圧力室１３ａ，１３ｂが形成され、各ピストン１２ａ，１２ｂとスプール８との間には、それぞれ図示しない通孔により外部に開放する上記呼吸室１０，１０が形成されており、これらの圧力室１３ａ，１３ｂと呼吸室１０，１０との間は、上記ピストン１２ａ，１２ｂの外周に取り付けられたピストンパッキン１５，１５で気密に遮断されている。
【００１８】
大径の第１ピストン１２ａ側に位置する上記第１圧力室１３ａは、図３から分かるように、パイロット供給流路１６、補助ブロック１４に設けられた手動操作機構１７ａ（図２参照）、一方のパイロット弁５ａ、及びパイロット出力流路１８ａを介して上記供給ポートＰに連通している。また、小径の第２ピストン１２ｂ側に位置する第２圧力室１３ｂは、上記パイロット供給流路１６、他方のパイロット弁５ｂ、パイロット出力流路１８ｂ、手動操作機構１７ｂ、及びパイロット出力流路１８ｃを介して上記供給ポートＰに連通している。
【００１９】
そして、一方のパイロット弁５ａがオフとなって第１圧力室１３ａが大気に開放されると共に、他方のパイロット弁５ｂがオンとなって第２圧力室１３ｂに上記パイロット出力流路１８ｂ及び１８ｃを通じてパイロット供給流路１６からのパイロット流体が供給されているときは、第２ピストン１２ｂによりスプール８が押され、図１に示すように左側に移動した第１切換位置を占める。この状態から上記パイロット弁５ａ，５ｂが切り換わり、パイロット弁５ａがオンとなってパイロット弁５ｂがオフになると、第２圧力室１３ｂが大気に開放して第１圧力室１３ａにパイロット流体が供給されるため、ピストン１２ａによりスプール８が押されて右側に移動し、第２切換位置に切り換わる。
【００２０】
上記手動操作機構１７ａ，１７ｂはそれぞれ、パイロット弁５ａ，５ｂがオンになった場合と同様の切換状態を手動で再現させるためのもので、停電時やパイロット弁が故障した場合などに使用するものである。即ち、手動操作機構１７ａは、パイロット弁５ａに対応するもので、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ａとが直接連通し、第１圧力室１３ａに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。他方の手動操作機構１７ｂはパイロット弁５ｂに対応していて、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ｃが直接連通し、第２圧力室１３ｂに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。
【００２１】
なお、上記パイロット弁５ａ，５ｂは、ソレノイドへの通電によってパイロット流路を開閉する電磁操作式のパイロット弁であって、その構成及び作用は公知のものと同じであるため、その具体的な説明は省略する。
【００２２】
上記電磁弁１における第１ピストン１２ａには、スプール８の動作位置を検出する際の被検出体となるマグネット２０が取り付けられている。このマグネット２０は、合成樹脂や合成ゴムのような軟質の弾性基材中に、磁性を持つ金属粉末を混合して、円周の一部に切欠を有するリング状に形成したもので、上記ピストン１２ａの外周の、ピストンパッキン１５よりも呼吸室１０側に寄った位置に形成された取付溝内に、弾力的に拡径した状態で嵌め込むことにより取り付けられている。そして、第１ピストン１２ａ（従ってスプール８）と共に変移するこのマグネット２０をマニホールドベース２に取付けた磁気センサー２１で検出することにより、上記スプール８の動作位置を検出できるようにしている。
【００２３】
この場合、上記マグネット２０の厚さを取付溝の深さよりも僅かに小さく形成することにより、該マグネット２０の外周面がピストン１２ａの外周面より低い位置にあってピストン室１１ｂの内周面に摺接しないようにしておくことが望ましく、これにより、マグネット２０の摺接によるピストン１２ａの摺動抵抗の増加を防止することができるだけでなく、このマグネット２０が大気中の磁性微細粒子を若干吸着したとしても、それがピストン１２ａの摺動に悪影響を及ぼすのを防ぐことができる。
【００２４】
また、このように上記マグネット２０を、ピストン１２ａの外周の呼吸室１０側の位置に取り付けることにより、該マグネット２０がパイロット流体や主弁４中の圧力流体と直接接触するのを防ぐことができるため、該流体中に水分や化学ミストあるいは金属粉のような磁性体粒子等が含まれていたとしても、該マグネット２０がそれらと接触して錆びたり腐食したりあるいは磁性体粒子を吸着したりするようなことがなく、磁力の低下による位置検出精度の低下や、吸着した微細粒子によるピストン１２ａの動作不良等を生じることがない。
【００２５】
上記電磁弁１のケーシング６に設けられた取付面１ａには、第２部材６ｂの底面となる位置に、上記磁気センサー２１が嵌合する実質的に矩形の断面形状を有する窪み２２が、上記第１ピストン１２ａに近接する深さに切り込むことにより設けられている。
【００２６】
上記電磁弁１が搭載されている上記マニホールドベース２は、厚さ方向に複数個を接合して使用するスタッキングタイプのもので、非磁性体により形成されていて、一半側に設けられた流路形成部２Ａと他半側に設けられた電気接続部２Ｂとを有し、該マニホールドベース２の上面には、これらの流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとに跨がるように上記搭載面２ａが形成されている。上記流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとは、一体に形成しても、別体に形成して相互に連結しても良い。
【００２７】
上記流路形成部２Ａには、マニホールドベース２を厚さ方向に貫通する供給流路Ｐ及び排出流路Ｅが設けられると共に、該マニホールドベース２の端面に開口する２つの出力ポートＡ，Ｂが設けられている。そして、これらの供給流路Ｐと排出流路Ｅ及び各出力ポートＡ，Ｂがそれぞれ、流路形成部２Ａの内部に形成された連通孔を通じて上記搭載面２ａ上に開口する供給通孔Ｐ２ と２つの排出通孔ＥＡ２ ，ＥＢ２ 及び２つの出力通孔Ａ２ ，Ｂ２ に連通し、この搭載面２ａ上に電磁面を搭載したときこれらの各通孔が、該電磁面の取付面１ａに開口する供給通孔Ｐ１ と２つの排出通孔ＥＡ１ ，ＥＢ１ 及び２つの出力通孔Ａ１ ，Ｂ１ にそれぞれ連通するようになっている。
【００２８】
図中２４は、複数のマニホールドベース２を接合して締結する際にボルトを挿通するための締結孔、２５，２６はマニホールドベースの両面の相対する位置に設けられた位置決め用の突起と連結孔で、突起２５が隣接するマニホールドベース２の連結孔２６に嵌合するようになっている。
【００２９】
また、上記電気接続部２Ｂは、接続用の各種電気部品を収容するための収容室２７を有しており、この収容室２７内には、電磁弁制御用のコントローラーから導かれる導線の先端の第１ソケット（図示せず）を接続するための第１プラグ２８と、この第１プラグ２８に電気的に接続された第１プリント基板２９と、この第１プリント基板２９に接続された第２ソケット３０ａと、上記磁気センサー２１と第１プリント基板２９とを互いに導通するための導通手段３１とが設けられている。
【００３０】
上記第２ソケット３０ａは、電磁弁１のパイロット弁５ａ，５ｂに取り付けられた第２プラグ３０ｂに切り離し自在に接続されるものである。一方、上記導通手段３１は、磁気センサー２１が取り付けられた第２プリント基板３８と、この第２プリント基板３８と第１プリント基板２９とを切り離し自在に接続するコネクター３４とからなるもので、このコネクター３４は、上記第２プリント基板３８に取り付けられた第３ソケット３４ａと、第１プリント基板２９から延びる導線３５に取り付けられてこの第３ソケット３４ａに切り離し自在に接続される第３プラグ３４ｂとからなっている。
【００３１】
また、上記電気接続部２Ｂの上面には、上記電磁弁１の窪み２２にほぼぴったりと嵌合する大きさの矩形断面を有するキャップ形の突部３７が、搭載面２ａから上方に突出するように形成され、この突部３７内に上記磁気センサー２１が収容室２７側から挿入されており、この突部３７によって該磁気センサー２１が、搭載面２ａから電磁弁１側に向けて突出した状態に保持されている。そして、上記マニホールドベース２の搭載面２ａ上へ電磁弁１を搭載することにより、上記突部３７が窪み２２内に嵌合してマニホールドベース２と電磁弁１との位置決めが行われると共に、この突部３７を介して磁気センサー２１が窪み２２内に嵌合状態に取り付けられるようになっている。従って上記突部３７は、マニホールドベース２と電磁弁１とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサー２１を載置面から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねるものである。この突部３７は、マニホールドベース２と一体に形成されているが、別に形成してマニホールドベース２に固定しても良い。
【００３２】
上記マグネット２０と磁気センサー２１とは、ピストン１２ａ（従ってスプール８）が一方のストローク端にあるときに磁気センサー２１がマグネット２０の磁気を検出するような位置関係に配置することにより、スプール８の一方のストローク端での位置を検出するようにしても、あるいは、スプール８の全ストロークにおいて磁気センサー２１がマグネット２０の磁気をアナログ的に検出できるような位置関係に配置することにより、スプール８の全ストローク中での任意の位置を検出するようにしても良い。
【００３３】
上記構成を有するマニホールドバルブ１００は、マニホールドベース２上に電磁弁１を搭載するだけで磁気センサー２１を窪み２２内の所定の位置に自動的に取り付けることができるので、該磁気センサー２１の取り付けが簡単であり、磁気センサー２１からの導線を外部に引き回す必要がないため配線も容易である。さらに、メンテナンスに当たって上記マニホールドベース２と電磁弁１とを分離する際に、マニホールドベース２から磁気センサー２１を取り外したり、導線をマニホールドベース２から切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
【００３４】
図４及び図５は本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示すもので、この第２実施例のマニホールドバルブ２００が上記第１実施例のマニホールドバルブ１００と異なる点は、第１実施例では大径の第１ピストン１２ａにマグネット２０を取り付けると共に、マニホールドベース２の第１ピストン１２ａと対応する位置に磁気センサー２１を取り付けているのに対し、第２実施例では、第１ピストン１２ａの反対側にある小径の第２ピストン１２ｂにマグネット２０を取り付けると共に、マニホールドベース２の第２ピストン１２ｂ側の位置に上記磁気センサー２１を取り付けている点である。
【００３５】
即ち、電磁弁１のケーシング６における第３部材６ｃの下面に窪み２２を形成し、マニホールドベース２における流路形成部２Ａの上面に突部３７を形成し、この突部３７の内部に上記磁気センサー２１を保持させている。また、このマニホールドベース２の流路形成部２Ａの側面には配線用の挿通溝３９を形成し、この挿通溝３９内に通した導線４０で、磁気センサー２１が接続された第２プリント基板３８と第１プリント基板２９とを直接接続している。
なお、第２実施例の上記以外の構成は実質的に第１実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第１実施例と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００３６】
上記各実施例では、マニホールドベース２に中空キャップ状の突部３７を形成し、この突部３７内に磁気センサー２１を収容することにより、該磁気センサー２１をマニホールドベース２から突出した状態に取り付けているが、磁気センサー２１の取り付け方法はこのようなものに限定されない。図６に示すものは、突部３７を先端が開放する中空筒形に形成し、この突部３７内に磁気センサー２１を収容している。この場合、磁気センサー２１は突部３７から外部に突出しないように収容しても、一部を突出させた状態に収容しても良い。また、図７に示すものは、マニホールドベース２に上述しような突部３７を設けることなく、磁気センサー２１を外部に露出させた状態で取り付けている。
【００３７】
さらに図８は、磁気センサー２１と第１プリント基板２９とを接続する導通手段３１の異なる例を示すもので、上記実施例では第２プリント基板３８と第１プリント基板２９とをコネクター３４で切り離し自在に接続しているが、この例では、磁気センサー２１と第１プリント基板２９とをフレキシブルな導線４１で直接接続している。
【００３８】
また、上記実施例ではマグネット２０をピストンに取り付けているが、スプール８に取り付けることもできる。この場合、マグネット２０が圧力流体と接触するのを避けるため、スプール８の端部の端部シール部材９ａよりも呼吸室１０側に寄った位置にこのマグネット２０を取り付けることが望ましい。
【００３９】
なお、上記各実施例では、窪み２２内に１つの磁気センサー２１を取り付けるようにしているが、２つ以上の複数の磁気センサーを取り付けても良い。このように複数の磁気センサーを取り付けることにより、スプール８の両ストローク端での位置や、ストローク中の任意の位置を簡単に検出することがができる。
【００４０】
さらに、上記各実施例における電磁弁は、２つのピストンの径を大小に違えているが、同径のピストンを使用することもできる。
あるいは、上記電磁弁として、１つのパイロット弁でスプールを切り換えるシングルパイロット式の電磁弁を用いることもできる。
【００４１】
また、本発明は、スプール式以外の電磁弁を有するマニホールドバルブ、例えばポペット式の電磁弁を備えたマニホールドバルブ等にも適用できることは言うまでもないことである。
【００４２】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマニホールドバルブの第１実施例を示す断面図である。
【図２】図１のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断した斜視図である。
【図３】図１の要部拡大図である。
【図４】本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示す断面図である。
【図５】図４のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断した斜視図である。
【図６】磁気センサーの取り付け方法の他の例を示す要部断面図である。
【図７】磁気センサーの取り付け方法の更に他の例を示す要部断面図である。
【図８】磁気センサーの接続方法の他の例を示す要部斜視図である。
【符号の説明】
１００，２００ マニホールドバルブ
１ 電磁弁
１ａ 取付面
２ マニホールドベース
２ａ 搭載面
５ パイロット弁
６ ケーシング
８ スプール
１０ 呼吸室
１２ａ，１２ｂ ピストン
１３ａ，１３ｂ 圧力室
１５ ピストンパッキン
２０ マグネット
２１ 磁気センサー
２２ 窪み
２８ 第１プラグ
３１ 導通手段
３７ 突部

Claims (5)

  1. 圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースとを含み、
    上記電磁弁が、上記マニホールドベース上に取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられた流体コントロール用の弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記弁部材と同期して変移するように設けられた位置検出用のマグネットと、上記ケーシングの取付面に該マグネットと対応するように設けられたセンサー取付用の窪みとを有し、
    上記マニホールドベースが、上記電磁弁を搭載するための搭載面と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグと、上記窪みと対応する搭載面上の位置に該搭載面から電磁弁側に突出するように設置されていて、該搭載面上への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを導通させる導通手段とを有する、
    ことを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
  2. 請求項１に記載のマニホールドバルブにおいて、上記マニホールドベースの搭載面に上記窪みに嵌合する中空の突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することにより該突部が、上記マニホールドベースと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを載置面から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねていることを特徴とするもの。
  3. 請求項１又は２に記載のマニホールドバルブにおいて、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁であって、上記電磁弁が弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有し、上記弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられていることを特徴とするもの。
  4. 請求項３に記載のマニホールドバルブにおいて、上記マグネットが、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けられていることを特徴とするもの。
  5. 請求項３に記載のマニホールドバルブにおいて、上記各ピストンが、その一端面側に形成された圧力室と、他端面側に形成された呼吸室と、これら両室の間を遮断するピストンパッキンとを有していて、一方のピストンにおける上記ピストンパッキンよりも呼吸室側に寄った位置に上記マグネットが、このピストンパッキンでパイロット流体との接触を防止された状態に取り付けられていることを特徴とするもの。
JP2000268918A 2000-09-05 2000-09-05 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ Expired - Fee Related JP3590762B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000268918A JP3590762B2 (ja) 2000-09-05 2000-09-05 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ
TW090213322U TW501693U (en) 2000-09-05 2001-08-06 Manifold valve with position detecting function
US09/927,325 US6520202B2 (en) 2000-09-05 2001-08-13 Manifold valve having position detecting function
EP01307371A EP1184611B1 (en) 2000-09-05 2001-08-30 Manifold valve with position detector
DE60119638T DE60119638T2 (de) 2000-09-05 2001-08-30 Ventilmodul mit Positionssensor
KR10-2001-0053853A KR100415783B1 (ko) 2000-09-05 2001-09-03 위치검출기능을 갖춘 매니폴드밸브
CNB011324600A CN1166884C (zh) 2000-09-05 2001-09-04 备有位置检测功能的岐管阀

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000268918A JP3590762B2 (ja) 2000-09-05 2000-09-05 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002081568A JP2002081568A (ja) 2002-03-22
JP3590762B2 true JP3590762B2 (ja) 2004-11-17

Family

ID=18755618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000268918A Expired - Fee Related JP3590762B2 (ja) 2000-09-05 2000-09-05 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6520202B2 (ja)
EP (1) EP1184611B1 (ja)
JP (1) JP3590762B2 (ja)
KR (1) KR100415783B1 (ja)
CN (1) CN1166884C (ja)
DE (1) DE60119638T2 (ja)
TW (1) TW501693U (ja)

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3590762B2 (ja) * 2000-09-05 2004-11-17 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ
JP3609331B2 (ja) * 2000-09-12 2005-01-12 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ
US6850849B1 (en) * 2001-06-20 2005-02-01 Curtis Roys Fluid flow monitor and control system
JP3523629B2 (ja) * 2001-10-18 2004-04-26 Ｓｍｃ株式会社 出力圧をモニター可能なバルブユニット
US6776192B2 (en) * 2002-04-12 2004-08-17 Mead Fluid Dynamics, Inc. Pneumatic valve and manifold mounting system
JP4058531B2 (ja) * 2002-06-11 2008-03-12 Ｓｍｃ株式会社 ユニットマニホールドバルブ
JP3968647B2 (ja) * 2002-06-11 2007-08-29 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ
JP4003219B2 (ja) * 2002-06-25 2007-11-07 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ
JP4072756B2 (ja) * 2002-07-05 2008-04-09 Ｓｍｃ株式会社 センサー付きマニホールドバルブ
DE20219497U1 (de) 2002-12-17 2003-03-06 FESTO AG & Co., 73734 Esslingen Fluidtechnisches Steuergerät
DE10304608B4 (de) * 2003-02-05 2007-05-03 Festo Ag & Co. Mehrwegeventil mit Mitteln zur Schaltstellungserfassung
AU2003903036A0 (en) * 2003-06-17 2003-07-03 Nautitech Manufacturing Services Pty Ltd Spool position detection for a hydraulic valve
US20050011556A1 (en) * 2003-06-17 2005-01-20 Mariusz Dudzik Spool position detection for a hydraulic valve
DE10328422A1 (de) * 2003-06-25 2005-01-27 Festo Ag & Co. Positionserfassungsvorrichtung sowie damit ausgestattete fluidtechnische Vorrichtung
US7647940B2 (en) * 2004-04-05 2010-01-19 Westlock Control Corporation Device and method for pneumatic valve control
JP4122500B2 (ja) * 2004-10-15 2008-07-23 Ｓｍｃ株式会社 電磁弁
JP4474668B2 (ja) * 2005-01-31 2010-06-09 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機構付き切換弁
MX2008012213A (es) * 2006-03-28 2009-02-06 Norgren Gmbh Sensor de desplazamiento para una barra.
KR100799296B1 (ko) * 2006-03-31 2008-01-31 주식회사 비에프에스 센서가 장착되는 컨트롤밸브
DE102006045827A1 (de) * 2006-09-22 2008-04-10 Dichtungstechnik G. Bruss Gmbh & Co. Kg Axialverschiebbares Bauteil insbesondere in einem Kraftfahrzeugmotor oder -getriebe
DE102006049724A1 (de) 2006-10-21 2008-04-24 Robert Bosch Gmbh Ventilanordnung mit Positionssensor
DE102007053877B3 (de) * 2007-11-09 2009-04-16 Voith Patent Gmbh Wegeschieber zur Steuerung von Arbeitszylindern oder Servomotoren
EP2137415B1 (de) * 2008-04-15 2017-09-20 FESTO AG & Co. KG Modulares steuergerät, insbesondere elektro-fluidischer art
CN102221101A (zh) * 2010-04-14 2011-10-19 南京理工大学 阀芯位置检测反馈型总线控制电磁集装阀
CN102221112A (zh) * 2010-04-14 2011-10-19 南京理工大学 气动/液压内磁式位置检测滑阀
KR101764461B1 (ko) 2010-12-11 2017-08-02 페스토 악티엔 게젤샤프트 운트 코. 카게 전기유체적 제어장치
EP2530334B1 (de) * 2011-06-01 2014-05-21 Festo AG & Co. KG Ventilanordnung
JP5963459B2 (ja) * 2012-01-31 2016-08-03 住友重機械工業株式会社 クライオポンプおよびクライオポンプの修理方法
DE102013102276B4 (de) 2013-03-07 2018-07-26 Kendrion (Villingen) Gmbh Verdrehschutz
JP2017020631A (ja) * 2015-07-15 2017-01-26 アズビル株式会社 ポジショナ
JP6542052B2 (ja) * 2015-07-15 2019-07-10 アズビル株式会社 ポジショナ
US10092931B2 (en) * 2016-04-19 2018-10-09 Lamb Weston, Inc. Food article defect removal apparatus
US10052663B2 (en) * 2016-04-19 2018-08-21 Lamb Weston, Inc. Food article defect removal apparatus
FR3054289B1 (fr) * 2016-07-20 2018-07-20 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Robinet pour fluide sous pression
JP6825405B2 (ja) * 2017-02-15 2021-02-03 日本電産トーソク株式会社 バルブ装置
JP6855827B2 (ja) * 2017-02-15 2021-04-07 日本電産トーソク株式会社 バルブ装置
CA3206116A1 (en) 2017-03-07 2018-09-13 Asco, L.P. A device and method for anticipating failure in a solenoid valve for a manifold assembly
EP3685079B1 (en) 2017-09-18 2024-10-30 Asco, L.P. A fluid control system for monitoring response time in a valve manifold assembly
DE102018208614A1 (de) * 2018-05-30 2019-12-05 Robert Bosch Gmbh Ventil
DE102018208608A1 (de) * 2018-05-30 2019-12-05 Robert Bosch Gmbh Anordnung und Ventil
KR102392599B1 (ko) * 2018-07-09 2022-04-29 가부시키가이샤 후지킨 유체 제어 기기
DE102019202052B4 (de) * 2019-02-15 2022-09-01 Hawe Hydraulik Se Wegesitzventil
US11248717B2 (en) 2019-06-28 2022-02-15 Automatic Switch Company Modular smart solenoid valve
JP7189114B2 (ja) * 2019-12-04 2022-12-13 Ckd株式会社 電磁弁マニホールド
JP6783484B1 (ja) * 2020-03-09 2020-11-11 金子産業株式会社 電磁弁
JP7330121B2 (ja) * 2020-03-11 2023-08-21 株式会社コガネイ マニホールド電磁弁およびバルブベース
DE102020215250A1 (de) 2020-12-03 2022-06-09 Festo Se & Co. Kg Ventileinheit
JP7566607B2 (ja) * 2020-12-10 2024-10-15 住友重機械工業株式会社 スプール型流量制御弁およびその製造方法
US12092229B2 (en) * 2021-10-12 2024-09-17 Parker-Hannifin Corporation Valve bank and smart control valve
EP4293260A1 (de) * 2022-06-17 2023-12-20 Eugen Seitz AG Ventil
CN115324969A (zh) * 2022-08-30 2022-11-11 北京天玛智控科技股份有限公司 先导模块及多路阀

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5552144Y2 (ja) * 1977-04-18 1980-12-03
JPS60109679A (ja) * 1983-11-15 1985-06-15 Sanmei Denki Kk 電磁弁
JPS6191678U (ja) * 1984-11-21 1986-06-13
JPH0442631Y2 (ja) * 1987-02-06 1992-10-08
US4928730A (en) * 1987-07-30 1990-05-29 Tokyo Keiki Company, Ltd. Proportional electromagnetic valve having amplifier therein
JPH0266784A (ja) 1988-08-31 1990-03-06 Nec Corp 磁気ヘッド挿入用治具
JPH0266785A (ja) 1988-09-01 1990-03-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気ヘッド保持装置
JPH0288079A (ja) 1988-09-26 1990-03-28 Teijin Ltd 呼吸用気体供給装置
JPH0266784U (ja) * 1988-11-02 1990-05-21
DE4222637C2 (de) * 1992-07-10 1998-12-10 Festo Ag & Co Ventilanordnung
JP3524723B2 (ja) * 1996-08-10 2004-05-10 シーケーディ株式会社 電気操作弁マニホールド
JPH1073181A (ja) * 1996-08-30 1998-03-17 Ckd Corp 弁位置検出スイッチ付パイロット形切換弁
US5826616A (en) * 1996-11-19 1998-10-27 Isi Norgren, Inc. Valve spool position detector apparatus
JP3634675B2 (ja) * 1999-07-12 2005-03-30 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能付き切換弁
US6164323A (en) * 1999-07-12 2000-12-26 Numatics, Incorporated Solenoid valve control system
JP3468454B2 (ja) * 1999-07-12 2003-11-17 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能付き切換弁
JP3467213B2 (ja) * 1999-07-12 2003-11-17 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能付きパイロット式切換弁
JP3468455B2 (ja) * 1999-07-13 2003-11-17 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能付きパイロット式切換弁
JP3530775B2 (ja) * 1999-07-16 2004-05-24 Ｓｍｃ株式会社 電磁弁の動作管理装置
JP3590762B2 (ja) * 2000-09-05 2004-11-17 Ｓｍｃ株式会社 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ

Also Published As

Publication number Publication date
TW501693U (en) 2002-09-01
DE60119638T2 (de) 2007-05-10
EP1184611A3 (en) 2003-06-04
EP1184611B1 (en) 2006-05-17
CN1342858A (zh) 2002-04-03
DE60119638D1 (de) 2006-06-22
JP2002081568A (ja) 2002-03-22
US6520202B2 (en) 2003-02-18
KR100415783B1 (ko) 2004-01-24
EP1184611A2 (en) 2002-03-06
US20020026959A1 (en) 2002-03-07
CN1166884C (zh) 2004-09-15
KR20020019393A (ko) 2002-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3590762B2 (ja) 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ
US6505642B2 (en) Manifold valve having position detecting function
JP4003219B2 (ja) 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ
JP3968647B2 (ja) 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ
US6109298A (en) Sealed transfer valve assembly
KR100497633B1 (ko) 센서가 부착된 매니폴드밸브
JP3696075B2 (ja) 磁気センサー付き切換弁
JP3637282B2 (ja) 磁気センサ付き電磁弁
JP2001027361A (ja) 位置検出機能付き切換弁
JP2008208914A (ja) 電磁弁組立体
US7438088B2 (en) Electromagnetic pilot type directional control valve
JPH09273651A (ja) パイロット式電磁弁
JPH10103554A (ja) パイロット形電磁弁
KR20010015224A (ko) 위치검출기능을 가진 파일럿식 전환밸브

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040224

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040422

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040817

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040823

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3590762

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080827

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090827

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100827

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110827

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120827

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees