JP3222397B2 - 画像表示装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平板型の画像表示
装置の関し、特に、ゲッタ及びゲッタ飛散防止部を備え
た画像表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、画像表示装置には、液晶、電
子、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）、プラズマ等を
用いたものがあり、なかでも、蛍光体励起手段として電
子線を用いて蛍光体を励起させるブラウン管を用いた画
像表示装置は、テレビジョンとして最も一般的に用いら
れている。

【０００３】ブラウン管を用いたテレビジョンは、一般
に、画面に対して奥行きがあるため、設置場所等の制約
を受けるという問題点がある。そのため、近年では、ブ
ラウン管を用いたものよりも奥行きが小さて済む電子線
を用いた平板型の画像表示装置の研究がなされている。

【０００４】平板型の画像表示装置は、ブラウン管を用
いたものに比べて容器の体積が小さいが、容器内から放
出されるガス量が多い場合がある。このため、画像表示
装置内の真空度を高め、その状態を維持するためには高
度な技術が必要とされる。

【０００５】一般に、密封された気密容器内を高真空の
状態に維持するためには、ゲッタが用いられる。ゲッタ
には、蒸発型と非蒸発型とがあり、蒸発型は、開放され
た容器内にゲッタ材を収納し、その後、誘導加熱や通電
加熱等によってゲッタ材を加熱し、蒸発（以下、「フラ
ッシュ」と称す）させて気密容器内面にゲッタ材を付着
させ気密容器内のガスを除去するものであり、非蒸発型
は、同様に容器内にゲッタ材を収納した後、ゲッタ材を
蒸発させないで気密容器内のガスを除去するものであ
る。

【０００６】図３７は、特公昭５６−４４５３４号公報
に開示されている従来の蛍光表示管の一構成例を示す図
であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すIII−I
IIでの断面図である。

【０００７】本従来例は図３７に示すように、ガラス等
の絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート
３７０１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレー
ト３７０１の裏面側にフェースプレート３７０１と対向
して設けられるリアプレート３７０２とを有し、フェー
スプレート３７０１とリアプレート３７０２とが接合す
る部分は、低融点ガラス、超音波はんだ、あるいは紫外
線硬化樹脂等によって封着されている。

【０００８】また、気密容器内において、フェースプレ
ート３７０１及びリアプレート３７０２に対し、ゲッタ
飛散防止のための遮蔽板兼フィラメントサポートとなる
ゲッタ飛散防止部３７０８が略垂直に固定され、ゲッタ
３７０５が固着されている。さらに、ゲッタ飛散防止部
３７０８を間に置いてゲッタが設けられた側と反対側の
フェースプレート３７０１には、複数の表示部が並設さ
れ、各表示部は、画像パターン３７０４と、画像表示内
容を制御するコントロールグリッド３７１０と、フィラ
メント３７０９とから構成されている。ここで、ゲッタ
飛散防止部３７０８は、ゲッタ３７０５からのゲッタ材
が画像表示部側に回り込まないために設けられている。
なお、ゲッタ３７０５が設けられている側のフェースプ
レート３７０１上には、ゲッタ３７０５をフラッシュさ
せることによりゲッタ被膜３７０３が形成されている。

【０００９】上記のように構成される画像表示装置は、
一般に不図示の排気管をターボ分子ポンプ等に接続して
排気を行い、気密容器内が十分な真空度に達した後、排
気管を封止（閉塞、切断）し、その後、ゲッタ３７０５
をフラッシュさせることにより完成する。

【００１０】画像表示装置の完成後、フィラメント３７
０９を加熱すると、加熱によって発生した熱電子が、画
像パターン３７０４を形成するアノード（不図示）によ
り加速され、画像パターン３７０４を形成する蛍光体
（不図示）に衝突する。それによりフェースプレート３
７０１上に画像が表示される。

【００１１】また、特開昭６１−３２３３６号公報に開
示される不図示の平板型の画像表示装置においては、ブ
ラウン管の画像表示装置と比較して、電極構体を構成す
る金属やガラス、セラミックが数倍多く、それに引き換
え、ゲッタの蒸着できる面積（ゲッタ材付着部面積）が
少なく、特に、ガラス容器の内壁面積が極めて小さい。
そこで、ゲッタの蒸着できる面積を増加させること及び
ゲッタ（バリウム）をフラッシュ（蒸発）させた際に、
電極構体や端子に回り込み、電極間あるいは端子間で短
絡を起こすことを防止することを目的として、繊維状の
遮蔽材（スチールウールあるいはスチールウールにグラ
ファイトコート）を例えば、ガラス容器内壁と電極構体
の裏面とが対向して構成される空間（ゲッタが蒸着され
る空間）の周囲に連続的あるいは断続的に配置すること
で、回り込もうとするゲッタの拡散を制限し、かつ、遮
蔽板の表面にゲッタ材を蒸着させて、ゲッタの蒸着でき
る面積を増加させる画像表示装置が、特開昭６１−３２
３３６号公報に開示されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように構成された従来の画像表示装置においては、以
下に記載するような問題点がある。

【００１３】（１）ゲッタ飛散防止部の両端と外枠との
距離を短くしたり、繊維状の遮蔽材の密度が高いものを
ゲッタが蒸着される空間に配置したりすると、画像表示
部からゲッタフラッシュ部への気密容器内に残留したガ
スの流れやすさ（コンダクタンス）が低下してしまい、
ゲッタの能力が効率よく発揮されなかったり、画像表示
装置内部の圧力が不均一となったりすることによって、
画面の輝度むらが生じてしまう場合があった。また、排
気管による排気のためにかかる時間が長くなってしま
う。

【００１４】（２）ゲッタ飛散防止部の両端と外枠との
距離を長くしたり、繊維状の遮蔽材の密度が低いものを
ゲッタが蒸着される空間に配置したりすると、コンダク
タンスの低下を防ぐことができるが、ゲッタをフラッシ
ュさせる際、ゲッタがゲッタ飛散防止部の両端と外枠と
の間や遮蔽材のすき間から画像表示部へ回り込んで電子
放出源、配線あるいは蛍光体に付着し、配線の短絡が発
生してしまう虞れがある。

【００１５】（３）平板型の画像表示装置においては、
電子源が占有する面積と、蛍光体等の画素（画像表示部
材）が占領する面積とが略等しい場合が多く、しかも、
ＣＲＴの奥行きに対応する電子源と蛍光体との間隔が数
百μｍ〜数十ｍｍ程度となっている。

【００１６】したがって、平板型の画像表示装置におい
ては、ＣＲＴと比べてゲッタを配置することができる領
域が非常に小さいが、必要とされる真空度は同程度ある
いはそれ以上であるため、必要とするゲッタ面積は同等
以上である。そのため、平板型の画像表示装置において
は、その内部で、いかにゲッタを配置できる領域を確保
し、また、その量を多く配置し、かつ、ゲッタの回り込
みを防止することが重要な課題となってくる。

【００１７】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、ゲッタ材が
付着する面積を増加させ、排気管での排気に要する時間
及び排気管を封止した後のゲッタによる排気に要する時
間を短縮し、ゲッタ材蒸着の際はゲッタ材が画像表示部
に回り込むことなく行われ、かつ、画像表示装置内部に
圧力むらを引き起こさない長寿命、高真空の画像表示装
置を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、蛍光体を担持したフェースプレートと、該
フェースプレートに対向して配置されるリアプレート
と、前記フェースプレート及び前記リアプレートの間に
配置された外枠とを接合することによって形成された容
器とを有し、該容器内に、前記蛍光体を励起させる蛍光
体励起手段と、蒸発型ゲッタと、該蒸発型ゲッタから蒸
発したゲッタの前記蛍光体励起手段が配置された部分へ
の飛散を防止するゲッタ飛散防止手段とが設けられてい
る画像表示装置において、前記蛍光体及び前記蛍光体励
起手段が配置された画像表示部と、前記蒸発型ゲッタが
配置されたゲッタフラッシュ部とが、前記ゲッタ飛散防
止手段を間に置いて配置されており、前記ゲッタ飛散防
止手段は、複数のゲッタ飛散防止壁からなり、前記ゲッ
タ飛散防止壁間に通路が形成されており、そして、前記
複数のゲッタ飛散防止壁が、前記画像表示部側から見て
隙間がないように配置されていることを特徴とする。

【００１９】また、前記フェースプレート及び前記リア
プレートの主面と平行な方向に、前記画像表示部と、前
記ゲッタフラッシュ部とが並設して配置されていること
を特徴とする。

【００２０】また、前記ゲッタ飛散防止壁は、Ｖ字形の
板からなることを特徴とする。

【００２１】また、前記Ｖ字形の板の頂点の角度は、９
０度以下であることを特徴とする。

【００２２】また、前記Ｖ字形の板は、両辺の長さが等
しいことを特徴とする。

【００２３】また、前記Ｖ字形の板は、互いに同一の形
状を有していることを特徴とする。

【００２４】また、前記Ｖ字形の板は、その頂点が一直
線上に並ぶように配置されていることを特徴とする。

【００２５】また、前記複数のゲッタ飛散防止壁は、お
のおのの頂点が互いに反対方向に向いた２群のＶ字形の
板からなることを特徴とする。

【００２６】また、前記Ｖ字形の板は、その頂点が、隣
接するＶ字形の板の両端部を結んだ線上に配置されてい
ることを特徴とする。

【００２７】また、前記Ｖ字形の板は、その頂点が、隣
接するＶ字形の板の両端部を結んだ線より、前記隣接す
るＶ字形の板の頂点に近い位置に配置されていることを
特徴とする。

【００２８】また、前記複数のＶ字形の板の少なくとも
１つは、その一部が前記外枠と接触していることを特徴
とする。

【００２９】また、前記ゲッタ飛散防止壁は、円弧状の
板からなることを特徴とする。

【００３０】また、前記円弧状の板は、半円状の板であ
ることを特徴とする。

【００３１】また、前記半円状の板は、互いに同一の形
状を有することを特徴とする。

【００３２】また、前記半円状の板は、その頂点が一直
線上に並ぶように配置されていることを特徴とする。

【００３３】また、前記半円状の板は、その頂点が、隣
接する半円状の板の両端部を結んだ線上に配置されてい
ることを特徴とする。

【００３４】また、前記半円状の板は、その頂点が、隣
接する半円状の板の両端部を結んだ線より、前記隣接す
る半円状の板の頂点に近い位置に配置されていることを
特徴とする。

【００３５】また、前記複数のゲッタ飛散防止壁は、複
数の円弧状の板と複数の平板とからなることを特徴とす
る。

【００３６】また、前記ゲッタ飛散防止壁は、複数の平
板からなることを特徴とする。

【００３７】また、前記複数の平板は、互いに長さの異
なる平板を含むことを特徴とする。

【００３８】また、前記複数の平板の少なくとも１つ
は、その一部が前記外枠と接触していることを特徴とす
る。

【００３９】また、前記フェースプレートと前記リアプ
レートとの間に、前記フェースプレート及び前記リアプ
レートと略平行に設けられた中間板を有し、前記複数の
ゲッタ飛散防止壁が、前記中間板と前記外枠との間に配
置されていることを特徴とする。

【００４０】また、前記蒸発型ゲッタから蒸発したゲッ
タが、前記中間板、前記外枠及び前記リアプレートの少
なくとも１つと、前記複数のゲッタ飛散防止壁とに付着
していることを特徴とする。

【００４１】また、前記ゲッタ飛散防止壁は、Ｖ字形の
板からなることを特徴とする。

【００４２】また、前記複数のＶ字形の板は、それらの
頂点を結んだ稜線が、前記中間板の主面と平行に並ぶよ
うに配置されていることを特徴とする。

【００４３】また、前記複数のゲッタ飛散防止壁は、前
記フェースプレートに取り付けられた第１の平板と、前
記リアプレートに取り付けられた第２の平板とからな
り、前記第１の平板と前記第２の平板とが互い違いに配
置されていることを特徴とする。

【００４４】また、前記リアプレートと前記フェースプ
レートとの並び方向に沿った前記リアプレートと前記フ
ェースプレートとの間隔をＨ、前記並び方向に沿った前
記第１の平板の長さをｈ₁、前記並び方向に沿った前記
第２の平板の長さをｈ₂としたとき、 ｈ₁≠０，ｈ₂≠０ Ｈ≦ｈ₁＋ｈ₂＜２Ｈ を満たすことを特徴とする。

【００４５】また、前記リアプレートと前記フェースプ
レートとの並び方向に沿った前記リアプレートと前記フ
ェースプレートとの間隔をＨ、前記並び方向に沿った前
記第１の平板の長さをｈ₁、前記並び方向に沿った前記
第２の平板の長さをｈ₂、前記第１の平板と前記第２の
平板との最短距離をｄとしたとき、 ｄ＝ｈ₁＝ｈ₂＝Ｈ／２ を満たすことを特徴とする。

【００４６】また、前記第１の平板のフェースプレート
への取り付け位置と前記第２の平板のリアプレートへの
取り付け位置とが略平行であることを特徴とする。

【００４７】また、前記第１及び第２の平板は、それぞ
れ前記フェースプレート及び前記リアプレートに対して
略垂直に取り付けられていることを特徴とする。

【００４８】また、前記第１の平板の一部が前記リアプ
レートと接触し、前記第２の平板の一部が前記フェース
プレートと接触していることを特徴とする。

【００４９】また、前記第１の平板が前記フェースプレ
ートとなす角度と、前記第２の平板が前記リアプレート
となす角度とが互いに異なることを特徴とする。

【００５０】また、前記第１の平板が前記フェースプレ
ートとなす角度と、前記第２の平板が前記リアプレート
となす角度との少なくとも一方は、９０度よりも小さい
ことを特徴とする。

【００５１】また、前記蒸発型ゲッタは、前記ゲッタ飛
散防止壁に保持されていることを特徴とする。

【００５２】また、前記ゲッタ飛散防止壁は、前記フェ
ースプレート及び前記リアプレートと略垂直に設けられ
ていることを特徴とする。

【００５３】また、前記複数のゲッタ飛散防止壁は、千
鳥状に配置されていることを特徴とする。

【００５４】また、前記ゲッタ飛散防止壁は、Ｖ字形の
板からなることを特徴とする。

【００５５】また、前記Ｖ字形の板は、両辺の長さが等
しいことを特徴とする。

【００５６】また、前記蒸発型ゲッタがリング状であ
り、前記Ｖ字形の板の両辺の長さをＩ、前記蒸発型ゲッ
タの直径を２ｒ、前記蒸発型ゲッタの中心と前記Ｖ字形
の板の頂点との距離をＨ、前記Ｖ字形の板の頂角を２θ
としたとき、Ｉｃｏｓθ≧ＨＨｓｉｎθ≧ｒを満たすこ
とを特徴とする。

【００５７】また、前記Ｖ字形の板は、その両辺の長さ
が互いに異なることを特徴とする。

【００５８】また、前記蛍光体励起手段は、電界放出型
電子放出素子からなることを特徴とする。

【００５９】また、前記蛍光体励起手段は、熱電子放出
素子からなることを特徴とする。

【００６０】また、前記蛍光体励起手段は、表面伝導型
電子放出素子からなることを特徴とする。

【００６１】また、前記容器内を減圧するための排気管
を有することを特徴とする。

【００６２】また、前記フェースプレートと前記リアプ
レートとの間に設けられ、前記容器外部の気圧に対抗し
て前記容器を維持するためのスペーサを有することを特
徴とする。

【００６３】また、前記スペーサは、前記フェースプレ
ート及び前記リアプレートの主面に平行な長手方向を有
する平板からなり、該スペーサの長手方向と前記排気管
の長手方向とが略平行に配置されていることを特徴とす
る。

【００６４】また、前記蒸発型ゲッタは、リング状であ
ることを特徴とする。

【００６５】また、前記蒸発型ゲッタは、ワイヤ状であ
ることを特徴とする。

【００６６】また、前記蒸発型ゲッタは、複数個配置さ
れていることを特徴とする。

【００６７】また、非蒸発型ゲッタを有することを特徴
とする。

【００６８】また、前記容器内に、非蒸発型ゲッタが配
置されており、 該非蒸発型ゲッタは、前記画像表示部に
配置されていることを特徴とする。

【００６９】（作用）本発明のゲッタ飛散防止部をゲッ
タフラッシュ部と画像表示部との間に配置することによ
り、以下の作用が生じる。

【００７０】（１）ゲッタから蒸発したゲッタ材は、ゲ
ッタを中心に四方八方に蒸発飛散するが、ゲッタ材は、
壁に衝突すると、壁に付着し、反射しない性質を持ち、
一方、気体分子あるいは原子は、壁に衝突すると、反射
し、付着しない（なお、全く付着しないのではなく、正
確には気体、壁の材料及び温度等に依存し、一部付着す
る）性質を持つ。

【００７１】本発明は、上述したようなゲッタ材と気体
との性質の違いを利用して、ゲッタが配置されているゲ
ッタ部から画像表示部に向かって直線的光学経路がない
ように、複数の板からなるゲッタ飛散防止部が設けられ
ており、それにより、ゲッタフラッシュの際に、ゲッタ
材が表示部へ回り込むことがなくなり、画像表示部にお
ける配線間の短絡や、電子放出素子（電子源）及び蛍光
体へ悪影響を及ぼすことがなく、したがって、ゲッタ材
による画像表示装置の品位としての致命的な画素欠陥が
なくなる。

【００７２】また、上記のように、ゲッタ材が表示部へ
回り込むことがないため、従来の画像表示装置のよう
に、ゲッタ材の回り込みを見越すために表示領域内での
画像パターン（画面の大きさ）に制約があるものと比較
して、本発明では画像表示領域内を全て画像パターン
（画面）とすることができるので、同じ大きさの画像表
示装置でも画面の大きさがより大きく、より迫力ある大
画面が提供できる。

【００７３】（２）特に、本発明のように、複数の板か
らなるゲッタ飛散防止壁によってゲッタ飛散防止部を構
成した場合は、ゲッタフラッシュ部において配置される
ゲッタの個数が、機械的配置の問題以外にゲッタフラッ
シュ方向に対して全く制約されないため、複数のゲッタ
を多数配置することができ、また、ゲッタフラッシュ部
における、フェースプレート、リアプレート、外枠及び
ゲッタ飛散防止壁の全ての表面積がゲッタ材の付着部と
なるため、ゲッタ面積が有効にかつ多量に確保され、ゲ
ッタによる排気を長時間に渡って行うことができる。

【００７４】（３）また、本発明は、上述したような、
ゲッタ材と気体との性質の違いを利用して、ゲッタが配
置されているゲッタフラッシュ部から画像表示部に向か
って直線的光学経路がないように、複数の板からなるゲ
ッタ飛散防止部が設けられており、それにより、隣接す
る板間の通路を気体が自由に通過し、画像表示部からゲ
ッタ部に到達する。しかも、複数の板からなるゲッタ飛
散防止壁間の通路は、全域に渡って形成されているた
め、ゲッタ飛散防止壁によるコンダクタンスは非常に良
好であり、かつコンダクタンスを設計、制御することが
できるので、排気管による排気に要する時間が少なくて
済む。

【００７５】そのため、画像表示装置を製造する上で大
幅なコストダウンが可能となる。また、上記のようにコ
ンダクタンスが良好なため、画像表示装置内の圧力分布
が軽減され、さらに、画像表示装置の駆動時に蛍光体等
から発生するガスのゲッタによる排気時間が短縮され、
その結果、輝度ばらつき、放電の抑制された画像表示装
置が提供できる。

【００７６】以上から、本発明のゲッタ飛散防止部を適
用した画像表示装置においては、長い時間に渡って安定
で長寿命、画素欠陥及び輝度ばらつきがない高品位で、
低コストな画像表示装置が提供できる。

【００７７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００７８】なお、本発明のゲッタ飛散防止部の構成
は、３つの型があり、第１のゲッタ飛散防止部の構成に
ついては第１〜第９の実施の形態において、第２のゲッ
タ飛散防止部の構成については第１０〜第１５の実施の
形態において、第３のゲッタ飛散防止部の構成について
は第１６〜第１９の実施の形態においてそれぞれ説明す
る。

【００７９】（第１の実施の形態）第１の実施の形態と
して、蛍光体励起手段に電界放出型電子放出素子（フィ
ールドエミッタアレイ：ＦＥＡ）を用いた場合について
説明する。

【００８０】図１は、本発明の画像表示装置の第１の実
施の形態を示す図であり、（ａ）は正面から見た図、
（ｂ）は装置奥行き方向の断面図、（ｃ）は電子放出部
の一部を取り出した図、（ｄ）は（ａ）に示した図のう
ち一部を示す図である。

【００８１】本形態は図１に示すように、ガラス等の絶
縁物からなり、画像表示面の基板であるフェイスプレー
ト１０１と、ガラス等の絶縁物からなり、フェースプレ
ート１０１の裏面側にフェースプレート１０１と対向し
て設けられる基板であるリアプレート１０２と、ガラス
等の絶縁物からなり、フェースプレート１０１及びリア
プレート１０２のそれぞれの周縁部と接合されて気密容
器を形成し、外部から気密容器にかかる圧力を支える外
枠１０３と、ゲッタ材が収納されているワイヤー型ゲッ
タ１１６とを有している。なお、本形態においては、フ
ェイスプレート１０１、リアプレート１０１、外枠１０
３ともにガラスを用いた。また、フェイスプレート１０
１及びリアプレート１０２と外枠１０３との接合におい
ては、低融点ガラス、超音波はんだ、紫外線硬化樹脂等
によって封着することが可能だが、本形態においては、
低融点ガラスを用いた。

【００８２】外枠１０３には、排気管１０４が付いてお
り、この排気管１０４を封止することによって気密容器
が形成されているが、真空中で組立てを行う場合には、
排気管は必要ない。また、フェイスプレート１０１とリ
アプレート１０２との間隔は、約２００μｍとした。

【００８３】フェイスプレート１０１の内壁には、ＩＴ
Ｏ薄膜１０５及び蛍光体１０６が形成されており、ＩＴ
Ｏ薄膜１０５は、電子源から放出された電子を加速する
ための陽電極（アノード）として使われる。また、陽電
極に数ｋＶ以上の電圧を印加することができる場合に
は、メタルバックを蛍光体の上に積層する場合もある。

【００８４】以下に、電子放出部の構成について詳しく
説明する。

【００８５】リアプレート１０２の内壁には、陰電極１
０８及び抵抗層１０９が形成されており、抵抗層１０９
上には絶縁層１１０が、さらにその上にはゲート電極１
１１がそれぞれ形成されている。また、絶縁層１１０及
びゲート電極１１１には、直径０．４〜１μｍの穴が開
けられていて、その中にコーン型のエミッタ電極１１２
が形成されている。

【００８６】抵抗層１０９は、エミッタ電極１１２から
放出される電流量の揺らぎを少なくするために設けられ
た電流制限抵抗と呼ばれるものである。一般に、ＦＥＡ
は、エミッタ電極の表面の様子や不純物の汚れ等で、放
出される電子の量が大きく変動することが知られてい
る。抵抗層１０９を設けることによって、エミッタ電極
１１２に流れる電流が大きいときは、エミッタ電極１１
２とゲート電極１１１の電位差が小さく、また、逆に、
エミッタ電極１１２に流れる電流が小さいときは、エミ
ッタ電極１１２とゲート電極１１１の電位差が大きくな
るように作用し、これにより、エミッタ電極１１２から
電界放出される電流の大きさの揺らぎが少なくなるよう
に調整される。

【００８７】陰電極１０８に０Ｖ、ゲート電極１１１に
５０Ｖ、ＩＴＯ薄膜１０５からなる（アノード）陽電極
に４００Ｖの電圧をそれぞれ印加した。

【００８８】エミッタ電極１１２から放出された電子
は、ＩＴＯ薄膜１０５からなる陽電極によって加速さ
れ、蛍光体１０６に衝突し、それにより、画像が表示さ
れる。

【００８９】また、気密容器内には、ワイヤー型ゲッタ
１１６から飛散したゲッタ材が画像表示部側に回り込ま
ないように、ゲッタ飛散防止部１１３として、フェイス
プレート１０１及びリアプレート１０２に対して略垂直
に取り付けられたＶ字型の板からなるゲッタ飛散防止壁
１２０が画像表示部側から見て隙間のないように、そし
て互いに接触することないように９個一直線上に配され
ている。そして、Ｖ字型の板の頂点Ｔは全て同じ方向に
向けられ、隣りのＶ字型の板の２つの端点Ｅを結んだ際
の中点に位置している（以下、このようなゲッタ飛散防
止部をシェブロン型ゲッタ飛散防止部と称す）。これに
より、気密容器内部は、電子放出素子が設けられている
部分とゲッタフラッシュが行われる部分とに分けられて
いる。

【００９０】本形態においては、気密容器のゲッタフラ
ッシュ部に設置するゲッタ材としては、Ｂａ（バリウ
ム）等の蒸発型ゲッタを用いている。また、Ｚｒ−Ａｌ
（ジルコニウム−アルミニウム）等の非蒸発型ゲッタを
適切な位置に向けて、補助的に併用しても構わない。

【００９１】本形態においては、画像表示装置を正面か
ら見た長方形の一辺の方向の部分にのみにゲッタ飛散防
止部及びゲッタフラッシュ部が設けられているが、本発
明においては、ゲッタ飛散防止部及びゲッタフラッシュ
部の数及び位置は、これに限定されるものではない。例
えば、ゲッタ飛散防止部を、画像表示装置を正面から見
た長方形の四辺に設け、画像表示部を取り囲むようにゲ
ッタを取り付けても構わない。

【００９２】ゲッタは、リング型、ワイヤー型（線状）
等、様々な形と大きさのものが実用化されている。した
がって、気密容器の形状に応じて、これらを使い分ける
ことが重要である。例えば、フェイスプレートとリアプ
レートとの間隔（気密容器の奥行き）が数ｍｍ程度のも
のである場合は、リング型ゲッタを用いることができ
る。

【００９３】しかし、フェイスプレートとリアプレート
との間隔が、本形態に示すように、非常に狭い気密容器
を使用する場合、リング型ゲッタを使うことができない
ことがある。

【００９４】図１に示したものにおいては、フェイスプ
レート１０１とリアプレート１０２との間隔が２００μ
ｍと極めて狭いため、リング型ゲッタが使用できない。
そこで、第１の方法として、図１に示すようにワイヤー
型ゲッタを用いることが考えられる。

【００９５】ワイヤー型ゲッタ１１６は、極めて細い金
属線に、Ｂａ（バリウム）等の蒸発型ゲッタ材を付着さ
せたもので（特開平５−１５１９１６号公報参照）、金
属線の両端を気密容器の外部に引き出して通電加熱する
ことで用いられている。

【００９６】第２の方法として、画像表示装置の気密容
器を二重構造にして、画像表示部とゲッタフラッシュ部
とを別々の部屋に設置し、これら２つの部屋をシェブロ
ン型ゲッタ飛散防止部等の本発明のゲッタ飛散防止部で
つなぐ方法が考えられる。この方法については、本明細
書の第８の実施の形態において詳しく説明するので、こ
こでは詳しく説明しない。

【００９７】本形態の画像形成装置は、排気管１０４を
ターボ分子ポンプ等に接続して排気を行い、容器内が１
０^-7Ｔｏｒｒ以下に達したら、排気管１０４を封止し、
ゲッタ１１４をフラッシュさせ、画像表示装置を完成さ
せた。

【００９８】本形態で使用されるフェイスプレート１０
１及びリアプレート１０２等の基板、並びに外枠１０３
の材料は、ガラス等の絶縁物であればいずれも使用可能
である。ただし、フェイスプレート１０１は、画像を表
示するため、光を通す透明なものではなくてはならな
い。

【００９９】また、ＦＥＡ素子となる、絶縁層１１０及
びゲート電極１１１に開けられた穴の中に形成されるコ
ーン型のエミッタ電極１１２の材料には、ＭｏやＳｉ等
が使用可能である。

【０１００】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、従来の画像表示装置よりもコンダクタンスに優
れるため、短時間で排気を行うことができ、画面の輝度
むらも少なくなった。

【０１０１】ここで、本形態のシェブロン型のゲッタ飛
散防止部１１３が、図３７に示した単なる遮蔽板のゲッ
タ飛散防止板３７０８の形状を本形態の画像形成装置に
当てはめた場合に比べて、どの程度、排気に有利かを調
べる。例として、本形態のゲッタ飛散防止部のコンダク
タンスを計算し、これを比較する。

【０１０２】図２は、図１及び図３７に示したゲッタ飛
散防止部の形状及び大きさを示す部分拡大図であり、
（ａ）は図１に示したゲッタ飛散防止部１１３を正面か
ら見た図、（ｂ）は図１に示したゲッタ飛散防止部１１
３の奥行き方向の断面図、（ｃ）は図３７に示したゲッ
タ飛散防止部３７０８を正面から見た図、（ｄ）は図３
７に示したゲッタ飛散防止部３７０８の奥行き方向の断
面図である。

【０１０３】図１に示したゲッタ飛散防止部１１３にお
いては図２（ａ），（ｂ）に示すように、リアプレート
１０２上に、略垂直にシェブロン型のゲッタ飛散防止部
１１３が取り付けられており、フェイスプレート１０１
とリアプレート１０２との間隔は、２００μｍである。
また、画像表示装置を正面から見た際のゲッタ飛散防止
部１１３の取り付けられる辺の長さは５０ｍｍとする。

【０１０４】また、外枠１０３とゲッタ飛散防止部１１
３を構成するＶ字型の板の頂点のなす角度は４５度とす
る。本形態においては、縦７．１ｍｍ（５×２^1/2ｍ
ｍ）、横２００μｍの長方形のガラス板を二枚使って、
両辺の長さが７．１ｍｍのシェブロン型ゲッタ飛散防止
部１１３のＶ字型の構造が構成されている。ガラスの厚
みは、ここでは、無視できるほどに薄いとする。Ｖ字型
の頂点の角度は９０度とする。

【０１０５】また、図２（ｃ），（ｄ）に示すゲッタ飛
散防止部３７０８においては、縦３０ｍｍ、横２００μ
ｍの長方形のガラス板を使って、単なる遮蔽板のゲッタ
飛散防止部３７０８を構成した。縦を３０ｍｍとしたの
は、後述するシミュレーション結果から算出したもので
ある。つまり、本形態の画像表示装置と同程度のコンダ
クタンス（到達圧力）になるように設計した。ここで
も、ガラスの厚みは無視することにする。

【０１０６】図２（ａ），（ｃ）のＡＢ及びＡ'Ｂ'で示
される区間のコンダクタンスを比較する。

【０１０７】気体分子の挙動を、コンピュータシミュレ
ーションの手法を用いて仮想的に追跡し、コンダクタン
スを求めた。シミュレーションの際には、「３次元希薄
気体流解析プログラムＲＡＦＡＬ−３Ｄ」（株式会社科
学技術ソフトウェア）を使用した。ここでは、シミュレ
ーションの際の物理的条件及び計算方法を簡単に説明
し、次に、計算結果を示す。なお、本形態の計算方法の
説明は、「３次元希薄気体流解析プログラムＲＡＦＡＬ
−３Ｄ Ｖｅｒ．３．４ 取扱説明書（１），（２）」
を参考にしている。

【０１０８】本形態で行ったシミュレーションにおいて
は、考慮の対象とする気体分子を水蒸気（Ｈ₂Ｏ）のみ
に限定し、温度を３００Ｋとした。断面Ａ及びＡ'から
Ｈ₂Ｏ分子を一定の気圧で流入させ、断面Ｂ及びＢ'から
流出させる。ここで、断面とは、紙面に垂直方向の断面
である。

【０１０９】断面Ａ及びＡ'から流入されるＨ₂Ｏ分子に
おいては、あらゆる方向に対して一様な確率で無作為に
（ランダムに）放出され、また、放出の速度について
は、Maxwell-Boltzmann分布に従う確率で決められてい
るものとする。したがって、流入されるＨ₂Ｏ分子の速
度ベクトルの平均は０であり、二乗平均は、〈ｖ²〉＝
（８ＲＴ）／（πｍＮ_A）で表される。ただし、気体定
数をＲ＝８．３１［Ｊ／ｍｏｌ／Ｋ］、絶対温度をＴ
［Ｋ］、気体分子の質量をｍ［ｋｇ］、アボガドロ定数
をＮ_A＝６．０２２×１０²³［／ｍｏｌ］とした。

【０１１０】Ｈ₂Ｏ分子どうしの衝突は無視し、Ｈ₂Ｏ分
子と固体壁の衝突のみを考慮する。これは、今、考えて
いる系が、分子流領域と呼ばれる圧力の範囲内にあるこ
とを仮定している。

【０１１１】気体分子の平均自由行程をλ［ｍ］、気体
分子が流れる容器の特徴的な長さをＬ［ｍ］としたと
き、Ｋ_n＝λ／Ｌをクヌーセン数を呼ぶ。一般に、Ｋ_n＞
＞０．３が成立する領域は、分子領域と呼ばれ、気体分
子どうしの衝突を無視する近似が有効であることが知ら
れている。

【０１１２】画像表示装置が駆動する際の、典型的な圧
力は、１０^-8Ｔｏｒｒ程度とした。例えば、圧力が１．
３×１０^-8Ｔｏｒｒの水蒸気では、平均自由行程はλ＝
３．２９×１０⁵ｍとなる。今考えている気密容器の特
徴的な長さは、フェースプレートとリアプレートとの間
隔が２００μｍで与えられているので、クヌーセン数
は、Ｋ_n＝λ／Ｌ＝（３．２９×１０⁵）／（２．０×１
０^-4）＝１．６５×１０ ⁹＞＞０．３となり、分子流領
域と考えても差し支えない。

【０１１３】Ｈ₂Ｏ分子が固体壁に衝突した場合、Ｈ₂Ｏ
分子においては衝突前の運動量、エネルギー等の情報が
一切失われ、衝突した地点から、一様な確率でランダム
な方向に、Maxwell-Boltzmann分布にしたがう確率の速
度で、再放出されると考えられる。

【０１１４】分子流領域では、気密容器（管）のコンダ
クタンスＣ［ｍ³／ｓ］は、管の入口と出口の圧力差に
依存せず、一定である。したがって、コンピュータシミ
ュレーションを行う際、Ｈ₂Ｏ分子を断面Ａ及びＡ'から
流入させるときの圧力をどの値に設定してもコンダクタ
ンスＣの値は同じである。

【０１１５】本形態においては、断面Ａ及びＡ'の圧力
を７．５×１０^-8Ｔｏｒｒ（ｐ＝１．０×１０^-5［Ｐ
ａ］）、断面Ｂ及びＢ'での圧力を０（０Ｔｏｒｒ）と
して計算を行った。

【０１１６】これらの条件下で、Ｈ₂Ｏ分子の挙動を、
コンピュータシミュレーションを用いて仮想的に追跡
し、コンダクタンスを求める。

【０１１７】時刻ｔ＝０［ｓ］から、Ｈ₂Ｏ分子の放出
を開始する。実際の系のＨ₂Ｏ分子の数は莫大であり、
これら全ての分子を追跡するのは、コンピュータの性能
上、不可能である。そこで、本形態においては、実際の
系のＨ₂Ｏ分子γ＝１．０×１０^-5倍の個数の分子を、
仮想的に放出させた。

【０１１８】また、本形態においては、Δｔ＝５．０×
１０^-7［ｓ］を１ステップとして、１ステップ刻みに、
流入されたＨ₂Ｏ分子の位置を調べた。時間が経過する
につれて、気密容器（管またはＡＢ及びＡ'Ｂ'で示され
る区間）内のＨ₂Ｏ分子の数は増加するが、最終的に
は、分子数は、ある一定の値に近付き、その付近で揺ら
ぐ程度の定常状態に達する。

【０１１９】系が十分に定常状態に達したと判断した
ら、さらに、定常状態のまま、計算を一定のステップ数
ｎ_sだけ続ける。次に、定常状態での各時間ステップの
物理量（例えば、圧力分布等）の平均をとる。これは、
定常状態での物理量の、時間平均をとったことに相当す
る。平均の際に、足し上げる時間ステップ数ｎ_sが、多
ければ多いほど、計算によって得られた物理量の値の、
真の値からの揺らぎは小さくなる。

【０１２０】図２（ａ），（ｂ）に示したのシェブロン
型ゲッタ飛散防止部１１３の場合、２０００ステップで
定常状態に達したと判断し、さらにｎ_s＝６０００［ス
テップ］だけ定常状態のまま計算を続行し、時間平均を
とった。ｎ_s＝６０００ステップ（３．０×１０
^-4［ｓ］に相当）の間に、断面Ａから放出された分子は
１０７５８９個、このうち、断面Ｂから出ていった分子
はＮ_B＝４０２７［個］だった。コンダクタンスＣ［ｍ³
／ｓ］は、Ｃ＝（Ｎ_B／γ）（ＲＴ／Ｎ_A）／（ｐΔｔｎ
_s）で求められ、図２（ａ），（ｂ）に示したシェブロ
ン型ゲッタ飛散防止部１１３の場合、コンダクタンス
は、Ｃ＝５．５６×１０^-5［ｍ³／ｓ］だった。

【０１２１】図２（ｃ），（ｄ）に示したの単なる遮蔽
板のゲッタ飛散防止部３７０８の場合、４０００ステッ
プで定常状態に達したと判断し、さらにｎ_s＝４０００
［ステップ］だけ定常状態のまま計算を続行し、時間平
均をとった。ｎ_s＝４０００［ステップ］（２．０×１
０^-4［ｓ］に相当）の間に、断面Ａから放出された分子
は７１７４０個、このうち、断面Ｂから出ていった分子
はＮ_B＝２５６１［個］であった。図２（ｃ），（ｄ）
に示した単なる遮蔽板のゲッタ飛散防止部３７０８の場
合、コンダクタンスは、Ｃ＝５．２７×１０^-5［ｍ³／
ｓ］であった。

【０１２２】図２（ｃ），（ｄ）に示した単なる遮蔽板
のゲッタ飛散防止部３７０８においては、画像表示部を
正面から見た場合、ゲッタ飛散防止部３７０８の両端に
１０ｍｍの隙間があり、そこを通って気体分子が移動す
る。ゲッタ飛散防止部３７０３の両端の隙間の間隔をδ
とすると、δ＝５［ｍｍ］ではＣ＝２．９１×１０
^-5［ｍ³／ｓ］、δ＝７．５［ｍｍ］では、Ｃ＝４．２
１×１０^-5［ｍ³／ｓ］、δ＝１２．５［ｍｍ］では、
Ｃ＝６．５６×１０^-5［ｍ³／ｓ］となった。

【０１２３】これらのコンダクタンスの計算結果からわ
かるように、図２（ａ），（ｂ）に示したシェブロン型
ゲッタ飛散防止部１１３と同程度のコンダクタンスを、
図２（ｃ），（ｄ）に示した単なる遮蔽板のゲッタ飛散
防止部３７０８で実現するには、ゲッタ飛散防止部３７
０８の両端の隙間の間隔を、およそ、δ＝１０［ｍｍ］
に設定しなくてはならない。

【０１２４】図２（ａ），（ｂ）に示したシェブロン型
ゲッタ飛散防止部１１３においては、ゲッタをゲッタフ
ラッシュ部の全領域に設置することが可能である。それ
に対して、単純に考えると、図２（ｃ），（ｄ）に示し
た単なる遮蔽板のゲッタ飛散防止部３７０８では、画像
表示部にゲッタ材の粒子が飛散しないようにするため
に、遮蔽板のゲッタ飛散防止部３７０３の背後のゲッタ
フラッシュ部にしか、ゲッタを設置できない。

【０１２５】図２（ｃ），（ｄ）に示したものにおいて
は、ゲッタ飛散防止部３７０８の遮蔽板の長さは、３０
ｍｍしかなく、そのため、ゲッタを設置できる領域も、
画像表示部を正面から見て幅３０ｍｍしかない。これ
は、図２（ａ），（ｂ）に示したシェブロン型ゲッタ飛
散防止部１１３に比べて著しく不利である。取り付けら
れるゲッタ材の量が少なければ、それだけ高真空度を維
持できる期間が短くなり、画像表示装置としての寿命が
短くなる。また、排気性能そのものも悪くなり、画像表
示部を十分な真空度にすることができなくなる。

【０１２６】しかし、これらの欠点を補うために、図２
（ｃ），（ｄ）に示した単なる遮蔽板のゲッタ飛散防止
部３７０８の両端と外枠１０３との隙間の間隔を狭くす
ると、図２（ａ），（ｂ）に示したシェブロン型ゲッタ
飛散防止部１１３と比べてコンダクタンスが小さな値に
なってしまう。

【０１２７】これらのことからもわかるように、本形態
のシェブロン型ゲッタ飛散防止部は、従来の、単なる遮
蔽板のゲッタ飛散防止部に比べて、画像表示装置の寿命
の長期化、画像表示部の高真空度化、排気時間の短縮に
有利である。

【０１２８】（第２の実施の形態）図３は、本発明の画
像表示装置（蛍光表示管）の第２の実施の形態を示す図
であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０１２９】本形態は図３に示すように、ガラス等の絶
縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート３０
１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート３０
１と対向して設けられるリアプレート３０２と、フェー
スプレート３０１及びリアプレート３０２のそれぞれの
周縁部とが外枠３０３を介して接合されて気密容器を形
成し、外枠３０３は外部から気密容器にかかる圧力を支
える。フェースプレート３０１と外枠３０３、並びにリ
アプレート３０２と外枠３０３とのそれぞれが接合する
部分は、低融点ガラス等によって封着されている。ま
た、外枠３０３には、装置内部の排気を行うための排気
管３０４が設けられている。また、フェースプレート３
０１には、画像パターン３００が形成されている。

【０１３０】また、気密容器内において、フェースプレ
ート３０１及びリアプレート３０２に、平板をＶ字に折
り曲げた形状の複数の板のゲッタ飛散防止壁からなるゲ
ッタ飛散防止部３０８及びゲッタ保持治具３０６が略垂
直に低融点ガラス等によって固着され、ゲッタ保持治具
３０６にはゲッタ保持棒３０７が固着され、ゲッタ保持
棒３０７の先端にはリング状のゲッタ３０５が固着され
ている。このように、フェースプレート、リアプレー
ト、外枠、ゲッタ飛散防止部で囲まれ、ゲッタ４０５が
配置されている領域により、ゲッタフラッシュ部が形成
されている。

【０１３１】ゲッタ飛散防止部３０８では、少なくとも
二枚のＶ字形の板からなるゲッタ飛散防止壁がそれぞ
れ、画像表示部側から見て隙間の無いように最も外枠３
０３に近いゲッタ飛散防止壁の一部が外枠３０３に接触
しており、そして互いに接触することの無いように一直
線上に配設される。そして本形態では、Ｖ字形の板の頂
点Ｔはすべて同一方向に向けられ、隣りのＶ字形の板の
二つの端点Ｅを結んだ際の中間に位置している。

【０１３２】さらに、ゲッタ飛散防止部３０８を間に置
いてゲッタ３０５が設けられた側と反対側には、画像表
示部である複数の表示部が並設され、各表示部は、フェ
ースプレート３０１上の画像パターン（アノードと蛍光
体とからなる）３００と、画像表示内容を制御するコン
トロールグリッド３１０と、フィラメント３０９とから
構成される。

【０１３３】本形態で使われるゲッタ飛散防止部３０８
のＶ字形を、画像表示部からゲッタが配置された側（ゲ
ッタフラッシュ部）への直線的光学経路がないように設
置することの効果を原理的に説明する。

【０１３４】フラッシュさせることによって、飛散した
ゲッタ材の粒子は、ゲッタフラッシュ部の中を拡散す
る。しかし、一般の気体分子と異なり、ゲッタ材の粒子
は、固体壁に衝突すると、その場で付着してしまう性質
を持っている。ゲッタ材の粒子が、本発明で使われるゲ
ッタ飛散防止部を通り抜けて、画像表示部へ達するため
には、ゲッタ飛散防止部を構成するＶ字形の板または気
密容器の内壁に衝突しなくてはならない。ゲッタ材の粒
子は、ゲッタ飛散防止部を構成するＶ字形の板また気密
容器の内壁に衝突する際、その場で付着してしまう。従
って、本発明のゲッタ飛散防止部の構成ならば、ゲッタ
材の粒子がゲッタフラッシュ部から画像表示部に通り抜
けることはなく、画像表示部へのゲッタ材の回り込みを
防ぐことができる。

【０１３５】一方、一般の気体分子は、ゲッタ飛散防止
部を構成するＶ字形の板と衝突を繰返しながら、本発明
のゲッタ飛散防止部を通り抜けることが可能である。

【０１３６】以下に、上述した画像表示装置の製造方法
について説明する。

【０１３７】フェースプレート３０１、リアプレート３
０２、外枠３０３、ゲッタ飛散防止部３０８及びゲッタ
保持治具３０６のそれぞれの接合部分に予め低融点ガラ
スを塗布しておき、ゲッタ飛散防止部３０８、ゲッタ保
持治具３０６及び外枠３０３を位置決め治具により配置
して低融点ガラスを加熱し、軟化させ、その後冷却する
ことによりそれぞれの部材を固着させる。

【０１３８】全ての部材の固着後、排気管３０４からタ
ーボ分子ポンプ等によって気密容器内のガスを排気し、
画像表示装置内が十分な真空度に達した後に排気管３０
４を封止する。

【０１３９】排気管３０４を封止した後、ゲッタ３０５
を誘導加熱等によりフラッシュさせ、画像表示装置を完
成させる。

【０１４０】画像表示装置の完成後、フィラメント３０
９を加熱すると、加熱によって発生した電子が、不図示
のアノードにより加速され、画像パターンに衝突する。
それによりフェースプレート３０１上に画像が表示され
る。

【０１４１】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、短時間で排気を行うことができ、画像の輝度む
らも少なくなった。

【０１４２】（第３の実施の形態）図４は、本発明の画
像表示装置の第３の実施の形態を示す図であり、（ａ）
は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０１４３】本形態は図４に示すように、ガラス等の絶
縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート４０
１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート４０
１と対向して設けられるリアプレート４０２と、フェー
スプレート４０１及びリアプレート４０２のそれぞれの
周縁部と接合されて気密容器を形成し、外部から気密容
器にかかる圧力を支え、フェースプレートとリアプレー
ト間の距離を決めるため外枠４０３とを有し、フェース
プレート４０１と外枠４０３、並びにリアプレート４０
２と外枠４０３とのそれぞれが接合する部分は、低融点
ガラス等によって封着されている。なお、排気管（不図
示）は、フェースプレート上に２本取り付けられてい
る。

【０１４４】また、気密容器内において、フェースプレ
ート４０１及びリアプレート４０２に複数のＶ字形の板
のゲッタ飛散防止壁からなるゲッタ飛散防止部４０８及
びゲッタ保持治具４０６が略垂直に低融点ガラス等によ
って固着され、ゲッタ保持治具４０６にはゲッタ保持棒
４０７が固着され、ゲッタ保持棒４０７の先端にはリン
グ状のゲッタ４０５が固着されている。

【０１４５】ゲッタ飛散防止部４０８では、少なくとも
二枚のＶ字形の板からなるゲッタ飛散防止壁がそれぞ
れ、画像表示部から見て隙間の無いように、そして互い
に接触することの無いように配設される。そして本形態
では、Ｖ字形の板の頂点Ｔを同一方向に向け、隣りのＶ
字形の板の二つの端部（端点）Ｅを結んだ際の中間に位
置してなる、複数のＶ字形の板の組みが、その組どうし
の頂点Ｔの向きは異なるが、対称に一直線に配置されて
いる。また、その対称中心位置には、一個のＶ字形の板
が、その端部Ｅが隣りのＶ字型の板の端部間を結ぶ線分
の中点に位置するよう配置した。さらに、当該Ｖ字形の
二つの側面部によるＶゾーンをゲッタフラッシュ部側に
向けて配置されている（以下、このようなゲッタ飛散防
止部を変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部と呼ぶ）。な
お、ここでは、対称形状に配列したが、本発明はこれに
限るものではない。

【０１４６】さらに、ゲッタ飛散防止部４０８を間に置
いてゲッタ４０５が設けられた側と反対側のフェースプ
レート４０１には、画像表示部である複数の表示部が並
設され、各表示部は、画像パターン（不図示）と、画像
表示内容を制御するコントロールグリッド４１０と、フ
ィラメント４０９とから構成される。

【０１４７】以下に、上述した画像表示装置の製造方法
について説明する。

【０１４８】フェースプレート４０１、リアプレート４
０２、外枠４０３、ゲッタ飛散防止部４０８及びゲッタ
保持治具４０６のそれぞれの接合部分に予め低融点ガラ
スを塗布しておき、ゲッタ飛散防止部４０８、ゲッタ保
持治具４０６及び外枠４０３を位置決め治具により位置
決めして低融点ガラスを加熱し、軟化させ、その後冷却
することによりそれぞれの部材を固着させる。

【０１４９】全ての部材の固着後、排気管（不図示）か
らターボ分子ポンプ等によって気密容器内のガスを排気
し、画像表示装置内が十分な真空度に達した後に排気管
を封止する。

【０１５０】排気管を封止した後、ゲッタ４０５を誘導
加熱等によりフラッシュさせ、画像表示装置を完成させ
る。

【０１５１】画像表示装置の完成後、フィラメント４０
９を加熱すると、加熱によって発生した電子が、コント
ロールグリッド４１０により加速され、画像パターンに
衝突する。それによりフェースプレート４０１上に画像
が表示される。

【０１５２】以下に、変形シェブロン型ゲッタ飛散防止
部の詳細について図面を参照して説明する。

【０１５３】図５は、図４に示したゲッタ飛散防止部４
０８の一部分を示す図であり、（ａ）は上から見た図、
（ｂ）は横から見た図、（ｃ）はゲッタ飛散防止部４０
８を気密容器内に設置した図（図４（ａ），（ｂ）に対
応）である。

【０１５４】変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部の形状
は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、Ｖ字形の高さ
ａ、Ｖ字形の幅の１／２のｂ，ゲッタ飛散防止壁の高さ
ｈ及びゲッタ飛散防止壁の厚さδで決定される。

【０１５５】図５（ｃ）に示すように、ゲッタ飛散防止
部からゲッタが設けられている側の画像表示装置側面ま
での距離Ｌが予め決まっている場合、ゲッタ材が付着す
る面の面積を大きくするためには、変形シェブロン型ゲ
ッタ飛散防止部の占める幅２ｂを狭くしなくてはならな
い。このとき、Ｖ字形の高さａも、Ｖ字形の幅の１／２
のｂに応じて調節して、図５（ａ）に示す頂点の角度θ
が極端に小さくならないようにすることが重要である。
角度θが小さくなると、画像表示部からゲッタ飛散防止
部に向かって流れてきたガスが、もと来た方向に跳ね返
されやすくなってしまう。また、画像表示部からゲッタ
飛散防止部に向かって流れてきたガスが、ゲッタフラッ
シュ部側へ流れ出る場合においても、角度θが大きな場
合に比べて、ガスが実際に流れていく距離が長くなって
しまう。このため、角度θが小さいと、ガスは画像表示
部からゲッタフラッシュ部へ流れにくくなり、コンダク
タンスが小さくなってしまう。

【０１５６】図６は、図５に示した頂点の角度θと気体
分子の通り抜けやすさの関係を説明するための図であ
り、（ａ）はａ：ｂ＝１：１で角度θが９０°の場合の
図、（ｂ）はａ：ｂ＝２：１で角度θが５３．１°の場
合の図である。

【０１５７】図６に示すように、図６（ｂ）に示すもの
においては、画像表示部から流れてきたガスの分子６０
２が変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部を通り抜けるた
めに実際に流れた距離は、図６（ａ）に示すものにおけ
るガスの分子６０１が流れた距離よりも長い。また、ガ
スの分子６０３は、画像表示素子部の方へ、跳ね返され
てしまっている。ここで、ガスの分子６０１，６０２，
６０３は、フェイスプレート、リアプレートに対して平
行に、かつ、変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部を構成
するＶ字形のガラス板の頂点を結んだ直線に対して垂直
に、流れているものとし、また、変形シェブロン型ゲッ
タ飛散防止部を構成するガラス板に衝突する際、ガラス
表面に吸着、滞留することはなく、すぐに鏡面反射する
ものとする。

【０１５８】容積２０８ｃｍ³、内側の表面積１２２３
ｃｍ²の気密容器からなる画像表示装置において、変形
シェブロン型ゲッタ飛散防止部を用いて、以下に示すよ
うな条件下で、コンピューターシミュレーションを行
い、気密容器内の圧力分布を計算した。なお、画像表示
装置のおおまかな形状は、以下のとおりである。気密容
器の正面から見た長方形の縦の辺の長さは２１．６ｃ
ｍ、横の辺の長さは２４．６ｃｍ、厚さ（フェースプレ
ートとリアプレートとの間隔）は０．３８ｃｍとする。
ゲッタフラッシュ部近傍のフェースプレートには、直径
０．８３ｃｍ、長さ５．２９ｃｍの円筒状の排気管が二
本取り付けられているとする。排気管の先端は、封止さ
れているものとする。また、画像表示部には、不図示の
スペーサと呼ばれる大気圧支持構造（長さ４ｃｍ、高さ
０．３８ｃｍ）が計２８個組み込まれている。

【０１５９】なお、シミュレーションの際の計算方法に
ついては、本明細書の第１の実施の形態においてすでに
説明しているので、ここでは、特に詳しく説明しない。

【０１６０】気密容器全体の温度を３００Ｋで一定と
し、Ｈ₂Ｏ（水蒸気）が、１．０×１０^-10Ｔｏｒｒ・リッ
トル／ｃｍ²／ｓの割合で１１５９ｃｍ²の表面積から放出
され続け、残りの表面積６４ｃｍ²にゲッタ材が付着し
ているとした。また、ゲッタの吸着率を０．０１とし
た。ここで、吸着率０．０１とは、確率として、１００
個のＨ₂Ｏ分子がゲッタ材の付着している壁に衝突した
場合、１個のＨ₂Ｏ分子がゲッタに吸着されるという意
味である。

【０１６１】一般に、ガラス材では、洗浄後、真空で加
熱すれば、ステンレス網並みにガス放出速度を抑えるこ
とができる。したがって、このコンピュータシミュレー
ションで仮定した、ガス放出速度１．０×１０^-10Ｔｏ
ｒｒ・リットル／ｃｍ²／ｓは、適切な値と考えられる（林
義孝、「真空技術入門」、日刊工業新聞社（１９８
７））。

【０１６２】変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部の大き
さは図５にしたがって、ａ＝０．５ｃｍ，ｂ＝０．５ｃ
ｍ，ｈ＝０．３８ｃｍ，θ＝９０°，δ＝０ｃｍとし
た。

【０１６３】Ｈ₂Ｏ分子同志の衝突は無視し、Ｈ₂Ｏ分子
と固体壁との衝突のみ考慮する。

【０１６４】上述したような条件下で、Ｈ₂Ｏ分子の挙
動を、コンピューターシミュレーションを用いて仮想的
に追跡して、気密容器内部の気圧分布を計算したとこ
ろ、画像表示部では、Ｈ₂Ｏの分圧は１．５×１０^-8〜
３．４×１０^-8Ｔｏｒｒの範囲内になるという結果が得
られた。これは、蛍光表示管としては、十分使用に耐え
得る気圧の値である。したがって、変形シェブロン型ゲ
ッタ飛散防止部を使用することによる効果は非常に大き
い。

【０１６５】また、変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部
の大きさを、ａ＝１ｃｍ，ｂ＝０．５ｃｍ，ｈ＝０．３
８ｃｍ，θ＝５３．１°，δ＝０ｃｍとして、同様のコ
ンピューターシミュレーションを行ったところ、画像表
示部での、Ｈ₂Ｏの分圧は１．６×１０^-8〜３．７×１
０^-8Ｔｏｒｒの範囲内となり、θ＝９０°の場合より
も、Ｈ₂Ｏの分圧にむらが出てしまうという結果が得ら
れた。

【０１６６】次に、上述したシミュレーションにおける
画像表示装置と同等の画像表示装置を製作して、排気に
かかる時間、及び、画像の輝度むらを調べた。ただし、
変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部は、厚さ２００μｍ
のガラス板を用いた。

【０１６７】その結果、本発明の変形シェブロン型ゲッ
タ飛散防止部を採用した画像表示装置は、第１の実施の
形態と同様に、従来の一枚板のゲッタ飛散防止壁よりも
短時間で排気を行うことができ、輝度むらも少なく、ま
た、θ＝９０°の変形シェブロン型ゲッタ飛散防止部の
方が、θ＝５３．１°の場合よりも、短時間で排気を行
うことができ、輝度むらが少ないという結果が得られて
おり、本形態のゲッタ飛散防止部では、θ＝９０°とし
た。

【０１６８】また、本形態の画像表示装置においては、
画像表示部へのゲッタ材の回り込みは確認されず、配線
の短絡も全くなかった。

【０１６９】（第４の実施の形態）図７は、本発明の画
像表示装置の第４の実施の形態を示す図であり、（ａ）
は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０１７０】本形態は図７に示すように、ガラス等の絶
縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート７０
１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート７０
１と対向して設けられるリアプレート７０２と、外部か
ら気密容器にかかる圧力を支え、気密容器内のガスを排
気するための排気管７０４が設けられた外枠７０３とを
有し、フェースプレート７０１と外枠７０３、並びにリ
アプレート７０２と外枠７０３とのそれぞれが接合する
部分は、低融点ガラス等によって封着されて気密容器を
構成している。

【０１７１】また、気密容器内において、フェースプレ
ート７０１及びリアプレート７０２に複数の平板形の板
のゲッタ飛散防止壁からなるゲッタ飛散防止部７０８及
びゲッタ保持治具７０６が略垂直に低融点ガラス等によ
って固着され、ゲッタ保持治具７０６にはゲッタ保持棒
７０７が固着され、ゲッタ保持棒７０７の先端にはゲッ
タ７０５が固着され、ゲッタフラッシュ部が形成されて
いる。

【０１７２】ゲッタ飛散防止部７０８では、平板形のゲ
ッタ飛散防止壁が二枚以上、互いに接触することなく、
かつ、画像表示部からゲッタ７０５が配置された側への
直線的光学経路がないように配設されている。

【０１７３】さらに、ゲッタ飛散防止部７０８を間に置
いてゲッタ７０５が設けられた側と反対側のフェースプ
レート７０１には、画像表示部である複数の表示部が並
設され、各表示部は、画像パターン（不図示）と、画像
表示内容を制御するコントロールグリッド７１０と、フ
ィラメント７０９とから構成される。

【０１７４】本形態で使用されているゲッタ飛散防止部
７０８は、図４に示した変形シェブロン型ゲッタ飛散防
止部及び図３に示したシェブロン型ゲッタ飛散防止部と
比べて形状がかなり異なっている。そこで、以下に、本
形態におけるゲッタ飛散防止部７０８について図面を参
照して説明する。

【０１７５】図８は、本発明の第４の実施の形態におけ
るゲッタ飛散防止部について説明するための図であり、
（ａ）は図３に示したシェブロン型ゲッタ飛散防止部を
示す図、（ｂ）〜（ｅ）は（ａ）に示したシェブロン型
ゲッタ飛散防止部から本発明の第４の実施の形態におけ
るゲッタ飛散防止部を形成する工程を示す図である。な
お、図８（ａ）に示すシェブロン型ゲッタ飛散防止部の
それぞれのゲッタ飛散防止壁の大きさは、図５の表記法
にしたがって、ａ＝１，ｂ＝１，θ＝９０°で表される
とする（ａ，ｂの長さの単位は特に指定しない）。ま
た、板の厚みは、簡単のため、ここでは無視する。

【０１７６】以下に、本形態におけるゲッタ飛散防止部
の形成工程について説明する。

【０１７７】まず、図８（ａ）に示すシェブロン型ゲッ
タ飛散防止部の、それぞれのＶ字形の板のゲッタ飛散防
止壁の片辺を取り除く。ここで、隣り合う板どうしの取
り除く辺は異なる辺とする（図８（ｂ））。

【０１７８】次に、ゲッタ材の粒子の通り抜けを防ぐた
めに、ゲッタ飛散防止部と平行に複数の平板を付け加え
る。ここで、付け加えられる平板においては、その大き
さを、図８（ｂ）において取り除かれた辺の大きさ同じ
とし、その向きを、平板が付け加えられる側と反対側の
列にあるゲッタ飛散防止壁と平行になるように設置する
（図８（ｃ））。

【０１７９】その後、さらに十分にゲッタ材の粒子を遮
るために、図８（ｄ）に示す破線部分に板を付け加える
（図８（ｅ））。

【０１８０】以下に、上述した工程によって構成された
ゲッタ飛散防止部の各ゲッタ飛散防止壁の位置関係につ
いて説明する。

【０１８１】図９は、図７に示したゲッタ飛散防止部に
おけるゲッタ飛散防止壁の位置関係を示す図である。

【０１８２】本形態で使われるゲッタ飛散防止部は、Ａ
Ａ’，ＢＢ’，ＣＣ’の三枚の板を一つの要素として、
この要素を一列に並べたものである。

【０１８３】ＡＡ’とＣＣ’は平行で、ＢＢ’の延長線
はＡＡ’と直交する。また、ＡＡ’及びＣＣ’の長さ
は、ＢＢ’の長さと異なる。

【０１８４】ＡＡ’及びＤＤ’は、シェブロン型ゲッタ
飛散防止部の一部だったものであり、また、ＣＣ’も、
これらと同じ長さの板なので、ＡＡ’＝ＤＤ’＝ＣＣ’
＝√２が成立する。

【０１８５】図８（ｅ）の工程において付け加えられた
板の部分は、ＢＤ及びＤ’Ｂ’に対応する。

【０１８６】点Ｂは、破線ＡＣ’と線分ＤＤ’の延長線
の交点である。線分ＤＤ’を点Ｂ及び点Ｂ’まで延ばす
ことによって、ゲッタ材の粒子の回り込みを完全に防ぐ
ことができる。ＢＤ及びＤ’Ｂ’の長さをａとすると、
幾何学的な考察より、 （ａ／√２）ｔａｎθ＋（ａ／√２）＝１／３ ｔａｎθ＝１／３ という関係が得られ、これより、 ａ＝１／（２√２） と分かる。そして、 ＡＡ＝ＤＤ’＝ＣＣ’＝√２、ＢＤ＝Ｄ’Ｂ’＝１／
（２√２） より、板の長さを定めることができる。

【０１８７】上述したように、Ｖ字形をした板が、画像
表示部側から見て隙間の無いように、そして互いに接触
することの無いように一直線上に、かつ、Ｖ字形の板の
頂点（角部）をすべて同一方向に向けられ、隣りのＶ字
形の板の二つの端点を結んだ際の中間に位置したような
構造であるゲッタ飛散防止部が、あらかじめ一つ用意さ
れていれば、それを基にして、平板形のゲッタ飛散防止
壁が二枚以上、互いに接触することなく、かつ、画像表
示部の任意の点とゲッタフラッシュ部の任意の点を結ん
だ線が必ずゲッタ飛散防止壁と交差するように配設され
る構造であるゲッタ飛散防止部を新たに構成することが
可能である。

【０１８８】上記のような方法を用いて構成された新た
なゲッタ飛散防止部において、画像表示部からゲッタが
配置された側への直線的光学経路がないことを確認する
ためには、以下に記載するような方法が効果的である。

【０１８９】まず、上記のような方法を用いて新たに構
成したゲッタ飛散防止部の拡大模型を製作する。

【０１９０】次に、製作した模型の画像表示部の側か
ら、反対側のゲッタフラッシュ部の方へ視線を向ける。
画像表示部のあらゆる場所からのあらゆる視線方向に対
して、ゲッタ飛散防止部を構成する板が邪魔をして、ゲ
ッタフラッシュ部側を見通すことができなければ、製作
されたゲッタ飛散防止部において、画像表示部からゲッ
タが配置された側への直線的光学経路がないといえる。

【０１９１】図７に示した画像表示装置を製作したとこ
ろ、排気時間も短く、画像表示装置内の真空度を高くす
ることができ、画面の輝度むらも少ないという結果が得
られた。また、ゲッタ材の画像表示部への回り込みは確
認されず、配線の短絡が発生することはなかった。

【０１９２】（第５の実施の形態）第５の実施の形態と
して、ゲッタ飛散防止部に円弧状（半円）の板を用いる
場合について述べる。

【０１９３】図１０は、本発明の画像表示装置の第５の
実施の形態におけるゲッタ飛散防止部について説明する
ための図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は図８に示し
たシェブロン型ゲッタ飛散防止部を示す図、（ｃ）は
（ｂ）に示したシェブロン型ゲッタ飛散防止部を基にし
て形成された円弧状のゲッタ飛散防止壁を示す図であ
る。なお、本形態で作製した画像表示装置のその他の構
成は、第２の実施の形態と同様なので省略する。また、
図１０（ａ）〜（ｃ）において、Ｔは頂点、Ｅは端点を
それぞれ示す。また、図１０（ｂ）に示すシェブロン型
ゲッタ飛散防止部のそれぞれのゲッタ飛散防止壁の大き
さは、図５の表記法にしたがって、ａ＝１，ｂ＝１，θ
＝９０°で表されるとする（ａ，ｂの長さの単位は特に
指定しない）。また、板の厚みは、簡単のため、ここで
は無視する。

【０１９４】本形態におけるゲッタ飛散防止部は図１０
（ａ）に示すように、円弧状の板が二枚以上、互いに接
触することなく、同じ向きに、かつ、画像表示部からゲ
ッタが配置された側（ゲッタフラッシュ部）の任意の一
点を結ぶ直線上に必ずゲッタ飛散防止壁があるように配
設される。

【０１９５】図１０（ｂ）の線分を、半径１の円の１８
０°の弧に置き換えれば、図１０（ｃ）のような複数の
半円状のゲッタ飛散防止壁からなるゲッタ飛散防止部が
得られる。

【０１９６】上述したように、Ｖ字形をした板が、画像
表示部側から見て隙間の無いように、そして互いに接触
することの無いように一直線上に、かつ、Ｖ字形の板の
頂点をすべて同一方向に向けられ、隣りのＶ字形の板の
二つの端点（端部）を結んだ際の中間に位置したような
構造であるゲッタ飛散防止部が、あらかじめ一つ用意さ
れていれば、それを基にして、円弧状のゲッタ飛散防止
壁が二枚以上、互いに接触することなく、頂点を同じ向
きに、かつ、画像表示部からゲッタが配置された側への
直線的光学経路がないように配設される構造であるゲッ
タ飛散防止部を新たに構成することが可能である。

【０１９７】図１０に示したゲッタ飛散防止壁を用いた
本形態の画像表示装置を製作したところ、第２の実施の
形態と同様に、排気時間を短縮することができ、画像表
示装置内の真空度を高くすることができ、画面の輝度む
らも少ないという結果が得られた。また、ゲッタ材の画
像表示部への回り込みは確認されず、配線の短絡が発生
することはなかった。

【０１９８】（第６の実施の形態）図１１は、本発明の
画像表示装置の第６の実施の形態におけるゲッタ飛散防
止部について説明するための図であり、（ａ）は図１０
に示したゲッタ飛散防止部を示す図、（ｂ）〜（ｄ）は
（ａ）に示したゲッタ飛散防止部から本発明の第６の実
施の形態におけるゲッタ飛散防止部を形成する工程を示
す図である。

【０１９９】本形態は、円弧状をした板を、二枚以上、
互いに接触することなく、かつ、画像表示部からゲッタ
が配置された側への直線的光学経路がないように設され
る構造であるゲッタ飛散防止部を基にして、新たに製作
されるゲッタ飛散防止部である。

【０２００】以下に、本形態におけるゲッタ飛散防止部
の形成工程について説明する。

【０２０１】まず、図１１（ａ）に示すゲッタ飛散防止
部の、それぞれのゲッタ飛散防止壁の円弧の１／２を取
り除く。ここで、隣り合う板どうしの取り除く円弧部分
は異なる部分とする（図１１（ｂ））。

【０２０２】次に、ゲッタ材の粒子の通り抜けを防ぐた
めに、取り除かれた円弧部分と同じ形の板を複数個付け
加える。ここで、付け加えられる板の向きは、板が付け
加えられる側と反対側の列にあるゲッタ飛散防止壁と同
じ向きとする（図１１（ｃ））。

【０２０３】その後、さらに十分にゲッタ材の粒子を遮
るために、図１１（ｂ）において残された板のうち新た
に板が付け加えられた側の板を平板に変形させる（図１
１（ｄ））。

【０２０４】以下に、図１１（ｄ）における板の変形に
ついて詳細に述べる。

【０２０５】上述した工程のなかで形状に変更のあった
板ＤＤ’は、直線ＡＣ’及び直線Ａ’Ｆの交点と直線Ｅ
Ｆ’及び直線Ａ’Ｆとの交点を結んだ線分である。ここ
で、直線ＡＣ’と直線ＤＤ’は直交している。

【０２０６】線分ＡＣ’上の任意の点と線分ＥＦ’上の
任意の点を結んだ線分を板とすれば、ゲッタ材の粒子の
回り込みを防ぐことができる。線分ＤＤ’は、好ましく
はこのような板の中で最短のものであるといえる。

【０２０７】線分ＤＤ’の長さをａとする。また、∠Ｄ
ＦＣ＝θ，∠ＦＡ’Ｃ＝αとする。

【０２０８】α＝π／４−θ， ｔａｎθ＝１／３よ
り、ｔａｎα＝１／２と分かる。

【０２０９】よって、ｃｏｓα＝２／√５である。

【０２１０】また、ａ＝２√２ｃｏｓα−（１／√２）
ｃｏｓαであるので、ａ＝（３√２）／√５と分かる。

【０２１１】これらによって、図１１（ｄ）に示す板Ｄ
Ｄ’の形状と位置関係が定まる。

【０２１２】図１２は、図１１に示した板の配置または
形状を変更した例を示す図である。

【０２１３】図１２（ａ）に示すように、板ＧＧ’を、
直線Ａ’Ｆ’と平行になるように配置してもよい。

【０２１４】図１２（ａ）に示すものにおいては、点Ｇ
は線分ＡＣ’上にあり、点Ｇ’は線分ＥＦ’上にあるの
で、ゲッタ材の粒子の回り込みを完全に防ぐことができ
る。線分ＧＧ’の長さをｂとすると、幾何学的考察よ
り、ｂ＝３／√２と分かる。

【０２１５】図１２（ｂ）に示すように、図１２（ａ）
に示した線分ＧＧ’を、角度９０°の二つの円弧を組み
合せたものに置き換えてもよい。

【０２１６】図１２（ｂ）に示すものにおいても、ゲッ
タ材の粒子の回り込みを完全に防ぐことができる。円弧
の半径をｒとすると、（ｂ／２）² ＝２ｒ²より、ｒ＝
３／４と分かる。

【０２１７】図１２（ｃ）に示すように、図１１（ｄ）
に示した円弧のふくらみが逆になるように配置してもよ
い。

【０２１８】図１２（ｃ）に示すものにおいては、円弧
ＡＡ’及び円弧ＣＣ’の両方に接すると直線をｌ₁、円
弧ＥＥ’及び円弧ＦＦ’の両方に接する直線をｌ₂とす
る。またｌ₁及び円弧ＡＡ’の接点をＴ₁、ｌ₁及び円弧
ＣＣ’の接点をＴ₂、ｌ₂及び円弧ＥＥ’の接点をＴ₃、
ｌ₂及び円弧ＦＦ’の接点をＴ₄とする。

【０２１９】線分Ｔ₁Ｔ₂上の任意の点と、線分Ｔ₃Ｔ₄上
の任意の点を結ぶ線分を板とすれば、ゲッタ材の粒子の
回り込みを防ぐことができる。

【０２２０】図１２（ｃ）中における線分ＨＨ’は、直
線ｌ₁，ｌ₂を結ぶ最短距離であり、線分ＨＨ’はｌ₁及
びｌ₂と直交し、かつ、線分Ｅ’Ｃの中点を通るものと
する。

【０２２１】上述したように、円弧状の板を、二枚以
上、互いに接触することなく、同じ向きに、かつ、画像
表示部からゲッタが配置された側への直線的光学経路が
ないように配設される構造であるゲッタ飛散防止部が、
あらかじめ一つ用意されていれば、それを基にして、新
たな形状及び配置のゲッタ飛散防止部を構成することが
可能である。

【０２２２】図１１（ｄ）及び図１２に示したゲッタ飛
散防止部を第２の実施の形態に適用した画像表示装置を
製作したところ、第２の実施の形態と同様に、従来の画
像表示装置よりも、排気時間を短縮することができ、画
像表示装置内の真空度を高くすることができ、画面の輝
度むらも少ないという結果が得られた。また、ゲッタ材
の画像表示部への回り込みは確認されず、配線の短絡が
発生することはなかった。

【０２２３】（第７の実施の形態）図１３は、本発明の
画像表示装置の第７の実施の形態におけるゲッタ飛散防
止部の一部分を示す図であり、（ａ）は上から見た図、
（ｂ）は横から見た図である。

【０２２４】本形態は図１３に示すように、第２の実施
の形態におけるものと比べて、ゲッタ飛散防止壁どうし
の間隔を狭くし、Ｖ字形の板の頂点が、隣りのＶ字形の
板の端点を結んだ線よりも隣りのＶ字形の板の頂点より
に位置するように構成されたものである。

【０２２５】上述したゲッタ飛散防止部の形状及び配置
は、Ｖ字形の高さａ、Ｖ字形の幅の１／２のｂ、Ｖ字形
の頂点Ｔと、隣接するＶ字形の二つの端点Ｅを結ぶ辺と
の間隔ｃ、ゲッタ飛散防止壁の厚さδ及びゲッタ飛散防
止壁の高さｈによって決定される。

【０２２６】図１３に示したゲッタ飛散防止部を第２の
実施の形態の画像表示装置に適用した画像表示装置を製
作したところ、第２の実施の形態と同様に、従来の画像
表示装置よりも、排気時間を短縮することができ、画像
表示装置内の真空度を高くすることができ、画面の輝度
むらも少ないという結果が得られた。また、ゲッタ材の
画像表示部への回り込みは確認されず、配線の短絡が発
生することはなかった。なお、排気時間は、第２の実施
の形態の方が短かった。

【０２２７】（第８の実施の形態）図１４は、本発明の
画像表示装置の第８の実施の形態を示す図であり、
（ａ）は正面から見た図、（ｂ）は装置奥行き方向の断
面図、（ｃ）は裏面から見た図、（ｄ）は側面から見た
断面図である。

【０２２８】本形態は図１４に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート１
４０１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
１４０１の裏面側にフェースプレート１４０１と対向し
て設けられるリアプレート１４０２と、フェースプレー
ト１４０１及びリアプレート１４０２のそれぞれの周縁
部と接合されて気密容器を形成し、外部から気密容器に
かかる圧力を支え、気密容器内のガスを排気するための
排気管１４０４が設けられた外枠１４０３とを有し、フ
ェースプレート１４０１と外枠１４０３、並びにリアプ
レート１４０２と外枠１４０３とのそれぞれが接合する
部分は、低融点ガラス等によって封着されている。な
お、Ｖ字状のゲッタ飛散防止壁の各頂点を結ぶ線（稜
線）と中板とは平行である。

【０２２９】また、気密容器内は、中板１４０５によっ
て二つの部屋に分かれており、中板１４０５の両側には
シェブロン型ゲッタ飛散防止部１４０９が設けられてお
り、また、中板１４０５、リアプレート１４０２及び外
枠１４０３にゲッタ保持治具１４０７が略垂直に低融点
ガラス等によって固着され、ゲッタ保持治具１４０７に
はゲッタ保持棒１４０８が固着され、ゲッタ保持棒１４
０８の先端にはゲッタ１４０６が固着され、ゲッタフラ
ッシュ部が形成されている。ゲッタ飛散防止部１４０９
の中板１４０５よりもフェースプレート１４０１側の部
分には、遮蔽板１４１２が取り付けられている。これ
は、ゲッタ飛散防止部１４０９がシェブロン構造として
作用する方向とは垂直な方向に対して、ゲッタ材の粒子
が素通りするのを防ぐためのものである。さらに、中板
１４０５を間に置いてゲッタ１４０６が設けられた側と
反対側には、画像表示部である複数の表示部が並設さ
れ、各表示部は、画像パターン（不図示）と、画像表示
内容を制御するコントロールグリッド１４１１と、フィ
ラメント１４１０とから構成される。

【０２３０】以下に、上述した画像表示装置の製造方法
について説明する。

【０２３１】フェースプレート１４０１、リアプレート
１４０２、外枠１４０３、中板１４０５、ゲッタ飛散防
止部１４０９及びゲッタ保持治具１４０７のそれぞれの
接合部分に予め低融点ガラスを塗布しておき、ゲッタ飛
散防止部１４０９、ゲッタ保持治具１４０７及び外枠１
４０３を位置決め治具により配置して低融点ガラスを焼
成することによりそれぞれの部材を固着させる。

【０２３２】全ての部材の固着後、排気管１４０４から
ターボ分子ポンプ等によって気密容器内のガスを排気
し、画像表示装置内が十分な真空度に達した後に排気管
１４０４を封止する。排気管は、ゲッタが配置されてい
る側に形成しても良い。

【０２３３】排気管１４０４を封止した後、ゲッタ１４
０６を誘導加熱等によりフラッシュさせ、画像表示装置
を完成させる。

【０２３４】画像表示装置の完成後、フィラメント１４
１０を加熱すると、加熱によって発生した電子が、コン
トロールグリッド１４１１により加速され、画像パター
ンに衝突する。それによりフェースプレート１４０１上
に画像が表示される。

【０２３５】図１４に示した画像表示装置を製作したと
ころ、排気時間を短縮することができ、画像表示装置内
の真空度を高くすることができ、表示部側へのゲッタ回
り込みもなく、画面の輝度むらも少ないという結果が得
られた。また、本形態のような２室構造の画像表示装置
においては、ゲッタ付着面積を画像表示部と同程度に大
きくとれるので真空度維持には有効であり、長時間駆動
しても画像の劣化が見られなかった。

【０２３６】（第９の実施の形態）第９の実施の形態と
して、蛍光体励起源に表面伝導型電子放出素子を用いた
場合について述べる。

【０２３７】図１５は、表面伝導電子放出素子の模式図
である。

【０２３８】本形態における表面伝導電子放出素子は図
１５に示すように、ガラス等の絶縁物からなる基板であ
るリアプレート１５０１上に形成され、引き出し電極
（不図示）に接続されている下配線１５０２と、下配線
１５０２上に形成された絶縁層（不図示）上に形成さ
れ、引き出し電極（不図示）に接続されている上配線１
５０３と、Ｐｄ薄膜を用いた表面伝導型電子放出素子１
５０４と、上配線１５０３及び下配線１５０２と表面伝
導型電子放出素子１５０４との電気的接続を行う結線１
５０５とから構成されている。また、引き出し電極に
は、表面伝導型電子放出素子を駆動させるための外部駆
動電源（不図示）が接続されている。

【０２３９】以下に、上述した表面伝導電子放出素子の
形成方法について説明する。

【０２４０】リアプレート１５０１上に下配線１５０２
を蒸着等により形成する。

【０２４１】次に、下配線１５０２が形成された上に絶
縁層を化学気相成長法等により形成する。

【０２４２】次に、絶縁層が形成された上に上配線１５
０３を蒸着等により形成する。

【０２４３】その後、結線１５０５により上配線１５０
３及び下配線１５０２と表面伝導型電子放出素子１５０
４との電気的接続を行う。

【０２４４】以下に、表面伝導型電子放出素子１５０４
について詳細に述べる。

【０２４５】図１６は、図１５に示した表面伝導型電子
放出素子１５０４の構成を示す図であり、（ａ）は平面
図、（ｂ）は断面図である。

【０２４６】図１６に示すように、基板１７０１上に素
子電極１７０２，１７０３が配置され、素子電極１７０
２及び１７０３間が導電性薄膜１７０４によって接続さ
れ、導電性薄膜１７０４には電子放出部１７０５が形成
されている。

【０２４７】対向する素子電極１７０２，１７０３の材
料としては、一般的な導体材料を用いることができる。

【０２４８】素子電極１７０２及び１７０３の間隔Ｌに
おいては、応用される形態等を考慮して設計される。ま
た、素子電極１７０２，１７０３の長さＷにおいては、
電極の抵抗値や電子放出特性を考慮して、数マイクロメ
ートルから数百マイクロメートルの範囲とすることがで
きる。さらに、素子電極１７０２，１７０３の膜厚ｄ
は、数百オングストロームから数マイクロメートルの範
囲とすることができる。

【０２４９】導電性薄膜１７０４の膜厚においては、素
子電極１７０２，１７０３へのステップカバレ−ジ、素
子電極１７０２及び１７０３間の抵抗値及び後述するフ
ォーミング条件などを考慮して適宜設定されるが、通常
は、数オングストロームから数千オングストロームの範
囲とするのが好ましい。

【０２５０】導電性薄膜１７０４を構成する材料におい
ては、Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃ
ｕ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｂなどの金
属、ＰｄＯ，ＳｎＯ₂，Ｉｎ₂Ｏ₃，ＰｂＯ，Ｓｂ₂Ｏ₃な
どの酸化物、ＨｆＢ₂，ＺｒＢ ₂，ＬａＢ₆，ＣｅＢ₆，Ｙ
Ｂ₄，ＧｄＢ₄などの硼化物、ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＨｆＣ，
ＴａＣ，ＳｉＣ，ＷＣなどの炭化物、ＴｉＮ，ＺｒＮ，
ＨｆＮなどの窒化物、Ｓｉ，Ｇｅなどの半導体、カーボ
ンなどの中から適宜選択される。

【０２５１】電子放出部１７０５は、導電性薄膜１７０
４の一部に形成された高抵抗の亀裂により構成され、導
電性薄膜１７０４の膜厚、膜質、材料及び後述する通電
フォーミングなどの手法などに依存したものとなる。電
子放出部１７０５の内部には、数オングストロームから
数百オングストロームの範囲の粒径の導電性微粒子が存
在する場合もある。この導電性微粒子は、導電性薄膜１
７０４を構成する材料の元素の一部、あるいは全ての元
素を含有するものとなる。電子放出部１７０５及びその
近傍の導電性薄膜１７０４に、炭素及び炭素化合物を有
することもできる。

【０２５２】以下に、本形態で用いた表面伝導型電子放
出素子の製造方法について説明する。

【０２５３】図１７は、図１５及び図１６に示した表面
伝導型電子放出素子の製造方法について説明するための
図である。

【０２５４】まず、基板１７０１（図１５のリアプレー
ト１５０１）となる青板ガラスを、洗剤、純水及び有機
溶剤により十分に洗浄し、その上に、スパッタ法により
素子電極１７０２，１７０３の材料であるＰｔを８００
オングストローム堆積させた（図１７（ａ））。なお、
図１６におけるＬは１０μｍ、Ｗは２００μｍとした。

【０２５５】次に、導電性薄膜パターニングの目的でリ
フトオフ用のＣｒ膜（不図示）を１０００オングストロ
ームの膜厚で真空蒸着した。この際、導電性薄膜１７０
４の幅Ｗ’（図１６参照）に対応するＣｒ膜の開口部分
の寸法を１００μｍとした。

【０２５６】素子電極１７０２，１７０３を形成した基
板１７０１（図１５のリアプレート１５０１）上に、有
機パラジウム溶液（奥野製薬（株）製、ｃｃｐ−４２３
０）をスピンナーにより回転塗布して放置することによ
り、有機Ｐｄ薄膜を形成し、有機Ｐｄ薄膜の形成後、大
気中において有機Ｐｄ薄膜を３００℃で１０分間加熱焼
成処理し、主としてＰｄＯ微粒子からなる導電性薄膜１
７０４を形成した。この導電性薄膜１７０４の膜厚は約
１２０オングストローム、シート抵抗値は５×１０⁴ Ω
／□であった。

【０２５７】その後、Ｃｒ膜及び導電性薄膜１７０４を
酸エッチャントによりウエットエッチングを行い、所望
のパターンを有する導電性薄膜１７０４を得た（図１７
（ｂ））。

【０２５８】上記のようにして作製した表面伝導型電子
放出素子を基板１７０１（図１５のリアプレート１５０
１）上に多数、図１５に示したような単純マトリックス
配置を構成し、画像表示装置内に設置した。その後、排
気管を用いて画像表示装置内の真空度を２×１０^-7Ｔｏ
ｒｒまで真空排気し、素子電極１７０２及び１７０３間
に電圧を印加して通電フォーミング処理を行い、電子放
出部を形成した（図１７（ｃ））。

【０２５９】図１８は、素子電極間に通電フォーミング
処理を施した際のフォーミング電圧を示す図である。

【０２６０】本形態においては、図１８中のＴ１を１ｍ
ｍ秒、Ｔ２を１０ｍｍ秒とし、三角波の波高値を０．１
Ｖステップで徐々に増加させて通電フォーミングを行っ
た。また、フォーミング処理中は、同時にＴ２間に０．
１Ｖの抵抗測定パルスを挿入し、抵抗を測定した。な
お、フォーミングの終了は、抵抗測定パルスの測定値が
約１ＭΩ以上になったときとし、同時に素子への電圧印
加を終了した。

【０２６１】ついで、画像表示装置内の真空度を排気管
１５０４からの排気により１×１０ ^-8Ｔｏｒｒまで真空
排気した後、有機物質としてアセトンを画像表示装置内
に導入した。このときのアセトンの分圧は１×１０^-5Ｔ
ｏｒｒとした。

【０２６２】次に、基板１７０１（図１７参照）上に形
成された表面伝導型電子放出素子のそれぞれに電圧パル
スを印加して活性処理を行った。

【０２６３】図１９は、表面伝導型電子放出素子に対し
て活性化処理を施した際の活性化電圧を示す図である。

【０２６４】表面伝導型電子放出素子に印加する電圧パ
ルスは、図１９中のＴ１を１ｍｍ秒、Ｔ２を１０ｍｍ秒
とし、波高値を１５Ｖとした。

【０２６５】画像表示装置内のフェースプレートに形成
してあるメタルバックに電圧を印加し、電子放出素子か
ら放出される放出電流（Ｉｅ）を計測しながら活性化処
理を行った。この活性化工程はＩｅが飽和した時点で終
了した。

【０２６６】その後、排気管からの排気により、１×１
０^-8Ｔｏｒｒまで真空排気し、排気管を封止した後、ゲ
ッタをフラッシュさせた。

【０２６７】以下に、上述した表面伝導型電子放出素子
を用いた画像表示装置について説明する。

【０２６８】図２０は、表面伝導型電子放出素子を用い
た画像表示装置の実施の一形態を示す模式図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０２６９】本形態は図２０に示すように、リアプレー
ト２００２と、リアプレート２００２と同一の絶縁材に
より形成され、画像表示装置表面側から、蛍光体２００
０、アルミメタルバック２００９の順に形成されている
フェースプレート２００１と、フェースプレート２００
１及びリアプレート２００２のそれぞれの周縁部と接合
された外枠２００３とで気密容器を形成し、外枠２００
３は、外部から気密容器にかかる圧力を支え、気密容器
内のガスを排気するための排気管２００４が設けられて
いる。フェースプレート２００１には、蛍光体２０００
とメタルバック２００９とが形成されている。なお、フ
ェースプレートとリアプレートとの間隔は３ｍｍであ
る。フェースプレート２００１と外枠２００３、並びに
リアプレート２００２と外枠２００３とのそれぞれが接
合する部分は、低融点ガラスによって封着されている。

【０２７０】また、気密容器内において、フェースプレ
ート２００１及びリアプレート２００２に複数のＶ字形
のゲッタ飛散防止壁からなるゲッタ飛散防止部２００８
及びゲッタ保持治具２００６が略垂直に低融点ガラス等
によって固着され、ゲッタ保持治具２００６にはゲッタ
保持棒２００７が固着され、ゲッタ保持棒２００７の先
端にはＢａ−Ａｌからなるゲッタ２００５が固着され、
ゲッタフラッシュ部が形成されている。

【０２７１】ゲッタ飛散防止部２００８では、少なくと
も二枚のＶ字形の板がそれぞれ、画像表示部から見て隙
間の無いように、そして互いに接触することの無いよう
に配設される。そして本形態では、Ｖ字形の板の頂点を
同一方向に向け、隣りのＶ字形の板の二つの端部を結ん
だ際の中間に位置してなる、複数のＶ字形の板の組みが
対称に一直線に配置され、その対称中心位置には、一個
のＶ字形の板が、当該Ｖ字形の二つの側面部によるＶゾ
ーンをゲッタフラッシュ部側に向けて配置されている。

【０２７２】さらに、ゲッタ飛散防止部２００８を間に
置いてゲッタ２００５が設けられた側と反対側には、表
面伝導型放出素子２０１０が設けられた表示部が配置さ
れている。

【０２７３】以下に、上述した画像表示装置の製造方法
について説明する。

【０２７４】フェースプレート２００１、リアプレート
２００２、外枠２００３、ゲッタ飛散防止部２００８及
びゲッタ保持治具２００６のそれぞれの接合部分に予め
低融点ガラスを塗布しておき、ゲッタ飛散防止部２００
８、ゲッタ保持治具２００６及び外枠２００３を位置決
め治具により配置して低融点ガラスを加熱して軟化させ
た後、冷却することによりそれぞれの部材を固着させ
る。

【０２７５】全ての部材の固着後、排気管２００４から
ターボ分子ポンプ等によって気密容器内のガスを排気
し、画像表示装置内が十分な真空度に達した後に排気管
２００４を封止する。

【０２７６】排気管２００４を封止した後、ゲッタ２０
０５を誘導加熱等によりフラッシュさせ、画像表示装置
を完成させる。

【０２７７】画像表示装置の完成後、表面伝導型電子放
出素子２０１０から放出された電子が、フェースプレー
ト２００１に形成されているメタルバック２００９に印
加された電圧（数ｋＶ）によって加速されて蛍光体２０
００に衝突して画像が表示される。

【０２７８】図２０に示した画像表示装置を製作したと
ころ、第３の実施の形態と同様に、排気時間を短縮する
ことができ、画像表示装置内の真空度を高くすることが
でき、画面の輝度むらも少ないという結果が得られた。
また、ゲッタ材の画像表示部への回り込みは確認され
ず、配線の短絡が発生することはなかった。

【０２７９】本発明の画像表示装置において、使用する
ゲッタは、蒸発型のものであればよく、その主成分とし
て例えば、Ｂａ（バリウム）、Ｔｉ（チタン）、Ｔａ
（タンタル）、Ｍｏ（モリブデン）などが挙げられる
が、特にこれらに限定されるものではなく、ゲッタのフ
ラッシュ方法についても、通電加熱、誘導加熱などの方
法があるが、特に限定されるものではない。

【０２８０】また、本発明の画像表示装置において、フ
ェースプレート、リアプレート、外枠、ゲッタ保持治
具、ゲッタ保持棒、ゲッタ飛散防止壁及び排気管等を封
着する材料としては、低融点ガラス、超音波はんだ、紫
外線硬化樹脂などが挙げられるが、気密を保ちながら封
着、固定できるものであれば、特にこれらに限定される
ものではない。

【０２８１】さらに、本発明の画像表示装置内のゲッタ
飛散防止壁を構成する部材は、ガラスなどの絶縁物の板
で作られ、その厚みは、薄ければ薄いほどよいが、必要
な強度を考え合わせて、適宜、設定すればよい。

【０２８２】図２１は、本発明の画像表示装置に用いら
れた電子放出素子を駆動する駆動方法を説明するための
図である。

【０２８３】図２１に示す電子源基板２１０１は、図１
５に示したリアプレート１５０１に対応し、基板２１０
１上にＤｘ１，Ｄｘ２，・・・ＤｘＮのＮ本の配線から
なり、真空蒸着法、印刷法、スパッタ法等を用いて形成
された導電性金属等で構成されたＸ方向配線２１０２
（図１５の下配線１５０２に対応）と、Ｄｙ１，Ｄｙ
２，・・・Ｄｙｎのｎ本の配線からなり、Ｘ方向配線２
１０２と同様に形成されるＹ方向配線２１０３（図１５
の上配線１５０３に対応）と、導電性金属等からなる結
線２１０５（図１５の結線１５０５に対応）と、Ｘ方向
配線２１０２、Ｙ方向配線２１０３及び結線２１０５に
よって電気的に接続される表面伝導型放出素子２１０４
とから構成されている。ここで、Ｘ方向配線２１０２と
Ｙ方向配線２１０３との間には、層間絶縁層（不図示）
が設けられており、Ｘ方向配線２１０２とＹ方向配線２
１０３とは電気的に分離している。また、Ｘ方向配線２
１０２とＹ方向配線２１０３はそれぞれ、外部端子とし
て引き出されている。

【０２８４】Ｘ方向配線２１０２、Ｙ方向配線２１０３
及び結線２１０５を構成する材料、並びに表面伝導型放
出素子２１０４を構成する一対の電極を構成する材料
は、それぞれの構成元素の一部あるいは全部が同一のも
のであっても、それぞれ異なるものであってもよい。こ
れらの材料は、例えば、表面伝導型放出素子２１０４を
構成する一対の電極の材料により適宜選択される。表面
伝導型放出素子２１０４を構成する一対の電極の材料
と、Ｘ方向配線２１０２、Ｙ方向配線２１０３及び結線
２１０５の材料が同じ場合は、表面伝導型放出素子２１
０４に接続した配線は素子電極ということができる。

【０２８５】また、層間絶縁層は、真空蒸着法、印刷
法、スパッタ法等を用いて形成されたＳｉＯ₂などで構
成される。Ｘ方向配線２１０２とＹ方向配線２１０３と
の間に設けられた層間絶縁層においては、所望の形状で
形成され、Ｘ方向配線２１０２とＹ方向配線２１０３の
交差部の電位差に耐え得るように、膜厚、材料及び製法
が適宜設定される。

【０２８６】Ｘ方向配線２１０２には、Ｘ方向に配列し
た表面伝導型放出素子２１０４の行を選択するための走
査信号を印加するための走査信号印加手段（不図示）が
接続され、Ｙ方向配線２１０３には、Ｙ方向に配列した
表面伝導型放出素子２１０４の各列を入力信号に応じて
変調するための変調信号発生手段が接続される。そし
て、各電子放出素子に、印加されるべき駆動電圧が走査
信号と変調信号の差電圧として供給される。

【０２８７】上記構成においては、単純なマトリクス配
線を用いて、個別の素子を選択し、独立に駆動可能とす
ることができる。

【０２８８】（第１０の実施の形態）第１０の実施の形
態として、蛍光体励起手段に表面伝導型電子放出素子を
用いた場合について述べる。

【０２８９】図２２は、表面伝導型電子放出素子の概略
図である。

【０２９０】本形態における表面伝導電子放出素子は図
２２に示すように、ガラス等の絶縁物からなる基板であ
るリアプレート２２２０上に形成され、引き出し電極
（不図示）に接続されている下配線２２１０と、下配線
２２１０上に形成された絶縁層２２１２と、絶縁層２２
１２上に形成され、引き出し電極（不図示）に接続され
ている上配線２２１４と、素子電極２２１５，２２１６
とから構成されている。また、引き出し電極には、表面
伝導型電子放出素子を駆動させるための外部駆動電源
（不図示）が接続されている。

【０２９１】以下に、上述した表面伝導電子放出素子の
形成方法について説明する。

【０２９２】リアプレート２２２０上に下配線２２１０
及び素子電極２２１６を蒸着等により形成する。

【０２９３】次に、下配線２２１０が形成された上に絶
縁層２２１２を化学気相成長法等により形成する。

【０２９４】次に、絶縁層２２１２が形成された上に上
配線２２１４及び素子電極２２１５を蒸着等により形成
する。

【０２９５】なお、両素子電極間がおよそ１０μｍにな
るように形成した。

【０２９６】その後、素子電極２２１５，２２１６上に
ＰｄＯ薄膜（酸化パラジウム）２２１７を形成し、上配
線２２１４及び下配線２２１０間を通電させることによ
り、ＰｄＯ薄膜２２１７上に高抵抗な領域である電子放
出部２２１９を形成する。

【０２９７】上記のように形成された表面伝導型電子放
出素子に外部駆動電源から電圧が印加されると、引き出
し電極、上配線２２１４、下配線２２１０及び素子電極
２２１５，２２１６を介してＰｄ薄膜２２１７に電圧が
印加され、電子放出部２２１９から、電子が放出され
る。

【０２９８】以下に、上述した表面伝導型電子放出素子
を用いた本形態の画像表示装置について説明する。

【０２９９】図２３は、表面伝導型電子放出素子を用い
た画像表示装置の実施の一形態を示す図であり、（ａ）
は平面図、（ｂ）は断面図である。なお、本形態の画像
表示装置は、対角２０インチで４：３の比率の画像表示
部を有している。

【０３００】本形態は図２３に示すように、リアプレー
ト２２２０と、リアプレート２２２０と同一の絶縁材に
より形成され、画像表示装置表面側から、蛍光体２２０
０、メタルバック２２０１の順に形成されているフェー
スプレート２２２１と、フェースプレート２２２１及び
リアプレート２２２０のそれぞれの周縁部と接合されて
気密容器を形成し、外部から気密容器にかかる圧力を支
える外枠２２２５とを具備し、フェースプレート２２２
１と外枠２２２５、並びにリアプレート２２２０と外枠
２２２５とのそれぞれが接合する部分は、低融点ガラス
によって封着されている。なお、フェースプレート２２
２１とリアプレート２２２０との間隔は３．８ｍｍとし
た。また、真空容器内の大きさは、縦３０４．８ｍｍ、
横４５６．４ｍｍとした。

【０３０１】また、気密容器内において、フェースプレ
ート２２２１及びリアプレート２２２０にゲッタ保持治
具２２５２が略垂直に低融点ガラス等によって固着さ
れ、ゲッタ保持治具２２５２にはゲッタ保持棒２２５３
が固着され、ゲッタ保持棒２２５３の先端にはゲッタ材
の主成分として窒素ドープされたＢａ（バリウム）、Ａ
ｌ（アルミニウム）及びＮｉ（ニッケル）が用いられる
リング状のゲッタ２２５０が固着されている。なお、リ
ング状のゲッタの直径は４ｍｍとした。また、フェース
プレート２２２１にはゲッタ飛散防止壁２２７５が、リ
アプレート２２２０にはゲッタ飛散防止壁２２７０がそ
れぞれお互いの固着位置が略平行になるように固着され
ており、ゲッタ飛散防止壁２２７０，２２７５はそれぞ
れ、リアプレート２２２０及びフェースプレート２２２
１に対して略平行に配され、ゲッタ飛散防止壁２２７０
と外枠２２２５との距離は５ｍｍとした。本形態のゲッ
タ飛散防止部は、ゲッタ２２５０から画像表示部へのゲ
ッタ材の回り込みを防いでいる。

【０３０２】ここで、ゲッタ飛散防止壁２２７０，２２
７５は、０．１ｍｍの厚さに形成され、ゲッタ飛散防止
壁２２７０及び２２７５のお互いの最短距離が１．９ｍ
ｍ、ゲッタ飛散防止壁２２７０及びフェースプレート２
２２１の間隔が最短距離で１．９ｍｍとなるように配設
され、ゲッタ飛散防止壁２２７５及びリアプレート２２
２０との間隔が最短距離で１．９ｍｍとなるように配さ
れている。また、ゲッタ保持棒２２５３は、ゲッタ２２
５０をフラッシュさせる際に発生する熱によってゲッタ
保持治具２２５２が破損することを防ぐために設けられ
ている。

【０３０３】上述した画像表示装置を形成する際は、排
気管（不図示）から装置内部の排気を行っている間に、
外部からの８００℃の誘電加熱によってゲッタ２２２０
のベーキングを施しておく。

【０３０４】排気管からの排気が十分に行われ、画像表
示装置内の真空度がおよそ１×１０ ^-8Ｔｏｒｒ以下に達
した後に、排気管を封止する。

【０３０５】排気管を封止した後、ゲッタ２２２０を外
部からの誘導加熱によって９００℃に加熱しフラッシュ
させ、画像表示装置を完成させる。

【０３０６】画像表示装置の完成後、表面伝導型電子放
出素子２２３０から放出された電子が、フェースプレー
ト２２２１に塗布されているメタルバックに印加された
電圧（数ｋＶ）によって加速されてフェースプレート２
２２１上の蛍光体に衝突して画像が表示される。

【０３０７】ここで、本形態のゲッタ悲惨防止壁２２７
０，２２７５を、フェースプレート２２２１及びリアプ
レート２２２０との間に略垂直に取り付けることによっ
て構成されるゲッタ飛散防止壁部が、従来の単なる遮蔽
板のゲッタ飛散防止部に比べて、どの程度、排気に有利
かを調べる。例として、図２３に示した本形態の画像表
示装置と従来の画像表示装置の気密容器内の圧力分布
を、コンピュータシミュレーションによって計算し、こ
れを比較する。

【０３０８】図２４は、従来及び本発明の第１０の実施
の形態における画像表示装置を模式化した図であり、
（ａ）は従来の画像表示装置を正面から見た図、（ｂ）
は従来の画像表示装置の奥行き方向の断面図、（ｃ）は
本発明の第１０の実施の形態における画像表示装置を正
面から見た図、（ｄ）は本発明の第１０の実施の形態に
おける画像表示装置の奥行き方向の断面図である。

【０３０９】シミュレーションの際には、「三次元希薄
気体流解析プログラムＲＡＦＡＬ−３Ｄ」（株式会社科
学技術ソフトウェア）を使用した。シミュレーションの
計算方法については、第１の実施の形態ですでに説明さ
れているので、ここでは特に詳しく説明しない。

【０３１０】図２４（ａ），（ｂ）に示すものにおいて
は、縦３０４．８ｍｍ、横４５６．４ｍｍ、高さ（フェ
ースプレートとリアプレートとの間隔）３．８ｍｍの直
方体の気密容器である。この直方体の気密容器を正面か
ら見て、単なる遮蔽板のゲッタ飛散防止部２４０１を境
界として、ゲッタ材が、画像表示部となる。したがっ
て、この気密容器は、本形態の対角２０インチの平面薄
型ディスプレイと対比したものとなっている。

【０３１１】従来の単なる遮蔽板のゲッタ飛散防止部２
４０１は、図２４（ａ）に示されているように、両端に
幅２０ｍｍの隙間が設けられていて、ここを通って、気
体分子が移動できるようになっている。ゲッタ飛散防止
部２４０１は、縦２６４．８ｍｍ、横３．８ｍｍの板に
よって構成される。なお、ここでは、ゲッタ飛散防止部
２４０１に使われる板の厚みは無視する。なお、ゲッタ
材は、図２４（ｂ）に示すように、フェイスプレート側
にのみ付着させる。ゲッタをフラッシュさせた際、ゲッ
タ材粒子が画像表示部に飛散するのを防ぐために、ゲッ
タ材の付着した領域（ゲッタ付着部）２４０２は、単な
る遮蔽板のゲッタ飛散防止部２４０１の背後にのみ制限
される。

【０３１２】図２４（ｃ），（ｄ）に示すものにおいて
は、縦３０４．８ｍｍ、横４５６．４ｍｍ、高さ３．８
ｍｍの直方体の気密容器である。この直方体の気密容器
を正面から見て、対向する二枚の板によって構成される
ゲッタ飛散防止部２４０３を境界として、ゲッタ材の付
着した領域２４０４とは反対側の、縦３０４．８ｍｍ
（１２インチ）、横４０６．４ｍｍ（１６インチ）の領
域が画像表示部となる。

【０３１３】対向する二枚の板によって構成されるゲッ
タ飛散防止部２４０３は、図２４（ｄ）に示されている
ように、縦３０４．８ｍｍ、横１．９ｍｍの板を二枚、
フェイスプレート及びリアプレートに略垂直に取り付け
たものである。ゲッタ飛散防止部２４０３の二枚の板の
間隔は１．９ｍｍとする。なお、ここでは、ゲッタ飛散
防止部２４０３に使われる板の厚みは無視する。

【０３１４】一般には、ゲッタ材は、フェースプレート
側、リアプレート側、外枠、ゲッタ飛散防止部の一部に
付着させることができる。ただし、本シミュレーション
では、簡単のため、フェースプレート側にのみゲッタを
付着させたとしている。

【０３１５】コンピュータシミュレーションは、次の条
件下で行われた。

【０３１６】気密容器全体の温度を３００Ｋで一定と
し、Ｈ₂Ｏ（水蒸気）が、１．０×１０^-10Ｔｏｒｒ・リ
ットル／ｃｍ²／ｓの割合で、気密容器表面及びゲッタ
飛散防止部２４０１，２４０３から放出されているもの
とする。ゲッタ材の付着した領域２４０２，２４０４か
らは、Ｈ₂Ｏ（水蒸気）の放出はないものとする。

【０３１７】ゲッタの吸着率は０．０１とした。ここ
で、吸着率０．０１とは、確率として、１００個のＨ₂
Ｏ分子がゲッタ材の付着した領域２４０２，２４０４に
衝突した場合、１個のＨ₂Ｏ分子がゲッタ材に吸着され
るという意味である。

【０３１８】気密容器内の圧力は、分子流領域にあると
し、Ｈ₂Ｏ分子どうしの衝突は無視し、Ｈ₂Ｏ分子と固体
壁との衝突のみ考慮する。

【０３１９】図２４（ａ），（ｂ）に示す、従来の単な
る遮蔽板のゲッタ飛散防止部２４０１を設置した気密容
器においては、Ｈ₂Ｏ（水蒸気）を放出する面積は２７
２７．８ｃｍ²、ゲッタ材の付着した領域２４０２の面
積は１３２．４ｃｍ²となる。一方、図２４（ｃ），
（ｄ）に示す、対向する二枚の板によって構成されるゲ
ッタ飛散防止部２４０３を設置した気密容器において
は、Ｈ₂Ｏ（水蒸気）を放出する面積は２７０５．０ｃ
ｍ²、ゲッタ材の付着した領域２４０２の面積は１４
６．６ｃｍ²となる。

【０３２０】なお、このコンピュータシミュレーション
では、気密容器内部に、大気圧支持構造（スペーサ等）
を特に設けていない。

【０３２１】時刻０で、Ｈ₂Ｏ分子の放出及びゲッタに
よる吸着を開始する。気密容器内部のＨ₂Ｏ分子数は増
加し、やがて一定の値付近に、ある程度の揺らぎを伴っ
て収束する。十分に定常状態に達したと判断したら、圧
力分布の時間平均をとる。

【０３２２】結果は次の通りとなった。

【０３２３】図２４（ａ），（ｂ）に示した、従来の単
なる遮蔽板のゲッタ飛散防止部２４０１を設置した気密
容器においては、画像表示部の圧力は、３．５×１０^-8
Ｔｏｒｒ〜８．５×１０^-8Ｔｏｒｒの範囲に、図２４
（ｃ），（ｄ）に示した、対向する二枚の板によって構
成されるゲッタ飛散防止部２４０３を設置した気密容器
においては、画像表示部の圧力は、１．７×１０^-8Ｔｏ
ｒｒ〜３．９×１０^-8Ｔｏｒｒの範囲になった。

【０３２４】このように、本発明の対向する二枚の板に
よって構成されるゲッタ飛散防止部２４０３を使用した
ほうが、従来の単なる遮蔽板のゲッタ飛散防止部２４０
１をしようしたものより、画像表示部の圧力の最大値と
最小値との差が小さく、圧力分布がより均一になってい
るといえる。したがって、画面の輝度むらが少なく抑え
られる。また、ゲッタ材を付着させることのできる領域
を広くとることができるので、画像表示部の圧力も、よ
り低くすることができる。これにより、画像表示装置と
しての寿命をより長くすることが可能である。

【０３２５】なお、図２４（ａ），（ｂ）に示した従来
のゲッタ飛散防止部を用いた画像表示装置の外枠と遮蔽
板の隙間を両端に２０ｍｍずつ設けたのは、上記のよう
に、本形態のゲッタ飛散防止部を設けた画像表示装置と
同程度（１０^-8Ｔｏｒｒ台）の真空度を達成する形状を
比較するためである。

【０３２６】上記のように構成された本形態の画像表示
装置においては、ゲッタフラッシュ後における上下配線
間の短絡及び表示部への回り込みが発生しない良好なも
のであった。さらに、従来の画像表示装置と比較して、
画像表示装置内の圧力分布においても、均等なものとな
ったため、画像表示装置の寿命が大幅に延びた。

【０３２７】（第１１の実施の形態）図２５は、本発明
の画像表示装置の第１１の実施の形態を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０３２８】本形態は図２５に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート２
５２１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
２５２１の裏面側にフェースプレート２５２１と対向し
て設けられるリアプレート２５２０と、フェースプレー
ト２５２１及びリアプレート２５２０のそれぞれの周縁
部と接合されて気密容器を形成し、外部から気密容器に
かかる圧力を支える１０ｍｍ幅の外枠２５２５とを具備
し、フェースプレート２５２１と外枠２５２５、並びに
リアプレート２５２０と外枠２５２５とのそれぞれが接
合する部分は、低融点ガラス等によって封着されてい
る。なお、フェースプレート２５２１とリアプレート２
５２０との間隔は１０ｍｍとした。２５００は画像パタ
ーンを示す。

【０３２９】また、気密容器内において、フェースプレ
ート２５２１及びリアプレート２５２０にゲッタ保持治
具２５５２が略垂直に低融点ガラス等によって固着さ
れ、ゲッタ保持治具２５５２にはゲッタ保持棒２５５３
が固着され、ゲッタ保持棒２５５３の先端にはゲッタ材
の主成分としてＢａ（バリウム）が用いられるゲッタ２
５５０が固着されている。また、ゲッタ飛散防止壁を構
成するゲッタ飛散防止壁２５７０，２５７５は平板であ
り、それぞれ、フェースプレート２５２１にはゲッタ飛
散防止壁２５７５が、リアプレート２５２０にはゲッタ
飛散防止壁２５７０がそれぞれお互いの固着位置が略平
行になるように固着されており、また、ゲッタ飛散防止
壁２５７０，２５７５はそれぞれ、フェースプレート２
５２１、リアプレート２５２０に略垂直になるように配
置され、ゲッタ２５５０から画像表示部へのゲッタ材の
回り込みを防いでいる。

【０３３０】ここで、ゲッタ飛散防止壁２５７０，２５
７５は、０．５ｍｍの厚さに形成され、ゲッタ飛散防止
壁２５７０及び２５７５の間隔が最短距離で２ｍｍ、ゲ
ッタ飛散防止壁２５７０及びフェースプレート２５２
１、並びにゲッタ飛散防止壁２５７５及びリアプレート
２５２０の間隔が最短距離でそれぞれ４ｍｍとなるよう
に配設されている。また、ゲッタ保持棒２５５３は、ゲ
ッタ２５５０をフラッシュさせる際に発生する熱によっ
てゲッタ保持治具２５５２が破損することを防ぐために
設けられている。

【０３３１】さらに、ゲッタ飛散防止壁２５７０，２５
７５のゲッタ２５５０が設けられた側とは反対側（表示
部側）には、複数の表示部が並設され、各表示部は、フ
ェースプレート２５２１上の画像パターン（アノードと
蛍光体からなる）と、画像表示内容を制御するコントロ
ールグリッド２５３２と、フィラメント２５３０とから
構成される。

【０３３２】以下に、本形態における画像表示装置の製
造方法について説明する。

【０３３３】フェースプレート２５２１、リアプレート
２５２０、外枠２５２５、ゲッタ飛散防止壁２５７０，
２５７５及びゲッタ保持治具２５５２のそれぞれの接合
部分に予め低融点ガラスを塗布しておき、ゲッタ飛散防
止壁２５７０，２５７５、ゲッタ保持治具２５２５及び
外枠２５２５を位置決め治具により配置して低融点ガラ
スを加熱し、軟化させた後、冷却することによりそれぞ
れの部材を固着させる。

【０３３４】全ての部材の固着後、排気管２５４０から
気密容器内のガスを排気し、画像表示装置内の真空度が
１×１０^-6Ｔｏｒｒ程度に達した後に排気管２５４０を
封止する。

【０３３５】ここで、ゲッタ２５５０においては、排気
管２５４０から気密容器内のガスを排気している間に、
外部から誘導加熱によりベーキングを施しておく。

【０３３６】排気管２５４０を封止した後、ゲッタ２５
５０を誘導加熱等によりフラッシュさせ、ゲッタ付着面
２５５５を形成し、画像表示装置を完成させる。

【０３３７】画像表示装置の完成後、熱カソードである
フィラメント２５３０を加熱すると、加熱によって発生
した電子が、不図示のアノードにより加速され、画像パ
ターンに衝突する。それによりフェースプレート２５２
１上に画像が表示される。

【０３３８】以下に、本発明第２のゲッタ飛散防止部を
構成するゲッタ飛散防止壁の配置について説明する。

【０３３９】図２６は、本発明の画像表示装置内のゲッ
タ飛散防止壁の配置について説明するための図である。

【０３４０】ゲッタ飛散防止壁２６７０及びフェースプ
レート２６２１間の最短距離２６７ａ、並びにゲッタ飛
散防止壁２６７５及びリアプレート２６２０間の最短距
離２６７ｃは、画像表示装置のゲッタ飛散防止壁が設置
された部分におけるコンダクタンス（気体分子の流れや
すさ）を大きく左右するものである。ここで、ゲッタ飛
散防止壁２６７０の厚さをｔで示す。

【０３４１】ゲッタ付着面２６５５に近い側のゲッタ飛
散防止壁２６７０と装置壁面（フェースプレート２６２
１）との最短距離、すなわち距離２６７ａは、ゲッタ材
が画像表示部へ回り込まないようにするため狭くするこ
とが望ましい。一方、ゲッタ付着面２６５５から遠い側
のゲッタ飛散防止壁２６７５と装置壁面（リアプレート
２６２０）との最短距離、すなわち距離２６７ｃは、ゲ
ッタフラッシュ後に画像表示装置内の残留気体分子をゲ
ッタ付着面２６５５によって取り除くために広くする方
が望ましい。

【０３４２】本発明第２のゲッタ飛散防止部は、図２６
に示すように、少なくとも、第１のゲッタ飛散防止壁
（２６７０または２６７５）と、第２のゲッタ飛散防止
壁（２６７０または２６７５）とからなる。

【０３４３】また、上記第１及び第２の飛散防止壁のそ
れぞれのフェースプレート、リアプレートへの取り付け
位置が、略平行であることが望ましい。

【０３４４】また、本発明の第２のゲッタ飛散防止部
は、図２６に示すように、上記第１及び第２の飛散防止
壁のそれぞれのフェースプレート、リアプレートとのな
す角度が異なっていても良い。

【０３４５】さらには、上記第１及び第２の飛散防止壁
それぞれの、フェースプレートとリアプレートとの間隔
方向の長さを、ｈ１，ｈ２とし、フェースプレートとリ
アプレートとの間隔をＨ（２６２ｄ）とした場合に、本
発明の第２のゲッタ飛散防止部は、 ｈ１≠，ｈ２≠０ （式１） Ｈ≦ｈ１＋ｈ２＜２Ｈ （式２） の式を同時に満たす。

【０３４６】また、ゲッタ飛散防止壁間の最短距離をｄ
（２６７ｄ）とした場合には、本発明第２のゲッタ飛散
防止部は上記式１，２式に加え、 ０＜ｄ≦Ｈ （式３） の式を同時に満たす。

【０３４７】また、最も好ましい形態（コンダクタンス
が最良の形態）としては、第１及び第２のゲッタ飛散防
止壁は、ともに、フェースプレート及びリアプレートに
対し、略垂直に配置され、そのときに、 ｄ＝ｈ１＝ｈ２＝Ｈ／２ （式４） を満たす。

【０３４８】ゲッタ飛散防止壁の個数に関しては、本形
態においては２個とした。ゲッタ飛散防止壁は、平行に
対向配置された装置壁面において、異なる面に互い違い
に配置されるため、２個以上必要である。

【０３４９】３個以上配置した場合は、その配置場所及
び設置方法等が複雑になるため、２個が最も望ましい
が、本発明は、これに限定されるものではない。

【０３５０】図２５におけるフェースプレート１２３と
リアプレート１２０との間隔については、本形態では１
０ｍｍとしたが、蛍光体励起源であるフィラメント１３
０から放出される電子によって、蛍光体を励起させ、画
像を表示するために十分な間隔であれば、特に限定され
るものではない。また、画像を表示する蛍光体について
も限定されるものではない。

【０３５１】また、本形態においては、ゲッタとしてＢ
ａ（バリウム）を使用したが、ゲッタとしては、蒸発型
のものであればよく、ゲッタのフラッシュ方法について
も、通電加熱、誘導加熱等の方法があるが、特に限定さ
れるものではない。

【０３５２】また、本形態においては、フェースプレー
ト、リアプレート、外枠、ゲッタ保持治具及びゲッタ飛
散防止壁のそれぞれの固着に際し、接合部分に低融点ガ
ラスを配することにより行ったが、超音波はんだ、紫外
線硬化樹脂等、画像表示装置内部を気密状態に維持する
ことができる封着材及び固定材であれば特に限定はされ
ない。

【０３５３】また、ゲッタ飛散防止壁の厚みについて
は、上記記載の画像表示装置の大きさ並びにフェースプ
レート及びリアプレート間の距離、ゲッタ飛散防止壁の
配置角度、配置間隔、各々の最短距離等を考慮して適宜
設定することができる。

【０３５４】また、本発明が好ましく適用される蛍光体
の励起源としては電子線を用いたものが適している。電
子の発生方法としては、本形態では、フィラメント１３
０を加熱することによって発生させる熱電子放出を用い
たが、第１の実施の形態で用いた電界放出型電子放出素
子から発生させる電子放出、第９の実施の形態で用いた
表面伝導型電子放出素子から発生させる電子放出等によ
るものがあるが、蛍光体を励起させることが可能なもの
であれば、いずれも使用可能である。

【０３５５】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、排気管による排気時間を大幅に短縮することが
でき、また、画像表示装置内の圧力の不均等が発生する
ことがなく、画像表示装置内の真空度が高くすることが
できたため、画像表示装置の寿命が大幅に延びた。さら
に、画像表示部へのゲッタ材の回り込みは確認されなか
った。

【０３５６】（第１２の実施の形態）第１２の形態とし
て、ゲッタ飛散防止壁を固着した面に対向する面とゲッ
タ飛散防止壁との間隔（図２６の２６７ａまたは２６７
ｃ）を、ゲッタが設けられる位置からの距離に比例させ
て広くしていく場合について述べる。

【０３５７】図２７は、本発明の画像表示装置の第１２
の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は断面図である。

【０３５８】本形態は図２７に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート２
７２１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
２７２１と対向して設けられるリアプレート２７２０
と、外部から気密容器にかかる圧力を支える１０ｍｍ幅
の外枠２７２５とを具備し、フェースプレート２７２１
と外枠２７２５、並びにリアプレート２７２０と外枠２
７２５とのそれぞれが接合する部分は、低融点ガラスに
よって封着されることで気密容器が構成されている。な
お、フェースプレート２７２１とリアプレート２７２０
との間隔は第１０の実施の形態と同様に１０ｍｍとし
た。

【０３５９】また、気密容器内において、フェースプレ
ート２７２１及びリアプレート２７２０にゲッタ保持治
具２７５２が略垂直に低融点ガラスによって固着され、
ゲッタ保持治具２７５２にはゲッタ保持棒２７５３が固
着され、ゲッタ保持棒２７５３の先端にはゲッタ材の主
成分としてＢａ（バリウム）が用いられるゲッタ２７５
０が固着されている。また、ゲッタ飛散防止部を構成す
るゲッタ飛散防止壁２７７０，２７７５はそれぞれ、フ
ェースプレート２７２１にはゲッタ飛散防止壁２７７５
が、リアプレート２７２０にはゲッタ飛散防止壁２７７
０がそれぞれお互いの固着位置が略平行になるように固
着されており、また、ゲッタ飛散防止壁２７７０，２７
７５はそれぞれ、フェースプレート２７２１、リアプレ
ート２７２０に対し、略垂直になるように配置され、ゲ
ッタ２７５０から画像表示部へのゲッタ材の回り込みを
防いでいる。

【０３６０】ここで、ゲッタ飛散防止壁２７７０，２７
７５は、０．３ｍｍの厚さに形成され、ゲッタ飛散防止
壁２７７０及び２７７５の間隔が最短距離で３ｍｍ、ゲ
ッタ飛散防止壁２７７０及びフェースプレート２７２１
の間隔が最短距離で３ｍｍ、ゲッタ飛散防止壁２７７５
及びリアプレート２７２０の間隔が最短距離で４ｍｍと
なるようにそれぞれ配設されている。また、ゲッタ保持
棒２７５３は、ゲッタ２７５０をフラッシュさせる際に
発生する熱によってゲッタ保持治具２７５２が破損する
ことを防ぐために設けられている。

【０３６１】さらに、ゲッタ飛散防止壁２７７０，２７
７５のゲッタ２７５０が設けられた反対側には、複数の
表示部が並設され、各表示部は、フェースプレート２７
２１上の画像パターン（不図示）と、画像表示内容を制
御するコントロールグリッド２７３２と、フィラメント
２７３０とから構成される。

【０３６２】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、第１１の実施の形態のものと同様にゲッタ材の
画像表示部への回り込みは認められなかった。

【０３６３】（第１３の実施の形態）第１３の実施の形
態として、ゲッタ飛散防止壁どうしの間隔（図２６の２
６７ｂ）を、ゲッタに近い側のゲッタ飛散防止壁と該ゲ
ッタ飛散防止壁が固着された面に対向する装置壁面との
間隔（図２６の２６７ａ）以上、フェースプレート及び
リアプレートの間隔（図２６の２６７ｄ）以下とした場
合について述べる。

【０３６４】図２８は、本発明の画像表示装置の第１３
の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は断面図である。

【０３６５】本形態は図２８に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート２
８２１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
２８２１と対向して設けられるリアプレート２８２０
と、外部から気密容器にかかる圧力を支える１０ｍｍ幅
の外枠２８２５とを具備し、フェースプレート２８２１
と外枠２８２５、並びにリアプレート２８２０と外枠２
８２５とのそれぞれが接合する部分は、低融点ガラスに
よって封着されることにより気密容器が構成されてい
る。なお、フェースプレート２８２１とリアプレート２
８２０との間隔は８ｍｍとした。

【０３６６】また、気密容器内において、フェースプレ
ート２８２１及びリアプレート２８２０にゲッタ保持治
具２８５２が略垂直に低融点ガラスによって固着され、
ゲッタ保持治具２８５２にはゲッタ保持棒２８５３が固
着され、ゲッタ保持棒２８５３の先端にはゲッタ材の主
成分としてＢａ（バリウム）が用いられるゲッタ２８５
０が固着されている。また、フェースプレート２８２１
にはゲッタ飛散防止壁２８７０が、リアプレート２８２
０にはゲッタ飛散防止壁２８７５がそれぞれお互いの固
着位置が平行になるように固着されており、また、ゲッ
タ飛散防止壁２８７０，２８７５はそれぞれフェースプ
レート２８２１、リアプレート２８２０に対して略垂直
になるように配置され、ゲッタ２８５０から画像表示部
へのゲッタ材の回り込みを防いでいる。

【０３６７】ここで、ゲッタ飛散防止壁２８７０，２８
７５は、０．２ｍｍの厚さに形成され、ゲッタ飛散防止
壁２８７０及び２８７５の間隔が最短距離で５ｍｍ、ゲ
ッタ飛散防止壁２８７０及びリアプレート２８２０の間
隔が最短距離で３ｍｍ、ゲッタ飛散防止壁２８７５及び
フェースプレート２８２１の間隔が最短距離で４ｍｍと
なるようにそれぞれ配設されている。また、ゲッタ保持
棒２８５３は、ゲッタ２８５０をフラッシュさせる際に
発生する熱によってゲッタ保持治具２８５２が破損する
ことを防ぐために設けられている。

【０３６８】さらに、ゲッタ飛散防止壁２８７０，２８
７５のゲッタ２８５０が設けられた側とは反対側には、
複数の表示部が並設され、各表示部は、フェースプレー
ト２８２１上の画像パターン（不図示）と、画像表示内
容を制御するコントロールグリッド２８３２と、フィラ
メント２８３０とから構成される。

【０３６９】ここで、ゲッタ飛散防止壁が設けられた部
分（ゲッタ飛散防止部）のコンダクタンスは、ゲッタ飛
散防止壁２８７０とゲッタ飛散防止壁２８７５との間隔
に大きく影響を受け、また、ゲッタフラッシュ後の排気
においては、ゲッタ付着面２８５５に近い側のゲッタ飛
散防止壁２８７０とリアプレート２８２０との間隔に影
響を受け、間隔が広いほど排気効率が上がる。従って、
排気管２８４０による排気の際に、ゲッタ２８５０が設
けられた側からのガスがゲッタ飛散防止壁が設けられた
部分において良好に流れるためには、ゲッタ飛散防止壁
２８７０と２８７５との間隔を広くとる必要がある。し
かし、リアプレート２８２０とフェイスプレート２８２
１との間隔より広げても効果はなく、画像表示装置自体
を大きくするだけである。

【０３７０】図２４において、画像表示装置の大きさ、
排気効率を考慮した上で、該画像表示装置のフェイスプ
レートとリアプレートの間隔２６２ｄ以下にすることが
望ましい。

【０３７１】上記のように構成された本形態の画像表示
装置においては、排気管による排気時間も短縮され、排
気効率及び、真空度の優れた画像表示装置が提供でき
た。

【０３７２】（第１４の実施の形態）第１４の実施の形
態として、ゲッタが設けられた側のゲッタ飛散防止壁と
ゲッタ付着面とのなす角を、３０度以上９０度未満とし
た場合について述べる。

【０３７３】図２９は、本発明の画像表示装置の第１４
の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は断面図である。

【０３７４】本形態は図２９に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート２
９２１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
２９２１の裏面側にフェースプレート２９２１と対向し
て設けられるリアプレート２９２０と、フェースプレー
ト２９２１及びリアプレート２９２０のそれぞれの周縁
部と接合されて気密容器を形成し、外部から気密容器に
かかる圧力を支える１０ｍｍ幅の外枠２９２５とを具備
し、フェースプレート２９２１と外枠２９２５、並びに
リアプレート２９２０と外枠２９２５とのそれぞれが接
合する部分は、低融点ガラス等によって封着されてい
る。なお、フェースプレート２９２１とリアプレート２
９２０との間隔は９ｍｍとした。

【０３７５】また、気密容器内において、フェースプレ
ート２９２１及びリアプレート２９２０にゲッタ保持治
具２９５２が略垂直に低融点ガラス等によって固着さ
れ、ゲッタ保持治具２９５２にはゲッタ保持棒２９５３
が固着され、ゲッタ保持棒２９５３の先端にはゲッタ材
の主成分としてＢａ（バリウム）が用いられるゲッタ２
９５０が固着されている。また、フェースプレート２９
２１にはゲッタ飛散防止壁２９７０が、リアプレート２
９２０にはゲッタ飛散防止壁２９７５がそれぞれお互い
の固着位置が略平行になるように固着されており、ゲッ
タ飛散防止壁２９７５はリアプレート２９２０に対し、
略平行に配置され、ゲッタ飛散防止壁２９７０またはフ
ェースプレートに対して７０°となるように配置され、
ゲッタ２９５０から画像表示部へのゲッタ材の回り込み
を防いでいる。

【０３７６】ここで、ゲッタ飛散防止壁２９７０，２９
７５は、０．５ｍｍの厚さに形成され、ゲッタ飛散防止
壁２９７０及び２９７５のお互いの最短距離が５ｍｍ、
ゲッタ飛散防止壁２９７０及びリアプレート２９２０の
間隔が最短距離で３ｍｍ、ゲッタ飛散防止壁２９７５及
びフェースプレート２９２１の間隔が最短距離で４ｍｍ
となるようにそれぞれ配設され、ゲッタ飛散防止壁２９
７０はフェースプレート２９２１に対して７０度の角度
を有している。また、ゲッタ保持棒２９５３は、ゲッタ
２９５０をフラッシュさせる際に発生する熱によってゲ
ッタ保持治具２９５２が破損することを防ぐために設け
られている。

【０３７７】さらに、ゲッタ飛散防止壁２９７０，２９
７５のゲッタ２９５０が設けられた側とは反対側には、
複数の表示部が並設され、各表示部は、フェースプレー
ト２９２１上の画像パターン（不図示）と、画像表示内
容を制御するコントロールグリッド２９３２と、フィラ
メント２９３０とから構成される。

【０３７８】ここで、ゲッタ飛散防止壁のリアプレート
に対してなす角度について図２６を参照して説明する。

【０３７９】画像表示装置において、ゲッタ飛散防止壁
２６７０，２６７５がリアプレート２６２０に対してそ
れぞれなす角度２６７φ，２６７θは、３０度から１５
０度の範囲で有効であることが確認されている。

【０３８０】特に、ゲッタ材の画像表示部への飛散防
止、ゲッタ付着面２６５５のゲッタ材付着面積及び容器
の排気のコンダクタンスに対しては、ゲッタに隣接する
ゲッタ飛散防止壁２６７０を、ゲッタ付着面２６５５と
対向する面、すなわちリアプレート２６２０に設け、ゲ
ッタ付着面２６５５とゲッタ付着面２６５５に隣接する
ゲッタ飛散防止壁２６７０とのなす角２６７φが３０度
以上９０度未満が有効であることが確認されている。

【０３８１】従って、ゲッタ飛散防止壁を平行に配置す
る配置間隔を決定する際は、画像表示装置におけるゲッ
タ飛散防止壁部分の占める割合、ゲッタ飛散防止壁間の
最短距離及びゲッタ飛散防止壁を配置する面に対する配
置角度を予め求めた上で行うことが望ましい。

【０３８２】上記のように構成された画像表示装置にお
いても、排気管による排気時間の短縮が図れ、また、高
い真空度の実現が確認された。

【０３８３】（第１５の実施の形態）本形態において
は、第１０の実施の形態と同様に、表面伝導型電子放出
素子を電子源として用いた平板型ｎの画像表示装置の例
について図３０を用いて説明する。

【０３８４】図３０は、本発明の画像表示装置の第１５
の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は断面図、（ｃ）はゲッタ飛散防止部の形状の部分斜視
図である。

【０３８５】本形態の画像表示装置は第１３及び第１４
の実施の形態において説明したものと比べ、変更したと
ころは、画像表示部を挟んで両端にゲッタフラッシュ部
（ゲッタ飛散防止部及び蒸発型ゲッタ）を設け、ゲッタ
付着面３０５５はフェースプレート３０２１側及びリア
プレート３０２０側双方に設けるようにゲッタ３０５０
を配置したことと、耐大気圧支持部材としてスペーサ３
０９０を画像表示部に配置したこと、さらに、非蒸発型
ゲッタ３０５８画像表示部（図３０（ａ）に向かって表
面伝導型電子放出素子群を挟んで上下）に配置したこと
である。それ以外は第１０の実施の形態と同様である。

【０３８６】なお、ここでは、表面伝導型電子放出素子
の形成方法及び画像表示装置の組立方法は、すでに第１
０の実施の形態で述べた方法と同一のため、省略する。
また、上記スペーサは、その表面に素子から放出された
電子の一部等が衝突することによってチャージアップし
ないように高抵抗膜が配されており、その配置は、ゲッ
タによる排気及び排気管３０００による排気の際にコン
ダクタンスを悪化させないように、その長手方向が排気
管と平行に配置されている。なお、図３０（ａ）では、
スペーサ３０９０は３個しか記していないが、フェース
プレート３０２１及びリアプレート３０２０の厚みや、
表面伝導型電子放出素子の配列形状などに応じて、スペ
ーサの個数、配置位置、形状及び材料等は適宜設定され
る。

【０３８７】本形態の画像表示装置は、第１０の実施の
形態と同様に、表面伝導型電子放出素子３０３０を多数
マトリックス状に配列形成したリアプレート３０２０
と、各表面伝導型電子放出素子に対応して赤、青、緑の
各色蛍光体が配列形成され、さらに、メタルバック（不
図示）が蛍光体（不図示）上に形成されたフェースプレ
ート３０２１と、外枠３０２５と、耐大気圧支持部材で
あるスペーサ３０９０とで真空容器が構成されている。

【０３８８】真空容器には、図３０（ｃ）に示すゲッタ
飛散防止部（３０７０，３０７５）が画像表示部を挟ん
で左右に配置され、蒸発型ゲッタ３０５０をフラッシュ
させた時のゲッタ材の表示部への回り込みを防止してい
る。なお、本形態で用いたゲッタ３０５０はＢａ−Ａｌ
合金からなるリング状ゲッタであり、そのリング状ゲッ
タ３０５０は、フェースプレート３０２１側及びリアプ
レート３０２０側双方にゲッタ付着面３０５５が飛着形
成できるようにフェースプレート側に開口部を有するゲ
ッタとリアプレート側に開口部を有するゲッタとを上下
に重ねたものを一組として、左右合計で２８組配置して
いる。なお、ゲッタ３０５０の直径は３ｍｍである。

【０３８９】また、本形態の画像表示装置では、上記蒸
発型ゲッタ３０５０に加えて、Ｚｒ−Ａｌ合金からなる
非蒸発型ゲッタ３０５８（ＳＡＥＳ社 Ｓｔ１０１）も
表示部を挟んで上下双方に配置されている。

【０３９０】本形態のゲッタ飛散防止部を構成するゲッ
タ飛散防止壁３０７５，３０７０は、支持部３０８０を
第１０の実施の形態の飛散防止壁に加えることで、それ
ぞれのフェースプレート３０２１及びリアプレート３０
２０に接着形成されている。これは、第１０の実施の形
態の飛散防止壁の固着が十分でない場合に、何らかの衝
撃等でゲッタ飛散防止壁がフェースプレートあるいはリ
アプレートからの脱離を防ぐためであり、また、ゲッタ
飛散防止壁により、外枠及びスペーサ３０９０に加え、
耐大気圧支持構造の一翼を担うためのものである。この
ような構成とすることで、第１０の実施の形態の画像表
示装置に比べ、フェースプレート３０２１及びリアプレ
ート３０２０を薄くすることができ、したがって、画像
表示装置自体の重さを軽くできている。

【０３９１】本形態の画像表示装置では、ゲッタ３０５
０をフェースプレート３０２１側及びリアプレート３０
２０側双方にゲッタ付着面を形成するように配置し、さ
らに、画像表示部を挟んで左右にゲッタフラッシュ部を
設けたため、本形態の画像表示装置と第１０の実施の形
態の画像表示装置と比較した場合、蒸発型ゲッタ３０５
０によるゲッタ付着量は単純計算で４倍になっている。
また、さらに、本形態においては、水素に対する吸着
（排気）能力に優れる非蒸発型ゲッタ３０５８も配置し
ているので、不図示の排気管を封止後、第１０の実施の
形態に比べて、長時間に渡り、高真空を維持することが
でき、したがって、表示画像も長時間に渡り、均一でか
つ輝度ばらつきのない良好な画像表示が得られた。

【０３９２】なお、本形態では、真空容器をフェースプ
レート３０２１、リアプレート３０２０及び外枠３０２
５から構成しているが、本形態は例えば、例えば従来技
術で述べた特公昭５６−４４５３４号公報（図２０参
照）に記載されているような、本形態で示すところのリ
アプレートと外枠（あるいはフェースプレートと外枠）
とが一体となった構造の真空容器からなる画像表示装置
にも当然適用することができる。

【０３９３】本発明の第３のゲッタ飛散防止部は、ゲッ
タ保持治具自体がゲッタ飛散防止壁を兼ねているもので
ある。ゲッタ１つに対し、１つのゲッタ保持治具によ
り、そのゲッタをフラッシュさせた際に、画像表示部側
へゲッタが飛散しないような構成としたものである。

【０３９４】図３１は、本発明の第３のゲッタ飛散防止
部の説明図である。

【０３９５】本発明の第３のゲッタ飛散防止壁は、ゲッ
タ保持治具３１１０にゲッタ保持棒３１１１（長さ＝
ｈ）を介して、ゲッタ３１１２（直径＝２ｒ）が固着さ
れることで構成されており、ゲッタ保持治具３１１０
（ゲッタ飛散防止壁）はゲッタ保持棒３１１１が固着さ
れた部分（頂点）で折れ曲がり、ある開き角θを有して
いる。

【０３９６】なお、ここでは、説明の簡略化のため、ゲ
ッタ保持棒３１１１を軸として、Ｖ字状のゲッタ保持治
具３１１０（ゲッタ飛散防止壁）の頂点の開き角は同一
（開き角＝θ）であり、また、その辺の長さも、ゲッタ
保持棒３１１１を中心に同一長さ（Ｉ）であるとする。
なお、ここでは、Ｖ字状のゲッタ保持治具３１１０とし
たが、図１０に示したような円弧状のゲッタ保持治具で
も適用できる。

【０３９７】ゲッタの中心からゲッタ保持治具（ゲッタ
飛散防止壁）の頂点までの距離Ｈはｈ＋ｒで表すことが
できる。

【０３９８】このとき、本発明第３のゲッタ飛散防止部
に求められる条件は、 Ｉｃｏｓθ≧Ｈ （式１） と同時に、 Ｈｓｉｎθ≧ｒ （式２） を満たすことである。

【０３９９】これにより、ゲッタフラッシュした際に、
ゲッタが飛散する領域３１１３は、図に示すように、ゲ
ッタ保持治具で囲まれた領域より上側には飛散しない。
したがって、図３１の上側を画像表示部とすることによ
り、画像表示装置内でゲッタフラッシュしても、画像表
示部へのゲッタの回り込みが抑制できる。

【０４００】またさらに、本発明第３のゲッタ飛散防止
部は、ゲッタ保持治具自体がゲッタ飛散防止壁を兼ねて
いるものとして説明したが、ゲッタ保持治具とゲッタ飛
散防止壁が別体となっていても良く、つまり、ゲッタの
中心とゲッタ飛散防止壁との関係が、式１と式２を同時
に満たしていれば良い。

【０４０１】以下に、上述した本発明第３のゲッタ飛散
防止部を用いた画像表示装置を、第１６〜第１９の実施
の形態にて説明する。

【０４０２】（第１６の実施の形態）図３２は、本発明
の画像表示装置の第１６の実施の形態を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０４０３】本形態は図３２に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート３
２０１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
３２０１と対向して設けられるリアプレート３２０２
と、外部から気密容器にかかる圧力を支える１０ｍｍ幅
の外枠３２０３とを有し、フェースプレート３２０１と
外枠３２０３、並びにリアプレート３２０２と外枠３２
０３とのそれぞれが接合する部分は、低融点ガラスによ
って封着されることで、気密容器が構成されている。

【０４０４】また、気密容器内において、フェースプレ
ート３２０１及びリアプレート３２０２にゲッタ保持治
具３２２５が略垂直に低融点ガラス等によって固着さ
れ、ゲッタ保持治具３２２５の一側面側にはゲッタ保持
棒３２２７が固着され、ゲッタ保持棒３２２７の先端に
はゲッタ材の主成分としてＢａ（バリウム）が用いられ
る直径７ｍｍのゲッタ３２２０が固着されている。ここ
で、ゲッタ飛散防止部を形成するゲッタ保持治具３２２
５は、０．３ｍｍ厚のガラス材で形成され、ゲッタ保持
棒３２２７が固着されている部分（頂点）を中心とし
て、ゲッタ保持棒３２２７が固着された側に対して略１
５０度開いた角度（開き角）を有し、両辺の長さをゲッ
タ３２２０の直径とするＶ字型である。ゲッタ保持棒３
２２７は、ゲッタ保持治具３２２５が形成する角度の略
二等分線上に、ゲッタ３２２０をフラッシュさせる際に
発生する熱によってゲッタ保持治具３２２５が破損する
ことを防ぐために設けられている。さらに、ゲッタ保持
治具３２２５のゲッタ３２２０が設けられている側とは
反対側（表示部側）には、複数の表示部が並設され、各
表示部は、フェースプレート３２０１上の画像パターン
３２１２と、画像表示内容を制御するコントロールグリ
ッド３２３２と、フィラメント３２３０とから構成され
る。

【０４０５】次に、本形態における画像表示装置の製造
方法について説明する。

【０４０６】フェースプレート３２０１、リアプレート
３２０２、外枠３２０３及びゲッタ保持治具３２２５の
それぞれの接合部分に予め低融点ガラスを塗布してお
き、ゲッタ保持治具３２２５及び外枠３２０３を位置決
め治具により配置し、低融点ガラスを焼成することによ
りそれぞれの部材を固着させる。

【０４０７】ここで、ゲッタ３２２０においては、排気
管３２０９から気密容器内のガスを排気している間に、
外部から誘導加熱によりベーキングを施しておく。

【０４０８】全ての部材の固着後、排気管３２０９から
気密容器内のガスを排気し、画像表示装置内の真空度が
１×１０^-7Ｔｏｒｒに達した後に排気管３２０９を封止
する。

【０４０９】排気管３２０９を封止した後、ゲッタ３２
２０を誘導加熱等によりフラッシュさせ、画像表示装置
を完成させる。

【０４１０】画像表示装置の完成後、フィラメント３２
３０を加熱すると、加熱によって発生した電子が、画像
パターンを構成するアノード（不図示）３２３２により
加速され、画像パターン３２１２を構成する蛍光体に衝
突する。それによりフェースプレート３２０１上に画像
が表示される。

【０４１１】フェースプレート３２０１とリアプレート
３２０２との間隔については、本形態では１０ｍｍとし
たが、蛍光体励起源であるフィラメント３２３０から放
出される電子によって、蛍光体を励起させ、画像を表示
するために十分な間隔であれば、特に限定されるもので
はない。また、画像を表示する蛍光体についても限定さ
れるものではない。

【０４１２】また、本形態においては、ゲッタとしてＢ
ａ（バリウム）を使用したが、ゲッタとしては、蒸発型
のものであればよく、特に限定されるものではない。ま
た、ゲッタのフラッシュ方法についても、通電加熱、誘
導加熱等の方法があるが、特に限定されるものではな
い。

【０４１３】また、本形態においては、フェースプレー
ト、リアプレート、外枠及びゲッタ保持治具のそれぞれ
の固着に際し、接合部分に低融点ガラスを塗布すること
により行ったが、超音波はんだ、紫外線硬化樹脂等、画
像表示装置内部を気密状態に維持することができる封着
材及び固定材であれば特に限定はされない。

【０４１４】また、ゲッタ保持治具３２２５の楔形（Ｖ
字型の板）の両辺の長さ及び形成する角（頂点の開き
角）によって、ゲッタがフラッシュされる時の指向性の
度合いが決定されるものであり、ゲッタ材の画像表示部
への回り込みの度合いが少なくなり、形成する角を鋭く
することにより指向性が高くなる。

【０４１５】上記のように構成された本形態の画像表示
装置においては、ゲッタフラッシュ後における上下配線
間の短絡が発生しない良好なものであった。また、排気
管による排気時間も従来よりも短縮でき、さらに、画像
表示装置内の気圧分布においても、ゲッタ付着面からの
距離依存があまり見られずに良好なものとなったため、
画像表示装置の寿命が大幅に延びた。

【０４１６】（第１７の実施の形態）第１７の実施の形
態として、画像表装置内にゲッタ及びゲッタ保持治具を
２個設け、それぞれのゲッタ保持治具の形成する角度
（開き角）を略９０度とした場合について述べる。

【０４１７】図３３は、本発明の画像表示装置の第１７
の実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は断面図である。

【０４１８】本形態は図３３に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート３
３０１と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
３３０１と対向して設けられるリアプレート３３０２
と、外部から気密容器にかかる圧力を支える１０ｍｍ幅
の外枠３３０３とを有し、フェースプレート３３０１と
外枠３３０３、並びにリアプレート３３０２と外枠３３
０５とのそれぞれが接合する部分は、低融点ガラスによ
って封着されることで気密容器が構成されている。

【０４１９】また、気密容器内において、フェースプレ
ート３３０１及びリアプレート３３０２にゲッタ保持治
具３３２５ａ，３３２５ｂがそれぞれ略垂直に低融点ガ
ラス等によって固着され、ゲッタ飛散防止部を構成する
ゲッタ保持治具３３２５ａ，３３２５ｂのそれぞれの一
側面側にはゲッタ保持棒３３２７ａ，３３２７ｂが固着
され、ゲッタ保持棒３３２７ａ，３３２７ｂのそれぞれ
の先端にはゲッタ材の主成分としてＢａ（バリウム）、
Ａｌ（アルミニウム）及びＮｉ（ニッケル）が用いられ
る直径５ｍｍのゲッタ３３２０ａ，３３２０ｂが固着さ
れている。ここで、ゲッタ保持治具３３２５ａ，３３２
５ｂは、０．３ｍｍ厚のガラス材で形成され、ゲッタ保
持棒３３２７ａ，３３２７ｂが固着されている部分を中
心として、ゲッタ保持棒３３２７ａ，３３２７ｂが固着
された側に対して略９０度開いた角度を有する楔形（Ｖ
字型の板）で、ゲッタ保持治具３３２５ａ及び３３２５
ｂ間の最短距離をゲッタ保持治具３３２５ａ，３３２５
ｂの楔形が有する三角形のゲッタ保持棒３３２７ａ，３
３２７ｂが固着された側の辺の１／２程度として配置さ
れる。ゲッタ保持棒３３２７ａ，３３２７ｂは、ゲッタ
保持治具３３２５ａ，３３２５ｂがそれぞれ形成する角
度の略二等分線上に、ゲッタ３３２０ａ，３３２０ｂを
フラッシュさせる際に発生する熱によってゲッタ保持治
具３３２５ａ，３３２５ｂが破損することを防ぐために
設けられている。さらに、ゲッタ保持治具３３２５ａ，
３３２５ｂのゲッタ３３２０ａ，３３２０ｂが設けられ
ている側とは反対側（表示部側）には、複数の表示部が
並設され、各表示部は、フェースプレート３３０２上の
画像パターン３３１２と、画像表示内容を制御するコン
トロールグリッド３３３２と、フィラメント３３３０と
から構成される。

【０４２０】ゲッタ保持治具３３２５ａ，３３２５ｂの
それぞれによって形成される角（頂点の開き角）におい
ては、本形態のように略９０度であることが、ゲッタ３
３２０ａ，３３２０ｂの飛散防止、ゲッタ３３２０ａ，
３３２０ｂ及びゲッタ保持治具３３２５ａ，３３２５ｂ
の配置場所、ゲッタ保持治具３３２５ａ，３３２５ｂに
よる排気の点において最も望ましい。

【０４２１】また、本形態においては、ゲッタとして直
径５ｍｍのゲッタ、ゲッタ材の主成分としてＢａ（バリ
ウム）、Ａｌ（アルミニウム）及びＮｉ（ニッケル）の
ものを用いたが、これに限定されるものではない。

【０４２２】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、従来の画像表示装置においてゲッタ材を複数個
設けた場合と比べて、排気管による排気時間を短縮する
ことができ、また、画像表示装置内の気圧の不均等が発
生することがなく、画像表示装置内の真空度が高くする
ことができたため、画像表示装置の寿命が大幅に延び
た。

【０４２３】（第１８の実施の形態）第１８の実施の形
態として、画像表示装置内にゲッタ及びゲッタ保持治具
をそれぞれ５個ずつ設けて千鳥状に配置した場合につい
て述べる。

【０４２４】図３４は、本発明の画像表示装置の第１８
の実施の形態を示す図である。

【０４２５】本形態は図３４に示すように、ガラス等の
絶縁物からなる画像表示面としてのフェースプレート３
４０２と、ガラス等の絶縁物からなりフェースプレート
３４０２と対向して設けられるリアプレート３４０１
と、外部から気密容器にかかる圧力を支える外枠３４０
５とを有し、フェースプレート３４０２と外枠３４０
５、並びにリアプレート３４０１と外枠３４０５とのそ
れぞれが接合する部分は、低融点ガラスによって封着さ
れることで気密容器が構成されている。

【０４２６】また、気密容器内において、フェースプレ
ート３４０２及びリアプレート３４０１にゲッタ保持治
具３４２５ａ〜３４２５ｅが千鳥状（ジグザグ状）にそ
れぞれ略垂直に低融点ガラス等によって固着され、ゲッ
タ保持治具３４２５ａ〜３４２５ｅのそれぞれの一側面
側にはゲッタ保持棒３４２７ａ〜３４２７ｅが固着さ
れ、ゲッタ飛散防止部を構成するゲッタ保持棒３４２７
ａ〜３４２７ｅのそれぞれの先端にはゲッタ材の主成分
としてＢａ（バリウム）、Ａｌ（アルミニウム）及びＮ
ｉ（ニッケル）が用いられる直径５ｍｍのゲッタ３４２
０ａ〜３４２０ｅが固着されている。ここで、ゲッタ保
持治具３４２５ａ〜３４２５ｅは、０．５ｍｍ厚のガラ
ス材で形成され、ゲッタ保持棒３４２７ａ〜３４２７ｅ
が固着されている部分を中心として、ゲッタ保持棒３４
２７ａ〜３４２７ｅが固着された側に対して略９０度開
いた角度を有する楔形（Ｖ字型）で、ゲッタ保持治具３
４２５ａ〜３４２５ｅのそれぞれの間隔の最短距離をゲ
ッタ保持治具３４２５ａ〜３４２５ｅの楔形が有する三
角形のゲッタ保持棒３４２７ａ〜３４２７ｅが固着され
た側の辺の１／２以上として配置される。ゲッタ保持棒
３４２７ａ〜３４２７ｅは、ゲッタ保持治具３４２５ａ
〜３４２５ｅがそれぞれ形成する角度の略二等分線上
に、ゲッタ３４２０ａ〜３４２０ｅをフラッシュさせる
際に発生する熱によってゲッタ保持治具３４２５ａ〜３
４２５ｅが破損することを防ぐために設けられている。
また、ゲッタ保持治具３４２５ａ〜３４２５ｅの楔形の
両辺の長さは、画像表示部からの距離が遠くなるにつれ
て短くなっている。

【０４２７】さらに、ゲッタ保持治具３４２５ａ〜３４
２５ｅのゲッタ３４２０ａ〜３４２０ｅが設けられてい
る側とは反対側（表示部側）には、複数の表示部が並設
され、フェースプレート３４０２上の画像パターン３４
１２と、画像表示内容を制御するコントロールグリッド
３４３２と、フィラメント３４３０とから構成される。

【０４２８】ここで、ゲッタ３４２０ａ〜３４２０ｅを
保持するゲッタ保持治具３４２５ａ〜３４２５ｅは、図
３３中上下方向に千鳥状に配置され、画像表示部側から
見てゲッタ間に隙間ができないようになっている。

【０４２９】また、ゲッタを複数個配置する場合におい
ては、本形態に示したように、ゲッタ保持治具及びゲッ
タを千鳥状に配置することが、排気管による画像表示装
置の排気及びゲッタフラッシュ面での排気の双方におい
て効率的である。また、本形態では、Ｖ字型のみのゲッ
タ保持治具としたが、円弧状のゲッタ保持治具を混在さ
せても良い。

【０４３０】また、ゲッタ保持治具の楔形の両辺の長さ
を、画像表示部からの距離が遠くなるにつれて短くした
ため、画像表示装置内を排気する点においてさらに効率
的である。

【０４３１】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、従来の画像表示装置においてゲッタ材を複数個
設けた場合と比べて、排気管による排気時間を短縮する
ことができ、また、画像表示装置内の気圧の不均等が発
生することがなく、画像表示装置内の真空度が高くする
ことができたため、画像表示装置の寿命が大幅に延び
た。さらに、上記形態と同様に、画像表示部へのゲッタ
材の回り込みは確認されなかった。

【０４３２】（第１９の実施の形態）第１９の実施の形
態として、蛍光体励起源に表面伝導型電子放出素子を用
いた場合について述べる。

【０４３３】図３５は、表面伝導型電子放出素子を複数
配置した構成図である。

【０４３４】本形態における表面伝導電子放出素子は図
３５に示すように、ガラス等の絶縁物からなる基板であ
るリアプレート３５０１上に形成され、引き出し電極
（不図示）に接続されている下配線３５５０と、下配線
３５５０上に形成された絶縁層３５５５と、絶縁層３５
５５上に形成され、引き出し電極（不図示）に接続され
ている上配線３５５１と、素子電極３５５２，３５５３
とから構成されている。また、引き出し電極には、表面
伝導型電子放出素子を駆動させるための外部駆動電源
（不図示）が接続されている。

【０４３５】以下に、上述した表面伝導電子放出素子の
形成方法について説明する。

【０４３６】リアプレート３５０１上に素子電極３５５
２，３５５３を蒸着等により形成し、さらに、素子電極
３５５３に接続するように素子電極３５５３上に下配線
３５５０を蒸着等により形成する。

【０４３７】次に、下配線３５５０が形成された上の上
配線３５５１との交差部に絶縁層３５５５を化学気相成
長法等により形成する。

【０４３８】次に、絶縁層３５５５が形成された上に上
配線３５５１を蒸着等により形成する。

【０４３９】その後、素子電極３５５２，３５５３上に
ＰｄＯ（酸化パラジウム）からなる導電性薄膜３５６０
を形成し、上配線３５５１及び下配線３５５０間を通電
させることにより、ＰｄＯ薄膜３５６０上に高抵抗な領
域である電子放出部３５６１を形成する。

【０４４０】上記のように形成された表面伝導型電子放
出素子に外部駆動電源から電圧が印加されると、引き出
し電極、上配線３５５１、下配線３５５０及び素子電極
３５５２，３５５３を介してＰｄ薄膜３５６０に電圧が
印加され、電子放出部３５６１から、電子が放出され
る。

【０４４１】以下に、上述した表面伝導型電子放出素子
を用いた画像表示装置について説明する。

【０４４２】図３６は、図３５に示した表面伝導型電子
放出素子を用いた画像表示装置の実施の一形態を示す図
であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【０４４３】本形態は図３６に示すように、リアプレー
ト３６０１と、リアプレート３６０１と同一の絶縁材に
より形成され、画像表示装置表面側からＩＴＯ、蛍光体
３６１０、アルミメタルバック３６１１の順に形成され
ているフェースプレート３６０２と、フェースプレート
３６０２及びリアプレート３６０１のそれぞれの周縁部
と接合されて気密容器を形成し、外部から気密容器にか
かる圧力を支える１０ｍｍ幅の外枠３６０５とを有し、
フェースプレート３６０２と外枠３６０５、並びにリア
プレート３６０１と外枠３６０５とのそれぞれが接合す
る部分は、低融点ガラスによって封着されている。

【０４４４】また、気密容器内において、フェースプレ
ート３６０２及びリアプレート３６０１にゲッタ保持治
具３６２５ａ〜３６２５ｅがそれぞれ略垂直に低融点ガ
ラスによって固着され、ゲッタ飛散防止壁を構成するゲ
ッタ保持治具３６２５ａ〜３６２５ｅのそれぞれの一側
面側にはゲッタ保持棒３６２７ａ〜３６２７ｅが固着さ
れ、ゲッタ保持棒３６２７ａ〜３６２７ｅのそれぞれの
先端にはゲッタ材の主成分として窒素ドープされたＢａ
（バリウム）、Ａｌ（アルミニウム）及びＮｉ（ニッケ
ル）が用いられるゲッタ３６２０ａ〜３６２０ｅが固着
されている。ここで、ゲッタ保持治具３６２５ａ〜３６
２５ｅは、ゲッタ保持棒３６２７ａ〜３６２７ｅが固着
されている部分を中心として、ゲッタ保持棒３６２７ａ
〜３６２７ｅが固着された側に対して略９０度の角度を
有する楔形で、ゲッタ保持治具３６２５ａ〜３６２５ｅ
のそれぞれの間隔の最短距離をゲッタ保持治具３６２５
ａ〜３６２５ｅの楔形が有する三角形のゲッタ保持棒３
６２７ａ〜３６２７ｅが固着された側の辺の長さ以上と
して配置される。ゲッタ保持棒３６２７ａ〜３６２７ｅ
は、ゲッタ保持治具３６２５ａ〜３６２５ｅがそれぞれ
形成する角度の略二等分線上に、ゲッタ３６２０ａ〜３
６２０ｅをフラッシュさせる際に発生する熱によってゲ
ッタ保持治具３６２５ａ〜３６２５ｅが破損することを
防ぐために設けられている。また、ゲッタ保持治具３６
２５ａ〜３６２５ｅによる画像表示装置内のコンダクタ
ンスの悪化を防ぐため、ゲッタ保持治具３６２５ａ〜３
６２５ｅの楔形の両辺の長さは、画像表示部からの距離
が遠くなるにつれて短くした。

【０４４５】さらに、ゲッタ保持治具３６２５ａ〜３６
２５ｅのゲッタ３６２０ａ〜３６２０ｅが設けられてい
る側とは反対側（表示部側）には、図３４に示した表面
伝導型電子放出素子がリアプレート３６０１上に設けら
れ、フェースプレート３６０２上には蛍光体３５１０及
びメタルバック３５１１が設けられている。

【０４４６】ここで、ゲッタ３６２０ａ〜３６２０ｅ及
びゲッタ保持治具３６２５ａ〜３６２５ｅは、図３６中
上下方向に千鳥状に配置され、画像表示部から見てゲッ
タ間に隙間ができないようになっている。

【０４４７】上述した画像表示装置を形成する際は、排
気管（不図示）から装置内部の排気を行っている間に、
外部からの誘電加熱によってゲッタ３６２０のベーキン
グを施しておく。

【０４４８】排気管からの排気が十分に行われ、画像表
示装置内の真空度がおよそ１×１０ ^-8Ｔｏｒｒ以下に達
した後に、排気管を封止する。

【０４４９】排気管を封止した後、ゲッタ３６２０を外
部からの誘導加熱によって加熱しフラッシュさせ、画像
表示装置を完成させる。

【０４５０】画像表示装置の完成後、表面伝導型電子放
出素子３６３０から放出された電子が、フェースプレー
ト３６０２に形成されているメタルバックに印加された
電圧（５ｋＶ）によって加速し、されてフェースプレー
ト３６０２に衝突して画像が表示される。

【０４５１】上記のように構成された画像表示装置にお
いては、ゲッタフラッシュ後における上下配線間の短絡
が発生しない良好なものであった。また、排気管による
排気時間も従来よりも短縮でき、さらに、画像表示装置
内の気圧分布においても、ゲッタ付着面からの距離依存
があまり見られずに良好なものとなったため、画像表示
装置の寿命が大幅に延びた。

【０４５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のゲッタ飛
散防止壁をゲッタフラッシュ部と画像表示部との間に配
置することにより、以下の効果を奏する。

【０４５３】（１）ゲッタフラッシュの際に、ゲッタ材
が表示部へ回り込むことがないため、画像表示部におけ
る配線間の短絡や、電子放出素子及び蛍光体へ悪影響を
及ぼすことがなく、したがって、ゲッタ材による画像表
示装置の品位としての致命的な画素欠陥がなくなる。

【０４５４】また、上記のように、ゲッタ材が表示部へ
回り込まないため、従来の画像表示装置のように、回り
込みを見越すために表示領域内での画像パターン（画面
の大きさ）に制約があるものと比較して、画像表示領域
内を全て画像パターン（画面）とすることができるの
で、同じ大きさの画像表示装置でも画面の大きさがより
大きく、より迫力のある大画面を提供することができ
る。

【０４５５】（２）ゲッタフラッシュ部においては、ゲ
ッタフラッシュ方向に対する制約がなく、また、ゲッタ
フラッシュ部における、フェースプレート、リアプレー
ト、外枠及びゲッタ飛散防止壁の全ての表面積がゲッタ
材の付着部となるため、ゲッタ面積が有効にかつ多量に
確保でき、それにより、長時間に渡ってゲッタによる排
気が行える。

【０４５６】（３）ゲッタ飛散防止部におけるコンダク
タンスが非常に良好であり、かつコンダクタンスを設
計、制御することができるので、排気管による排気に要
する時間が短くて済み、それにより、画像表示装置を製
造する上での大幅なコストダウンを図ることができる。

【０４５７】また、上記のようにコンダクタンスが良好
なため、画像表示装置内の圧力分布が軽減され、さら
に、画像表示装置の駆動時に蛍光体等から発生するガス
のゲッタによる排気時間が短縮され、その結果、輝度ば
らつき、放電の抑制された画像表示装置が提供できる。

【０４５８】以上から、本発明のゲッタ飛散防止部を適
用した画像表示装置においては、長い時間に渡って安定
で、長寿命、画素欠陥及び輝度ばらつきがない高品位
で、低コストな画像表示装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の画像表示装置の第１の実施の形態を示
す図であり、（ａ）は正面から見た図、（ｂ）は装置奥
行き方向の断面図、（ｃ）は電子放出部の一部を取り出
した図、（ｄ）は（ａ）に示した図のうち一部を示す図
である。

【図２】図１及び図３７に示したゲッタ飛散防止部の形
状及び大きさを示す部分拡大図であり、（ａ）は図１に
示したゲッタ飛散防止部を正面から見た図、（ｂ）は図
１に示したゲッタ飛散防止部の奥行き方向の断面図、
（ｃ）は図３７に示したゲッタ飛散防止部を正面から見
た図、（ｄ）は図３７に示したゲッタ飛散防止部の奥行
き方向の断面図である。

【図３】本発明の画像表示装置（蛍光表示管）の第２の
実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は
断面図である。

【図４】本発明の画像表示装置の第３の実施の形態を示
す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図５】図４に示したゲッタ飛散防止部の一部分を示す
図であり、（ａ）は上から見た図、（ｂ）は横から見た
図、（ｃ）はゲッタ飛散防止部を気密容器内に設置した
図である。

【図６】図５に示した頂点の角度θと気体分子の通り抜
けやすさの関係を説明するための図である。

【図７】本発明の画像表示装置の第４の実施の形態を示
す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図８】本発明の第４の実施の形態におけるゲッタ飛散
防止部について説明するための図であり、（ａ）は図３
に示したシェブロン型ゲッタ飛散防止部を示す図、
（ｂ）〜（ｅ）は（ａ）に示したシェブロン型ゲッタ飛
散防止部から本発明の第４の実施の形態におけるゲッタ
飛散防止部を形成する工程を示す図である。

【図９】図７に示したゲッタ飛散防止部におけるゲッタ
飛散防止壁の位置関係を示す図である。

【図１０】本発明の画像表示装置の第５の実施の形態に
おけるゲッタ飛散防止部について説明するための図であ
り、（ａ）は上面図、（ｂ）は図８に示したシェブロン
型ゲッタ飛散防止部を示す図、（ｃ）は（ｂ）に示した
シェブロン型ゲッタ飛散防止部を基にして形成された円
弧状のゲッタ飛散防止壁を示す図である。

【図１１】本発明の画像表示装置の第６の実施の形態に
おけるゲッタ飛散防止部について説明するための図であ
り、（ａ）は図１０に示したゲッタ飛散防止部を示す
図、（ｂ）〜（ｄ）は（ａ）に示したゲッタ飛散防止部
から本発明の第６の実施の形態におけるゲッタ飛散防止
部を形成する工程を示す図である。

【図１２】図１１に示した板の配置または形状を変更し
た例を示す図である。

【図１３】本発明の画像表示装置の第７の実施の形態に
おけるゲッタ飛散防止部の一部分を示す図であり、
（ａ）は上から見た図、（ｂ）は横から見た図である。

【図１４】本発明の画像表示装置の第８の実施の形態を
示す図であり、（ａ）は正面から見た図、（ｂ）は装置
奥行き方向の断面図、（ｃ）は裏面から見た図、（ｄ）
は側面から見た断面図である。

【図１５】表面伝導電子放出素子の模式図である。

【図１６】図１５に示した表面伝導型電子放出素子の構
成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図で
ある。

【図１７】図１５及び図１６に示した表面伝導型電子放
出素子の製造方法について説明するための図である。

【図１８】素子電極間に通電フォーミング処理を施した
際のフォーミング電圧を示す図である。

【図１９】表面伝導型電子放出素子に対して活性化処理
を施した際の活性化電圧を示す図である。

【図２０】表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装
置の実施の一形態を示す模式図であり、（ａ）は平面
図、（ｂ）は断面図である。

【図２１】本発明の画像表示装置に用いられた電子放出
素子を駆動する駆動方法を説明するための図である。

【図２２】表面伝導型電子放出素子の概略図である。

【図２３】表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装
置の実施の一形態を示す図であり、（ａ）は平面図、
（ｂ）は断面図である。

【図２４】従来及び本発明の第１０の実施の形態におけ
る画像表示装置を模式化した図であり、（ａ）は従来の
画像表示装置を正面から見た図、（ｂ）は従来の画像表
示装置の奥行き方向の断面図、（ｃ）は本発明の第１０
の実施の形態における画像表示装置を正面から見た図、
（ｄ）は本発明の第１０の実施の形態における画像表示
装置の奥行き方向の断面図である。

【図２５】本発明の画像表示装置の第１１の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図２６】本発明の画像表示装置内のゲッタ飛散防止壁
の配置について説明するための図である。

【図２７】本発明の画像表示装置の第１２の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図２８】本発明の画像表示装置の第１３の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図２９】本発明の画像表示装置の第１４の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図３０】本発明の画像表示装置の第１５の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、
（ｃ）はゲッタ飛散防止部の形状の部分斜視図である。

【図３１】本発明の第３のゲッタ飛散防止部の説明図で
ある。

【図３２】本発明の画像表示装置の第１６の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図３３】本発明の画像表示装置の第１７の実施の形態
を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図３４】本発明の画像表示装置の第１８の実施の形態
を示す図である。

【図３５】表面伝導型電子放出素子を複数配置した構成
図である。

【図３６】図３５に示した表面伝導型電子放出素子を用
いた画像表示装置の実施の一形態を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図３７】特公昭５６−４４５３４号公報に開示されて
いる従来の蛍光表示管の一構成例を示す図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すIII−IIIでの断
面図である。

【符号の説明】

１０１，３０１，４０１，７０１，１４０１，２００
１，２２２１，２５２１，２６２１，２７２１，２８２
１，２９２１，３０２１，３２０１，３３０１，３４０
２，３６０２ フェースプレート １０２，３０２，４０２，７０２，１４０２，１５０
１，２００２，２２２０，２５２０，２６２０，２７２
０，２８２０，２９２０，３０２０，３２０２，３３０
２，３４１０，３５０１，３６０１ リアプレート １０３，３０３，４０３，７０３，１４０３，２００
３，２２２５，２５２５，２７２５，２８２５，２９２
５，３０２５，３２０３，３３０３，３４０５，３５０
５ 外枠 １０４，３０４，７０４，１４０４，２００４，２５４
０，２７４０，２８４０，２９４０，３０００，３２０
９，３３０９，３４０９ 排気管 １０５ ＩＴＯ薄膜 １０６，２０００，２２００，３６１０ 蛍光体 １０８ 陰電極 １０９ 抵抗層 １１０，２２１２，３５５５ 絶縁層 １１１ ゲート電極 １１２ エミッタ電極 １１３，３０８，４０８，７０８，１４０９，２００
８，２４０１，２４０３ゲッタ飛散防止部 １１６ ワイヤー型ゲッタ １２０，２２７０，２２７５，２５７０，２５７５，２
６７０，２６７５，２７７０，２７７５，２８７０，２
８７５，２９７０，２９７５，３０７０，３０７５
ゲッタ飛散防止壁 ３００，２５００，３２１２，３３１２，３４１２
画像パターン ３０５，４０５，７０５，１４０６，２００５，２２５
０，２５５０，２７５０，２８５０，２９５０，３０５
０，３１１２，３２２０，３３２０ａ，３３２０ｂ，３
４２０ａ〜３４２０ｅ，３６２０ａ〜３６２０ｅ ゲ
ッタ ３０６，４０６，７０６，１４０７，２００６，２２５
２，２５５２，２７５２，２８５２，２９５２，３０５
２，３１１０，３２２５，３３２５ａ，３３２５ｂ，３
４２５ａ〜３４２５ｅ，３６２５ａ〜３６２５ｅ ゲ
ッタ保持治具 ３０７，４０７，７０７，１４０８，２００７，２２５
３，２５５３，２７５３，２８５３，２９５３，３０５
３，３１１１，３２２７，３３２７ａ，３３２７ｂ，３
４２７ａ〜３４２７ｅ，３６２７ａ〜３６２７ｅ ゲ
ッタ保持棒 ３０９，４０９，７０９，１４１０，２５３０，２７３
０，２８３０，２９３０，３２３０，３３３０，３４３
０ フィラメント ３１０，４１０，７１０，１４１１，２５３２，２７３
２，２８３２，２９３２，３２３２，３３３２，３４３
２ コントロールグリッド ６０１〜６０３ ガス分子 １４０５ 中板 １４１２ 遮蔽板 １５０２，２２１０，３５５０ 下配線 １５０３，２２１４，３５５１ 上配線 １５０４，２０１０，２１０４，２２３０，３０３０，
３６３０ 表面伝導型電子放出素子 １５０５，２１０５ 結線 １７０１，２１０１ 基板 １７０２，１７０３，２２１５，２２１６，３５５２，
３５５３，３６５２，３６５３ 素子電極 １７０４，３５６０ 導電性薄膜 １７０５，２２１９，３５６１，３６６１ 電子放出
部 ２００９，２２０１，３６１１ メタルバック ２００２ Ｘ方向配線 ２００３ Ｙ方向配線 ２２１７，３６６０ Ｐｄ薄膜 ２２５５，２５５５，２６５５，２７５５，２８５５，
２９５５，３０５５ゲッタ付着面 ２４０２，２４０４ 領域 ３０５８ 非蒸発型ゲッタ ３０８０ 支持部 ３０９０ スペーサ ３１１３ ゲッタ飛散部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−296732（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−296748（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−288092（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 31/12 H01J 29/94

Claims (51)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 蛍光体を担持したフェースプレートと、
   該フェースプレートに対向して配置されるリアプレート
   と、前記フェースプレート及び前記リアプレートの間に
   配置された外枠とを接合することによって形成された容
   器とを有し、該容器内に、前記蛍光体を励起させる蛍光
   体励起手段と、蒸発型ゲッタと、該蒸発型ゲッタから蒸
   発したゲッタの前記蛍光体励起手段が配置された部分へ
   の飛散を防止するゲッタ飛散防止手段とが設けられてい
   る画像表示装置において、前記蛍光体及び前記蛍光体励起手段が配置された画像表
   示部と、前記蒸発型ゲッタが配置されたゲッタフラッシ
   ュ部とが、前記ゲッタ飛散防止手段を間に置いて配置さ
   れており、 前記ゲッタ飛散防止手段は、複数のゲッタ飛散防止壁か
   らなり、 前記ゲッタ飛散防止壁間に通路が形成されており、 そして、前記複数のゲッタ飛散防止壁が、前記画像表示
   部側から見て隙間がないように配置されていることを特
   徴とする画像表示装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の画像表示装置におい
   て、 前記フェースプレート及び前記リアプレートの主面と平
   行な方向に、前記画像表示部と、前記ゲッタフラッシュ
   部とが並設して配置されていることを特徴とする画像表
   示装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の画像表
   示装置において、 前記ゲッタ飛散防止壁は、Ｖ字形の板からなることを特
   徴とする画像表示装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の画像表示装置におい
   て、 前記Ｖ字形の板の頂点の角度は、９０度以下であること
   を特徴とする画像表示装置。
5. 【請求項５】 請求項３または請求項４に記載の画像表
   示装置において、 前記Ｖ字形の板は、両辺の長さが等しいことを特徴とす
   る画像表示装置。
6. 【請求項６】 請求項３乃至５のいずれか１項に記載の
   画像表示装置において、 前記Ｖ字形の板は、互いに同一の形状を有していること
   を特徴とする画像表示装置。
7. 【請求項７】 請求項３乃至６のいずれか１項に記載の
   画像表示装置において、 前記Ｖ字形の板は、その頂点が一直線上に並ぶように配
   置されていることを特徴とする画像表示装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の画像表示装置におい
   て、 前記複数のゲッタ飛散防止壁は、おのおのの頂点が互い
   に反対方向に向いた２群のＶ字形の板からなることを特
   徴とする画像表示装置。
9. 【請求項９】 請求項７に記載の画像表示装置におい
   て、 前記Ｖ字形の板は、その頂点が、隣接するＶ字形の板の
   両端部を結んだ線上に配置されていることを特徴とする
   画像表示装置。
10. 【請求項１０】 請求項７に記載の画像表示装置におい
    て、 前記Ｖ字形の板は、その頂点が、隣接するＶ字形の板の
    両端部を結んだ線より、前記隣接するＶ字形の板の頂点
    に近い位置に配置されていることを特徴とする画像表示
    装置。
11. 【請求項１１】 請求項３乃至７のいずれか１項に記載
    の画像表示装置において、 前記複数のＶ字形の板の少なくとも１つは、その一部が
    前記外枠と接触していることを特徴とする画像表示装
    置。
12. 【請求項１２】 請求項１または請求項２に記載の画像
    表示装置において、 前記ゲッタ飛散防止壁は、円弧状の板からなることを特
    徴とする画像表示装置。
13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記円弧状の板は、半円状の板であることを特徴とする
    画像表示装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記半円状の板は、互いに同一の形状を有することを特
    徴とする画像表示装置。
15. 【請求項１５】 請求項１４に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記半円状の板は、その頂点が一直線上に並ぶように配
    置されていることを特徴とする画像表示装置。
16. 【請求項１６】 請求項１５に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記半円状の板は、その頂点が、隣接する半円状の板の
    両端部を結んだ線上に配置されていることを特徴とする
    画像表示装置。
17. 【請求項１７】 請求項１５に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記半円状の板は、その頂点が、隣接する半円状の板の
    両端部を結んだ線より、前記隣接する半円状の板の頂点
    に近い位置に配置されていることを特徴とする画像表示
    装置。
18. 【請求項１８】 請求項１または請求項２に記載の画像
    表示装置において、 前記複数のゲッタ飛散防止壁は、複数の円弧状の板と複
    数の平板とからなることを特徴とする画像表示装置。
19. 【請求項１９】 請求項１または請求項２に記載の画像
    表示装置において、 前記ゲッタ飛散防止壁は、複数の平板からなることを特
    徴とする画像表示装置。
20. 【請求項２０】 請求項１９に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記複数の平板は、互いに長さの異なる平板を含むこと
    を特徴とする画像表示装置。
21. 【請求項２１】 請求項１９に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記複数の平板の少なくとも１つは、その一部が前記外
    枠と接触していることを特徴とする画像表示装置。
22. 【請求項２２】 請求項１に記載の画像表示装置におい
    て、 前記フェースプレートと前記リアプレートとの間に、前
    記フェースプレート及び前記リアプレートと略平行に設
    けられた中間板を有し、前記複数のゲッタ飛散防止壁
    が、前記中間板と前記外枠との間に配置されていること
    を特徴とする画像表示装置。
23. 【請求項２３】 請求項２２に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記蒸発型ゲッタから蒸発したゲッタが、前記中間板、
    前記外枠及び前記リアプレートの少なくとも１つと、前
    記複数のゲッタ飛散防止壁とに付着していることを特徴
    とする画像表示装置。
24. 【請求項２４】 請求項２２に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記ゲッタ飛散防止壁は、Ｖ字形の板からなることを特
    徴とする画像表示装置。
25. 【請求項２５】 請求項２３に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記複数のＶ字形の板は、それらの頂点を結んだ稜線
    が、前記中間板の主面と平行に並ぶように配置されてい
    ることを特徴とする画像表示装置。
26. 【請求項２６】 請求項１または請求項２に記載の画像
    表示装置において、 前記複数のゲッタ飛散防止壁は、前記フェースプレート
    に取り付けられた第１の平板と、前記リアプレートに取
    り付けられた第２の平板とからなり、前記第１の平板と
    前記第２の平板とが互い違いに配置されていることを特
    徴とする画像表示装置。
27. 【請求項２７】 請求項２６に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記リアプレートと前記フェースプレートとの並び方向
    に沿った前記リアプレートと前記フェースプレートとの
    間隔をＨ、前記並び方向に沿った前記第１の平板の長さ
    をｈ₁、前記並び方向に沿った前記第２の平板の長さを
    ｈ₂としたとき、 ｈ₁≠０，ｈ₂≠０ Ｈ≦ｈ₁＋ｈ₂＜２Ｈ を満たすことを特徴とする画像表示装置。
28. 【請求項２８】 請求項２６に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記リアプレートと前記フェースプレートとの並び方向
    に沿った前記リアプレートと前記フェースプレートとの
    間隔をＨ、前記並び方向に沿った前記第１の平板の長さ
    をｈ₁、前記並び方向に沿った前記第２の平板の長さを
    ｈ₂、前記第１の平板と前記第２の平板との最短距離を
    ｄとしたとき、 ｄ＝ｈ₁＝ｈ₂＝Ｈ／２ を満たすことを特徴とする画像表示装置。
29. 【請求項２９】 請求項２６乃至２８のいずれか１項に
    記載の画像表示装置において、 前記第１の平板のフェースプレートへの取り付け位置と
    前記第２の平板のリアプレートへの取り付け位置とが略
    平行であることを特徴とする画像表示装置。
30. 【請求項３０】 請求項２６乃至２９のいずれか１項に
    記載の画像表示装置において、 前記第１及び第２の平板は、それぞれ前記フェースプレ
    ート及び前記リアプレートに対して略垂直に取り付けら
    れていることを特徴とする画像表示装置。
31. 【請求項３１】 請求項３０に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記第１の平板の一部が前記リアプレートと接触し、前
    記第２の平板の一部が前記フェースプレートと接触して
    いることを特徴とする画像表示装置。
32. 【請求項３２】 請求項２６に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記第１の平板が前記フェースプレートとなす角度と、
    前記第２の平板が前記リアプレートとなす角度とが互い
    に異なることを特徴とする画像表示装置。
33. 【請求項３３】 請求項２６または請求項３２に記載の
    画像表示装置において、 前記第１の平板が前記フェースプレートとなす角度と、
    前記第２の平板が前記リアプレートとなす角度との少な
    くとも一方は、９０度よりも小さいことを特徴とする画
    像表示装置。
34. 【請求項３４】 請求項１または請求項２に記載の画像
    表示装置において、 前記蒸発型ゲッタは、前記ゲッタ飛散防止壁に保持され
    ていることを特徴とする画像表示装置。
35. 【請求項３５】 請求項３４に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記ゲッタ飛散防止壁は、前記フェースプレート及び前
    記リアプレートと略垂直に設けられていることを特徴と
    する画像表示装置。
36. 【請求項３６】 請求項３４に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記複数のゲッタ飛散防止壁は、千鳥状に配置されてい
    ることを特徴とする画像表示装置。
37. 【請求項３７】 請求項３４に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記ゲッタ飛散防止壁は、Ｖ字形の板からなることを特
    徴とする画像表示装置。
38. 【請求項３８】 請求項３７に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記Ｖ字形の板は、両辺の長さが等しいことを特徴とす
    る画像表示装置。
39. 【請求項３９】 請求項３８に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記蒸発型ゲッタがリング状であり、前記Ｖ字形の板の
    両辺の長さをＩ、前記蒸発型ゲッタの直径を２ｒ、前記
    蒸発型ゲッタの中心と前記Ｖ字形の板の頂点との距離を
    Ｈ、前記Ｖ字形の板の頂角を２θとしたとき、 Ｉｃｏｓθ≧Ｈ Ｈｓｉｎθ≧ｒ を満たすことを特徴とする画像表示装置。
40. 【請求項４０】 請求項３７に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記Ｖ字形の板は、その両辺の長さが互いに異なること
    を特徴とする画像表示装置。
41. 【請求項４１】 請求項１乃至４０のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記蛍光体励起手段は、電界放出型電子放出素子からな
    ることを特徴とする画像表示装置。
42. 【請求項４２】 請求項１乃至４０のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記蛍光体励起手段は、熱電子放出素子からなることを
    特徴とする画像表示装置。
43. 【請求項４３】 請求項１乃至４０のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記蛍光体励起手段は、表面伝導型電子放出素子からな
    ることを特徴とする画像表示装置。
44. 【請求項４４】 請求項１乃至４３のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記容器内を減圧するための排気管を有することを特徴
    とする画像表示装置。
45. 【請求項４５】 請求項４４に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記フェースプレートと前記リアプレートとの間に設け
    られ、前記容器外部の気圧に対抗して前記容器を維持す
    るためのスペーサを有することを特徴とする画像表示装
    置。
46. 【請求項４６】 請求項４５に記載の画像表示装置にお
    いて、 前記スペーサは、前記フェースプレート及び前記リアプ
    レートの主面に平行な長手方向を有する平板からなり、
    該スペーサの長手方向と前記排気管の長手方向とが略平
    行に配置されていることを特徴とする画像表示装置。
47. 【請求項４７】 請求項１乃至４６のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記蒸発型ゲッタは、リング状であることを特徴とする
    画像表示装置。
48. 【請求項４８】 請求項１乃至４６のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記蒸発型ゲッタは、ワイヤ状であることを特徴とする
    画像表示装置。
49. 【請求項４９】 請求項１乃至４８のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 前記蒸発型ゲッタは、複数個配置されていることを特徴
    とする画像表示装置。
50. 【請求項５０】 請求項１乃至４９のいずれか１項に記
    載の画像表示装置において、 非蒸発型ゲッタを有することを特徴とする画像表示装
    置。
51. 【請求項５１】 請求項２に記載の画像表示装置におい
    て、前記容器内に、非蒸発型ゲッタが配置されており、 該 非蒸発型ゲッタは、前記画像表示部に配置されている
    ことを特徴とする画像表示装置。