JP3048956B2 - 非製品ウェハ管理装置 - Google Patents
非製品ウェハ管理装置Info
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- JP3048956B2 JP3048956B2 JP9131091A JP13109197A JP3048956B2 JP 3048956 B2 JP3048956 B2 JP 3048956B2 JP 9131091 A JP9131091 A JP 9131091A JP 13109197 A JP13109197 A JP 13109197A JP 3048956 B2 JP3048956 B2 JP 3048956B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は非製品ウェハ管理装
置に関し、特に製品ウェハの製造工程における状態等を
把握するためのリファレンスウェハ，ダミーウェハなど
の再生，廃棄を含む処理を管理する非製品ウェハ管理装
置に関する。
置に関し、特に製品ウェハの製造工程における状態等を
把握するためのリファレンスウェハ，ダミーウェハなど
の再生，廃棄を含む処理を管理する非製品ウェハ管理装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造において、そのウェハ
の製造工程の状態等を把握するために、製品ウェハと共
にリファレンスウェハ，ダミーウェハ等の非製品ウェハ
を流して所定の処理を施し、これら非製品ウェハから所
定の情報を得るようにする例が多い。
の製造工程の状態等を把握するために、製品ウェハと共
にリファレンスウェハ，ダミーウェハ等の非製品ウェハ
を流して所定の処理を施し、これら非製品ウェハから所
定の情報を得るようにする例が多い。
【０００３】このような非製品ウェハの各製造工程にお
ける処理や、再生，廃棄等の処理の管理を行う非製品ウ
ェハ管理装置の一例を図３及び図４に示す（例えば、特
開平５−７４６７５号公報参照）。
ける処理や、再生，廃棄等の処理の管理を行う非製品ウ
ェハ管理装置の一例を図３及び図４に示す（例えば、特
開平５−７４６７５号公報参照）。
【０００４】この例は、図３に示すように、ホストコン
ピュータ１１と、このホストコンピュータ１１により管
理されるデータベース１２と、システムパラメータの登
録や各種設定を行い、各製造ロット（製品ウェハの）に
ついての一連の作業の作業順、各作業の作業条件の設
定、非製品ウェハの各作業の実行、廃棄等の設定等を行
う設計者用端末１３と、ディスプレイに表示された作業
指示に従って作業者が、製品ウェハ及び非製品ウェハに
対し作業ａ（１５ａ），作業ｂ（１５ｂ）などの所定の
作業を行う作業者用端末１４ａ，１４ｂとを備えた構成
となっている。
ピュータ１１と、このホストコンピュータ１１により管
理されるデータベース１２と、システムパラメータの登
録や各種設定を行い、各製造ロット（製品ウェハの）に
ついての一連の作業の作業順、各作業の作業条件の設
定、非製品ウェハの各作業の実行、廃棄等の設定等を行
う設計者用端末１３と、ディスプレイに表示された作業
指示に従って作業者が、製品ウェハ及び非製品ウェハに
対し作業ａ（１５ａ），作業ｂ（１５ｂ）などの所定の
作業を行う作業者用端末１４ａ，１４ｂとを備えた構成
となっている。
【０００５】図４は機能的にこの例を説明するためのブ
ロック図であり、１６は作業情報登録手段で、各製造ロ
ットそれぞれについての為すべき一連の作業とその作業
条件を記憶するロット別作業条件記憶部１７と、非製品
ウェハの為すべき一連の作業とその作業条件を記憶する
非製品ウェハ別作業情報記憶部１８からなる。
ロック図であり、１６は作業情報登録手段で、各製造ロ
ットそれぞれについての為すべき一連の作業とその作業
条件を記憶するロット別作業条件記憶部１７と、非製品
ウェハの為すべき一連の作業とその作業条件を記憶する
非製品ウェハ別作業情報記憶部１８からなる。
【０００６】１９は上記作業情報登録手段１６から作業
情報を読み出す作業情報読出部で、製造ロット判別部２
０から製造ロットの認識番号が知らされるとその製造ロ
ットの作業条件及びその製造ロット中に含まれる非製品
ウェハの処置についての作業情報を作業情報登録手段１
６から読み出し、ディスプレイからなる作業指示手段２
１に表示をさせる。
情報を読み出す作業情報読出部で、製造ロット判別部２
０から製造ロットの認識番号が知らされるとその製造ロ
ットの作業条件及びその製造ロット中に含まれる非製品
ウェハの処置についての作業情報を作業情報登録手段１
６から読み出し、ディスプレイからなる作業指示手段２
１に表示をさせる。
【０００７】２２は作業結果判別部で、作業を終えたあ
るいは作業に臨む非製品ウェハが不良になっているか否
かを判断するもので、不良だという結果が得られればそ
の非製品ウェハについての今後の処置について変更する
必要があるので、更新信号が作業結果判別部２２から更
新入力手段２３に入力され、そして作業情報登録手段の
非製品ウェハ別作業情報記憶部１９のその非製品ウェハ
についての作業情報が更新されるようになっている。
るいは作業に臨む非製品ウェハが不良になっているか否
かを判断するもので、不良だという結果が得られればそ
の非製品ウェハについての今後の処置について変更する
必要があるので、更新信号が作業結果判別部２２から更
新入力手段２３に入力され、そして作業情報登録手段の
非製品ウェハ別作業情報記憶部１９のその非製品ウェハ
についての作業情報が更新されるようになっている。
【０００８】この従来の非製品ウェハ管理装置によれ
ば、製品ウェハだけでなくその製造ロットの非製品ウェ
ハに対しての処理についても指示できるし、その作業結
果に応じて非製品ウェハの作業情報の内容を適宜指示す
ることができ、どの非製品ウェハについてどのように処
理（再生処理、廃棄処理を含む）すべきかをペーパーレ
ス（ディスプレイに表示）で指示できるので、その処理
ミスを防止できる。
ば、製品ウェハだけでなくその製造ロットの非製品ウェ
ハに対しての処理についても指示できるし、その作業結
果に応じて非製品ウェハの作業情報の内容を適宜指示す
ることができ、どの非製品ウェハについてどのように処
理（再生処理、廃棄処理を含む）すべきかをペーパーレ
ス（ディスプレイに表示）で指示できるので、その処理
ミスを防止できる。
【０００９】非製品ウェハは上述したように、製造工程
の状態の把握等の目的で使用されるが、殆どの非製品ウ
ェハが使用後に再生処理を行われる。状態把握で使用さ
れる非製品ウェハは１回あたりの枚数は少ないが、再生
を行う場合は効率アップ等の点から同一手順（再生時の
作業回数、順序、作業条件が同じもの）で作業可能な非
製品ウェハに関しては、同じ手順で作業を行うのが一般
的である。
の状態の把握等の目的で使用されるが、殆どの非製品ウ
ェハが使用後に再生処理を行われる。状態把握で使用さ
れる非製品ウェハは１回あたりの枚数は少ないが、再生
を行う場合は効率アップ等の点から同一手順（再生時の
作業回数、順序、作業条件が同じもの）で作業可能な非
製品ウェハに関しては、同じ手順で作業を行うのが一般
的である。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の非製品
ウェハ管理装置は、非製品ウェハに対する再生処理，廃
棄処理を含む各種の処理の指示をディスプレイに表示
し、この表示された指示に従って作業者自身の手によっ
て処理する構成となっているので、作業者がどんなに集
中し、注意していても、異種ウェハの混入に対するチェ
ックミス、非製品ウェハの再生・使用期限のチェックミ
ス、及び再生手順の選択ミスや、処理ミス等の発生は避
けらえず、これらミスが、再生処理を行う設備における
汚染やウェハの割れ等の自己につながる、という問題点
がある。また、非製品ウェハの管理は、その用途等で分
けられたグループ毎に行っているため、転用・廃棄等が
効率よく行なわれず、非製品ウェハの使用量が膨大な数
になってしまうという問題点がある。
ウェハ管理装置は、非製品ウェハに対する再生処理，廃
棄処理を含む各種の処理の指示をディスプレイに表示
し、この表示された指示に従って作業者自身の手によっ
て処理する構成となっているので、作業者がどんなに集
中し、注意していても、異種ウェハの混入に対するチェ
ックミス、非製品ウェハの再生・使用期限のチェックミ
ス、及び再生手順の選択ミスや、処理ミス等の発生は避
けらえず、これらミスが、再生処理を行う設備における
汚染やウェハの割れ等の自己につながる、という問題点
がある。また、非製品ウェハの管理は、その用途等で分
けられたグループ毎に行っているため、転用・廃棄等が
効率よく行なわれず、非製品ウェハの使用量が膨大な数
になってしまうという問題点がある。
【００１１】本発明の目的は、チェックミス、選択ミ
ス、処理ミス等をなくして再生処理装置のおける汚染や
割れ等の事故を防止することができ、また、非製品ウェ
ハの使用料を低減することができる非製品ウェハ管理装
置を提供することにある。
ス、処理ミス等をなくして再生処理装置のおける汚染や
割れ等の事故を防止することができ、また、非製品ウェ
ハの使用料を低減することができる非製品ウェハ管理装
置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の非製品ウェハ管
理装置は、製品ウェハと共に製造工程に流して所定の処
理を施し前記製造工程の状態を含む各種情報を収集する
ための非製品ウェハの製造工程での処理、再生処理及び
廃棄処理を含む各種処理の管理を行う非製品ウェハ管理
装置であって、前記非製品ウェハそれぞれにこれら非製
品ウェハの種類及び個々の識別の情報を含むウェハＩＤ
をマーキングするＩＤマーキング手段と、前記ウェハＩ
Ｄそれぞれと対応してそのウェハＩＤの非製品ウェハの
再生回数及び使用期間の情報を含む個別情報を保持する
個別情報保持手段と、前記非製品ウェハの種類毎の再生
限度回数，使用期間限度及び再生手順の情報を含むマス
ター情報を登録，保持するマスター情報登録・保持手段
と、前記非製品ウェハのウェハＩＤを読取るＩＤ読取り
手段と、このＩＤ読取り手段で読取られたウェハＩＤの
個別情報と前記マスタ情報とを比較し異種混入，再生処
理及び廃棄処理を含む各種判定を行う比較・判断手段
と、この比較・判定手段による判定結果が再生処理のと
きはこのウェハＩＤと対応する前記再生手順を発行する
と共に前記再生回数を含む個別情報を更新する再生処理
手段と、前記判定結果が廃棄処理のときはこのウェハＩ
Ｄの非製品ウェハを自動廃棄処理すると共にこのウェハ
ＩＤの個別情報をリジェクトするリジェクト処理手段と
を有している。
理装置は、製品ウェハと共に製造工程に流して所定の処
理を施し前記製造工程の状態を含む各種情報を収集する
ための非製品ウェハの製造工程での処理、再生処理及び
廃棄処理を含む各種処理の管理を行う非製品ウェハ管理
装置であって、前記非製品ウェハそれぞれにこれら非製
品ウェハの種類及び個々の識別の情報を含むウェハＩＤ
をマーキングするＩＤマーキング手段と、前記ウェハＩ
Ｄそれぞれと対応してそのウェハＩＤの非製品ウェハの
再生回数及び使用期間の情報を含む個別情報を保持する
個別情報保持手段と、前記非製品ウェハの種類毎の再生
限度回数，使用期間限度及び再生手順の情報を含むマス
ター情報を登録，保持するマスター情報登録・保持手段
と、前記非製品ウェハのウェハＩＤを読取るＩＤ読取り
手段と、このＩＤ読取り手段で読取られたウェハＩＤの
個別情報と前記マスタ情報とを比較し異種混入，再生処
理及び廃棄処理を含む各種判定を行う比較・判断手段
と、この比較・判定手段による判定結果が再生処理のと
きはこのウェハＩＤと対応する前記再生手順を発行する
と共に前記再生回数を含む個別情報を更新する再生処理
手段と、前記判定結果が廃棄処理のときはこのウェハＩ
Ｄの非製品ウェハを自動廃棄処理すると共にこのウェハ
ＩＤの個別情報をリジェクトするリジェクト処理手段と
を有している。
【００１３】また、前記マスター情報のうちの再生手順
の情報を登録すると共に各部の制御処理を行うホストコ
ンピュータと、前記マスター情報のうちの再生限度回数
及び使用期間限度の情報を登録するマスター情報登録端
末と、前記マスター情報及び個別情報の保持並びに前記
ウェハＩＤの個別情報と前記マスター情報との比較及び
前記各種判定を行うサーバと、前記ウェハＩＤのマーキ
ングを行うレーザーマーカーと、前記ウェハＩＤの読取
り、前記再生処理及び個別情報の更新処理、並びにリジ
ェクト処理を行う制御端末及び文字認識装置とを含んで
構成される。
の情報を登録すると共に各部の制御処理を行うホストコ
ンピュータと、前記マスター情報のうちの再生限度回数
及び使用期間限度の情報を登録するマスター情報登録端
末と、前記マスター情報及び個別情報の保持並びに前記
ウェハＩＤの個別情報と前記マスター情報との比較及び
前記各種判定を行うサーバと、前記ウェハＩＤのマーキ
ングを行うレーザーマーカーと、前記ウェハＩＤの読取
り、前記再生処理及び個別情報の更新処理、並びにリジ
ェクト処理を行う制御端末及び文字認識装置とを含んで
構成される。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１５】図１は本発明の一実施の形態を示すハード
ウェアのブロック図、図２はこの実施の形態の動作を説
明するための機能ブロック図である。
ウェアのブロック図、図２はこの実施の形態の動作を説
明するための機能ブロック図である。
【００１６】この実施の形態は、非製品ウェハ１００そ
れぞれにこれら非製品ウェハ１００の種類及び個々の識
別の情報を含むウェハＩＤをマーキングするウェハＩＤ
マーキング手段１０１と、これらウェハＩＤそれぞれと
対応してそのウェハＩＤの非製品ウェハ１００の再生回
数及び使用期間の情報を含む個別情報を保持する個別情
報保持手段１０２と、非製品ウェハ１００の種類毎の再
生限度回数，使用期間限度及び再生手順の情報を含むマ
スター情報を登録し保持するマスター情報登録・保持手
段１０３と、非製品ウェハ１００のウェハＩＤを読取る
ウェハＩＤ読取り手段１０４と、このウェハＩＤ読取り
手段１０４により読取られたウェハＩＤの個別情報を個
別情報保持手段１０２から読出すと共にそのマスター情
報をマスター情報登録・保持手段１０３から読出し、こ
れらを比較して異種混入，再生処理及び廃棄処理等の各
種判定を行う比較・判断手段１０５と、この比較・判断
手段１０５による判定結果が再生処理のときはこのウェ
ハＩＤと対応する再生手順を発行すると共に再生回数を
含む個別情報を更新する再生処理手段１０６と、比較・
判断手段１０５による判定結果が廃棄処理のときはこの
ウェハＩＤの非製品ウェハ１００を自動廃棄処理すると
共に個別情報保持手段１０２に保持されているこのウェ
ハＩＤと対応する非製品ウェハ１００の個別情報をリジ
ェクトするリジェクト処理手段１０７とを有する構成と
なっている。
れぞれにこれら非製品ウェハ１００の種類及び個々の識
別の情報を含むウェハＩＤをマーキングするウェハＩＤ
マーキング手段１０１と、これらウェハＩＤそれぞれと
対応してそのウェハＩＤの非製品ウェハ１００の再生回
数及び使用期間の情報を含む個別情報を保持する個別情
報保持手段１０２と、非製品ウェハ１００の種類毎の再
生限度回数，使用期間限度及び再生手順の情報を含むマ
スター情報を登録し保持するマスター情報登録・保持手
段１０３と、非製品ウェハ１００のウェハＩＤを読取る
ウェハＩＤ読取り手段１０４と、このウェハＩＤ読取り
手段１０４により読取られたウェハＩＤの個別情報を個
別情報保持手段１０２から読出すと共にそのマスター情
報をマスター情報登録・保持手段１０３から読出し、こ
れらを比較して異種混入，再生処理及び廃棄処理等の各
種判定を行う比較・判断手段１０５と、この比較・判断
手段１０５による判定結果が再生処理のときはこのウェ
ハＩＤと対応する再生手順を発行すると共に再生回数を
含む個別情報を更新する再生処理手段１０６と、比較・
判断手段１０５による判定結果が廃棄処理のときはこの
ウェハＩＤの非製品ウェハ１００を自動廃棄処理すると
共に個別情報保持手段１０２に保持されているこのウェ
ハＩＤと対応する非製品ウェハ１００の個別情報をリジ
ェクトするリジェクト処理手段１０７とを有する構成と
なっている。
【００１７】そしてこの実施の形態を実行する具体的な
ハードウェアは、マスター情報のうちの再生手順の情報
を登録すると共に各部の制御処理を行うホストコンピュ
ータ１と、マスター情報のうちの再生限度回数及び使用
期間限度の情報等を登録するマスター情報登録端末６
と、マスター情報及び個別情報の保持並びに読出された
ウェハＩＤの個別情報とマスター情報との比較及び各種
判定を行うサーバ２と、ウェハＩＤのマーキングを行う
レーザーマーカー３と、ウェハＩＤの読取り、各種情報
の表示、並びに再生処理及びリジェクト処理を行う制御
端末４及び文字認識装置５とを備えた構成となってい
る。
ハードウェアは、マスター情報のうちの再生手順の情報
を登録すると共に各部の制御処理を行うホストコンピュ
ータ１と、マスター情報のうちの再生限度回数及び使用
期間限度の情報等を登録するマスター情報登録端末６
と、マスター情報及び個別情報の保持並びに読出された
ウェハＩＤの個別情報とマスター情報との比較及び各種
判定を行うサーバ２と、ウェハＩＤのマーキングを行う
レーザーマーカー３と、ウェハＩＤの読取り、各種情報
の表示、並びに再生処理及びリジェクト処理を行う制御
端末４及び文字認識装置５とを備えた構成となってい
る。
【００１８】なお図１には、ウェハＩＤマーキング後、
製品ウェハと共に、各製造工程における、各種処理手段
１１１と、ウェハＩＤを読取ってそのウェハＩＤの非製
品ウェハ１００の各種データの収集処理を行う手段（１
１２）を含む製造工程における各種処理・データ収集手
段１１０も含まれている。
製品ウェハと共に、各製造工程における、各種処理手段
１１１と、ウェハＩＤを読取ってそのウェハＩＤの非製
品ウェハ１００の各種データの収集処理を行う手段（１
１２）を含む製造工程における各種処理・データ収集手
段１１０も含まれている。
【００１９】次に、この実施の形態の動作に関して説明
する。
する。
【００２０】最初に、マスターメンテ者があらかじめマ
スター情報登録端末６から膜種（非製品ウェハの種類）
毎の再生限度回数、使用期間限度等の再生時に判定が行
われる情報を、また、ホストコンピュータ１から膜種毎
の再生手順情報をマスター情報としてサーバ２に登録・
保持しておく。作業者は、非製品ウェハ１００にウェハ
ＩＤをレーザーマーカー３によりマーキングする。
スター情報登録端末６から膜種（非製品ウェハの種類）
毎の再生限度回数、使用期間限度等の再生時に判定が行
われる情報を、また、ホストコンピュータ１から膜種毎
の再生手順情報をマスター情報としてサーバ２に登録・
保持しておく。作業者は、非製品ウェハ１００にウェハ
ＩＤをレーザーマーカー３によりマーキングする。
【００２１】次に、製品ウェハと共に、各製造工程にお
ける各種処理を行い、マーキングされたウェハＩＤを文
字認識装置５にセットする。文字認識装置５は、読み取
った情報をサーバ２に送信しサーバ２は受け取ったデー
タを保持しておく。データを登録された非製品ウェハの
情報は、設備の状態把握等の目的で使用される。
ける各種処理を行い、マーキングされたウェハＩＤを文
字認識装置５にセットする。文字認識装置５は、読み取
った情報をサーバ２に送信しサーバ２は受け取ったデー
タを保持しておく。データを登録された非製品ウェハの
情報は、設備の状態把握等の目的で使用される。
【００２２】情報収集済みの非製品ウェハ１００は、膜
種別に回収され再生処理対象ウェハとなるが、その際に
再び文字認識装置５にセットする。文字認識装置５によ
ってセットされた非製品ウェハ１００ウェハＩＤが読み
とられ、サーバ２にデータが送信される。サーバ２は受
け取ったウェハＩＤの個別情報と登録済みのマスター情
報から、混在、使用回数限度及び使用期間はずれによる
廃棄、処理等の判定をおこなう。判定の結果は、制御端
末４に送信されディスプレイに表示される。判定の結
果、廃棄処理となった非製品ウェハ１００は、文字認識
装置５等のウェハリジェクト機能によりリジェクトされ
る。
種別に回収され再生処理対象ウェハとなるが、その際に
再び文字認識装置５にセットする。文字認識装置５によ
ってセットされた非製品ウェハ１００ウェハＩＤが読み
とられ、サーバ２にデータが送信される。サーバ２は受
け取ったウェハＩＤの個別情報と登録済みのマスター情
報から、混在、使用回数限度及び使用期間はずれによる
廃棄、処理等の判定をおこなう。判定の結果は、制御端
末４に送信されディスプレイに表示される。判定の結
果、廃棄処理となった非製品ウェハ１００は、文字認識
装置５等のウェハリジェクト機能によりリジェクトされ
る。
【００２３】また、再生処理の判定結果の非製品ウェハ
１００に関して、再生手順がディスプレイに表示される
ので作業者は認識後、その発行手続きを行う。すると制
御端末４からホストコンピュータ１に発行手続き情報が
送信され、非製品ウェハ１００の再生手順発行が完了さ
れる。手順発行が行われた非製品ウェハに関しては、サ
ーバ２が保持している個別情報の再生回数をカウントア
ップし更新する。
１００に関して、再生手順がディスプレイに表示される
ので作業者は認識後、その発行手続きを行う。すると制
御端末４からホストコンピュータ１に発行手続き情報が
送信され、非製品ウェハ１００の再生手順発行が完了さ
れる。手順発行が行われた非製品ウェハに関しては、サ
ーバ２が保持している個別情報の再生回数をカウントア
ップし更新する。
【００２４】このようにして、再生処理の際の各種判定
から再生手順選択発行に至るまでの処理を自動で行うこ
とができる。従って、各種のチェックミス、手順の選択
ミス、及び処理ミス等がなくなり、再生処理装置におけ
る汚染や割れ等の事故を防止することができる。また、
異種の非製品ウェハを一元管理することができるので、
転用，廃棄等の管理が容易となり、非製品ウェハの使用
量を少なくすることができる。
から再生手順選択発行に至るまでの処理を自動で行うこ
とができる。従って、各種のチェックミス、手順の選択
ミス、及び処理ミス等がなくなり、再生処理装置におけ
る汚染や割れ等の事故を防止することができる。また、
異種の非製品ウェハを一元管理することができるので、
転用，廃棄等の管理が容易となり、非製品ウェハの使用
量を少なくすることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウェハＩ
Ｄのマーキング、ウェハＩＤの読取り、読取られたウェ
ハＩＤの個別情報及びマスター情報の比較及びその判
定、判定結果に基づく再生処理及び廃棄処理等を自動的
に行う構成としたので、各種のチェックミス、手順の選
択ミス、及び処理ミス等をなくして再生処理装置におけ
る汚染や割れ等の事故を防止することができ、かつ、異
種の非製品を一元管理することができるので、転用や廃
棄等の管理が容易となって非製品ウェハの使用量を少な
くすることができる効果がある。
Ｄのマーキング、ウェハＩＤの読取り、読取られたウェ
ハＩＤの個別情報及びマスター情報の比較及びその判
定、判定結果に基づく再生処理及び廃棄処理等を自動的
に行う構成としたので、各種のチェックミス、手順の選
択ミス、及び処理ミス等をなくして再生処理装置におけ
る汚染や割れ等の事故を防止することができ、かつ、異
種の非製品を一元管理することができるので、転用や廃
棄等の管理が容易となって非製品ウェハの使用量を少な
くすることができる効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態を示すハードウェアのブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１に示された実施の形態の機能ブロック図で
ある。
ある。
【図３】従来の非製品ウェハ管理装置の一例を示すハー
ドウェアのブロック図である。
ドウェアのブロック図である。
【図４】図３に示された非製品ウェハ管理装置の機能ブ
ロック図である。
ロック図である。
１ ホストコンピュータ ２ サーバ ３ レーザマーカー ４ 制御端末 ５ 文字認識装置 ６ マスター情報登録端末 １１ ホストコンピュータ １２ データベース １３ 設計者用端末 １４ａ，１４ｂ 作業者用端末 １６ 作業情報登録手段 １９ 作業情報読出部 ２０ 製造ロット判別部 ２１ 作業指示手段 ２２ 作業結果判別部 ２３ 更新入力手段 １００ 非製品ウェハ １０１ ウェハＩＤマーキング手段 １０２ 個別情報保持手段 １０３ マスター情報登録・保持手段 １０４ ウェハＩＤ読取り手段 １０５ 比較・判断手段 １０６ 再生処理手段 １０７ リジェクト処理手段
Claims (2)
- 【請求項１】 製品ウェハと共に製造工程に流して所定
の処理を施し前記製造工程の状態を含む各種情報を収集
するための非製品ウェハの製造工程での処理、再生処理
及び廃棄処理を含む各種処理の管理を行う非製品ウェハ
管理装置であって、前記非製品ウェハそれぞれにこれら
非製品ウェハの種類及び個々の識別の情報を含むウェハ
ＩＤをマーキングするＩＤマーキング手段と、前記ウェ
ハＩＤそれぞれと対応してそのウェハＩＤの非製品ウェ
ハの再生回数及び使用期間の情報を含む個別情報を保持
する個別情報保持手段と、前記非製品ウェハの種類毎の
再生限度回数，使用期間限度及び再生手順の情報を含む
マスター情報を登録，保持するマスター情報登録・保持
手段と、前記非製品ウェハのウェハＩＤを読取るＩＤ読
取り手段と、このＩＤ読取り手段で読取られたウェハＩ
Ｄの個別情報と前記マスタ情報とを比較し異種混入，再
生処理及び廃棄処理を含む各種判定を行う比較・判断手
段と、この比較・判定手段による判定結果が再生処理の
ときはこのウェハＩＤと対応する前記再生手順を発行す
ると共に前記再生回数を含む個別情報を更新する再生処
理手段と、前記判定結果が廃棄処理のときはこのウェハ
ＩＤの非製品ウェハを自動廃棄処理すると共にこのウェ
ハＩＤの個別情報をリジェクトするリジェクト処理手段
とを有することを特徴とする非製品ウェハ管理装置。 - 【請求項２】 前記マスター情報のうちの再生手順の情
報を登録すると共に各部の制御処理を行うホストコンピ
ュータと、前記マスター情報のうちの再生限度回数及び
使用期間限度の情報を登録するマスター情報登録端末
と、前記マスター情報及び個別情報の保持並びに前記ウ
ェハＩＤの個別情報と前記マスター情報との比較及び前
記各種判定を行うサーバと、前記ウェハＩＤのマーキン
グを行うレーザーマーカーと、前記ウェハＩＤの読取
り、前記再生処理及び個別情報の更新処理、並びにリジ
ェクト処理を行う制御端末及び文字認識装置とを含む請
求項１記載の非製品ウェハ管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9131091A JP3048956B2 (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | 非製品ウェハ管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9131091A JP3048956B2 (ja) | 1997-05-21 | 1997-05-21 | 非製品ウェハ管理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321486A JPH10321486A (ja) | 1998-12-04 |
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