JP2789394B2 - ワイヤボンデイング方法及び装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング方法
及び装置に係り、特にボンド面の高さ位置（レベル）を
検出し得るワイヤボンデイング方法及び装置に関する。
及び装置に係り、特にボンド面の高さ位置（レベル）を
検出し得るワイヤボンデイング方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ボンド面のレベルを検出し得るワ
イヤボンデイング装置として、例えば特公昭６４ー９７
３０号公報、特公平１ー３１６９５号公報が知られてい
る。この構造は、キヤピラリを保持するツールアームが
アームホルダに取付けられ、アームホルダはリフタアー
ムに揺動可能に取付けられている。またリフタアームは
ボンデイングヘッドに上下動又は揺動可能に取付けられ
ている。そして、ギャップ検出用センサは前記リフタア
ームに前記ツールアームに対向して取付けられている。
イヤボンデイング装置として、例えば特公昭６４ー９７
３０号公報、特公平１ー３１６９５号公報が知られてい
る。この構造は、キヤピラリを保持するツールアームが
アームホルダに取付けられ、アームホルダはリフタアー
ムに揺動可能に取付けられている。またリフタアームは
ボンデイングヘッドに上下動又は揺動可能に取付けられ
ている。そして、ギャップ検出用センサは前記リフタア
ームに前記ツールアームに対向して取付けられている。
【０００３】そこで、リフタアームが下降又はリフタア
ームのキヤピラリ側が下降する方向にリフタアームが回
動させられると、キヤピラリが下降してボンド面に接触
しする。この状態よりリフタアームが更に下降又は回動
すると、ツールアームとギャップ検出用センサとのギャ
ップが変化するので、検出出力の値が初期値より一定量
変化した時点をキヤピラリがボンド面に接触した時点と
見なしている。
ームのキヤピラリ側が下降する方向にリフタアームが回
動させられると、キヤピラリが下降してボンド面に接触
しする。この状態よりリフタアームが更に下降又は回動
すると、ツールアームとギャップ検出用センサとのギャ
ップが変化するので、検出出力の値が初期値より一定量
変化した時点をキヤピラリがボンド面に接触した時点と
見なしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、検出
出力の値が初期値より一定量変化した時点、即ち検出出
力の絶対値の変化量でボンド面レベルとみなすので、リ
フタアーム及びアームホルダの微振動、特にキヤピラリ
がボンド面に接触する直前における微振動、またギャッ
プ検出用センサにノイズが入った場合等に正しいボンド
面でないにもかかわらずボンド面レベルと判断し、誤検
出するという問題点があった。
出力の値が初期値より一定量変化した時点、即ち検出出
力の絶対値の変化量でボンド面レベルとみなすので、リ
フタアーム及びアームホルダの微振動、特にキヤピラリ
がボンド面に接触する直前における微振動、またギャッ
プ検出用センサにノイズが入った場合等に正しいボンド
面でないにもかかわらずボンド面レベルと判断し、誤検
出するという問題点があった。
【０００５】またギャップ検出用センサは、磁気センサ
よりなるので、センサのしき値に対する応答遅れがあ
る。このため、キヤピラリが実際にボンド面に接触して
から磁気センサがボンド面と判断するまでに時間がかか
り、その時間分キヤピラリがワイヤをボンド面に押し付
けてワイヤ又はボールを潰す量、いわゆる当業者で呼ば
れている沈み込みが多くなってしまう。
よりなるので、センサのしき値に対する応答遅れがあ
る。このため、キヤピラリが実際にボンド面に接触して
から磁気センサがボンド面と判断するまでに時間がかか
り、その時間分キヤピラリがワイヤをボンド面に押し付
けてワイヤ又はボールを潰す量、いわゆる当業者で呼ば
れている沈み込みが多くなってしまう。
【０００６】本発明の目的は、ボンド面レベルを高精度
に検出することが可能なワイヤボンデイング方法及び装
置を提供することにある。
に検出することが可能なワイヤボンデイング方法及び装
置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の手段は、キヤピラリを保持したアーム
ホルダを上下動又は揺動させてキヤピラリに挿通された
ワイヤをボンド面に接続するワイヤボンデイング方法に
おいて、前記アームホルダの上下方向の変位をリニアセ
ンサで逐次検出し、この検出された一定読込回数範囲内
の出力データの変化が一定許容範囲内であるかどうかを
調べ、一定許容範囲内であるとボンド面レベルであると
判断することを特徴とする。
の本発明の第１の手段は、キヤピラリを保持したアーム
ホルダを上下動又は揺動させてキヤピラリに挿通された
ワイヤをボンド面に接続するワイヤボンデイング方法に
おいて、前記アームホルダの上下方向の変位をリニアセ
ンサで逐次検出し、この検出された一定読込回数範囲内
の出力データの変化が一定許容範囲内であるかどうかを
調べ、一定許容範囲内であるとボンド面レベルであると
判断することを特徴とする。
【０００８】上記目的を達成するための本発明の第２の
手段は、キヤピラリを保持したアームホルダを上下動又
は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボンド面
に接続するワイヤボンデイング方法において、前記アー
ムホルダの上下方向の変位をリニアセンサで逐次検出
し、この検出された一定読込回数範囲内の出力データの
平均又は総和を順次求め、その前の出力データの平均又
は総和と比較し、その差が一定許容範囲内である場合に
ボンド面レベルであると判断することを特徴とする。
手段は、キヤピラリを保持したアームホルダを上下動又
は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボンド面
に接続するワイヤボンデイング方法において、前記アー
ムホルダの上下方向の変位をリニアセンサで逐次検出
し、この検出された一定読込回数範囲内の出力データの
平均又は総和を順次求め、その前の出力データの平均又
は総和と比較し、その差が一定許容範囲内である場合に
ボンド面レベルであると判断することを特徴とする。
【０００９】上記目的を達成するための本発明の第３の
手段は、キヤピラリを保持したアームホルダを上下動又
は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボンド面
に接続するワイヤボンデイング装置において、前記アー
ムホルダの上下方向の変位を検出するリニアセンサと、
このリニアセンサで逐次検出された一定読込回数範囲内
の出力データの変化が一定許容範囲内であるかどうかを
調べ、一定許容範囲内であるとボンド面レベルであると
判断する制御回路を備えたことを特徴とする。
手段は、キヤピラリを保持したアームホルダを上下動又
は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボンド面
に接続するワイヤボンデイング装置において、前記アー
ムホルダの上下方向の変位を検出するリニアセンサと、
このリニアセンサで逐次検出された一定読込回数範囲内
の出力データの変化が一定許容範囲内であるかどうかを
調べ、一定許容範囲内であるとボンド面レベルであると
判断する制御回路を備えたことを特徴とする。
【００１０】上記目的を達成するための本発明の第４の
手段は、キヤピラリを保持したアームホルダを上下動又
は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボンド面
に接続するワイヤボンデイング装置において、前記アー
ムホルダの上下方向の変位を検出するリニアセンサと、
このリニアセンサで逐次検出された一定読込回数範囲内
の出力データの平均又は総和を順次求め、その前の出力
データの平均又は総和と比較し、その差が一定許容範囲
内である場合にボンド面レベルであると判断する制御回
路を備えたことを特徴とする。
手段は、キヤピラリを保持したアームホルダを上下動又
は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボンド面
に接続するワイヤボンデイング装置において、前記アー
ムホルダの上下方向の変位を検出するリニアセンサと、
このリニアセンサで逐次検出された一定読込回数範囲内
の出力データの平均又は総和を順次求め、その前の出力
データの平均又は総和と比較し、その差が一定許容範囲
内である場合にボンド面レベルであると判断する制御回
路を備えたことを特徴とする。
【００１１】
【作用】第１の手段及び第３の手段によれば、リニアセ
ンサで検出された一定読込回数範囲内の出力データの変
化が一定許容範囲内であるかどうかでボンド面レベルを
判断し、また第２の手段及び第４の手段によれば、リニ
アセンサで検出された一定読込回数範囲内の出力データ
の平均又は総和をその前の出力データの平均又は総和と
比較してボンド面レベルを判断するので、一定読込回数
範囲及び一定許容範囲をある一定大きさに設定すること
により、ノイズを無視することができ、正確なボンド面
レベルの検出が得られる。また上記各手段によれば、ギ
ャップ検出用センサはリニアセンサよりなるので、逐次
位置を読んでいくことができ、また応答遅れがないの
で、検出精度がより向上する。
ンサで検出された一定読込回数範囲内の出力データの変
化が一定許容範囲内であるかどうかでボンド面レベルを
判断し、また第２の手段及び第４の手段によれば、リニ
アセンサで検出された一定読込回数範囲内の出力データ
の平均又は総和をその前の出力データの平均又は総和と
比較してボンド面レベルを判断するので、一定読込回数
範囲及び一定許容範囲をある一定大きさに設定すること
により、ノイズを無視することができ、正確なボンド面
レベルの検出が得られる。また上記各手段によれば、ギ
ャップ検出用センサはリニアセンサよりなるので、逐次
位置を読んでいくことができ、また応答遅れがないの
で、検出精度がより向上する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４によ
り説明する。図１に示すように、ＸＹテーブル１上に
は、ボンデイングヘッド２が搭載されている。ボンデイ
ングヘッド２には支軸３が回転自在に支承されており、
支軸３にはアームホルダ４が固定されている。アームホ
ルダ４にはツールアーム５が固定され、ツールアーム５
の先端部にはキヤピラリ６が固定されている。またボン
デイングヘッド２には正逆回転可能なモータ７が固定さ
れており、モータ７の出力軸にはカム軸８が固定され、
カム軸８にはカム９が固定されている。そして、アーム
ホルダ４に回転自在に設けられたローラよりなるカムフ
ォロア１０がカム９に圧接するように、アームホルダ４
はばね１１で付勢されている。またアームホルダ４に
は、支軸３を中心としてキヤピラリ６と反対側の下面に
検出板１２がアームホルダ４の側面より突出するように
固定されており、この検出板１２の上面に対向してボン
デイングヘッド２にはリニアセンサ１３が固定されてい
る。
り説明する。図１に示すように、ＸＹテーブル１上に
は、ボンデイングヘッド２が搭載されている。ボンデイ
ングヘッド２には支軸３が回転自在に支承されており、
支軸３にはアームホルダ４が固定されている。アームホ
ルダ４にはツールアーム５が固定され、ツールアーム５
の先端部にはキヤピラリ６が固定されている。またボン
デイングヘッド２には正逆回転可能なモータ７が固定さ
れており、モータ７の出力軸にはカム軸８が固定され、
カム軸８にはカム９が固定されている。そして、アーム
ホルダ４に回転自在に設けられたローラよりなるカムフ
ォロア１０がカム９に圧接するように、アームホルダ４
はばね１１で付勢されている。またアームホルダ４に
は、支軸３を中心としてキヤピラリ６と反対側の下面に
検出板１２がアームホルダ４の側面より突出するように
固定されており、この検出板１２の上面に対向してボン
デイングヘッド２にはリニアセンサ１３が固定されてい
る。
【００１３】前記カム９はリニア又は偏心カムからな
り、図１の状態より矢印Ａ方向に１８０度正回転する範
囲は下降プロフィルとなっている。従って、カム９は１
８０度の範囲を正逆回転して用いる。即ち、カム９は、
正回転すると下降プロフィルとなり、逆回転すると上昇
プロフィルとなる。
り、図１の状態より矢印Ａ方向に１８０度正回転する範
囲は下降プロフィルとなっている。従って、カム９は１
８０度の範囲を正逆回転して用いる。即ち、カム９は、
正回転すると下降プロフィルとなり、逆回転すると上昇
プロフィルとなる。
【００１４】従って、カム９が矢印Ａ方向に正回転させ
られると、カム９の下降プロフィルによってアームホル
ダ４は支軸３を中心として矢印Ｂ方向に回動させられ、
キヤピラリ６は下降する。この場合、アームホルダ４の
回動量に従って検出板１２とリニアセンサ１３とのギャ
ップＧは大きく変化し、リニアセンサ１３からは図３に
示すようにギャップＧに比例した電圧又は電流が出力さ
れる。
られると、カム９の下降プロフィルによってアームホル
ダ４は支軸３を中心として矢印Ｂ方向に回動させられ、
キヤピラリ６は下降する。この場合、アームホルダ４の
回動量に従って検出板１２とリニアセンサ１３とのギャ
ップＧは大きく変化し、リニアセンサ１３からは図３に
示すようにギャップＧに比例した電圧又は電流が出力さ
れる。
【００１５】前記のようにキヤピラリ６が下降して試料
１４に接触した後は、ギャップＧは一定のギャップとな
って変化しなく、リニアセンサ１３からは一定の電圧又
は電流が出力される。この一定の電流又は電圧の出力の
判断方法については後述するが、一定の出力がリニアセ
ンサ１３より出力されると、この出力は後記する制御回
路によってボンド面レベルと判断され、検出点が制御回
路のメモリに記憶される。この検出点を基準としてモー
タ７は一定量回転させられ、カム９とカムフォロア１０
の間に一定のギャップが生じ、キヤピラリ６にはばね１
１の付勢力によって一定の荷重が加えられ、いわゆる当
業者で言うキヤピラリ６の沈み込みが行なわれる。そし
て、キヤピラリ６に挿通された図示しないワイヤは試料
１４にボンデイングされる。その後、モータ７は逆回転
させられ、カム９の上昇プロフィルによってキヤピラリ
６は上昇する。
１４に接触した後は、ギャップＧは一定のギャップとな
って変化しなく、リニアセンサ１３からは一定の電圧又
は電流が出力される。この一定の電流又は電圧の出力の
判断方法については後述するが、一定の出力がリニアセ
ンサ１３より出力されると、この出力は後記する制御回
路によってボンド面レベルと判断され、検出点が制御回
路のメモリに記憶される。この検出点を基準としてモー
タ７は一定量回転させられ、カム９とカムフォロア１０
の間に一定のギャップが生じ、キヤピラリ６にはばね１
１の付勢力によって一定の荷重が加えられ、いわゆる当
業者で言うキヤピラリ６の沈み込みが行なわれる。そし
て、キヤピラリ６に挿通された図示しないワイヤは試料
１４にボンデイングされる。その後、モータ７は逆回転
させられ、カム９の上昇プロフィルによってキヤピラリ
６は上昇する。
【００１６】図２は制御装置を示す。モータ７は、制御
回路２０に予め記憶されたデータに基づいてパルス出力
制御回路２１、サーボ制御回路２２、モータ駆動回路２
３を介して駆動され、正回転量及び逆回転量が制御され
る。またこの場合におけるモータ７の回転位置は、制御
回路２０及びサーボ制御回路２２に読み込まれる。そし
て、前記したようにモータ７が回転してキヤピラリ６が
下降している時の検出板１２とリニアセンサ１３とのギ
ャップＧによるリニアセンサ１３の出力は、逐次センサ
アンプ２４によって増幅され、Ａ／Ｄ変換器２５によっ
てデジタルデータに変換されて制御回路２０に入力され
る。制御回路２０には、図３に示すようにリニアセンサ
１３の出力を順次読み込んだ出力データを一定回数読み
込む一定読込回数範囲Ｂと、その一定読込回数範囲Ｂ内
における出力変化Ｃ1 、Ｃ2 ・・・Ｃｎと比較される一
定許容範囲Ｃが設定されている。
回路２０に予め記憶されたデータに基づいてパルス出力
制御回路２１、サーボ制御回路２２、モータ駆動回路２
３を介して駆動され、正回転量及び逆回転量が制御され
る。またこの場合におけるモータ７の回転位置は、制御
回路２０及びサーボ制御回路２２に読み込まれる。そし
て、前記したようにモータ７が回転してキヤピラリ６が
下降している時の検出板１２とリニアセンサ１３とのギ
ャップＧによるリニアセンサ１３の出力は、逐次センサ
アンプ２４によって増幅され、Ａ／Ｄ変換器２５によっ
てデジタルデータに変換されて制御回路２０に入力され
る。制御回路２０には、図３に示すようにリニアセンサ
１３の出力を順次読み込んだ出力データを一定回数読み
込む一定読込回数範囲Ｂと、その一定読込回数範囲Ｂ内
における出力変化Ｃ1 、Ｃ2 ・・・Ｃｎと比較される一
定許容範囲Ｃが設定されている。
【００１７】そこで、図３の場合には、第１回目の一定
読込回数範囲Ｂでは、出力変化はＣ1 であり、一定許容
範囲Ｃより大きいので、制御回路２０はボンド面レベル
でないと判断する。第２回目、第３回目・・・も同様に
ボンド面レベルでないと判断する。そして、第ｎ回目の
一定読込回数範囲Ｂでは、出力変化Ｃｎ（図３の場合は
Ｃｎは零で変化はない）は一定許容範囲Ｃより小さいの
で、ボンド面レベルと判断する。このように、制御回路
２０がボンド面レベルを判断すると、その時におけるリ
ニアセンサ１３の出力データをボンド面レベルとして制
御回路２０のメモリに記憶する。そして、前記ボンド面
レベル検出点を基準としてモータ７の回転量を制御して
キヤピラリ６の沈み込み及びボンデイング後におけるキ
ヤピラリ６の上昇量等を決定する。
読込回数範囲Ｂでは、出力変化はＣ1 であり、一定許容
範囲Ｃより大きいので、制御回路２０はボンド面レベル
でないと判断する。第２回目、第３回目・・・も同様に
ボンド面レベルでないと判断する。そして、第ｎ回目の
一定読込回数範囲Ｂでは、出力変化Ｃｎ（図３の場合は
Ｃｎは零で変化はない）は一定許容範囲Ｃより小さいの
で、ボンド面レベルと判断する。このように、制御回路
２０がボンド面レベルを判断すると、その時におけるリ
ニアセンサ１３の出力データをボンド面レベルとして制
御回路２０のメモリに記憶する。そして、前記ボンド面
レベル検出点を基準としてモータ７の回転量を制御して
キヤピラリ６の沈み込み及びボンデイング後におけるキ
ヤピラリ６の上昇量等を決定する。
【００１８】ところで、リニアセンサ１３の出力は図３
のように直線で表れることはなく、振動等によって図４
のようにノイズ３０、３１が表れる。この場合、図４
（ａ）のように一定読込回数範囲をＢ1 のように小さく
設定すると、出力変化Ｃ2 は一定許容範囲Ｃより小さい
ので、ノイズ３０によって第２回目の比較でボンド面レ
ベルと判断して誤検出する。これは、図４（ｂ）のよう
に一定読込回数範囲ＢをＢ2 のように設定することによ
りノイズ３０があっても出力変化Ｃ2 は一定許容範囲Ｃ
より大きくなってノイズ３０を無視できるので、ボンド
面レベルでないと判断し、誤検出はない。また図４
（ａ）のように、一定許容範囲Ｃを小さく設定すると、
第ｎ回目の比較でボンド面レベルであるにもかかわら
ず、ノイズ３１によって出力変化Ｃｎが一定許容範囲Ｃ
より大きく、ボンド面レベルが検出できなくなる。これ
は、図４（ｂ）のように、一定許容範囲Ｃをノイズ３
０、３１より大きく取ることによりノイズ３０、３１を
無視でき、誤検出がなくなる。前記したノイズ３０、３
１は、ボンデイング装置では、その大きさはある一定値
以下であるので、実験によって予めノイズ３０、３１の
出方を調べておき、これに基づいて一定読込回数範囲Ｂ
及び一定許容範囲Ｃを設定することが必要である。
のように直線で表れることはなく、振動等によって図４
のようにノイズ３０、３１が表れる。この場合、図４
（ａ）のように一定読込回数範囲をＢ1 のように小さく
設定すると、出力変化Ｃ2 は一定許容範囲Ｃより小さい
ので、ノイズ３０によって第２回目の比較でボンド面レ
ベルと判断して誤検出する。これは、図４（ｂ）のよう
に一定読込回数範囲ＢをＢ2 のように設定することによ
りノイズ３０があっても出力変化Ｃ2 は一定許容範囲Ｃ
より大きくなってノイズ３０を無視できるので、ボンド
面レベルでないと判断し、誤検出はない。また図４
（ａ）のように、一定許容範囲Ｃを小さく設定すると、
第ｎ回目の比較でボンド面レベルであるにもかかわら
ず、ノイズ３１によって出力変化Ｃｎが一定許容範囲Ｃ
より大きく、ボンド面レベルが検出できなくなる。これ
は、図４（ｂ）のように、一定許容範囲Ｃをノイズ３
０、３１より大きく取ることによりノイズ３０、３１を
無視でき、誤検出がなくなる。前記したノイズ３０、３
１は、ボンデイング装置では、その大きさはある一定値
以下であるので、実験によって予めノイズ３０、３１の
出方を調べておき、これに基づいて一定読込回数範囲Ｂ
及び一定許容範囲Ｃを設定することが必要である。
【００１９】なお、上記実施例は、各回目の一定読込回
数範囲Ｂの出力変化Ｃ1 、Ｃ2 ・・・Ｃｎを一定許容範
囲Ｃと比較したが、各回目の一定読込回数範囲Ｂ内の出
力データの平均又は総和を求め、第２回目は第１回目
と、第３回目は第２回目と、第ｎ回目は第ｎー１回目と
それぞれ比較し、その差が一定許容範囲Ｃ以内であれば
ボンド面レベルと判断するようにしてもよい。
数範囲Ｂの出力変化Ｃ1 、Ｃ2 ・・・Ｃｎを一定許容範
囲Ｃと比較したが、各回目の一定読込回数範囲Ｂ内の出
力データの平均又は総和を求め、第２回目は第１回目
と、第３回目は第２回目と、第ｎ回目は第ｎー１回目と
それぞれ比較し、その差が一定許容範囲Ｃ以内であれば
ボンド面レベルと判断するようにしてもよい。
【００２０】また上記実施例は、リニアセンサ１３を検
出板１２の上面に対向させたが、図５に示すように、リ
ニアセンサ１３を検出板１２の下面に対向させてボンデ
イングヘッド２に固定してもよい。従って、本実施例の
場合には、キヤピラリ６が下降すると、図６に示すよう
にリニアセンサ１３の出力は大きくなるように変化す
る。そして、キヤピラリ６が試料１４に当接した後は一
定の出力となる。このような場合も前記実施例と同様に
検出することができる。また、上記各実施例において
は、アームホルダ４を支軸３を介してボンデイングヘッ
ド２に回転自在に取付けたが、アームホルダ４を板ばね
を介してボンデイングヘッド２に揺動可能に取付けても
よい。またアームホルダ４は揺動ではなく、上下に平行
に移動させられるものにも適用できる。
出板１２の上面に対向させたが、図５に示すように、リ
ニアセンサ１３を検出板１２の下面に対向させてボンデ
イングヘッド２に固定してもよい。従って、本実施例の
場合には、キヤピラリ６が下降すると、図６に示すよう
にリニアセンサ１３の出力は大きくなるように変化す
る。そして、キヤピラリ６が試料１４に当接した後は一
定の出力となる。このような場合も前記実施例と同様に
検出することができる。また、上記各実施例において
は、アームホルダ４を支軸３を介してボンデイングヘッ
ド２に回転自在に取付けたが、アームホルダ４を板ばね
を介してボンデイングヘッド２に揺動可能に取付けても
よい。またアームホルダ４は揺動ではなく、上下に平行
に移動させられるものにも適用できる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、ノイズの影響を受けな
いでボンド面レベルが検出できるので、高精度の検出が
可能である。
いでボンド面レベルが検出できるので、高精度の検出が
可能である。
【図１】本発明を適用したボンデイング装置の一実施例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図２】図１のボンデイング装置に用いる駆動装置のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図３】本発明のボンデイング方法の一実施例を示すリ
ニアセンサの出力図である。
ニアセンサの出力図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）はノイズが発生している場合
における本発明のボンデイング方法の一実施例を示すリ
ニアセンサの出力図である。
における本発明のボンデイング方法の一実施例を示すリ
ニアセンサの出力図である。
【図５】本発明を適用したボンデイング装置の他の実施
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
【図６】図５の場合におけるリニアセンサの出力図であ
る。
る。
４ アームホルダ ６ キヤピラリ １３ リニアセンサ Ｂ 一定読込回数範囲 Ｃ 一定許容範囲 Ｃ1 、Ｃ2 ・・・Ｃｎ 出力変化
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−332145（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−122638（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−290730（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−125438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−258032（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−24403（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/60 301
Claims (4)
- 【請求項１】 キヤピラリを保持したアームホルダを上
下動又は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボ
ンド面に接続するワイヤボンデイング方法において、前
記アームホルダの上下方向の変位をリニアセンサで逐次
検出し、この検出された一定読込回数範囲内の出力デー
タの変化が一定許容範囲内であるかどうかを調べ、一定
許容範囲内であるとボンド面レベルであると判断するこ
とを特徴とするワイヤボンデイング方法。 - 【請求項２】 キヤピラリを保持したアームホルダを上
下動又は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボ
ンド面に接続するワイヤボンデイング方法において、前
記アームホルダの上下方向の変位をリニアセンサで逐次
検出し、この検出された一定読込回数範囲内の出力デー
タの平均又は総和を順次求め、その前の出力データの平
均又は総和と比較し、その差が一定許容範囲内である場
合にボンド面レベルであると判断することを特徴とする
ワイヤボンデイング方法。 - 【請求項３】 キヤピラリを保持したアームホルダを上
下動又は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボ
ンド面に接続するワイヤボンデイング装置において、前
記アームホルダの上下方向の変位を検出するリニアセン
サと、このリニアセンサで逐次検出された一定読込回数
範囲内の出力データの変化が一定許容範囲内であるかど
うかを調べ、一定許容範囲内であるとボンド面レベルで
あると判断する制御回路を備えたことを特徴とするワイ
ヤボンデイング装置。 - 【請求項４】 キヤピラリを保持したアームホルダを上
下動又は揺動させてキヤピラリに挿通されたワイヤをボ
ンド面に接続するワイヤボンデイング装置において、前
記アームホルダの上下方向の変位を検出するリニアセン
サと、このリニアセンサで逐次検出された一定読込回数
範囲内の出力データの平均又は総和を順次求め、その前
の出力データの平均又は総和と比較し、その差が一定許
容範囲内である場合にボンド面レベルであると判断する
制御回路を備えたことを特徴とするワイヤボンデイング
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3153916A JP2789394B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
| KR1019920006507A KR960002995B1 (ko) | 1991-05-29 | 1992-04-18 | 와이어본딩 방법 및 장치 |
| US07/890,953 US5207370A (en) | 1991-05-29 | 1992-05-29 | Wire bonding method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3153916A JP2789394B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04352336A JPH04352336A (ja) | 1992-12-07 |
| JP2789394B2 true JP2789394B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=15572904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3153916A Expired - Fee Related JP2789394B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5207370A (ja) |
| JP (1) | JP2789394B2 (ja) |
| KR (1) | KR960002995B1 (ja) |
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| JP3128702B2 (ja) * | 1991-09-11 | 2001-01-29 | 株式会社新川 | ボンデイング装置のデータ設定モード変更方法及び装置 |
| JP2635889B2 (ja) * | 1992-06-24 | 1997-07-30 | 株式会社東芝 | ダイボンディング装置 |
| JP3017895B2 (ja) * | 1992-12-01 | 2000-03-13 | 株式会社東芝 | チップ部品マウント装置 |
| JP3370551B2 (ja) * | 1997-04-02 | 2003-01-27 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置及びそのボンディング荷重補正方法 |
| JP3370556B2 (ja) * | 1997-05-14 | 2003-01-27 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置及びその制御方法 |
| JPH11191568A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法及び装置 |
| US6244498B1 (en) * | 1999-04-16 | 2001-06-12 | Micron Semiconductor, Inc. | Ultrasonic vibration mode for wire bonding |
| US6572001B2 (en) * | 2001-07-05 | 2003-06-03 | Asm Technology Singapore Pte Ltd. | Bonding system |
| WO2004073492A2 (en) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Massachusetts Eye And Ear Infirmary | Chlamydia pneumoniae associated chronic intraocular disorders and treatment thereof |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61177732A (ja) * | 1985-02-01 | 1986-08-09 | Hitachi Ltd | 製造装置 |
| JPS6221234A (ja) * | 1985-07-22 | 1987-01-29 | Hitachi Tokyo Electron Co Ltd | ワイヤボンダ |
| JPS62150838A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Hitachi Ltd | 検出方法および装置 |
| JP2534712B2 (ja) * | 1987-07-01 | 1996-09-18 | 凸版印刷株式会社 | 導電性フィルム |
| JPH0673995B2 (ja) * | 1987-07-28 | 1994-09-21 | 神東塗料株式会社 | 捺染用ロータリー・スクリーン紗の再生方法 |
| JP2506958B2 (ja) * | 1988-07-22 | 1996-06-12 | 松下電器産業株式会社 | ワイヤボンディング装置 |
| US5121870A (en) * | 1991-04-29 | 1992-06-16 | Hughes Aircraft Company | Method for reducing time to place a tool onto a workpiece |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP3153916A patent/JP2789394B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-04-18 KR KR1019920006507A patent/KR960002995B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-05-29 US US07/890,953 patent/US5207370A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960002995B1 (ko) | 1996-03-02 |
| KR920022436A (ko) | 1992-12-19 |
| US5207370A (en) | 1993-05-04 |
| JPH04352336A (ja) | 1992-12-07 |
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