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JP3365233B2 - Liquid crystal panel and projection display - Google Patents

Liquid crystal panel and projection display

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JP3365233B2
JP3365233B2 JP33007196A JP33007196A JP3365233B2 JP 3365233 B2 JP3365233 B2 JP 3365233B2 JP 33007196 A JP33007196 A JP 33007196A JP 33007196 A JP33007196 A JP 33007196A JP 3365233 B2 JP3365233 B2 JP 3365233B2
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Japan
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liquid crystal
crystal panel
voltage
electrode
light
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JP33007196A
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Japanese (ja)
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宏貞 堀口
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Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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  • Liquid Crystal Display Device Control (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反射型アクティブ
マトリックス液晶パネルおよびその駆動方法に関し、特
に投射型表示装置のライトバルブに利用して好適な反射
型液晶パネルおよびそれを用いた投射型表示装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflection type active matrix liquid crystal panel and a driving method thereof, and more particularly to a reflection type liquid crystal panel suitable for use as a light valve of a projection type display device and a projection type display device using the same. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、アクティブマトリックス液晶パネ
ルとしては、ガラス基板上にアモルファスシリコンを用
いたTFTアレーを画素電極と1対1で形成し、TFT
で画素電極に駆動電圧を印加するようにした構造の液晶
パネルが実用化されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an active matrix liquid crystal panel, a TFT array using amorphous silicon is formed on a glass substrate in a one-to-one correspondence with pixel electrodes.
Therefore, a liquid crystal panel having a structure in which a drive voltage is applied to the pixel electrode has been put into practical use.

【0003】また、アクティブマトリックス液晶パネル
には、反射型と透過型とがあり、反射型アクティブマト
リックス液晶パネルは、透過型アクティブマトリックス
液晶パネルと比較して以下のような利点がある。
The active matrix liquid crystal panel is classified into a reflective type and a transmissive type, and the reflective active matrix liquid crystal panel has the following advantages over the transmissive active matrix liquid crystal panel.

【0004】信号線(ソース線もしくはデータ線)、
走査線(ゲート線)、容量線などの配線や画素駆動用ト
ランジスタ(TFT)や保持容量など、表示には直接寄
与しない部分を画素電極の下に形成することで、実質的
に高い開口率を得ることができる。
Signal lines (source lines or data lines),
By forming a portion that does not directly contribute to the display, such as a scanning line (gate line), a wiring such as a capacitance line, a pixel driving transistor (TFT), and a storage capacitor, under the pixel electrode, a substantially high aperture ratio can be obtained. Obtainable.

【0005】上記理由から配線を太くしても開口率が
低下しないので、配線抵抗を減らして良効な表示を行う
ことができる。
For the above reason, the aperture ratio does not decrease even if the wiring is thickened, so that the wiring resistance can be reduced and a good display can be performed.

【0006】反射型の場合、絶縁基板または半導体基
板上に駆動能力の大きいTFTやMOSFETアレーを
形成し、さらにその上に反射電極となる画素電極を形成
してトランジスタで駆動電圧を印加するように構成する
ことができる。特に半導体基板上にMOSFETを形成
する構成の場合、シリコンICのプロセスを利用するこ
とができるので、微細加工が可能である。そのため、透
過型に比べて小型高精細で明るい表示が得られるため、
プロジェクタのライトバルブとして着目されている。
In the case of the reflection type, a TFT or MOSFET array having a large driving capability is formed on an insulating substrate or a semiconductor substrate, and a pixel electrode serving as a reflection electrode is further formed on the TFT or MOSFET array so that a driving voltage is applied by the transistor. Can be configured. In particular, in the case of the structure in which the MOSFET is formed on the semiconductor substrate, the silicon IC process can be used, and therefore fine processing is possible. Therefore, compared to the transmissive type, a small, high-definition, bright display can be obtained,
It is attracting attention as a light valve for projectors.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、反射型
アクティブマトリックス液晶パネルは、光の反射強度を
高めるためデバイスサイズを透過型に比較して小さくす
ることが求められている。液晶パネルには、見切り(表
示画面の周縁を隠すためのマスク)のための遮光部材を
対向基板側に設けることが必要であるが、パネルサイズ
が小さくなると遮光部材と画素領域との相対的な位置合
わせが難しくなってしまうという不具合がある。
However, in the reflection type active matrix liquid crystal panel, the device size is required to be smaller than that of the transmission type in order to increase the reflection intensity of light. In the liquid crystal panel, it is necessary to provide a light blocking member for a parting (a mask for hiding the peripheral edge of the display screen) on the counter substrate side. However, when the panel size becomes small, the relative light blocking member and the pixel region are provided. There is a problem that alignment becomes difficult.

【0008】そこで、本発明者は、反射型アクティブマ
トリックス液晶パネルにおいて見切りを形成する技術に
ついて検討した。その結果、以下のような課題があるこ
とが明らかになった。
Therefore, the present inventor has studied a technique for forming a parting line in a reflection type active matrix liquid crystal panel. As a result, it became clear that there are the following problems.

【0009】SH(Super Homeotropic)液晶を使用し
たSH液晶モードのようなネガモードの場合、液晶に電
圧が印加されない状態では黒表示になるので、画素領域
の周囲の液晶が正常に配向していれば、トランジスタ側
基板の周辺が反射状態でも無反射状態でも表示は黒くな
り、見切りとしての機能は得られる。しかし、SH液晶
モードは液晶を垂直配向させる必要があり、従来の技術
では均一な垂直配向処理が極めて困難であるため、周囲
を完全に黒表示させることが難しい。また、SH液晶モ
ードで使用する負の誘電異方性の液晶材料は、TN(Tw
isted Nematic)液晶モードで使用される正の誘電異方
性液晶材料に比べると種類が少なく、使用できる温度範
囲も狭く、信頼性に乏しいという欠点がある。
In the case of a negative mode such as an SH liquid crystal mode using SH (Super Homeotropic) liquid crystal, black display occurs when no voltage is applied to the liquid crystal, so that if the liquid crystal around the pixel region is properly aligned. The display becomes black regardless of whether the periphery of the transistor side substrate is in the reflective state or the non-reflective state, and the function as a parting off can be obtained. However, in the SH liquid crystal mode, it is necessary to vertically align the liquid crystal, and it is extremely difficult to perform uniform vertical alignment processing by the conventional technique, and thus it is difficult to completely display the surroundings in black. The liquid crystal material with negative dielectric anisotropy used in SH liquid crystal mode is TN (Tw
Compared to the positive dielectric anisotropy liquid crystal materials used in isted Nematic) liquid crystal mode, there are few types, the usable temperature range is narrow, and the reliability is poor.

【0010】一方、TN液晶モードの液晶パネルであれ
ば実績のある既存技術で製造することができるので、信
頼性の点では問題はない。しかし、TN液晶モードの反
射型液晶パネルを投射型表示装置に組み込んだ場合、ポ
ジ表示となるので画素領域の周辺に見切りが設けられて
いないと表示部の周囲に白い輪郭がでてしまうという不
具合がある。
On the other hand, since a liquid crystal panel of the TN liquid crystal mode can be manufactured by a proven existing technique, there is no problem in terms of reliability. However, when a reflection type liquid crystal panel of the TN liquid crystal mode is incorporated in a projection type display device, a positive display is provided, so that a white contour appears around the display portion unless a partition is provided around the pixel region. There is.

【0011】この発明の目的は、反射型アクティブマト
リックス液晶パネルにおいて、画素領域の周囲に見切り
を設けたのと同様な黒枠表示を行なうことができる技術
を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a technique capable of displaying a black frame in a reflective active matrix liquid crystal panel, similar to the case where a partition is provided around the pixel area.

【0012】この発明の他の目的は、プロセスを複雑に
することなく見切りを設けたのと同様な黒枠表示を行な
うことができるようにすることにある。
Another object of the present invention is to enable display of a black frame similar to the case where a parting is provided without complicating the process.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この発明は、上記目的を
達成するため、反射型アクティブマトリックス液晶パネ
ルにおいて、反射側基板の画素領域の周囲には反射電極
でなる疑似画素電極と該疑似画素電極に電圧を印加する
ためのスイッチング素子とからなるダミー画素列が形成
され、さらにこのダミー画素列の形成領域の周囲には導
電層が形成され、疑似画素電極および導電層と上記対向
電極との間に狭持された液晶には表示を黒色方向の表示
レベルにする交流電圧がそれぞれ印加されるようにし
た。これによって、見切りと同様な画素領域を囲む黒枠
表示を行なうことができる。特に本発明はかかるダミー
画素電極を利用して見切りとなる黒枠表示を行なわせる
ことで、何らプロセスを変更することなく上記目的を達
成することができる。この発明は、上記液晶パネルの表
示モードがポジ表示である場合に特に有効である。
In order to achieve the above object, the present invention provides a reflection type active matrix liquid crystal panel in which a pseudo pixel electrode formed of a reflection electrode and a pseudo pixel electrode are provided around a pixel region of a reflection side substrate. A dummy pixel column including a switching element for applying a voltage is formed on the dummy pixel column, and a conductive layer is formed around the formation region of the dummy pixel column. An alternating voltage is applied to the liquid crystal sandwiched between the display and the display level in the black direction. As a result, it is possible to perform a black frame display surrounding a pixel area similar to the case of a parting. In particular, the present invention can achieve the above-mentioned object without changing the process by displaying a black frame as a parting line by using the dummy pixel electrode. The present invention is particularly effective when the display mode of the liquid crystal panel is positive display.

【0014】しかも、上記導電層は、反対側基板に形成
されるため、対向基板側に形成される遮光部材に比べて
位置合わせ精度が高くなり合わせずれによる表示不良
(白輪郭の発生)も回避することができる。
Moreover, since the conductive layer is formed on the opposite substrate, the alignment accuracy is higher than that of the light shielding member formed on the opposite substrate side, and display defects (white contours) due to misalignment are avoided. can do.

【0015】さらに、反射側基板上にスイッチング素子
アレーを画素電極と1対1で形成し、スイッチング素子
を介して画素電極に駆動電圧を印加するとともに周囲に
トランジスタ等のスイッチング素子からなる周辺回路を
設けた反射型アクティブマトリックス液晶パネルにおい
て、上記導電層を遮光性の材料で上記周辺回路を覆うよ
うに形成する。これによって、入射した光によってスイ
ッチング素子にリーク電流が流れて回路が誤動作するの
を防止することができる。上記導電層やダミーの画素電
極は画素領域の画素電極と同一材料で同時に形成するよ
うにすることができる。また、上記導電層およびダミー
画素電極の表面に反射防止処理を施すようにしてもよ
い。
Further, a switching element array is formed in a one-to-one relationship with the pixel electrodes on the reflection side substrate, a driving voltage is applied to the pixel electrodes via the switching elements, and a peripheral circuit composed of switching elements such as transistors is provided around the pixel electrodes. In the provided reflective active matrix liquid crystal panel, the conductive layer is formed of a light-shielding material so as to cover the peripheral circuit. As a result, it is possible to prevent the circuit from malfunctioning due to a leak current flowing through the switching element due to the incident light. The conductive layer and the dummy pixel electrode may be formed of the same material as the pixel electrode in the pixel region at the same time. Further, antireflection treatment may be applied to the surfaces of the conductive layer and the dummy pixel electrode.

【0016】上記導電層により液晶に印加される交流電
圧は、上記対向電極に印加されるコモン電位を中心とし
て実質的に正負同一振幅を有する交流電圧で、上記ダミ
ー画素電極により液晶に印加される交流電圧は、上記対
向電極に印加される信号の中心電位を中心として実質的
に正負同一振幅を有する交流電圧であるのが望ましい。
経時的に液晶に直流電圧が印加されるのを防止するため
である。また、上記交流電圧は、1画素への印加電圧の
極性の反転周期と同一もしくはそれよりも短い周期の交
流電圧、望ましくは商用電源の50Hz以上で液晶の応
答速度よりも低い100kHz以下の交流電圧である。
50Hz以上とするのはフリッカを防止するためであ
る。
The AC voltage applied to the liquid crystal by the conductive layer is an AC voltage having substantially the same positive and negative amplitude centered on the common potential applied to the counter electrode, and is applied to the liquid crystal by the dummy pixel electrode. The AC voltage is preferably an AC voltage having substantially the same positive and negative amplitude centered on the center potential of the signal applied to the counter electrode.
This is to prevent a DC voltage from being applied to the liquid crystal over time. The AC voltage is the same as or shorter than the polarity inversion cycle of the polarity of the voltage applied to one pixel, preferably 100 kHz or less of the commercial power supply and 100 kHz or less that is lower than the response speed of the liquid crystal. Is.
The frequency of 50 Hz or higher is for preventing flicker.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施例を図
面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1〜図3は、本発明を適用した反射型ア
クティブマトリックス液晶パネルの第1の実施例を示
す。このうち、図1は画素電極およびトランジスタが形
成された反射側基板の平面レイアウト、図2は液晶パネ
ル全体の断面構成、図3(a)は画素領域の一部の拡大
断面を示す。図3(b)は一画素の等価回路図を示す。
1 to 3 show a first embodiment of a reflection type active matrix liquid crystal panel to which the present invention is applied. Among these, FIG. 1 shows a plane layout of a reflection side substrate on which pixel electrodes and transistors are formed, FIG. 2 shows a sectional configuration of the entire liquid crystal panel, and FIG. 3A shows an enlarged sectional view of a part of a pixel region. FIG. 3B shows an equivalent circuit diagram of one pixel.

【0019】図1〜図3において、10は入射側の基板
となるガラス基板、20は反射側の基板となるガラス基
板、30は上記基板間に封入されたTN液晶、31はシ
ール材である。図1に示されているように、この実施例
においては、反射側基板20の中央に画素電極21がマ
トリックス状に形成されてなる画素領域22が設けら
れ、その周囲に、信号線に画像データを供給する信号線
駆動回路23や上記信号線上の電圧を画素電極に印加す
るスイッチング素子としての薄膜トランジスタ(TF
T)のゲートが接続された走査線4を順番に選択する選
択走査線駆動回路24、パッド領域25を介して外部か
ら入力される画像データを取り込む入力回路26、これ
らの回路を制御するタイミング制御回路27等からなる
周辺回路が設けられている。
1 to 3, reference numeral 10 is a glass substrate serving as a substrate on the incident side, 20 is a glass substrate serving as a substrate on the reflecting side, 30 is a TN liquid crystal enclosed between the substrates, and 31 is a sealing material. . As shown in FIG. 1, in this embodiment, a pixel area 22 formed by forming pixel electrodes 21 in a matrix is provided in the center of a reflection side substrate 20, and image data is provided on a signal line around the pixel area 22. And a thin film transistor (TF) as a switching element for applying a voltage on the signal line to the pixel electrode.
T) a selective scanning line driving circuit 24 for sequentially selecting the scanning lines 4 to which the gates are connected, an input circuit 26 for taking in image data input from the outside via a pad region 25, and timing control for controlling these circuits. A peripheral circuit including the circuit 27 and the like is provided.

【0020】上記周辺回路は、上記画素電極21に電圧
を印加するトランジスタと同一工程で形成されるトラン
ジスタを能動素子もしくはスイッチング素子とし、これ
に抵抗や容量などの負荷素子を組み合わせることで構成
される。この実施例では、上記画素領域22の周囲に、
上記周辺回路に光が入射するのを防止する遮光層を兼ね
た導電層である見切り電極28が設けられている。見切
り電極28の内端形状すなわち開口形状は上記画素領域
22の外形とほぼ一致するようにされている。外部から
信号を入力したり、電源電圧を供給するパッド領域25
は、上記シール材31の外側に来るように、その位置が
設定されている。
The peripheral circuit is constructed by using a transistor formed in the same step as the transistor for applying a voltage to the pixel electrode 21 as an active element or a switching element, and combining this with a load element such as a resistor or a capacitor. . In this embodiment, around the pixel region 22,
A parting electrode 28, which is a conductive layer also serving as a light-shielding layer for preventing light from entering the peripheral circuit, is provided. The shape of the inner end of the parting electrode 28, that is, the shape of the opening, is made to substantially match the outer shape of the pixel region 22. Pad area 25 for inputting signals from outside or supplying power supply voltage
Is positioned so that it is outside the sealing material 31.

【0021】図2に示すように、入射側のガラス基板1
0の内面(図では下面)には液晶の対向電位となるLC
コモン電位が印加される透明導電膜(ITO)からなる
共通電極11が設けられ、上記反射側のガラス基板20
と入射側のガラス基板10が適当な間隔をおいて配置さ
れ、周囲をシール材31で封止された間隙内にTN(Tw
isted Nematic)型液晶30などが封入されて液晶パネ
ルとして構成されている。
As shown in FIG. 2, the glass substrate 1 on the incident side is shown.
LC on the inner surface of 0 (lower surface in the figure) is the opposite potential of the liquid crystal.
A common electrode 11 made of a transparent conductive film (ITO) to which a common potential is applied is provided, and the glass substrate 20 on the reflection side is provided.
The glass substrate 10 on the incident side and the incident side are arranged with an appropriate interval, and TN (Tw
An isted Nematic) type liquid crystal 30 is enclosed to form a liquid crystal panel.

【0022】なお、ここで、LCコモン電位(LC−C
OM)とは、上記画素電極21と液晶30を挟んで対向
される共通電極11に印加される電圧で、液晶駆動で問
題となるいわゆるプッシュダウン(トランジスタの寄生
容量の電荷が画素電極側に流れ実質的な書込み電圧がマ
イナス側シフトする現象)を考慮してその分だけ予めシ
フトした電圧である。つまり、トランジスタの寄生容量
CTr、画素の液晶容量CLCD 、画素の電荷保持容量CH
、トランジスタのゲートに印加する走査信号の電圧振
幅Vgのとき、{CTr/(CTr+CLCD +CH )}×V
gの電圧分の電荷がトランジスタの非導通期間(非選択
期間)に画素に流れ込むことにより、液晶の印加電圧が
降下するので、この電圧分を画像信号の振幅中心電位
と、共通電極に印加される電位LC−COMとの間にバ
イアスしたものである。
Here, the LC common potential (LC-C
OM is a voltage applied to the common electrode 11 which is opposed to the pixel electrode 21 with the liquid crystal 30 interposed therebetween, and is a so-called pushdown (a parasitic capacitance charge of a transistor flows to the pixel electrode side) which is a problem in driving the liquid crystal. This is a voltage preliminarily shifted by that amount in consideration of the phenomenon that the substantial writing voltage shifts to the minus side. That is, the parasitic capacitance CTr of the transistor, the liquid crystal capacitance CLCD of the pixel, the charge holding capacitance CH of the pixel
, When the voltage amplitude Vg of the scanning signal applied to the gate of the transistor is {CTr / (CTr + CLCD + CH)} × V
Since a charge corresponding to the voltage g flows into the pixel during the non-conduction period (non-selection period) of the transistor, the voltage applied to the liquid crystal drops. Therefore, this voltage is applied to the amplitude center potential of the image signal and the common electrode. Bias potential LC-COM.

【0023】また、上記共通電極11は、上記画素領域
22の画素電極21および上記周辺回路上の見切り電極
28と液晶30を介して対向するように画素領域22よ
りも広く構成されている。しかも、この実施例において
は、特に限定されないが、上記見切り電極25は、画素
電極21と同一工程で形成されるアルミニウム等の金属
層で構成されている。これによって、プロセスを簡略化
することができる。また、画素領域22と見切り電極2
8との間隔を、プロセスの最小加工寸法まで小さくする
ことができ、かつマスクの合わせずれによる位置ずれも
回避することができる。
The common electrode 11 is formed wider than the pixel region 22 so as to face the pixel electrode 21 in the pixel region 22 and the parting electrode 28 on the peripheral circuit via the liquid crystal 30. Moreover, in this embodiment, although not particularly limited, the parting electrode 25 is formed of a metal layer such as aluminum formed in the same step as the pixel electrode 21. This can simplify the process. In addition, the pixel region 22 and the parting electrode 2
It is possible to reduce the distance from the substrate 8 to the minimum processing dimension of the process, and to avoid the positional shift due to the mask misalignment.

【0024】図3(a)に示されているように、反射側
のガラス基板20の表面にはTFTの動作領域となるポ
リシリコン等の半導体層41が島状に形成され、この半
導体層41の上にはゲート絶縁膜を介して2層目のポリ
シリコンまたはポリシリコンと高融点金属の多層からな
る走査線兼ゲート電極42が形成され、この走査線兼ゲ
ート電極12の上方からガラス基板20表面にかけては
PSG膜のような層間絶縁膜43が形成されている。ま
た、この層間絶縁膜43の上にはアルミニウム等の金属
層からなる信号線44が形成され、この信号線44は上
記層間絶縁膜43に形成されたコンタクトホールにて上
記半導体層41のゲート電極42の側方に位置するソー
ス(もしくはドレイン)領域に接続されている。
As shown in FIG. 3A, a semiconductor layer 41 made of polysilicon or the like serving as an operating region of the TFT is formed in an island shape on the surface of the glass substrate 20 on the reflection side. A scanning line / gate electrode 42 composed of a second layer of polysilicon or a multilayer of polysilicon and a refractory metal is formed on the upper surface of the glass substrate 20 from above the scanning line / gate electrode 12. An interlayer insulating film 43 such as a PSG film is formed on the surface. Further, a signal line 44 made of a metal layer such as aluminum is formed on the interlayer insulating film 43. The signal line 44 is a contact hole formed in the interlayer insulating film 43, and the signal line 44 is a gate electrode of the semiconductor layer 41. It is connected to the source (or drain) region located on the side of 42.

【0025】そして、上記信号線44および層間絶縁膜
43の上には二酸化シリコンのような絶縁物からなるL
TO(Low Tenperature Oxide)膜あるいはスピンコー
トにより形成されたSOG膜等からなる平坦化膜45が
形成され、この平坦化膜45の上に二層目のアルミニウ
ム層等の金属からなる画素電極21が形成され、この画
素電極21の一部が上記平坦化膜45および層間絶縁膜
43に形成されたコンタクトホールにてTFTのドレイ
ン(もしくはソース)領域に電気的に接続されている。
また、図3(b)は1画素の等価回路図であり、通常、
各画素のTFTには保持容量46(図3(a)には図示
しない)が接続される。なお、図示しないが、上記画素
電極21の表面(図では上面)および共通電極11の表
面(図では下面)には封入される液晶を配向させるため
の配向膜が形成されている。
On the signal line 44 and the interlayer insulating film 43, L made of an insulating material such as silicon dioxide is used.
A flattening film 45 made of a TO (Low Temperature Oxide) film or an SOG film formed by spin coating is formed, and a pixel electrode 21 made of a metal such as a second aluminum layer is formed on the flattening film 45. A part of the pixel electrode 21 formed is electrically connected to the drain (or source) region of the TFT through a contact hole formed in the flattening film 45 and the interlayer insulating film 43.
Further, FIG. 3B is an equivalent circuit diagram of one pixel.
A storage capacitor 46 (not shown in FIG. 3A) is connected to the TFT of each pixel. Although not shown, an alignment film for aligning the enclosed liquid crystal is formed on the surface of the pixel electrode 21 (upper surface in the drawing) and the surface of the common electrode 11 (lower surface in the drawing).

【0026】上記画素電極21は、層間絶縁膜43とし
てLTO膜を使用する場合にはLTO膜をCMP(化学
的機械研磨)法で削って平坦化してから、またSOG膜
を使用する場合にはコートした膜をベーク(焼付け)し
てから、例えば低温スパッタ法により、一辺が約20μ
mの正方形のような形状とされる。上記画素電極21
は、アルミニウムに限定されず、反射率の高い導電体で
あればどのような材料であっても良い。また、画素電極
21は、その表面をCMP法で研磨してさらに反射率を
高めるようにしてもよい。
When the LTO film is used as the interlayer insulating film 43 for the pixel electrode 21, the LTO film is ground by CMP (Chemical Mechanical Polishing) to be planarized, and when the SOG film is used. After baking (baking) the coated film, for example, by low temperature sputtering, one side is about 20μ.
It is shaped like a square of m. The pixel electrode 21
Is not limited to aluminum, and may be any material as long as it is a conductor having high reflectance. Further, the surface of the pixel electrode 21 may be polished by the CMP method to further increase the reflectance.

【0027】一方、上記実施例では、画素領域22の周
囲に設けられ周辺回路を覆う見切り電極28を画素電極
21と同一のアルミニウム等の金属で形成しているが、
アルミニウム以外の導電体で形成しても良い。また、上
記見切り電極28は入射した光を反射する必要はなく散
乱もしくは吸収してしまった方が良いので、見切り電極
28の表面を例えばエッチング処理などで曇らせたりC
r層等を形成したりして、反射防止処理を施しておくよ
うにしても良い。
On the other hand, in the above embodiment, the parting electrode 28 provided around the pixel region 22 and covering the peripheral circuit is formed of the same metal as the pixel electrode 21 such as aluminum.
It may be formed of a conductor other than aluminum. Further, since the parting electrode 28 does not need to reflect the incident light and it is better to scatter or absorb the incident light, the surface of the parting electrode 28 is clouded by, for example, an etching process, or C
The antireflection treatment may be performed by forming an r layer or the like.

【0028】この実施例の液晶パネルは、上記共通電極
11にLCコモン電位LC−COMが印加され、また見
切り電極28には図4(a)に示すように、LC−CO
Mを中心に正負に実質的に対称となる振幅の電圧Vaを
印加する。この電圧Vaは、直線偏光された光が入射側
基板10から入射され、見切り電極28により反射され
て入射側基板10の外側に位置する偏光素子に入射され
たときの偏光素子を介した光透過率が少なくとも10%
以下、より好ましくは0.5%以下となる電圧、具体的
には透過率特性における黒側の飽和電圧程度のレベルの
電圧Vaが印加される(図4(c)参照)。図4(c)
は、入射側基板の外側に液晶パネルからの反射光を入射
する偏光素子を配置した構成において、偏光素子を透過
する光の液晶への印加電圧対透過率特性図である。この
図においては、ポジモードになるように偏光素子の偏光
軸は設定されている。これによって、周辺回路上方の見
切り電極28と共通電極11との間に介在する液晶には
交流電圧が印加され、液晶分子が垂直な状態になって入
射した光は見切り電極28でそのまま反射されて出て行
く。一方、電圧が印加されていない画素電極では、液晶
分子がねじれたままとなり、入射した偏光は画素電極で
反射して90°偏光軸が回転されて出て行く。
In the liquid crystal panel of this embodiment, the LC common potential LC-COM is applied to the common electrode 11, and the parting electrode 28 is LC-CO as shown in FIG.
A voltage Va having an amplitude that is substantially symmetrical in positive and negative directions with respect to M is applied. This voltage Va is transmitted through the polarizing element when linearly polarized light is incident from the incident side substrate 10, is reflected by the parting electrode 28, and is incident on the polarizing element located outside the incident side substrate 10. At least 10%
Hereinafter, a voltage of 0.5% or less, more specifically, a voltage Va at a level of the saturation voltage on the black side in the transmittance characteristic is applied (see FIG. 4C). Figure 4 (c)
FIG. 9 is a transmittance vs. applied voltage characteristic diagram of light transmitted through the polarizing element to the liquid crystal in a configuration in which a polarizing element that allows reflected light from the liquid crystal panel to enter the outside of the incident side substrate. In this figure, the polarization axis of the polarizing element is set so as to be in the positive mode. As a result, an AC voltage is applied to the liquid crystal present between the parting electrode 28 above the peripheral circuit and the common electrode 11, and the incident light with the liquid crystal molecules in a vertical state is reflected by the parting electrode 28 as it is. get out. On the other hand, in the pixel electrode to which no voltage is applied, the liquid crystal molecules remain twisted, and the incident polarized light is reflected by the pixel electrode and the polarization axis is rotated by 90 ° and then exits.

【0029】このように、上記実施例の液晶パネルは後
述の投射型表示装置に組み込まれたときポジ表示、すな
わち電圧が印加された部分が黒くなるような表示を行な
うように構成されている。従って、上記のごとく画素領
域22を囲むように形成された見切り電極28に交流電
圧が印加されているとその部分は黒レベル表示となっ
て、入射側基板に見切りとなる遮光部材を形成すること
なく見切りと同様な機能を有する黒枠表示を行なうこと
ができ、画素領域22との位置合わせ精度が高くなり、
合わせずれによる表示不良(白輪郭の発生)も回避する
ことができる。尚、見切り電極が駆動されないと液晶を
駆動する領域が画素領域と見切り電極との境界で不連続
となり、表示ノイズが発生してしまうが、本実施例で
は、画素領域と見切り電極領域の液晶は共に交流駆動さ
れるので、表示むらの発生が抑えられる。
As described above, the liquid crystal panel of the above-described embodiment is configured to perform a positive display, that is, a display in which a portion to which a voltage is applied becomes black when incorporated in a projection display device described later. Therefore, when an AC voltage is applied to the parting electrode 28 formed so as to surround the pixel region 22 as described above, that part becomes a black level display, and a parting light blocking member is formed on the incident side substrate. Instead, it is possible to display a black frame having the same function as that of the parting, and the alignment accuracy with the pixel region 22 is improved,
It is also possible to avoid a display defect (occurrence of a white contour) due to misalignment. If the parting electrode is not driven, the liquid crystal driving region becomes discontinuous at the boundary between the pixel region and the parting electrode, and display noise occurs. However, in the present embodiment, the liquid crystal in the pixel region and the parting electrode region is not Since both are AC-driven, the occurrence of display unevenness can be suppressed.

【0030】また、対向基板の外側に遮光部材を配置す
る場合は、遮光部材の開口端部を見切り電極28上に位
置合わせすればよく、遮光部材の位置合わせの精度が低
くてもよくなり、組立が簡単となる。加えて、遮光部材
と見切り電極領域での黒レベル表示との組み合わせによ
り見切りの黒色表示ができるので、より光漏れをより少
なくできる。
Further, when the light shielding member is arranged outside the counter substrate, the opening end of the light shielding member may be aligned with the parting electrode 28, and the alignment accuracy of the light shielding member may be low. Easy to assemble. In addition, the black display of the parting can be performed by the combination of the light shielding member and the black level display in the parting electrode region, so that the light leakage can be further reduced.

【0031】尚、以上の実施例では、TFTを画素のト
ランジスタ素子として説明したが、反射側基板を半導体
基板とし、半導体基板にMOSFETを形成し、画素や
周辺回路のトランジスタをMOSFETとして構成して
もよい。
In the above embodiments, the TFT has been described as a transistor element of a pixel, but the reflection side substrate is a semiconductor substrate, a MOSFET is formed on the semiconductor substrate, and transistors of pixels and peripheral circuits are configured as a MOSFET. Good.

【0032】また、スイッチング素子は、トランジスタ
ではなくMIM等の2端子型非線形素子を用いてもよ
い。
As the switching element, a two-terminal type non-linear element such as MIM may be used instead of the transistor.

【0033】図5および図6は、本発明を適用した反射
型アクティブマトリックス液晶パネルの第2の実施例を
示す。
FIGS. 5 and 6 show a second embodiment of a reflection type active matrix liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【0034】この実施例では、反射側基板20の画素領
域22の周囲に本来の表示に寄与しないダミー画素電極
29が複数列形成されたダミー画素領域が設けられてい
る。一方、対向基板10の外面(図では上面)側の周縁
には、反射率の低い樹脂材料で構成もしくは表面にCr
(クロム)膜等を形成した遮光部材12が、上記ダミー
画素領域途中からその外側の周辺回路の上方を覆うよう
に接合されている。つまり、この実施例では、上記遮光
部材12の内端(開口端)がダミー画素領域内に位置す
るように設計されている。そして、上記ダミー画素電極
29に、第1の実施例における見切り電極28と同様に
交流電圧が印加されるように構成されている。
In this embodiment, a dummy pixel region in which a plurality of columns of dummy pixel electrodes 29 that do not contribute to the original display are formed around the pixel region 22 of the reflection side substrate 20 is provided. On the other hand, the peripheral edge on the outer surface (upper surface in the figure) side of the counter substrate 10 is made of a resin material having a low reflectance or is Cr on the surface.
A light shielding member 12 formed with a (chrome) film or the like is joined so as to cover the peripheral circuit outside the dummy pixel region from the middle thereof. That is, in this embodiment, the inner end (opening end) of the light shielding member 12 is designed to be located in the dummy pixel region. Then, an AC voltage is applied to the dummy pixel electrode 29 similarly to the parting electrode 28 in the first embodiment.

【0035】第1の実施例の液晶パネルでは、反射側基
板の画素電極が形成された画素領域の周囲に形成された
見切り電極に、対向基板に形成される共通電極に印加さ
れるLCコモン電位に対して実質的に正負同一振幅とな
る波形を有するように電圧を印加しているが、ダミー画
素を設けたこの第2実施例においては、信号線に供給さ
れる画像信号の振幅中心電位Vbに対して実質的に正負
同一振幅となる波形を有する電圧Vc(図4(b)参
照)を、ダミー画素電極が接続される信号線に印加する
のが良い。実施例では、ダミー画素も表示用画素と同一
構造であり、ダミー画素電極も表示用画素電極と同様に
1対1対応で設けられているトランジスタにより電圧が
印加されるように構成される。従ってトランジスタの寄
生容量によって生ずるプッシュダウンが画素と同様に発
生するため、ダミー画素に供給する電圧も表示用画素と
同一の振幅中心で変化させ、ダミー画素電極と共通電極
間に直流電圧が印加され続けないように工夫している。
In the liquid crystal panel of the first embodiment, the LC common potential applied to the common electrode formed on the counter substrate is applied to the parting electrode formed around the pixel region of the reflection side substrate where the pixel electrode is formed. , The voltage is applied so as to have a waveform having substantially the same positive and negative amplitude, but in the second embodiment in which the dummy pixel is provided, the amplitude center potential Vb of the image signal supplied to the signal line is On the other hand, it is preferable to apply the voltage Vc (see FIG. 4B) having a waveform having substantially the same positive and negative amplitude to the signal line to which the dummy pixel electrode is connected. In the embodiment, the dummy pixel has the same structure as the display pixel, and the dummy pixel electrode is also configured such that the voltage is applied by the transistors provided in a one-to-one correspondence like the display pixel electrode. Therefore, the push-down caused by the parasitic capacitance of the transistor is generated in the same manner as the pixel. Therefore, the voltage supplied to the dummy pixel is also changed at the same amplitude center as the display pixel, and the DC voltage is applied between the dummy pixel electrode and the common electrode. I'm trying not to continue.

【0036】上記ダミー画素は2列に限定されるもので
なく、何列であっても良い。通常は6列もあれば充分で
ある。
The dummy pixels are not limited to two columns and may be any number of columns. Normally, 6 rows are enough.

【0037】表示用の画素の周囲にダミー画素を設ける
ことにより、見切り表示ができるだけではない。画素領
域とダミー画素領域との境界が液晶を駆動する上で不連
続でなくなる(液晶が共に駆動された領域となる)の
で、従来、画素領域と液晶を駆動しない周辺領域との境
界にて発生し画素領域での表示に影響を与えた表示むら
は、画素領域近傍では抑えることができ、表示の画質を
向上できる。
By providing dummy pixels around the display pixels, not only the discontinuation display can be performed. Since the boundary between the pixel area and the dummy pixel area does not become discontinuous when driving the liquid crystal (that is, the area where the liquid crystal is driven together), conventionally, it occurs at the boundary between the pixel area and the peripheral area where the liquid crystal is not driven. However, display unevenness that affects display in the pixel region can be suppressed in the vicinity of the pixel region, and display image quality can be improved.

【0038】また、遮光部材を設けたとしても、その内
端を上記ダミー画素電極領域上に配置すればよく、遮光
部材を画素領域の周辺端部に一致させなくてよいので遮
光部材の位置合わせが簡単となる。加えて、遮光部材と
ダミー電極領域での黒レベル表示との組み合わせにより
見切りの黒色表示ができるので、より光漏れをより少な
くできる。
Even if the light shielding member is provided, the inner end of the light shielding member may be arranged on the dummy pixel electrode region, and the light shielding member does not have to be aligned with the peripheral end portion of the pixel region. Will be easier. In addition, the black display can be performed by the combination of the light blocking member and the black level display in the dummy electrode region, so that light leakage can be further reduced.

【0039】また、スイッチング素子は、トランジスタ
ではなくMIM等の2端子型非線形素子を用いてもよ
い。
As the switching element, a two-terminal type non-linear element such as MIM may be used instead of the transistor.

【0040】尚、第1の実施例と同様にトランジスタは
TFTでMOSFETでもよい。
The transistor may be a TFT or a MOSFET, as in the first embodiment.

【0041】また、ダミー画素電極の表面は第1実施例
の見切り電極と同様に反射防止処理をしてもよい。
The surface of the dummy pixel electrode may be subjected to antireflection treatment as in the case of the parting electrode of the first embodiment.

【0042】図7および図8は、本発明を適用した反射
型アクティブマトリックス液晶パネルの第3の実施例を
示す。
7 and 8 show a third embodiment of a reflection type active matrix liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【0043】この実施例では、反射側基板20の画素領
域22の周囲に本来の表示に寄与しないダミー画素電極
29が複数列形成されたダミー画素領域が設けられ、さ
らにその外側に第1の実施例と同様な見切り電極28が
設けられている。そして、上記ダミー画素電極29に、
第2の実施例と同様に画像信号の振幅中心電位に対して
実質的に正負同一振幅となる波形を有する電圧Vcが印
加され、ダミー画素領域の周囲に形成された見切り電極
28に対しては、第1の実施例と同様に対向基板に形成
される共通電極に印加されるLCコモン電位に対して実
質的に正負同一振幅となる波形を有する電圧Vaが印加
されるように構成されている。
In this embodiment, a dummy pixel region in which a plurality of columns of dummy pixel electrodes 29 that do not contribute to the original display are formed is provided around the pixel region 22 of the reflection side substrate 20, and the first embodiment is further provided outside thereof. A parting electrode 28 similar to the example is provided. Then, on the dummy pixel electrode 29,
Similar to the second embodiment, a voltage Vc having a waveform having substantially the same positive and negative amplitude with respect to the amplitude center potential of the image signal is applied to the parting electrode 28 formed around the dummy pixel region. As in the first embodiment, a voltage Va having a waveform having substantially the same positive and negative amplitude as the LC common potential applied to the common electrode formed on the counter substrate is applied. .

【0044】尚、第1及び第2の実施例と同様に、第3
実施例においても、画素領域の周辺近傍での表示むらが
低減されるので、画質を向上できる。
The third embodiment is similar to the first and second embodiments.
Also in the embodiment, the display unevenness in the vicinity of the periphery of the pixel area is reduced, so that the image quality can be improved.

【0045】また、対向基板の外側に遮光部材を配置す
る場合は、遮光部材の開口端部をダミー電極または見切
り電極上に位置合わせすればよく、遮光部材の位置合わ
せの精度が低くてもよくなり、組立が簡単となる。加え
て、遮光部材とダミー電極領域及び/又は見切り電極領
域での黒レベル表示との組み合わせにより見切りの黒色
表示ができるので、より光漏れをより少なくできる。
When the light shielding member is arranged outside the counter substrate, the opening end of the light shielding member may be aligned with the dummy electrode or the parting electrode, and the alignment accuracy of the light shielding member may be low. Therefore, the assembly becomes easy. In addition, the black display of the parting off can be performed by the combination of the light shielding member and the black level display on the dummy electrode region and / or the parting off electrode region, so that the light leakage can be further reduced.

【0046】また、トランジスタは、上記の実施例と同
様に、TFTでもMOSFETでもよく、MIM等の2
端子型非線形素子に置き換えてもよい。
Further, the transistor may be a TFT or a MOSFET, as in the above embodiment, and may be a MIM or the like.
It may be replaced with a terminal type non-linear element.

【0047】また、ダミー画素電極及び/又は見切り電
極の表面に第1実施例と同様に反射防止処理を施しても
よい。
Further, the surface of the dummy pixel electrode and / or the parting electrode may be subjected to antireflection treatment as in the first embodiment.

【0048】図9には上記実施例の反射型液晶パネルを
ライトバルブとして応用した投射型表示装置の一例とし
てプロジェクタの構成例が示されている。
FIG. 9 shows a configuration example of a projector as an example of a projection type display device to which the reflection type liquid crystal panel of the above embodiment is applied as a light valve.

【0049】図9において、100は光源としてのラン
プ、101は反射ミラー、102A,102Bはそれぞ
れ直角プリズムである。2つの直角プリズムは界面に偏
光ビームスプリッタ層102aを有し接着剤により接合
されてキューブプリズムを構成している。この接着剤は
屈折率がプリズムの屈折率により近いものが使われる。
偏光ビームスプリッタ層102aは光源100からの光
のうちS偏光を選択的に透過し、P偏光成分を選択的に
反射する。もちろん、この偏光成分スプリッタはP偏光
成分を透過し、S偏光成分を反射する構成でも構わな
い。
In FIG. 9, 100 is a lamp as a light source, 101 is a reflection mirror, and 102A and 102B are right-angle prisms. The two right-angled prisms have a polarization beam splitter layer 102a at the interface and are bonded with an adhesive to form a cube prism. This adhesive has a refractive index closer to that of the prism.
The polarization beam splitter layer 102a selectively transmits S-polarized light of the light from the light source 100 and selectively reflects P-polarized light component. Of course, this polarization component splitter may be configured to transmit the P polarization component and reflect the S polarization component.

【0050】103は赤色光の波長成分のみ透過し他の
成分(緑色および青色光)は反射するダイクロイックミ
ラー、104は緑色光のみ反射し他の成分(赤色および
青色光)は透過するダイクロイックミラー、105は青
色光のみ透過し他の成分(緑色および赤色光)は反射す
るダイクロイックミラー、106,107,108は上
記実施例の反射型液晶パネルを用いた赤色光用、緑色光
用、青色光用のライトバルブであり、110は各ライト
バルブにより変調され上記プリズムで各色光を合成して
なるカラー画像をスクリーンに投射する投射レンズであ
る。
Reference numeral 103 denotes a dichroic mirror which transmits only the wavelength component of red light and reflects the other components (green and blue light), 104 denotes a dichroic mirror which reflects only green light and transmits the other components (red and blue light), Reference numeral 105 is a dichroic mirror that transmits only blue light and reflects other components (green and red light), and 106, 107, and 108 are for red light, green light, and blue light using the reflective liquid crystal panel of the above embodiment. And 110 is a projection lens for projecting on the screen a color image which is modulated by each light valve and is composed of the respective color lights by the prism.

【0051】以上の構成において、光源からの光は次に
説明するように、分離、変調、合成、投射される。
In the above structure, the light from the light source is separated, modulated, combined and projected as described below.

【0052】光源100から出た光は上記偏光ームスプ
リッタ層102aでP偏光のみ反射され、反射されたP
偏光成分は、ダイクロイックミラー103に入射され、
赤色光の波長成分のみ透過し、他の波長成分は反射され
る。これにより、液晶パネル106には赤色光が入射さ
れる。一方、上記偏光ームスプリッタ層102aを透過
したS偏光成分は、ダイクロイックミラー104に入射
され、緑色光の波長成分のみ反射し、他の波長成分は透
過する。従って、ダイクロイックミラー104により反
射された緑色光は、液晶パネル107に入射される。ま
た、ダイクロイックミラー104を透過した色光には赤
色光成分だけでなく、青色光成分も含まれている。そこ
で、ダイクロイックミラー105によって青色光のみ透
過して、液晶パネル108へは青色光のみを入射するよ
うにしている。
The light emitted from the light source 100 is reflected only by P-polarized light at the polarization splitter layer 102a, and the reflected P light is reflected.
The polarized component is incident on the dichroic mirror 103,
Only the wavelength component of red light is transmitted and the other wavelength components are reflected. As a result, red light is incident on the liquid crystal panel 106. On the other hand, the S-polarized light component transmitted through the polarization splitter layer 102a enters the dichroic mirror 104, reflects only the wavelength component of green light, and transmits other wavelength components. Therefore, the green light reflected by the dichroic mirror 104 enters the liquid crystal panel 107. Further, the color light transmitted through the dichroic mirror 104 includes not only the red light component but also the blue light component. Therefore, only the blue light is transmitted by the dichroic mirror 105 so that only the blue light is incident on the liquid crystal panel 108.

【0053】液晶パネル106,107,108はTN
型液晶を採用した反射型液晶パネルである。TN型液晶
を採用した場合には、液晶層への印加電圧がほぼ0の画
素(OFF状態)では、入射した色光は液晶層にて楕円
偏光され、画素電極により反射され、液晶層により再度
楕円偏光されるので、入射した色光の偏光軸とほぼ90
度ずれた偏光軸の光として反射・出射される。一方、液
晶層に電圧印加された画素(ON状態)では、入射した
色光のまま画素電極に至り、反射されて、入射時と同一
の偏光軸のまま反射・出射される。また、画素電極に印
加された電圧に応じてTN型液晶の液晶分子の配列角度
が変化するので、入射光に対する反射光の偏光軸の角度
は、画素のトランジスタを介して画素電極に印加する電
圧に応じて可変される。
The liquid crystal panels 106, 107 and 108 are TN.
It is a reflection type liquid crystal panel that adopts type liquid crystal. When a TN type liquid crystal is adopted, in a pixel (OFF state) in which the applied voltage to the liquid crystal layer is almost 0, the incident color light is elliptically polarized by the liquid crystal layer, reflected by the pixel electrode, and re-ellipsed by the liquid crystal layer. Since it is polarized, it is almost 90
It is reflected and emitted as light with polarization axes that are deviated. On the other hand, in the pixel (ON state) to which the voltage is applied to the liquid crystal layer, the incident color light reaches the pixel electrode as it is, is reflected, and is reflected and emitted with the same polarization axis as at the time of incidence. In addition, since the alignment angle of the liquid crystal molecules of the TN type liquid crystal changes according to the voltage applied to the pixel electrode, the angle of the polarization axis of the reflected light with respect to the incident light depends on the voltage applied to the pixel electrode via the transistor of the pixel. It is variable according to.

【0054】例えば、液晶パネル106では、P偏光の
赤色光が入射されると、TN型液晶の場合には、OFF
状態画素はS偏光に変換して反射・出射、ON状態画素
はP偏光のまま反射・出射する。一方、液晶パネル10
7,108では、S偏光の色光が入射されるので、TN
型液晶の場合には、OFF状態画素はP偏光に変換して
反射・出射、ON状態画素はS偏光のまま反射・出射す
る。
For example, in the liquid crystal panel 106, when P-polarized red light is incident, in the case of the TN type liquid crystal, it is turned off.
State pixels are converted to S-polarized light and reflected / emitted, and ON-state pixels are reflected / emitted as P-polarized light. On the other hand, the liquid crystal panel 10
In S7 and S108, since S-polarized color light is incident, TN
In the case of the type liquid crystal, OFF-state pixels are converted into P-polarized light and reflected / emitted, and ON-state pixels are reflected / emitted as S-polarized light.

【0055】液晶パネル106で反射された赤色光はダ
イクロイックミラー103を透過して、P偏光成分反射
・S偏光透過の偏光ビームスプリッタ102aに至る。
従って、液晶パネル106の反射光は、TN型液晶の場
合には、OFF状態画素で反射されてS偏光された反射
光は透過して投射レンズ110へ至るが、ON状態画素
のP偏光の反射光は反射されてレンズ110へは至らな
い。以上の変調制御により、液晶パネル106の各画素
への電圧印加に応じて、102aでの透過光量が画素毎
に制御され、赤色光の画像が形成される。なお、偏光ビ
ームスプリッタ102aで反射されたP偏光のうち緑色
光と青色光はダイクロイックミラー103でP偏光のま
ま反射されるので、偏光ビームスプリッタ102aで反
射されてレンズ110へは至らない。
The red light reflected by the liquid crystal panel 106 passes through the dichroic mirror 103 and reaches the polarization beam splitter 102a which reflects P-polarized component and transmits S-polarized light.
Therefore, in the case of the TN type liquid crystal, the reflected light of the liquid crystal panel 106 is reflected by the OFF state pixel and the reflected light which is S-polarized is transmitted and reaches the projection lens 110, but is reflected by the P-polarized pixel of the ON state pixel. The light is reflected and does not reach the lens 110. By the above modulation control, the amount of transmitted light at 102a is controlled for each pixel in accordance with the voltage application to each pixel of the liquid crystal panel 106, and a red light image is formed. Since the green light and the blue light of the P-polarized light reflected by the polarization beam splitter 102a are reflected by the dichroic mirror 103 as P-polarized light, they are reflected by the polarization beam splitter 102a and do not reach the lens 110.

【0056】これに対して、液晶パネル107,108
により反射された色光はダイクロイックミラー104で
合成されて、偏光ビームスプリッタ102aに至る。従
って、液晶パネル107,108の反射光は、TN型液
晶の場合には、OFF状態画素でP偏光された反射光は
反射して投射レンズ110へ至るが、ON状態画素のS
偏光の反射光は透過してレンズ110へは至らない。以
上の変調制御により、液晶パネルの各画素への電圧印加
に応じて、102aでの透過光量が画素毎に制御され、
緑色光と青色光の画像が形成される。なお、偏光ビーム
スプリッタ102aを透過したS偏光のうち青色光はダ
イクロイックミラー105でS偏光のまま反射されるの
で、偏光ビームスプリッタ102aを透過してしまいレ
ンズ110へは至らない。
On the other hand, the liquid crystal panels 107 and 108
The color lights reflected by are combined by the dichroic mirror 104 and reach the polarization beam splitter 102a. Therefore, in the case of the TN type liquid crystal, the reflected light of the liquid crystal panels 107 and 108 reflects the reflected light that is P-polarized by the OFF state pixel and reaches the projection lens 110.
The polarized reflected light is transmitted and does not reach the lens 110. By the above modulation control, the amount of transmitted light at 102a is controlled for each pixel according to the voltage application to each pixel of the liquid crystal panel,
Images of green light and blue light are formed. Of the S-polarized light that has passed through the polarization beam splitter 102a, the blue light is reflected by the dichroic mirror 105 as it is as S-polarized light, and therefore passes through the polarization beam splitter 102a and does not reach the lens 110.

【0057】従って、偏光ビームスプリッタ102aに
よる反射・透過により、液晶パネル106〜108でそ
れぞれ形成された3原色の画像を合成したカラー画像が
形成され、投射レンズ110によりスクリーン110へ
投射される。その結果、上記TN型液晶の反射型液晶パ
ネルをライトバルブとして組み込んだ図9の投射型プロ
ジェクターでは、OFF状態画素の反射光は投射レンズ
110へ至るため、スクリーンへの投射画像はポジモー
ドで表示されることとなる。
Therefore, by the reflection / transmission by the polarization beam splitter 102a, a color image in which the images of the three primary colors formed by the liquid crystal panels 106 to 108 are combined is formed, and is projected onto the screen 110 by the projection lens 110. As a result, in the projection type projector of FIG. 9 in which the reflection type liquid crystal panel of the TN type liquid crystal is incorporated as a light valve, the reflected light of the OFF state pixel reaches the projection lens 110, so that the projection image on the screen is displayed in the positive mode. The Rukoto.

【0058】図10には、TN液晶を用いた上記液晶パ
ネルにおける素子基板(反射側基板)と対向基板の配向
膜の最適なラビング方向(配向処理方向)等のパラメー
タの一例が示されている。このうち図10(A)は図9
における液晶パネル106〜108のうちS偏光が入射
されるパネル107,108に最適なパラメータを、ま
た図10(B)は図9における液晶パネル106のよう
なP偏光が入射されるパネルに最適なパラメータをそれ
ぞれ示す。
FIG. 10 shows an example of parameters such as the optimum rubbing direction (alignment treatment direction) of the alignment films of the element substrate (reflection-side substrate) and the counter substrate in the liquid crystal panel using the TN liquid crystal. . Of these, FIG.
Of the liquid crystal panels 106 to 108 in FIG. 9 are optimum for the panels 107 and 108 on which S-polarized light is incident, and FIG. 10B is the optimum parameter for a panel on which P-polarized light is incident such as the liquid crystal panel 106 in FIG. Each parameter is shown.

【0059】前記第1および第3の実施例の液晶パネル
を使用した図9のプロジェクタでは、図1〜図3にて説
明したように、反射側基板の画素電極が形成された画素
領域の周囲は見切り電極で覆われ、対向基板に形成され
る共通電極に印加されるLCコモン電位に対して交流波
形となる電圧を印加しているので、画素領域の周囲は黒
枠として表示される。これが見切りとして機能するため
対向基板側に見切りとなる遮光部材を設ける必要がなく
なる。もしくは、遮光部材を設けたとしても見切り電極
が遮光機能を有するので、遮光部材を画素領域の端部に
位置合わせしなくてもよく遮光部材の内端を見切り電極
上に設ければよいので、遮光部材の位置合わせが簡単と
なる。また、画素電極と同一基板上に見切り電極を形成
したので、画素領域と見切り領域との位置合わせ精度が
高くなり合わせずれによる表示不良(白輪郭の発生)も
回避することができる。さらに、画素電極と見切り電極
とが同一工程で形成されれば、その位置合わせはより高
精度となる。また、第2の実施例の液晶パネルを使用し
たプロジェクタでは、ダミー画素電極と遮光部材とが一
体となって見切りとして機能するとともに、遮光部材が
周辺回路に光が入射するのを防止することができるとい
うダミー電極のみでは得られない利点を有する。
In the projector of FIG. 9 using the liquid crystal panels of the first and third embodiments, as described with reference to FIGS. 1 to 3, the periphery of the pixel area in which the pixel electrode of the reflection side substrate is formed. Is covered with a parting electrode and a voltage having an AC waveform with respect to the LC common potential applied to the common electrode formed on the counter substrate is applied, so that the periphery of the pixel region is displayed as a black frame. Since this functions as a parting line, it is not necessary to provide a light blocking member as a parting line on the counter substrate side. Alternatively, since the parting electrode has a light-shielding function even if the light-shielding member is provided, it is not necessary to align the light-shielding member with the end portion of the pixel region, and the inner end of the light-shielding member may be provided on the parting electrode. Positioning of the light shielding member becomes easy. Further, since the parting electrode is formed on the same substrate as the pixel electrode, the alignment accuracy between the pixel region and the parting region is improved, and display defects (occurrence of white contour) due to misalignment can be avoided. Furthermore, if the pixel electrode and the parting electrode are formed in the same process, the alignment becomes more accurate. Further, in the projector using the liquid crystal panel of the second embodiment, the dummy pixel electrode and the light shielding member integrally function as a parting line, and the light shielding member can prevent light from entering the peripheral circuits. It has an advantage that it cannot be obtained only with the dummy electrode.

【0060】なお、上記実施例では、反射側基板として
ガラス基板を用いこのガラス基板上に形成されたポリシ
リコンを能動層とするいわゆるポリシリコンTFTを画
素電極へ電圧を印加するスイッチング素子としたものに
ついて説明したが、単結晶シリコンのような半導体ウェ
ハを基板としてその上にMOSFETや画素電極等を形
成したものを反射側基板とする液晶パネルであっても良
い。また、画素電極へ電圧を印加する素子としてTFT
を用いた液晶パネルのみでなく、MIM(Meta-Insulat
or-Metal)等の2端子型非線形素子を画素電極へ電圧を
印加する素子とした液晶パネルにも適用することができ
る。
In the above embodiment, a glass substrate is used as the reflection side substrate, and a so-called polysilicon TFT having polysilicon as an active layer formed on the glass substrate is used as a switching element for applying a voltage to the pixel electrode. However, it may be a liquid crystal panel in which a semiconductor wafer such as single crystal silicon is used as a substrate, and MOSFETs, pixel electrodes, etc. are formed on the substrate as the reflection side substrate. In addition, a TFT is used as an element for applying a voltage to the pixel electrode.
Not only the liquid crystal panel using MIM (Meta-Insulat
It is also applicable to a liquid crystal panel in which a two-terminal type non-linear element such as an or-metal) is used as an element for applying a voltage to a pixel electrode.

【0061】さらに、上記実施例ではTN液晶を用いた
反射型液晶パネルに適用した場合について説明したが、
この発明はSH液晶を用い偏光板を入射側に設けた液晶
パネルあるいは高分子分散型液晶パネルに適用すること
も可能である。
Further, in the above-mentioned embodiment, the case where the invention is applied to the reflection type liquid crystal panel using the TN liquid crystal is explained.
The present invention can also be applied to a liquid crystal panel using an SH liquid crystal and having a polarizing plate provided on the incident side or a polymer dispersed liquid crystal panel.

【0062】[0062]

【発明の効果】以上説明したように、この発明は、反射
型アクティブマトリックス液晶パネルにおいて、反射側
基板の画素領域の周囲に導電層を形成し、この導電層
に、対向基板すなわち入射側基板に設けられた透明共通
電極との間に狭持された液晶が黒レベルの表示を行なう
ような交流電圧を印加させるようにしたので、見切りと
同様な画素領域を囲む黒枠表示を行なうことができると
ともに、上記導電層は、画素電極のある反射側基板に形
成されるため、位置合わせ精度が高くなり合わせずれに
よる表示不良(白輪郭の発生)も回避することができる
という効果がある。
As described above, according to the present invention, in the reflective active matrix liquid crystal panel, the conductive layer is formed around the pixel region of the reflective side substrate, and the conductive layer is formed on the counter substrate, that is, the incident side substrate. Since the liquid crystal sandwiched between the provided transparent common electrode is applied with an AC voltage for displaying a black level, it is possible to perform a black frame display surrounding a pixel area similar to the case of a cutoff. Since the conductive layer is formed on the reflection-side substrate having the pixel electrode, there is an effect that the alignment accuracy becomes high and the display defect (occurrence of white contour) due to misalignment can be avoided.

【0063】また、見切りをこの導電層でできるので、
遮光部材を不要とすることもできる。また、遮光部材を
設けたとしても、その内端を上記導電層上に配置すれば
よく、遮光部材を画素領域の周辺端部に一致させなくて
よいので遮光部材の位置合わせが簡単となる。
Since the parting line can be formed by this conductive layer,
It is also possible to eliminate the need for the light shielding member. Further, even if the light-shielding member is provided, the inner end of the light-shielding member may be disposed on the conductive layer, and the light-shielding member does not have to be aligned with the peripheral end portion of the pixel region, so that the alignment of the light-shielding member becomes easy.

【0064】また、画素領域の周囲に表示に寄与しない
ダミーの画素電極とこの電極に駆動電圧を印加するスイ
ッチング素子を配置して、上記ダミー画素電極と対向基
板に設けられた透明共通電極との間に狭持された液晶に
より黒レベルの表示を行なうように交流電圧を印加させ
るようにしたので、これらのダミー画素電極を利用して
見切りとなる黒枠表示を行なわせることができる。
In addition, a dummy pixel electrode that does not contribute to display and a switching element that applies a drive voltage to this electrode are arranged around the pixel region, and the dummy pixel electrode and the transparent common electrode provided on the counter substrate are arranged. Since the alternating voltage is applied by the liquid crystal sandwiched between them so as to display a black level, it is possible to display a black frame as a cutoff by using these dummy pixel electrodes.

【0065】さらに、基板上にスイッチング素子を画素
電極と1対1で形成し、スイッチング素子を介して画素
電極に駆動電圧を印加するとともに周囲にスイッチング
素子からなる周辺回路を設けた反射型アクティブマトリ
ックス液晶パネルにおいて、上記導電層を遮光性の材料
で上記周辺回路を覆うように形成したので、周辺回路を
構成するスイッチング素子に入射した光によってリーク
電流が流れて回路が誤動作するのを防止することができ
るという効果がある。
Further, a reflective active matrix in which a switching element is formed on the substrate in a one-to-one correspondence with the pixel electrode, a driving voltage is applied to the pixel electrode via the switching element, and a peripheral circuit made up of the switching element is provided around the pixel electrode. In the liquid crystal panel, since the conductive layer is formed so as to cover the peripheral circuit with a light-shielding material, it is possible to prevent the circuit from malfunctioning due to the leakage current flowing by the light incident on the switching element forming the peripheral circuit. There is an effect that can be.

【0066】また、上記導電層やダミーの画素電極は画
素領域の画素電極と同一材料で同時に形成することによ
りプロセスの簡略化を図ることができる。
Further, the conductive layer and the dummy pixel electrode are simultaneously formed of the same material as the pixel electrode in the pixel region, so that the process can be simplified.

【0067】さらに、上記導電層およびダミー画素電極
の表面に反射防止処理を施すことにより一層コントラス
トの高い見切りを得ることができる。
Furthermore, by applying antireflection treatment to the surfaces of the conductive layer and the dummy pixel electrode, a parting with a higher contrast can be obtained.

【0068】さらに、上記導電層に印加される電圧とし
て、上記対向電極に印加されるコモン電位を中心として
実質的に正負同一振幅を有する交流電圧を、また上記ダ
ミー画素電極に印加される電圧として、画像信号の中心
電位を中心として実質的に正負同一振幅を有する交流電
圧を用いるようにしたので、液晶に直流電圧が印加され
るのを防止することができる。
Further, as the voltage applied to the conductive layer, an AC voltage having substantially the same positive and negative amplitude centered on the common potential applied to the counter electrode is used, and the voltage applied to the dummy pixel electrode is used. Since the alternating voltage having substantially the same positive and negative amplitudes is used around the center potential of the image signal, it is possible to prevent the direct voltage from being applied to the liquid crystal.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第1の実施例を示す平面レイアウト図。
FIG. 1 is a plan layout view showing a first embodiment of a reflection side substrate of a reflection type liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図2】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第1の実施例を示す断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a reflection side substrate of a reflection type liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図3】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第1の実施例の拡大断面図。
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a first embodiment of a reflective side substrate of a reflective liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図4】本発明を適用した反射型液晶パネルの見切り電
極およびダミー画素電極に印加される交流電圧の一例を
示す波形図。
FIG. 4 is a waveform diagram showing an example of an AC voltage applied to a parting electrode and a dummy pixel electrode of a reflective liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図5】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第2の実施例を示す平面レイアウト図。
FIG. 5 is a plan layout view showing a second embodiment of a reflection side substrate of a reflection type liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図6】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第2の実施例を示す断面図。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a reflection side substrate of a reflection type liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図7】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第3の実施例を示す平面レイアウト図。
FIG. 7 is a plan layout view showing a third embodiment of a reflection side substrate of a reflection type liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図8】本発明を適用した反射型液晶パネルの反射側基
板の第3の実施例を示す断面図。
FIG. 8 is a sectional view showing a third embodiment of a reflection side substrate of a reflection type liquid crystal panel to which the present invention is applied.

【図9】実施例の反射型液晶パネルをライトバルブとし
て応用した投射型表示装置の一例としてプロジェクタの
概略構成図。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram of a projector as an example of a projection type display device to which the reflection type liquid crystal panel of the embodiment is applied as a light valve.

【図10】TN液晶を用いた反射型液晶パネルにおける
素子基板(反射側基板)と対向基板の配向膜の最適なラ
ビング方向を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing optimum rubbing directions of alignment films of an element substrate (reflection-side substrate) and a counter substrate in a reflective liquid crystal panel using TN liquid crystal.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 対向基板(入射側基板) 11 共通電極 12 見切りとなる遮光部材 20 反射側基板 21 画素電極 22 画素領域 23 信号線駆動回路 24 走査線駆動回路 25 パッド領域 26 入力回路 27 タイミング制御回路 28 見切り電極 29 ダミー画素電極 30 液晶 31 シール材 41 ポリシリコン層(MOSFETの動作層) 42 走査線兼ゲート電極 43 層間絶縁膜 44 信号線 45 平坦化膜 100 ランプ 101,102 直角プリズム 103〜105 ダイクロイックミラー 106〜108 反射型液晶パネル 110 投影レンズ 10 Counter substrate (incident side substrate) 11 common electrode 12 Light-shielding member to be closed 20 Reflection side substrate 21 Pixel electrode 22 pixel area 23 Signal line drive circuit 24 Scan line drive circuit 25 pad area 26 Input circuit 27 Timing control circuit 28 Close-up electrode 29 Dummy pixel electrode 30 liquid crystal 31 Seal material 41 Polysilicon layer (operating layer of MOSFET) 42 Scan line and gate electrode 43 Interlayer insulation film 44 signal line 45 flattening film 100 lamps 101,102 Right angle prism 103-105 dichroic mirror 106-108 reflective liquid crystal panel 110 Projection lens

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−194690(JP,A) 特開 平7−234421(JP,A) 特開 平7−209660(JP,A) 特開 平4−67127(JP,A) 特開 平8−194235(JP,A) 特開 平3−293642(JP,A) 特開 平3−45934(JP,A) 特開 昭64−9420(JP,A) 特開 平8−248405(JP,A) 特開 平8−22016(JP,A) 特開 平8−160409(JP,A) 特開 平6−138488(JP,A) 特開 平2−242230(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1343 G02F 1/136 Continuation of front page (56) Reference JP-A-6-194690 (JP, A) JP-A-7-234421 (JP, A) JP-A-7-209660 (JP, A) JP-A-4-67127 (JP , A) JP 8-194235 (JP, A) JP 3-293642 (JP, A) JP 3-45934 (JP, A) JP 64-9420 (JP, A) JP 8-248405 (JP, A) JP-A-8-22016 (JP, A) JP-A-8-160409 (JP, A) JP-A-6-138488 (JP, A) JP-A-2-242230 (JP, A) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1343 G02F 1/136

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 反射電極となる画素電極がマトリックス
状に形成されるとともに各反射電極に対応して各々スイ
ッチング素子が形成された画素領域を有する反射側基板
と、対向電極を有する入射側の透明基板とが相対向して
配置されるとともに、上記反射側基板と上記透明基板と
の間隙内に液晶が封入され、上記スイッチング素子を介
して上記反射電極に電圧が印加されるように構成された
液晶パネルにおいて、上記反射側基板の上記画素領域の
周囲には上記反射電極でなる疑似画素電極と該疑似画素
電極に電圧を印加するためのスイッチング素子とからな
るダミー画素列が形成され、さらにこのダミー画素列の
形成領域の周囲には導電層が形成され、上記疑似画素電
極および上記導電層と上記対向電極との間に狭持された
液晶には表示を黒色方向の表示レベルにする交流電圧が
それぞれ印加されるように構成されてなることを特徴と
する液晶パネル。
1. A reflection side substrate having pixel regions in which pixel electrodes to be reflection electrodes are formed in a matrix and switching elements are formed corresponding to each reflection electrode, and an incident side transparent having a counter electrode. The substrates are arranged so as to face each other, and liquid crystal is sealed in a gap between the reflection side substrate and the transparent substrate, and a voltage is applied to the reflection electrode via the switching element. In the liquid crystal panel, a dummy pixel column including a pseudo pixel electrode formed of the reflection electrode and a switching element for applying a voltage to the pseudo pixel electrode is formed around the pixel area of the reflection side substrate, and further, A conductive layer is formed around the dummy pixel column formation region, and the liquid crystal sandwiched between the pseudo pixel electrode and the conductive layer and the counter electrode displays black. A liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel is configured to be applied with an AC voltage for setting a directional display level.
【請求項2】 上記導電層は、リング状に形成されてい
ることを特徴とする請求項1に記載の液晶パネル。
2. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the conductive layer is formed in a ring shape.
【請求項3】 上記導電層は、上記画素電極と同一材料
により構成されていることを特徴とする請求項1または
2に記載の液晶パネル。
3. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the conductive layer is made of the same material as the pixel electrode.
【請求項4】 上記導電層は、その表面が反射防止処理
されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一
項に記載の液晶パネル。
4. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein a surface of the conductive layer is antireflection-treated.
【請求項5】 上記導電層に印加される電圧は、上記対
向電極に印加される電位を中心として実質的に正負同一
振幅を有する交流電圧であることを特徴とする請求項1
〜4のいずれか一項に記載の液晶パネル。
5. The voltage applied to the conductive layer is an alternating voltage having substantially the same positive and negative amplitude centered on the potential applied to the counter electrode.
5. The liquid crystal panel according to any one of items 4 to 4.
【請求項6】 上記疑似画素電極は、その表面が反射防
止処理されていることを特徴とする請求項1〜5のいず
れか一項に記載の液晶パネル。
6. The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the surface of the pseudo pixel electrode is antireflection-treated.
【請求項7】 上記疑似画素電極に印加される電圧は、
上記画素電極に印加されるべき画像信号の中心電位を中
心として実質的に正負同一振幅を有する交流電圧である
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の
液晶パネル。
7. The voltage applied to the pseudo pixel electrode is
The liquid crystal panel according to any one of claims 1 to 6, wherein the liquid crystal panel is an AC voltage having substantially the same positive and negative amplitudes with a center potential of an image signal to be applied to the pixel electrode as a center.
【請求項8】 上記交流電圧は、1画素への印加電圧の
極性の反転周期と同一もしくはそれよりも短い周期の交
流電圧であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか
一項に記載の液晶パネル。
8. The AC voltage according to claim 1, wherein the AC voltage is an AC voltage having a cycle that is the same as or shorter than the inversion cycle of the polarity of the voltage applied to one pixel. The described liquid crystal panel.
【請求項9】 請求項1〜8のいずれか一項に記載の液
晶パネルの光出射側に偏光手段を設け、前記導電層によ
り反射された光が前記偏光手段を透過する透過率が10
%以下となるように、前記導電層は、前記対向電極との
間に挟持された液晶に交流電圧が印加されることを特徴
とする液晶パネル。
9. The liquid crystal panel according to claim 1, further comprising a polarizing means on the light emission side, wherein the light reflected by the conductive layer has a transmittance of 10 which is transmitted through the polarizing means.
The liquid crystal panel is characterized in that an alternating voltage is applied to the liquid crystal sandwiched between the conductive layer and the counter electrode so that the conductive layer is less than or equal to%.
【請求項10】 請求項1〜9のいずれか一項に記載の
液晶パネルの光出射側に偏光手段を設け、前記疑似画素
電極により反射された光が前記偏光手段を透過する透過
率が10%以下となるように、前記疑似画素電極と、前
記対向電極との間に挟持された液晶に交流電圧が印加さ
れることを特徴とする液晶パネル。
10. A polarizing means is provided on the light emission side of the liquid crystal panel according to claim 1, and the light reflected by the pseudo pixel electrode has a transmittance of 10 which is transmitted through the polarizing means. The liquid crystal panel is characterized in that an AC voltage is applied to the liquid crystal sandwiched between the pseudo pixel electrode and the counter electrode so as to be not more than%.
【請求項11】 光源と、該光源からの光を変調して反
射する請求項1〜10のいずれか一項に記載の構成の液
晶パネルと、これらの液晶パネルにより変調された光を
集光し投射する投射レンズとを備えていることを特徴と
する投射型表示装置。
11. A light source, a liquid crystal panel having a structure according to any one of claims 1 to 10 that modulates and reflects light from the light source, and light that is modulated by these liquid crystal panels. And a projection lens for projecting.
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