JP2543245B2 - 位置検出誤差補正装置 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、回転位置や直線位置を検出する位置検出器
における位置検出誤差を補正する位置検出誤差補正装置
に関する。
における位置検出誤差を補正する位置検出誤差補正装置
に関する。
（従来の技術） 第９図は、従来の位置検出器と位置検出誤差補正装置
を示すブロック図である。第10図は、第９図の位置検出
器の位置検出誤差を示すグラフである。
を示すブロック図である。第10図は、第９図の位置検出
器の位置検出誤差を示すグラフである。
第９図において、入力軸1,4Xレゾルバ2,1Xレゾルバ３
及び数値化回路４は、１回転アブソリュート位置検出器
を構成している。この位置検出器は、入力軸１の1/4回
転までを、4Xレゾルバ２で高分解能に絶対位置検出して
いる。また、この位置検出器は、1Xレゾルバ３によって
4Xレゾルバ２による位置検出データを、入力軸１の１回
転内を絶対位置で示すデータに修正している。これによ
り、第９図に示す位置検出器は、入力軸１の１回転内の
回転位置を1/65536回転の分解能で絶対位置検出する。
及び数値化回路４は、１回転アブソリュート位置検出器
を構成している。この位置検出器は、入力軸１の1/4回
転までを、4Xレゾルバ２で高分解能に絶対位置検出して
いる。また、この位置検出器は、1Xレゾルバ３によって
4Xレゾルバ２による位置検出データを、入力軸１の１回
転内を絶対位置で示すデータに修正している。これによ
り、第９図に示す位置検出器は、入力軸１の１回転内の
回転位置を1/65536回転の分解能で絶対位置検出する。
ところで、PROM5には、第11図に示すように予め位置
検出器の１回転内の位置検出誤差（第10図のグラフ）を
1/256回転毎に測定したデータが書き込まれている。検
出された回転位置データは数値化回路４により数値デー
タθｅとしてマイクロコンピュータ６へ出力される。マ
イクロコンピュータ６は、数値化回路４からの検出値θ
ｅの値に基づいてPROM5から検出値前後の位置検出誤差
データを読出し、（１）式に示す補間演算を行なって検
出値θｅでの測定誤差ｅを求める。次に、（２）式を計
算し、誤差を取り除いた回転位置データθを出力する。
検出器の１回転内の位置検出誤差（第10図のグラフ）を
1/256回転毎に測定したデータが書き込まれている。検
出された回転位置データは数値化回路４により数値デー
タθｅとしてマイクロコンピュータ６へ出力される。マ
イクロコンピュータ６は、数値化回路４からの検出値θ
ｅの値に基づいてPROM5から検出値前後の位置検出誤差
データを読出し、（１）式に示す補間演算を行なって検
出値θｅでの測定誤差ｅを求める。次に、（２）式を計
算し、誤差を取り除いた回転位置データθを出力する。
ｅ＝Ｅ［θe/256］＋（Ｅ［θe/256＋１］ −Ｅ［θe/256］）＊（θe MOD 256）/256 ……（１） θ＝θｅ−ｅ ……（２） （発明が解決しようとする課題） ところで、上述した従来の位置検出誤差補正装置で
は、高分解能な位置検出器を使用して高精度が要求され
る場合、補間演算による誤差を少なくしようとすると位
置検出誤差データが増加する。したがって、そのような
場合には位置検出誤差データを格納するための不揮発性
メモリを大容量化する必要があった。ところが、そのた
めには書き込み後の修正ができないPROMや高価な大容量
EEPROMが必要となる上に、検出器に内蔵するには素子が
大きすぎるという問題があった。また、測定した位置検
出誤差データには、測定時のノイズが混入することが多
く、このデータをもとに補正を行なうと、補正後の位置
検出値に混入ノイズ相当の誤差が生じるという問題点が
あった。
は、高分解能な位置検出器を使用して高精度が要求され
る場合、補間演算による誤差を少なくしようとすると位
置検出誤差データが増加する。したがって、そのような
場合には位置検出誤差データを格納するための不揮発性
メモリを大容量化する必要があった。ところが、そのた
めには書き込み後の修正ができないPROMや高価な大容量
EEPROMが必要となる上に、検出器に内蔵するには素子が
大きすぎるという問題があった。また、測定した位置検
出誤差データには、測定時のノイズが混入することが多
く、このデータをもとに補正を行なうと、補正後の位置
検出値に混入ノイズ相当の誤差が生じるという問題点が
あった。
本発明は上述のような事情から成されたものであり、
本発明の目的は、低コストで小型かつ高精度な位置検出
誤差補正装置を提供することにある。
本発明の目的は、低コストで小型かつ高精度な位置検出
誤差補正装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、回転位置や直線位置を検出する位置検出器
の位置検出誤差を補正する位置検出誤差補正装置に関す
るものであり、本発明の上記目的は、位置検出器の絶対
位置検出範囲の整数倍を基本周期として位置検出誤差を
フーリエ級数展開して得られた位置検出誤差の各周期の
成分を予め記憶する不揮発性メモリと、起動時に不揮発
性メモリから位置検出誤差の各周期の成分を読出して逆
フーリエ変換する変換手段と、変換手段により変換され
た位置検出誤差を記憶するランダムアクセスメモリと、
位置検出器からの位置検出値に対応する位置検出誤差を
ランダムアクセスメモリから読出して位置検出値を補正
する補正手段とを具備することにより達成される。
の位置検出誤差を補正する位置検出誤差補正装置に関す
るものであり、本発明の上記目的は、位置検出器の絶対
位置検出範囲の整数倍を基本周期として位置検出誤差を
フーリエ級数展開して得られた位置検出誤差の各周期の
成分を予め記憶する不揮発性メモリと、起動時に不揮発
性メモリから位置検出誤差の各周期の成分を読出して逆
フーリエ変換する変換手段と、変換手段により変換され
た位置検出誤差を記憶するランダムアクセスメモリと、
位置検出器からの位置検出値に対応する位置検出誤差を
ランダムアクセスメモリから読出して位置検出値を補正
する補正手段とを具備することにより達成される。
（作用） 本発明にあっては、データ量の大きい位置検出誤差デ
ータをフーリエ級数展開によっていくつかの周期成分に
変換しデータ量を小さくしている。このため、位置検出
器の分解能に関係なく小容量かつ小型の不揮発性メモリ
で位置検出誤差データを記憶できる。また、測定による
ノイズ成分は周期性がないため、フーリエ級数展開時に
フィルタ効果によって除去できる。
ータをフーリエ級数展開によっていくつかの周期成分に
変換しデータ量を小さくしている。このため、位置検出
器の分解能に関係なく小容量かつ小型の不揮発性メモリ
で位置検出誤差データを記憶できる。また、測定による
ノイズ成分は周期性がないため、フーリエ級数展開時に
フィルタ効果によって除去できる。
（実施例） 以下、図面に基づいて本発明の実施例について詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の位置検出誤差補正装置の１実施例
を第９図と同一の位置検出器と共に示すブロック図であ
る。
を第９図と同一の位置検出器と共に示すブロック図であ
る。
第１図において、入力軸1,4Xレゾルバ2,1Xレゾルバ３
及び数値化回路４は、従来と同一でありその説明を省略
する。
及び数値化回路４は、従来と同一でありその説明を省略
する。
ところで、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は、第10図に示し
た位置検出誤差を、4Xレゾルバの絶対位置検出範囲の４
倍である１回転を基本周期として、（３）式によりフー
リエ級数展開した場合のフーリエ余弦級数とフーリエ正
弦級数の各周波数（1/周期）ごとの係数を示す図であ
る。
た位置検出誤差を、4Xレゾルバの絶対位置検出範囲の４
倍である１回転を基本周期として、（３）式によりフー
リエ級数展開した場合のフーリエ余弦級数とフーリエ正
弦級数の各周波数（1/周期）ごとの係数を示す図であ
る。
第２図（Ａ）及び（Ｂ）から理解できるように、位置
検出器の位置検出誤差はフーリエ級数展開した場合に限
られた誤差の周期成分しか持たない。一般的に軸倍角Ｎ
のレゾルバ（NXレゾルバ）が有する位置検出誤差は１回
転を１周期とすると、1/4N〜1/8N周期以上の成分がほと
んどであり、これ以下の周期成分はほとんど無視できる
ほどで小さい。したがって、第１図に示す位置検出器の
位置検出誤差は、第３図のように21個のデータで表現す
ることができ、それらのデータは予めEEPROM8に書き込
まれている。
検出器の位置検出誤差はフーリエ級数展開した場合に限
られた誤差の周期成分しか持たない。一般的に軸倍角Ｎ
のレゾルバ（NXレゾルバ）が有する位置検出誤差は１回
転を１周期とすると、1/4N〜1/8N周期以上の成分がほと
んどであり、これ以下の周期成分はほとんど無視できる
ほどで小さい。したがって、第１図に示す位置検出器の
位置検出誤差は、第３図のように21個のデータで表現す
ることができ、それらのデータは予めEEPROM8に書き込
まれている。
そこで、マイクロコンピュータ６は、電源のオン時や
リセット時に、EEPROM8に予め書き込まれているデータ
を読み出し、フーリエ逆変換してランダムアクセスメモ
リ７に補正データとして格納する。第４図に基づいてそ
のときのマイクロコンピュータ６の動作を詳細に説明す
る。そこで、先ず位置検出誤差補正装置起動時にランダ
ムアクセスメモリ７内の変数Ｅ［０］からＥ［255］ま
でを０クリアする（ステップS1）。次に、EEPROM8から
のデータを引き出すためのポインタＩを初期化する（ス
テップS2）。位置検出誤差の周期（Ｔ［Ｉ］）をEEPROM
8から読み出す（ステップS3）。このとき、読み出した
周期Ｔが０であれば、この処理を終了する（ステップS
4）。一方、０でない場合には、次にランダムアクセス
メモリ７へデータを書き込むためのポインタＪを初期化
する（ステップS5）。EEPROM8からフーリエ余弦級数及
びフーリエ正弦級数の係数Ｃ［Ｉ］及びＳ［Ｉ］を読出
し、それぞれにCOS［Ｊ・K/T］及びSIN［Ｊ・K/T］（Ｋ
＝２π/256）を乗算した値Ｃ及びＳをランダムアクセス
メモリ７内の変数Ｅ［Ｊ］へ加算する（ステップS6,S7,
S8）。ポインタＪに１を加算する（ステップS9）。ステ
ップS6からステップS9までをポインタＪが256になるま
で繰り返して行ない、ランダムアクセスメモリ７へ１つ
の周期の位置検出誤差データを書き込む（ステップS1
0）。Ｊが256に達したらポインタＩに１を加算し、次の
周期の位置検出誤差について同様の処理を行なう（ステ
ップS11）。以上の処理によりランダムアクセスメモリ
７に第11図に示す表とほぼ同様の位置検出誤差データが
得られる。以後、従来の第９図に示した位置検出誤差補
正装置と同様に、（１）式及び（２）式を計算し補正処
理を行なう。
リセット時に、EEPROM8に予め書き込まれているデータ
を読み出し、フーリエ逆変換してランダムアクセスメモ
リ７に補正データとして格納する。第４図に基づいてそ
のときのマイクロコンピュータ６の動作を詳細に説明す
る。そこで、先ず位置検出誤差補正装置起動時にランダ
ムアクセスメモリ７内の変数Ｅ［０］からＥ［255］ま
でを０クリアする（ステップS1）。次に、EEPROM8から
のデータを引き出すためのポインタＩを初期化する（ス
テップS2）。位置検出誤差の周期（Ｔ［Ｉ］）をEEPROM
8から読み出す（ステップS3）。このとき、読み出した
周期Ｔが０であれば、この処理を終了する（ステップS
4）。一方、０でない場合には、次にランダムアクセス
メモリ７へデータを書き込むためのポインタＪを初期化
する（ステップS5）。EEPROM8からフーリエ余弦級数及
びフーリエ正弦級数の係数Ｃ［Ｉ］及びＳ［Ｉ］を読出
し、それぞれにCOS［Ｊ・K/T］及びSIN［Ｊ・K/T］（Ｋ
＝２π/256）を乗算した値Ｃ及びＳをランダムアクセス
メモリ７内の変数Ｅ［Ｊ］へ加算する（ステップS6,S7,
S8）。ポインタＪに１を加算する（ステップS9）。ステ
ップS6からステップS9までをポインタＪが256になるま
で繰り返して行ない、ランダムアクセスメモリ７へ１つ
の周期の位置検出誤差データを書き込む（ステップS1
0）。Ｊが256に達したらポインタＩに１を加算し、次の
周期の位置検出誤差について同様の処理を行なう（ステ
ップS11）。以上の処理によりランダムアクセスメモリ
７に第11図に示す表とほぼ同様の位置検出誤差データが
得られる。以後、従来の第９図に示した位置検出誤差補
正装置と同様に、（１）式及び（２）式を計算し補正処
理を行なう。
次に、本発明の位置検出誤差補正装置を実際に採用し
た具体的な実施例を説明する。第５図は、光学式リニア
エンコーダ，その信号を検出する検出回路及び本発明の
位置検出誤差補正装置を示す図である。
た具体的な実施例を説明する。第５図は、光学式リニア
エンコーダ，その信号を検出する検出回路及び本発明の
位置検出誤差補正装置を示す図である。
第５図において、可動体にピッチＰ（0.1mm）の格子
を設けたメインスケール13（長さ100mm）が固定されて
いる。また、固定部材（図示せず）に第２の格子15を設
けたインデックススケール16と、光源11及びコリメータ
レンズ12から構成される発光手段と、受光素子17から構
成された光電変換手段とを有するスライダ（図示せず）
が固定されている。そこで、第１の格子14と第２の格子
15との相対移動によって生ずる光量変化が光電変換手段
により光電変換される。光電変換された信号は、増幅回
路18A,18B,内挿回路９及び計数回路10によって、メイン
スケール13とスライダの相対移動の変化量Ｚをデジタル
値に変換する。ここで、第５図に示したような位置検出
器では、一般にメインスケール13に設けられた第１の格
子14に対して、インデックススケール16に設けられた第
２の格子15の位相は、第１の格子14のピッチＰを360゜
とすると０゜,90゜,180゜,270゜の区分けが施されてい
る。増幅回路18A,18Bはメインスケール13の変位量Ｚに
対応して、ほぼ正弦値SIN（２πZ/P），余弦値COS（２
πZ/P）に近似した２相の信号を出力する。内挿回路９
は、増幅回路18A,18Bからの２相の信号を基にアークタ
ンジェント計算をし、ピッチＰ（0.1mm）の範囲内を０
〜255の数値の絶対位置で表す位置データPLを出力す
る。内挿回路９は、（４）式の判定処理を行ない、アッ
プカウントパルスUP、またはダウンカウントパルスDPを
出力する。
を設けたメインスケール13（長さ100mm）が固定されて
いる。また、固定部材（図示せず）に第２の格子15を設
けたインデックススケール16と、光源11及びコリメータ
レンズ12から構成される発光手段と、受光素子17から構
成された光電変換手段とを有するスライダ（図示せず）
が固定されている。そこで、第１の格子14と第２の格子
15との相対移動によって生ずる光量変化が光電変換手段
により光電変換される。光電変換された信号は、増幅回
路18A,18B,内挿回路９及び計数回路10によって、メイン
スケール13とスライダの相対移動の変化量Ｚをデジタル
値に変換する。ここで、第５図に示したような位置検出
器では、一般にメインスケール13に設けられた第１の格
子14に対して、インデックススケール16に設けられた第
２の格子15の位相は、第１の格子14のピッチＰを360゜
とすると０゜,90゜,180゜,270゜の区分けが施されてい
る。増幅回路18A,18Bはメインスケール13の変位量Ｚに
対応して、ほぼ正弦値SIN（２πZ/P），余弦値COS（２
πZ/P）に近似した２相の信号を出力する。内挿回路９
は、増幅回路18A,18Bからの２相の信号を基にアークタ
ンジェント計算をし、ピッチＰ（0.1mm）の範囲内を０
〜255の数値の絶対位置で表す位置データPLを出力す
る。内挿回路９は、（４）式の判定処理を行ない、アッ
プカウントパルスUP、またはダウンカウントパルスDPを
出力する。
計数回路10は、内挿回路９からのアップカウントパル
スUPまたはダウンカウントパルスDPよりアップカウント
またはダウンカウントした計数値PU、すなわち移動変位
が第１の格子14のピッチＰの何倍に相当するかの値を出
力する。
スUPまたはダウンカウントパルスDPよりアップカウント
またはダウンカウントした計数値PU、すなわち移動変位
が第１の格子14のピッチＰの何倍に相当するかの値を出
力する。
以上のような位置検出器の位置検出誤差に対して絶対
値検出範囲である0.1mmの1000倍の100mmを基本周期とし
て（３）式にしたがってフーリエ級数展開を行ない、次
の（５）式により各周期の振幅を求め、さらにＡ［ｎ］
及びＢ［ｎ］を基にアークタンジェント計算をし、位相
成分を０〜２πの範囲で求めると第６図（Ａ）及び
（Ｂ）のグラフのようになる。
値検出範囲である0.1mmの1000倍の100mmを基本周期とし
て（３）式にしたがってフーリエ級数展開を行ない、次
の（５）式により各周期の振幅を求め、さらにＡ［ｎ］
及びＢ［ｎ］を基にアークタンジェント計算をし、位相
成分を０〜２πの範囲で求めると第６図（Ａ）及び
（Ｂ）のグラフのようになる。
第６図（Ａ）及び（Ｂ）から理解できるように、第５
図に示す位置検出器の位置検出誤差は格子ピッチＰの整
数分の１の周期成分となる。前述のように、このような
位置検出器では全ストロークの範囲で完全な位置検出誤
差補正を行なう場合、非常に大きなメモリが必要であ
る。また、このままでは絶対位置検出範囲が位置検出ス
トロークに比べ1/1000と小さいため、通常の誤差補正は
できない。
図に示す位置検出器の位置検出誤差は格子ピッチＰの整
数分の１の周期成分となる。前述のように、このような
位置検出器では全ストロークの範囲で完全な位置検出誤
差補正を行なう場合、非常に大きなメモリが必要であ
る。また、このままでは絶対位置検出範囲が位置検出ス
トロークに比べ1/1000と小さいため、通常の誤差補正は
できない。
そこで、第５図の位置検出誤差補正装置では、第７図
のような絶対位置検出範囲（格子ピッチＰ）以下でかつ
絶対位置検出範囲の整数分の１の周期の振幅と位相成分
を、予めEEPROM8に書き込んでおく。この状態でマイク
ロコンピュータ６が、装置の起動時にEEPROM8内の各位
置検出誤差の周期成分を読出して位置検出誤差に変換
し、ランダムアクセスメモリ７へ書き込む。第８図は、
その処理手順の詳細を示すフローチャートである。以
下、同図に基づいて説明する。マイクロコンピュータ６
は、ランダムアクセスメモリ７内の変数Ｅ［０］からＥ
［255］までを０クリアする（ステップS21）。EEPROM8
からのデータを書き込むためのポインタＩを初期化す
る。（ステップS22）。ランダムアクセスメモリ７へデ
ータを書き込むためのポインタＪを初期化する（ステッ
プS23）。EEPROM8から振幅値Ｇ［Ｉ］及び位相値PH
［Ｉ］を読出し、Ｚを計算してランダムアクセスメモリ
７内の変数Ｅ［Ｊ］へ加算する（ステップS24,S25）。
ポインタＪに１を加算する。ステップS24からステップS
26までをポインタＪが256になるまで繰り返して行ない
（ステップS27）、ランダムアクセスメモリ７へ１つの
周期における位置検出誤差データを書き込む、Ｊが256
になると、ポインタＩに１を加算して次の周期における
位置検出誤差について同様の処理を行なう（ステップS2
8）。このステップS23からS28までの処理をＩが８を越
えるまで行なうことにより、ランダムアクセスメモリ７
に絶対位置検出周期以下の短い周期の位置検出誤差デー
タを再現する。
のような絶対位置検出範囲（格子ピッチＰ）以下でかつ
絶対位置検出範囲の整数分の１の周期の振幅と位相成分
を、予めEEPROM8に書き込んでおく。この状態でマイク
ロコンピュータ６が、装置の起動時にEEPROM8内の各位
置検出誤差の周期成分を読出して位置検出誤差に変換
し、ランダムアクセスメモリ７へ書き込む。第８図は、
その処理手順の詳細を示すフローチャートである。以
下、同図に基づいて説明する。マイクロコンピュータ６
は、ランダムアクセスメモリ７内の変数Ｅ［０］からＥ
［255］までを０クリアする（ステップS21）。EEPROM8
からのデータを書き込むためのポインタＩを初期化す
る。（ステップS22）。ランダムアクセスメモリ７へデ
ータを書き込むためのポインタＪを初期化する（ステッ
プS23）。EEPROM8から振幅値Ｇ［Ｉ］及び位相値PH
［Ｉ］を読出し、Ｚを計算してランダムアクセスメモリ
７内の変数Ｅ［Ｊ］へ加算する（ステップS24,S25）。
ポインタＪに１を加算する。ステップS24からステップS
26までをポインタＪが256になるまで繰り返して行ない
（ステップS27）、ランダムアクセスメモリ７へ１つの
周期における位置検出誤差データを書き込む、Ｊが256
になると、ポインタＩに１を加算して次の周期における
位置検出誤差について同様の処理を行なう（ステップS2
8）。このステップS23からS28までの処理をＩが８を越
えるまで行なうことにより、ランダムアクセスメモリ７
に絶対位置検出周期以下の短い周期の位置検出誤差デー
タを再現する。
以上で説明した処理を終了した後、マイクロコンピュ
ータ６は、ランダムアクセスメモリ７内の位置検出誤差
データを使用して次の（６）式の計算を行なうことによ
り補正処理を行なう。
ータ６は、ランダムアクセスメモリ７内の位置検出誤差
データを使用して次の（６）式の計算を行なうことによ
り補正処理を行なう。
PO＝Pe−Ｅ［PL］ ……（６） （発明の効果） 以上のように本発明の位置検出誤差補正装置によれ
ば、補正に必要なデータ量を減らすことができるため、
少ない容量の不揮発性メモリでデータの記憶が可能にな
り、位置検出誤差補正装置を、小型かつ低価格化するこ
とができる。また、位置検出誤差の各周期成分を振幅と
位相の形式でメモリに記憶した場合、振幅値が常に正の
数となるため、符号付きの乗算命令を持たないマイクロ
コンピュータでも処理が行ない易い。さらに、測定によ
るノイズ成分は周期性がないため、フーリエ級数展開時
にフィルタ効果によって除去できる。
ば、補正に必要なデータ量を減らすことができるため、
少ない容量の不揮発性メモリでデータの記憶が可能にな
り、位置検出誤差補正装置を、小型かつ低価格化するこ
とができる。また、位置検出誤差の各周期成分を振幅と
位相の形式でメモリに記憶した場合、振幅値が常に正の
数となるため、符号付きの乗算命令を持たないマイクロ
コンピュータでも処理が行ない易い。さらに、測定によ
るノイズ成分は周期性がないため、フーリエ級数展開時
にフィルタ効果によって除去できる。
第１図は本発明の位置検出誤差補正装置の一実施例を位
置検出器と共に示すブロック図、第２図（Ａ）及び
（Ｂ）は位置検出器の位置検出誤差をフーリエ級数展開
したときの各周波数（1/周期）成分（フーリエ係数）を
示す図、第３図は第１図に示すEEPROM8に記憶されてい
る位置検出誤差の各周期成分を表として示す図、第４図
は第１図に示すマイクロコンピュータ６が起動時に行な
う処理を示すフローチャート、第５図は本発明の位置検
出誤差補正装置の一実施例をリニアエンコーダ及び検出
回路と共に示す図、第６図（Ａ）及び（Ｂ）は第５図に
示す光学式リニアエンコーダの位置検出誤差をフーリエ
級数展開することにより求めた各周波数（1/周期）の振
幅及び位相成分を示す図、第７図は第５図に示すEEPROM
8に記憶されている位置検出誤差の各周期の振幅及び位
相を表として示す図、第８図は第５図に示すマイクロコ
ンピュータ６が起動時に行なう処理を示すフローチャー
ト、第９図は従来の位置検出誤差補正装置を位置検出器
と共に示すブロック図、第10図は第９図に示す位置検出
器の位置検出誤差を示す図、第11図はPROM5に記憶され
ている第９図に示す位置検出器の位置検出誤差データを
表として示す図である。 １……入力軸、２……4Xレゾルバ、３……1Xレゾルバ、
４……数値化回路、５……PROM、６……マイクロコンピ
ュータ、７……ランダムアクセスメモリ、８……EEPRO
M、９……内挿回路、10……計数回路、11……光源、12
……コリメータレンズ、13……メインスケール、14,15
……格子、16……インデックススケール、17……受光素
子、18A,18B……増幅回路。
置検出器と共に示すブロック図、第２図（Ａ）及び
（Ｂ）は位置検出器の位置検出誤差をフーリエ級数展開
したときの各周波数（1/周期）成分（フーリエ係数）を
示す図、第３図は第１図に示すEEPROM8に記憶されてい
る位置検出誤差の各周期成分を表として示す図、第４図
は第１図に示すマイクロコンピュータ６が起動時に行な
う処理を示すフローチャート、第５図は本発明の位置検
出誤差補正装置の一実施例をリニアエンコーダ及び検出
回路と共に示す図、第６図（Ａ）及び（Ｂ）は第５図に
示す光学式リニアエンコーダの位置検出誤差をフーリエ
級数展開することにより求めた各周波数（1/周期）の振
幅及び位相成分を示す図、第７図は第５図に示すEEPROM
8に記憶されている位置検出誤差の各周期の振幅及び位
相を表として示す図、第８図は第５図に示すマイクロコ
ンピュータ６が起動時に行なう処理を示すフローチャー
ト、第９図は従来の位置検出誤差補正装置を位置検出器
と共に示すブロック図、第10図は第９図に示す位置検出
器の位置検出誤差を示す図、第11図はPROM5に記憶され
ている第９図に示す位置検出器の位置検出誤差データを
表として示す図である。 １……入力軸、２……4Xレゾルバ、３……1Xレゾルバ、
４……数値化回路、５……PROM、６……マイクロコンピ
ュータ、７……ランダムアクセスメモリ、８……EEPRO
M、９……内挿回路、10……計数回路、11……光源、12
……コリメータレンズ、13……メインスケール、14,15
……格子、16……インデックススケール、17……受光素
子、18A,18B……増幅回路。
Claims (3)
- 【請求項１】位置検出器の位置検出誤差を補正する位置
検出誤差補正装置において、前記位置検出器の絶対位置
検出範囲の整数倍を基本周期として前記位置検出誤差を
フーリエ級数展開して得られた前記位置検出誤差の各周
期の成分を予め記憶する不揮発性メモリと、起動時に前
記不揮発性メモリから前記位置検出誤差の各周期の成分
を読出して逆フーリエ変換する変換手段と、前記変換手
段により変換された位置検出誤差を記憶するランダムア
クセスメモリと、前記位置検出器からの位置検出値に対
応する前記位置検出誤差を前記ランダムアクセスメモリ
から読出して前記位置検出値を補正する補正手段とを具
備することを特徴とする位置検出誤差補正装置。 - 【請求項２】前記位置検出誤差の各周期の成分は振幅値
及び位相値で表現されている請求項１に記載の位置検出
誤差補正装置。 - 【請求項３】前記位置検出誤差の各周期の成分は、フー
リエ余弦級数の係数値及びフーリエ正弦級数の係数値で
表現されている請求項１に記載の位置検出誤差補正装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246834A JP2543245B2 (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 位置検出誤差補正装置 |
| US07/757,462 US5305241A (en) | 1990-09-17 | 1991-09-10 | Error correcting apparatus in position detection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2246834A JP2543245B2 (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 位置検出誤差補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04125409A JPH04125409A (ja) | 1992-04-24 |
| JP2543245B2 true JP2543245B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=17154389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2246834A Expired - Fee Related JP2543245B2 (ja) | 1990-09-17 | 1990-09-17 | 位置検出誤差補正装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5305241A (ja) |
| JP (1) | JP2543245B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE112006002928B4 (de) | 2005-11-28 | 2010-08-12 | Mitsubishi Electric Corp. | Positionsabtastfehler-Korrekturverfahren |
| JP2014102136A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法 |
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| DE19721488A1 (de) * | 1997-05-23 | 1998-11-26 | Itt Mfg Enterprises Inc | Verfahren zum Ausgleich von Abweichungen eines Raddrehzahlsensors |
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| JPS6481010A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Fanuc Ltd | Expert system for machine tool containing nc device |
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1990
- 1990-09-17 JP JP2246834A patent/JP2543245B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-10 US US07/757,462 patent/US5305241A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5305241A (en) | 1994-04-19 |
| JPH04125409A (ja) | 1992-04-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |