JP2022083118A

JP2022083118A - 切断装置及び切断品の製造方法

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Publication number: JP2022083118A
Application number: JP2020194387A
Authority: JP
Inventors: 聡子堀; Satoko Hori; 直毅高田; Naoki Takada; 康弘岩田; Yasuhiro Iwata; 善夏黄; Zenka Ko; 雄大北川; Takehiro Kitagawa; 昌一片岡; Shoichi Kataoka
Original assignee: Towa Corp
Current assignee: Towa Corp
Priority date: 2020-11-24
Filing date: 2020-11-24
Publication date: 2022-06-03
Anticipated expiration: 2040-11-24
Also published as: TWI826854B; TW202221775A; WO2022113574A1; KR20230087581A; CN116507452A; JP7614803B2

Abstract

【課題】互いに隣接する分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物をブレードによって切断できるようにする。
【解決手段】複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２が連結部Ｗ３によって連結されるとともに、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２内の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なる直線上に設定された切断対象物Ｗを、切断線ＣＬ１、ＣＬ２に沿って切断する切断装置１００であって、切断対象物Ｗを吸着して保持する切断テーブル２と、切断対象物Ｗをブレード３１により切断する切断機構３と、連結部Ｗ３が切断機構３により切断されて分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から搬送する分割要素搬送部１０とを備える。
【選択図】図７

Description

本発明は、切断装置及び切断品の製造方法に関するものである。

従来、例えば特許文献１に示すように、パッケージ基板の全チップのうち一部のチップを吸引保持する移送パッドを備えた切削装置が考えられている。この切削装置では、チャックテーブルに収容トレーの外形サイズに合わせた複数のエリアが設定されており、移送パッドが設定されたエリアごとに分割してチップを一括吸引して搬送するように構成されている。

特開２００３－２３４３１０号公報

一方、近年では、ＳＯＴ（Small Outline Transistor）やＳＯＩＣ（Small Outline Integrated Circuit）などの半導体パッケージにおいて、同じ大きさのリードフレームを用いてより多くのパッケージを製造するために、図１４のように、リードが互い違いに形成されたリードフレームを用いて樹脂成形した樹脂成形基板が製造されている。

しかしながら、リードが互い違いに形成されたリードフレームを用いた樹脂成形基板では、パッケージの切断線が同一直線上に位置しないため、従来のブレードを用いた切断装置では切断することが難しい。

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、互いに隣接する分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物をブレードにより容易に切断できるようにすることをその主たる課題とするものである。

すなわち本発明に係る切断装置は、複数の分割要素が連結部によって連結されるとともに、互いに隣接する前記分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物を、前記切断線に沿って切断する切断装置であって、前記切断対象物を吸着して保持する切断テーブルと、前記切断対象物をブレードにより切断する切断機構と、前記連結部が前記切断機構により切断されて前記分割要素が互いに分離した状態において、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから搬送する分割要素搬送部とを備えることを特徴とする。

このように構成した本発明によれば、互いに隣接する分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物をブレードにより容易に切断できるようにすることができる。

切断対象物を模式的に示す平面図である。切断対象物の切断線を示す部分拡大平面図である。本発明に係る第１実施形態の切断装置の構成を模式的に示す平面図である。同実施形態の切断テーブルの構成を模式的に示す平面図及び断面図である。同実施形態の搬送機構（ローダ）の構成を模式的に示す平面図及び断面図である。同実施形態の搬出機構（アンローダ）の構成を模式的に示す平面図及び断面図である。同実施形態の切断動作の各状態を示す断面図である。同実施形態の切断動作における切断対象物の各状態を示す平面図である。第２実施形態の切断装置の構成を模式的に示す平面図である。第２実施形態の切断動作の各状態を示す断面図である。第３実施形態の切断装置の構成を模式的に示す平面図である。第３実施形態の切断動作の各状態を示す断面図である。変形実施形態の切断対象物及びその切断方法を示す平面図である。リードが互い違いに形成されたリードフレームを用いた樹脂成形基板を示す平面図である。

次に、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。

本発明の切断装置は、前述のとおり、複数の分割要素が連結部によって連結されるとともに、互いに隣接する前記分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物を、前記切断線に沿って切断する切断装置であって、前記切断対象物を吸着して保持する切断テーブルと、前記切断対象物をブレードにより切断する切断機構と、前記連結部が前記切断機構により切断されて前記分割要素が互いに分離した状態において、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから搬送する分割要素搬送部とを備えることを特徴とする。
この切断装置であれば、分割要素が互いに分離した状態において、互いに隣接する分割要素の一方を切断テーブルから搬送する分割要素搬送部を有するので、互いに隣接する分割要素の一方を切断テーブルから取り出すことができる。これにより、互いに隣接する分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物をブレードにより容易に切断できるようにすることができる。

前記分割要素搬送部の具体的な実施の態様としては、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから別の切断テーブルに搬送することが考えられる。
この構成の場合には、互いに隣接する分割要素はそれぞれ、別々の切断テーブルで切断されることになる。なお、別々の切断テーブルで切断する際には、共通のブレードにより切断しても良いし、異なるブレードにより切断しても良い。

また、前記分割要素搬送部の具体的な実施の態様としては、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから仮置きテーブルに搬送することが考えられる。
この構成の場合には、切断機構は、互いに隣接する分割要素を順に切断することになる。具体的には、前記分割要素搬送部が互いに隣接する分割要素の一方を仮置きテーブルに搬送した後に、切断機構が互いに隣接する分割要素の他方を切断テーブル上で切断する。そして、その切断品が切断テーブルから搬出された後に、分割要素搬送部が、互いに隣接する前記分割要素の一方を仮置きテーブルから切断テーブルに搬送し、切断機構が互いに隣接する分割要素の一方を切断テーブル上で切断する。

さらに、前記分割要素搬送部の具体的な実施の態様としては、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから搬送して保持することが考えられる。
この構成の場合には、上記の仮置きテーブルに搬送する場合と同様に、切断機構は、互いに隣接する分割要素を順に切断することになる。具体的には、前記分割要素搬送部が互いに隣接する分割要素の一方を切断テーブルから搬送して保持した状態で、切断機構が互いに隣接する分割要素の他方を切断テーブル上で切断する。そして、その切断品が切断テーブルから搬出された後に、分割要素搬送部が、互いに隣接する前記分割要素の一方を切断テーブルに搬送し、切断機構が互いに隣接する分割要素の一方を切断テーブル上で切断する。

分割要素搬送部による分割要素の搬送を行うためには、前記切断テーブルは、互いに隣接する前記分割要素において、一方の前記分割要素を吸着する第１テーブル吸着部と、当該第１テーブル吸着部とは独立しており、他方の前記分割要素を吸着する第２テーブル吸着部とを有することが望ましい。
この構成であれば、分割要素搬送部により搬送される分割要素のみの吸着を停止することができ、分割要素搬送部による分割要素の搬送を確実に行うことができる。

分割要素搬送部による分割要素の搬送を行うための具体的な実施の態様としては、前記連結部が前記切断機構により切断されて前記分割要素が互いに分離した状態において、前記切断テーブルは、前記第１テーブル吸着部又は前記第２テーブル吸着部の一方による前記分割要素の吸着を停止し、前記分割要素搬送部は、前記切断テーブルにおいて吸着が停止された前記分割要素を前記切断テーブルから搬送することが考えられる。

切断対象物の具体的な実施の態様としては、前記複数の分割要素は、前記ブレードによる切断方向に沿って配列され、それらの配置態様が少なくとも２つの組に分けられており、一方の組の前記分割要素の切断線が同一直線上に位置し、他方の組の前記分割要素の切断線が同一直線上に位置するものが考えられる。
この構成の切断対象物において、前記分割要素搬送部は、前記一方の組の分割要素又は前記他方の組の分割要素の一方を搬送するものであることが望ましい。

また、本発明の切断装置は、前記切断テーブルに前記切断対象物を搬送する搬送機構と、前記切断テーブルで切断された切断品を搬出する搬出機構とを備え、前記搬送機構又は前記搬出機構が、前記分割要素搬送部として機能することが望ましい。
この構成であれば、搬送機構又は搬出機構により分割要素搬送部を構成することができるので、搬送機構及び搬出機構とは別に分割要素搬送部を設ける場合に比べて、装置構成を簡単にすることができる。

搬送機構又は搬出機構が分割要素搬送部として機能するための具体的な実施の態様としては、前記搬送機構又は前記搬出機構が、前記一方の組の分割要素を吸着する第１搬送吸着部と、前記第１搬送吸着部とは独立しており、前記他方の組の分割要素を吸着する第２搬送吸着部とを有しており、前記搬送機構又は前記搬出機構は、前記第１搬送吸着部又は前記第２搬送吸着部を用いて、前記分割要素搬送部として機能することが考えられる。

また、上述した切断装置を用いた切断品の製造方法も本発明の一態様である。

＜本発明の第１実施形態＞
以下に、本発明に係る切断装置の第１実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

＜切断装置の全体構成＞
本実施形態の切断装置１００は、切断対象物Ｗに設定された切断線ＣＬ０～ＣＬ２を切断することにより複数の切断品Ｐ（製品Ｐ）に個片化するものである。

ここで、切断対象物Ｗは、図１及び図２に示すように、複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２が連結部Ｗ３によって連結されるとともに、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２内の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なる直線上に設定されたものである。それぞれの分割要素Ｗ１、Ｗ２は、複数のチップが樹脂成形により封止されており、ここでは、複数のチップが一列に配置されたものである。また、それぞれのチップに対応してリードが設けられている。そして、複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２は、ブレード３１（図３参照）による切断方向（図１において左右方向）に沿って配列され、それらの両端部が連結部Ｗ３により連結されている。具体的に一方の組である奇数列の分割要素Ｗ１と他方の組である偶数列の分割要素Ｗ２とは、それらのリードが互い違いとなるように構成されている。これにより、一方の組である奇数列の分割要素Ｗ１の切断線ＣＬ１が同一直線上に位置し、他方の組である偶数列の分割要素Ｗ２の切断線ＣＬ２が同一直線上に位置している。また、奇数列の分割要素Ｗ１の切断線ＣＬ１と偶数列の分割要素Ｗ２の切断線ＣＬ２とは互いに異なる直線上に位置している（図２参照）。なお、図２における符号ＣＬ０は、連結部Ｗ３を切断して複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２に分離するための切断線である。また、各図に示す切断線ＣＬ０～ＣＬ２は、ブレード３１により切断が予定される仮想線であり、実際の切断対象物Ｗには表示されていない。

具体的に切断装置１００は、図３に示すように、切断対象物Ｗを吸着して保持する切断テーブル２と、切断テーブル２に保持された切断対象物Ｗをブレード３１により切断する切断機構３と、切断テーブル２に切断対象物Ｗを搬送する搬送機構４（以下、ローダ４ともいう。）と、切断テーブル２上で切断された切断品Ｐを切断テーブル２から搬出する搬出機構５（以下、アンローダ５ともいう。）とを備えている。

切断テーブル２は、切断対象物Ｗを吸着して保持するものであり、図４に示すように、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２において、一方の分割要素Ｗ１を吸着する第１テーブル吸着部２１と、他方の分割要素Ｗ２を吸着する第２テーブル吸着部２２とを有している。なお、切断テーブル２は、図示しない移動機構によって、少なくともＹ方向に移動可能に構成されている。また、切断テーブル２は、図示しない回転機構によってθ方向に回転するように構成しても良い。

第１テーブル吸着部２１及び第２テーブル吸着部２２は、互いに独立しており、それぞれが独立して吸着とその停止とを切り替えることができるように構成されている。

具体的に第１テーブル吸着部２１は、切断対象物Ｗにおける奇数列（１列、３列、５列、・・・）の分割要素Ｗ１を一括して吸着するものであり、第２テーブル吸着部２２は、切断対象物Ｗにおける偶数列（２列、４列、６列、・・・）の分割要素Ｗ２を一括して吸着するものである。つまり、切断テーブル２は、奇数列の分割要素Ｗ１の吸着又はその停止と、偶数列の分割要素Ｗ２の吸着又はその停止とを独立して切り替えることができるように構成されている。

第１テーブル吸着部２１は、切断テーブル２の上面に開口する第１吸着孔２１ａと、当該第１吸着孔２１ａに連続し、切断テーブル２の内部に形成された第１内部流路２１ｂと、当該第１内部流路２１ｂに接続された第１吸引ポンプ２１ｃとを有している。また、第２テーブル吸着部２２は、切断テーブル２の上面に開口する第２吸着孔２２ａと、当該第２吸着孔２２ａに連続し、切断テーブル２の内部に形成された第２内部流路２２ｂと、当該第２内部流路２２ｂに接続された第２吸引ポンプ２２ｃとを有している。なお、第１吸引ポンプ２１ｃと第２吸引ポンプ２２ｃを共通として、例えば図示しない切替バルブを用いて吸引ポンプに接続される内部流路を切り替えるように構成しても良い。なお、吸引ポンプの他にエジェクタを用いることもできる。

切断機構３は、切断対象物Ｗを直線状に切断するものであり、図３に示すように、ブレード３１と、当該ブレード３１を回転させるスピンドル部３２と、当該スピンドル部３２を少なくともＸ方向及びＺ方向に移動させる移動機構（不図示）とを備えている。ブレード３１の回転軸方向は、切断テーブル２の上面に平行であり、ここでは、水平方向に沿った方向である。そして、切断テーブル２と切断機構３とを相対的に移動させることによって、切断対象物Ｗがブレード３１によって切断される。

ローダ４は、切断対象物Ｗを収容する切断対象物収容部６（図３参照）から切断テーブル２に切断対象物Ｗを搬送するものである。また、ローダ４は、後述するように、切断テーブル２において互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が一致するように互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を移動させるものである。

具体的にローダ４は、図５に示すように、切断対象物Ｗを吸着するための搬送吸着部４１１、４１２が設けられた吸着ブロック４１と、当該吸着ブロック４１を移動させる移動機構（不図示）とを備えている。

吸着ブロック４１には、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２において、一方の分割要素Ｗ１を吸着する第１搬送吸着部４１１と、他方の分割要素Ｗ２を吸着する第２搬送吸着部４１２とが設けられている。つまり、ローダ４の吸着ブロック４１は、切断テーブル２の各テーブル吸着部２１、２２に対応する搬送吸着部４１１、４１２を有している。

具体的に第１搬送吸着部４１１は、切断対象物Ｗにおける奇数列（１列、３列、５列、・・・）の分割要素Ｗ１を吸着するものであり、第２搬送吸着部４１２は、切断対象物Ｗにおける偶数列（２列、４列、６列、・・・）の分割要素Ｗ２を吸着するものである。つまり、ローダ４は、奇数列の分割要素Ｗ１の吸着又はその停止と、偶数列の分割要素Ｗ２の吸着又はその停止とを独立して切り替えることができるように構成されている。

第１搬送吸着部４１１は、吸着ブロック４１の下面に開口する第１吸着孔４１１ａと、当該第１吸着孔４１１ａに連続し、吸着ブロック４１の内部に形成された第１内部流路４１１ｂと、当該第１内部流路４１１ｂに接続された第１吸引ポンプ４１１ｃとを有している。なお、第１吸着孔４１１ａには、例えば樹脂製の吸着パッド４１１ｄが設けられている。また、第２搬送吸着部４１２は、吸着ブロック４１の下面に開口する第２吸着孔４１２ａと、当該第２吸着孔４１２ａに連続し、吸着ブロック４１の内部に形成された第２内部流路４１２ｂと、当該第２内部流路４１２ｂに接続された第２吸引ポンプ４１２ｃとを有している。なお、第２吸着孔４１２ａには、吸着パッド４１２ｄが設けられている。その他、第１吸引ポンプ４１１ｃと第２吸引ポンプ４１２ｃを共通として、例えば図示しない切替バルブを用いて吸引ポンプに接続される内部流路を切り替えるように構成しても良い。

このように構成したローダ４は、連結部Ｗ３が切断機構３により切断されて分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から別の切断テーブル１１（図３参照）に搬送する分割要素搬送部１０として機能する。本実施形態の分割要素搬送部１０は、ローダ４の第２搬送吸着部４１２を用いて構成されている。つまり、分割要素搬送部１０は、偶数列の分割要素Ｗ２を切断テーブル２から別の切断テーブル１１に搬送することになる。

アンローダ５は、切断された切断品Ｐを吸着して、切断テーブル２から切断品収容部７（図３参照）に切断品Ｐを搬送するものである。具体的にアンローダ５は、図６に示すように、切断品Ｐを吸着するための搬送吸着部５１１、５１２が設けられた吸着ブロック５１と、当該吸着ブロック５１を移動させる移動機構（不図示）とを備えている。

具体的に第１搬送吸着部５１１は、切断対象物Ｗにおける奇数列（１列、３列、５列、・・・）の分割要素Ｗ１の切断品Ｐを吸着するものであり、第２搬送吸着部５１２は、切断対象物Ｗにおける偶数列（２列、４列、６列、・・・）の分割要素Ｗ２の切断品Ｐを吸着するものである。つまり、アンローダ５は、奇数列の分割要素Ｗ１の切断品Ｐの吸着又はその停止と、偶数列の分割要素Ｗ２の切断品Ｐの吸着又はその停止とを独立して切り替えることができるように構成されている。

第１搬送吸着部５１１は、吸着ブロック５１の下面に開口する第１吸着孔５１１ａと、当該第１吸着孔５１１ａに連続し、吸着ブロック５１の内部に形成された第１内部流路５１１ｂと、当該第１内部流路５１１ｂに接続された第１吸引ポンプ５１１ｃとを有している。なお、第１吸着孔５１１ａには、例えば樹脂製の吸着パッド５１１ｄが設けられている。また、第２搬送吸着部５１２は、吸着ブロック５１の下面に開口する第２吸着孔５１２ａと、当該第２吸着孔５１２ａに連続し、吸着ブロック５１の内部に形成された第２内部流路５１２ｂと、当該第２内部流路５１２ｂに接続された第２吸引ポンプ５１２ｃとを有している。なお、第２吸着孔５１２ａには、吸着パッド５１２ｄが設けられている。その他、第１吸引ポンプ５１１ｃと第２吸引ポンプ５１２ｃを共通として、例えば図示しない切替バルブを用いて吸引ポンプに接続される内部流路を切り替えるように構成しても良い。なお、図６では、奇数列の吸着孔５１２ａと偶数列の吸着孔５１３ａとがＹ方向に一直線に並んでいるが、互いにずれていても良い。

＜切断装置１００の切断動作＞
この切断装置１００の動作について、図７及び図８を参照して説明する。なお、以下の切断動作は、制御部ＣＴＬ（図３参照）により各部が制御されることにより行われる。

（１）切断対象物Ｗの搬送
ローダ４が、切断対象物収容部６に収容されている切断対象物Ｗを吸着して保持し、切断テーブル２に搬送する。切断テーブル２に搬送された切断対象物Ｗは、切断テーブル２の第１テーブル吸着部２１及び第２テーブル吸着部２２により吸着されて保持される（図７の＜切断対象物を吸着保持＞）。ここで、切断テーブル２に対する切断対象物Ｗの位置決めは、例えば、切断対象物Ｗに形成された位置決め用の孔と、切断テーブル２に設けられた位置決めピンとを嵌め合わせることにより行われる。その他、切断対象物Ｗに形成された位置決め用の孔とローダ４に設けられた位置決めピンとを嵌めあわせることにより行うこともできる。

（２）連結部Ｗ３の切断
切断テーブル２に吸着保持された切断対象物Ｗの連結部Ｗ３を切断機構３により切断する（図８の＜連結部の切断＞）。本実施形態では、複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２の両端部を連結する連結部Ｗ３をそれぞれ切断する。これにより、切断対象物Ｗの複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２は、互いに分離した状態となる。この状態においては、奇数列の分割要素Ｗ１と偶数列の分割要素Ｗ２との切断線ＣＬ１、ＣＬ２は、互い違い（千鳥状）で同一直線上にはなく、互いに異なる直線上に位置している。

（３）偶数列の分割要素Ｗ２を別の切断テーブル１１に搬送
連結部Ｗ３が切断されて互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、切断テーブル２は、第２テーブル吸着部２２による偶数列の分割要素Ｗ２の吸着を停止する。なお、切断テーブル２において、第１テーブル吸着部２１による奇数列の分割要素Ｗ１の吸着を維持されている。ここで、第２テーブル吸着部２２による吸着を停止する前に、分割要素搬送部１０となるローダ４の吸着パッド（具体的には第２搬送吸着部４１２の吸着パッド４１２ｄ）を偶数列の分割要素Ｗ２に押し付けておく。これにより、切断テーブル２の第２テーブル吸着部２２の吸着を停止することによる偶数列の分割要素Ｗ２の位置ズレを防止している。そして、分割要素搬送部１０となるローダ４の第２搬送吸着部４１２は、偶数列の分割要素Ｗ２を別の切断テーブル１１に搬送する（図７及び図８の＜偶数列を別の切断テーブルに搬送＞）。なお、別の切断テーブル１１に搬送された偶数列の分割要素Ｗ２は、別の切断テーブル１１の吸着部１１１によって吸着保持される。ここで、別の切断テーブル１１に対する偶数列の分割要素Ｗ２の位置決めは、例えば、偶数列の分割要素Ｗ２の配置（例えばエッジ部分やリード部分などの特徴部）をカメラにより画像認識して行うこと等が考えられる。

（４）奇数列及び偶数列の分割要素Ｗ１、Ｗ２の切断
偶数列の分割要素Ｗ２が別の切断テーブル１１に搬送された後に、切断機構３は、切断テーブル２上において、同一直線上にある奇数列の分割要素Ｗ１の切断線ＣＬ１を切断する。また、別の切断テーブル１１においては、別の切断機構又は切断機構３により、同一直線上にある偶数列の分割要素Ｗ２の切断線ＣＬ２を切断する（図７及び図８の＜奇数列及び偶数列の切断＞）。なお、本実施形態では、各切断テーブル２、１１に対応して切断機構３を設けたダブルスピンドル方式（図３参照）としているが、各切断テーブル２、１１に共通の切断機構３を設けたシングルスピンドル方式としても良い。

（５）切断品Ｐの搬出
アンローダ５は、切断テーブル２に吸着保持されている複数の切断品Ｐを、第１吸着搬送部５１１を用いて吸着して保持し、切断品収容部７に搬送する。また、アンローダ５は、別の切断テーブル１１に吸着保持されている複数の切断品Ｐを、第２吸着搬送部５１２を用いて吸着して保持し、切断品収容部７に搬送する。ここで、切断テーブル２及び別の切断テーブル１１の吸着を解除する前に、アンローダ５の吸着パッド５１１ｄ、５１２ｄを複数の切断品Ｐに押し付けることにより、複数の切断品Ｐの位置ズレや吸着ミスを防止するようにしても良い。

＜第１実施形態の効果＞
第１実施形態の切断装置１００によれば、分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から別の切断テーブル１１に搬送する分割要素搬送部１０を有するので、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から取り出して別々の切断テーブル２、１１に保持させることができる。これにより、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２内の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なる直線上に設定された切断対象物Ｗをブレード３１により容易に切断できるようにすることができる。

＜本発明の第２実施形態＞
次に本発明に係る切断装置の第２実施形態について、図面を参照して説明する。なお、第２実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態とは別の切断テーブル１１を有さない点で構成が異なる。なお、その他の構成は、前記第１実施形態と同様である。

具体的に第２実施形態の切断装置１００は、図９に示すように、切断テーブルではなく、単に互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を一時的に載置する仮置きテーブル１２に搬送する構成である。ここで、仮置きテーブル１２は、搬送された分割要素を吸着して保持する吸着部を有する構成とすることが考えられる。この仮置きテーブル１２を用いることによって、切断機構３は、切断テーブル２上で奇数列の分割要素Ｗ１と偶数列の分割要素Ｗ２とを順に切断する。

この構成の切断装置１００の切断動作において、（１）切断対象物Ｗの搬送、（２）連結部Ｗ３の切断は、前記実施形態と同様である。以下に、連結部Ｗ３の切断後の動作について説明する。

（３）偶数列の分割要素Ｗ２を仮置きテーブル１２に搬送
連結部Ｗ３が切断されて互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、切断テーブル２は、第２テーブル吸着部２２による偶数列の分割要素Ｗ２の吸着を停止する。なお、切断テーブル２において、第１テーブル吸着部２１による奇数列の分割要素Ｗ１の吸着を維持されている。ここで、第２テーブル吸着部２２による吸着を停止する前に、分割要素搬送部１０となるローダ４の吸着パッド（具体的には第２搬送吸着部４１２の吸着パッド４１２ｄ）を偶数列の分割要素Ｗ２に押し付けておく。これにより、切断テーブル２の第２テーブル吸着部２２の吸着を停止することによる偶数列の分割要素Ｗ２の位置ズレを防止している。そして、分割要素搬送部１０となるローダ４の第２搬送吸着部４１２は、偶数列の分割要素Ｗ２を仮置きテーブル１２に搬送する（図２０の＜偶数列を仮置きテーブルに搬送＞）。ここで、仮置きテーブル１２に対して偶数列の分割要素Ｗ２の位置決めが必要な場合には、例えば、偶数列の分割要素Ｗ２の配置（例えばエッジ部分やリード部分などの特徴部）をカメラにより画像認識して行うこと等が考えられる。

（４）奇数列の分割要素Ｗ１の切断
偶数列の分割要素Ｗ２が仮置きテーブル１２に搬送された後に、切断機構３は、切断テーブル２上において、同一直線上にある奇数列の分割要素Ｗ１の切断線ＣＬ１を切断する（図１０の＜奇数列の切断＞）。

（５）奇数列の分割要素Ｗ１を切断した切断品Ｐの搬出
アンローダ５は、切断テーブル２に吸着保持されている複数の切断品Ｐを吸着して保持し、切断品収容部７に搬送する。ここで、切断テーブル２の吸着を解除する前に、アンローダ５の吸着パッド５１１ｄを複数の切断品Ｐに押し付けることにより、複数の切断品Ｐの位置ズレや吸着ミスを防止するようにしても良い。

（６）偶数列の分割要素Ｗ２の搬送
分割要素搬送部１０となるローダ４の第２搬送吸着部４１２（分割要素搬送部１０）は、仮置きテーブル１２にある偶数列の分割要素Ｗ２を吸着して保持し、切断テーブル２に搬送する（図１０の＜偶数列を切断テーブルに搬送＞）。切断テーブル２に搬送された偶数列の分割要素Ｗ２は、切断テーブル２の第２テーブル吸着部２２により吸着されて保持される。ここで、切断テーブル２に対する偶数列の分割要素Ｗ２の位置決めは、例えば、偶数列の分割要素Ｗ２の配置（例えばエッジ部分やリード部分などの特徴部）をカメラにより画像認識して行うこと等が考えられる。

（７）偶数列の分割要素Ｗ２の切断
偶数列の分割要素Ｗ２が切断テーブル２に搬送された後に、切断機構３は、切断テーブル２上において、同一直線上にある偶数列の分割要素Ｗ２の切断線ＣＬ２を切断する（図１０の＜偶数列の切断＞）。

（８）偶数列の分割要素Ｗ２を切断した切断品Ｐの搬出
アンローダ５は、切断テーブル２に吸着保持されている複数の切断品Ｐを吸着して保持し、切断品収容部７に搬送する。ここで、切断テーブル２の吸着を解除する前に、アンローダ５の吸着パッド５１１ｄを複数の切断品Ｐに押し付けることにより、複数の切断品Ｐの位置ズレや吸着ミスを防止するようにしても良い。

なお、上記においては、偶数列の分割要素Ｗ２を分割要素搬送部１０によって仮置きテーブル１２に搬送する構成としたが、奇数列の分割要素Ｗ１を分割要素搬送部１０によって仮置きテーブル１２に搬送する構成としても良い。

＜第２実施形態の効果＞
第２実施形態の切断装置１００によれば、分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から仮置きテーブル１２に搬送する分割要素搬送部１０を有するので、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から取り出すことができる。これにより、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２内の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なる直線上に設定された切断対象物Ｗをブレード３１により容易に切断できるようにすることができる。

＜本発明の第３実施形態＞
次に本発明に係る切断装置の第３実施形態について、図面を参照して説明する。なお、第３実施形態の切断装置１００は、前記各実施形態とは別の切断テーブル１１及び仮置きテーブル１２を有さない点で構成が異なる。なお、その他の構成は、前記第１実施形態と同様である。

具体的に第３実施形態の切断装置１００は、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を別の切断テーブル１１又は仮置きテーブル１２に搬送すること無く、図１１に示すように、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から搬送して保持する構成である。

（３）偶数列の分割要素Ｗ２を搬送して保持
連結部Ｗ３が切断されて互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、切断テーブル２は、第２テーブル吸着部２２による偶数列の分割要素Ｗ２の吸着を停止する。なお、切断テーブル２において、第１テーブル吸着部２１による奇数列の分割要素Ｗ１の吸着を維持されている。ここで、第２テーブル吸着部２２による吸着を停止する前に、分割要素搬送部１０となるローダ４の吸着パッド（具体的には第２搬送吸着部４１２の吸着パッド４１２ｄ）を偶数列の分割要素Ｗ２に押し付けておく。これにより、切断テーブル２の第２テーブル吸着部２２の吸着を停止することによる偶数列の分割要素Ｗ２の位置ズレを防止している。そして、分割要素搬送部１０となるローダ４の第２搬送吸着部４１２は、偶数列の分割要素Ｗ２を搬送して切断テーブル２の外側で保持する（図１２の＜偶数列の取り出し・奇数列の切断＞）。

（４）奇数列の分割要素Ｗ１の切断
偶数列の分割要素Ｗ２が切断テーブル２から搬送された後に、切断機構３は、切断テーブル２上において、同一直線上にある奇数列の分割要素Ｗ１の切断線ＣＬ１を切断する（図１２の＜偶数列の取り出し・奇数列の切断＞）。

（６）偶数列の分割要素Ｗ２の搬送
分割要素搬送部１０となるローダ４の第２搬送吸着部４１２は、保持している偶数列の分割要素Ｗ２を切断テーブル２に搬送する（図１２の＜偶数列を切断テーブルに搬送＞）。切断テーブル２に搬送された偶数列の分割要素Ｗ２は、切断テーブル２の第２テーブル吸着部２２により吸着されて保持される。ここで、切断テーブル２に対する偶数列の分割要素Ｗ２の位置決めは、例えば、偶数列の分割要素Ｗ２の配置（例えばエッジ部分やリード部分などの特徴部）をカメラにより画像認識して行うこと等が考えられる。

（７）偶数列の分割要素Ｗ２の切断
偶数列の分割要素Ｗ２が切断テーブル２に搬送された後に、切断機構３は、切断テーブル２上において、同一直線上にある偶数列の分割要素Ｗ２の切断線ＣＬ２を切断する（図１２の＜偶数列の切断＞）。

＜第３実施形態の効果＞
第３実施形態の切断装置１００によれば、分割要素Ｗ１、Ｗ２が互いに分離した状態において、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から搬送して保持する分割要素搬送部１０を有するので、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２の一方を切断テーブル２から取り出すことができる。これにより、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２内の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なる直線上に設定された切断対象物Ｗをブレード３１により容易に切断できるようにすることができる。

＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記各実施形態に限られるものではない。

例えば、前記第１実施形態では、偶数列の分割要素Ｗ２を別の切断テーブル１１に搬送する構成であったが、奇数列の分割要素Ｗ１を分割要素搬送部１０によって別の切断テーブル１１に搬送する構成としても良い。また、連結部Ｗ３を切断テーブル２で切断した後に、奇数列の分割要素Ｗ１及び偶数列の分割要素Ｗ２のそれぞれを分割要素搬送部１０によって別々の切断テーブルに搬送する構成としても良い。また、前記第２実施形態において、奇数列の分割要素Ｗ１を分割要素搬送部１０により仮置きテーブル１２に搬送する構成としても良いし、第３実施形態において、奇数列の分割要素Ｗ１を分割要素搬送部１０により搬送して保持する構成としても良い。

前記各実施形態では、ローダ４が第１搬送吸着部４１１及び第２搬送吸着部４１２を有する構成であったが、何れか一方のみを有する構成としても良い。例えば、ローダ４が第１搬送吸着部４１１のみを有する構成の場合には、切断対象物Ｗを切断テーブル２に搬送する際には、ローダ４は奇数列の分割要素Ｗ１を吸着保持して搬送することになる。また、連結部Ｗ３を切断後においては、切断テーブル２の第１テーブル吸着部２１が奇数列の分割要素Ｗ１の吸着を停止し、ローダ４の第１搬送吸着部４１１は吸着が停止された奇数列の分割要素Ｗ１を別の切断テーブル１１に搬送することになる。

また、前記各実施形態では、ローダ４が分割要素搬送部１０として機能する構成であったが、アンローダ５が分割要素搬送部１０として機能する構成としても良い。この場合、アンローダ５は、奇数列の分割要素Ｗ１又は偶数列の分割要素Ｗ２の一方のみを吸着する搬送吸着部を有する構成となる。

前記各実施形態では、アンローダ５が奇数列の分割要素Ｗ１の切断品Ｐと偶数列の分割要素Ｗ２の切断品Ｐとを個別に切断品収容部７に搬送する構成であったが、アンローダ５は、奇数列の分割要素Ｗ１の切断品Ｐ及び偶数列の分割要素Ｗ２の切断品Ｐの両方を吸着した後に、切断品収容部７に搬送する構成としても良い。

本発明の切断装置１００により切断される切断対象物Ｗは、前記実施形態に限られず、樹脂成形されていない例えばプリント基板（ＰＣＢ基板）などの基板であっても良い。この場合、切断対象物Ｗは、図１３に示すように、例えばルータ加工により切り込みＫが入れられた基板であり、当該基板は、平面視において概略Ｌ字形状の複数の分割要素Ｗ１、Ｗ２が連結部Ｗ３によって連結されるとともに、互いに隣接する分割要素Ｗ１、Ｗ２内の切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なる直線上に設定されている。このような切断対象物Ｗにおいても、前記実施形態と同様、連結部Ｗ３を切断した後に、互いに隣接する分割要素の一方を別の切断テーブル１１に搬送して切断する、又は仮置きテーブル１２を用いて順に切断する、或いは、分割要素搬送部１０に保持させることにより順に切断することができる。

前記各実施形態の切断対象物Ｗは、複数の分割要素の配置態様が２つの組（奇数列及び偶数列）に分けられており、奇数列の分割要素Ｗ１と偶数列の分割要素Ｗ２とで切断線ＣＬ１、ＣＬ２が互いに異なるものであったが、奇数列の分割要素と偶数列の分割要素とに限られず、複数の分割要素において互いに切断線が同一直線上にない分割要素を有するものにも適用することができる。例えば、切断対象物Ｗの複数の分割要素の配置態様が例えば左右２列ずつで同じである等のように組分けされているものであっても良い。その他、切断対象物Ｗは、複数の分割要素の配置態様が３つ以上の組に分けられたものであっても良い。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

１００・・・切断装置
Ｗ・・・切断対象物
Ｗ１・・・奇数列の分割要素（複数の分割要素）
Ｗ２・・・偶数列の分割要素（複数の分割要素）
Ｗ３・・・連結部
ＣＬ１、ＣＬ２・・・切断線
Ｐ・・・切断品
２・・・切断テーブル
２１・・・第１テーブル吸着部
２２・・・第２テーブル吸着部
３・・・切断機構
３１・・・ブレード
４・・・ローダ（搬送機構）
４１１・・・第１搬送吸着部
４１２・・・第２搬送吸着部
１０・・・分割要素搬送部
１１・・・切断テーブル
１２・・・仮置きテーブル

Claims

複数の分割要素が連結部によって連結されるとともに、互いに隣接する前記分割要素内の切断線が互いに異なる直線上に設定された切断対象物を、前記切断線に沿って切断する切断装置であって、
前記切断対象物を吸着して保持する切断テーブルと、
前記切断対象物をブレードにより切断する切断機構と、
前記連結部が前記切断機構により切断されて前記分割要素が互いに分離した状態において、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから搬送する分割要素搬送部とを備える、切断装置。
前記分割要素搬送部は、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから別の切断テーブルに搬送する、請求項１に記載の切断装置。
前記分割要素搬送部は、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから仮置きテーブルに搬送する、請求項１に記載の切断装置。
前記分割要素搬送部は、互いに隣接する前記分割要素の一方を前記切断テーブルから搬送して保持する、請求項１に記載の切断装置。
前記切断テーブルは、互いに隣接する前記分割要素において、一方の前記分割要素を吸着する第１テーブル吸着部と、当該第１テーブル吸着部とは独立しており、他方の前記分割要素を吸着する第２テーブル吸着部とを有する、請求項１乃至４の何れか一項に記載の切断装置。
前記連結部が前記切断機構により切断されて前記分割要素が互いに分離した状態において、前記切断テーブルは、前記第１テーブル吸着部又は前記第２テーブル吸着部の一方による前記分割要素の吸着を停止し、
前記分割要素搬送部は、前記切断テーブルにおいて吸着が停止された前記分割要素を前記切断テーブルから搬送する、請求項５に記載の切断装置。
前記複数の分割要素は、前記ブレードによる切断方向に沿って配列され、それらの配置態様が少なくとも２つの組に分けられており、一方の組の前記分割要素の切断線が同一直線上に位置し、他方の組の前記分割要素の切断線が同一直線上に位置しており、
前記分割要素搬送部は、前記一方の組の分割要素又は前記他方の組の分割要素の一方を搬送するものである、請求項１乃至６の何れか一項に記載の切断装置。
前記切断テーブルに前記切断対象物を搬送する搬送機構と、
前記切断テーブルで切断された切断品を搬出する搬出機構とを備え、
前記搬送機構又は前記搬出機構が、前記分割要素搬送部として機能する、請求項１乃至７の何れか一項に記載の切断装置。
前記搬送機構又は前記搬出機構が、
前記一方の組の分割要素を吸着する第１搬送吸着部と、
前記第１搬送吸着部とは独立しており、前記他方の組の分割要素を吸着する第２搬送吸着部とを有しており、
前記搬送機構又は前記搬出機構は、前記第１搬送吸着部又は前記第２搬送吸着部を用いて、前記分割要素搬送部として機能する、請求項７を引用する請求項８に記載の切断装置。
請求項１乃至９の何れか一項に記載の切断装置を用いた切断品の製造方法。