JP3169037B2 - インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドに適したノズルプレートの製造方法に関する。
ッドに適したノズルプレートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ノズルより吐出させたインク滴によって
記録媒体上に記録像を書込む形式のインクジェットプリ
ンタにおいては、ノズル回りの状態、つまり、ノズルの
周囲のインクの濡れによって、インク滴が飛翔方向にズ
レを生じるといった問題を抱えている。
記録媒体上に記録像を書込む形式のインクジェットプリ
ンタにおいては、ノズル回りの状態、つまり、ノズルの
周囲のインクの濡れによって、インク滴が飛翔方向にズ
レを生じるといった問題を抱えている。
【０００３】このような問題に対して特開昭５７−１０
７８４８号公報に開示されたノズルプレートは、スパッ
タリングによってノズルの内面とノズルプレートの表面
にフッ素樹脂等の撥インク性被膜を均一に形成して、ノ
ズル回りのインクの濡れを抑えるようにしたものであ
る。
７８４８号公報に開示されたノズルプレートは、スパッ
タリングによってノズルの内面とノズルプレートの表面
にフッ素樹脂等の撥インク性被膜を均一に形成して、ノ
ズル回りのインクの濡れを抑えるようにしたものであ
る。
【０００４】このものは、ノズル回りにインクの濡れが
生じないようにしているため、インク滴をノズルの軸線
方向に安定的に飛翔させることができる利点を有してい
るが、反面において、このものの撥インク性皮膜の形成
手法ではノズル内面への撥インク性皮膜の入り込み量が
一定しないため、入り込み量が大きすぎる場合には、メ
ニスカスの振動中心がその分ノズルプレートの表面から
離れてしまう結果、所要の量のインクを吐出させるため
に必要とするエネルギーが大きくなって吐出効率が悪く
なり、また入り込み量が少なすぎる場合には、メニスカ
スの振動中心がノズルプレートの表面近くになる結果、
インク滴が吐出した後のメニスカスの振動によりインク
滴が再吐出するという、いわゆるミスファイヤを起すな
ど、製品毎に大きなバラ付きが生じて信頼性を損ねてし
まうといった問題が生じる。
生じないようにしているため、インク滴をノズルの軸線
方向に安定的に飛翔させることができる利点を有してい
るが、反面において、このものの撥インク性皮膜の形成
手法ではノズル内面への撥インク性皮膜の入り込み量が
一定しないため、入り込み量が大きすぎる場合には、メ
ニスカスの振動中心がその分ノズルプレートの表面から
離れてしまう結果、所要の量のインクを吐出させるため
に必要とするエネルギーが大きくなって吐出効率が悪く
なり、また入り込み量が少なすぎる場合には、メニスカ
スの振動中心がノズルプレートの表面近くになる結果、
インク滴が吐出した後のメニスカスの振動によりインク
滴が再吐出するという、いわゆるミスファイヤを起すな
ど、製品毎に大きなバラ付きが生じて信頼性を損ねてし
まうといった問題が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
ノズル内面への撥インク性物質の入り込み量をある一定
の範囲に抑えて、インク滴吐出時の駆動エネルギの低減
を図りつつ、インク滴の安定的な吐出を実現させる記録
ヘッドに適したノズルプレートの製造方法を提案するこ
とにある。
題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、
ノズル内面への撥インク性物質の入り込み量をある一定
の範囲に抑えて、インク滴吐出時の駆動エネルギの低減
を図りつつ、インク滴の安定的な吐出を実現させる記録
ヘッドに適したノズルプレートの製造方法を提案するこ
とにある。
【０００６】
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明はこの
ような課題を達成するために、感光性樹脂材をノズルプ
レートの裏面に圧接し、かつ該感光性樹脂材に熱を加え
て、吐出させる１発のインク滴のインク体積に対してノ
ズルプレートの表面からのノズル内空隙容積が０．０５
乃至０．５０となるような位置まで該感光性樹脂材の一
部をノズル内に入り込ませる工程と、該感光性樹脂材を
光により硬化させ、ついで硬化した該感光性樹脂材をマ
スキング材として少なくとも上記ノズルの内面と上記ノ
ズルプレートの表面に撥インク性の被覆層を形成する工
程と、を含む。
ような課題を達成するために、感光性樹脂材をノズルプ
レートの裏面に圧接し、かつ該感光性樹脂材に熱を加え
て、吐出させる１発のインク滴のインク体積に対してノ
ズルプレートの表面からのノズル内空隙容積が０．０５
乃至０．５０となるような位置まで該感光性樹脂材の一
部をノズル内に入り込ませる工程と、該感光性樹脂材を
光により硬化させ、ついで硬化した該感光性樹脂材をマ
スキング材として少なくとも上記ノズルの内面と上記ノ
ズルプレートの表面に撥インク性の被覆層を形成する工
程と、を含む。
【０００８】
【０００９】
【実施例】そこで以下に図示した実施例について説明す
る。図１は、本発明の一実施例をなすノズルプレートの
製造工程、より詳しくはその表面処理工程について示し
たものであり、また、図２、図３は、この工程によって
形成されたノズルプレートについて示したものである。
る。図１は、本発明の一実施例をなすノズルプレートの
製造工程、より詳しくはその表面処理工程について示し
たものであり、また、図２、図３は、この工程によって
形成されたノズルプレートについて示したものである。
【００１０】図において符号１で示したノズルプレート
は、金属、セラミックス、シリコン、ガラス、プラスチ
ック等で形成され、好ましくはチタン、クロム、鉄、コ
バルト、ニッケル、銅、亜鉛、スズ、金等の単一材、も
しくはニッケル−リン合金、スズ−銅−リン合金（リン
青銅）、銅−亜鉛合金、ステンレス鋼等の合金や、ポリ
カーボネイト、プリサルフォン、ＡＢＳ樹脂（アクリル
ニトリル・ブタジエン・スチレン供重合）、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリアセタール及び各種の感光性樹
脂材で形成されていて、このノズルプレート１には、裏
面３側に大きく開口した漏斗状部分４ａと、表面２側に
筒状に開口したオリフィス部分４ｂとからなる複数のノ
ズル孔４が設けられている。
は、金属、セラミックス、シリコン、ガラス、プラスチ
ック等で形成され、好ましくはチタン、クロム、鉄、コ
バルト、ニッケル、銅、亜鉛、スズ、金等の単一材、も
しくはニッケル−リン合金、スズ−銅−リン合金（リン
青銅）、銅−亜鉛合金、ステンレス鋼等の合金や、ポリ
カーボネイト、プリサルフォン、ＡＢＳ樹脂（アクリル
ニトリル・ブタジエン・スチレン供重合）、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリアセタール及び各種の感光性樹
脂材で形成されていて、このノズルプレート１には、裏
面３側に大きく開口した漏斗状部分４ａと、表面２側に
筒状に開口したオリフィス部分４ｂとからなる複数のノ
ズル孔４が設けられている。
【００１１】このノズルプレート１の裏面２には、はじ
めに、光により硬化する感光性樹脂フィルム５、一例と
して三菱レーヨン製ダイヤロンＦＲＡ３０５−３８（商
品名）のドライフィルムレジストをラミネートし、つい
で、この感光性樹脂フィルム５に４．０ｋｇｆ／cm2 の
圧力を加えつつ４０〜７０℃前後の温度で加熱して、ノ
ズル５の内部に、表面から５〜４０μｍの深さのところ
までフィルム５の一部を入り込ませる（図１（ａ））。
めに、光により硬化する感光性樹脂フィルム５、一例と
して三菱レーヨン製ダイヤロンＦＲＡ３０５−３８（商
品名）のドライフィルムレジストをラミネートし、つい
で、この感光性樹脂フィルム５に４．０ｋｇｆ／cm2 の
圧力を加えつつ４０〜７０℃前後の温度で加熱して、ノ
ズル５の内部に、表面から５〜４０μｍの深さのところ
までフィルム５の一部を入り込ませる（図１（ａ））。
【００１２】つぎに、ノズルプレート１の裏面３と表面
２から紫外線を照射して、ノズルプレート１の裏面３及
びノズル４内へ入り込んだ光感光性樹脂フィルム５全体
を硬化させる（同図（ｂ））。
２から紫外線を照射して、ノズルプレート１の裏面３及
びノズル４内へ入り込んだ光感光性樹脂フィルム５全体
を硬化させる（同図（ｂ））。
【００１３】この工程は、つぎの共析メッキ層形成工程
で共析メッキ層６をノズル４内へ入り込ませるその入り
込み量ｄを規制するための前処理工程として位置付けら
れる。
で共析メッキ層６をノズル４内へ入り込ませるその入り
込み量ｄを規制するための前処理工程として位置付けら
れる。
【００１４】このメッキ層６の入り込み量ｄを規制する
ために使用するこの感光性樹脂材は、一般にその粘度が
温度により大きく変化するため、所要のメッキ層入り込
み量ｄ位置まで感光性樹脂フィルム５の一部をノズル４
内に入り込ませるには、加える圧力を一定にして、感光
性樹脂フィルム５に加える温度ｔ、つまり加熱量を管理
するようにした方が得策である。
ために使用するこの感光性樹脂材は、一般にその粘度が
温度により大きく変化するため、所要のメッキ層入り込
み量ｄ位置まで感光性樹脂フィルム５の一部をノズル４
内に入り込ませるには、加える圧力を一定にして、感光
性樹脂フィルム５に加える温度ｔ、つまり加熱量を管理
するようにした方が得策である。
【００１５】この実施例では、一般的なノズルプレー
ト、つまり板厚Ｔが８０μｍ、ノズル径Ｄが４０μｍ、
ノズルの筒状部の長さｌが３５μｍのノズルプレート１
を用い、この裏面３に肉厚が３８μｍの感光性樹脂フィ
ルム５を貼着して、これに４．０ｋｇｆ／cm2 と５．０
ｋｇｆ／cm2 の圧力を加えつつ種々の温度ｔで２０秒間
加熱したところ、温度ｔと感光性樹脂フィルム５の入り
込み量ｆとの間に図５に示したような関係が得られた。
ト、つまり板厚Ｔが８０μｍ、ノズル径Ｄが４０μｍ、
ノズルの筒状部の長さｌが３５μｍのノズルプレート１
を用い、この裏面３に肉厚が３８μｍの感光性樹脂フィ
ルム５を貼着して、これに４．０ｋｇｆ／cm2 と５．０
ｋｇｆ／cm2 の圧力を加えつつ種々の温度ｔで２０秒間
加熱したところ、温度ｔと感光性樹脂フィルム５の入り
込み量ｆとの間に図５に示したような関係が得られた。
【００１６】他方、感光性樹脂フィルム５を硬化させる
ための紫外線（波長３６５ｎｍ）の光量については、こ
の実施例の場合、７５０ｍＪ／cm2 の露光量を要した。
ための紫外線（波長３６５ｎｍ）の光量については、こ
の実施例の場合、７５０ｍＪ／cm2 の露光量を要した。
【００１７】つぎに、このノズルプレート１を、ニッケ
ルイオンとポリテトラフルオロエチレン等の撥水性高分
子樹脂の粒子を電荷により分散させた電解液中に浸漬
し、液を攪拌しながらノズルプレート１の表面に共析メ
ッキ層６を形成する（同図（ｃ））。
ルイオンとポリテトラフルオロエチレン等の撥水性高分
子樹脂の粒子を電荷により分散させた電解液中に浸漬
し、液を攪拌しながらノズルプレート１の表面に共析メ
ッキ層６を形成する（同図（ｃ））。
【００１８】この共析メッキ処理に使用されるフッ素系
高分子材としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
バーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニ
リデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアル
キルフマレート等の樹脂を単独にあるいは混合したもの
として用いられる。
高分子材としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
バーフルオロアルコキシブタジエン、ポリフルオロビニ
リデン、ポリフルオロビニル、ポリジパーフルオロアル
キルフマレート等の樹脂を単独にあるいは混合したもの
として用いられる。
【００１９】このメッキ層６のマトリックスとしては特
に制限はなく、ニッケル、銅、銀、亜鉛、錫等の適宜の
金属を選ぶことができるが、好ましくは、ニッケルやニ
ッケル−コバルト合金、ニッケル−リン合金、ニッケル
−ホウ素合金等の表面硬度が大で、しかも耐摩耗性に優
れたものが選定される。
に制限はなく、ニッケル、銅、銀、亜鉛、錫等の適宜の
金属を選ぶことができるが、好ましくは、ニッケルやニ
ッケル−コバルト合金、ニッケル−リン合金、ニッケル
−ホウ素合金等の表面硬度が大で、しかも耐摩耗性に優
れたものが選定される。
【００２０】これにより、ポリテトラフルオロエチレン
の粒子は、ノズルプレート１の表面２と、表面２から与
えられた深さの点までノズル４の内周囲を均一に覆う。
の粒子は、ノズルプレート１の表面２と、表面２から与
えられた深さの点までノズル４の内周囲を均一に覆う。
【００２１】そしてこのあと、適宜の溶剤を用いてノズ
ルプレート１の裏面３とノズル４内に入り込んだ感光性
樹脂フィルム５を溶解除去し、ついで、ノズルプレート
１に荷重を加えてその反りの発生を抑えつつ、これをポ
リテトラフルオロエチレンの融点以上の温度、例えば３
５０℃以上の温度で加熱して、ノズルプレート１の表面
２と、与えられた深さの点までのノズルの内周面に硬度
の大なる撥インク性のメッキ層６を形成する（同図
（ｄ））。
ルプレート１の裏面３とノズル４内に入り込んだ感光性
樹脂フィルム５を溶解除去し、ついで、ノズルプレート
１に荷重を加えてその反りの発生を抑えつつ、これをポ
リテトラフルオロエチレンの融点以上の温度、例えば３
５０℃以上の温度で加熱して、ノズルプレート１の表面
２と、与えられた深さの点までのノズルの内周面に硬度
の大なる撥インク性のメッキ層６を形成する（同図
（ｄ））。
【００２２】したがって、このように構成されたノズル
プレート１では、図２に示したように撥インク性メッキ
層６のノズル４内下縁がインクメニスカスの振動中心Ａ
を決める重要な要素となる。
プレート１では、図２に示したように撥インク性メッキ
層６のノズル４内下縁がインクメニスカスの振動中心Ａ
を決める重要な要素となる。
【００２３】そして、ノズル４の表面２からメニスカス
の振動中心Ａまでのノズル内空隙容積をＶｍ、ノズル４
の表面２から吐出直前のインクの前面Ｂまでの容積、つ
まり吐出させる１発のインク滴のインク体積をＶｉとす
ると、メッキ層６の入り込み量ｄが小さい程Ｖｍ／Ｖｉ
も小さくなって、所望の吐出インク体積Ｖｉを得るため
のピエゾ駆動電圧を低く抑えることを可能となし、また
高価なドライバを不要にすることができるが、反面、入
り込み量ｄを小さくしすぎると、図６及び表１に見られ
るように飛行曲がりが発生する。
の振動中心Ａまでのノズル内空隙容積をＶｍ、ノズル４
の表面２から吐出直前のインクの前面Ｂまでの容積、つ
まり吐出させる１発のインク滴のインク体積をＶｉとす
ると、メッキ層６の入り込み量ｄが小さい程Ｖｍ／Ｖｉ
も小さくなって、所望の吐出インク体積Ｖｉを得るため
のピエゾ駆動電圧を低く抑えることを可能となし、また
高価なドライバを不要にすることができるが、反面、入
り込み量ｄを小さくしすぎると、図６及び表１に見られ
るように飛行曲がりが発生する。
【００２４】他方、メッキ層６の入り込み量ｄが大きい
場合には、インク吐出後のメニスカスの引込み位置Ｃが
深くなって、ノズル４の前面からの気泡の引込みや、つ
ぎのインク滴吐出の際にインクの供給不足が生じて吐出
不良を惹起こす。
場合には、インク吐出後のメニスカスの引込み位置Ｃが
深くなって、ノズル４の前面からの気泡の引込みや、つ
ぎのインク滴吐出の際にインクの供給不足が生じて吐出
不良を惹起こす。
【００２５】撥インク性メッキ層６の入り込み量ｄを種
々に異ならせた板厚８０μｍのノズルプレート１を用意
し、これらをピエゾ駆動方式を採るオンデマンド型イン
クジェットプリンタに装着して、径が４０μｍのノズル
４から０．１μｇ／ｄｏｔのインク滴を５ＫＨｚの応答
周波数で３０秒間フルに吐出させる実験を１００回行っ
てその際の飛行曲がり、吐出不良等をカウントしたとこ
ろ、下記の結果が得られた。
々に異ならせた板厚８０μｍのノズルプレート１を用意
し、これらをピエゾ駆動方式を採るオンデマンド型イン
クジェットプリンタに装着して、径が４０μｍのノズル
４から０．１μｇ／ｄｏｔのインク滴を５ＫＨｚの応答
周波数で３０秒間フルに吐出させる実験を１００回行っ
てその際の飛行曲がり、吐出不良等をカウントしたとこ
ろ、下記の結果が得られた。
【表１】
【００２６】そしてこの実験により、Ｖｍ／Ｖｉ、つま
り、吐出させる１発のインク滴のインク体積Ｖｉに対す
るノズルプレート１の表面２からメニスカス形成面Ａま
でのノズル４内空隙容積Ｖｍの比が０．０４を下回る
と、インク滴の飛行曲がりが急激に多くなり、またこの
比が０．５０を越えると、急激に吐出不良が発生するこ
とが判った。
り、吐出させる１発のインク滴のインク体積Ｖｉに対す
るノズルプレート１の表面２からメニスカス形成面Ａま
でのノズル４内空隙容積Ｖｍの比が０．０４を下回る
と、インク滴の飛行曲がりが急激に多くなり、またこの
比が０．５０を越えると、急激に吐出不良が発生するこ
とが判った。
【００２７】ところで以上は、表面２側に筒状のオリフ
ィス部分４ｂを、裏面３側に大きく開口した漏斗状部分
４ａを有するノズル４についての実験結果であるが、図
３に示したように、表面２側のオリフィス部分１４ｂか
ら裏面３側へと緩やかにラッパ状に開口したノズル１４
についても、実験の結果、同様の傾向を有することが明
らかになった。
ィス部分４ｂを、裏面３側に大きく開口した漏斗状部分
４ａを有するノズル４についての実験結果であるが、図
３に示したように、表面２側のオリフィス部分１４ｂか
ら裏面３側へと緩やかにラッパ状に開口したノズル１４
についても、実験の結果、同様の傾向を有することが明
らかになった。
【００２８】そして以上のことから、Ｖｍ／Ｖｉを０．
０４乃至０．５０の範囲、より好ましくは０．０５乃至
０．３５の範囲になるようメッキ層６の入り込み量ｄを
定めればよいことが判った。
０４乃至０．５０の範囲、より好ましくは０．０５乃至
０．３５の範囲になるようメッキ層６の入り込み量ｄを
定めればよいことが判った。
【００２９】図４は、ノズルプレート１の表面処理方法
に関する本発明の第２の実施例を示したものである。
に関する本発明の第２の実施例を示したものである。
【００３０】この方法は、はじめに所要の押圧力をもっ
てゴム等の弾性板７をノズルプレート１の表面２に圧接
させて、その一部をノズル４内に所要の入り込み量ｄに
相当する量だけ入り込ませる。そしてつぎに、ノズル４
部分を含めてノズルプレート１の裏面３全体に、マスキ
ング材８としてドライフィルムレジストもしくは適宜の
可塑材８を塗布する（図４（ａ））。
てゴム等の弾性板７をノズルプレート１の表面２に圧接
させて、その一部をノズル４内に所要の入り込み量ｄに
相当する量だけ入り込ませる。そしてつぎに、ノズル４
部分を含めてノズルプレート１の裏面３全体に、マスキ
ング材８としてドライフィルムレジストもしくは適宜の
可塑材８を塗布する（図４（ａ））。
【００３１】ついで、マスキング材８としてドライフィ
ルムレジストを用いた場合には、裏面３から紫外線を照
射してこれを硬化させ、また、他の可塑材を用いた場合
には、加熱もしくは通常の乾燥処理によりこれを固化さ
せた上、ノズルプレート１の表面２から弾性材７を取除
く（図４（ｂ））。
ルムレジストを用いた場合には、裏面３から紫外線を照
射してこれを硬化させ、また、他の可塑材を用いた場合
には、加熱もしくは通常の乾燥処理によりこれを固化さ
せた上、ノズルプレート１の表面２から弾性材７を取除
く（図４（ｂ））。
【００３２】そしてつぎに、撥水性高分子樹脂の粒子を
電荷により分散させた電解液中にこのノズルプレート１
を浸漬して、その表面２に共析メッキ層よりなる撥イン
ク性の被覆層９を形成するか、もしくは、スパッタリン
グ法もしくはディッピング法によりノズルプレート１の
表面２にフッ素系の高分子撥水剤を施して（図４
（ｃ））、最後に適宜の処理液を用いてノズルプレート
１の裏面３からマスキング材８を溶解除去するようにす
る（図４（ｄ））。
電荷により分散させた電解液中にこのノズルプレート１
を浸漬して、その表面２に共析メッキ層よりなる撥イン
ク性の被覆層９を形成するか、もしくは、スパッタリン
グ法もしくはディッピング法によりノズルプレート１の
表面２にフッ素系の高分子撥水剤を施して（図４
（ｃ））、最後に適宜の処理液を用いてノズルプレート
１の裏面３からマスキング材８を溶解除去するようにす
る（図４（ｄ））。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ノズ
ルプレートの裏面からノズル内に入り込ませた感光性樹
脂材等をマスキング材としてノズルプレートの表面に撥
インク性被覆層を形成するようにしたので、メニスカス
の振動位置を規制する被覆層の入り込み量をこのマスキ
ング材により正しく管理して、製品毎のバラつきを生じ
させることなく、信頼性の高いノズルプレートを製造す
ることができる。
ルプレートの裏面からノズル内に入り込ませた感光性樹
脂材等をマスキング材としてノズルプレートの表面に撥
インク性被覆層を形成するようにしたので、メニスカス
の振動位置を規制する被覆層の入り込み量をこのマスキ
ング材により正しく管理して、製品毎のバラつきを生じ
させることなく、信頼性の高いノズルプレートを製造す
ることができる。
【００３４】しかも、ノズルプレートの裏面からノズル
内に入り込ませた感光性樹脂材等をマスキング材として
ノズルプレートの表面に撥インク性被覆層を形成するよ
うにしたので、メニスカスの振動位置を規制する被覆層
の入り込み量をこのマスキング材により正しく管理する
ことができて、製品毎のバラつきを生じさせることな
く、信頼性の高いノズルプレートを形成することができ
る。
内に入り込ませた感光性樹脂材等をマスキング材として
ノズルプレートの表面に撥インク性被覆層を形成するよ
うにしたので、メニスカスの振動位置を規制する被覆層
の入り込み量をこのマスキング材により正しく管理する
ことができて、製品毎のバラつきを生じさせることな
く、信頼性の高いノズルプレートを形成することができ
る。
【図１】（ａ）乃至（ｄ）は本発明の一実施例をなすノ
ズルプレートの成形工程を示した図である。
ズルプレートの成形工程を示した図である。
【図２】本発明の一実施例を示したノズルプレートの要
部の拡大断面図である。
部の拡大断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示したノズルプレートの
要部の拡大断面図である。
要部の拡大断面図である。
【図４】（ａ）乃至（ｄ）は本発明の他の実施例をなす
ノズルプレートの成形工程を示した図である。
ノズルプレートの成形工程を示した図である。
【図５】温度と感光性樹脂フィルムのノズル内入り込み
量との関係を示した図である。
量との関係を示した図である。
【図６】Ｖｍ／Ｖｉと飛行曲がり及び吐出不良の各発生
回数の関係を示した図である。
回数の関係を示した図である。
１ ノズルプレート ４ ノズル ５ 感光性樹脂フィルム ６ 共析メッキ層 ７ 弾性板 ８ マスキング層 ９ 撥インク性被覆層 Ｖｍ ノズルプレートの表面からメニスカス形成面まで
のノズル内空隙容積 Ｖｉ 吐出させるインク滴の量
のノズル内空隙容積 Ｖｉ 吐出させるインク滴の量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 羽毛田 和重 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイ コーエプソン株式会社内 (72)発明者 井中 幸芳 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイ コーエプソン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−122560（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−116327（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−191026（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/135
Claims (5)
- 【請求項１】 感光性樹脂材をノズルプレートの裏面に
圧接し、かつ該感光性樹脂材に熱を加えて、吐出させる
１発のインク滴のインク体積に対してノズルプレートの
表面からのノズル内空隙容積が０．０５乃至０．５０と
なるような位置まで該感光性樹脂材の一部をノズル内に
入り込ませる工程と、 該感光性樹脂材を光により硬化させ、ついで硬化した該
感光性樹脂材をマスキング材として少なくとも上記ノズ
ルの内面と上記ノズルプレートの表面に撥インク性の被
覆層を形成する工程と、 を含むインクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製
造方法。 - 【請求項２】 上記感光性樹脂材のノズル内への入り込
み量を、圧力を一定にした上で温度を変えることにより
制御するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の
インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方
法。 - 【請求項３】 ノズルプレートの表面に弾性材を積層
し、かつ該弾性材を加圧して、ノズルプレート表面から
の空間容積が、吐出させる１発のインク滴のインク体積
に対して０．０５乃至０．５０となる位置までノズル内
に該弾性材の一部をノズル内へ入り込ませる工程と、 少なくとも一部をノズル内の上記弾性材に突き当てるよ
うにして上記ノズルプレートの裏面にマスキング層を形
成する工程と、 上記弾性材を除去し、ついで上記マスキング層をマスキ
ング材としてして少なくとも上記ノズルの内面と上記ノ
ズルプレートの表面に撥インク性の被覆層を形成する工
程と、 からなるインクジェット記録ヘッドのノズルプレートの
製造方法。 - 【請求項４】 上記マスキング層を感光性樹脂材により
形成したことを特徴とする請求項３に記載のインクジェ
ット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法。 - 【請求項５】 上記マスキング層を可塑材により形成し
たことを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記
録ヘッドのノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29418393A JP3169037B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 |
| FR9412950A FR2711577B1 (fr) | 1993-10-29 | 1994-10-28 | Plaque à buses pour imprimante à jets d'encre. |
| DE4438956A DE4438956C2 (de) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Düsenplatte für Tintenstrahldrucker und Verfahren zur Beschichtung derselben |
| GB9422028A GB2283208B (en) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Nozzle plate for an ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
| SG1996004424A SG48968A1 (en) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Nozzle plate for an ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
| IT94TO000869A IT1267477B1 (it) | 1993-10-29 | 1994-10-31 | Piastra ad ugelli per stampante a getto di inchiostro e procedimento per la sua fabbricazione. |
| US08/641,807 US5759421A (en) | 1993-10-29 | 1996-05-02 | Nozzle plate for ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
| US08/879,521 US6126269A (en) | 1993-10-29 | 1997-06-20 | Nozzle plate for ink jet printer and method of manufacturing said nozzle plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29418393A JP3169037B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001005225A Division JP2001187453A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | ピエゾ駆動型インクジェット記録ヘッドのノズルプレート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07125220A JPH07125220A (ja) | 1995-05-16 |
| JP3169037B2 true JP3169037B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=17804390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29418393A Expired - Lifetime JP3169037B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | インクジェット記録ヘッドのノズルプレートの製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5759421A (ja) |
| JP (1) | JP3169037B2 (ja) |
| DE (1) | DE4438956C2 (ja) |
| FR (1) | FR2711577B1 (ja) |
| GB (1) | GB2283208B (ja) |
| IT (1) | IT1267477B1 (ja) |
| SG (1) | SG48968A1 (ja) |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3264971B2 (ja) * | 1991-03-28 | 2002-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US6561623B1 (en) | 1995-08-31 | 2003-05-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for producing ink jet recording head and ink jet recording head produced by same |
| US6109728A (en) * | 1995-09-14 | 2000-08-29 | Ricoh Company, Ltd. | Ink jet printing head and its production method |
| JPH10101829A (ja) * | 1996-10-01 | 1998-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチック基材およびその製造方法、並びにインクジェットプリンタ用ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH11129483A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-05-18 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用オリフィスプレートの製造方法、オリフィスプレート、該オリフィスプレートを有する液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| WO1999012740A1 (fr) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Seiko Epson Corporation | Structure poreuse, tete d'enregistrement par jet d'encre, procedes de fabrication et dispositif d'enregistrement par jet d'encre |
| US6511156B1 (en) * | 1997-09-22 | 2003-01-28 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink-jet head nozzle plate, its manufacturing method and ink-jet head |
| JP3559697B2 (ja) * | 1997-12-01 | 2004-09-02 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US6409931B1 (en) | 1998-01-26 | 2002-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing ink jet recording head and ink jet recording head |
| JP2000086948A (ja) * | 1998-09-08 | 2000-03-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット記録用顔料インク |
| US6179978B1 (en) * | 1999-02-12 | 2001-01-30 | Eastman Kodak Company | Mandrel for forming a nozzle plate having a non-wetting surface of uniform thickness and an orifice wall of tapered contour, and method of making the mandrel |
| JP2000336294A (ja) | 1999-03-24 | 2000-12-05 | Seiko Epson Corp | 色再現性に優れたインクセットおよびイエローインク組成物 |
| JP2001018398A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-23 | Konica Corp | インクジェットヘッドのノズルプレートの製造方法 |
| US6561624B1 (en) | 1999-11-17 | 2003-05-13 | Konica Corporation | Method of processing nozzle plate, nozzle plate, ink jet head and image forming apparatus |
| ATE294221T1 (de) | 2000-02-08 | 2005-05-15 | Seiko Epson Corp | Tintenzusammensetzung und verfahren zum aufzeichnen eines aufzeichnungsmediums unter verwendung derselben |
| US6821330B1 (en) | 2000-02-08 | 2004-11-23 | Seiko Epson Corporation | Ink composition and method of recording a recording medium using this |
| US6783580B2 (en) * | 2000-03-30 | 2004-08-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Environmentally friendly, reliable, fast drying ink for point-of-sale thermal ink jet application |
| SE0003293D0 (sv) * | 2000-09-15 | 2000-09-15 | Aamic Ab | Dispensing nozzle |
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| JP2003205610A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド用ノズル板及びその製造方法並びに該ノズル板を用いたインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
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