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JP3485424B2 - Ｉｃパッケージ - Google Patents

Ｉｃパッケージ

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JP3485424B2
JP3485424B2 JP30375296A JP30375296A JP3485424B2 JP 3485424 B2 JP3485424 B2 JP 3485424B2 JP 30375296 A JP30375296 A JP 30375296A JP 30375296 A JP30375296 A JP 30375296A JP 3485424 B2 JP3485424 B2 JP 3485424B2
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electrical
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Ricoh Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージ寸法を
ＩＣチップ本体と同等としながら高密度実装や多ピン化
に対応できるＣＳＰ（チップ・サイズ・パッケージ）型
のＩＣパッケージに関し、特に実装用の電気接点の損傷
を防止しながら電気検査を行うことを可能とする新規な
構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子機器の製造分野では、小型・軽量
化、低コスト化、短納期化の要望がますます高まってお
り、その心臓部を構成するＩＣパッケージについても同
様の要求が切迫したものとなっている。現状のＩＣパッ
ケージの主流はＱＦＰ（Quad Flat Pack- age)と呼ばれ
る、矩形のパッケージの四辺に多数の外部リードを引き
出したものである。しかし、リード・ピッチが０．４ｍ
ｍから０．３ｍｍへ移行されつつある折、接続品質の低
下が問題となっており、これ以上の小型化や多ピン化に
対応することは必ずしも容易ではない。
【０００３】この問題に対応できるＩＣパッケージとし
て、ＣＳＰ（チップ・スケール・パッケージ）の研究・
開発が活発化している。ＣＳＰにはまだ統一された規格
が存在しておらず、各社各様のものが提案されている
が、その多くに共通している考え方は、（ａ）ＩＣチッ
プの素子形成面が実装基板（マザーボード）に対面する
ごとく実装される、いわゆるフェイスダウン・ボンディ
ングであること、（ｂ）ＩＣチップの素子形成面にすべ
ての電極パッドが形成されており、この電極パッドの配
列パターンが何らかの仲介層（インタポーザ）を介して
規則的な電気接点の配列パターンに変換されており、こ
の電気接点が基板上の配線パターンに実際に接続される
実装用の接点となっていること、である。上記仲介層と
してはセラミクス基板やポリイミド・フィルムが使用さ
れる。また、上記電気接点は格子状にパターニングされ
た電極や格子状に配列されたバンプで構成される。特
に、後者のバンプを配列させる方式はＢＧＡ（ボール・
グリッド・アレイ）と称されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にＩＣパッケージが多ピン化され、ピン間隔も微細化さ
れるに伴い、電気検査に際して電気検査用プローブを微
細な検査用端子に正確に、しかも双方に損傷を与えない
ように接触させることが困難となりつつある。
【０００５】リードフレームを使用する従来型のパッケ
ージについては、この問題を解決するための構造上の工
夫が幾つか提案されている。たとえば、特開平５−２５
９３６７号公報には、各リードに接続される電気検査用
ピンをフラット型ＩＣパッケージの上面に露出させ、こ
のピンにプローブを接触させて検査を行えるようになさ
れた構造が開示されている。また、特開平６−２０４３
５８号公報には、モールド内部のリードフレーム上に検
査用接触端を設け、かつこの検査用接触端を露出させる
開口をモールドの上面に設けることにより、該開口から
プローブ・ピンを挿入して検査を行えるようになされた
ＩＣパッケージの構造が開示されている。上述の各広報
に記載される技術は、いずれもリードフレームの変形や
プローブとの接触不良を防止することを目的として提案
されたものである。ここで、プローブの接触相手となる
部材はリードまたはこれに接続されるピンであって、し
かもこれらの部材は露出部を除いて全面的にモールド樹
脂に固定された状態となっている。
【０００６】これに対し、ＣＳＰ型のＩＣパッケージに
ついて電気検査を行うためには、全面モールドされてい
ないＩＣチップの素子形成面側に配列された電気接点に
プローブを配列させなければならない。特に、ＢＧＡ型
のＩＣパッケージのように電気接点がバンプである場
合、バンプ自体が近年ますます微細化され、下地との接
着強度が確保しにくくなっていることから、検査時に加
わる外圧によりバンプの磨耗，変形，脱落等の欠陥が生
じやすくなっている。これらの欠陥が生じたＩＣパッケ
ージは、実装段階で基板取り付け不良の原因となり、製
造上不利益である。そこで本発明は、ＣＳＰ型のＩＣパ
ッケージについても、実装基板との接続に使用される電
気接点に欠陥を生ずることなく、信頼性の高い電気検査
を可能とするＩＣパッケージを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣパッケージ
は、電気接点が再配列されたＩＣチップの素子形成面と
は反対側の方向から電気検査用プローブを接触させるこ
とができるように、まず素子形成面に該電気接点と電気
的に接続する第１電極パッドをＩＣチップの辺に沿って
配し、該ＩＣチップを周回する枠体を高さ方向に貫通す
る形で該第１電極パッドに接続する導体を枠体の裏面
（ただし、実装時にはこちらが上面となる。）へ引き出
し、該裏面における導体の露出部を電気検査用プローブ
の接点とすることにより、上述の目的を達成しようとす
るものである。上記導体の役割を果たすものは、枠体に
埋め込まれた導電性の測定用ピンであり、この測定ピン
を対応する第１電極パッドと第１接続手段を用いて個々
に接続しておけば良い。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明は、ＩＣチップの素子形成
面上の電極パッドの配列パターンが、何らかの仲介層を
用いて別の電気接点の配列パターンに変換されているよ
うなＩＣパッケージを対象としている。ここで、上記仲
介層は、セラミクス基板，エポキシ樹脂基板，ポリイミ
ド・フィルム等、公知の絶縁材料を用いて構成すること
ができる。上記第１電極パッドと前記電気接点との電気
的接続は、仲介層の内部構造を介して行うことも可能で
あるが、該仲介層の辺部に該電気接点と電気的に接続さ
れる第２電極パッドを配しておき、この第２電極パッド
と上記第１電極パッドとを第２接続手段を用いて電気的
に接続することが簡便である。なお、上記第１接続手段
と第２接続手段としては、ボンディング・ワイヤを用い
ることが簡便である。なお、これら第１接続手段と第２
接続手段には、ボンディング・ワイヤのみならず、該ワ
イヤとの密着性や接触抵抗を考慮して使用される下地金
属膜も含めるものとする。
【０００９】本発明は、あらゆる種類のＣＳＰに適用し
て好適であるが、特に電気接点がハンダその他の金属か
らなるバンプで構成されているＢＧＡ型のＩＣパッケー
ジに適用すれば、電気検査時のバンプの磨耗，損傷，脱
落を効果的に防止することができる。
【００１０】次に、本発明の具体的な実施の形態とし
て、ＢＧＡ型のＩＣパッケージの一構成例について図１
および図２を参照しながら説明する。図１は、正方形の
ＢＧＡ型ＩＣパッケージの一部を破断し、かつ素子形成
面側Ｉを上向きに示した図であり、図２は図１のＡ−Ａ
線断面図である。このＩＣパッケージにおいて、ＩＣチ
ップ１は四辺を枠体１１で周回されている。ＩＣチップ
１の素子形成面上には図示されない電極パッドが多数形
成されているが、その電極パッドの配列パターンを十分
な実装精度が得られる程度であってかつ規則的なハンダ
・バンプ２３の配列パターンに変換している仲介層がバ
ンプ再配列基板２１である。バンプ再配列基板２１は、
たとえばガラス繊維強化エポキシ樹脂を用いて形成され
ている。
【００１１】前記ＩＣチップ１の四辺に沿った領域に
は、第１電極パッド２が配されており、また、バンプ再
配列基板２１の四辺に沿った領域にも第２電極パッド２
２が配されている。第２電極パッド２２は、内部配線２
４により個々のハンダ・バンプ２３と電気的に接続され
ている。これら第１電極パッド２と第２電極パッド２２
は、共にたとえばＡｌ系材料膜を用いて構成され、かつ
同数設けられている。これらの電極パッドは、互いに対
応するパッド同士が各々に第２ボンディング・ワイヤ４
を用いて素子形成面側Ｉで接続されている。この第２ボ
ンディング・ワイヤ４は、ＡｕまたはＡｌ系材料を用い
て形成される。
【００１２】上記第１電極パッド２と第２電極パッド２
２はいずれも素子形成面側Ｉに形成されている電気測定
用の端子であるが、これらの端子に対して裏側IIからの
電気検査用プローブのアクセスを可能とする部材が、枠
体１１とその中に埋め込まれている測定用ピン１２であ
る。上記枠体１１は、幅０．１ｍｍ，高さ０．４ｍｍの
エポキシ樹脂よりなる部材である。上記高さは、ＩＣチ
ップ１の高さよりもやや高いが、これは後述のごとくＩ
Ｃチップ１の周辺部についてのみ樹脂封止を行う際に、
封止層５の保持力を高めるためである。
【００１３】上記枠体１１には、その高さ方向に１辺
０．０５ｍｍのＡｌ系もしくはＣｕ系材料よりなる測定
用ピン１２が貫通されている。この測定用ピン１２は、
裏側IIではその露出面をそのまま電気測定用プローブの
接点とすることができるが、素子形成面側Ｉでは後述す
るようにワイヤ・ボンディングを行うため、ボンディン
グ・ワイヤの端部の金属ボールとの密着性と接触抵抗が
問題となる。ここでは、素子形成面側Ｉの測定用ピン１
２の端面に、Ａｕからなる第３電極パッド１３を形成し
た。
【００１４】なお、上述のように枠体１１の高さ方向を
貫通する測定用ピン１２と第３電極パッド１３とを形成
するには、たとえば予め一端に第３電極パッド１３とな
るＡｕ層を被着させたＡｌピンまたはＣｕピンを成形型
の中にセットしておき、この成形型に樹脂を注入するこ
とで各ピンの隙間を充填する方法をとることができる。
【００１５】上記第３電極パッド１３と第２電極パッド
１３とは、互いに対応するパッド同士が第１ボンディン
グ・ワイヤ３を用いて接続されている。なお、第１ボン
ディング・ワイヤ３と第２ボンディング・ワイヤ４と
は、たとえば絶縁性樹脂よりなる封止層５で封止されて
いる。このＩＣパッケージは実装基板上にフェイスダウ
ン・ボンディングされるので、上記封止層５の高さがハ
ンダ・バンプ２３の高さの範囲内とされることが特に重
要である。このようにして、本ＩＣパッケージにおいて
は、測定用ピン１２→第３電極パッド１３→第１ボンデ
ィング・ワイヤ３→第１電極パッド２→第２ボンディン
グ・ワイヤ４→第２電極パッド２２→内部配線２４→ハ
ンダ・バンプ２３の経路にしたがって導通がとられる。
【００１６】上記ＩＣパッケージに対して電気測定を行
うには、図３に示されるようにＩＣパッケージの裏側II
から電気検査用プローブ３１を測定用ピン１２に接触さ
せる。この電気検査用プローブ３１は、たとえば市販の
プローブ・カードに装備されている類のものである。こ
のように、本発明では測定用ピン１２にプローブ３１を
接触させた状態で、該プローブ３１から様々な試験用信
号を入力することができる。つまり、ハンダ・バンプ２
３はプローブ３１と一切接触される虞れがないので、バ
ンプの磨耗，損傷，脱落といった欠陥を生ずることがな
い。なお、図３ではＩＣパッケージをフェイスダウン式
に載置した状態で電気検査用プローブ３１を接触させて
いるが、フェイスアップ式に載置してこれを行っても良
い。
【００１７】以上、本発明の実施の形態について述べた
が、本発明は上述の形態に何ら限定されるものではな
く、ＩＣチップの構成の細部，各部材の寸法，各部材の
構成材料については適宜変更や選択が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のＩＣパッケージは実装基板との接続に使用される電
気接点に欠陥を生ずることなく、信頼性の高い電気検査
を可能とするものである。したがって、ＢＧＡ型を始め
とするあらゆる種類のＣＳＰ型ＩＣパッケージの信頼性
と製造歩留りを高めることができる。また、実装前に良
品チップであることが証明されたチップ、すなわちＫＧ
Ｄ (known good die) の入手が容易となり、ＣＳＰの実
用化に果たす役割は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したＢＧＡ型ＩＣパッケージの一
部を破断して示す部分拡大斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面である。
【図３】図１のＩＣパッケージの裏面側から電気検査用
プローブを接触させ、電気的検査を行っている状態を示
す模式的斜視図である。
【符号の説明】
１ ＩＣパッケージ ２ 第１電極パッド ３ 第２ボンディング・ワイヤ ４ 第１ボンディング・ワイヤ ５ 封止層 ６ 配線パターン １１ 枠体 １２ 測定用ピン １３ 第３電極パッド ２１ バンプ再配列基板 ２２ 第２電極パッド ２３ ハンダ・バンプ ２４ 接続孔 ３１ 電気検査用プローブ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−129366（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−124245（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−259367（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−195329（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−31868（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−297225（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−51051（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−111433（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 23/12 H01L 21/60 G01R 1/06 G01R 31/26

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＩＣチップの素子形成面上に積層された
    絶縁性の仲介層を用いて該素子形成面上の第１電極パッ
    ドと電気的に接続された実装用の電気接点が再配列され
    てなるＩＣパッケージであって、 前記第１電極パッドが前記素子形成面上において前記仲
    介層の積層領域外の露出面に配列され、 前記ＩＣチップの側面が前記第１電極パッドと同数の導
    電性の測定用ピンが高さ方向に貫通されてなる絶縁性の
    枠体に周回され、 前記第１電極パッドとこれに対応する前記測定用ピンと
    が素子形成面側で第１接続手段を用いて各々電気的に接
    続されることにより、 前記素子形成面とは反対側の方向から前記枠体に露出す
    る前記測定用ピンに対して電気検査用プローブを接触さ
    せるようになされたＩＣパッケージ。
  2. 【請求項２】 前記第１電極パッドと前記電気接点との
    電気的接続は、 前記仲介層の辺部に配され該電気接点と電気的に接続さ
    れた第２電極パッドと、 該第１電極パッドと該第２電極パッドとを各々電気的に
    接続する第２接続手段とを用いて達成される請求項１記
    載のＩＣパッケージ。
  3. 【請求項３】 前記第１接続手段と前記第２接続手段が
    共にボンディング・ワイヤを含む請求項１記載のＩＣパ
    ッケージ。
  4. 【請求項４】 前記ボンディング・ワイヤによる接続部
    の近傍のみ選択的に絶縁封止材料を用いて封止されてな
    る請求項３記載のＩＣパッケージ。
  5. 【請求項５】 前記電気接点がバンプである請求項１記
    載のＩＣパッケージ。
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