JP2701476B2 - リチウム負極の製造法 - Google Patents
リチウム負極の製造法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、フィルム状の超薄形電池に用いるリチウム
負極の製造法に関するものである。
負極の製造法に関するものである。
従来技術とその問題点 リチウムまたは、リチウム合金を負極とするフィルム
状の超薄形電池の提案が多くなされている。
状の超薄形電池の提案が多くなされている。
しかし、リチウムシートは均一な厚みを容易に得るこ
とが困難であった。
とが困難であった。
従来、ノズルから押出してシートとする方法が採用さ
れていたが、この方法では、シートの厚さは0.07〜0.1m
mが限界であった。これ以下では厚さが不均一となる。
又、ロール圧延により薄膜化する方法もあるが、リチウ
ムがロールに付着し、生産性が悪いという欠点があっ
た。
れていたが、この方法では、シートの厚さは0.07〜0.1m
mが限界であった。これ以下では厚さが不均一となる。
又、ロール圧延により薄膜化する方法もあるが、リチウ
ムがロールに付着し、生産性が悪いという欠点があっ
た。
発明の目的 本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであ
り、生産性に優れた、均一な厚みのリチウム負極を提供
することを目的とするものである。
り、生産性に優れた、均一な厚みのリチウム負極を提供
することを目的とするものである。
発明の構成 本発明は、上記目的を達成するべく、 ガス中蒸発法で生成したリチウム又はリチウム合金の
微粒子を、ガス気流に乗せて基板に吹きつけ薄膜を形成
することを特徴とするリチウム負極の製造法である。
微粒子を、ガス気流に乗せて基板に吹きつけ薄膜を形成
することを特徴とするリチウム負極の製造法である。
実施例 以下、本発明の詳細について実施例により説明する。
第1図に本発明の製造装置の概略図を示した。
ここで、1は蒸発室、2はルツボ、3は抵抗加熱器、
4は差動排気室(差動排気室は場合によってはなくても
良い)、5はノズル、6はデポジション室、7は真空ポ
ンプ、8は基板、9は供給ガス流入口である。
4は差動排気室(差動排気室は場合によってはなくても
良い)、5はノズル、6はデポジション室、7は真空ポ
ンプ、8は基板、9は供給ガス流入口である。
蒸発室において、リチウムまたはリチウム合金を抵抗
加熱により溶融し、気化させ微粒子化する。供給ガス
(Heガス)の圧力を100torrとし、デポジション室の圧
力を0.12torrとして微粒子化金属(リチウム)をガス気
流に乗せてノズルより(0.8mm×10mm)基板に吹きつけ
る。基板上に微粒子化金属を噴射堆積させる。これによ
って、強固な堆積体が形成される(ガスデポジション
法)。
加熱により溶融し、気化させ微粒子化する。供給ガス
(Heガス)の圧力を100torrとし、デポジション室の圧
力を0.12torrとして微粒子化金属(リチウム)をガス気
流に乗せてノズルより(0.8mm×10mm)基板に吹きつけ
る。基板上に微粒子化金属を噴射堆積させる。これによ
って、強固な堆積体が形成される(ガスデポジション
法)。
こゝで得られる堆積体は通常の溶解、凝固方法では得
ることのできないもので、結合剤を必要としないので、
乾式で清浄な製造法であり、生産性に優れ、均一な厚み
のリチウム負極を得ることが出来る。
ることのできないもので、結合剤を必要としないので、
乾式で清浄な製造法であり、生産性に優れ、均一な厚み
のリチウム負極を得ることが出来る。
発明の効果 上述した如く、本発明は生産性に優れた、均一な厚み
のリチウム負極を提供することができるので、その工業
的価値は極めて大である。
のリチウム負極を提供することができるので、その工業
的価値は極めて大である。
第1図は本発明の製造装置の概略図である。 1……蒸発室、2……ルツボ 3……抵抗加熱器、4……差動排気室 5……ノズル、6……デポジション室 7……真空ポンプ、8……基板 9……供給ガス流入口
Claims (1)
- 【請求項1】ガス中蒸発法で生成したリチウム又はリチ
ウム合金の微粒子を、ガス気流に乗せて基板に吹きつけ
薄膜を形成することを特徴とするリチウム負極の製造
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1244685A JP2701476B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | リチウム負極の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1244685A JP2701476B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | リチウム負極の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03105854A JPH03105854A (ja) | 1991-05-02 |
JP2701476B2 true JP2701476B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=17122420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1244685A Expired - Fee Related JP2701476B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | リチウム負極の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2701476B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09503092A (ja) * | 1993-09-27 | 1997-03-25 | アーサー・ディー・リトル・インコーポレイテッド | エーロゾル法による粉体電極 |
JP2007063614A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Fuchita Nano Giken:Kk | リチウムまたはリチウム合金の薄膜形成方法 |
JP2007063615A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Fuchita Nano Giken:Kk | リチウムまたはリチウム合金薄膜の形成方法 |
JP2008057000A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Fuchita Nano Giken:Kk | リチウムまたはリチウム合金の成膜装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56156674A (en) * | 1980-04-12 | 1981-12-03 | Toshiba Corp | Solid battery |
JPS57134555A (en) * | 1981-02-10 | 1982-08-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method and device for forming thin film |
JPS6244960A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜二次電池の製造装置 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP1244685A patent/JP2701476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS56156674A (en) * | 1980-04-12 | 1981-12-03 | Toshiba Corp | Solid battery |
JPS57134555A (en) * | 1981-02-10 | 1982-08-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method and device for forming thin film |
JPS6244960A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜二次電池の製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03105854A (ja) | 1991-05-02 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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