JP2946551B2 - Ｉｃのハンドリング装置 - Google Patents
Ｉｃのハンドリング装置Info
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- JP2946551B2 JP2946551B2 JP1226084A JP22608489A JP2946551B2 JP 2946551 B2 JP2946551 B2 JP 2946551B2 JP 1226084 A JP1226084 A JP 1226084A JP 22608489 A JP22608489 A JP 22608489A JP 2946551 B2 JP2946551 B2 JP 2946551B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、IC（集積回路）の選別の際、自動的にICを
電気的測定を行う為のICテストシステムにおいて、ICの
ハンドリングを行うハンドリング装置（以下、ハンドラ
と称す）に関する。
電気的測定を行う為のICテストシステムにおいて、ICの
ハンドリングを行うハンドリング装置（以下、ハンドラ
と称す）に関する。
従来、この種のハンドラでは、第７図の概略平面図に
示す用に、測定部へのICの供給を行なう搬送トランスフ
ァ（測定部供給トランスファ11a）と測定部からのICの
収納を行なう搬送トランスファ（測定部収納トランスフ
ァ11b）とが別々に設けられ、それぞれにチャッキング
部12a,12bを有するハンド部14a,14bが取付けられてい
た。又、コンタクトユニット18のプッシャー部21には、
ICをICソケット16にコンタクトさせるプッシャーのみが
設けられ、チャッキング部は設けられていなかった。更
に、ICの供給部位置決めステージ10aと収納部位置決め
ステージ10bも別々に設けられていた。そして、トレー
の供給・収納を行うための供給部ローダ1,空トレー待機
部ローダ・アンローダ23、不良品収納部アンローダ25を
有し、これらのトレー又はトレー状のICの搬送は、供給
・収納トランスファ５に取付けられてチャッキング部６
を有するハンド部８によって行われていた。
示す用に、測定部へのICの供給を行なう搬送トランスフ
ァ（測定部供給トランスファ11a）と測定部からのICの
収納を行なう搬送トランスファ（測定部収納トランスフ
ァ11b）とが別々に設けられ、それぞれにチャッキング
部12a,12bを有するハンド部14a,14bが取付けられてい
た。又、コンタクトユニット18のプッシャー部21には、
ICをICソケット16にコンタクトさせるプッシャーのみが
設けられ、チャッキング部は設けられていなかった。更
に、ICの供給部位置決めステージ10aと収納部位置決め
ステージ10bも別々に設けられていた。そして、トレー
の供給・収納を行うための供給部ローダ1,空トレー待機
部ローダ・アンローダ23、不良品収納部アンローダ25を
有し、これらのトレー又はトレー状のICの搬送は、供給
・収納トランスファ５に取付けられてチャッキング部６
を有するハンド部８によって行われていた。
上述した従来のハンドラでは、測定部供給トランスフ
ァ11aと測定部収納トランスファ11bとが別々の構成とな
っているので、測定部へのICの供給と測定部からのICの
収納とを同時に行なうことが出来ず、インデックス時間
がその分長くかかる（単位時間当たりの処理数が少なく
なる）という欠点があった。
ァ11aと測定部収納トランスファ11bとが別々の構成とな
っているので、測定部へのICの供給と測定部からのICの
収納とを同時に行なうことが出来ず、インデックス時間
がその分長くかかる（単位時間当たりの処理数が少なく
なる）という欠点があった。
又、測定部供給トランスファ11aと測定部収納トラン
スファ11bとが別々の構成であるので、装置の大きさが
大きくなり、単位フロア当たりの生産性が悪くなるとい
う欠点もあった。
スファ11bとが別々の構成であるので、装置の大きさが
大きくなり、単位フロア当たりの生産性が悪くなるとい
う欠点もあった。
上述した従来のハンドラに対し、本発明は、１つの搬
送トランスファで測定部へのICの供給と測定部からのIC
の収納とを同時に行なうという相違点を有する。
送トランスファで測定部へのICの供給と測定部からのIC
の収納とを同時に行なうという相違点を有する。
本発明のハンドラは、測定部へのICの供給と測定部か
らのICの収納とを行なう搬送トランスファを１つのトラ
ンスファとし、搬送トランスファのハンド部の上面にIC
を収納するIC収納ステージを設け、下面にはICをチャッ
キングするチャッキング部を設け、更にコンタクトユニ
ットのプッシャー部のICをコンタクトする面に、ICをチ
ャッキングするチャッキング面を有している。
らのICの収納とを行なう搬送トランスファを１つのトラ
ンスファとし、搬送トランスファのハンド部の上面にIC
を収納するIC収納ステージを設け、下面にはICをチャッ
キングするチャッキング部を設け、更にコンタクトユニ
ットのプッシャー部のICをコンタクトする面に、ICをチ
ャッキングするチャッキング面を有している。
次に、本発明の実施例を図面により説明する。
第１図は、本発明の実施例１の概略平面図、第２図は
その概略側面図であり、供給部ローダ１、空トレー待機
部ローダ・アンローダ３、供給・収納トランスファ５、
位置決めステージ10、測定部トランスファ11、ICソケッ
ト（測定部）16、コンタクトユニット18、良品収納部ア
ンローダ23、不良品収納部アンローダ25、及びハンドラ
ベース27より構成される。
その概略側面図であり、供給部ローダ１、空トレー待機
部ローダ・アンローダ３、供給・収納トランスファ５、
位置決めステージ10、測定部トランスファ11、ICソケッ
ト（測定部）16、コンタクトユニット18、良品収納部ア
ンローダ23、不良品収納部アンローダ25、及びハンドラ
ベース27より構成される。
又、第３図は、測定部トランスファ11のハンド部14の
概略断面図であり、チャッキング部12に吸着パッド52を
用いた例で、ハンド部ベース50の下方に吸着パッド51
（配管55に接続された吸着パッド指示部52に取付けら
れ、Ｅリング53とバネ54とにより、上下方向に自由度を
持つ）と保護ブロック57（測定部トランスファ11のハン
ド部14のIC収納ステージ56上より、測定済のICを供給・
収納トランスファ５に取付けられたハンド部８のチャッ
キング部６で吸着する時、位置決めステージ10に接触
し、測定部トランスファ11のハンド部14にかかる負荷を
受ける）を設け、又、上部にIC収納ステージ56を設けた
ものである。
概略断面図であり、チャッキング部12に吸着パッド52を
用いた例で、ハンド部ベース50の下方に吸着パッド51
（配管55に接続された吸着パッド指示部52に取付けら
れ、Ｅリング53とバネ54とにより、上下方向に自由度を
持つ）と保護ブロック57（測定部トランスファ11のハン
ド部14のIC収納ステージ56上より、測定済のICを供給・
収納トランスファ５に取付けられたハンド部８のチャッ
キング部６で吸着する時、位置決めステージ10に接触
し、測定部トランスファ11のハンド部14にかかる負荷を
受ける）を設け、又、上部にIC収納ステージ56を設けた
ものである。
実施例１において、供給部ローダ１にICの入ったトレ
ー２が収納され、供給・収納トランスファ５に取付けら
れたハンドラ８のチャッキング部６（ハンド部８は、エ
アシリンダ等の上下シリンダー７に取付けられ、上下シ
リンダ７は、ブラケット９により、供給・収納トランス
ファ５に取付けられている）により、ICを１ケ吸着し、
位置決めステージ10まで搬送し、そこに置いてICを位置
出しを行う。一方、供給部ローダ１の一番上のトレー２
が空となると、供給・収納トランスファ５のチャッキン
グ部６により吸着し、空トレー待機部ローダ・アンロー
ダ３まで搬送し、そこに収納する。
ー２が収納され、供給・収納トランスファ５に取付けら
れたハンドラ８のチャッキング部６（ハンド部８は、エ
アシリンダ等の上下シリンダー７に取付けられ、上下シ
リンダ７は、ブラケット９により、供給・収納トランス
ファ５に取付けられている）により、ICを１ケ吸着し、
位置決めステージ10まで搬送し、そこに置いてICを位置
出しを行う。一方、供給部ローダ１の一番上のトレー２
が空となると、供給・収納トランスファ５のチャッキン
グ部６により吸着し、空トレー待機部ローダ・アンロー
ダ３まで搬送し、そこに収納する。
次に、測定部トランスファ11に取付けられたハンド部
14のチャッキング部12（ハンド部14は、上下シリンダー
13に取付けられ、上下シリンダ13は、ブラケット15によ
り測定部トランスファ11に取付けられている）により、
位置決めステージ10にあるICを吸着し、ICソケット（測
定部）16まで搬送し、そこに置く。そして、コンタクト
ユニット18に取付けられたプッシャー部21（プッシャー
部21は、上下シリンダー20に取付けられ、上下シリンダ
ー20は、ブラケット22により、コンタクトユニット18に
取付けられている）が上下シリンダー20の加工により、
ICソケット16上のICとICソケット16（ICソケット16は、
テストボード17を介して、図示されていない測定器と電
気的に接続されている）との接触を取り、この状態で、
図示されていない測定器によりICの電気的測定を行な
う。
14のチャッキング部12（ハンド部14は、上下シリンダー
13に取付けられ、上下シリンダ13は、ブラケット15によ
り測定部トランスファ11に取付けられている）により、
位置決めステージ10にあるICを吸着し、ICソケット（測
定部）16まで搬送し、そこに置く。そして、コンタクト
ユニット18に取付けられたプッシャー部21（プッシャー
部21は、上下シリンダー20に取付けられ、上下シリンダ
ー20は、ブラケット22により、コンタクトユニット18に
取付けられている）が上下シリンダー20の加工により、
ICソケット16上のICとICソケット16（ICソケット16は、
テストボード17を介して、図示されていない測定器と電
気的に接続されている）との接触を取り、この状態で、
図示されていない測定器によりICの電気的測定を行な
う。
測定が終了すると、プッシャー部21のチャッキング部
19がICの吸着を行ない、それから、上下シリンダー20を
上昇させ、ICをICソケット16より取り出す。そして測定
部トランスファ11が位置決めステージ10（位置決めステ
ージ10には、供給・収納トランスファ５のハンド部８の
チャッキング部６により、予め、供給部ローダ１上のト
ランスファ５のハンド部８のチャッキング部６により、
予め、供給部ローダ１上のトレー２により、IC1ケを取
り出し収納して置く）上のICをハンド部14のチャッキン
グ部12により吸着し、それから、ICソケット16の位置ま
で移動する。この後、位置決めステージ10には、供給・
収納トランスファ５のハンド部８のチャッキング部６に
より、供給部ローダ１のトレー２により、IC1ケを吸着
し搬送しておく。ICソケット（測定部）16にセットする
と同時に、プッシャー部21のチャッキング部19に吸着さ
れていた測定済のICの吸着を解除してIC収納ステージ56
上に置く。そして、測定部トランスファ11は、位置決め
ステージ10上まで移動する。ICソケット16にセットされ
たICは、先に説明した動作により、測定が行なわれる。
19がICの吸着を行ない、それから、上下シリンダー20を
上昇させ、ICをICソケット16より取り出す。そして測定
部トランスファ11が位置決めステージ10（位置決めステ
ージ10には、供給・収納トランスファ５のハンド部８の
チャッキング部６により、予め、供給部ローダ１上のト
ランスファ５のハンド部８のチャッキング部６により、
予め、供給部ローダ１上のトレー２により、IC1ケを取
り出し収納して置く）上のICをハンド部14のチャッキン
グ部12により吸着し、それから、ICソケット16の位置ま
で移動する。この後、位置決めステージ10には、供給・
収納トランスファ５のハンド部８のチャッキング部６に
より、供給部ローダ１のトレー２により、IC1ケを吸着
し搬送しておく。ICソケット（測定部）16にセットする
と同時に、プッシャー部21のチャッキング部19に吸着さ
れていた測定済のICの吸着を解除してIC収納ステージ56
上に置く。そして、測定部トランスファ11は、位置決め
ステージ10上まで移動する。ICソケット16にセットされ
たICは、先に説明した動作により、測定が行なわれる。
次に、位置決めステージ10上に搬送された測定部トラ
ンスファ11のハンド部14のIC収納ステージ56上のICは、
供給・収納トランスファ５のハンド部８のチャッキング
部６により吸着され、測定結果に基づき、良品収納部ア
ンローダ23上のトレー24又は不良品収納部アンローダ25
上のトレー26に分類収納される。この時、同時に、測定
部トランスファ11のハンド部14のチャッキング部12は、
位置決めステージ10上にあるICの吸着を行なう。一方、
良品収納部アンローダ23の一番上のトレー24、又は不良
品収納部アンローダ25の一番上のトレー26が満杯となる
と、供給・収納トランスファ５のハンド部８のチャッキ
ング部６により、空トレー待機部ローダ・アンローダ３
の一番上のトレー４を吸着し、満杯となったアンローダ
に空トレーをセットする。
ンスファ11のハンド部14のIC収納ステージ56上のICは、
供給・収納トランスファ５のハンド部８のチャッキング
部６により吸着され、測定結果に基づき、良品収納部ア
ンローダ23上のトレー24又は不良品収納部アンローダ25
上のトレー26に分類収納される。この時、同時に、測定
部トランスファ11のハンド部14のチャッキング部12は、
位置決めステージ10上にあるICの吸着を行なう。一方、
良品収納部アンローダ23の一番上のトレー24、又は不良
品収納部アンローダ25の一番上のトレー26が満杯となる
と、供給・収納トランスファ５のハンド部８のチャッキ
ング部６により、空トレー待機部ローダ・アンローダ３
の一番上のトレー４を吸着し、満杯となったアンローダ
に空トレーをセットする。
以下の動作は、以上説明した動作を繰り返す。
実施例２は、各チャッキング部を吸着パッドに代って
フィンガーでICをチャッキングするものとしたハイドラ
である。
フィンガーでICをチャッキングするものとしたハイドラ
である。
第５図は、測定部トランスファ11のハンド部14の概略
断面図であり、チャッキング部12にフィンガー58を用い
た例で、ハンド部ベース50の下方にフィンガー58（フィ
ンガー58は、エアシリンダ等の開閉シリンダー59に対し
て、ナット60で固定されている）を設け、上部にIC収納
ステージ56を設けたものである。第６図は、コンタクト
ユニット18のプッシャー部21の概略断面図であり、プッ
シャーベース（１）70aの下部に、プッシャーベース
（２）70bが設けられ、その下部にプッシャー71を設け
たものでる。プッシャーベース（２）70bに対して、開
閉シリンダー78を取付け、更に開閉シリンダー78に対し
て、ナット79により、フィンガー77が取付けられてい
る。
断面図であり、チャッキング部12にフィンガー58を用い
た例で、ハンド部ベース50の下方にフィンガー58（フィ
ンガー58は、エアシリンダ等の開閉シリンダー59に対し
て、ナット60で固定されている）を設け、上部にIC収納
ステージ56を設けたものである。第６図は、コンタクト
ユニット18のプッシャー部21の概略断面図であり、プッ
シャーベース（１）70aの下部に、プッシャーベース
（２）70bが設けられ、その下部にプッシャー71を設け
たものでる。プッシャーベース（２）70bに対して、開
閉シリンダー78を取付け、更に開閉シリンダー78に対し
て、ナット79により、フィンガー77が取付けられてい
る。
動作方法は、実施例１と全く同じで、違うところは、
実施例１では吸着によるチャッキングであったのに対し
て、実施例２では、開閉シリンダーの開閉によるフィン
ガーのチャッキングによるところである。
実施例１では吸着によるチャッキングであったのに対し
て、実施例２では、開閉シリンダーの開閉によるフィン
ガーのチャッキングによるところである。
以上説明したように本発明は、測定部へのICの供給、
測定部からのICの収納を行なう搬送トランスファとICを
ICソケットに対してコンタクトさせるコンタクトユニッ
トを持つハンドラにおいて、搬送トランスファを１つと
し、その搬送トランスファのハンド部の上面にICを収納
するIC収納ステージ、下面にICをチャッキングするチャ
ッキング部、及びコンタクトユニットのプッシャー部の
ICをICソケットに対してコンタクトさせる面にICをチャ
ッキングするチャッキング部を設けることにより、測定
部へのICの供給と測定部からのICの収納とを同時に行な
うことができ、インデックス時間を短いものにすること
が出来るので、単位時間当たりの処理能力を向上させる
効果もある。
測定部からのICの収納を行なう搬送トランスファとICを
ICソケットに対してコンタクトさせるコンタクトユニッ
トを持つハンドラにおいて、搬送トランスファを１つと
し、その搬送トランスファのハンド部の上面にICを収納
するIC収納ステージ、下面にICをチャッキングするチャ
ッキング部、及びコンタクトユニットのプッシャー部の
ICをICソケットに対してコンタクトさせる面にICをチャ
ッキングするチャッキング部を設けることにより、測定
部へのICの供給と測定部からのICの収納とを同時に行な
うことができ、インデックス時間を短いものにすること
が出来るので、単位時間当たりの処理能力を向上させる
効果もある。
第１図は、本発明の実施例１を示す概略平面図、第２図
は、実施例１の概略側面図、第３図は、実施例１の測定
部トランスファのハンド部の概略断面図、第４図は、実
施例１のコンタクトユニットのプッシャー部の概略断面
図、第５図は、実施例２の測定部トランスファのハンド
部の概略断面図、第６図は、実施例２のコンタクトユニ
ットのプッシャー部の概略断面図、第７図は、従来例の
概略平面図である。 １……供給部ローダ、２……トレー、３……空トレー待
機部ローダ・アンローダ、４……トレー、５……供給・
収納トランスファ、６……チャッキング部、７……上下
シリンダー、８……ハンド部、９……ブラケット、10…
…位置決めステージ、10a……供給部位置決めステー
ジ、10b……収納部位置決めステージ、11……測定部ト
ランスファ、11a……測定部供給トランスファ、11b……
測定部収納トランスファ、12,12a,12b……チャッキング
部、13……上下シリンダー、14,14a,14b……ハンド部、
15……ブラケット、16……ICソケット、17……テストボ
ード、18……コンタクトユニット、19……チャッキング
部、20……上下シリンダー、21……プッシャー部、22…
…ブラケット、23……良品収納部アンローダ、24……ト
レー、25……不良品収納部アンローダ、26……トレー、
27……ハンドラベース、50……ハンド部ベース、51……
吸着パッド、52……吸着パッド支持部、53……Ｅリン
グ、54……バネ、55……配管、56……IC収納ステージ、
57……保護ブロック、58……フィンガー、59……開閉シ
リンダー、60……ナット、70……プッシャーベース、70
a……プッシャーベース（１）、70b……プッシャーベー
ス（２）、71……プッシャー、72……吸着パッド、73…
…吸着パッド支持部、74……Ｅリング、75……バネ、76
……配管、77……フィンガー、78……開閉シリンダー、
79……ナット。
は、実施例１の概略側面図、第３図は、実施例１の測定
部トランスファのハンド部の概略断面図、第４図は、実
施例１のコンタクトユニットのプッシャー部の概略断面
図、第５図は、実施例２の測定部トランスファのハンド
部の概略断面図、第６図は、実施例２のコンタクトユニ
ットのプッシャー部の概略断面図、第７図は、従来例の
概略平面図である。 １……供給部ローダ、２……トレー、３……空トレー待
機部ローダ・アンローダ、４……トレー、５……供給・
収納トランスファ、６……チャッキング部、７……上下
シリンダー、８……ハンド部、９……ブラケット、10…
…位置決めステージ、10a……供給部位置決めステー
ジ、10b……収納部位置決めステージ、11……測定部ト
ランスファ、11a……測定部供給トランスファ、11b……
測定部収納トランスファ、12,12a,12b……チャッキング
部、13……上下シリンダー、14,14a,14b……ハンド部、
15……ブラケット、16……ICソケット、17……テストボ
ード、18……コンタクトユニット、19……チャッキング
部、20……上下シリンダー、21……プッシャー部、22…
…ブラケット、23……良品収納部アンローダ、24……ト
レー、25……不良品収納部アンローダ、26……トレー、
27……ハンドラベース、50……ハンド部ベース、51……
吸着パッド、52……吸着パッド支持部、53……Ｅリン
グ、54……バネ、55……配管、56……IC収納ステージ、
57……保護ブロック、58……フィンガー、59……開閉シ
リンダー、60……ナット、70……プッシャーベース、70
a……プッシャーベース（１）、70b……プッシャーベー
ス（２）、71……プッシャー、72……吸着パッド、73…
…吸着パッド支持部、74……Ｅリング、75……バネ、76
……配管、77……フィンガー、78……開閉シリンダー、
79……ナット。
Claims (1)
- 【請求項１】測定部へのICの供給及び測定部からの収納
を行なう搬送トランスファと判定部に供給されたICをIC
ソケットにコンタクトさせるコンタクトユニットを持つ
ICのハンドリング装置において、前記搬送トランスファ
のハンド部の上面にICを収納する収納ステージを設け、
又下面にはICをチャッキングするチャッキング部を設
け、更に前記コンタクトユニットのプッシャー部のICを
コンタクトする面にICをチャッキングするチャッキング
部を有することを特徴とするICのハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1226084A JP2946551B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1226084A JP2946551B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0387674A JPH0387674A (ja) | 1991-04-12 |
| JP2946551B2 true JP2946551B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=16839575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1226084A Expired - Lifetime JP2946551B2 (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2946551B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100546871B1 (ko) * | 1998-09-30 | 2006-05-23 | 삼성전자주식회사 | 테스트 핸들러 |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP1226084A patent/JP2946551B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0387674A (ja) | 1991-04-12 |
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