JP2548148Y2 - 磁気シールドルーム - Google Patents
磁気シールドルームInfo
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- JP2548148Y2 JP2548148Y2 JP1990101738U JP10173890U JP2548148Y2 JP 2548148 Y2 JP2548148 Y2 JP 2548148Y2 JP 1990101738 U JP1990101738 U JP 1990101738U JP 10173890 U JP10173890 U JP 10173890U JP 2548148 Y2 JP2548148 Y2 JP 2548148Y2
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- Japan
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- room
- magnetic shield
- wall
- door
- magnetically shielded
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、磁気シールドルームに係り、例えば生体磁
気測定用ルームや半導体施設EB露光設置用ルーム等にお
ける扉を設けた磁気シールドルームの改良に関するもの
である。
気測定用ルームや半導体施設EB露光設置用ルーム等にお
ける扉を設けた磁気シールドルームの改良に関するもの
である。
従来、この種の磁気シールドルームは、その平面形状
が、施工性、使用時の面積効率の関係から、単純な正方
形或いは長方形にしている。
が、施工性、使用時の面積効率の関係から、単純な正方
形或いは長方形にしている。
第３図はその一例を示すもので、四方の壁部、天井部
及び床部が、例えばパーマロイやケイ素鋼板等の高透磁
率の薄板を取り付けることによって構成されている。
及び床部が、例えばパーマロイやケイ素鋼板等の高透磁
率の薄板を取り付けることによって構成されている。
そして、壁部２には扉３が設けられている。この扉３
は、磁気シールドルーム１内での生体磁気等実験の使用
を考慮して、実験場所５よりも離れた位置に設けられて
いる。
は、磁気シールドルーム１内での生体磁気等実験の使用
を考慮して、実験場所５よりも離れた位置に設けられて
いる。
〔考案が解決しようとする課題〕 然し乍ら、磁気シールドルーム１における部位中で、
最も遮蔽性能低下の原因となり、磁気が漏洩し易い部分
が、扉３と壁部２との接触隙間４であり、従来の単純な
正方形や長方形の平面形状の磁気シールドルームでは、
第３図に示す如く、扉３と壁部２との接触隙間４から漏
洩した磁界の影響範囲が、磁気シールドルーム１中心部
にまで及び、磁気シールドルーム１内で生体磁気等の実
験の使用に適した遮蔽性能を広範囲に亘って確保するこ
とが出来なくなり、限られた部位での実験となるか、場
合によっては、実験が出来なくなるという虞れがあっ
た。
最も遮蔽性能低下の原因となり、磁気が漏洩し易い部分
が、扉３と壁部２との接触隙間４であり、従来の単純な
正方形や長方形の平面形状の磁気シールドルームでは、
第３図に示す如く、扉３と壁部２との接触隙間４から漏
洩した磁界の影響範囲が、磁気シールドルーム１中心部
にまで及び、磁気シールドルーム１内で生体磁気等の実
験の使用に適した遮蔽性能を広範囲に亘って確保するこ
とが出来なくなり、限られた部位での実験となるか、場
合によっては、実験が出来なくなるという虞れがあっ
た。
本考案は斯かる従来の問題点を解決するために為され
たもので、その目的は、扉と壁部との接触隙間から漏洩
した磁界の影響範囲を低減することを可能とした磁気シ
ールドルームを提供する事にある。
たもので、その目的は、扉と壁部との接触隙間から漏洩
した磁界の影響範囲を低減することを可能とした磁気シ
ールドルームを提供する事にある。
請求項１記載の磁気シールドルームは、磁気遮蔽材料
によって囲繞され、壁部に扉を備えた磁気シールドルー
ムにおいて、磁気シールドルーム本体と連設し、且つそ
の断面が略台形状を為している前室を設け、この前室に
上記扉を設けたものである。
によって囲繞され、壁部に扉を備えた磁気シールドルー
ムにおいて、磁気シールドルーム本体と連設し、且つそ
の断面が略台形状を為している前室を設け、この前室に
上記扉を設けたものである。
請求項２記載の磁気シールドルームは、磁気遮蔽材料
によって囲繞され、壁扉を備えた磁気シールドルームに
おいて、磁気シールドルーム本体の一方の側壁部と、上
記扉を設けた壁部と、前記シールドルーム本体内に突き
出たシールド壁とで前室を形成したものである。
によって囲繞され、壁扉を備えた磁気シールドルームに
おいて、磁気シールドルーム本体の一方の側壁部と、上
記扉を設けた壁部と、前記シールドルーム本体内に突き
出たシールド壁とで前室を形成したものである。
請求項１記載の磁気シールドルームにおいては、扉と
壁部との接触隙間から磁界が漏洩して来ると、前室の内
壁面に取り付けられている磁気遮蔽材料によって磁気回
路を形成し、磁界漏洩による影響範囲を主に前室のみと
し、磁気シールドルームの中心部にまで及ばないように
することができる。
壁部との接触隙間から磁界が漏洩して来ると、前室の内
壁面に取り付けられている磁気遮蔽材料によって磁気回
路を形成し、磁界漏洩による影響範囲を主に前室のみと
し、磁気シールドルームの中心部にまで及ばないように
することができる。
請求項２記載の磁気シールドルームにおいては、扉と
壁部との接触隙間から磁界が漏洩して来ると、壁部の内
側と磁気シールド壁面に取り付けられている磁気遮蔽材
料によって磁気回路を形成し、磁界漏洩による影響範囲
を主に磁気シールド壁と壁部とで区画される前室のみと
し、磁気シールドルームの中心部にまで及ばないように
することができる。
壁部との接触隙間から磁界が漏洩して来ると、壁部の内
側と磁気シールド壁面に取り付けられている磁気遮蔽材
料によって磁気回路を形成し、磁界漏洩による影響範囲
を主に磁気シールド壁と壁部とで区画される前室のみと
し、磁気シールドルームの中心部にまで及ばないように
することができる。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案の一実施例に係る磁気シールドルーム
を示すもので、11はパーマロイやケイ素鋼板等の高透磁
率の薄板を取り付けることによって構成された壁部であ
る。
を示すもので、11はパーマロイやケイ素鋼板等の高透磁
率の薄板を取り付けることによって構成された壁部であ
る。
この壁部11には、同様にパーマロイやケイ素鋼板等の
高透磁率の薄板を取り付けることによって構成された天
井部及び床部が連設されている。
高透磁率の薄板を取り付けることによって構成された天
井部及び床部が連設されている。
そして、壁部11によって囲繞された断面長方形状又は
正方形状を為す磁気シールドルーム本体12と、これに連
設し断面が略台形状を為している前室131とが形成され
ている。
正方形状を為す磁気シールドルーム本体12と、これに連
設し断面が略台形状を為している前室131とが形成され
ている。
前室131の磁気シールドルーム10の中心部10Aから最も
離れた位置の壁部131Aには、扉14が設けられている。
離れた位置の壁部131Aには、扉14が設けられている。
斯くして構成された磁気シールドルーム10によれば、
扉14と壁部131Aとの接触隙間15から漏洩した磁界は、そ
の接触隙間15から磁気シールドルーム10の中心部10Aに
向かって進入して行くが、壁部131Aとこれに連設すると
共に対向する壁部131B及び131Cに取り付けられたパーマ
ロイやケイ素鋼板等の高透磁率の薄板によって形成され
た前室131内に止まり、磁気シールドルーム10の中心部1
0Aまで磁界分布の乱れの領域が及ばない。即ち扉14の付
近の等磁界線は密になって磁界分布の乱れが生じている
が、それは前室131内に止まり、中心部10Aに向かっては
磁界の勾配が急に少なくなることが実験によって確かめ
られた。
扉14と壁部131Aとの接触隙間15から漏洩した磁界は、そ
の接触隙間15から磁気シールドルーム10の中心部10Aに
向かって進入して行くが、壁部131Aとこれに連設すると
共に対向する壁部131B及び131Cに取り付けられたパーマ
ロイやケイ素鋼板等の高透磁率の薄板によって形成され
た前室131内に止まり、磁気シールドルーム10の中心部1
0Aまで磁界分布の乱れの領域が及ばない。即ち扉14の付
近の等磁界線は密になって磁界分布の乱れが生じている
が、それは前室131内に止まり、中心部10Aに向かっては
磁界の勾配が急に少なくなることが実験によって確かめ
られた。
なお、本実施例では、一方側に断面略台形状の前室13
1を設けた場合について説明したが、この前室131の反対
側の部位にも、同様の部屋を連設し、全体的な形状を舟
形としても良い。
1を設けた場合について説明したが、この前室131の反対
側の部位にも、同様の部屋を連設し、全体的な形状を舟
形としても良い。
第２図は本考案の別の実施例に係る磁気シールドルー
ムを示すもので、隅部近傍の壁部111に設けた扉142と、
磁気シールドルーム121本体の側壁部112と、磁気シール
ド壁16とで前室134を形成したことである。
ムを示すもので、隅部近傍の壁部111に設けた扉142と、
磁気シールドルーム121本体の側壁部112と、磁気シール
ド壁16とで前室134を形成したことである。
この磁気シールド壁16は、パーマロイやケイ素鋼板等
の高透磁率の薄板を取り付けたもので、扉142よりやや
中心部10A寄りに位置している。
の高透磁率の薄板を取り付けたもので、扉142よりやや
中心部10A寄りに位置している。
本実施例によれば、扉142と壁部111との接触隙間152
からの漏洩磁界は、壁部111とこれに連設すると共に対
向する磁気シールド壁16と壁部112とに取り付けちれた
パーマロイやケイ素鋼板によって、その進入範囲が殆ど
前室134内に止まり、磁気シールドルーム10の中心部10A
までには達しない。
からの漏洩磁界は、壁部111とこれに連設すると共に対
向する磁気シールド壁16と壁部112とに取り付けちれた
パーマロイやケイ素鋼板によって、その進入範囲が殆ど
前室134内に止まり、磁気シールドルーム10の中心部10A
までには達しない。
なお、磁気シールドルームは、小型である方が大型化
したものよりも、その性能が優れており、小型化ささた
磁気シールドルームにおいて、扉と壁部との接触隙間か
らの磁気漏洩を如何に防止し、磁気シールドルームの中
心部においては磁気勾配の少ない状態に確保するかとい
うことが、磁気シールドルームにおいては望まれてい
る。斯かる観点から本考案の磁気シールドルームは、そ
の要望に充分に応えることが出来るものである。
したものよりも、その性能が優れており、小型化ささた
磁気シールドルームにおいて、扉と壁部との接触隙間か
らの磁気漏洩を如何に防止し、磁気シールドルームの中
心部においては磁気勾配の少ない状態に確保するかとい
うことが、磁気シールドルームにおいては望まれてい
る。斯かる観点から本考案の磁気シールドルームは、そ
の要望に充分に応えることが出来るものである。
請求項１記載の磁気シールドルームは、磁気遮蔽材料
によって囲繞され、壁部に扉を備えた磁気シールドルー
ムにおいて、磁気シールドルーム本体と連設する前室が
断面略台形状を為しているものであるから、扉と壁部と
の接触隙間からの磁界漏洩による影響範囲が、主に前室
のみとなり、磁気シールドルーム中心部まで及ばず、遮
蔽性能の高い領域が広範囲となり、磁気シールドルーム
全体の遮蔽率も向上する。而も前室に換気口、スリーブ
等の貫通部を集中させることによって、磁気シールドル
ーム内の遮蔽性能を一層高めることが可能となる。
によって囲繞され、壁部に扉を備えた磁気シールドルー
ムにおいて、磁気シールドルーム本体と連設する前室が
断面略台形状を為しているものであるから、扉と壁部と
の接触隙間からの磁界漏洩による影響範囲が、主に前室
のみとなり、磁気シールドルーム中心部まで及ばず、遮
蔽性能の高い領域が広範囲となり、磁気シールドルーム
全体の遮蔽率も向上する。而も前室に換気口、スリーブ
等の貫通部を集中させることによって、磁気シールドル
ーム内の遮蔽性能を一層高めることが可能となる。
請求項２記載の磁気シールドルームは、磁気遮蔽材料
によって囲繞され、壁部に扉を備えた磁気シールドルー
ムにおいて、磁気シールドルーム本体の一方の側壁部
と、上記扉を設けた壁部と、前記磁気シールドルーム本
体内に突き出たシールド壁とで前室を構成したものであ
るから、扉と壁部との接触隙間からの磁界漏洩による影
響範囲が、主に磁気シールド壁と壁部とで形成された前
室のみとなり、磁気シールドルーム中心部まで及ばず、
遮蔽性能の高い領域が広範囲となり、磁気シールドルー
ム全体の遮蔽率も向上する。而も、前室に換気口、スリ
ーブ等の貫通部を集中させることによって、磁気シール
ドルーム内の遮蔽性能を一層高めることが可能となる。
によって囲繞され、壁部に扉を備えた磁気シールドルー
ムにおいて、磁気シールドルーム本体の一方の側壁部
と、上記扉を設けた壁部と、前記磁気シールドルーム本
体内に突き出たシールド壁とで前室を構成したものであ
るから、扉と壁部との接触隙間からの磁界漏洩による影
響範囲が、主に磁気シールド壁と壁部とで形成された前
室のみとなり、磁気シールドルーム中心部まで及ばず、
遮蔽性能の高い領域が広範囲となり、磁気シールドルー
ム全体の遮蔽率も向上する。而も、前室に換気口、スリ
ーブ等の貫通部を集中させることによって、磁気シール
ドルーム内の遮蔽性能を一層高めることが可能となる。
第１図は本考案の一実施例に係る磁気シールドルームの
構成を示す横断面図である。 第２図は本考案の別の実施例に係る磁気シールドルーム
の構成を示す横断面図である。 第３図は従来の磁気シールドルームの構成を示す横断面
図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 10……磁気シールドルーム 11,131A,131B,131C,132A,132B,132C,111,112……壁部 12……磁気シールドルーム 13,131,132,134,……前室 14,141,142……扉 15,151,152……隙間
構成を示す横断面図である。 第２図は本考案の別の実施例に係る磁気シールドルーム
の構成を示す横断面図である。 第３図は従来の磁気シールドルームの構成を示す横断面
図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 10……磁気シールドルーム 11,131A,131B,131C,132A,132B,132C,111,112……壁部 12……磁気シールドルーム 13,131,132,134,……前室 14,141,142……扉 15,151,152……隙間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１２Ｂ 17/02 Ｇ１２Ｂ 17/02 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｌ Ｈ０５Ｋ 9/00 Ｈ０５Ｋ 9/00 Ｎ (72)考案者 東山 一勇気 東京都中央区銀座８丁目21番１号 株式 会社竹中工務店東京本店内 (72)考案者 山崎 慶太 東京都江東区南砂２丁目５番14号 株式 会社竹中工務店技術研究所内 (72)考案者 海野 健一 東京都江東区南砂２丁目５番14号 株式 会社竹中工務店技術研究所内 (72)考案者 奥田 清明 東京都中央区銀座８丁目21番１号 株式 会社竹中工務店東京本店内 (72)考案者 西 康之 大阪府大阪市中央区本町４丁目１番13号 株式会社竹中工務店大阪本店内 (72)考案者 清野 和男 宮城県仙台市太白区郡山６丁目７番１号 株式会社トーキン内 (72)考案者 佐藤 正一 宮城県仙台市太白区郡山６丁目７番１号 株式会社トーキン内 (72)考案者 内川 義則 東京都練馬区南大泉２―31―31 (72)考案者 小谷 誠 東京都町田市南大谷821―24 (56)参考文献 特開 平１−278680（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】磁気遮蔽材料によって囲繞され、壁部に扉
を備えた磁気シールドルームにおいて、 磁気シールドルーム本体と連設し、且つその断面が略台
形状を為している前室を設け、この前室に上記扉を設け
たことを特徴とする磁気シールドルーム。 - 【請求項２】磁気遮蔽材料によって囲繞され、壁部に扉
を備えた磁気シールドルームにおいて、 磁気シールドルーム本体の一方の側壁部と、上記扉を設
けた壁部と、前記シールドルーム本体内に突き出たシー
ルド壁とで前室を形成したことを特徴とする磁気シール
ドルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990101738U JP2548148Y2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 磁気シールドルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990101738U JP2548148Y2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 磁気シールドルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459249U JPH0459249U (ja) | 1992-05-21 |
| JP2548148Y2 true JP2548148Y2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=31845442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990101738U Expired - Fee Related JP2548148Y2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 磁気シールドルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2548148Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6950171B2 (ja) | 2016-12-02 | 2021-10-13 | Tdk株式会社 | 磁気シールドルーム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2942575A1 (de) * | 1979-10-22 | 1981-04-30 | Zirn, Rudolf, 8960 Kempten | Naehrstoffschonendes und energiesparendes verfahren zum garen von speisen |
| JPH01278680A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 | Shimizu Corp | 磁気遮蔽室の扉 |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP1990101738U patent/JP2548148Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0459249U (ja) | 1992-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |